JPH09274061A - 帯電量測定装置 - Google Patents
帯電量測定装置Info
- Publication number
- JPH09274061A JPH09274061A JP11016896A JP11016896A JPH09274061A JP H09274061 A JPH09274061 A JP H09274061A JP 11016896 A JP11016896 A JP 11016896A JP 11016896 A JP11016896 A JP 11016896A JP H09274061 A JPH09274061 A JP H09274061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side electrode
- external terminal
- electrode
- measuring device
- potential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部環境の影響を受けて正確な帯電測定がで
きない従来の帯電測定装置の欠点を解消し、セラミック
スやＯＡ周辺機器の帯電量を周囲の環境の影響を受ける
ことなく正確に測定できる装置を提供する。 【構成】 被測定体11に近接する測定側電極６と参照側
電極７を有する帯電測定装置本体１の前記参照側電極７
と外部端子２間にダイオード３等の該外部端子から前記
参照側電極に向かう電流を遮断する素子を接続する。ダ
イオード３により外部端子２から流入する電流が遮断さ
れ、外部環境にかかわらず参照側電極７の電位が一定
し、正確な帯電量測定が可能になる。
きない従来の帯電測定装置の欠点を解消し、セラミック
スやＯＡ周辺機器の帯電量を周囲の環境の影響を受ける
ことなく正確に測定できる装置を提供する。 【構成】 被測定体11に近接する測定側電極６と参照側
電極７を有する帯電測定装置本体１の前記参照側電極７
と外部端子２間にダイオード３等の該外部端子から前記
参照側電極に向かう電流を遮断する素子を接続する。ダ
イオード３により外部端子２から流入する電流が遮断さ
れ、外部環境にかかわらず参照側電極７の電位が一定
し、正確な帯電量測定が可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスやＯＡ周
辺機器の帯電量を周囲の環境の影響を受けることなく正
確に測定できる装置に関する。
辺機器の帯電量を周囲の環境の影響を受けることなく正
確に測定できる装置に関する。
【０００２】
【従来技術とその問題点】近年における生活様式の多様
化や各種工業の発展により、生活環境の中に非常に広範
な種類の物質が使用されるに到っている。これらの物質
の中には静電気を帯びやすい物質も多く、この静電気に
よる帯電が人体に対して悪影響を及ぼし、あるいは短期
間でもＯＡ機器等の正確な動作に支障を及ぼすことがあ
る。例えば半導体の組み立て工場などでは静電気による
ダメージから保護するためにかなりの額の設備投資を行
ない、又半導体を装着したコンピューターやシーケンサ
ー、センサーなどが静電気の影響により誤作動や動作不
能に陥ることがある。この静電気は帯電物質の表面に存
在する認識しがたい物体で、これは、絶縁物の表面に
発生しやすいこと、帯電したものはなかなか放電しな
いこと、金属のような良導体に容易に移動する、とい
った特徴を有している。そのため、環境の状態（空気自
体の気象条件、身の回りにある物体の位置、人間の歩行
と身に着けている金属等）で時々刻々変化する。
化や各種工業の発展により、生活環境の中に非常に広範
な種類の物質が使用されるに到っている。これらの物質
の中には静電気を帯びやすい物質も多く、この静電気に
よる帯電が人体に対して悪影響を及ぼし、あるいは短期
間でもＯＡ機器等の正確な動作に支障を及ぼすことがあ
る。例えば半導体の組み立て工場などでは静電気による
ダメージから保護するためにかなりの額の設備投資を行
ない、又半導体を装着したコンピューターやシーケンサ
ー、センサーなどが静電気の影響により誤作動や動作不
能に陥ることがある。この静電気は帯電物質の表面に存
在する認識しがたい物体で、これは、絶縁物の表面に
発生しやすいこと、帯電したものはなかなか放電しな
いこと、金属のような良導体に容易に移動する、とい
った特徴を有している。そのため、環境の状態（空気自
体の気象条件、身の回りにある物体の位置、人間の歩行
と身に着けている金属等）で時々刻々変化する。
【０００３】従ってこの帯電量を測定し、その静電気を
放電して帯電量をゼロに維持しておくことが重要にな
る。そのためには静電気の帯電量を正確に測定する装置
が必要である。従来の帯電測定装置は、１対の電極の一
方（測定側電極）を被測定体に近接させ他方の電極（参
照側電極）との電位差を測定して前記被測定体の電位を
測定し、この測定電位を表示するように構成され、前記
参照側電極は外部端子に接続されている。しかしこの従
来の帯電測定装置では、前記参照側電極に接続された外
部端子から微少な電流が流れ込み、該参照側電極が変動
しやすく、更に測定を行なう人間も完全にアースされて
いないため、人体の静電気が前記参照側電極に流れ込
み、前記変動をより大きくする傾向がある。これを回避
