JPH09246112A - Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor - Google Patents

Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor

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JPH09246112A
JPH09246112A JP8057472A JP5747296A JPH09246112A JP H09246112 A JPH09246112 A JP H09246112A JP 8057472 A JP8057472 A JP 8057472A JP 5747296 A JP5747296 A JP 5747296A JP H09246112 A JPH09246112 A JP H09246112A
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寿孝 加藤
Yoshihiro Watanabe
善博 渡辺
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor which enables easy formation of a protective film having excellent characteristics on the surface of an aluminum foil by temporarily interrupting etching during an etching process. SOLUTION: In an etching process for chemically or electrochemically etching an aluminum foil 31 in a solution mainly containing hydrochloric acid so as to enlarge the surface area of the aluminum foil 31, etching is temporarily interrupted during this etching process, and immersion processing for immersing the aluminum foil 31 into acid containing phosphorus or a solution containing phosphate is performed once or a plurality of times.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、アルミ電解コンデ
ンサ用電極箔の製造方法に関するもので、特にエッチン
グ技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, and more particularly to an etching technique.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にこの種のアルミ電解コンデンサ用
電極箔の製造方法において、エッチングを連続で行った
場合、初期に発生したアルミニウム箔表面の微細な凹凸
は次第に溶解されて失われるため、ある程度以上の大き
な拡面効果を得ることは難しい。従って、何らかの方法
によりエッチング初期に発生したアルミニウム箔表面の
微細な凹凸を保護するための手段を施すことがアルミ電
解コンデンサ用電極箔の高容量化には必要不可欠となっ
ている。
2. Description of the Related Art Generally, in a method of manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor of this kind, when etching is continuously performed, fine irregularities on the surface of the aluminum foil which are initially generated are gradually dissolved and lost. It is difficult to obtain a large surface expansion effect. Therefore, it is indispensable to provide some means for protecting the fine irregularities on the surface of the aluminum foil generated at the initial stage of etching in order to increase the capacity of the electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor.

【0003】この保護手段の一つとして、特公昭51−
21541号公報や特開昭55−127013号公報に
は、エッチングの中断中に物理的方法あるいは陽極酸化
法などの電気化学的方法によりアルミニウム箔の表面に
熱酸化皮膜あるいは化成皮膜を形成して、アルミニウム
箔表面の微細な凹凸が直接エッチング液に曝されて溶解
するのを防ぐようにしたものが開示されている。
As one of the protection measures, Japanese Patent Publication No.
In JP-A-21541 and JP-A-55-127013, a thermal oxide film or a chemical conversion film is formed on the surface of an aluminum foil by a physical method or an electrochemical method such as an anodic oxidation method during the interruption of etching. It is disclosed that fine irregularities on the surface of an aluminum foil are prevented from being directly exposed to an etching solution and being dissolved.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たエッチング液に対する保護皮膜の形成方法のうち、陽
極酸化法などの電気化学的方法によりアルミニウム箔の
表面に化成皮膜を形成する方法は、皮膜形成のための電
源が必要になるなど設備的に複雑となって割高になると
いう問題点、あるいは陽極酸化を行うにはアルミニウム
箔の表面に残留する塩素イオン濃度をかなり低く抑えな
くてはならず、そのため陽極酸化を行う前に特別な処理
が必要になるなどの問題点を有していた。また陽極酸化
法以外の方法、例えばアルミニウム箔を加熱乾燥させた
り、煮沸することによりアルミニウム箔の表面に熱酸化
皮膜を形成する方法においては、形成される熱酸化皮膜
が弱すぎて保護皮膜としての役割を果たさなかったり、
熱酸化皮膜の強度に部分的なばらつきがあってエッチン
グにむらを生じるなど十分な性能を持った保護皮膜の形
成が困難であるという問題点を有していた。そしてまた
油膜などのアルミニウムとは別の物質を保護皮膜材料と
した場合には、その物質によりエッチング液が汚染され
たり、あるいはその物質がアルミニウム箔に残留して悪
影響を及ぼすおそれがあるという問題点を有していた。
However, among the above methods for forming a protective film for an etching solution, the method for forming a chemical conversion film on the surface of an aluminum foil by an electrochemical method such as an anodic oxidation method is a method for forming a film. For this reason, there is a problem that the equipment becomes complicated and expensive due to the need for a power supply, or the chlorine ion concentration remaining on the surface of the aluminum foil must be kept fairly low in order to perform anodization. There is a problem that a special treatment is required before anodizing. Further, in a method other than the anodizing method, for example, in a method of forming a thermal oxide film on the surface of the aluminum foil by heating and drying the aluminum foil or boiling, the thermal oxide film formed is too weak to serve as a protective film. Not play a role,
There is a problem that it is difficult to form a protective film having sufficient performance such as unevenness in etching due to partial variation in strength of the thermal oxide film. When a substance other than aluminum, such as an oil film, is used as the protective film material, the etching liquid may be contaminated by the substance, or the substance may remain on the aluminum foil and adversely affect it. Had.

