JPH09248770A - 研磨シート - Google Patents
研磨シートInfo
- Publication number
- JPH09248770A JPH09248770A JP20270895A JP20270895A JPH09248770A JP H09248770 A JPH09248770 A JP H09248770A JP 20270895 A JP20270895 A JP 20270895A JP 20270895 A JP20270895 A JP 20270895A JP H09248770 A JPH09248770 A JP H09248770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- sheet
- polished
- alumina powder
- plate
- Prior art date
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- Pending
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粗研磨及び仕上げ研磨といった２段階の研磨
工程を行わず、被研磨物の表面に傷をつけたり不規則な
凹凸面を形成させることなく、付着した異物を除去する
と共に、被研磨物表面を平坦且つ滑らかに研磨すること
のできる研磨シートを提供する。 【解決手段】 本発明の研磨シート（S）は、バインダ
ー接着剤（4）と、α-Al2O3を含む板状アルミナ粉体
（3）との混合物から成る研磨層（2）をシート基板
（1）上に形成させて成る。
工程を行わず、被研磨物の表面に傷をつけたり不規則な
凹凸面を形成させることなく、付着した異物を除去する
と共に、被研磨物表面を平坦且つ滑らかに研磨すること
のできる研磨シートを提供する。 【解決手段】 本発明の研磨シート（S）は、バインダ
ー接着剤（4）と、α-Al2O3を含む板状アルミナ粉体
（3）との混合物から成る研磨層（2）をシート基板
（1）上に形成させて成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密な仕上げ研
磨、クリーニングに使用するための研磨シートに関し、
特に、光ファイバー先端、光コネクター等の仕上げ研
磨、液晶表示板（LCD）、カラーフィルター等に付着し
た異物を除去するための研磨シートに関する。
磨、クリーニングに使用するための研磨シートに関し、
特に、光ファイバー先端、光コネクター等の仕上げ研
磨、液晶表示板（LCD）、カラーフィルター等に付着し
た異物を除去するための研磨シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】金属表面、磁気ヘッド表面等の仕上げ研
磨や、仕上げテープ、磁気媒体カラーフィルター、LCD
パネル、レンズ等の異物の除去のためのクリーニング
は、従来から研磨シートを使用して、又は遊離砥粒を使
用して行われている。
磨や、仕上げテープ、磁気媒体カラーフィルター、LCD
パネル、レンズ等の異物の除去のためのクリーニング
は、従来から研磨シートを使用して、又は遊離砥粒を使
用して行われている。
【０００３】研磨シートは、バインダー接着剤を塗布し
たプラスチックシート等のシート基板上に研磨材粒子を
付着させるか、又は研磨材粒子とバインダー接着剤とを
混練したものをプラスチックシート等のシート基板上に
塗布し乾燥させてこのシート基板上に研磨層を形成させ
たもので、その研磨は、研磨シートを被研磨物表面に圧
接、摺動して行われる。
たプラスチックシート等のシート基板上に研磨材粒子を
付着させるか、又は研磨材粒子とバインダー接着剤とを
混練したものをプラスチックシート等のシート基板上に
塗布し乾燥させてこのシート基板上に研磨層を形成させ
たもので、その研磨は、研磨シートを被研磨物表面に圧
接、摺動して行われる。
【０００４】また、遊離砥粒を利用した研磨では、植毛
布等の研磨布表面と被研磨物表面との間に遊離砥粒を介
在させて圧接し、必要に応じて冷却液を滴下しながら摺
動させて行なわれている。
布等の研磨布表面と被研磨物表面との間に遊離砥粒を介
在させて圧接し、必要に応じて冷却液を滴下しながら摺
