JPH09252018A - Method for molding resin sealing of electronic component - Google Patents

Method for molding resin sealing of electronic component

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JPH09252018A
JPH09252018A JP8087569A JP8756996A JPH09252018A JP H09252018 A JPH09252018 A JP H09252018A JP 8087569 A JP8087569 A JP 8087569A JP 8756996 A JP8756996 A JP 8756996A JP H09252018 A JPH09252018 A JP H09252018A
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resin
mold
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lead frame
electronic component
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道男 長田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the entry of moisture through a space between a molded resin sealing and a lead frame by improving the contact between the resin sealing molded in a cavity of a mould and the lead frame. SOLUTION: An electronic component covered with a lead frame 6 is fitted in cavities 3 and 4 of a mould. A resin material melted by heat is injected and charged in the mould cavities 3 and 4, is subject to a predetermined resin pressure, is pressed against the lead frame 6 and molded in the mould cavities 3 and 4 by compressed air supplied from the outside to form a moulded resin sealing. The contact between the molded resin sealing 7 and the lead frame.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、リードフレ
ームに装着したIC、LSI、ダイオード、コンデンサ
ー等の電子部品を樹脂材料にて封止成形する電子部品の
樹脂封止成形方法の改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a resin encapsulation method for an electronic component in which an electronic component such as an IC, an LSI, a diode, and a capacitor mounted on a lead frame is encapsulated with a resin material. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、トランスファモールド法によ
って電子部品を樹脂封止成形することが行われている
が、この方法は、通常、電子部品の樹脂封止成形用金型
装置を用いて、次のようにして行われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, electronic parts have been resin-molded by a transfer molding method. However, this method is usually performed by using a resin molding apparatus for electronic parts. It is done like this.

【0003】即ち、予め、上記した金型装置における固
定上型及び可動下型を加熱手段にて樹脂成形温度にまで
加熱すると共に、上記した上下両型を型開きする。次
に、電子部品を装着したリードフレームを下型の型面に
おける所定位置に供給セットすると共に、樹脂材料を下
型ポット内に供給する。次に、上記下型を上動して、該
上下両型を型締めする。このとき、電子部品とその周辺
のリードフレームは、該上下両型の型面に対設した上下
両キャビティ内に嵌装セットされることになり、また、
上記ポット内の樹脂材料は加熱されて順次に溶融化され
ることになる。次に、上記ポット内で加熱溶融化された
樹脂材料をプランジャにて加圧することにより樹脂通路
を通して該溶融樹脂材料を上記上下両キャビティに注入
充填させると、該両キャビティ内の電子部品とその周辺
のリードフレームは、該両キャビティの形状に対応して
成形される樹脂封止成形体(モールドパッケージ)内に
封止されることになる。従って、上記溶融樹脂材料の硬
化に必要な所要時間の経過後に、上記上下両型を型開き
すると共に、上記上下両キャビティ内の樹脂封止成形体
とリードフレーム及び樹脂通路内の硬化樹脂を該両型に
設けられたエジェクターピンにより夫々離型するように
している。
That is, in advance, the fixed upper mold and the movable lower mold in the above-mentioned mold apparatus are heated to the resin molding temperature by the heating means, and the upper and lower molds are opened. Next, the lead frame on which the electronic component is mounted is supplied and set at a predetermined position on the lower mold surface, and the resin material is supplied into the lower mold pot. Next, the lower mold is moved upward to clamp the upper and lower molds. At this time, the electronic component and the lead frame around it are fitted and set in the upper and lower cavities facing the mold surfaces of the upper and lower dies,
The resin material in the pot is heated and melted sequentially. Next, the resin material heated and melted in the pot is pressurized by a plunger to inject and fill the molten resin material into the upper and lower cavities through a resin passage. The lead frame is sealed in a resin-sealed molded body (mold package) molded according to the shapes of the two cavities. Therefore, after the required time required for curing the molten resin material has elapsed, the upper and lower molds are opened, and the resin sealing molded body in the upper and lower cavities and the cured resin in the lead frame and the resin passage are removed. Ejector pins provided on both molds release the mold.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た金型キャビティ内に加熱溶融化された樹脂材料を注入
充填すると共に、上記プランジャにて上記した金型キャ
ビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹脂圧(樹脂加
圧力)を加えるように構成されているものの、上記した
金型キャビティ内で成形された樹脂封止成形体とリード
フレームとの間の接着力(密着性)が弱く、従って、上
記した樹脂封止成形体とリードフレームとの間に間隙が
形成され易い。即ち、上記した間隙から水分が浸入して
上記樹脂封止成形体の内部に封止された電子部品の機能
を阻害して製品(樹脂封止成形体)の品質性及び信頼性
を損なうと云う問題がある。
However, the above-described mold cavity is filled with the resin material that has been melted by heating, and the plunger is used to fill the resin that has been filled into the mold cavity with a predetermined amount. Although it is configured to apply a resin pressure (resin pressing force), the adhesive force (adhesion) between the resin sealing molded body molded in the mold cavity and the lead frame is weak, and therefore, A gap is easily formed between the above-mentioned resin-sealed molded body and the lead frame. That is, it can be said that water penetrates through the above-mentioned gap to impede the function of the electronic component sealed inside the resin-sealed molded body and impairs the quality and reliability of the product (resin-sealed molded body). There's a problem.

【0005】従って、本発明は、金型キャビティ内で成
形される樹脂封止成形体とリードフレームとの密着性を
向上させることができる電子部品の樹脂封止成形方法を
提供することを目的とする。また、本発明は、金型キャ
ビティ内で成形される樹脂封止成形体とリードフレーム
との密着性を向上させることにより上記した樹脂封止成
形体とリードフレームとの間に間隙が形成されるのを阻
止すると共に、上記した樹脂封止成形体とリードフレー
ムとの間から水分が浸入することを防止して高品質性及
び高信頼性の製品を得ることを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of resin-encapsulating and molding an electronic component, which can improve the adhesion between a resin-encapsulated molded article molded in a mold cavity and a lead frame. I do. Further, according to the present invention, a gap is formed between the above-described resin-sealed molded article and the lead frame by improving the adhesion between the resin-sealed molded article and the lead frame molded in the mold cavity. It is another object of the present invention to obtain a high quality and highly reliable product by preventing moisture from entering from between the above-mentioned resin-sealed molded body and the lead frame.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記したような技術的課
題を解決するための本発明に係る電子部品の樹脂封止成
形方法は、固定型及び可動型の型面に対設された金型キ
ャビティ内にリードフレームに装着された電子部品を嵌
装セットして上記金型キャビティ内に加熱溶融化された
樹脂材料を注入充填すると共に、上記金型キャビティ内
の電子部品とその周辺のリードフレームを該金型キャビ
ティの形状に対応した樹脂封止成形体内に封止成形する
電子部品の樹脂封止成形方法であって、上記した金型キ
ャビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加え
た後、上記した金型キャビティ内の樹脂をその外部から
上記リードフレーム面に押圧すると共に、上記した樹脂
封止成形体とリードフレームとの密着性を向上させるよ
うに構成したことを特徴とする。
A resin encapsulation molding method for an electronic component according to the present invention for solving the above-mentioned technical problems includes a mold provided opposite to a mold surface of a fixed mold and a movable mold. The electronic component mounted on the lead frame is fitted and set in the cavity, and the resin material which is heated and melted is injected and filled in the mold cavity, and the electronic component in the mold cavity and the lead frame around it A method for resin-sealing an electronic component, wherein a resin is molded into a resin-molded body corresponding to the shape of the mold cavity, wherein a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity. After the addition, the resin in the mold cavity is pressed against the lead frame surface from the outside, and the adhesion between the resin-molded body and the lead frame is improved. And it features.

【0007】また、上記した技術的課題を解決するため
の本発明に係る電子部品の樹脂封止成形方法は、上記し
た金型キャビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹脂
圧を加えた後、上記した金型キャビティ内の樹脂に圧縮
空気を圧送することにより上記した金型キャビティ内の
樹脂をその外部からリードフレーム面に押圧することを
特徴とする。
Further, in order to solve the above-mentioned technical problems, the method for resin-sealing and molding an electronic component according to the present invention is a method in which a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity. It is characterized in that the resin in the mold cavity is pressed against the lead frame surface from the outside by sending compressed air to the resin in the mold cavity.