するためには、前記帯電測定装置をアースすれば良い
が、該帯電測定装置は多くの場合アースを取りにくい場
所で使用されるため、実用的な解決法ではない。又帯電
測定装置を完全にアースしても前述した通り、測定する
人間の影響がありこの影響を完全に除去するためには人
間もアースする必要があり、素足で地面に立たない限り
人間のアースは不可能であり、これも実用的ではない。
放電して帯電量をゼロに維持しておくことが重要にな
る。そのためには静電気の帯電量を正確に測定する装置
が必要である。従来の帯電測定装置は、１対の電極の一
方（測定側電極）を被測定体に近接させ他方の電極（参
照側電極）との電位差を測定して前記被測定体の電位を
測定し、この測定電位を表示するように構成され、前記
参照側電極は外部端子に接続されている。しかしこの従
来の帯電測定装置では、前記参照側電極に接続された外
部端子から微少な電流が流れ込み、該参照側電極が変動
しやすく、更に測定を行なう人間も完全にアースされて
いないため、人体の静電気が前記参照側電極に流れ込
み、前記変動をより大きくする傾向がある。これを回避
するためには、前記帯電測定装置をアースすれば良い
が、該帯電測定装置は多くの場合アースを取りにくい場
所で使用されるため、実用的な解決法ではない。又帯電
測定装置を完全にアースしても前述した通り、測定する
人間の影響がありこの影響を完全に除去するためには人
間もアースする必要があり、素足で地面に立たない限り
人間のアースは不可能であり、これも実用的ではない。
【０００４】
【発明の目的】従って本発明は、従来技術の上述の欠点
を解消し、アースを必要とすることなく、被測定体の帯
電量を正確に測定できる帯電量測定装置を提供すること
を目的とする。
を解消し、アースを必要とすることなく、被測定体の帯
電量を正確に測定できる帯電量測定装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明は、測定側電極
と外部端子に接続された参照側電極の一対の電極を有す
る帯電量測定装置において、前記参照側電極と外部端子
間に該外部端子から前記参照側電極に向かう電流を遮断
する素子を接続したことを特徴とする帯電量測定装置で
あり、前記参照側電極を装置本体により構成しても良
い。
と外部端子に接続された参照側電極の一対の電極を有す
る帯電量測定装置において、前記参照側電極と外部端子
間に該外部端子から前記参照側電極に向かう電流を遮断
する素子を接続したことを特徴とする帯電量測定装置で
あり、前記参照側電極を装置本体により構成しても良
い。
【０００８】以下本発明を詳細に説明する。前述した通
り、従来の帯電測定装置では、外部環境の影響が外部端
子を通して参照側電極に及んで、つまり外部からの電流
が外部端子を通して参照側電極に流れ込んで、参照側電
極の電位を一定にできない。従ってこの帯電測定装置を
使用して帯電量測定を行なっても、正確な帯電量を測定
できないだけでなく、特に正確性を要求される帯電量が
ゼロになったことを確認するための操作には、前記参照
側電極の電位変動は致命的である。本発明は、アースを
行なうことなく参照側電極の電位を一定にすることによ
り、従来技術の欠点を解消することを意図するものであ
る。
り、従来の帯電測定装置では、外部環境の影響が外部端
子を通して参照側電極に及んで、つまり外部からの電流
が外部端子を通して参照側電極に流れ込んで、参照側電
極の電位を一定にできない。従ってこの帯電測定装置を
使用して帯電量測定を行なっても、正確な帯電量を測定
できないだけでなく、特に正確性を要求される帯電量が
ゼロになったことを確認するための操作には、前記参照
側電極の電位変動は致命的である。本発明は、アースを
行なうことなく参照側電極の電位を一定にすることによ
り、従来技術の欠点を解消することを意図するものであ
る。
【０００９】つまり本発明では参照側電極と該参照側電
極が接続された外部端子間に該外部端子から前記参照側
電極に向かう電流を遮断する素子を接続している。つま
り前記参照側電極から外部端子に向けて順方向になるよ
うにダイオード、整流器、トランジスタ等の素子を接続
する。このように接続された素子は、外部端子から参照
側電極に向かう電流を遮断して外部環境による影響を除
去するため、前記参照側電極の電位が一定に維持され、
従来のように参照側電極の電位の変動による測定の不正
確性が回避できる。換言すると、帯電測定装置内に電位
の変動しない基準点を設定することにより該基準点（参
照側電極）と測定側電極間の電位差を、実際の帯電量と
して正確に測定することを可能にする。
極が接続された外部端子間に該外部端子から前記参照側
電極に向かう電流を遮断する素子を接続している。つま
り前記参照側電極から外部端子に向けて順方向になるよ
うにダイオード、整流器、トランジスタ等の素子を接続
する。このように接続された素子は、外部端子から参照
側電極に向かう電流を遮断して外部環境による影響を除
去するため、前記参照側電極の電位が一定に維持され、
従来のように参照側電極の電位の変動による測定の不正
確性が回避できる。換言すると、帯電測定装置内に電位
の変動しない基準点を設定することにより該基準点（参
照側電極）と測定側電極間の電位差を、実際の帯電量と
して正確に測定することを可能にする。
