JPH09254144A - ワイヤーソー及び円柱形ワークを切断する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ワイヤーソーによって円柱形のワークを切断
する場合において、特に厚さばらつきの少ないウエーハ
を得ることができる、円柱形ワークを切断する方法及び
装置を提供する。 【解決手段】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切
断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化ま
たはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワー
クへ供給する切断用スラリーの粘度を変化させる、こと
を特徴とする円柱形ワークを切断する方法。および、円
柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形
ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のな
す角度の変化によりワークへ供給する切断用スラリーの
粘度を変化させる手段を備えた、ことを特徴とする円柱
形ワーク切断用ワイヤーソー。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンやガリウ
ム砒素に代表される半導体インゴット等の脆性材料の円
柱形ワークを切断してウエーハを形成する、ワイヤーソ
ー及びその切断する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤーソーは、複数のローラー間に螺
旋状に巻回され、ワークに対して互いに平行で一定ピッ
チの列となっているワイヤーに、半導体インゴット等の
円柱形ワークあるいは合成石英インゴット等の角形ワー
クを押圧し、該ワークとワイヤーとの間に砥粒を含む加
工液（以下スラリーと称す）を供給しながら、ワイヤー
を線方向に移動させて、該ワークをウエーハ状に切断す
る装置であって、一定の厚さのウエーハを多数枚（例え
ば数１００枚）同時に切断することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ワ
イヤーソーによる半導体インゴット等の円柱形ワークの
切断においては、上記合成石英インゴット等の角形ワー
クの切断と相違して、該円柱形ワークの切断開始時とワ
ーク中心部の切断時、そして切断終了時とでは、得られ
たウエーハの厚さが異なってしまうという問題がある。

【０００４】即ち、図１の（ａ）に示すように、切断開
始時及び終了時にはウエーハの厚さが相対的に薄くな
り、他方、ワーク中心部ではウエーハの厚さが相対的に
厚くなってしまう。すなわち、１枚のウエーハにおい
て、切断面の真ん中が凸となり、厚さばらつきが生じて
しまうという現象であり、この現象は１回の切断で得ら
れるウエーハのほとんど全てのウエーハに発生する。こ
の厚さばらつきの発生は、ワイヤーソーによる円柱形ワ
ークの切断に固有の問題であるとともに、切断される円
柱形ワークの直径の増大に伴ってこの厚さばらつきも大
きくなる傾向となるので、例えば厚さの均一性が特に要
求され、今後ますますデバイスの集積度が進み２００mm
や３００mm以上へと大直径化する、半導体シリコン単結
晶ウエーハの切断において特に問題となっている。

【０００５】本発明は上記の問題に鑑みてなされたもの
であり、ワイヤーソーによって円柱形のワークを切断す
る場合において、特に厚さばらつきの少ないウエーハを
得ることができる、円柱形ワークを切断する方法及び装
置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明の請求項１に記載した発明は、ワイヤーソーを用い
て円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワー
クの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角
度の変化によりワークへ供給する切断用スラリーの粘度
を変化させることを特徴とする。このように、ワークに
供給する切断用スラリーの粘度を変化させることによっ
て、ワークに対する仕事量が一定になるように調整し、
切断されるウエーハの厚さを均一にすることができる。

【０００７】また、本発明の請求項２に記載した発明
は、請求項１に記載の円柱形ワークを切断する方法であ
って、前記円柱形ワークの切断長の増加とともにスラリ
ーの粘度を増加させ、次いで切断長の減少とともにスラ
リーの粘度を減少させることを特徴とする。このよう
に、円柱形ワークの切断長に応じてスラリーの粘度を増
減することによって、円柱形のワークを均一な厚さ分布
で切り出すことができる。

【０００８】さらに、本発明の請求項３に記載した発明
は、請求項１または請求項２のいずれか一項に記載の円
柱形ワークを切断する方法であって、前記スラリーの粘
度の変化率の大きさを、切断開始時から円柱形ワーク中
心部切断時までのスラリー粘度増加率と比べ、円柱形ワ
ーク中心部切断時から切断終了時までのスラリー粘度減
少率を小さくすることを特徴とする。このように、円柱
形ワークの切断開始時から中心部切断時までと、円柱形
ワークの中心部切断時から切断終了時までとで、スラリ
ーの粘度の増減率を変えることによって、より厚さ分布
の均一化を図ることができる。