【0005】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、エッチング工程の途中でエッチングを一時中断させ
てアルミニウム箔の表面に簡単に優れた特性の保護皮膜
を形成することができるアルミ電解コンデンサ用電極箔
の製造方法を提供することを目的とするものである。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an aluminum electrolytic capacitor capable of easily forming a protective film having excellent characteristics on the surface of an aluminum foil by interrupting the etching during the etching process. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an electrode foil for use.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法
は、アルミニウム箔を塩酸を主体とする溶液中で化学的
あるいは電気化学的にエッチングしてアルミニウム箔の
表面積を拡大させるエッチング工程において、このエッ
チング工程の途中でエッチングを一時中断させてアルミ
ニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有する溶液に
浸漬する浸漬処理を1回あるいは複数回施すようにした
もので、この製造方法によれば、エッチング工程の途中
でエッチングを一時中断させてアルミニウム箔の表面に
簡単に優れた特性の保護皮膜を形成することができるも
のである。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to the present invention comprises etching an aluminum foil chemically or electrochemically in a solution mainly containing hydrochloric acid. In the etching step of increasing the surface area of the aluminum foil, the etching is temporarily interrupted in the middle of this etching step and the aluminum foil is immersed in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus once or plural times. According to this manufacturing method, the etching can be temporarily interrupted during the etching process to easily form the protective film having excellent characteristics on the surface of the aluminum foil.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、アルミニウム箔を塩酸を主体とする溶液中で化学的
あるいは電気化学的にエッチングしてアルミニウム箔の
表面積を拡大させるエッチング工程において、このエッ
チング工程の途中でエッチングを一時中断させてアルミ
ニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有する溶液に
浸漬する浸漬処理を1回あるいは複数回施すようにした
もので、この製造方法によれば、エッチングの中断後、
アルミニウム箔を燐を含む酸あるいは燐酸塩を含有する
溶液に浸漬するだけで、アルミニウム箔の表面に所望す
る強度の燐酸皮膜を保護皮膜として形成することがで
き、そしてこの保護皮膜によりこの後のエッチングによ
るアルミニウム箔表面の微細な凹凸の溶解を抑え、効率
的に表面積を拡大させることができ、これにより単位面
積あたりの静電容量を増加させることができるものであ
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The invention according to claim 1 of the present invention is an etching step for increasing the surface area of an aluminum foil by chemically or electrochemically etching the aluminum foil in a solution mainly containing hydrochloric acid. In the middle of this etching process, the etching is temporarily interrupted and the aluminum foil is immersed in a solution containing phosphorus-containing acid or phosphate to be dipped once or plural times. For example, after interrupting etching,
By simply immersing the aluminum foil in a solution containing phosphorus-containing acid or phosphate, a phosphoric acid film having a desired strength can be formed as a protective film on the surface of the aluminum foil, and the protective film can be used for subsequent etching. It is possible to suppress the dissolution of fine irregularities on the surface of the aluminum foil and efficiently expand the surface area, and thereby to increase the capacitance per unit area.

【0008】請求項2に記載の発明は、エッチング工程
の途中でエッチングを一時中断させてアルミニウム箔を
燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有する溶液に浸漬する浸
漬処理を複数回施すとともに、これらの浸漬処理におけ
る浸漬処理時間がエッチング工程の後半においてはそれ
以前の浸漬処理時間より長くなるように構成したもの
で、この製造方法によれば、アルミニウム箔の表面に微
細な凹凸が多くなって表面脱落が起こる頻度が高くなる
エッチング工程の後半においてより強力な保護皮膜が形
成されることになり、これにより、それ以降のエッチン
グによってアルミニウム箔表面の微細な凹凸が溶解され
るのを低く抑えることができるため、単位面積あたりの
静電容量を増加させることができるものである。
According to the second aspect of the present invention, the etching is temporarily interrupted in the middle of the etching step, and the aluminum foil is dipped in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus a plurality of times. In the latter half of the etching process, the immersion treatment time in the immersion treatment is longer than the previous immersion treatment time.According to this manufacturing method, there are many fine irregularities on the surface of the aluminum foil and the surface drop-off occurs. A stronger protective film will be formed in the latter half of the etching process in which the occurrence of the above occurs more frequently, which can suppress the dissolution of fine irregularities on the surface of the aluminum foil due to the subsequent etching. Therefore, the capacitance per unit area can be increased.

【0009】請求項3に記載の発明は、エッチング工程
の途中でエッチングを一時中断させてアルミニウム箔を
燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有する溶液に浸漬する浸
漬処理を複数回施すとともに、これらの浸漬処理におけ
る浸漬処理用溶液中の燐を含む酸もしくは燐酸塩の濃度
がエッチング工程の後半においてはそれ以前の濃度より
も高くなるように構成したもので、この製造方法によれ
ば、アルミニウム箔の表面に微細な凹凸が多くなって表
面脱落が起こる頻度が高くなるエッチング工程の後半に
おいてより強力な保護皮膜が形成されることになり、こ
れにより、それ以降のエッチングによってアルミニウム
箔表面の微細な凹凸が溶解されるのを低く抑えることが
できるため、単位面積あたりの静電容量を増加させるこ
とができるものである。
According to the third aspect of the present invention, the etching is temporarily interrupted during the etching step, and the aluminum foil is dipped in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus a plurality of times. In the dipping treatment, the concentration of the phosphorus-containing acid or phosphate in the dipping treatment solution is set to be higher in the latter half of the etching step than in the previous concentration. A stronger protective film will be formed in the latter half of the etching process in which the number of minute irregularities on the surface increases and the frequency of surface dropouts increases, which allows subsequent etching to produce minute irregularities on the aluminum foil surface. It is possible to increase the capacitance per unit area because it can suppress the dissolution of That.

【0010】請求項4に記載の発明は、エッチング工程
の途中でエッチングを一時中断させてアルミニウム箔を
燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有する溶液に浸漬する浸
漬処理を複数回施すとともに、これらの浸漬処理におけ
る浸漬処理用溶液の温度がエッチング工程の後半におい
てはそれ以前の浸漬処理用溶液の温度より高くなるよう
に構成したもので、この製造方法によれば、アルミニウ
ム箔の表面に微細な凹凸が多くなって表面脱落が起こる
頻度が高くなるエッチング工程の後半においてより強力
な保護皮膜が形成されることになり、これにより、それ
以降のエッチングによってアルミニウム箔表面の微細な
凹凸が溶解されるのを低く抑えることができるため、単
位面積あたりの静電容量を増加させることができるもの
である。
In the invention according to claim 4, the etching is temporarily interrupted in the middle of the etching step, and the aluminum foil is immersed in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus a plurality of times. In the latter half of the etching process, the temperature of the dipping treatment solution in the dipping treatment is set to be higher than the temperature of the dipping treatment solution before that. According to this manufacturing method, fine irregularities are formed on the surface of the aluminum foil. The surface of the aluminum foil will become more likely to come off, and a stronger protective film will be formed in the latter half of the etching process. Since it can be suppressed to a low value, the capacitance per unit area can be increased.

【0011】以下、本発明の具体的な実施の形態につい
て添付図面に基づいて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の実施の形態1における
アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法の工程図を示
したもので、この図1において、1は前処理槽、2は前
処理槽1の後に設けられた第1の水洗い槽、3は第1の
水洗い槽2の後に設けられた第1のエッチング槽、4は
第1のエッチング槽3の後に設けられた第2の水洗い
槽、5は第2の水洗い槽4の後に設けられた浸漬処理槽
で、この浸漬処理槽5には浸漬処理用溶液として燐を含
む酸もしくは燐酸塩を0.02〜30wt%含有する溶
液が入れられ、かつその液温は65℃に設定し、さらに
浸漬処理時間は180秒に設定している。6は浸漬処理
槽5の後に設けられた第3の水洗い槽、7は第3の水洗
い槽6の後に設けられた第2のエッチング槽、8は第2
のエッチング槽7の後に設けられた第4の水洗い槽、9
は第4の水洗い槽8の後に設けられた後処理槽、10は
乾燥機、11はアルミニウム箔である。
Specific embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 shows a process chart of a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 1, 1 is a pretreatment tank and 2 is pretreatment. A first water washing tank provided after the tank 1, 3 is a first etching tank provided after the first water washing tank 2, and 4 is a second water washing tank provided after the first etching tank 3. Reference numeral 5 denotes an immersion treatment tank provided after the second water washing tank 4, and the immersion treatment tank 5 contains a solution containing 0.02 to 30 wt% of an acid or phosphate containing phosphorus as a solution for immersion treatment. And the liquid temperature is set to 65 ° C., and the immersion treatment time is set to 180 seconds. 6 is a third water washing tank provided after the immersion treatment tank 5, 7 is a second etching tank provided after the third water washing tank 6, and 8 is a second
A fourth washing bath provided after the etching bath 7 of
Is a post-treatment tank provided after the fourth water washing tank 8, 10 is a dryer, and 11 is an aluminum foil.

【0012】そして前記第1のエッチング槽3と第2の
エッチング槽7には電極12,13がそれぞれ設置され
ているとともに、5wt%の塩酸に2wt%の塩化アル
ミニウムを加えた溶液が入れられ、かつその液温は40
℃に設定している。
Electrodes 12 and 13 are installed in the first etching bath 3 and the second etching bath 7, respectively, and a solution obtained by adding 2 wt% of aluminum chloride to 5 wt% of hydrochloric acid is put therein. And the liquid temperature is 40
Set to ° C.

【0013】上記構成において、アルミニウム箔11は
純度が99.9%の軟質箔を用いており、このアルミニ
ウム箔11のエッチングを行う場合は、図1に示すよう
に、まず、前処理槽1でアルミニウム箔11の前処理を
行い、その後、第1の水洗い槽2で水洗いを行い、次に
第1のエッチング槽3でアルミニウム箔11を化学的あ
るいは電気化学的にエッチングしてアルミニウム箔11
の表面積を拡大させる。このエッチングが終わった後、
第2の水洗い槽4で水洗いを行い、その後、エッチング
を一時中断させてアルミニウム箔11を燐を含む酸もし
くは燐酸塩を0.02〜30wt%含有する溶液が入れ
られた浸漬処理槽5内の溶液に浸漬して浸漬処理を行
い、その後、第3の水洗い槽6で水洗いを行い、そして
この後、第2のエッチング槽7で再びエッチングを行
い、その後、第4の水洗い槽8で水洗いを行い、次に後
処理槽9でエッチングされたアルミニウム箔11の後処
理を行い、そして最後に乾燥機10で乾燥させるように
しているものである。
In the above structure, the aluminum foil 11 is made of a soft foil having a purity of 99.9%. When etching the aluminum foil 11, as shown in FIG. The aluminum foil 11 is pretreated, then washed with water in the first water washing tank 2 and then chemically or electrochemically etched in the first etching tank 3 to etch the aluminum foil 11
Increase the surface area of. After this etching is over
After performing water washing in the second water washing tank 4, the etching is temporarily interrupted, and the aluminum foil 11 is placed in the dipping treatment tank 5 in which a solution containing 0.02 to 30 wt% of an acid or phosphate containing phosphorus is placed. Immersion in the solution for immersion treatment, then water washing in the third water washing tank 6, and then etching again in the second etching tank 7 and then water washing in the fourth water washing tank 8. The aluminum foil 11 thus etched is post-treated in the post-treatment tank 9, and finally dried in the dryer 10.

【0014】(実施の形態2)図2は本発明の実施の形
態2におけるアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法
の工程図を示したもので、この図2において、21は前
処理槽、22は第1のエッチング槽、23は第1の浸漬
処理槽、24は第2のエッチング槽、25は第2の浸漬
処理槽、26は第3のエッチング槽、27は第3の浸漬
処理槽、28は第4のエッチング槽、29は後処理槽、
30は乾燥機、31はアルミニウム箔である。
(Embodiment 2) FIG. 2 shows a process chart of a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to Embodiment 2 of the present invention. In FIG. 2, 21 is a pretreatment tank, 22 Is a first etching tank, 23 is a first immersion processing tank, 24 is a second etching tank, 25 is a second immersion processing tank, 26 is a third etching tank, 27 is a third immersion processing tank, 28 is a fourth etching tank, 29 is a post-treatment tank,
30 is a dryer and 31 is an aluminum foil.

【0015】そして前記第1のエッチング槽22、第2
のエッチング槽24、第3のエッチング槽26、第4の
エッチング槽28には電極32,33,34,35がそ
れぞれ設置されているとともに、5wt%の塩酸に2w
t%の塩化アルミニウムを加えた溶液が入れられてい
る。またこの図2には図示していないが、前処理槽21
と第1のエッチング槽22との間、第1のエッチング槽
22と第1の浸漬処理槽23との間、第1の浸漬処理槽
23と第2のエッチング槽24との間、第2のエッチン
グ槽24と第2の浸漬処理槽25との間、第2の浸漬処
理槽25と第3のエッチング槽26との間、第3のエッ
チング槽26と第3の浸漬処理槽27との間、第3の浸
漬処理槽27と第4のエッチング槽28との間、第4の
エッチング槽28と後処理槽29との間、後処理槽29
と乾燥機30との間には、水洗い槽がそれぞれ設けられ
ている。
The first etching tank 22 and the second etching tank
Electrodes 32, 33, 34, and 35 are installed in the etching tank 24, the third etching tank 26, and the fourth etching tank 28, respectively, and 2 wt.
A solution containing t% aluminum chloride is included. Although not shown in FIG. 2, the pretreatment bath 21
And the first etching bath 22, the first etching bath 22 and the first immersion bath 23, the first immersion bath 23 and the second etching bath 24, the second Between the etching bath 24 and the second immersion bath 25, between the second immersion bath 25 and the third etching bath 26, between the third etching bath 26 and the third immersion bath 27 Between the third immersion treatment bath 27 and the fourth etching bath 28, between the fourth etching bath 28 and the post-treatment bath 29, and the post-treatment bath 29.
A washing tank is provided between the dryer and the dryer 30.

【0016】上記図2においては、アルミニウム箔31
は純度99.9%の軟質箔を用いており、このアルミニ
ウム箔31のエッチングを行う場合は、図2に示すよう
に、まず、前処理槽21でアルミニウム箔31の前処理
を行い、その後、水洗い槽(図示せず)での水洗いの
後、第1のエッチング槽22でアルミニウム箔31を化
学的あるいは電気化学的にエッチングして、アルミニウ
ム箔31の表面積を拡大させる。このエッチングが終わ
った後、水洗い槽(図示せず)で水洗いを行い、その
後、エッチングを一時中断させてアルミニウム箔31を
燐を含む酸もしくは燐酸塩を0.02〜30wt%含有
する溶液が入れられた第1の浸漬処理槽23内の溶液に
浸漬して1回目の浸漬処理を行い、その後、水洗い槽
(図示せず)での水洗いを経て第2のエッチング槽24
で再びエッチングを行い、そしてこの後、水洗い槽8
(図示せず)で水洗いを行い、その後、エッチングを一
時中断させてアルミニウム箔31を燐を含む酸もしくは
燐酸塩を0.2〜30wt%含有する溶液が入れられた
第2の浸漬処理槽25内の溶液に浸漬して2回目の浸漬
処理を行い、その後、水洗い槽(図示せず)での水洗い
を経て第3のエッチング槽26で再びエッチングを行
い、そしてこの後、水洗い槽(図示せず)で水洗いを行
い、その後、エッチングを一時中断させてアルミニウム
箔31を燐を含む酸もしくは燐酸塩を0.2〜30wt
%含有する溶液が入れられた第3の浸漬処理槽27内の
溶液に浸漬して3回目の浸漬処理を行い、その後、水洗
い槽(図示せず)での水洗いを経て第4のエッチング槽
28で再びエッチングを行い、次に水洗い槽(図示せ
ず)で水洗いしてから後処理槽29でエッチングされた
アルミニウム箔31の後処理を行い、そして水洗い槽
(図示せず)で水洗いした後、最後に乾燥機30で乾燥
させるようにしているものである。
In FIG. 2, the aluminum foil 31 is used.
Uses a soft foil having a purity of 99.9%. When etching the aluminum foil 31, first, as shown in FIG. 2, the aluminum foil 31 is pretreated in the pretreatment tank 21, and then, After washing with water in a washing tank (not shown), the aluminum foil 31 is chemically or electrochemically etched in the first etching tank 22 to increase the surface area of the aluminum foil 31. After this etching is finished, the aluminum foil 31 is washed with water in a water washing tank (not shown), and then the aluminum foil 31 is filled with a solution containing 0.02 to 30 wt% of an acid or phosphate containing phosphorus. The first etching treatment tank 23 is dipped in the solution to perform the first immersion treatment, and then the second etching tank 24 is washed with water in a water washing tank (not shown).
Etch again, and after this, wash tank 8
A second dipping treatment bath 25 in which a solution containing 0.2 to 30 wt% of an acid or a phosphate containing phosphorus is contained in the aluminum foil 31 by temporarily stopping the etching after washing with water (not shown). It is dipped in the solution in the inside to carry out a second dipping treatment, then, after being washed in a water washing tank (not shown), etched again in the third etching tank 26, and thereafter, a water washing tank (not shown). Water), and then, the etching is temporarily stopped to make the aluminum foil 31 0.2 to 30 wt% of an acid or phosphate containing phosphorus.
The third etching treatment tank 27 containing a solution containing 100% of water is subjected to a third immersion treatment, and then a fourth washing tank 28 is washed with water in a water washing tank (not shown). After that, the aluminum foil 31 which has been etched is post-treated in a post-treatment bath 29, and then washed in a water-wash bath (not shown). Finally, the dryer 30 is used for drying.

