JPH09236609A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JPH09236609A JPH09236609A JP8042927A JP4292796A JPH09236609A JP H09236609 A JPH09236609 A JP H09236609A JP 8042927 A JP8042927 A JP 8042927A JP 4292796 A JP4292796 A JP 4292796A JP H09236609 A JPH09236609 A JP H09236609A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】試料の正確な三次元画像を短時間で取得できる
走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】包埋材２は凍結され、その中に試料１を含
んでいる。この包埋材２は試料台４に挿入固定される。
試料台４の内部の空間内には液体窒素３が封入される。
回転アーム４３は、その一端に包埋材２と試料１を薄く
削り取るためのカッター８を支持し、モーター１０によ
り所定の角度範囲で揺動される。探針を自由端に備える
カンチレバー１１は、ホルダー１２を介して、その自由
端の変位を測定する変位センサーユニット１３に取り付
けられる。変位センサーユニット１３を支持するスキャ
ナー１４は、粗動ステージ１７に支持されたフランジ１
５に固定されている。コンピューター２９は、装置全体
の制御、信号および画像の処理を行ない、その結果をモ
ニター３０に表示する。
走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】包埋材２は凍結され、その中に試料１を含
んでいる。この包埋材２は試料台４に挿入固定される。
試料台４の内部の空間内には液体窒素３が封入される。
回転アーム４３は、その一端に包埋材２と試料１を薄く
削り取るためのカッター８を支持し、モーター１０によ
り所定の角度範囲で揺動される。探針を自由端に備える
カンチレバー１１は、ホルダー１２を介して、その自由
端の変位を測定する変位センサーユニット１３に取り付
けられる。変位センサーユニット１３を支持するスキャ
ナー１４は、粗動ステージ１７に支持されたフランジ１
５に固定されている。コンピューター２９は、装置全体
の制御、信号および画像の処理を行ない、その結果をモ
ニター３０に表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料、特に常温で
活性のある細胞等の生物試料をナノメートルオーダーの
分解能で観察し、三次元画像を形成する走査型プローブ
顕微鏡に関する。
活性のある細胞等の生物試料をナノメートルオーダーの
分解能で観察し、三次元画像を形成する走査型プローブ
顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡は、試料をナノメ
ートルのオーダーの分解能で観察できる装置であり、走
査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡などの総称であ
る。走査型トンネル顕微鏡は導電性の試料をナノメート
ルのオーダーで観察でき、原子間力顕微鏡は導電性の試
料に加えて絶縁性の試料もナノメートルのオーダーで観
察できる。
ートルのオーダーの分解能で観察できる装置であり、走
査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡などの総称であ
る。走査型トンネル顕微鏡は導電性の試料をナノメート
ルのオーダーで観察でき、原子間力顕微鏡は導電性の試
料に加えて絶縁性の試料もナノメートルのオーダーで観
察できる。
【０００３】原子間力顕微鏡は、鋭く尖った探針を自由
端に持つカンチレバーを有している。探針と試料が接近
すると、探針先端と試料表面の原子間に相互作用すなわ
ち原子間力が働き、カンチレバーの自由端が変位する。
その変位量は探針先端と試料表面の間隔に依存する。探
針を試料表面に沿って走査するとともに、カンチレバー
の自由端の変位を測定することで、試料表面上の測定点
における高さ情報が得られ、位置情報と高さ情報とに基
づいて試料表面の凹凸像が得られる。
端に持つカンチレバーを有している。探針と試料が接近
すると、探針先端と試料表面の原子間に相互作用すなわ
ち原子間力が働き、カンチレバーの自由端が変位する。
その変位量は探針先端と試料表面の間隔に依存する。探
針を試料表面に沿って走査するとともに、カンチレバー
の自由端の変位を測定することで、試料表面上の測定点
における高さ情報が得られ、位置情報と高さ情報とに基
づいて試料表面の凹凸像が得られる。
【０００４】これとは別に、凍結させた生体試料をミク
ロトームで切断し、その薄片を電子顕微鏡で観察する技
術が実施されている。この場合、試料はオスミウム染色