【0008】上記した技術的課題を解決するための本発
明に係る電子部品の樹脂封止成形方法は、上記した金型
キャビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加
えた後、上記した金型キャビティ内に該金型キャビティ
の形状に沿って被覆した状態で張設された離型フィルム
に圧縮空気を圧送することにより該離型フィルムを介し
て該金型キャビティ内の樹脂をその外部からリードフレ
ーム面に押圧することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned technical problems, a method for resin-molding an electronic component according to the present invention comprises: applying a predetermined resin pressure to the resin injected and filled in the mold cavity; Compressed air is pressure-fed to a mold release film stretched in the mold cavity so as to cover the mold cavity so that the resin in the mold cavity is removed through the mold release film. It is characterized in that the lead frame surface is pressed from the outside.

【0009】また、上記した技術的課題を解決するため
の本発明に係る電子部品の樹脂封止成形方法は、上記し
た金型キャビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹脂
圧を加えた後、金型キャビティの底面部に設けられた押
圧部材にて該金型キャビティ内の樹脂をその外部からリ
ードフレーム面に押圧することを特徴とする。
Further, in the resin encapsulation molding method for an electronic component according to the present invention for solving the above-mentioned technical problem, after a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity described above. The pressing member provided on the bottom surface of the mold cavity presses the resin in the mold cavity from the outside against the lead frame surface.

【0010】上記した技術的課題を解決するための本発
明に係る電子部品の樹脂封止成形方法は、上記した金型
キャビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加
えた後、所定の低型締圧力にて型締めされた固定型及び
可動型を、更に、所定の高型締圧力にて型締めすること
により該金型キャビティ内の樹脂をその外部からリード
フレーム面に押圧することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned technical problems, a method of resin-sealing and molding an electronic component according to the present invention is such that a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity, and then a predetermined pressure is applied. The fixed mold and the movable mold, which are clamped at a low mold clamping pressure, are further clamped at a predetermined high mold clamping pressure to press the resin in the mold cavity from the outside against the lead frame surface. It is characterized by

【0011】また、上記した技術的課題を解決するため
の本発明に係る電子部品の樹脂封止成形方法は、固定型
及び可動型の型面に対設された金型キャビティ内にリー
ドフレームに装着された電子部品を嵌装セットすると共
に、上記金型キャビティの内底面に放熱板を止着し、上
記した金型キャビティ内に加熱溶融化された樹脂材料を
注入充填すると共に、上記金型キャビティ内の電子部品
とその周辺のリードフレームを該金型キャビティの形状
に対応した樹脂封止成形体内に封止成形する電子部品の
樹脂封止成形方法であって、上記金型キャビティ内に注
入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加えた後、上記金型
キャビティ内の樹脂をその外部から上記放熱板に圧縮空
気を圧送することにより該放熱板を介して該樹脂を上記
リードフレーム面に押圧すると共に、上記した樹脂封止
成形体とリードフレームとの密着性を向上させるように
構成したことを特徴とする。
In addition, in order to solve the above-mentioned technical problems, the method for resin-molding an electronic component according to the present invention is such that a lead frame is provided in a mold cavity opposite to a mold surface of a fixed mold and a movable mold. While fitting and setting the mounted electronic parts, a heat radiating plate is fixed to the inner bottom surface of the mold cavity, and the resin material that has been heated and melted is injected and filled into the mold cavity. A resin encapsulation molding method for an electronic component, comprising: encapsulating an electronic component in a cavity and a lead frame in the periphery thereof in a resin encapsulation molding body corresponding to the shape of the die cavity. After a predetermined resin pressure is applied to the filled resin, the resin in the mold cavity is forced out of the outside by compressed air to the heat radiating plate, so that the resin is passed through the heat radiating plate to move the resin to the lead frame surface. With pressing, characterized by being configured to enhance the adhesion between the resin-seal-molded body and the lead frame.

【0012】[0012]

【作用】本発明によれば、固定型及び可動型の型面に対
設された金型キャビティ内に加熱溶融化された樹脂材料
を注入充填すると共に、上記した金型キャビティ内に注
入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加えた後、上記した
金型キャビティ内に注入充填された樹脂に圧縮空気を圧
送することにより、上記金型キャビティ内の樹脂をその
外部から上記リードフレーム面に押圧することができ
る。即ち、上記金型キャビティ内に注入充填された樹脂
をその外部から上記リードフレーム面に押圧することが
できるので、上記した金型キャビティ内で成形される樹
脂封止成形体とリードフレームとの密着性を向上させる
ことができる。従って、上記した樹脂封止成形体とリー
ドフレームとの密着性を向上させることにより上記した
樹脂封止成形体とリードフレームとの間に間隙が形成さ
れるのを防止することができると共に、上記した樹脂封
止成形体とリードフレームとの間から水分が浸入するこ
とを防止することができる。
According to the present invention, the resin material that has been heated and melted is injected and filled into the mold cavities that are opposed to the mold surfaces of the fixed mold and the movable mold, and the mold cavities described above are also injected and filled. After a predetermined resin pressure is applied to the resin, compressed air is sent to the resin injected and filled in the mold cavity to press the resin in the mold cavity from the outside against the lead frame surface. can do. That is, since the resin injected into the mold cavity can be pressed against the lead frame surface from the outside, the close contact between the resin molding and the lead frame molded in the mold cavity can be achieved. Performance can be improved. Therefore, it is possible to prevent a gap from being formed between the resin-sealed molded body and the lead frame by improving the adhesion between the resin-sealed molded body and the lead frame, and It is possible to prevent moisture from intruding from between the formed resin molded article and the lead frame.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明を実施例図に基づいて詳細に説
明する。図1及び図2は、本発明に係る樹脂封止成形用
金型装置における金型要部を示しており、該金型は、固
定上型(固定型)1と、該固定上型1に対向配置した可
動下型(可動型)2とから構成されている。また、上記
した上型1側の型面には樹脂成形用の上型キャビティ3
が所要数設けられると共に、上記下型2側の型面には上
記上型キャビティ3に対向配置して樹脂成形用の下型キ
ャビティ4が夫々設けられている。また、上記した上下
両型1・2 には該両型を所定の温度にまで加熱する加熱手
段(図示なし)が設けられている。また、上記下型2側
に型面には樹脂材料供給用のポット(図示なし)が所要
数設けられると共に、該ポット内には樹脂加圧用のプラ
ンジャ(図示なし)が夫々嵌装されている。また、上記
下型2側には電子部品5を装着したリードフレーム6を
供給セットするセット用凹所2aが設けられると共に、該
下型2のキャビティ4には下型樹脂通路(図示なし)が
連通接続されている。また、上記した上型1側には、上
記プランジャにて該ポットから加圧移送される溶融樹脂
材料を受けて上型樹脂通路に分配するカル部(図示な
し)が設けられている。また、上下両型1・2 の型締時に
おいて、上記した上型樹脂通路と下型樹脂通路とは連通
接続されるように設けられると共に、上記したポットと
上下両キャビティ3・4 とは上記カル部と上記した上型樹
脂通路及び下型樹脂通路を通して連通するように設けら
れている。即ち、上記した金型ポット内で加熱溶融化さ
れた樹脂材料を上記プランジャにて加圧することによ
り、上記したカル部・上型及び下型樹脂通路を通して上
記金型キャビティ3・4 内に注入充填すると共に、上記し
たプランジャにて上記金型キャビティ3・4 内に注入充填
された樹脂に所定の樹脂圧を加えることができる。従っ
て、上記した金型キャビティ3・4 内に嵌装セットされた
電子部品5は該金型キャビティ3・4 の形状に対応する樹
脂封止成形体7内に封止成形されることになる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. 1 and 2 show a main part of a mold in a mold apparatus for resin encapsulation molding according to the present invention. The mold includes a fixed upper mold (fixed mold) 1 and a fixed upper mold 1. And a movable lower mold (movable mold) 2 which is arranged to face. Also, the upper mold cavity 3 for resin molding is provided on the mold surface on the upper mold 1 side.
And a lower mold cavity 4 for resin molding is provided on the mold surface on the lower mold 2 side so as to face the upper mold cavity 3. The upper and lower molds 1 and 2 are provided with a heating means (not shown) for heating the molds to a predetermined temperature. A required number of pots (not shown) for supplying a resin material are provided on the mold surface on the lower mold 2 side, and plungers (not shown) for pressing the resin are fitted in the pots. . A setting recess 2a for supplying and setting the lead frame 6 on which the electronic component 5 is mounted is provided on the lower die 2 side, and a lower resin passage (not shown) is formed in the cavity 4 of the lower die 2. Communication is established. The upper mold 1 is provided with a cull (not shown) for receiving the molten resin material pressurized and transferred from the pot by the plunger and distributing the molten resin material to the upper mold resin passage. In addition, when the upper and lower dies 1 and 2 are clamped, the upper resin passage and the lower resin passage are provided so as to be connected to each other, and the pot and the upper and lower cavities 3.4 are connected to each other. A cull portion is provided so as to communicate with the upper mold resin passage and the lower mold resin passage. That is, by pressurizing the resin material heated and melted in the mold pot with the plunger, the resin material is injected and filled into the mold cavities 3 and 4 through the cull part, the upper mold and the lower mold resin passages. In addition, a predetermined resin pressure can be applied to the resin injected and filled into the mold cavities 3 and 4 by the plunger. Therefore, the electronic component 5 fitted and set in the mold cavities 3.4 is sealed and molded in the resin molded body 7 corresponding to the shape of the mold cavities 3.4.