【0017】上記図1,図2に示すように、アルミニウ
ム箔11,31のエッチングを行った場合、エッチング
工程の初期においては、アルミニウム箔11,31の表
面に形成された凹凸も少ないためそれほど強力な保護は
必要としないが、エッチング工程の後半においてはアル
ミニウム箔11,31の表面の凹凸も微細になって増加
していくもので、そしてこの微細な凹凸が増加するに伴
い、表面脱落が起こる頻度が高くなって静電容量の増加
が鈍くなるものである。この表面脱落を最小限に止める
ためには、図2においては、保護皮膜である燐酸皮膜を
短い間隔で頻繁にアルミニウム箔31の表面に形成すれ
ばよいが、単純に間隔を短くするだけでは製造効率が低
くなってしまい現実的ではない。従ってこの保護皮膜で
ある燐酸皮膜を形成する間隔は、アルミニウム箔31の
表面に形成される凹凸が少なくそれほど強力な保護を必
要としないエッチング工程の初期においては長くし、そ
して微細な凹凸が増加するエッチング工程の後半におい
ては短くするのが静電容量の拡大ならびに製造効率の点
からも理に叶った方法である。この場合、保護皮膜であ
る燐酸皮膜を形成する間隔を短くするということは、保
護皮膜である燐酸皮膜を形成する浸漬処理を行った後、
アルミニウム箔の表面に形成される凹凸の発生量が大き
くならないうちに次の浸漬処理を行うということであ
り、これはエッチングによるアルミニウムの新たな溶解
量が少ないうちに浸漬処理をして保護皮膜である燐酸皮
膜を形成するということである。
As shown in FIGS. 1 and 2, when the aluminum foils 11 and 31 are etched, there are few irregularities formed on the surfaces of the aluminum foils 11 and 31 at the beginning of the etching process, so that they are very strong. However, in the latter half of the etching process, the irregularities on the surface of the aluminum foils 11 and 31 also become finer and increase, and as the fine irregularities increase, the surface drops off. As the frequency increases, the increase in capacitance becomes slower. In order to minimize this surface dropout, in FIG. 2, a phosphoric acid film as a protective film may be formed frequently on the surface of the aluminum foil 31 at short intervals, but simply by shortening the interval, it is possible to manufacture. It is not realistic because the efficiency becomes low. Therefore, the interval for forming the phosphoric acid film, which is the protective film, is lengthened at the beginning of the etching process in which there are few irregularities formed on the surface of the aluminum foil 31 and a strong protection is not required, and fine irregularities increase. In the latter half of the etching process, shortening is a method that makes sense from the viewpoint of increasing the capacitance and manufacturing efficiency. In this case, shortening the interval for forming the phosphoric acid film as the protective film means that after performing the dipping treatment for forming the phosphoric acid film as the protective film,
This means that the next dipping treatment is performed before the amount of irregularities formed on the surface of the aluminum foil increases, and this is done by dipping the aluminum foil while the new amount of aluminum dissolved by etching is small. This means forming a phosphoric acid film.

【0018】上記した図2においては、第1のエッチン
グ槽22、第2のエッチング槽24、第3のエッチング
槽26、第4のエッチング槽28の大きさを異ならせて
いるもので、エッチング工程の後半において前のエッチ
ング槽に比べて同等か、あるいは小さくすることによ
り、浸漬処理までの時間を徐々に短くして、エッチング
によるアルミニウムの溶解量を漸減させるようにしてい
る。
In FIG. 2 described above, the sizes of the first etching tank 22, the second etching tank 24, the third etching tank 26, and the fourth etching tank 28 are different from each other. In the latter half of the above, by making it equal to or smaller than that of the previous etching tank, the time until the immersion treatment is gradually shortened, and the amount of aluminum dissolved by etching is gradually reduced.

【0019】また図2においては、第1の浸漬処理槽2
3、第2の浸漬処理槽25、第3の浸漬処理槽27の大
きさを異ならせているもので、エッチング工程の後半に
おいて、前の浸漬処理槽に比べてその大きさを大きくす
ることにより、浸漬処理時間がエッチング工程の後半に
おいてはそれ以前の浸漬処理時間よりも長くなるように
構成して、浸漬処理効果の強化を図っている。このよう
に浸漬処理時間をエッチング工程の後半においてはそれ
以前の浸漬処理時間より長くなるように構成することに
より、アルミニウム箔31の表面に微細な凹凸が多くな
って表面脱落が起こる頻度が高くなるエッチング工程の
後半においてより強力な保護皮膜が形成されることにな
り、これにより、それ以降のエッチングによってアルミ
ニウム箔31の表面の微細な凹凸が溶解されるのを低く
抑えることができるため、単位面積あたりの静電容量を
増加させることができるものである。
Further, in FIG. 2, the first immersion treatment tank 2
3, the size of the second immersion treatment bath 25 and the size of the third immersion treatment bath 27 are made different, and by making the size larger than the previous immersion treatment bath in the latter half of the etching process. In the latter half of the etching process, the immersion treatment time is set to be longer than the previous immersion treatment time to enhance the effect of the immersion treatment. As described above, the immersion treatment time is set to be longer than the previous immersion treatment time in the latter half of the etching step, so that the surface of the aluminum foil 31 has a large number of fine irregularities, and the frequency of occurrence of surface dropout increases. A stronger protective film will be formed in the latter half of the etching step, which can suppress the dissolution of fine irregularities on the surface of the aluminum foil 31 due to the subsequent etching, and thus can reduce the unit area. The electrostatic capacity per unit can be increased.

【0020】(表1)は、図1に示す本発明の実施の形
態1におけるアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法
において、浸漬処理槽5内に入れられる浸漬処理用溶液
を構成する燐を含む酸もしくは燐酸塩の含有量を0.0
2wt%、0.05wt%、5.0wt&、10wt
%、20wt%、30wt%に設定した場合のそれぞれ
の静電容量と、静電容量指数を示したものである。
Table 1 shows phosphorus contained in the dipping treatment solution to be placed in the dipping treatment bath 5 in the method for manufacturing the electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. Acid or phosphate content of 0.0
2wt%, 0.05wt%, 5.0wt & 10wt
%, 20 wt%, and 30 wt%, respectively, and the electrostatic capacitance index is shown.

【0021】なお静電容量は、エッチング箔を22Vの
化成電圧により化成して測定した。
The capacitance was measured by forming an etching foil with a forming voltage of 22V.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】(表1)から明らかなように、エッチング
工程の途中でエッチングを一時中断させてアルミニウム
箔を燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有する溶液に浸漬し
た場合には、浸漬しない場合に比べて静電容量が増加し
ているものである。またこの静電容量の増加は、浸漬処
理用溶液中の燐を含む酸もしくは燐酸塩の含有量によっ
て異なるもので、一般には含有量が多いほど効果は大き
いが、コスト的な面を考慮すれば、特に有効に静電容量
が増加する含有量の範囲は、0.05〜20wt%の間
である。
As is apparent from Table 1, when the aluminum foil is immersed in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus and the etching is temporarily interrupted during the etching process, the aluminum foil is not Therefore, the capacitance is increasing. This increase in capacitance depends on the content of the phosphorus-containing acid or phosphate in the dipping solution. Generally, the higher the content, the greater the effect, but considering the cost. The range of the content that increases the capacitance particularly effectively is between 0.05 and 20 wt%.

【0024】なお、上記本発明の実施の形態2において
は、複数回行われる浸漬処理における浸漬処理時間を、
エッチング工程の後半においてはそれ以前の浸漬処理時
間より長くなるように構成することにより、浸漬処理効
果の強化を図った例について説明したが、これ以外に例
えば、複数回の浸漬処理における浸漬処理溶液中の燐を
含む酸もしくは燐酸塩の濃度がエッチング工程の後半に
おいてはそれ以前の濃度より高くなるように構成する
か、あるいは複数回の浸漬処理における浸漬処理用溶液
の温度がエッチング工程の後半においてはそれ以前の浸
漬処理用溶液の温度より高くなるように構成した場合で
も、上記実施の形態2と同様の作用効果を有するもので
ある。
In the second embodiment of the present invention described above, the immersion treatment time in the immersion treatment performed a plurality of times is
In the latter half of the etching process, the example in which the immersion treatment effect was enhanced by configuring the immersion treatment time to be longer than that before was described, but other than this, for example, the immersion treatment solution in a plurality of immersion treatments. In the latter half of the etching process, the concentration of the phosphorus-containing acid or phosphate in the latter is set to be higher than that before it, or the temperature of the dipping treatment solution in multiple dipping treatments is set in the latter half of the etching process. Even when the temperature is higher than the temperature of the immersion treatment solution before that, the same effects as those of the second embodiment are obtained.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように本発明のアルミ電解コンデ
ンサ用電極箔の製造方法によれば、アルミニウム箔を塩
酸を主体とする溶液中で化学的あるいは電気化学的にエ
ッチングしてアルミニウム箔の表面積を拡大させるエッ
チング工程において、このエッチング工程の途中でエッ
チングを一時中断させてアルミニウム箔を燐を含む酸も
しくは燐酸塩を含有する溶液に浸漬する浸漬処理を1回
あるいは複数回施すようにしているため、エッチング中
断後アルミニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸塩を含有
する溶液に浸漬するだけで、アルミニウム箔の表面に所
望する強度の燐酸皮膜を保護皮膜として形成することが
でき、そしてこの保護皮膜によりこの後のエッチングに
よるアルミニウム箔表面の微細な凹凸の溶解を低く抑
え、効率的に表面積を拡大させることができ、これによ
り単位面積あたりの静電容量を増加させることができる
ものである。
As described above, according to the method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor of the present invention, the surface area of the aluminum foil is chemically or electrochemically etched in a solution containing hydrochloric acid as a main component. In the etching process for enlarging, the etching is temporarily interrupted in the middle of this etching process, and the aluminum foil is immersed in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus one or more times. After the etching is interrupted, a phosphoric acid film having a desired strength can be formed as a protective film on the surface of the aluminum foil simply by immersing the aluminum foil in a solution containing a phosphoric acid or a phosphoric acid salt. Efficient surface area is achieved by suppressing the dissolution of fine irregularities on the aluminum foil surface due to the subsequent etching. Can be enlarged, thereby it is capable of increasing the capacitance per unit area.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態1におけるアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造方法を示す工程図
FIG. 1 is a process diagram showing a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態2におけるアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造方法を示す工程図
FIG. 2 is a process chart showing a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 第1のエッチング槽 5 浸漬処理槽 7 第2のエッチング槽 11 アルミニウム箔 22 第1のエッチング槽 23 第1の浸漬処理槽 24 第2のエッチング槽 25 第2の浸漬処理槽 26 第3のエッチング槽 27 第3の浸漬処理槽 28 第4のエッチング槽 31 アルミニウム箔 3 1st etching tank 5 Immersion processing tank 7 2nd etching tank 11 Aluminum foil 22 1st etching tank 23 1st immersion processing tank 24 2nd etching tank 25 2nd immersion processing tank 26 3rd etching Tank 27 Third immersion treatment tank 28 Fourth etching tank 31 Aluminum foil

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 浩一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Koichi Kojima 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルミニウム箔を塩酸を主体とする溶液
中で化学的あるいは電気化学的にエッチングしてアルミ
ニウム箔の表面積を拡大させるエッチング工程におい
て、このエッチング工程の途中でエッチングを一時中断
させてアルミニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸塩を含
有する溶液に浸漬する浸漬処理を1回あるいは複数回施
すようにしたアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方
法。
1. In an etching process of chemically or electrochemically etching an aluminum foil in a solution containing hydrochloric acid as a main component to increase the surface area of the aluminum foil, the etching is temporarily interrupted during the etching process to remove aluminum. A method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, wherein the foil is dipped in a solution containing an acid containing phosphorous or a solution containing a phosphate to perform the dipping treatment once or plural times.
【請求項2】 エッチング工程の途中でエッチングを一
時中断させてアルミニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸
塩を含有する溶液に浸漬する浸漬処理を複数回施すとと
もに、これらの浸漬処理における浸漬処理時間がエッチ
ング工程の後半においてはそれ以前の浸漬処理時間より
長くなるように構成した請求項1記載のアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造方法。
2. Immersion treatment in which etching is temporarily interrupted in the middle of the etching step and the aluminum foil is immersed in a solution containing phosphorus-containing acid or phosphate is performed a plurality of times, and the immersion treatment time in these immersion treatments is increased. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the latter half of the etching step is configured to be longer than the immersion treatment time before that.
【請求項3】 エッチング工程の途中でエッチングを一
時中断させてアルミニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸
塩を含有する溶液に浸漬する浸漬処理を複数回施すとと
もに、これらの浸漬処理における浸漬処理用溶液中の燐
を含む酸もしくは燐酸塩の濃度がエッチング工程の後半
においてはそれ以前の濃度よりも高くなるように構成し
た請求項1記載のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造
方法。
3. An immersion treatment in which the etching is temporarily interrupted in the middle of the etching step and the aluminum foil is immersed in a solution containing an acid or a phosphate containing phosphorus, and a solution for immersion treatment in these immersion treatments is performed. 2. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the concentration of the phosphorus-containing acid or phosphate therein is higher in the latter half of the etching step than in the previous concentration.
【請求項4】 エッチング工程の途中でエッチングを一
時中断させてアルミニウム箔を燐を含む酸もしくは燐酸
塩を含有する溶液に浸漬する浸漬処理を複数回施すとと
もに、これらの浸漬処理における浸漬処理用溶液の温度
がエッチング工程の後半においてはそれ以前の浸漬処理
用溶液の温度より高くなるように構成した請求項1記載
のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
4. An immersion treatment in which the etching is temporarily interrupted in the middle of the etching step and the aluminum foil is immersed in a solution containing phosphorus-containing acid or phosphate, and the immersion treatment solution is used in these immersion treatments. 2. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the temperature is higher than the temperature of the immersion treatment solution before the latter half of the etching step.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019535120A (en) * 2017-08-30 2019-12-05 南通海星電子股▲フン▼有限公司Nantong Haixing Electronics Limited Liability Company Etching method of electrode foil for low-voltage aluminum electrolytic capacitor with low contact resistance

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