などが施される。
ロトームで切断し、その薄片を電子顕微鏡で観察する技
術が実施されている。この場合、試料はオスミウム染色
などが施される。
【０００５】また、同様の薄片試料を原子間力顕微鏡で
観察する技術も確立されている。この場合、試料に染色
等の処理を行なう必要はない。この観察により得られる
画像は試料の内部構造の断面つまり二次元的分布を表し
ている。
観察する技術も確立されている。この場合、試料に染色
等の処理を行なう必要はない。この観察により得られる
画像は試料の内部構造の断面つまり二次元的分布を表し
ている。
【０００６】さらに、凍結試料を連続的に切断し、その
各薄片試料を光学顕微鏡または電子顕微鏡を用いて観察
し、その結果得られた多数の画像を重ね合わせて三次元
画像を形成しようとする試みが行なわれている。
各薄片試料を光学顕微鏡または電子顕微鏡を用いて観察
し、その結果得られた多数の画像を重ね合わせて三次元
画像を形成しようとする試みが行なわれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この方法により試料の
三次元的構造を画像化するには、多数の薄片試料の二次
元画像に対して、その各々を正しい向きに揃えて重ねる
といった作業が強いられる。この作業は手作業により行
なわれ、多数の二次元画像を常に正しい向きで重ね合わ
せることは難しい。特に、僅かなスパイラルを持つ構造
に対しては、重ね合わせの向きを誤る確率が高い。ま
た、薄片化や処理による伸縮や剪断変形も起こり易くな
る。このような事情を考慮すると、三次元画像の構築に
は経験と多大な時間が必要な上に、得られた三次元画像
の正確さにも疑問が残る。本発明の目的は、試料の三次
元画像を正確に短い時間で構築できる走査型プローブ顕
微鏡を提供することである。
三次元的構造を画像化するには、多数の薄片試料の二次
元画像に対して、その各々を正しい向きに揃えて重ねる
といった作業が強いられる。この作業は手作業により行
なわれ、多数の二次元画像を常に正しい向きで重ね合わ
せることは難しい。特に、僅かなスパイラルを持つ構造
に対しては、重ね合わせの向きを誤る確率が高い。ま
た、薄片化や処理による伸縮や剪断変形も起こり易くな
る。このような事情を考慮すると、三次元画像の構築に
は経験と多大な時間が必要な上に、得られた三次元画像
の正確さにも疑問が残る。本発明の目的は、試料の三次
元画像を正確に短い時間で構築できる走査型プローブ顕
微鏡を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による走査型プロ
ーブ顕微鏡は、探針と、探針を自由端に支持するカンチ
レバーと、カンチレバーの自由端の変位を測定する手段
と、試料表面に沿って探針を走査する手段と、測定手段
と走査手段から得られる位置情報と高さ情報とに基づい
て試料表面の画像を形成する手段と、試料を薄く削り取
る手段とを有しており、試料を削り取る毎に、新しく現
れた試料表面の画像を得る。このようにして得られる多
数の試料表面の画像を高さ方向に重ねて処理することに
より試料の三次元像が得られる。
ーブ顕微鏡は、探針と、探針を自由端に支持するカンチ
レバーと、カンチレバーの自由端の変位を測定する手段
と、試料表面に沿って探針を走査する手段と、測定手段
と走査手段から得られる位置情報と高さ情報とに基づい
て試料表面の画像を形成する手段と、試料を薄く削り取
る手段とを有しており、試料を削り取る毎に、新しく現
れた試料表面の画像を得る。このようにして得られる多
数の試料表面の画像を高さ方向に重ねて処理することに
より試料の三次元像が得られる。
【０００９】上記構成において、より好ましくは、試料
は包埋材に包埋されており、削り取り手段は試料を包埋
材と共に削り取り、走査型プローブ顕微鏡は更に包埋材
を昇華させる手段を有している。
は包埋材に包埋されており、削り取り手段は試料を包埋
材と共に削り取り、走査型プローブ顕微鏡は更に包埋材
を昇華させる手段を有している。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。図１に示されるよう
に、試料１は包埋材２の中に包埋されている。試料１は
単一の細胞やコロニー等であり、包埋材２は例えば水で
ある。試料１の包埋については、低温電子顕微鏡用の試
料調製に関する技術がそのまま適用できる。
の実施の形態について説明する。図１に示されるよう
に、試料１は包埋材２の中に包埋されている。試料１は
単一の細胞やコロニー等であり、包埋材２は例えば水で
ある。試料１の包埋については、低温電子顕微鏡用の試
料調製に関する技術がそのまま適用できる。
【００１１】包埋材２は凍結されており、その中に試料
１を含んでいる。この凍結された包埋材２は試料台４に
挿入固定される。試料台４は内部に円筒状の空間を有
し、この空間内には液体窒素３が封入されており、包埋
材２と試料１を冷却する。液体窒素３は、ノズル３１を
介して、補充されたり交換されたりする。試料台４は、