【００１０】本発明の帯電測定装置はこの態様に限定さ
れるものではなく、装置本体を参照側電極として使用す
ることができる。この態様では前述の外部端子が実質的
に参照側電極となり、該装置本体又は参照側電極から装
置内部へ向かう導線に該参照側電極から装置内部へ向か
う電流が遮断されるように、ダイオード、整流器、トラ
ンジスタ等の素子を接続する。これにより前述した態様
の場合と同様に前記素子の測定側電極側のノード（基準
点）の電位が一定になり、該基準点と測定側電極間の電
位差を、実際の帯電量として正確に測定することを可能
にする。従来の帯電量測定には、大別して静電誘導現象
を利用する方法と静電容量現象を利用する方法とがあ
り、本発明は両方法に対して適用できる。
れるものではなく、装置本体を参照側電極として使用す
ることができる。この態様では前述の外部端子が実質的
に参照側電極となり、該装置本体又は参照側電極から装
置内部へ向かう導線に該参照側電極から装置内部へ向か
う電流が遮断されるように、ダイオード、整流器、トラ
ンジスタ等の素子を接続する。これにより前述した態様
の場合と同様に前記素子の測定側電極側のノード（基準
点）の電位が一定になり、該基準点と測定側電極間の電
位差を、実際の帯電量として正確に測定することを可能
にする。従来の帯電量測定には、大別して静電誘導現象
を利用する方法と静電容量現象を利用する方法とがあ
り、本発明は両方法に対して適用できる。
【００１１】次に添付図面に基づいて本発明に係わる帯
電測定装置の一実施例を説明する。図１は、本発明の帯
電測定装置の一実施例を示す概略図、図２は同じく他の
実施例を示す概略図である。図１において、箱型の帯電
測定装置本体１の外部端子２には、該外部端子２に向け
て順方向接続されたダイオード３が接続されている。該
ダイオード３には、電位表示部４を介して検出及び増幅
回路５が接続され、更に該回路５には外部に露出した測
定側電極６が接続されるとともに、前記本体１内に前記
測定側電極６に近接して位置する参照側電極７が接続さ
れ両電極６、７間には絶縁体８が設置されている。前記
表示部４とダイオード３間のノード９と前記回路５間に
は電源10が接続されている。
電測定装置の一実施例を説明する。図１は、本発明の帯
電測定装置の一実施例を示す概略図、図２は同じく他の
実施例を示す概略図である。図１において、箱型の帯電
測定装置本体１の外部端子２には、該外部端子２に向け
て順方向接続されたダイオード３が接続されている。該
ダイオード３には、電位表示部４を介して検出及び増幅
回路５が接続され、更に該回路５には外部に露出した測
定側電極６が接続されるとともに、前記本体１内に前記
測定側電極６に近接して位置する参照側電極７が接続さ
れ両電極６、７間には絶縁体８が設置されている。前記
表示部４とダイオード３間のノード９と前記回路５間に
は電源10が接続されている。
【００１２】この装置を使用して帯電量の測定を行なう
には、前記測定側電極６を、セラミックス等の被測定体
11に近接させると、該被測定体11の電子が測定側電極６
に移動し、該測定側電極６と前記参照側電極７間の電位
が前記回路５で検出及び増幅されて前記表示部４で表示
される。この際、前記ノード９と外部端子２間にダイオ
ード３が外部端子２から装置内に向かう電流を遮断する
ため、ノード９の電位が外部環境に左右されず、常にほ
ぼ一定に維持され、従って参照側電極７の電位も一定に
なる。これにより測定側電極６と前記参照側電極７間の
電位が前記被測定体11の帯電量に比例することにより、
正確に該被測定体11の帯電量の測定が可能になる。
には、前記測定側電極６を、セラミックス等の被測定体
11に近接させると、該被測定体11の電子が測定側電極６
に移動し、該測定側電極６と前記参照側電極７間の電位
が前記回路５で検出及び増幅されて前記表示部４で表示
される。この際、前記ノード９と外部端子２間にダイオ
ード３が外部端子２から装置内に向かう電流を遮断する
ため、ノード９の電位が外部環境に左右されず、常にほ
ぼ一定に維持され、従って参照側電極７の電位も一定に
なる。これにより測定側電極６と前記参照側電極７間の
電位が前記被測定体11の帯電量に比例することにより、
正確に該被測定体11の帯電量の測定が可能になる。
【００１３】図２は図１の改良に係わるもので同一部材
には同一符号を付して説明を省略する。図２の帯電測定
装置本体１ａには、図１に示した参照側電極はそれ自身
では存在せず、前記装置本体１ａ自身が参照側電極とし
て機能するようにしている。ここでは電源10の回路５と
逆のノード９ａと外部端子２ａ間にダイオード３が接続
され、該外部端子２ａを介して装置本体１ａ全体が参照
側電極として機能する。この装置を使用して帯電量の測
定を行なう際にも同様に、前記測定側電極６を、セラミ
ックス等の被測定体11に近接させると、該被測定体11の
電子が測定側電極６に移動し、該測定側電極６と前記装
置本体１ａ間の電位が前記回路５で検出及び増幅されて
前記表示部４で表示される。この際、前記ノード９ａと
外部端子２ａ間にダイオード３が外部端子２ａから装置
内に向かう電流を遮断するため、ノード９ａの電位が外
部環境に左右されず、常にほぼ一定に維持され、従って
装置本体１ａの電位も一定になり、これにより正確に該
被測定体11の帯電量の測定が可能になる。
には同一符号を付して説明を省略する。図２の帯電測定
装置本体１ａには、図１に示した参照側電極はそれ自身
では存在せず、前記装置本体１ａ自身が参照側電極とし
て機能するようにしている。ここでは電源10の回路５と
逆のノード９ａと外部端子２ａ間にダイオード３が接続
され、該外部端子２ａを介して装置本体１ａ全体が参照
側電極として機能する。この装置を使用して帯電量の測
定を行なう際にも同様に、前記測定側電極６を、セラミ
ックス等の被測定体11に近接させると、該被測定体11の
電子が測定側電極６に移動し、該測定側電極６と前記装
置本体１ａ間の電位が前記回路５で検出及び増幅されて
前記表示部４で表示される。この際、前記ノード９ａと
外部端子２ａ間にダイオード３が外部端子２ａから装置
内に向かう電流を遮断するため、ノード９ａの電位が外
部環境に左右されず、常にほぼ一定に維持され、従って
装置本体１ａの電位も一定になり、これにより正確に該
被測定体11の帯電量の測定が可能になる。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、測定側電極と外部端子に接続
された参照側電極の一対の電極を有する帯電量測定装置
において、前記参照側電極と外部端子間に該外部端子か
ら前記参照側電極に向かう電流を遮断する素子を接続し
たことを特徴とする帯電量測定装置（請求項１）であ
る。本発明装置では、前述した外部端子から参照側電極
に向かう電流を遮断する素子により、外部環境の影響、
つまり外部端子から流入する電流を遮断し、該電流が参
照側電極に達しないようにしている。従って参照側電極
の電位が外部環境にかかわらず一定に維持され、測定側
電極で測定した被測定体の電位が確実に帯電量に比例す
るため、帯電量を正確に認識できるとともに、特に望ま
しい帯電量ゼロの状態を正確に把握できる。又本発明で
は装置本体自身を参照側電極として機能するようにする
こともでき（請求項２）、ほぼ同様にして正確に帯電量
を測定できる。
された参照側電極の一対の電極を有する帯電量測定装置
において、前記参照側電極と外部端子間に該外部端子か
ら前記参照側電極に向かう電流を遮断する素子を接続し
たことを特徴とする帯電量測定装置（請求項１）であ
る。本発明装置では、前述した外部端子から参照側電極
に向かう電流を遮断する素子により、外部環境の影響、
つまり外部端子から流入する電流を遮断し、該電流が参
照側電極に達しないようにしている。従って参照側電極
の電位が外部環境にかかわらず一定に維持され、測定側
電極で測定した被測定体の電位が確実に帯電量に比例す
るため、帯電量を正確に認識できるとともに、特に望ま
しい帯電量ゼロの状態を正確に把握できる。又本発明で
は装置本体自身を参照側電極として機能するようにする
こともでき（請求項２）、ほぼ同様にして正確に帯電量
を測定できる。
【図１】本発明の帯電測定装置の一実施例を示す概略
図。
図。
【図２】同じく他の実施例を示す概略図。
１ 帯電測定装置本体 ２ 外部端子 ３ ダイオード ４ 電位表示部 ５ 回路 ６ 測定側電極 ７ 参照側電極 ８ 絶縁体 ９ ノード 10 電源 11 被測定体
Claims (2)
- 【請求項１】 測定側電極と外部端子に接続された参照
側電極の一対の電極を有する帯電量測定装置において、
前記参照側電極と外部端子間に該外部端子から前記参照
側電極に向かう電流を遮断する素子を接続したことを特
徴とする帯電量測定装置。 - 【請求項２】 測定側電極と参照側電極の一対の電極を
有する帯電量測定装置において、前記参照側電極を該装
置本体により構成し、該装置本体と前記測定側電極間に
該装置本体から前記測定側電極に向かう電流を遮断する
素子を接続したことを特徴とする帯電量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11016896A JP3685542B2 (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 帯電量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11016896A JP3685542B2 (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 帯電量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09274061A true JPH09274061A (ja) | 1997-10-21 |
| JP3685542B2 JP3685542B2 (ja) | 2005-08-17 |
Family
ID=14528782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11016896A Expired - Lifetime JP3685542B2 (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 帯電量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3685542B2 (ja) |
-
1996
- 1996-04-05 JP JP11016896A patent/JP3685542B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3685542B2 (ja) | 2005-08-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0063213B1 (en) | Ph electrode | |
| US5557195A (en) | Method and apparatus for evaluating electrostatic discharge conditions | |
| KR100351694B1 (ko) | 전하측정장치 | |
| WO2006003777A1 (ja) | イオンバランスセンサ | |
| US4589970A (en) | Apparatus for selectively measuring ions in a liquid | |
| KR100259934B1 (ko) | 전하율 전위계 | |
| KR100329359B1 (ko) | 미소용량측정 시스템 및 프로빙 시스템 | |
| US6500317B1 (en) | Plating apparatus for detecting the conductivity between plating contacts on a substrate | |
| EP0139312A2 (en) | Apparatus for selectively measuring ions in a liquid | |
| KR20080010382A (ko) | 이온 컨트롤 센서 | |
| KR970013167A (ko) | 절연 게이트 전계 효과 트랜지스터의 평가 소자와 그를 이용한 평가 회로 및 평가방법 | |
| JPH09274061A (ja) | 帯電量測定装置 | |
| US6831469B2 (en) | Micropower apparatus for low impedance measurements | |
| JPH11287776A (ja) | 液体の純度監視方法 | |
| JP3506243B2 (ja) | プロービングシステム及び容量測定方法 | |
| JP2003156551A (ja) | 容量計の校正方法、校正用標準容量ボックス、静電容量の測定方法、容量測定用ボックス及び容量計 | |
| KR0140949B1 (ko) | 반도체 장치 및 반도체기판에 형성된 더미 바이폴라 트랜지스터의 전류 증폭율 측정용 장치 | |
| JP3143036B2 (ja) | 抵抗率測定回路 | |
| JPH11281688A (ja) | 定電流源および抵抗測定装置 | |
| US11693039B2 (en) | Electrostatic charge sensor with high impedance contact pads | |
| JPH0257904A (ja) | レーザー加工機ノズルの距離検出装置 | |
| JPH06201773A (ja) | プローバ | |
| SU1322516A1 (ru) | Устройство дл контрол параметров электризации ионизированного потока газа | |
| Horenstein et al. | Measurement of electrostatic fields, voltages, and charges | |
| SU1187101A1 (ru) | Устройство дл измерени номиналов электрических цепей |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040721 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041202 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050128 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050523 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050531 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080610 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090610 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090610 Year of fee payment: 4 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100610 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140610 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |