JPH09243706A - 半導体集積回路およびその試験方法 - Google Patents

半導体集積回路およびその試験方法

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JPH09243706A
JPH09243706A JP8047554A JP4755496A JPH09243706A JP H09243706 A JPH09243706 A JP H09243706A JP 8047554 A JP8047554 A JP 8047554A JP 4755496 A JP4755496 A JP 4755496A JP H09243706 A JPH09243706 A JP H09243706A
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semiconductor integrated
integrated circuit
circuit
voltage
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Toshiaki Igaki
利明 井垣
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多値出力電圧を発生する半導体集積回路の論
理機能試験を迅速に行う。 【解決手段】 1チップマイクロコンピュータ1は、電
圧データ生成回路12から生成される論理データに従っ
て、D/A変換回路13から液晶表示装置の階調表示を
行うためなどの多値の出力電圧を導出する。切換回路1
6は、1チップマイクロコンピュータ1の論理機能試験
を行う際は、切換回路16を切換え、電圧周期変換回路
14からの出力を出力端子19から導出する。電圧周期
変換回路14は、電圧データ生成回路12から導出され
る論理データに対応する2値のパルス信号列を導出す
る。論理機能試験時には、2値のパルス信号列を処理す
ればよいので、論理機能試験を迅速に行うことができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多値の出力レベル
を有する半導体集積回路、特に多値の出力に関連する論
理機能の試験を迅速に行うことができるような機能を有
する半導体集積回路およびその試験方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からの多値の電圧を出力することが
できる半導体集積回路の一例を図10に示す。入出力ポ
ート用端子群50によって外部とデータの送受信が可能
な1チップマイクロコンピュータ51には、読出専用メ
モリ(以下「ROM」と略称する)およびランダムアク
セスメモリ(以下「RAM」と略称する)などを含むメ
モリ52や、中央演算処理回路(以下「CPU」と略称
する)53、タイマあるいはデバイダなどから構成され
る計時回路54、入出力ポート用端子群50とCPU5
3との間に介在される入出力インタフェース回路55、
外部から動作の基準となるシステムクロック入力信号が
与えられ、CPU53や計時回路54にクロック信号を
与えるとともに外部へのクロック出力も導出するクロッ
クジェネレータ(以下「CG」と略称する)回路56、
デジタル/アナログ(以下「D/A」と略称する)変換
回路57および電圧データ生成回路58を含む。D/A
変換回路57からの出力は、多値電圧出力端子群59か
ら1チップマイクロコンピュータ51の外部に取出すこ
とができる。液晶ドライバとして使用される1チップマ
イクロコンピュータ51においては、多値出力端子群5
9は多数、たとえば100〜200端子設けられ、それ
ぞれの端子毎に電圧データ生成回路58とD/A変換回
路57を有する。CPU53は、多値電圧出力端子群5
9の各端子毎に電圧データ生成回路58を制御し、表示
素子による階調表示を行う。
【0003】図10の1チップマイクロコンピュータ5
1のように多値の電圧値を有する出力を多値電圧出力端
子群59から導出する半導体集積回路の論理機能を試験
する場合は、次のように行われている。
【0004】出力される電圧をテスト装置内部の直流
測定装置でサンプリングし、そのサンプリングした直流
電圧値をテスト装置内部でアナログ/デジタル(以下
「A/D」と略称する)変換して電圧値をテストする方
法、 多値の出力電圧を順次的に発生させ、各出力電圧値に
対応する比較電圧を順次的に設定し、出力電圧値毎に比
較電圧と実際の出力電圧とを比較する方法、 一方の出力端子に多値の出力電圧の電圧値の種類分の
テスト用チャネルを接続し、各テスト用チャネルには対
応する比較電圧が設定されるコンパレータを接続して、
多値の出力電圧の試験を同時に行う方法、などがある。
【0005】多値の出力を有する半導体集積回路の試験
についての先行技術は、たとえば特開昭58−7917
1に開示されている。この先行技術では、1つのテスト
装置チャネルに複数のコンパレータを接続し、各コンパ
レータに多値の出力電圧のいずれかに対応した比較電圧
を設定し、1回の出力で多値の出力電圧を同時に試験す
ることができる方法として提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】多値の電圧を出力する
ことができる半導体集積回路の出力電圧値を試験する場
合、直流電圧値をテスト装置内部でA/D変換する前述
のの方法では、データのサンプリングおよびA/D変
換動作のような時間を要する処理が含まれるために、テ
スト時間が増加してしまう。また前述のの方法のよう
に、テスト装置内部の比較電圧値を設定変更しながら出
力電圧値の試験を行う場合も、同じ出力端子電圧を比較
電圧を設定する回数分だけ繰返して試験する必要がある
ので、試験時間が増加してしまう。また前述ので示す
ように、複数のテスト装置チャネルに1本の出力端子を
接続して試験を行う場合は、半導体集積回路の出力端子
数が増加すると、その分だけ多くテスト装置チャネルが
必要になる。必要なテスト装置チャネル数は、増加する
出力端子数と比較電圧設定値との積となるので、高価な
多ピン試験装置が必要となるうえに、出力端子の負荷コ
ンデンサとなるテスト装置チャネル入力容量が無視でき
なくなり、半導体集積回路としての動作が正常に行えな
くなる可能性も生じる。特開昭58−79171の先行
技術のように、1つのテスト装置チャネルに複数のコン
パレータを接続する方法では、各コンパレータの入力容
量が出力端子の負荷コンデンサとなり、半導体集積回路
としての動作が正常に行えなくなる可能性が生じる。
【0007】本発明の目的は、簡単な構成で、多値の出
力レベルを生成する論理回路の機能試験を容易に行うこ
とができる半導体集積回路およびその試験方法を提供す
ることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、出力すべき論
理データを多値のレベルに変換して出力する半導体集積
回路において、出力すべき論理データを、予め定める対
応関係に従って、2値のパルス信号列に変換する変換手
段を含むことを特徴とする半導体集積回路である。本発
明に従えば、半導体集積回路が論理的動作に従って多値
の出力レベルのうちの1つのレベルを出力する際に、出
力すべき論理データに対応する2値のパルス信号列が変
換手段によって変換される。半導体集積回路の論理的な
機能は変換された2値のパルス信号列を受信すれば動作
を確認することができるので、試験信号の処理に要する
時間を短縮し、試験装置の構成も簡素化することができ
る。
【0009】また本発明は、前記多値のレベルを出力す
るための出力端子を、前記変換手段からの2値のパルス
信号列を出力するように切換えるための切換手段を備え
ることを特徴とする。本発明に従えば、切換手段によっ
て半導体集積回路から多値の出力レベルを導出する出力
端子を、変換手段によって変換された2値のパルス信号
列導出用にも使用することができる。これによって、半
導体集積回路の外部端子の数を増やさずに論理機能試験
の便宜を図ることができる。
【0010】また本発明は、外部からの予め定める制御
指令に応答し、前記切換手段によって変換された2値の
パルス信号列を外部に導出するように制御する制御手段
を備えることを特徴とする。本発明に従えば、制御手段
に外部から予め定める制御指令を与えることによって、
出力すべき論理データに対応する2値のパルス信号列を
外部に導出するように制御することができるので、半導
体集積回路の試験の際に2値のパルス信号列によって論
理機能の試験を容易に行うことができる。
【0011】さらに本発明は、出力すべき論理データを
多値のレベルに変換して出力する半導体集積回路の試験
方法において、出力すべき論理データを、予め定める対
応関係に従って、2値のパルス信号列に変換する変換手
段を半導体集積回路内に設け、出力端子から多値レベル
信号と2値パルス列信号とを切換えて出力可能としてお
き、半導体集積回路の論理機能試験時に、出力端子から
2値パルス列信号を試験装置に入力するように切換える
ことを特徴とする半導体集積回路の試験方法である。本
発明に従えば、半導体集積回路の論理機能試験の際に予
め定める制御指令を与えることによって、論理機能に基
づく多値の出力レベルを、対応する2値のパルス信号列
に変換して確認することができる。出力すべき論理デー
タと多値の出力レベルとの対応関係が正常であることを
一旦確認しておけば、論理機能は多値の出力レベルで確
認する必要はなく、2値のパルス信号列を利用して迅速
に試験することができる。また、パルス信号列を試験装
置のシステムクロック信号に同期して発生させれば、そ
の入力処理は一層容易かつ確実に行うことができる。
【0012】また本発明で、前記変換手段による2値の
パルス列信号への変換は、予め定める時間周期内に多値
レベルと予め定める対応関係を有する数のパルス信号が
存在するように行うことを特徴とする。本発明に従え
ば、2値のパルス信号列は予め定める時間周期内に存在
するパルス信号の数で対応させるので、たとえば多値の
レベルについてそれぞれ対応する分割数を定め、その分
割数で2値のパルス信号列の周期を分割した周期を有す
るパルス信号を発生させたり、短い周期のパルス信号
を、多値のレベルに合わせた数だけ発生させたりして、
容易に発生させることができる。2値のパルス信号列の
処理では、時間周期内でパルス信号の数を計数すればよ
いので、容易に対応する論理データを確認することがで
きる。
【0013】また本発明で前記変換手段による2値のパ
ルス列信号への変換は、予め定める時間周期内で、多値
レベルと予め定める対応関係を有する位置にパルス信号
が存在するように行うことを特徴とする。本発明に従え
ば、パルス信号列の時間周期を分割して分割点の位置と
出力すべき論理データのレベルとを対応させることによ
って、2値のパルス信号列を受信して出力すべき論理デ
ータを確認することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態に
よる半導体集積回路の論理機能的な構成を示す。半導体
集積回路である1チップマイクロコンピュータ1は、R
OMやRAMを含むメモリ2、CPU3、CG回路4お
よび出力回路11を含む。出力回路11内には、電圧デ
ータ生成回路12、D/A変換回路13、電圧周期変換
回路14、計時回路15、切換回路16および制御回路
17を含む。1チップマイクロコンピュータ1では、タ
イマあるいはデバイダなどから構成されるプログラマブ
ルな計時回路15を予め内蔵していることが多い。電圧
データ生成回路12は、D/A変換回路13および電圧
周期変換回路14に出力すべき電圧値を表すデータを与
える。1チップマイクロコンピュータ1の実際の使用状
態では、D/A変換回路13から出力される多値の電圧
が、切換回路16によって選択される。1チップマイク
ロコンピュータ1の論理機能試験を行う場合は、制御入
力端子18から所定の論理値を入力し、制御回路18に
よって切換回路16を電圧周期変換回路14から発生す
る信号が出力端子19から導出されるように切換える。
電圧周期変換回路14では、CG回路4から発生される
クロック信号を計時回路15が2N分周(N=1,2,
…,n) パルス信号列を電圧周期変換回路14によっ
て選択してパルス信号列として出力される。
【0015】図2は、D/A変換回路13、電圧周期変
換回路14、計時回路15、切換回路16および制御回
路17に関連する論理的構成を示す。計時回路15は、
n段の分周回路21〜2nが縦続的に接続され、各段の
分周回路21〜2nでは入力信号を1/2に分周、すな
わち2倍の周期の信号に変換する。電圧周期変換回路1
4は、n入力のセレクタ回路30を有し、図1の電圧デ
ータ生成回路12から与えられる電圧レベルV1生成信
号、電圧レベルV2生成信号、…、電圧レベルVn生成
信号に応答して、計時回路15の分周回路21〜2nの
うちの1つの出力を選択する。電圧レベルV1〜Vn生
成信号および分周回路21〜2nの出力信号は、それぞ
れセレクタ回路30の2入力ANDゲート31〜3n
に、対応関係にある電圧レベル生成信号と分周回路21
〜2nの出力とがそれぞれ対を成すように入力される。
2入力ANDゲート31〜3nの出力は、n入力ORゲ
ート40の各入力にそれぞれ入力される。
【0016】たとえば電圧レベルV1生成信号がハイレ
ベルの論理値1を表し、他の電圧レベルV2生成信号〜
電圧レベルVn生成信号がローレベルの論理値0を表す
ときには、2入力ANDゲート32〜3nの出力は分周
回路22〜2nの出力レベルに無関係にローレベルとな
り、2入力ANDゲート31の出力のみが分周回路21
の出力レベルに対応して変化する。n入力ORゲート4
0の出力は、2入力ANDゲート31の出力と同一の論
理出力に変化し、分周回路21の出力を選択したことと
なる。
【0017】切換回路16内には、D/A変換回路13
の出力が入力されるスイッチ回路41と、n入力ORゲ
ート40の出力が入力されるスイッチ回路42とが含ま
れる。各スイッチ回路41,42は、出力側が共通接続
されて出力端子19に接続される。スイッチ回路41,
42の制御入力には、制御回路17内で論理的に反転さ
れた出力がそれぞれ与えられ、一方のスイッチ回路4
1,42が動作するときには他方のスイッチ回路41,
42は不動作状態で出力インピーダンスが高い状態とな
る。制御回路17内には、制御入力端子18からの制御
入力がデータDとして入力されるフリップフロップ43
と、その出力Qに接続されるインバータ14が含まれ
る。フリップフロップ43の出力Qがハイレベルのとき
にはスイッチ回路42が動作し、スイッチ回路41は不
動作となるので、出力端子19からは電圧周期変換回路
14によって変換された2値のパルス列信号が導出され
る。
【0018】図3は、(a)で図2のD/A変換回路1
3から導出される出力波形を示し、(b)で電圧周期変
換回路14から導出される出力波形を示す。D/A変換
回路13からは、液晶表示装置で階調表示を行うための
4値V1,V2,V3,V4の電圧レベルを有する出力
が導出される。すなわち図2でn=4の場合に相当す
る。D/A変換回路13の出力電圧値がV4の場合は、
t1の周期のパルス列が電圧周期変換回路14から出力
される。D/A変換回路13の出力電圧値がV3の場合
は、t1の8倍の周期のパルス列が電圧周期変換回路1
4から出力される。D/A変換回路13の出力電圧値が
V2の場合は、t1の4倍の周期のパルス列が電圧周期
変換回路14から出力される。D/A変換回路13の出
力電圧値がV1の場合は、t1の2倍の周期のパルス列
が電圧周期変換回路14から出力される。このように、
電圧周期変換回路14ではD/A変換回路13からの出
力電圧値を、それぞれ対応する周期のパルス列に変換す
るけれども、この場合電圧値と周期との大小関係の対応
関係は不要であり、電圧値を任意の周期のパルス列に対
応させることもできるし、電圧値と周期の大小関係とを
対応するようにすることもできる。
【0019】図4は、図1の電圧データ生成回路12の
構成を示す。電圧データ生成回路12内には、2つの4
ビットレジスタ12a,12bと8ビットレジスタ12
jおよび演算回路12zが含まれる。4ビットレジスタ
12aと12bとは、レジスタ12aを上位とした8ビ
ットレジスタとして動作し、演算回路12zはレジスタ
12a,12bとレジスタ12jとの間の8ビットの論
理和を演算して出力する。各レジスタ12a,12b,
12jには、図1のCPU3からそれぞれデータを設定
可能である。電圧データ生成回路12からは、このよう
にしてCPU3によって設定された8ビットの論理デー
タが導出される。演算回路12zでは、減算や乗算など
他の演算を行うようにしてもよい。
【0020】図5は、図1および図2に示すD/A変換
回路13の構成を示す。D/A変換回路13には、4ビ
ット分のバッファ13a、4ビット分のスイッチ13b
および分圧抵抗13cが含まれる。4ビット分のバッフ
ァ13aには、図4に示す電圧データ生成回路12の4
ビットレジスタ12bからの4ビットの出力が与えられ
る。バッファ13aおよびスイッチ13bは、レジスタ
12bの各ビットの出力が論理値1のときにON状態と
なるように接続される。スイッチ13bがON状態とな
ると、並列に接続されている分圧抵抗13cの抵抗値は
0になり、スイッチ13bがOFF状態であれば分圧抵
抗13cは抵抗値R,R×2,R×4,R×8のいずれ
かとなる。
【0021】電源電圧Vccの電圧をV1とすると、レ
ジスタ12bの各ビットがすべて1でデータが16進数
の「F」で表されるときには、分圧抵抗13cの最下段
の抵抗Rには電源電圧Vccが直接印加され、出力電圧
VoはV1がそのまま出力される。レジスタ12bの各
ビットがすべて0のときには、分圧抵抗12cはすべて
の抵抗が直列に接続され、電源電圧VccはR+R×2
+R×4+R×8の直列抵抗とRの抵抗とで分圧され、
出力電圧Vo=1/16V1となる。レジスタ12bが
1、すなわち最小ビットのみが1で他のビットが0のと
きには、抵抗R+R×2+R×4と抵抗Rとの分圧電圧
出力Voとなり、Vo=1/8V1となる。レジスタ1
2bのデータが5、すなわち最小のビットおよび第3番
目のビットが1で、他のビットが0のときには、抵抗R
+R×4と抵抗Rとで電源電圧Vccを分圧した電圧出
力Vo=1/6V1が得られる。
【0022】図6は、図1に示す1チップマイクロコン
ピュータ1を動作試験するためのテスト装置45の構成
を示す。出力端子19には測定用チャネル46が接続さ
れる。測定用チャネルには論理試験手段47が接続さ
れ、制御入力端子18には制御信号チャネル48が接続
される。1チップマイクロコンピュータ1の論理機能試
験を行う際には、論理試験手段47が制御信号チャネル
48を介して1チップマイクロコンピュータ1を論理試
験用の動作モードに切換え、出力端子19から2値のパ
ルス信号列を導出させる。論理試験手段47は、測定用
チャネル46を介して2値のパルス信号列を受信し、1
チップマイクロコンピュータ1の論理機能を試験する。
論理試験手段47では、前述のような周期と出力電圧値
との対応関係に基づいて、多値の出力電圧を処理しない
でも論理機能試験を行うことができる。図1に示す1チ
ップマイクロコンピュータ1のCG回路4には、テスト
装置45からシステム用クロック信号が入力される。1
チップマイクロコンピュータ1は、CG回路4が入力さ
れたシステムクロック信号に基づいて作成するクロック
信号に従って動作し、計時回路15もシステムクロック
信号に同期して動作する。計時回路15の出力を利用し
てパルス波形を発生させれば、パルス波形はシステムク
ロック信号と同期したタイミングで出力される。したが
ってパルス信号波形の変化点のタイミングをテスト装置
45側で制御することができるので、論理機能試験を容
易に行うことができる。
【0023】図7は、本発明の実施の他の形態による1
チップマイクロコンピュータのうちの出力回路の構成を
示す。本実施形態で図1の実施形態に対応する部分には
同一の参照符を付し説明を省略する。本実施形態では、
図1の実施形態における変換手段である電圧周期変換回
路14の代わりにシリアルデータ変換回路(以下「SI
O」と略称する)49を用いる。
【0024】図8は、SIO49をパルス信号列への変
換手段として使用した場合の対応関係を、(a)でD/
A変換回路13からの出力波形、(b)でSIO49か
らの出力波形によってそれぞれ示す。図9は、SIO4
9の構成の一例を示す。SIO49内にはnビットラッ
チ回路49aとnビットシフトレジスタ49bが含まれ
る。nビットラッチ回路49aにはCPU3からラッチ
信号が与えられ、電圧データ生成回路12からのnビッ
トの出力をラッチする。ラッチ信号のタイミングでラッ
チされたnビットのデータは、nビットシフトレジスタ
49bでCPU3から与えられるシリアル変換制御信号
に従って順次レジスタ内容をシフトしながら出力する。
【0025】たとえばn=8とし、データが2桁の16
進数で「01」の場合は「00000001」が出力さ
れ、2桁の16進数で「10」の場合は「000100
00」が出力される。図8(b)では、n=4の場合
に、それぞれ出力電圧値V1,V2,V3,V4に対応
する位置でシリアルデータとしてパルス信号列が出力さ
れる。
【0026】以上の各実施形態では、1ビットマイクロ
コンピュータ1の出力端子19に多値の電圧レベルが出
力される場合について説明しているけれども、多値の電
流レベルが出力される場合も同様に論理試験を行うこと
ができる。また制御入力端子18を設けて外部から制御
入力を与えて論理試験が可能な状態に切換えているけれ
ども、特別な制御入力端子を設けないで、CPU3に特
別なコマンドを制御指令として与えて論理試験が可能な
状態に切換えることもできる。さらに、半導体集積回路
をパッケージに実装する前のウエハの段階で、外部端子
を使用せずにパッドからプローブで2値のパルス信号列
を取出して試験することもできる。
【0027】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、多値のレ
ベルの出力を生成する論理機能の試験を、多値の出力レ
ベルを有する出力波形を試験するのではなく、2値のパ
ルス信号列を試験することによって実行することができ
る。多値の出力レベルの入力処理よりも2値のパルス信
号列の入力処理の方が短時間で行うことができるので、
半導体集積回路の機能試験に要する時間を大幅に短縮す
ることができる。また試験装置の構成も簡単となり、半
導体集積回路の試験時の負荷も軽減されるので、試験中
に半導体集積回路が誤動作するおそれも解消することが
できる。したがって、多値の出力レベルを導出する半導
体集積回路の論理機能試験を迅速に行うことができ、か
つ半導体集積回路の試験を含む製造コストを低減するこ
とができる。
【0028】また本発明によれば、半導体集積回路の多
値のレベルを出力する出力端子を切換えて対応する2値
のパルス信号列を導出することができるので、半導体集
積回路の外部端子の数を増やすことなく論理機能試験時
間の短縮を図ることができる。
【0029】また本発明によれば、半導体集積回路に予
め定めるレベルを有する制御信号を与えることによっ
て、多値の出力レベルに対応する2値のパルス信号列を
導出させ、半導体集積回路としての論理機能試験を迅速
に行わせることができる。
【0030】さらに本発明によれば、論理機能に従って
多値のレベルの出力を導出する半導体集積回路の機能試
験を、処理に時間がかかる多値の出力レベルではなく迅
速な処理が可能な2値のパルス信号列によって行うこと
ができるので、試験時間を短縮し製造コストを低減する
ことができる。試験装置の構成も簡易化され、試験中の
半導体集積回路の負荷も軽減され、誤動作のおそれを解
消することができる。
【0031】また本発明によれば、半導体集積回路の論
理機能に従って発生される2値のパルス信号列は、予め
定める時間周期内に存在するパルス信号の数が多値のレ
ベルに対応しているので、カウンタなどで計数すること
によって容易に出力レベルを確認することができる。
【0032】また本発明によれば、半導体集積回路の論
理機能に従って導出される多値の出力レベルは、2値の
パルス信号列の予め定める周期内におけるパルス信号の
位置で確認することができるので、論理機能試験を迅速
に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態としての1チップマイク
ロコンピュータ1の電気的構成を示すブロック図であ
る。
【図2】図1の部分的な電気的構成を示すブロック図で
ある。
【図3】図1の実施形態の出力波形を示すタイムチャー
トである。
【図4】図1の電圧データ生成回路12の構成を示すブ
ロック図である。
【図5】図1のD/A変換回路13の構成を示すブロッ
ク図である。
【図6】図1の1チップマイクロコンピュータ1を論理
試験するためのテスト装置の構成を示すブロック図であ
る。
【図7】本発明の実施の他の形態の部分的な電気的構成
を示すブロック図である。
【図8】図7の実施形態の出力波形を示すタイムチャー
トである。
【図9】図7のSIO49の構成を示すブロック図であ
る。
【図10】従来からの多値出力半導体集積回路の電気的
構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 1チップマイクロコンピュータ 2 メモリ 3 CPU 4 CG回路 11 出力回路 12 電圧データ生成回路 13 D/A変換回路 14 電圧周期変換回路 15 計時回路 16 切換回路 17 制御回路 19 出力端子 21〜2n 分周回路 30 セレクタ回路 45 テスト装置 46 測定用チャネル 47 論理試験手段 48 制御信号チャネル 49 SIO

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 出力すべき論理データを多値のレベルに
    変換して出力する半導体集積回路において、 出力すべき論理データを、予め定める対応関係に従っ
    て、2値のパルス信号列に変換する変換手段を含むこと
    を特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記多値のレベルを出力するための出力
    端子を、前記変換手段からの2値のパルス信号列を出力
    するように切換えるための切換手段を備えることを特徴
    とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 外部からの予め定める制御指令に応答
    し、前記切換手段によって変換された2値のパルス信号
    列を外部に導出するように制御する制御手段を備えるこ
    とを特徴とする請求項1または2記載の半導体集積回
    路。
  4. 【請求項4】 出力すべき論理データを多値のレベルに
    変換して出力する半導体集積回路の試験方法において、 出力すべき論理データを、予め定める対応関係に従っ
    て、2値のパルス信号列に変換する変換手段を半導体集
    積回路内に設け、出力端子から多値レベル信号と2値パ
    ルス列信号とを切換えて出力可能としておき、 半導体集積回路の論理機能試験時に、出力端子から2値
    パルス列信号を試験装置に入力するように切換えること
    を特徴とする半導体集積回路の試験方法。
  5. 【請求項5】 前記変換手段による2値のパルス列信号
    への変換は、予め定める時間周期内に多値レベルと予め
    定める対応関係を有する数のパルス信号が存在するよう
    に行うことを特徴とする請求項4記載の半導体集積回路
    の試験方法。
  6. 【請求項6】 前記変換手段による2値のパルス列信号
    への変換は、予め定める時間周期内で、多値レベルと予
    め定める対応関係を有する位置にパルス信号が存在する
    ように行うことを特徴とする請求項4記載の半導体集積
    回路の試験方法。
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