スライダ軸受６にガイドされたスラスト軸３３に固定さ
れており、モーター７により上下方向に移動される。
１を含んでいる。この凍結された包埋材２は試料台４に
挿入固定される。試料台４は内部に円筒状の空間を有
し、この空間内には液体窒素３が封入されており、包埋
材２と試料１を冷却する。液体窒素３は、ノズル３１を
介して、補充されたり交換されたりする。試料台４は、
スライダ軸受６にガイドされたスラスト軸３３に固定さ
れており、モーター７により上下方向に移動される。
【００１２】スピンドル９には回転アーム４３が固定さ
れており、回転アーム４３の一端には、包埋材２と試料
１を薄く削り取るためのカッター８が固定されている。
回転アーム４３の他端には、回転のバランスを取るため
の重り３２が取り付けられ、回転アーム４３はカッター
８の反対側が短く構成されている。スピンドル９はモー
ター１０によって所定の角度範囲で回転され、これによ
り回転アーム４３は所定の角度範囲で揺動する。このよ
うに、回転アーム４３のカッター８の反対側が短いこ
と、回転アーム４３が揺動駆動されることによって、チ
ャンバー２４の小型化が図られている。
れており、回転アーム４３の一端には、包埋材２と試料
１を薄く削り取るためのカッター８が固定されている。
回転アーム４３の他端には、回転のバランスを取るため
の重り３２が取り付けられ、回転アーム４３はカッター
８の反対側が短く構成されている。スピンドル９はモー
ター１０によって所定の角度範囲で回転され、これによ
り回転アーム４３は所定の角度範囲で揺動する。このよ
うに、回転アーム４３のカッター８の反対側が短いこ
と、回転アーム４３が揺動駆動されることによって、チ
ャンバー２４の小型化が図られている。
【００１３】試料台４の上方には、鋭く尖った探針を自
由端に備えるカンチレバー１１が配置される。カンチレ
バー１１はホルダー１２に固定されており、ホルダー１
２は変位センサーユニット１３に取り付けられ、カンチ
レバー１１の交換はホルダー１２ごと行なわれる。変位
センサーユニット１３は、カンチレバー１１の自由端の
変位を測定する光てこ法等による変位測定光学系を内部
に有している。
由端に備えるカンチレバー１１が配置される。カンチレ
バー１１はホルダー１２に固定されており、ホルダー１
２は変位センサーユニット１３に取り付けられ、カンチ
レバー１１の交換はホルダー１２ごと行なわれる。変位
センサーユニット１３は、カンチレバー１１の自由端の
変位を測定する光てこ法等による変位測定光学系を内部
に有している。
【００１４】変位センサーユニット１３はスキャナー１
４の下端に固定されており、スキャナー１４は上端がフ
ランジ１５に固定されている。スキャナー１４は例えば
自由端を三次元的に変位できる圧電チューブスキャナー
である。
４の下端に固定されており、スキャナー１４は上端がフ
ランジ１５に固定されている。スキャナー１４は例えば
自由端を三次元的に変位できる圧電チューブスキャナー
である。
【００１５】フランジ１５は、これに固定されたピン２
０と、これに螺合された二本の調整ねじ２１（一本のみ
図示される）の三点で粗動ステージ１７に支持されてい
る。粗動ステージ１７は、チャンバー２４の底板にあた
るベース５に固定された支柱１８に対して上下方向に移
動可能に設けられている。粗動ステージ１７は、ねじ１
９を介して支柱１８と連結されており、モーター４１と
支柱１８に組み込まれた駆動機構とガイドによって上下
に移動される。フランジ１５に設けられた一本のピン２
０と二本の調整ねじ２１は中心に対して１２０°の角度
間隔で設けられており、二本の調整ねじ２１を回わして
フランジ１５の下側の突出量を変化させることにより、
スキャナー１４の姿勢すなわちその傾斜方向を変えるこ
とができ、これにより走査位置の調整が行なえる。
０と、これに螺合された二本の調整ねじ２１（一本のみ
図示される）の三点で粗動ステージ１７に支持されてい
る。粗動ステージ１７は、チャンバー２４の底板にあた
るベース５に固定された支柱１８に対して上下方向に移
動可能に設けられている。粗動ステージ１７は、ねじ１
９を介して支柱１８と連結されており、モーター４１と
支柱１８に組み込まれた駆動機構とガイドによって上下
に移動される。フランジ１５に設けられた一本のピン２
０と二本の調整ねじ２１は中心に対して１２０°の角度
間隔で設けられており、二本の調整ねじ２１を回わして
フランジ１５の下側の突出量を変化させることにより、
スキャナー１４の姿勢すなわちその傾斜方向を変えるこ
とができ、これにより走査位置の調整が行なえる。
【００１６】粗動ステージ１７には、三つのばね台３６
が固定されており、ばね台３６の上端には、フランジ１
５を粗動ステージ１７に抑え付けるばね３７が固定され
ている。これによりフランジ１５が粗動ステージ１７に
安定に支持されている。
が固定されており、ばね台３６の上端には、フランジ１
５を粗動ステージ１７に抑え付けるばね３７が固定され
ている。これによりフランジ１５が粗動ステージ１７に
安定に支持されている。
【００１７】調整ねじ２１の各々に対して、これを装置
の外部から回転させる調整機構が、チャンバー２４の天
板にあたるブラケット４２に設けられている。この調整
機構は、調整ねじ２１の六角形状等の頭に係合する係合
部４４、係合部４４をその下端で支持するブラケット４
２を貫通する軸２２、軸２２の上端に固定された摘み２
３、この構造体を上方に押し上げるばね３４、軸２２と
ブラケット４２の間の気密を保つシール３５を有してい
る。通常の状態では、係合部４４はばね３４の力により
上方に押し上げられ、調整ねじ２１から離れており、両
者は断熱されている。調整ねじ２１の回転調整は、摘み
２３を押し下げて係合部４４を調整ねじ２１の頭に係合
させ、摘み２３を回わして行なう。
の外部から回転させる調整機構が、チャンバー２４の天
板にあたるブラケット４２に設けられている。この調整
機構は、調整ねじ２１の六角形状等の頭に係合する係合
部４４、係合部４４をその下端で支持するブラケット４
２を貫通する軸２２、軸２２の上端に固定された摘み２
３、この構造体を上方に押し上げるばね３４、軸２２と
ブラケット４２の間の気密を保つシール３５を有してい
る。通常の状態では、係合部４４はばね３４の力により
上方に押し上げられ、調整ねじ２１から離れており、両
者は断熱されている。調整ねじ２１の回転調整は、摘み
２３を押し下げて係合部４４を調整ねじ２１の頭に係合
させ、摘み２３を回わして行なう。
【００１８】チャンバー２４には、試料周辺部分を外部
から観察するの窓１６が設けられている。また、チャン
バー２４には、ガス置換を行なうための導入管２５と排
出管２６が設けられており、チャンバー２４の中の雰囲
気を任意に変えることができる。
から観察するの窓１６が設けられている。また、チャン
バー２４には、ガス置換を行なうための導入管２５と排
出管２６が設けられており、チャンバー２４の中の雰囲
気を任意に変えることができる。
【００１９】スキャナー１４を駆動するドライバー２
７、粗動ステージ１７の上下動用のモーター４１を駆動
するドライバー３８、カッター８のためのモーター１０
を駆動するドライバー３９、試料台４の上下動用のモー
ター４０を駆動するドライバー４０は、コンピューター
２９により制御される。また、変位センサーユニット１
３からの変位信号はプリアンプ２８を介してコンピュー
ター２９に送られる。コンピューター２９は、装置全体
の制御、走査信号と変位信号の処理、画像処理を行な
い、その結果をモニター３０に表示する。
７、粗動ステージ１７の上下動用のモーター４１を駆動
するドライバー３８、カッター８のためのモーター１０
を駆動するドライバー３９、試料台４の上下動用のモー
ター４０を駆動するドライバー４０は、コンピューター
２９により制御される。また、変位センサーユニット１
３からの変位信号はプリアンプ２８を介してコンピュー
ター２９に送られる。コンピューター２９は、装置全体
の制御、走査信号と変位信号の処理、画像処理を行な
い、その結果をモニター３０に表示する。
【００２０】試料１の観察は、カッター８で試料１を薄
く削り取る動作と、これにより新しく現れた試料表面の
凹凸を探針を走査して測定する動作とを交互に行なって
なされる。
く削り取る動作と、これにより新しく現れた試料表面の
凹凸を探針を走査して測定する動作とを交互に行なって
なされる。
【００２１】モーター１０により回転アーム４３を揺動
させ、カッター８により埋包材２の上部を薄く削り取
る。現在の技術では、金属製のカッター８を用いて、
０．１μｍの厚さで埋包材２の上部を削り取ることがで
きる。埋包材２すなわち試料１を削り取る厚さは薄いほ
ど好ましく、将来、更に薄く削ることのできる技術の提
供が望まれる。
させ、カッター８により埋包材２の上部を薄く削り取
る。現在の技術では、金属製のカッター８を用いて、
０．１μｍの厚さで埋包材２の上部を削り取ることがで
きる。埋包材２すなわち試料１を削り取る厚さは薄いほ
ど好ましく、将来、更に薄く削ることのできる技術の提
供が望まれる。
【００２２】ミクローム社製のロータリーミクロトーム
ＨＭ３６０によれば、試料や包埋材をカタログ値で０．
２５μｍの厚さで削り取ることができる。この値は削り
取った薄片を観察対象とする場合のものである。本発明
は、削り取った薄片を観察するのではなく、その後に残
った試料を観察するので、削り取った側は壊れても一向
に構わない。このように削り取った薄片は壊れても構わ
ないという条件下では同装置を用いて実際に埋包材２を
０．１μｍの厚さで削ることができる。
ＨＭ３６０によれば、試料や包埋材をカタログ値で０．
２５μｍの厚さで削り取ることができる。この値は削り
取った薄片を観察対象とする場合のものである。本発明
は、削り取った薄片を観察するのではなく、その後に残
った試料を観察するので、削り取った側は壊れても一向
に構わない。このように削り取った薄片は壊れても構わ
ないという条件下では同装置を用いて実際に埋包材２を
０．１μｍの厚さで削ることができる。
【００２３】カッター８は、試料１を薄く削り取った
後、カンチレバー１１の探針により試料１の観察の邪魔
にならないように退避される。好ましくは、試料１が削
り取られた厚さの分だけモーター６により試料台４が上
昇され、観察対象面の高さが常に一定の位置に維持され
る。一方、試料１の表面には、削り取りの後、その構造
体に応じて凹凸が現れる。つまり、試料１の表面の凹凸
はその構造を現している。
後、カンチレバー１１の探針により試料１の観察の邪魔
にならないように退避される。好ましくは、試料１が削
り取られた厚さの分だけモーター６により試料台４が上
昇され、観察対象面の高さが常に一定の位置に維持され
る。一方、試料１の表面には、削り取りの後、その構造
体に応じて凹凸が現れる。つまり、試料１の表面の凹凸
はその構造を現している。
【００２４】この試料１の表面に沿って、スキャナー１
４によりカンチレバー１１の探針を走査するとともに、
カンチレバー１１の自由端の変位を変位センサーユニッ
ト１３により所定のタイミングで測定する。コンピュー
ター２９は、このとき得られる位置情報（走査信号）と
高さ情報（変位信号）とに基づいて、試料１のその表面
の凹凸像を形成する。
４によりカンチレバー１１の探針を走査するとともに、
カンチレバー１１の自由端の変位を変位センサーユニッ
ト１３により所定のタイミングで測定する。コンピュー
ター２９は、このとき得られる位置情報（走査信号）と
高さ情報（変位信号）とに基づいて、試料１のその表面
の凹凸像を形成する。
【００２５】その後、ここに説明した動作、すなわち、
試料１の削り取りと、新しく現れた表面の観察とを繰り
返し行なう。上述の動作を繰り返し行なうことにより、
削り取りにより得られる試料１の多数の表面の凹凸像、
別の言い方をすれば、試料１の多数の断面の凹凸像が得
られる。走査領域の方向は常に一定しているので、コン
ピューター２９を用いて、試料１の多数の表面（断面）
の画像を、方向を誤ることなく、重ねて処理することが
できる。これにより、これまで多大な時間を要してやっ
と得られていた試料１の立体画像すなわち三次元画像が
短時間の内に得られる。
試料１の削り取りと、新しく現れた表面の観察とを繰り
返し行なう。上述の動作を繰り返し行なうことにより、
削り取りにより得られる試料１の多数の表面の凹凸像、
別の言い方をすれば、試料１の多数の断面の凹凸像が得
られる。走査領域の方向は常に一定しているので、コン
ピューター２９を用いて、試料１の多数の表面（断面）
の画像を、方向を誤ることなく、重ねて処理することが
できる。これにより、これまで多大な時間を要してやっ
と得られていた試料１の立体画像すなわち三次元画像が
短時間の内に得られる。
【００２６】次に、観察の結果、得られる画像のコント
ラストを高める方法について説明する。前述の測定動作
は、雰囲気を図２において包埋材２である水が固相であ
る環境に維持して行なうが、高いコントラストを得るた
めに雰囲気を以下の様に制御して行なってもよい。
ラストを高める方法について説明する。前述の測定動作
は、雰囲気を図２において包埋材２である水が固相であ
る環境に維持して行なうが、高いコントラストを得るた
めに雰囲気を以下の様に制御して行なってもよい。
【００２７】雰囲気を包埋材２である水が固相となる環
境に維持した状態で、包埋材２をカッター８で薄く削り
取った後、雰囲気の圧力を低下させたり温度を上昇させ
たりして、所定の時間の間、雰囲気を包埋材２である水
が気相となる環境に変える。例えば、図２に示すＡ点
（温度：およそ−１００℃、飽和蒸気圧：およそ１×１
０-3）近傍において、温度を上下させて固相と気相との
間で環境を変えている。その間、包埋材２の表面の一部
が気化するため、試料１の凹凸は顕著となる。その後、
再び、雰囲気を包埋材２である水が固相となる環境に戻
し、試料１の表面の凹凸の観察を行なう。観察終了後、
この動作を繰り返し行なう。この観察方法によれば、コ
ントラストの高い画像が得られる。
境に維持した状態で、包埋材２をカッター８で薄く削り
取った後、雰囲気の圧力を低下させたり温度を上昇させ
たりして、所定の時間の間、雰囲気を包埋材２である水
が気相となる環境に変える。例えば、図２に示すＡ点
（温度：およそ−１００℃、飽和蒸気圧：およそ１×１
０-3）近傍において、温度を上下させて固相と気相との
間で環境を変えている。その間、包埋材２の表面の一部
が気化するため、試料１の凹凸は顕著となる。その後、
再び、雰囲気を包埋材２である水が固相となる環境に戻
し、試料１の表面の凹凸の観察を行なう。観察終了後、
この動作を繰り返し行なう。この観察方法によれば、コ
ントラストの高い画像が得られる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、試料の多数の断面の凹
凸像を方向の揃った電子画像として取り込みコンピュー
ターで処理するので、これまで多大な時間を要した試料
の三次元画像の取得を短時間で行なえる。
凸像を方向の揃った電子画像として取り込みコンピュー
ターで処理するので、これまで多大な時間を要した試料
の三次元画像の取得を短時間で行なえる。
【図１】本発明の実施の形態の走査型プローブ顕微鏡の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】包埋材である水の飽和蒸気圧曲線を示すグラフ
である。
である。
８ カッター １１ カンチレバー １３ 変位センサーユニット １４ スキャナー ２９ コンピューター
Claims (2)
- 【請求項１】探針と、 探針を自由端に支持するカンチレバーと、 カンチレバーの自由端の変位を測定する手段と、 試料表面に沿って探針を走査する手段と、 測定手段と走査手段から得られる位置情報と高さ情報と
に基づいて試料表面の画像を形成する手段と、 試料を薄く削り取る手段とを有しており、試料を削り取
る毎に、新しく現れた試料表面の画像を得る走査型プロ
ーブ顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、 試料は包埋材に包埋されており、 削り取り手段は試料を包埋材と共に削り取り、 走査型プローブ顕微鏡は更に包埋材を昇華させる手段を
有している走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8042927A JPH09236609A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8042927A JPH09236609A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236609A true JPH09236609A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12649665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8042927A Pending JPH09236609A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236609A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006349419A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 立体試料観察システム及び立体試料観察方法 |
| EP3404416A4 (en) * | 2016-01-12 | 2019-08-28 | Hanbat National University Industry Academic Cooperation Foundation | APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING A THREE-DIMENSIONAL IMAGE OF SOLUT POLYMER SUBSTANCE THAT EXISTS IN A LIQUID SOLVENT |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP8042927A patent/JPH09236609A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006349419A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 立体試料観察システム及び立体試料観察方法 |
| EP3404416A4 (en) * | 2016-01-12 | 2019-08-28 | Hanbat National University Industry Academic Cooperation Foundation | APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING A THREE-DIMENSIONAL IMAGE OF SOLUT POLYMER SUBSTANCE THAT EXISTS IN A LIQUID SOLVENT |
| US10740948B2 (en) | 2016-01-12 | 2020-08-11 | Hanbat National University Industry-Academic Cooperation Foundation | Apparatus and method for generating three-dimensional image of polymer solute substance which exists in liquid solvent |
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