【0014】また、上記上下両型1・2 には、上記した金
型キャビティ3・4 内に加熱溶融化された樹脂材料を注入
充填すると共に、上記した金型キャビティ3・4 内の樹脂
に所定の樹脂圧を加えた後、更に、該金型キャビティ3・
4 内の樹脂をその外部からリードフレーム6面に押圧す
ることにより、上記金型キャビティ3・4 内で成形される
樹脂封止成形体7とリードフレーム6との密着性を向上
させる押圧手段が設けられている。
The upper and lower molds 1 and 2 are filled with the resin material which has been heated and melted in the mold cavities 3 and 4 and the resin in the mold cavities 3 and 4 is filled. After applying a predetermined resin pressure, the mold cavity 3
A pressing means for improving the adhesiveness between the resin frame 7 and the lead frame 6 formed in the mold cavities 3.4 by pressing the resin in the mold 4 from the outside onto the surface of the lead frame 6. Is provided.

【0015】上記した押圧手段は、次のように構成され
ている。即ち、上記した上型1側においては、上記上キ
ャビティ3の内底面と連通する所要形状の通気孔8が所
要数設けられると共に、該通気孔8は所要の空気通路9
を通してコンプレッサ等の空気圧縮源10と連通接続さ
れ、上記空気圧縮源10から圧縮空気を上記した空気通路
9及び通気孔8を通して上記上キャビティ3内に圧送す
るように構成されている。従って、上記上キャビティ3
内の樹脂を上記圧送空気にて上記リードフレーム6の上
側の面に押圧することができる(図2参照)。また、上
記下型2側においては、上記上型1側と同様に、上記下
キャビティ4の内底面と連通する所要形状の通気孔12が
所要数設けられると共に、該通気孔12は所要の空気通路
9を通してコンプレッサ等の空気圧縮源10と連通接続さ
れ、上記空気圧縮源10から圧縮空気を上記した空気通路
9及び通気孔12を通して上記下キャビティ4内に圧送す
るように構成されている。従って、上記下キャビティ4
内の樹脂を上記圧送空気にて上記リードフレーム6の下
側の面に押圧することができる(図2参照)。
The pressing means described above is constructed as follows. That is, on the upper mold 1 side, a required number of ventilation holes 8 having a required shape communicating with the inner bottom surface of the upper cavity 3 are provided, and the ventilation holes 8 are provided with required air passages 9.
The compressor is connected to an air compression source 10 such as a compressor, and is configured to send compressed air from the air compression source 10 into the upper cavity 3 through the air passage 9 and the ventilation hole 8. Therefore, the upper cavity 3
The resin inside can be pressed against the upper surface of the lead frame 6 by the compressed air (see FIG. 2). Further, on the lower mold 2 side, similarly to the upper mold 1 side, a required number of ventilation holes 12 of a required shape communicating with the inner bottom surface of the lower cavity 4 are provided, and the ventilation holes 12 are provided with required air. It is connected to an air compression source 10 such as a compressor through a passage 9, and is configured to send compressed air from the air compression source 10 into the lower cavity 4 through the air passage 9 and the ventilation hole 12. Therefore, the lower cavity 4
The resin inside can be pressed against the lower surface of the lead frame 6 by the compressed air (see FIG. 2).

【0016】また、上記上型1側において、上記した通
気孔8に該通気孔8を開閉する開閉ピン11(バルブピ
ン)が嵌装されると共に、上記下型2側において、上記
通気孔12に該通気孔12を開閉する開閉ピン13が嵌装さ
れ、上記両型の開閉ピン11・13 は適宜な上下駆動機構
(図示なし)にて夫々上下動自在に設けられている。即
ち、上記上下両型1・2 において、上記上下駆動機構にて
上記した開閉ピン11・13 の先端面を上記上下両キャビテ
ィ3・4 の内底面と略面一となる位置にまで夫々移動させ
ると、該開閉ピン11・13 の先端部11a・13a によって上記
した通気孔8・12を夫々確実に遮閉することができるよう
に構成されている。この場合、上記上下キャビティ3・4
は、通常のキャビティと同じ機能・構成を備えると共
に、該上下キャビティ3・4 内と上記空気圧縮源10とは、
上記開閉ピン11・13 の先端部11a・13a によって確実に遮
断される構成となるため、上記圧縮空気が上記両キャビ
ティ3・4 内に夫々流入するのを防止することができる。
On the upper die 1 side, an opening / closing pin 11 (valve pin) for opening / closing the ventilation hole 8 is fitted in the ventilation hole 8 and, on the lower die 2 side, in the ventilation hole 12 side. An open / close pin 13 for opening / closing the vent hole 12 is fitted, and the open / close pins 11 and 13 of both types are vertically movable by an appropriate vertical drive mechanism (not shown). That is, in the upper and lower molds 1 and 2, the tip surfaces of the open / close pins 11 and 13 are moved by the vertical drive mechanism to positions substantially flush with the inner bottom surfaces of the upper and lower cavities 3.4. The opening / closing pins 11/13 are configured so that the above-described vent holes 8/12 can be reliably shut off by the tip portions 11a / 13a of the opening / closing pins 11/13, respectively. In this case, the upper and lower cavities 3 and 4
Has the same function and configuration as a normal cavity, and the upper and lower cavities 3 and 4 and the air compression source 10
Since the configuration is such that the shut-off pins 11 and 13 are reliably shut off by the tip portions 11a and 13a, the compressed air can be prevented from flowing into the cavities 3 and 4, respectively.

【0017】また、上記した開閉ピン11・13 の先端部11
a・13a は、上記した通気孔8・12 と上下両キャビティ3・
4 との連通孔8a・12aに対して夫々密に嵌合するように設
けられているが、上記開閉ピン11・13 自体は該通気孔8
・12 に対して夫々ルーズに嵌合するように設けられてい
る。また、上記上下駆動機構にて上記した開閉ピン11・1
3 を上記上キャビティ3・4とは反対側に夫々移動させる
と、上記開閉ピン11・13 の先端部11a・13a による上記通
気孔8(連通孔8a)及び通気孔12(連通孔12a )の遮閉
状態が夫々解かれて該通気孔8及び通気孔12を夫々開口
することができるように設けられている。
Further, the tip portion 11 of the opening / closing pins 11 and 13 described above.
a ・ 13a are the above-mentioned ventilation holes 8 ・ 12 and upper and lower cavities 3.
The opening / closing pins 11 and 13 themselves are provided so as to fit tightly into the communication holes 8a and 12a with the communication holes 8a and 12a.
・ It is provided to fit loosely with 12 respectively. In addition, the open / close pins 11 and 1 described above by the vertical drive mechanism are used.
3 is moved to the opposite side of the upper cavities 3 and 4, respectively, and the vent holes 8 (communication holes 8a) and the vent holes 12 (communication holes 12a) formed by the tip portions 11a and 13a of the open / close pins 11 and 13 are formed. The ventilation holes 8 and the ventilation holes 12 are provided so that the closed state can be released and the ventilation holes 8 and 12 can be opened.

【0018】即ち、上記上キャビティ3側において、上
記した上キャビティ3と圧縮空気源10側とが上記通気孔
8を通して連通接続されて構成されると共に、該通気孔
8(連通孔8a)から該上キャビティ3内に圧縮空気が圧
送されることになる(図2に示す図例では上記した上キ
ャビティ3の内底面側から下方向に圧縮空気が圧送され
る)。従って、上記上キャビティ3内の樹脂を上記圧送
空気による押圧力にて上記リードフレーム6の上側の面
に押圧することができると共に、上記上キャビティ3内
で成形される樹脂封止成形体7(の上部)と上記リード
フレーム6の上側の面及び電子部品5との密着性を向上
させることができる。また、上記下キャビティ4側にお
いて、上記した下キャビティ4と圧縮空気源10側とが上
記通気孔12を通して連通接続されて構成されると共に、
該通気孔12(連通孔12a )から該下キャビティ4内に圧
縮空気が圧送されることになる(図2示す図例では上記
した下キャビティ4の内底面側から上方向に圧縮空気が
圧送される)。従って、上記下キャビティ4内の樹脂を
上記した圧送空気による押圧力にて上記リードフレーム
6の下側の面に押圧することができるので、上記下キャ
ビティ4内で成形される樹脂封止成形体7(の下部)と
上記リードフレーム6の下側面との密着性を向上させる
ことができる。
That is, on the upper cavity 3 side, the upper cavity 3 and the compressed air source 10 side are configured to be connected and communicated with each other through the ventilation hole 8, and from the ventilation hole 8 (communication hole 8a) to Compressed air is pumped into the upper cavity 3 (in the example shown in FIG. 2, compressed air is pumped downward from the inner bottom surface side of the upper cavity 3 described above). Therefore, the resin in the upper cavity 3 can be pressed against the upper surface of the lead frame 6 by the pressing force of the compressed air, and the resin sealing molded body 7 ( Of the lead frame 6 and the upper surface of the lead frame 6 and the electronic component 5 can be improved. Further, on the lower cavity 4 side, the lower cavity 4 and the compressed air source 10 side are connected to each other through the ventilation holes 12 so as to be configured.
Compressed air is pumped into the lower cavity 4 from the ventilation hole 12 (communication hole 12a) (in the example shown in FIG. 2, compressed air is pumped upward from the inner bottom surface side of the lower cavity 4). ). Therefore, the resin in the lower cavity 4 can be pressed against the lower surface of the lead frame 6 by the pressing force of the compressed air, so that the resin sealing molded body molded in the lower cavity 4 can be formed. 7 (lower part) and the lower surface of the lead frame 6 can be improved in adhesion.

【0019】なお、図1及び図2に示すように、上記通
気孔8における上記上キャビティ3側の反対側におい
て、上記した通気孔8と開閉ピン11とは、常時、密に嵌
合しているためその外部と遮閉状態にて構成されてい
る。また、上記通気孔12における上記下キャビティ4側
の反対側おいて、上記通気孔8と同様に、常時、上記し
た通気孔12と開閉ピン13とは密に嵌合しているためその
外部と遮閉状態にて構成されている。また、上記上下キ
ャビティ3・4 内の樹脂の硬化後、上記した開閉ピン11・1
3 の先端部11a・13a を上記上下キャビティ3・4 内に夫々
突き出すことによって、該両キャビティ3・4 内で成形さ
れた樹脂封止成形体7を該両キャビティ3・4 内から離型
することができる。この場合、上記開閉ピン11・13 は、
所謂、エジェクターピンとしての離型作用を夫々有する
ことになる。
As shown in FIGS. 1 and 2, on the opposite side of the vent hole 8 from the side of the upper cavity 3, the vent hole 8 and the opening / closing pin 11 are always closely fitted. Therefore, it is configured in a closed state with the outside. Also, on the side opposite to the lower cavity 4 side of the ventilation hole 12, like the ventilation hole 8, the ventilation hole 12 and the opening / closing pin 13 are always tightly fitted. It is configured in a closed state. After the resin in the upper and lower cavities 3 and 4 is cured, the opening and closing pins 11 and 1
3 by projecting the tip portions 11a and 13a into the upper and lower cavities 3.4, respectively, thereby releasing the resin-sealed molded body 7 molded in the cavities 3.4 from the cavities 3.4. be able to. In this case, the open / close pins 11 and 13 are
Each has a so-called ejector pin releasing action.

【0020】従って、上記した樹脂封止成形用金型装置
による電子部品の樹脂封止成形は、通常、次のようにし
て行われる。即ち、予め、上記金型装置における固定上
型1及び可動下型2を加熱手段にて樹脂成形温度にまで
加熱すると共に、上記した上下両型1・2 を型開きする。
次に、電子部品5を装着したリードフレーム6を下型2
の型面における所定位置に供給セットすると共に、樹脂
材料を下型ポット内に供給する。次に、上記下型2を上
動して、該上下両型1・2 を型締めする。このとき、電子
部品5とその周辺のリードフレーム6は、該上下両型1・
2 の型面に対設した上下両キャビティ3・4 内に嵌装セッ
トされることになる。次に、上記金型ポットで加熱溶融
化された樹脂材料を上記プランジャにて加圧すると共
に、上記したカル部・上型及び下型樹脂通路を通して上
記加熱溶融化された樹脂材料を上記上下両キャビティ3・
4 内に注入充填する。このとき、上記したプランジャに
て上記金型キャビティ3・4 内に注入充填された樹脂に所
定の樹脂圧を加えることができる。また、上記金型キャ
ビティ3・4 内に注入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加
えた後、更に、上記押圧手段にて該金型キャビティ3・4
内の樹脂を加圧する。即ち、上記開閉ピン11・13 を移動
して上記金型キャビティ3・4 の内底面における上記通気
孔8・13を開口すると共に、上記圧縮空気源10から圧縮空
気を上記金型キャビティ3・4 に圧送し、上記金型キャビ
ティ3・4 内の樹脂を上記リードフレーム6面に押圧す
る。従って、上記金型キャビティ3・4 内の樹脂を上記リ
ードフレーム6面に押圧することができるので、上記金
型キャビティ3・4 内で成形される樹脂封止成形体7とリ
ードフレーム6及び電子部品5との密着性を向上させる
ことができる。なお、上記溶融樹脂材料の硬化に必要な
所要時間の経過後に、上記上下両型1・2 を型開きすると
共に、上記金型キャビティ3・4 内の樹脂封止成形体7と
リードフレーム6を該両型1・2 に設けられた開閉ピン11
・13 (エジェクターピン)により夫々離型することがで
きる。
Therefore, the resin encapsulation molding of an electronic component by the above-mentioned resin encapsulation molding die device is usually performed as follows. That is, the fixed upper mold 1 and the movable lower mold 2 in the mold apparatus are heated to the resin molding temperature by a heating means in advance, and the upper and lower molds 1 and 2 are opened.
Next, the lead frame 6 on which the electronic components 5 are mounted is attached to the lower mold 2.
The resin material is supplied and set at a predetermined position on the mold surface, and the resin material is supplied into the lower mold pot. Next, the lower mold 2 is moved upward, and the upper and lower molds 1 and 2 are clamped. At this time, the electronic component 5 and the lead frame 6 around it are connected to the upper and lower molds 1.
It is set in the upper and lower cavities 3 and 4 facing the mold surface of No. 2. Next, the resin material heated and melted in the mold pot is pressurized by the plunger, and the resin material heated and melted through the above-described cull / upper and lower resin passages is transferred to the upper and lower cavities. 3.
4 Fill and fill. At this time, a predetermined resin pressure can be applied to the resin injected and filled into the mold cavities 3 and 4 by the above-described plungers. Further, after a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavities 3 and 4, the mold cavities 3 and 4 are further applied by the pressing means.
Press the resin inside. That is, the opening / closing pins 11/13 are moved to open the ventilation holes 8/13 on the inner bottom surfaces of the mold cavities 3.4, and the compressed air is supplied from the compressed air source 10 to the mold cavities 3.4. To press the resin in the mold cavities 3 and 4 against the lead frame 6 surface. Therefore, the resin in the mold cavities 3 and 4 can be pressed against the surface of the lead frame 6, so that the resin sealing molded body 7 and the lead frame 6 and the Adhesion with the component 5 can be improved. After a lapse of time required for curing the molten resin material, the upper and lower molds 1 and 2 are opened, and at the same time, the resin molding 7 and the lead frame 6 in the mold cavities 3 and 4 are separated. Opening / closing pins 11 provided on both molds 1 and 2
・ 13 (Ejector pin) can be released separately.

【0021】また、図1及び図2に示す金型装置におい
て、上記した固定上型1及び可動下型2の型締圧力を所
定の低型締圧力及び所定の高低型締圧力の二段階に設定
することより、上記金型キャビティ3・4 内の樹脂を押圧
して上記樹脂封止成形体7とリードフレーム6及び電子
部品5との密着性を向上させることができる。即ち、上
記両型1・2 を所定の低型締圧力にて型締すると共に、上
記金型キャビティ3・4 内にリードフレーム6に装着され
た電子部品5を嵌装セットする。次に、上記下型ポット
内で加熱溶融化された樹脂材料を上記プランジャにて加
圧すると共に、該溶融樹脂材料を上記したカル部・上型
及び下型の樹脂通路を通して上記上下両キャビティ3・4
内に注入充填する。次に、上記した上下両キャビティ3・
4 内の樹脂に所定の樹脂圧を加えた後、上記上下両型1・
2 を、更に、所定の高低型締圧力にて型締めする。即
ち、上記所定の低型締圧力にて型締められた上下両型1・
2 を、更に、所定の高低型締圧力にて型締めすることに
より上記金型キャビティ3・4 の樹脂に圧力を加えること
ができると共に、上記金型キャビティ3・4 の樹脂を上記
リードフレーム面に押圧することができる。従って、上
記上下両キャビティ3・4 内で成形される樹脂封止成形体
7とリードフレーム6及び電子部品5との密着性を向上
させることができる。
Further, in the mold apparatus shown in FIGS. 1 and 2, the mold clamping pressure of the fixed upper mold 1 and the movable lower mold 2 described above is divided into a predetermined low mold clamping pressure and a predetermined high and low mold clamping pressure. By setting it, the resin in the mold cavities 3 and 4 can be pressed to improve the adhesion between the resin-sealed molded body 7 and the lead frame 6 and the electronic component 5. That is, the molds 1 and 2 are clamped at a predetermined low mold clamping pressure, and the electronic component 5 mounted on the lead frame 6 is fitted and set in the mold cavities 3.4. Next, the resin material heated and melted in the lower mold pot is pressurized by the plunger, and the molten resin material is passed through the above-described cull / upper mold and lower mold resin passages to form the upper and lower cavities 3. Four
Fill and fill. Next, the upper and lower cavities 3.
4 After applying the specified resin pressure to the resin inside,
2 is further clamped at a predetermined high and low mold clamping pressure. That is, both upper and lower molds 1 and 2 clamped at the predetermined low mold clamping pressure.
2 is further clamped at a predetermined high and low mold clamping pressure to apply pressure to the resin in the mold cavities 3 and 4 and to remove the resin in the mold cavities 3 and 4 from the lead frame surface. Can be pressed. Accordingly, it is possible to improve the adhesion between the resin-encapsulated molded body 7 formed in the upper and lower cavities 3 and 4 and the lead frame 6 and the electronic component 5.

【0022】次に、図3に示す樹脂封止成形用金型装置
について説明する。また、図3に示す金型装置の基本的
な構成は、図1及び図2に示す金型装置の構成と同じで
ある。即ち、図3に示す金型装置には、固定上型30と、
該固定上型30に対向配置した可動下型40とが設けられて
いる。また、図1及び図2に示す実施例と同様に、上記
上下両型30・40 の型面には樹脂成形用の上下両キャビテ
ィ31・41 が対設されると共に、上記上下両型30・40 の型
締時に、該上下両キャビティ31・41 内にリードフレーム
6に装着した電子部品を嵌装セットすることができる。
Next, the resin sealing molding die device shown in FIG. 3 will be described. The basic configuration of the mold apparatus shown in FIG. 3 is the same as the configuration of the mold apparatus shown in FIGS. That is, the mold apparatus shown in FIG.
A movable lower mold 40 facing the fixed upper mold 30 is provided. As in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, upper and lower cavities 31 and 41 for resin molding are provided on the mold surfaces of the upper and lower dies 30 and 40, respectively. When the mold is clamped, the electronic components mounted on the lead frame 6 can be fitted and set in the upper and lower cavities 31 and 41.

【0023】また、図3に示す金型装置には、図1及び
図2に示す実施例と同様に、上記した上下両キャビティ
31・41 内の樹脂を押圧する押圧手段が設けられている。
即ち、図1及び図2に示す実施例と同様に、上記した上
下両キャビティ31・41の内底面には通気孔33・43 が夫々
所要数設けられると共に、該通気孔33・43 には該通気孔
33・43 を開閉する開閉ピン32・42 が夫々嵌装され、ま
た、上記した通気孔33・43 は所要の空気通路50を通して
空気圧縮源(図示なし)と連通接続して構成されると共
に、上記した開閉ピン32・42 を移動して該通気孔33・43
を開口することにより、上記上下両キャビティ31・41 に
圧縮空気を圧送するように構成されている。
Further, in the mold device shown in FIG. 3, as in the embodiment shown in FIGS.
Pressing means for pressing the resin in 31 and 41 is provided.
That is, similarly to the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, a required number of ventilation holes 33 and 43 are provided on the inner bottom surfaces of the upper and lower cavities 31 and 41, respectively. Vent
Opening / closing pins 32/42 for opening / closing 33/43 are fitted respectively, and the above-mentioned ventilation holes 33/43 are connected to and connected to an air compression source (not shown) through a required air passage 50. By moving the opening / closing pins 32 and 42 described above, the ventilation holes 33 and 43 are moved.
The compressed air is fed to the upper and lower cavities 31 and 41 by opening.

【0024】また、図3に示す金型装置には、上記上下
両型30・40 の型面へ樹脂接触防止用離型フィルム51を供
給する離型フィルム供給機構52が設けられると共に、該
離型フィルム供給機構52は離型フィルム送出部53と、離
型フィルム巻取部54等とから構成され、該離型フィルム
送出部53に内装された離型フィルム51は制御機構(図示
なし)にて制御されると共に、該離型フィルム51を上記
上下両型30・40 の型面間に夫々自動的に供給されるよう
に構成されている。また、上記上下両型30・40 による樹
脂封止成形後、上記した型面間に供給されて離型フィル
ム51は上記離型フィルム巻取部54に自動的に巻き取られ
るように構成されている。また、この離型フィルム51
は、上記上下両型30・40 の型面に張架された状態で近接
して供給される。また、上記離型フィルム51は、少なく
とも上記上下両型30・40 の型面における両キャビティ31
・41 面に夫々供給される長尺状のフィルム部材である
が、該離型フィルムは、樹脂成形温度(例えば、 175度
C)に耐え得る耐熱性と、樹脂成形時の損傷を防止する
ために弾性変形し得る柔軟性、及び、成形後において樹
脂封止成形体から剥離させることができる樹脂との非接
着性(剥離性)とを備えたものであればよい。
The mold device shown in FIG. 3 is provided with a release film supply mechanism 52 for supplying a release film 51 for preventing resin contact to the mold surfaces of the upper and lower molds 30 and 40, and the release film supply mechanism 52 is provided. The mold film supply mechanism 52 is composed of a mold release film feeding section 53, a mold release film winding section 54, etc., and the mold release film 51 installed in the mold release film feeding section 53 is controlled by a control mechanism (not shown). The release film 51 is automatically supplied between the mold surfaces of the upper and lower molds 30 and 40, respectively. After the resin molding by the upper and lower molds 30 and 40, the mold release film 51 is supplied between the mold surfaces and is automatically wound by the mold release film winding section 54. I have. Also, this release film 51
Is supplied in close proximity to the upper and lower dies 30 and 40 in a state of being stretched over the mold surfaces. Further, the release film 51 is provided at least in the two cavities 31 on the mold surfaces of the upper and lower molds 30 and 40.
• The release film is a long film member supplied to each of the 41 surfaces. The release film has heat resistance to withstand the resin molding temperature (for example, 175 ° C) and prevents damage during resin molding. Any material may be used as long as it has flexibility that can be elastically deformed and non-adhesiveness (peelability) with a resin that can be peeled off from the resin-sealed molded article after molding.

【0025】また、図3に示す金型装置において、上記
空気通路50に切換弁(図示なし)を介して真空ポンプ等
の真空源(図示なし)が上記通気孔33・43 に連通接続さ
れると共に、上記切換弁を切換えて上記上下両キャビテ
ィ31・41 内の空気等を上記した通気孔33・43 及び空気通
路50を通して真空引き(減圧)することにより、上記上
下両キャビティ31・41 の外部に強制的に吸引排出する構
成、即ち、強制排気機構が設けられている。即ち、上記
上下両キャビティ31・41 内に溶融樹脂材料を注入充填す
る前に、上記上下両キャビティ31・41 の内底面に設けら
れた通気孔33・43 から真空引きすることにより、その吸
引力にて上記した上下両型30・40 の両型面間に供給され
た離型フィルム51を上記上下両キャビティ31・41 の形状
に沿って被覆した状態で張設し、該離型フィルム51を弾
性変形させることができる。なお、上記上下両キャビテ
ィ31・41 の場合と同様に、上記上下両型30・40 の両型面
の所要個所に上記空気通路50等の強制排気機構を設ける
構成を採用することができる。即ち、上記強制排気機構
にて上記離型フィルム51を上記した両型面の凹凸形状
(例えば、上記したカル部・上型及び下型の樹脂通路)
に沿って該型面を被覆した状態に張設して該離型フィル
ム51を弾性変形させることができる。
Further, in the mold apparatus shown in FIG. 3, a vacuum source (not shown) such as a vacuum pump is connected to the air passage 50 through a switching valve (not shown) so as to communicate with the ventilation holes 33 and 43. At the same time, by switching the switching valve to evacuate (decompress) the air in the upper and lower cavities 31 and 41 through the ventilation holes 33 and 43 and the air passage 50, the outside of the upper and lower cavities 31 and 41 can be reduced. Is forcibly sucked and discharged, that is, a forced exhaust mechanism is provided. That is, before injecting and filling the molten resin material into the upper and lower cavities 31 and 41, the suction force is obtained by evacuating from the air holes 33 and 43 provided on the inner bottom surfaces of the upper and lower cavities 31 and 41. The release film 51 supplied between the two mold surfaces of the upper and lower molds 30 and 40 is stretched in a state of covering the shape of the upper and lower cavities 31 and 41, and the release film 51 is It can be elastically deformed. As in the case of the upper and lower cavities 31 and 41, it is possible to adopt a configuration in which a forced exhaust mechanism such as the air passage 50 or the like is provided at required locations on both mold surfaces of the upper and lower molds 30 and 40. In other words, the release film 51 is moved by the forcible exhaust mechanism so as to form the concave and convex shapes of the both mold surfaces (for example, the above-mentioned cull portion, upper and lower mold resin passages).
The release film 51 can be elastically deformed by stretching the mold surface along the surface of the mold.

【0026】従って、図3に示す樹脂封止成形用金型装
置による電子部品の樹脂封止成形は次のようにして行わ
れる。即ち、上記両型30・40 の型開時に、上記両型面に
上記離型フィルム51を夫々供給すると共に、電子部品を
装着したリードフレーム6を該両離型フィルム51間(即
ち、上下両型面間)に供給し、上記両型30・40 を型締め
すると共に、上記電子部品を上記上下両キャビティ31・4
1 内に嵌装セットする。次に、上記強制排気機構にて上
記離型フィルム51を上記した上下両キャビティ31・41 の
形状に沿って弾性変形させる。次に、上記下型40に設け
られたポットからプランジャにて加熱溶融化された樹脂
材料を上型30に設けられたカル部・上型及び下型の樹脂
通路を通して上下両キャビティ31・41 内に注入充填する
と共に、上下両キャビティ31・41 内の樹脂に上記プラン
ジャにて所定の樹脂圧を加える。従って、上記上下両キ
ャビティ31・41 内で該上下両キャビティ31・41 の形状に
対応した樹脂封止成形体55を成形することができると共
に、該樹脂封止成形体55内にリードフレーム6に装着し
た電子部品を封止成形することができる。また、次に、
上記上下両キャビティ31・41 内(即ち、上記両離型フィ
ルム51の間)の樹脂に所定の樹脂圧を加えた後、更に、
上記押圧手段にて上下上下両キャビティ31・41 内の樹脂
に上記離型フィルム51を介して加圧する。即ち、上記開
閉ピン32・42 を移動して上記上下両キャビティ31・41 の
内底面に上記通気孔33・43 を開口すると共に、上記圧縮
空気源から圧縮空気を上記上下両キャビティ31・41 に圧
送し、上記離型フィルム51に圧縮空気にて押圧すること
により上記上下両キャビティ31・41 内の樹脂をその外部
から該離型フィルム51を介して上記リードフレーム6面
に押圧する。従って、上記上下両キャビティ31・41 内で
成形される樹脂封止成形体55とリードフレーム6及び電
子部品との密着性を向上させることができる。
Therefore, the resin encapsulation molding of the electronic component by the resin encapsulation molding die device shown in FIG. 3 is performed as follows. That is, when the molds 30 and 40 are opened, the release films 51 are respectively supplied to the mold surfaces, and the lead frame 6 on which electronic parts are mounted is provided between the release films 51 (that is, the upper and lower molds). (Between the mold surfaces) to clamp both the molds 30 and 40, and at the same time to mount the electronic parts to the upper and lower cavities 31.4
Insert and set in 1. Next, the release film 51 is elastically deformed along the shape of the upper and lower cavities 31 and 41 by the forced exhaust mechanism. Next, the resin material heated and melted by the plunger from the pot provided in the lower mold 40 is passed through the cull portion, the upper mold and the lower mold resin passages provided in the upper mold 30 and into the upper and lower cavities 31 and 41. And a predetermined resin pressure is applied to the resin in the upper and lower cavities 31 and 41 by the plunger. Therefore, the resin molding 55 corresponding to the shape of the upper and lower cavities 31 and 41 can be formed in the upper and lower cavities 31 and 41, and the lead frame 6 can be formed in the resin molding 55. The mounted electronic component can be sealed and molded. Also, next,
After applying a predetermined resin pressure to the resin in the upper and lower cavities 31 and 41 (that is, between the two release films 51),
The resin in the upper and lower cavities 31 and 41 is pressed through the release film 51 by the pressing means. That is, the open / close pins 32/42 are moved to open the ventilation holes 33/43 on the inner bottom surfaces of the upper / lower cavities 31/41, and compressed air is supplied from the compressed air source to the upper / lower cavities 31/41. The resin in the upper and lower cavities 31 and 41 is pressed from the outside to the surface of the lead frame 6 through the release film 51 by pressure feeding and pressing the release film 51 with compressed air. Therefore, it is possible to improve the adhesiveness between the resin sealing molded body 55 formed in the upper and lower cavities 31 and 41 and the lead frame 6 and the electronic component.

【0027】次に、図4に示す樹脂封止成形用金型につ
いて説明する。また、図4に示す金型装置の基本的な構
成は、図1及び図2に示す構成と同じである。即ち、図
4に示す金型装置には、図1及び図2に示す実施例と同
様に、固定上型70と、該固定上型70に対向配置した可動
下型80とから成る金型が設けられると共に、上記上下両
型70・80 の型面には樹脂成形用の上下キャビティ71・81
が対設され、上記上下両型70・80 の型締時にリードフレ
ーム6に装着された電子部品を嵌装セットすることがで
きるように構成されている。また、上記した上下キャビ
ティ71・81 の内底面部には上下キャビティ71・81 内の樹
脂を押圧する押圧部材72・82 (押圧手段)が設けられる
と共に、該押圧部材72・82 には該押圧部材72・82 を型面
方向に押圧するスプリング等の弾性体73・83が設けら
れ、該上下キャビティ内の樹脂に所定の樹脂圧を加えた
後、上記押圧部材72・82 (即ち、上記上下両キャビティ
71・81 の底面)にて該上下キャビティ71・81 内の樹脂を
押圧するように構成されている。
Next, the resin sealing mold shown in FIG. 4 will be described. The basic configuration of the mold apparatus shown in FIG. 4 is the same as the configuration shown in FIGS. That is, in the mold apparatus shown in FIG. 4, as in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, a mold including a fixed upper mold 70 and a movable lower mold 80 opposed to the fixed upper mold 70 is provided. The upper and lower cavities 71 and 81 for resin molding are provided on the mold surfaces of the upper and lower molds 70 and 80.
Are arranged so that the electronic parts mounted on the lead frame 6 can be fitted and set when the upper and lower molds 70 and 80 are clamped. Further, pressing members 72, 82 (pressing means) for pressing the resin in the upper and lower cavities 71, 81 are provided on the inner bottom surfaces of the upper and lower cavities 71, 81, and the pressing members 72, 82 are pushed by the pressing members 72, 82. Elastic members 73 and 83 such as springs for pressing the members 72 and 82 in the mold surface direction are provided, and after the predetermined resin pressure is applied to the resin in the upper and lower cavities, the pressing members 72 and 82 (that is, the upper and lower Both cavities
The resin in the upper and lower cavities 71 and 81 is pressed by the bottom surface of 71 and 81).

【0028】即ち、図4に示す金型装置において、該金
型のポット内で加熱溶融化された樹脂材料をプランジャ
にて加圧することにより上記した金型キャビティ71・81
内に注入充填すると共に、該金型キャビティ71・81 内に
注入充填された樹脂に所定の樹脂圧を加えた後、該金型
キャビティ71・81 内の樹脂を上記押圧部材72・82 にて押
圧することにより、該金型キャビティ71・81 内の樹脂に
その外部から該リードフレーム6面に押圧することがで
きる。従って、上記上下両キャビティ71・81 内で成形さ
れる樹脂封止成形体90とリードフレーム6及び電子部品
との密着性を向上させることができる。
That is, in the mold apparatus shown in FIG. 4, by pressing the resin material heated and melted in the pot of the mold with the plunger, the above-mentioned mold cavities 71, 81.
After a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavities 71 and 81, the resin in the mold cavities 71 and 81 is pressed by the pressing members 72 and 82. By pressing, the resin in the mold cavities 71 and 81 can be pressed against the surface of the lead frame 6 from outside. Therefore, it is possible to improve the adhesiveness between the resin frame 90 and the lead frame 6 and the electronic components formed in the upper and lower cavities 71 and 81.

【0029】次に、図5に示す樹脂封止成形用金型につ
いて説明する。また、図5に示す金型装置の基本的な構
成は、図1及び図2に示す構成と同じである。即ち、図
5に示す金型装置には、図1及び図2に示す実施例と同
様に、固定上型100 と、該固定上型100 に対向配置した
可動下型200 とから成る金型が設けられると共に、上記
上下両型100・200 の型面には樹脂成形用の上下キャビテ
ィ101・201 が対設されている。また、上記上下両キャビ
ティ101・201 内にはリードフレーム300 に装着された電
子部品(図示なし)嵌装セットすることができると共
に、上記上下両キャビティ101・201 の内底面に放熱板31
0・311 を止着セットすることができるように構成されて
いる。
Next, the resin sealing mold shown in FIG. 5 will be described. The basic configuration of the mold apparatus shown in FIG. 5 is the same as the configuration shown in FIGS. In other words, the mold apparatus shown in FIG. 5 includes a mold including a fixed upper mold 100 and a movable lower mold 200 disposed opposite to the fixed upper mold 100, as in the embodiment shown in FIGS. The upper and lower molds 100 and 200 are provided with upper and lower cavities 101 and 201 for resin molding, respectively. In addition, an electronic component (not shown) mounted on the lead frame 300 can be fitted and set in the upper and lower cavities 101 and 201, and a heat dissipation plate 31 can be attached to the inner bottom surface of the upper and lower cavities 101 and 201.
It is configured so that 0 · 311 can be fixedly set.

【0030】また、上記上下両キャビティ101・201 の内
底面には、該キャビティ101・201 内と連通する空気経路
102・202 が夫々所要数設けられると共に、上記空気経路
102・202 は切換弁320・321 を介して圧縮空気を圧送する
空気圧縮源330・331 及び上記した上下両キャビティ101・
201 内の空気等を強制的に吸引排出(減圧)する真空源
340・341 が設けられている。
The inner bottom surfaces of the upper and lower cavities 101 and 201 have an air passage communicating with the inside of the cavities 101 and 201.
The required number of 102 and 202 are provided, and
102 and 202 are air compression sources 330 and 331 for pumping compressed air through switching valves 320 and 321;
A vacuum source that forcibly sucks and discharges (decompresses) the air inside 201
340 and 341 are provided.

【0031】従って、図5に示す金型装置において、上
記上下両型100・200 の上下両キャビティ101・201 にリー
ドフレーム300 に装着された電子部品及び放熱板310・31
1 をセットして該両型100・200 を型締めする。このと
き、上記放熱板310・311 は上記真空源340・341 の吸引力
を利用して上記上下両キャビティ101・201 の内底面に止
着セットされることになる。次に、上記下型200 に設け
られたポット(図示なし)で加熱溶融化された樹脂材料
をプランジャにて加圧すると共に、上記上型100 のカル
部・上型及び下型の樹脂通路を通して上記上下両キャビ
ティ101・201 内に注入充填する。次に、上記上下両キャ
ビティ101・201 内の樹脂に所定の樹脂圧を加えた後、上
記切換弁320・321 を切換えて上記空気圧縮源330・331 か
ら圧縮空気を上記上下両キャビティ101・201 内に圧送す
ることにより、該両キャビティ101・201 内の放熱板310・
311 に圧力を加えると共に、該放熱板310・311 を介して
上記上下両キャビティ101・201 内の樹脂をリードフレー
ム300 面に押圧することができる。従って、上記上下両
キャビティ101・201 内で成形される樹脂封止成形体350
とリードフレーム300 及び電子部品との密着性を向上さ
せることができる。
Therefore, in the mold apparatus shown in FIG. 5, the electronic components mounted on the lead frame 300 and the heat radiating plates 310 and 31 in the upper and lower cavities 101 and 201 of the upper and lower molds 100 and 200, respectively.
1 is set and both molds 100 and 200 are clamped. At this time, the heat radiating plates 310 and 311 are fixedly set on the inner bottom surfaces of the upper and lower cavities 101 and 201 by using the suction force of the vacuum sources 340 and 341. Next, the resin material heated and melted in a pot (not shown) provided in the lower mold 200 is pressed by a plunger, and the cull of the upper mold 100 and the resin passages of the upper mold and the lower mold are passed through. The upper and lower cavities 101 and 201 are injected and filled. Next, after a predetermined resin pressure is applied to the resin in the upper and lower cavities 101 and 201, the switching valves 320 and 321 are switched so that compressed air is supplied from the air compression sources 330 and 331 to the upper and lower cavities 101 and 201. By squeezing the inside of the cavity 101, 201, the heat dissipation plate 310.
It is possible to apply pressure to 311 and press the resin in the upper and lower cavities 101 and 201 against the surface of the lead frame 300 through the heat radiating plates 310 and 311. Therefore, the resin-sealed molded body 350 formed in the upper and lower cavities 101 and 201
It is possible to improve the adhesion between the lead frame 300 and the electronic component.

【0032】また、上記した実施例における圧縮空気に
代えて、例えば、窒素ガス、二酸化炭素ガス、アルゴン
ガス等の気体を採用することができる。
Further, instead of the compressed air in the above-mentioned embodiment, a gas such as nitrogen gas, carbon dioxide gas or argon gas can be adopted.

【0033】本発明は、上述した実施例のものに限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but can be arbitrarily and appropriately modified / selected as necessary within the scope of the gist of the present invention. Is.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明によれば、本発明は、金型キャビ
ティ内で成形される樹脂封止成形体とリードフレームと
の密着性を向上させることができる電子部品の樹脂封止
成形方法を提供することができると云う優れた効果を奏
する。
According to the present invention, the present invention provides a method for resin-encapsulating and molding an electronic component, which can improve the adhesion between a resin-encapsulated molded article formed in a mold cavity and a lead frame. It has an excellent effect that it can be provided.

【0035】また、本発明によれば、金型キャビティ内
で成形される樹脂封止成形体とリードフレームとの密着
性を向上させることにより上記した樹脂封止成形体とリ
ードフレームとの間に間隙が形成されるのを阻止すると
共に、上記した樹脂封止成形体とリードフレームとの間
から水分が浸入することを防止して高品質性及び高信頼
性の製品を得ることができると云う優れた効果を奏す
る。
Further, according to the present invention, the adhesion between the resin-sealed molded body molded in the mold cavity and the lead frame is improved so that the resin-sealed molded body and the lead frame are interposed between the resin-sealed molded body and the lead frame. It can be said that a product of high quality and high reliability can be obtained by preventing the formation of a gap and preventing water from entering between the resin-sealed molded product and the lead frame. It has an excellent effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明方法を実施するための樹脂封止成形用金
型装置の金型要部を示す概略縦断面図であって、上記金
型におけるキャビティの樹脂注入充填前の状態を示して
いる。
FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing a main part of a mold of a resin molding apparatus for carrying out a method of the present invention, showing a state of a cavity in the mold before resin injection and filling. I have.

【図2】図1に対応する樹脂封止成形用金型装置の金型
要部を示す概略縦断面図であって、上記金型におけるキ
ャビティ内の樹脂に圧縮空気を圧送して該樹脂を押圧す
る状態を示している。
FIG. 2 is a schematic vertical sectional view showing a main part of a mold of the resin molding apparatus for molding corresponding to FIG. 1, wherein compressed air is fed to a resin in a cavity in the mold to compress the resin. The state of pressing is shown.

【図3】本発明方法を実施するための樹脂封止成形用金
型装置の金型要部を示す概略縦断面図であって、該金型
におけるキャビティ内の樹脂に該キャビティの形状に沿
って被覆された離型フィルムに圧縮空気を圧送すると共
に、上記した離型フィルムを介して該樹脂を押圧する状
態を示している。
FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view showing a main part of a mold of a resin molding apparatus for carrying out the method of the present invention, in which a resin in a cavity of the mold follows a shape of the cavity. This shows a state in which compressed air is pressure-fed to the release film coated with the resin and the resin is pressed through the release film.

【図4】本発明方法を実施するための樹脂封止成形用金
型装置の金型要部を示す概略縦断面図であって、該金型
におけるキャビティの樹脂に該キャビティの内底面部に
設けられた押圧部材にて該樹脂を押圧する状態を示して
いる。
FIG. 4 is a schematic vertical sectional view showing a main part of a mold of a resin molding apparatus for carrying out the method of the present invention, wherein a resin in a cavity in the mold is provided on an inner bottom surface of the cavity; The state where the resin is pressed by the provided pressing member is shown.

【図5】本発明方法を実施するための樹脂封止成形用金
型装置の金型要部を示す概略縦断面図であって、該金型
におけるキャビティの底面部に止着された放熱板に圧縮
空気を圧送すると共に、上記した放熱板を介して該樹脂
を押圧する状態を示している。
FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view showing a main part of a mold of a mold apparatus for resin molding for carrying out the method of the present invention, and a heat sink fixed to a bottom surface of a cavity in the mold. 2 shows a state in which compressed air is pressure-fed and the resin is pressed through the above-described heat radiating plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 固定上型 30 固定上型 2 可動下型 40 可動下型 3 キャビティ 31 キャビテ
ィ 4 キャビティ 41 キャビテ
ィ 5 電子部品 32 開閉ピン 6 リードフレーム 33 通気孔 7 樹脂封止成形体 42 開閉ピン 8 通気孔 43 通気孔 9 空気通路 50 空気通路 10 空気圧縮源 51 離型フィ
ルム 11 開閉ピン 52 離型フィ
ルム供給機構 12 通気孔 55 樹脂封止
成形体 13 開閉ピン
1 Fixed upper mold 30 Fixed upper mold 2 Movable lower mold 40 Movable lower mold 3 Cavity 31 Cavity 4 Cavity 41 Cavity 5 Electronic component 32 Open / close pin 6 Lead frame 33 Vent hole 7 Resin sealing molding 42 Open / close pin 8 Vent hole 43 through Pore 9 Air passage 50 Air passage 10 Air compression source 51 Release film 11 Open / close pin 52 Release film supply mechanism 12 Vent hole 55 Resin sealing molding 13 Open / close pin

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 固定型及び可動型の型面に対設された金
型キャビティ内にリードフレームに装着された電子部品
を嵌装セットして上記金型キャビティ内に加熱溶融化さ
れた樹脂材料を注入充填すると共に、上記金型キャビテ
ィ内の電子部品とその周辺のリードフレームを該金型キ
ャビティの形状に対応した樹脂封止成形体内に封止成形
する電子部品の樹脂封止成形方法であって、 上記した金型キャビティ内に注入充填された樹脂に所定
の樹脂圧を加えた後、上記した金型キャビティ内の樹脂
をその外部から上記リードフレーム面に押圧すると共
に、上記した樹脂封止成形体とリードフレームとの密着
性を向上させるように構成したことを特徴とする電子部
品の樹脂封止成形方法。
1. A resin material heat-melted in the mold cavity by fitting and setting an electronic component mounted on a lead frame in a mold cavity opposite to a fixed mold surface and a movable mold surface. Is a resin encapsulation molding method for an electronic component in which the electronic component in the mold cavity and the lead frame around it are encapsulated in a resin encapsulation molded body corresponding to the shape of the mold cavity. Then, after a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity, the resin in the mold cavity is pressed from the outside to the lead frame surface, and the resin sealing is performed. A resin encapsulation molding method for an electronic component, which is configured to improve adhesion between a molded body and a lead frame.
【請求項2】 金型キャビティ内に注入充填された樹脂
に所定の樹脂圧を加えた後、上記した金型キャビティ内
の樹脂に圧縮空気を圧送することにより上記した金型キ
ャビティ内の樹脂をその外部からリードフレーム面に押
圧することを特徴とする請求項1に記載の電子部品の樹
脂封止成形方法。
2. The resin in the mold cavity is fixed by applying a predetermined resin pressure to the resin injected and filled in the mold cavity, and then sending compressed air to the resin in the mold cavity to press the resin in the mold cavity. The resin encapsulation molding method for an electronic component according to claim 1, wherein the surface of the lead frame is pressed from the outside.
【請求項3】 金型キャビティ内に注入充填された樹脂
に所定の樹脂圧を加えた後、上記した金型キャビティ内
に該金型キャビティの形状に沿って被覆した状態で張設
された離型フィルムに圧縮空気を圧送することにより該
離型フィルムを介して該金型キャビティ内の樹脂をその
外部からリードフレーム面に押圧することを特徴とする
請求項1に記載の電子部品の樹脂封止成形方法。
3. After a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity, the mold cavity is stretched while being covered with the mold cavity along the shape of the mold cavity. The resin sealing of the electronic component according to claim 1, wherein the resin in the mold cavity is pressed against the lead frame surface from the outside through the release film by sending compressed air to the mold film. Stop forming method.
【請求項4】 金型キャビティ内に注入充填された樹脂
に所定の樹脂圧を加えた後、金型キャビティの底面部に
設けられた押圧部材にて該金型キャビティ内の樹脂をそ
の外部からリードフレーム面に押圧することを特徴とす
る請求項1に記載の電子部品の樹脂封止成形方法。
4. After a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity, the resin in the mold cavity is externally pressed by a pressing member provided on the bottom surface of the mold cavity. The resin encapsulation molding method for an electronic component according to claim 1, wherein the surface of the lead frame is pressed.
【請求項5】 金型キャビティ内に注入充填された樹脂
に所定の樹脂圧を加えた後、所定の低型締圧力にて型締
めされた固定型及び可動型を、更に、所定の高型締圧力
にて型締めすることにより該金型キャビティ内の樹脂を
その外部からリードフレーム面に押圧することを特徴と
する請求項1に記載の電子部品の樹脂封止成形方法。
5. A fixed mold and a movable mold, which are clamped at a predetermined low mold clamping pressure after a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity, and further a predetermined high mold. The resin encapsulation molding method for an electronic component according to claim 1, wherein the resin in the mold cavity is pressed against the lead frame surface from outside by clamping the mold with a clamping pressure.
【請求項6】 固定型及び可動型の型面に対設された金
型キャビティ内にリードフレームに装着された電子部品
を嵌装セットすると共に、上記金型キャビティの内底面
に放熱板を止着し、上記した金型キャビティ内に加熱溶
融化された樹脂材料を注入充填すると共に、上記金型キ
ャビティ内の電子部品とその周辺のリードフレームを該
金型キャビティの形状に対応した樹脂封止成形体内に封
止成形する電子部品の樹脂封止成形方法であって、 上記金型キャビティ内に注入充填された樹脂に所定の樹
脂圧を加えた後、上記金型キャビティ内の樹脂をその外
部から上記放熱板に圧縮空気を圧送することにより該放
熱板を介して該樹脂を上記リードフレーム面に押圧する
と共に、上記した樹脂封止成形体とリードフレームとの
密着性を向上させるように構成したことを特徴とする電
子部品の樹脂封止成形方法。
6. An electronic component mounted on a lead frame is fitted and set in a mold cavity provided opposite to a mold surface of a fixed mold and a movable mold, and a heat dissipation plate is fixed to an inner bottom surface of the mold cavity. And mold and fill the mold cavity with the heated and melted resin material, and seal the electronic components in the mold cavity and the lead frame around it with resin corresponding to the shape of the mold cavity. A resin encapsulation molding method for an electronic component, comprising encapsulating in a molded body, wherein a predetermined resin pressure is applied to the resin injected and filled in the mold cavity, and then the resin in the mold cavity is externally sealed. The resin is pressed against the lead frame surface via the heat sink by sending compressed air from the heat sink to the heat sink, and the adhesion between the resin-sealed molded body and the lead frame is improved. Method of resin-seal-molding an electronic component, characterized by being configured to.
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JP2016525277A (en) * 2013-06-27 2016-08-22 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH Manufacturing method for optoelectronic components
CN114103098A (en) * 2020-08-27 2022-03-01 精工爱普生株式会社 Method for manufacturing mold and mold

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