動させて行なわれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の研磨シ
ートを使用して、光ファイバー先端、光コネクター等の
仕上げ研磨や、液晶表示板（LCD）、カラーフィルター
等に付着した異物を除去するための研磨を行うと、被研
磨物の表面に付着した異物が除去されるばかりでなく、
被研磨物表面に傷をつけ、被研磨物表面に不規則な凹凸
面や傷を形成する、という欠点があった。
ートを使用して、光ファイバー先端、光コネクター等の
仕上げ研磨や、液晶表示板（LCD）、カラーフィルター
等に付着した異物を除去するための研磨を行うと、被研
磨物の表面に付着した異物が除去されるばかりでなく、
被研磨物表面に傷をつけ、被研磨物表面に不規則な凹凸
面や傷を形成する、という欠点があった。
【０００６】例えば、従来の研磨シートを使用して光コ
ネクターの端面を研磨すると、被研磨面を傷つけたり、
被研磨面に凹凸面が形成されているので、この被研磨面
を通過する光が乱反射し、光のリターンに大きなロスを
生じる、という問題が生じた。
ネクターの端面を研磨すると、被研磨面を傷つけたり、
被研磨面に凹凸面が形成されているので、この被研磨面
を通過する光が乱反射し、光のリターンに大きなロスを
生じる、という問題が生じた。
【０００７】このように、従来の研磨シートが、被研磨
物表面に傷をつけ、被研磨物表面に不規則な凹凸面を形
成する理由は、次のように考えられている。
物表面に傷をつけ、被研磨物表面に不規則な凹凸面を形
成する理由は、次のように考えられている。
【０００８】従来の研磨シートに使用される研磨材粒子
は、粉砕された研磨材粒子であるため、研磨材粒子の形
状が不定形であり、しかも鋭いエッジを有する。そのた
め、製造工程において、ブレードやローラーを使用し
て、シート基板に塗布した研磨材粒子の表面を平坦にす
ることで、研磨層表面の研磨材粒子の高さはある程度は
揃うが、研磨材粒子の形状が、上述の如く、鋭いエッジ
を有するような多面体であることから、研磨層表面上
に、研磨材粒子の鋭いエッジの部分が不規則に突出した
凹凸面が形成される。
は、粉砕された研磨材粒子であるため、研磨材粒子の形
状が不定形であり、しかも鋭いエッジを有する。そのた
め、製造工程において、ブレードやローラーを使用し
て、シート基板に塗布した研磨材粒子の表面を平坦にす
ることで、研磨層表面の研磨材粒子の高さはある程度は
揃うが、研磨材粒子の形状が、上述の如く、鋭いエッジ
を有するような多面体であることから、研磨層表面上
に、研磨材粒子の鋭いエッジの部分が不規則に突出した
凹凸面が形成される。
【０００９】また、ブレードやローラーを使用して、シ
ート基板に塗布したスラリーの表面を平坦にしても、乾
燥工程中に、スラリーの表面部分に在る研磨材粒子の周
囲で溶媒が蒸発することから、この研磨材粒子の周囲が
窪み、研磨層表面に研磨材粒子の形状に沿うような不定
形の凹凸面が形成される。
ート基板に塗布したスラリーの表面を平坦にしても、乾
燥工程中に、スラリーの表面部分に在る研磨材粒子の周
囲で溶媒が蒸発することから、この研磨材粒子の周囲が
窪み、研磨層表面に研磨材粒子の形状に沿うような不定
形の凹凸面が形成される。
【００１０】このように、従来の研磨シートに使用され
る研磨材粒子の形状が不定形であり、鋭いエッジを有す
る多面体であるため、このような研磨材粒子を分級して
研磨材粒子の粒径を揃え、ブレードやローラーを使用し
て、研磨材粒子を塗布した面やスラリーの表面を平坦に
しても、結果的に研磨層には不定形で鋭いエッジを有す
る研磨材粒子の形状に沿った凹凸面が形成され、従来の
研磨シートを使用した研磨では、この凸部分が、被研磨
物表面に点的に接触した状態で圧接されて被研磨物表面
内に食い込み、この凸部分が被研磨物表面に食い込んだ
状態で被研磨物表面を圧接移動されるため、被研磨物表
面が深く傷つけられ、不規則な凹凸面や傷をもつことに
なるのである。
る研磨材粒子の形状が不定形であり、鋭いエッジを有す
る多面体であるため、このような研磨材粒子を分級して
研磨材粒子の粒径を揃え、ブレードやローラーを使用し
て、研磨材粒子を塗布した面やスラリーの表面を平坦に