【０００９】また、本発明の請求項４に記載した発明
は、請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の円
柱形ワークを切断する方法であって、前記スラリーの粘
度の変化は、粘度調整剤をスラリータンクに添加するこ
とにより行うことを特徴とする。そして、このスラリー
の粘度調整剤は水を用いることができ（請求項５）、ま
たスラリーのクーラント成分は水溶性であることが望ま
しい（請求項６）。このように、粘度の変化は粘度調整
剤をスラリータンクに添加することで、簡単に調整する
ことができるし、その場合に粘度調整剤を水とし、スラ
リーのクーラント成分を水溶性とすれば、スラリーの粘
度を確実にかつ安価で調整制御することができる。

【００１０】本発明にかかる円柱形ワーク切断用ワイヤ
ーソーは、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤ
ーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへ供給す
る切断用スラリーの粘度を変化させる手段を備えたこと
を特徴とする（請求項７）。このような特徴を有するワ
イヤーソーによって初めて、請求項１〜請求項６の方法
を実施することができ、厚さの均一なウエーハを切り出
すことができる。

【００１１】そして、前記切断用スラリーの粘度を変化
させる手段は、少なくともスラリー粘度検出器および粘
度調整剤の流量制御器を具備し、スラリータンク内のス
ラリー粘度を検出し、その値に応じて粘度調整剤のスラ
リータンクに送給する流量を制御するものとされる（請
求項８）。ここで、前記スラリータンク内のスラリー粘
度の検出は、質量流量計または電気伝導度の測定による
ことが望ましく（請求項９）、また前記粘度調整剤の流
量制御器としては、電磁弁または流量計を用いることが
でき（請求項１０）、さらに、前記スラリーの粘度調整
剤としては水を用いることができる（請求項１１）。こ
の場合、スラリータンクにはスラリーを撹拌する手段を
設け、スラリータンク内のスラリーの粘度を均一にする
のが望ましい（請求項１２）。

【００１２】以下、本発明を更に詳述する。本発明者
は、前記円柱形ワークを切断する場合に、厚さのばらつ
きが発生する原因を調査、検討した結果、半導体インゴ
ット等の円柱形ワークの切断においては、該円柱形ワー
クの切断開始時とワーク中心部の切断時、そして切断終
了時とでは、ワイヤーとワークとの接触長さ、即ち切断
長が異なるため、ワイヤー及びスラリーのワークに対す
る仕事量が異なるようになるのではないかと考えた。即
ち、切断開始時及び終了時には切断長が短いために、ワ
イヤー及びスラリーのワークに対する仕事量が相対的に
多くなり、その結果切断時の切削代が多くなるために、
ウエーハの厚さが薄くなってしまうのである。他方、ワ
ーク中心部では切断長が長くなるために、ワークに対す
る仕事量が相対的に少なくなり、その結果切断時の切削
代が少なくなるために、ウエーハの厚さが厚くなってし
まうものと考えられる。

【００１３】また、ワイヤーとワーク外周のなす角度は
切断開始時からワーク中心部までは鋭角であり、ワーク
中心部から切断終了時までは鈍角となる。特に、切断開
始時にはワイヤーとワーク外周とのなす角度が鋭く楔形
状となるため、切断加工部にはスラリーが容易に引き込
まれる。これに対してワーク中心部から切断終了時にか
けてはワイヤーとワーク外周とのなす角度が鈍角となる
ため、切断加工部へのスラリーの引き込みが悪化する傾
向にある。このため、切断開始時にはワイヤー及びスラ
リーのワークに対する仕事量が特に多くなり、その結果
切断開始時の切削量は特に多くなるために、ウエーハの
厚さが、切断長がほぼ等しい切断終了時よりも薄くなっ
てしまい、前記図１（ａ）のような形状のウエーハが切
り出されてしまうものと考えられる。

【００１４】本発明者は、切断長の長短あるいはワイヤ
ーとワーク外周のなす角度の変化に係わらず、円柱形ワ
ークに対する仕事量を一定にすることでウエーハの厚さ
ばらつきを抑制することを着想し、ワークに対する仕事
量を一定にするためには、ワークの切断長またはワイヤ
ーとワーク外周のなす角度の変化に応じて、スラリーの
粘度を変化させることが有効であることを確認して本発
明を完成させた。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を参照して説明するが、本発明はこれらに限定されるも
のではない。ここで、図１はワイヤーソーにより切断さ
れたウエーハの断面形状を示す概念図であり、（ａ）は
従来の装置及び方法により切断したウエーハを、（ｂ）
は本発明の装置及び方法により切断したウエーハを示
す。また、図２はワイヤーソーの概要図である。図３は
本発明の実施形態におけるワイヤーソーの断面を示す概
略図である。図４は本発明のワイヤーソーのスラリーの
循環系も含めた断面を示す概要図である。

【００１６】まず、図２はワイヤーソーの概略の構成を
示す概要図である。このワイヤーソーは、それぞれトル
クモーター２４、３４で駆動される２つのワイヤー巻き
取りドラム２２と３２に巻かれたワイヤー１２が、３本
のローラー１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの間で螺旋状に巻か
れており、２本のローラー１０Ａと１０Ｂとの間ではワ
イヤー１２は一定のピッチで互いに平行となっていて、
この部分でワークが切断されるようになっている。ま
た、例えば下方のローラー１０Ｃに接続される駆動モー
ター７で該ローラー１０Ｃを回転駆動することによっ
て、ワイヤー１２を所定速度で移動できるようになって
いる。そして、ワイヤー１２がワイヤー巻き取りドラム
２２から他方のワイヤー巻き取りドラム３２へ、もしく
はその逆方向に、張力調節機構２０、３０を介して所定
の線速で巻き取られる時に、図示しない切断用スラリー
供給装置からスラリーをワイヤー１２を介してワーク切
断部に供給しつつ、ワークホルダー４２に保持された円
柱形ワーク４０を２本のローラー１０Ａと１０Ｂとの間
のワーク切断部に押圧することによって、ワーク４０が
切断される。

【００１７】また、図３は図２のワイヤーソーをＡ方向
から見た、本発明の実施形態を示した断面概略図であ
る。切断用スラリーは、２本のローラー１０Ａと１０Ｂ
の中心線の直上にある、スラリー供給ノズル５０Ａ、５
０Ｂから供給される。円柱形ワークの切断時には、ワイ
ヤー１２がローラー１０Ａからローラー１０Ｂの方向に
送られているときには、スラリーは供給ノズル５０Ａか
ら供給され、その逆方向に送られているときにはスラリ
ーは供給ノズル５０Ｂから供給される。スラリー供給ノ
ズル５０Ａと５０Ｂとは、ローラー１０Ａあるいは１０
Ｂの長手方向に多数のノズルが配置されており、スラリ
ーの流れがカーテン状になるようになっている。

【００１８】次に、図４はスラリーの循環系も含めたワ
イヤーソーの断面概要図である。この装置では、円柱形
ワークの切断時にはスラリータンク６０に貯留された切
断用スラリー６２はポンプ６６で増圧され、スラリー供
給配管６４を通ってスラリー供給ノズル５０Ａあるいは
５０Ｂからワイヤー１２に供給され、ワーク４０の切断
に供せられる。ワーク４０の切断部やワイヤー１２等か
ら飛散したスラリーは、ワイヤーソーカバー７０の底部
に集められ、スラリー回収配管７２によってスラリータ
ンク６０に回収され、再びスラリー供給配管６４を通っ
てワーク４０の切断部に送給される循環系を形成してい
る。

【００１９】スラリータンク６０にはスラリー粘度検出
器６１が設けられている。粘度調整剤は粘度調整剤タン
ク８０から粘度調整剤供給配管８２によりスラリータン
ク６０に供給されるが、配管８２には電磁弁８４が設け
られており、この電磁弁８４を前記スラリー粘度検出器
６１により検出されたスラリー粘度およびワークの切断
長あるいはワイヤーとワーク外周とのなす角度に応じて
開閉度を調整制御することで、スラリータンク内のスラ
リー粘度の調整を行うことができるようになっている。
このスラリー粘度の調整は、粘度信号と切断長の移動位
置確認用エンコーダーの出力を変換器により処理して、
電磁弁８４を開閉することにより行うことができる。粘
度検出器６１としては、一般に用いられている粘度計を
用いればよいが、これは質量流量計あるいは電気伝導度
の測定により粘度を求めることが好ましい。これは、こ
れらの方法によれば、いわゆるオンライン粘度測定が可
能となり、スラリー粘度の制御、管理が、正確にかつ容
易にできるからである。

【００２０】そして、供給される粘度調整剤とスラリー
を混合させ、スラリータンク６０内のスラリー粘度を均
一にするために、スラリータンク６０内にスラリー撹拌
器６３を設けることが好ましい。この撹拌手段について
も、一般に用いられている手法によればよく、例えば撹
拌棒をスラリー６２中に浸漬し、モータで回転させる回
転機構をはじめ、揺動機構、振動機構等を用いればよ
い。また、切断長の検出はワイヤー１２に対するワーク
４０の位置関係から検出することができ、例えば、ワー
クホルダー４２をワイヤー１２に押圧した距離と、ワー
クの直径から簡単に割り出すことができる。

【００２１】切断用スラリーは通常図４のように循環し
て使用されるが、ワークの切断時に発生する熱のために
スラリー中の水分が蒸発し、スラリータンク６０に回収
されたスラリーは粘度が非常に高いものになっている。
ここで、スラリー中に含まれる成分のうち研磨砥粒とク
ーラント成分は、前者は固体であるのでほぼ全量が回収
され、後者は不揮発性であるためこれもほぼ全量が回収
される。従って、スラリーの成分の中で切断時に失われ
るのは、媒体となっている水だけである。

【００２２】したがって、粘度調整剤として水を用いれ
ば、スラリー中の水分量を調整することによって、スラ
リー粘度の調整が可能となる。すなわち、粘度調整剤タ
ンク８０から送給される粘度調整剤としての水の量を制
御することによって、スラリータンク６０内のスラリー
の粘度を、自在に調整制御することができる。そして、
このように粘度調整剤を水とした場合には、これと均一
に混合されるようにスラリーのクーラント成分は水溶性
とするのが好ましい。

【００２３】そして、スラリーの粘度が上がれば、スラ
リーがワイヤーに巻きつきやすく、ワーク切断部にスラ
リーが引き込まれ易くなり、結果として多くのスラリー
がワーク切断部に供給されるようになり、ワークに対す
る仕事量が増加することになる。一方、スラリーの粘度
が下がれば、逆の効果を奏することとなる。

【００２４】本発明ではこのスラリーの粘度調整を、ワ
ークの切断長の変化及びワイヤーとワーク外周とのなす
角度に応じて行うことにより、切断されたウエーハの厚
さばらつきを低減するものである。すなわち、スラリー
粘度の変化のパターン例を図５に示すが、ワーク４０の
切断開始時にはスラリーの粘度を最も低くし、切断長の
増加に伴ってスラリーの粘度を増加させ、ワーク中心部
の切断時にはスラリーの粘度が最も高くなるようにし、
次いで切断長の減少に伴ってスラリーの粘度を減少させ
る。

【００２５】そして、このスラリーの粘度の変化パター
ンは、切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時まで
のスラリー粘度増加率に比べ、円柱形ワークの中心部切
断時から切断終了時までのスラリー粘度減少率を小さく
するようにしている。これは前記図１（ａ）で示したよ
うに、円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時まで
の方が、切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時ま
でに比べ、ワイヤー及びスラリーのワークに対する仕事
量が相対的に減少することに対応したものである。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例、比較例をあげる。 （実施例）本発明のワイヤーソーを用いて直径が約２０
０mmの半導体シリコン単結晶インゴットの切断を行っ
た。図５に示すようなスラリー粘度のパターンで行った
が、このパターンは切断開始時のスラリー粘度を３５ｍ
Ｐａ・ｓとし、ワーク切断長の増加とともにスラリー粘
度を増加させ、インゴット中心部の切断時にはスラリー
粘度を１００ｍＰａ・ｓとし、次いで切断長の減少とと
もにスラリー粘度を減少させ、切断終了時には６０ｍＰ
ａ・ｓと変化させたものである。この条件でインゴット
１０本の切断を行い、約２５００枚のウエーハを切り出
した。得られたウエーハの厚さを図６に示すようにウエ
ーハ中心と周辺部（各方向で周辺から３mm）４点の計５
点で測定し、最大値と最小値の差ＴＶ５を求めた。

【００２７】（比較例１）スラリー粘度を切断開始時に
６０ｍＰａ・ｓとして調整したが、切断開始後にはスラ
リー粘度の調整を一切行わなかった他は実施例と同様に
して、直径が約２００mmの半導体シリコン単結晶インゴ
ットの切断を行った。切断したインゴットは５本であ
り、約１０００枚のウエーハを切り出した。得られたウ
エーハの厚さを上記同様図６に示すように、ウエーハ中
心と周辺部（各方向で周辺から３mm）４点の計５点で測
定し、最大値と最小値の差ＴＶ５を求めた。

【００２８】（比較例２）スラリー粘度を切断開始時に
８０ｍＰａ・ｓとして調整し、切断開始から終了までス
ラリー粘度を８０ｍＰａ・ｓに保ちながら行った他は実
施例と同様にして、直径が約２００mmの半導体シリコン
単結晶インゴットの切断を行った。切断したインゴット
は５本であり、約１０００枚のウエーハを切り出した。
得られたウエーハの厚さを上記同様図６に示すように、
ウエーハ中心と周辺部（各方向で周辺から３mm）４点の
計５点で測定し、最大値と最小値の差ＴＶ５を求めた。

【００２９】実施例及び比較例１、比較例２で得られた
結果をまとめて表１に示す。

【表１】

【００３０】本発明の方法および装置によって切断され
たウエーハの断面形状は、図１（ｂ）のようになり、従
来および比較例で切断されたウエーハのごとき、切断面
が真ん中凸となる図１（ａ）に比し、著しい改善がみら
れた。そして、表１からわかるように、本発明によれ
ば、ウエーハ面内の厚さばらつきの指標であるＴＶ５が
比較例に比べて大きく低減される。さらにまた、図１
（ｂ）に示したように切断面が均一でスムースとなるた
めか、ウエーハの割れ発生率も大幅に改善された。した
がって、本発明によれば、厚さのばらつきの改善のみな
らず、切断歩留、生産性も向上させることができる。

【００３１】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明
の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同
一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いか
なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００３２】例えば、本発明で言う「円柱形ワーク」と
は、完全に切断面が円である柱状ワークのみを言うもの
ではなく、切断面が楕円であったり、あるいは円ではあ
るが、一部切り欠き部（いわゆる、オリエンテーション
フラット）がある場合等も含むものであり、切断の進行
と共に切断長あるいはワイヤーとワーク外周のなす角度
が変化するワークの切断であれば、その形態に応じて適
宜スラリー粘度のパターンを変更して、上記同様に適用
できる。

【００３３】また、上記実施形態では、粘度調整剤とし
て水を用いた場合につき例を挙げて説明したが、本発明
はこれには限定されず、他の溶剤、例えば種々の有機溶
媒等を用いることもできる。

【００３４】また、上記実施形態では、粘度調整剤の送
給量を調整するのに電磁弁を用いた場合につき例を挙げ
て説明したが、本発明はこれには限定されず、粘度調整
剤の送給量を調整制御することができるものであれば、
他の一般的に用いられている種々の弁、あるいは種々の
流量計等を用いることもできる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソー及び円柱形ワークの切断方法では、ワークに供給す
るスラリーの粘度を円柱形ワークの切断長またはワイヤ
ーとワーク外周のなす角度に応じて変化させることによ
り、ウエーハ面内の厚さばらつきが大きく改善されるの
みならず、副次的な効果として切断時のウエーハの割れ
発生率が低減され、切断歩留、生産性の改善をも図るこ
とができる。よって、本発明の産業界における利用価値
は、すこぶる高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤーソーにより切断されたウエーハの断面
形状を示す概念図であり、（ａ）は従来の装置及び方法
により切断したウエーハを、（ｂ）は本発明の装置及び
方法により切断したウエーハを示す。

【図２】ワイヤーソーの概要図である。

【図３】本発明の実施形態におけるワイヤーソーの断面
を示す概略図である。

【図４】本発明のワイヤーソーのスラリーの循環系も含
めた断面を示す概要図である。

【図５】本発明の実施形態を示すものであり、円柱形ワ
ークの切断時におけるスラリー粘度の変化パターンを示
す図である。

【図６】切断後のウエーハの厚さ測定位置を示す図であ
る。

【符号の説明】

７…駆動モーター、 １０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…ローラー、 １２…ワイヤー、 ２０、３０…張力調節機構、 ２２、３２…ワイヤー巻き取りドラム、 ２４、３４…トルクモーター、 ４０…円柱形ワーク、 ４２…ワークホルダー、 ５０Ａ、５０Ｂ…スラリー供給ノズル、 ６０…スラリータンク、 ６１…スラリー粘度検出器、 ６２…切断用スラリー、 ６３…スラリー撹拌機、 ６４…スラリー供給配管、 ６６…ポンプ、 ７０…ワイヤーソーカバー、 ７２…スラリー回収配管、 ８０…粘度調整剤タンク、 ８２…粘度調整剤供給配管、 ８４…電磁弁。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 外山 公平 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150 信越半導体株式会社白河工場内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切
   断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化ま
   たはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワー
   クへ供給する切断用スラリーの粘度を変化させる、こと
   を特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
2. 【請求項２】 前記円柱形ワークの切断長の増加ととも
   にスラリーの粘度を増加させ、次いで切断長の減少とと
   もにスラリーの粘度を減少させる、ことを特徴とする請
   求項１に記載の円柱形ワークを切断する方法。
3. 【請求項３】 前記スラリーの粘度の変化率の大きさ
   を、切断開始時から円柱形ワーク中心部切断時までのス
   ラリー粘度増加率と比べ、円柱形ワーク中心部切断時か
   ら切断終了時までのスラリー粘度減少率を小さくする、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか一
   項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
4. 【請求項４】 前記スラリーの粘度の変化は、粘度調整
   剤をスラリータンクに添加することにより行う、ことを
   特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記
   載の円柱形ワークを切断する方法。
5. 【請求項５】 前記スラリーの粘度調整剤は水である、
   ことを特徴とする請求項４に記載の円柱形ワークを切断
   する方法。
6. 【請求項６】 前記スラリーのクーラント成分が水溶性
   である、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のい
   ずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
7. 【請求項７】 円柱形ワークを切断するワイヤーソーに
   おいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤー
   とワーク外周のなす角度の変化によりワークへ供給する
   切断用スラリーの粘度を変化させる手段を備えた、こと
   を特徴とする円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
8. 【請求項８】 前記切断用スラリーの粘度を変化させる
   手段は、少なくともスラリー粘度検出器および粘度調整
   剤の流量制御器を具備し、スラリータンク内のスラリー
   粘度を検出し、その値に応じて粘度調整剤のスラリータ
   ンクに送給する流量を制御するものである、ことを特徴
   とする請求項７に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソ
   ー。
9. 【請求項９】 前記スラリータンク内のスラリー粘度の
   検出は、質量流量計または電気伝導度の測定による、こ
   とを特徴とする請求項８に記載の円柱形ワーク切断用ワ
   イヤーソー。
10. 【請求項１０】 前記粘度調整剤の流量制御器は、電磁
    弁または流量計による、ことを特徴とする請求項８また
    は請求項９のいずれか一項に記載の円柱形ワーク切断用
    ワイヤーソー。
11. 【請求項１１】 前記スラリーの粘度調整剤は水であ
    る、ことを特徴とする請求項８ないし請求項１０のいず
    れか一項に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
12. 【請求項１２】 スラリータンクにスラリーを撹拌する
    手段を設けた、ことを特徴とする請求項７ないし請求項
    １１のいずれか一項に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤ
    ーソー。