しても、結果的に研磨層には不定形で鋭いエッジを有す
る研磨材粒子の形状に沿った凹凸面が形成され、従来の
研磨シートを使用した研磨では、この凸部分が、被研磨
物表面に点的に接触した状態で圧接されて被研磨物表面
内に食い込み、この凸部分が被研磨物表面に食い込んだ
状態で被研磨物表面を圧接移動されるため、被研磨物表
面が深く傷つけられ、不規則な凹凸面や傷をもつことに
なるのである。
【００１１】また、遊離砥粒を使用した研磨では、遊離
した研磨材粒子が研磨布上を転がるので被研磨物表面に
傷をつけず被研磨物表面を滑らかに研磨できるのである
が、研削力が小さいため、遊離砥粒を使用した研磨を行
う前に粗研磨を行わなければならず、研磨に手間と時間
がかかる、という欠点があった。
した研磨材粒子が研磨布上を転がるので被研磨物表面に
傷をつけず被研磨物表面を滑らかに研磨できるのである
が、研削力が小さいため、遊離砥粒を使用した研磨を行
う前に粗研磨を行わなければならず、研磨に手間と時間
がかかる、という欠点があった。
【００１２】したがって、本発明の目的は、粗研磨及び
仕上げ研磨といった２段階の研磨工程を行わず、被研磨
物の表面に傷をつけ、不規則な凹凸面を形成することな
く、付着した異物を除去すると共に、被研磨物表面を平
坦且つ滑らかに研磨できる研磨シートを提供することで
ある。
仕上げ研磨といった２段階の研磨工程を行わず、被研磨
物の表面に傷をつけ、不規則な凹凸面を形成することな
く、付着した異物を除去すると共に、被研磨物表面を平
坦且つ滑らかに研磨できる研磨シートを提供することで
ある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研磨シートは、バインダー接着剤と、α-A
l2O3を含む板状アルミナ粉体との混合物から成る研磨層
をシート基板上に形成させて成る。
め、本発明の研磨シートは、バインダー接着剤と、α-A
l2O3を含む板状アルミナ粉体との混合物から成る研磨層
をシート基板上に形成させて成る。
【００１４】板状アルミナ粉体は、α-Al2O3を主体とし
て水熱合成技術により合成した薄板状の合成α-Al2O3粒
子であり、粒子の形状が揃っており、また、この板状ア
ルミナ粉体は、その合成条件により、サブミクロンから
数ミクロンまでの粒径制御、及び薄板状から厚板状の粒
子制御ができるというものである。
て水熱合成技術により合成した薄板状の合成α-Al2O3粒
子であり、粒子の形状が揃っており、また、この板状ア
ルミナ粉体は、その合成条件により、サブミクロンから
数ミクロンまでの粒径制御、及び薄板状から厚板状の粒
子制御ができるというものである。
【００１５】本発明の研磨シートに使用される板状アル
ミナ粉体は、α-Al2O3を95重量％以上含み、その平均粒
径は、0.6μmから3.0μmの範囲に、嵩密度は、0.2g/cm3
から0.5g/cm3の範囲に、アスペクト比は4から30の範囲
にあり、そのモース硬度は9である。
ミナ粉体は、α-Al2O3を95重量％以上含み、その平均粒
径は、0.6μmから3.0μmの範囲に、嵩密度は、0.2g/cm3
から0.5g/cm3の範囲に、アスペクト比は4から30の範囲
にあり、そのモース硬度は9である。
【００１６】本発明の研磨シートでは、薄い板状アルミ
ナ粉体の粒子の周縁部によって研磨面が形成される。
ナ粉体の粒子の周縁部によって研磨面が形成される。
【００１７】研磨シートを被研磨物表面に圧接させたと
き、研磨面を形成する板状アルミナ粉体の周縁部が、被
研磨物表面に対して線的に接触した状態で圧接される。
き、研磨面を形成する板状アルミナ粉体の周縁部が、被
研磨物表面に対して線的に接触した状態で圧接される。
【００１８】このため、本発明の研磨シートを使用して
研磨を行うと、研磨面を形成する非常に硬質（モース硬
度=９）の板状アルミナ粉体の粒子の周縁部が被研磨物
表面に対して線的に接触した状態で被研磨物表面を移動
し、あたかも研磨面に敷き詰められた無数の鉋（カン
ナ）が被研磨物表面を圧接移動するように、被研磨物表
面の突起を研磨する。
研磨を行うと、研磨面を形成する非常に硬質（モース硬
度=９）の板状アルミナ粉体の粒子の周縁部が被研磨物
表面に対して線的に接触した状態で被研磨物表面を移動
し、あたかも研磨面に敷き詰められた無数の鉋（カン
ナ）が被研磨物表面を圧接移動するように、被研磨物表
面の突起を研磨する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００２０】図１に示すように、本発明の研磨シートS
は、バインダー接着剤4と、α-Al2O3を含む板状アルミ
ナ粉体3との混合物から成る研磨層2をプラスチックシー
ト基板1上に形成して成る。
は、バインダー接着剤4と、α-Al2O3を含む板状アルミ
ナ粉体3との混合物から成る研磨層2をプラスチックシー
ト基板1上に形成して成る。
【００２１】ここで、使用する板状アルミナ粉体に含ま
れるα-Al2O3は95重量％以上であり、板状アルミナ粉体
の平均粒径は、0.6μmから3.0μmの範囲に、嵩密度は、
0.2g/cm3から0.5g/cm3の範囲に、アスペクト比は4から3
0の範囲ある。
れるα-Al2O3は95重量％以上であり、板状アルミナ粉体
の平均粒径は、0.6μmから3.0μmの範囲に、嵩密度は、
0.2g/cm3から0.5g/cm3の範囲に、アスペクト比は4から3
0の範囲ある。
【００２２】本発明の研磨シートは、上述の板状アルミ
ナ粉体と、イソシアネート系等の硬化剤を使用したポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、共重合ビニル系樹
脂、エポキシ樹脂等をトルエン、キシレン、MEK等の溶
媒に溶解させたバインダー接着剤とを均一に混合して塗
料を製造し、この塗料を、ポリエステル、ポリウレタ
ン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン等の
薄いプラスチックシート基板1上に所定の厚さに塗布し
た後、乾燥させてプラスチックシート基板1上に研磨層2
を形成させて製造される。
ナ粉体と、イソシアネート系等の硬化剤を使用したポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、共重合ビニル系樹
脂、エポキシ樹脂等をトルエン、キシレン、MEK等の溶
媒に溶解させたバインダー接着剤とを均一に混合して塗
料を製造し、この塗料を、ポリエステル、ポリウレタ
ン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン等の
薄いプラスチックシート基板1上に所定の厚さに塗布し
た後、乾燥させてプラスチックシート基板1上に研磨層2
を形成させて製造される。
【００２３】本発明の研磨シートは、研磨面を直接に被
研磨物表面に圧接して研磨シートを単体で使用してもよ
いし、被研磨物表面に冷却液を滴下しながら使用しても
よい。
研磨物表面に圧接して研磨シートを単体で使用してもよ
いし、被研磨物表面に冷却液を滴下しながら使用しても
よい。
【００２４】また、本発明の研磨シートは、被研磨物表
面に対し、遊離砥粒を介在させて使用することもでき
る。
面に対し、遊離砥粒を介在させて使用することもでき
る。
【００２５】つまり、研磨面が板状アルミナ粉体から成
る研磨シートをパッドとして使用し、この研磨面5に遊
離砥粒を冷却液と共に滴下し、この研磨面に被研磨物表
面を圧接して研磨を行うこともできる。
る研磨シートをパッドとして使用し、この研磨面5に遊
離砥粒を冷却液と共に滴下し、この研磨面に被研磨物表
面を圧接して研磨を行うこともできる。
【００２６】被研磨物表面に対して、板状アルミナ粉体
から成る研磨面を、遊離砥粒を介して被研磨物表面に圧
接させると、研磨中、非常に硬質の板状アルミナ粉体の
粒子の周縁部による研磨と共に、研磨シートの研磨面と
被研磨物表面との間を転がる遊離砥粒による研磨も行わ
れる。
から成る研磨面を、遊離砥粒を介して被研磨物表面に圧
接させると、研磨中、非常に硬質の板状アルミナ粉体の
粒子の周縁部による研磨と共に、研磨シートの研磨面と
被研磨物表面との間を転がる遊離砥粒による研磨も行わ
れる。
【００２７】
【実施例】以下の条件で本発明の研磨シートを製造し
た。
た。
【００２８】平均粒径0.68μm、嵩密度0.25g/cm3、密度
3.98g/cm3、アスペクト比5から15を有し、α-Al2O3を9
9.67重量％含む板状アルミナ粉体（株式会社YKK社製、
品番YFA00610）1000部と、ポリエステル樹脂26部をトル
エン、キシレン、酢酸エチル及びMEKの混合溶媒に溶解
したバインダー接着剤とを均一に混合し、シート基板へ
の塗布直前にイソシアネート系硬化剤を6部添加したも
のを厚さ75μmのPETフィルムのプラスチックシート基板
上に塗布し、乾燥して研磨層をプラスチックシート基板
上に形成して本発明の研磨シートを製造した。
3.98g/cm3、アスペクト比5から15を有し、α-Al2O3を9
9.67重量％含む板状アルミナ粉体（株式会社YKK社製、
品番YFA00610）1000部と、ポリエステル樹脂26部をトル
エン、キシレン、酢酸エチル及びMEKの混合溶媒に溶解
したバインダー接着剤とを均一に混合し、シート基板へ
の塗布直前にイソシアネート系硬化剤を6部添加したも
のを厚さ75μmのPETフィルムのプラスチックシート基板
上に塗布し、乾燥して研磨層をプラスチックシート基板
上に形成して本発明の研磨シートを製造した。
【００２９】図２は、本発明の実施例の研磨シート表面
の粗さを図示し、垂直方向に２０００倍、水平方向に５
０倍に拡大して示される。図２に示すように、実施例の
研磨シート表面が非常に平坦（表面粗度＝0.09μm）で
あることがわかる。
の粗さを図示し、垂直方向に２０００倍、水平方向に５
０倍に拡大して示される。図２に示すように、実施例の
研磨シート表面が非常に平坦（表面粗度＝0.09μm）で
あることがわかる。
【００３０】図３は、実施例の研磨シート表面を、表面
に対して４５度の角度で１００００倍に拡大して撮影さ
れた電子顕微鏡写真のコピーである。図３に示すよう
に、無数の鉋がシート基板上に敷き詰められたように、
薄い板状アルミナ粉体の粒子が研磨面を形成している。
に対して４５度の角度で１００００倍に拡大して撮影さ
れた電子顕微鏡写真のコピーである。図３に示すよう
に、無数の鉋がシート基板上に敷き詰められたように、
薄い板状アルミナ粉体の粒子が研磨面を形成している。
【００３１】
【発明の効果】本発明が以上のように構成されるので、
以下のような効果を奏する。
以下のような効果を奏する。
【００３２】本発明の研磨シートを使用して、液晶表示
板（LCD）、カラーフィルター等のクリーニングや、光
ファイバー、光コネクター等の仕上げ研磨を行うと、研
磨中、硬質で薄い板状アルミナ粉体の粒子の周縁部が被
研磨物表面に対して浅い角度で接触するので、被研磨物
の表面に傷をつけたり不規則な凹凸面を形成させること
なく、付着した異物を除去すると共に、被研磨物表面を
平坦且つ滑らかに研磨することができる。
板（LCD）、カラーフィルター等のクリーニングや、光
ファイバー、光コネクター等の仕上げ研磨を行うと、研
磨中、硬質で薄い板状アルミナ粉体の粒子の周縁部が被
研磨物表面に対して浅い角度で接触するので、被研磨物
の表面に傷をつけたり不規則な凹凸面を形成させること
なく、付着した異物を除去すると共に、被研磨物表面を
平坦且つ滑らかに研磨することができる。
【００３３】特に、光ファイバー、光コネクター等の仕
上げ研磨では、被研磨物表面の凹量を著しく減少でき
る。このため、被研磨物表面を通過する光の乱反射が減
少し、光のリターンロスが減少する。
上げ研磨では、被研磨物表面の凹量を著しく減少でき
る。このため、被研磨物表面を通過する光の乱反射が減
少し、光のリターンロスが減少する。
【００３４】また、本発明の研磨シートを使用して、遊
離砥粒による研磨を行うと、粗研磨及び仕上げ研磨とい
う２段階の研磨工程を行わず、１段階の研磨工程で、被
研磨物表面を平坦且つ滑らかに研磨できる。
離砥粒による研磨を行うと、粗研磨及び仕上げ研磨とい
う２段階の研磨工程を行わず、１段階の研磨工程で、被
研磨物表面を平坦且つ滑らかに研磨できる。
【図１】図１は、本発明の研磨シートの拡大断面図であ
る。
る。
【図２】図２は、本発明の研磨シートの実施例の表面粗
さを示すグラフである。
さを示すグラフである。
【図３】図３は、本発明の研磨シートの実施例の表面
を、表面に対して４５度の角度から１００００倍に拡大
して撮影した電子顕微鏡写真のコピーである。
を、表面に対して４５度の角度から１００００倍に拡大
して撮影した電子顕微鏡写真のコピーである。
S ... 本発明の研磨シート 1 ... プラスチックシート基板 2 ... 研磨層 3 ... 板状アルミナ粉体の粒子 4 ... バインダー接着剤 5 ... 研磨面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年１１月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】 図３は、実施例の研磨シート表面を、表
面に対して４５度の角度で１００００倍に拡大して撮影
された電子顕微鏡写真である。図３に示すように、無数
の鉋がシート基板上に敷き詰められたように、薄い板状
アルミナ粉体の粒子が研磨面を形成している。
面に対して４５度の角度で１００００倍に拡大して撮影
された電子顕微鏡写真である。図３に示すように、無数
の鉋がシート基板上に敷き詰められたように、薄い板状
アルミナ粉体の粒子が研磨面を形成している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】 図３は、本発明の研磨シートの実施例の表面
を、表面に対して４５度の角度から１００００倍に拡大
して撮影した電子顕微鏡写真である。
を、表面に対して４５度の角度から１００００倍に拡大
して撮影した電子顕微鏡写真である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年４月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
Claims (1)
- 【請求項１】 バインダー接着剤と、α-Al2O3を含む板
状アルミナ粉体との混合物から成る研磨層をシート基板
上に形成させて成る、研磨シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20270895A JPH09248770A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 研磨シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20270895A JPH09248770A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 研磨シート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248770A true JPH09248770A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=16461844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20270895A Pending JPH09248770A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 研磨シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09248770A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002036128A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-05 | Ykk Corp | 研磨シート |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP20270895A patent/JPH09248770A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002036128A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-05 | Ykk Corp | 研磨シート |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20031219 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |