JPH09234432A - Method for cleaning liquid crystal display panel and cleaner therefor - Google Patents
Method for cleaning liquid crystal display panel and cleaner thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
洗浄方法及び洗浄装置に関するものであり、特に、液晶
表示パネルに偏光板を貼り付ける前に行う液晶表示パネ
ルの洗浄方法及び液晶表示パネル用洗浄装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and a device for cleaning a liquid crystal display panel, and more particularly to a method for cleaning a liquid crystal display panel and a method for cleaning a liquid crystal display panel before attaching a polarizing plate to the liquid crystal display panel. The present invention relates to a cleaning device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルの製造工程は、透明電極
パターン形成、配向膜形成、配向処理、貼り合わせ、セ
ル化分断、液晶材料注入、液晶材料注入口封止、偏光板
貼り付け等の工程を有することが一般的である。これら
の工程の他に、例えば、カラー表示を行う液晶表示パネ
ルであればカラーフィルターの形成工程が、ＴＦＴ方式
の液晶表示パネルであればＴＦＴの形成工程が追加され
ていくことになる。2. Description of the Related Art Liquid crystal display panel manufacturing processes include transparent electrode pattern formation, alignment film formation, alignment treatment, bonding, cell division, liquid crystal material injection, liquid crystal material injection port sealing, and polarizing plate adhesion. It is common to have In addition to these steps, for example, a color filter forming step is added in the case of a liquid crystal display panel that performs color display, and a TFT forming step is added in the case of a TFT type liquid crystal display panel.
【０００３】また、液晶表示パネルの製造工程における
静電気対策として、ショートリングを形成している場合
には、液晶材料注入口封止後、ショートリングを除去す
るために面取りを行う必要がある。Further, as a countermeasure against static electricity in the manufacturing process of a liquid crystal display panel, when a short ring is formed, it is necessary to chamfer to remove the short ring after sealing the liquid crystal material injection port.
【０００４】前述した液晶表示パネルのほとんどの製造
工程では、純水、超音波、紫外線、アルカリ性溶液、ア
ルコール系溶液等による洗浄を行っている。これらの洗
浄方法だけでは、汚れ及び付着物を完全に除去すること
は困難であるため、ブラシを使用した洗浄方法も用いら
れている。In most of the manufacturing processes of the above-mentioned liquid crystal display panel, cleaning with pure water, ultrasonic waves, ultraviolet rays, alkaline solutions, alcoholic solutions, etc. is performed. Since it is difficult to completely remove dirt and deposits only by these cleaning methods, cleaning methods using a brush are also used.
【０００５】このブラシを使用した洗浄方法の洗浄効果
を向上させる洗浄装置として、特開平６−１７０３４０
号公報に記載されているように、被洗浄物の進行方向に
対してブラシを斜めに配置し、被洗浄物の段差に応じて
ブラシの角度を調節することができ、さらに、被洗浄物
の段差に応じてブラシの毛足の押し込み量を調節するこ
とができる洗浄装置が提案されている。As a cleaning device for improving the cleaning effect of the cleaning method using this brush, Japanese Patent Laid-Open No. 6-170340
As described in the publication, the brush can be arranged obliquely with respect to the traveling direction of the object to be cleaned, and the angle of the brush can be adjusted according to the step difference of the object to be cleaned. There has been proposed a cleaning device capable of adjusting the amount of pushing of the bristles of a brush according to a step.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】液晶材料注入口封止の
後の液晶表示パネルの洗浄は、紫外線を用いた洗浄方法
では、配向膜及び液晶材料が劣化し、表示むらとなるた
め、好ましいものではない。また、アルカリ性溶液また
はアルコール系溶液を用いた洗浄方法では、シール材料
及び液晶材料注入口封止樹脂が劣化し、信頼性が悪くな
るため、好ましいものではない。The cleaning of the liquid crystal display panel after the liquid crystal material injection port is sealed is preferable because the alignment film and the liquid crystal material are deteriorated by the cleaning method using ultraviolet rays, resulting in uneven display. is not. Further, the cleaning method using an alkaline solution or an alcohol-based solution is not preferable because the sealing material and the liquid crystal material injection port sealing resin are deteriorated and the reliability is deteriorated.
【０００７】これらの問題を回避するため、液晶材料注
入口封止の後の液晶表示パネルの洗浄は、洗剤を用いて
超音波またはブラシにより洗浄を行っているが、超音波
を用いると液晶表示パネル内のスペーサーが移動し、セ
ルギャップにばらつきが生じることから、表示色むらと
なり、好ましいものではない。そこで、洗剤とブラシを
併用した洗浄方法が主流となっており、この方法によれ
ば、液晶表示パネル表面に付着した液晶材料を含む有機
物を問題なく除去することができる。In order to avoid these problems, the liquid crystal display panel after the liquid crystal material injection port is sealed is cleaned with ultrasonic waves or a brush using a detergent. Since the spacers in the panel move to cause variations in the cell gap, the display color becomes uneven, which is not preferable. Therefore, a cleaning method in which a detergent and a brush are used in combination has become mainstream, and according to this method, it is possible to remove the organic substances including the liquid crystal material, which adhere to the surface of the liquid crystal display panel, without any problem.
【０００８】しかし、偏光板を貼り付ける直前の液晶表
示パネルの表面には、液晶材料を含む有機物だけではな
く、セル化分断及びショートリングを除去するための面
取り作業の際に発生するガラスの微小な破片が付着して
いる。この液晶表示パネルの表面に付着したガラスの微
小な破片は、通常の状態であれば、前述した洗剤とブラ
シを併用した洗浄方法で除去できるのだが、ガラスの微
小な破片の平面部分と液晶表示パネルの平面部分とが密
着していた場合、両者の間は真空状態となっているた
め、洗剤とブラシを併用した洗浄方法では除去が困難で
ある。However, on the surface of the liquid crystal display panel immediately before attaching the polarizing plate, not only the organic substance containing the liquid crystal material but also the minute glass particles generated during the chamfering work for removing the cell division and the short ring are formed. Debris is attached. In the normal state, the minute glass fragments adhered to the surface of the liquid crystal display panel can be removed by the above-described cleaning method using a detergent and a brush. When the flat portion of the panel is in close contact with the panel, a vacuum state exists between the two, and therefore it is difficult to remove it by a cleaning method using both a detergent and a brush.
【０００９】液晶表示パネルの表面に、ガラスの微小な
破片が付着した状態で偏光板を貼り付けると、ガラスの
微小な破片が付着した部分では、液晶表示パネルと偏光
板との間に気泡が混入してしまい、不良品となる。When a polarizing plate is attached to the surface of a liquid crystal display panel with fine glass fragments adhered thereto, air bubbles form between the liquid crystal display panel and the polarizing plate in the area where the fine glass fragments adhere. It is mixed and becomes a defective product.
【００１０】液晶表示パネルと偏光板との間に気泡が混
入した場合、偏光板の貼り直しも可能であるが、液晶表
示パネルから剥がした偏光板は、再度貼り付けて使用す
ることができないため、新たな偏光板が必要となり、コ
ストアップとなる。また、液晶表示パネルから偏光板を
剥がす際に、シール剥がれが発生したり、液晶表示パネ
ル内のスペーサーが移動し、表示色むらが発生する場合
があり、これらの場合には完全な不良品となり、良品率
を下げてしまうことになる。When air bubbles are mixed between the liquid crystal display panel and the polarizing plate, the polarizing plate can be reattached, but the polarizing plate peeled from the liquid crystal display panel cannot be reattached and used. , A new polarizing plate is required, which increases the cost. In addition, when peeling the polarizing plate from the liquid crystal display panel, peeling of the seal may occur, or the spacer in the liquid crystal display panel may move, resulting in uneven display color.In these cases, it will be a completely defective product. , The quality rate will be reduced.
【００１１】本発明は、前述した従来の問題点に鑑みな
されたものであって、液晶材料注入後の液晶表示パネル
表面への付着物を除去し、偏光板を液晶表示パネルへ貼
り付けた後の良品率を向上させることができる液晶表示
パネルの洗浄方法及び液晶表示パネル用洗浄装置を提供
することを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and it removes the deposits on the surface of the liquid crystal display panel after injecting the liquid crystal material, and after attaching the polarizing plate to the liquid crystal display panel. It is an object of the present invention to provide a method for cleaning a liquid crystal display panel and a cleaning device for a liquid crystal display panel, which can improve the non-defective rate.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の液晶表示パネルの洗浄
方法は、液晶表示パネル内に液晶材料を注入し、液晶材
料注入口を封止した後、偏光板を貼り付ける前に行う液
晶表示パネルの洗浄方法において、刃物を前記液晶表示
パネルに接触させ、摺動させることにより、前記液晶表
示パネルへの付着物を除去することを特徴としている。In order to achieve the above-mentioned object, a method of cleaning a liquid crystal display panel according to claim 1 of the present invention comprises injecting a liquid crystal material into the liquid crystal display panel and opening a liquid crystal material injection port. In a method of cleaning a liquid crystal display panel after sealing and before attaching a polarizing plate, it is possible to remove a deposit on the liquid crystal display panel by bringing a blade into contact with the liquid crystal display panel and sliding the blade. It has a feature.
【００１３】請求項２記載の液晶表示パネルの洗浄方法
は、請求項１記載の液晶表示パネルの洗浄方法におい
て、前記液晶表示パネルへの付着物を除去する際に、前
記液晶表示パネルにイオン化した空気を吹き付けること
を特徴としている。A method for cleaning a liquid crystal display panel according to a second aspect is the method for cleaning a liquid crystal display panel according to the first aspect, wherein when the deposits on the liquid crystal display panel are removed, the liquid crystal display panel is ionized. It is characterized by blowing air.
【００１４】請求項３記載の液晶表示パネルの洗浄方法
は、請求項１記載の液晶表示パネルの洗浄方法におい
て、前記液晶表示パネルへの付着物の除去を水中で行う
ことを特徴としている。The method of cleaning a liquid crystal display panel according to a third aspect is the method of cleaning a liquid crystal display panel according to the first aspect, characterized in that deposits on the liquid crystal display panel are removed in water.
【００１５】請求項４記載の液晶表示パネル用洗浄装置
は、液晶表示パネル内に液晶材料を注入し、液晶材料注
入口を封止した後、偏光板を貼り付ける前に洗浄を行う
ための液晶表示パネル用洗浄装置において、前記液晶表
示パネルに接触させ、摺動させることにより、前記液晶
表示パネルへの付着物を除去する刃物が取り付けられた
付着物除去手段を有していることを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a cleaning device for a liquid crystal display panel, which is a liquid crystal for injecting a liquid crystal material into the liquid crystal display panel, sealing the liquid crystal material injection port, and then performing cleaning before attaching the polarizing plate. In the display panel cleaning device, the liquid crystal display panel is provided with an adhering substance removing means to which a blade is attached to remove the adhering substance to the liquid crystal display panel by bringing the liquid crystal display panel into contact and sliding. There is.
【００１６】請求項５記載の液晶表示パネル用洗浄装置
は、請求項４記載の液晶表示パネル用洗浄装置におい
て、前記付着物除去手段が回転することにより、前記液
晶表示パネルへの付着物を除去することを特徴としてい
る。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display panel cleaning device according to the fourth aspect, wherein the adhered substance removing means rotates to remove adhered substances to the liquid crystal display panel. It is characterized by doing.
【００１７】請求項６記載の液晶表示パネル用洗浄装置
は、請求項４記載の液晶表示パネル用洗浄装置におい
て、前記付着物除去手段は、一般公差の真直度を有する
第１の刃物と、前記第１の刃物より高精度の真直度を有
する第２の刃物とを有していることを特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display panel cleaning device according to the fourth aspect, wherein the deposit removing means has a first blade having a straightness of a general tolerance, and It is characterized by having a second blade having a straightness with higher accuracy than the first blade.
【００１８】請求項７記載の液晶表示パネル用洗浄装置
は、請求項４乃至請求項６記載の液晶表示パネル用洗浄
装置において、前記付着物除去手段は、サスペンション
機構を有していることを特徴としている。A liquid crystal display panel cleaning device according to a seventh aspect is the liquid crystal display panel cleaning device according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the deposit removing means has a suspension mechanism. I am trying.
【００１９】請求項８記載の液晶表示パネル用洗浄装置
は、請求項４乃至請求項７記載の液晶表示パネル用洗浄
装置において、前記付着物除去手段は、空気噴出口を有
していることを特徴としている。The liquid crystal display panel cleaning device according to claim 8 is the liquid crystal display panel cleaning device according to any one of claims 4 to 7, wherein the deposit removing means has an air ejection port. It has a feature.
【００２０】請求項９記載の液晶表示パネル用洗浄装置
は、請求項４乃至請求項８記載の液晶表示パネル用洗浄
装置において、前記液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、イオン化した空気を前記液晶表示パネルに吹き
付けて静電気を除去する除電手段を有していることを特
徴としている。A liquid crystal display panel cleaning device according to a ninth aspect is the liquid crystal display panel cleaning device according to any one of the fourth to eighth aspects, wherein ionized air is used when removing the deposits on the liquid crystal display panel. Is provided on the liquid crystal display panel to remove static electricity.
【００２１】請求項１０記載の液晶表示パネル用洗浄装
置は、請求項８または請求項９記載の液晶表示パネル用
洗浄装置において、前記空気噴出口より、イオン化した
空気を前記液晶表示パネルに吹き付けることを特徴とし
ている。A liquid crystal display panel cleaning device according to a tenth aspect of the present invention is the liquid crystal display panel cleaning device according to the eighth or ninth aspect, in which ionized air is blown onto the liquid crystal display panel from the air ejection port. Is characterized by.
【００２２】請求項１１記載の液晶表示パネル用洗浄装
置は、請求項４乃至請求項７記載の液晶表示パネル用洗
浄装置において、前記液晶表示パネルへの付着物の除去
を水中で行うことができる水槽を有していることを特徴
としている。The liquid crystal display panel cleaning device according to claim 11 is the same as the liquid crystal display panel cleaning device according to any one of claims 4 to 7, wherein the deposits on the liquid crystal display panel can be removed in water. It is characterized by having a water tank.
【００２３】請求項１２記載の液晶表示パネル用洗浄装
置は、請求項１１記載の液晶表示パネル用洗浄装置にお
いて、前記水槽内の水を流動させることができることを
特徴としている。A liquid crystal display panel cleaning device according to a twelfth aspect of the present invention is the liquid crystal display panel cleaning device according to the eleventh aspect, characterized in that water in the water tank can be made to flow.
【００２４】請求項１３記載の液晶表示パネル用洗浄装
置は、請求項４乃至請求項１２記載の液晶表示パネル用
洗浄装置において、前記付着物除去手段を清掃するため
の清掃手段を有していることを特徴としている。A liquid crystal display panel cleaning device according to a thirteenth aspect of the present invention is the liquid crystal display panel cleaning device according to any one of the fourth to twelfth aspects, further comprising a cleaning means for cleaning the deposit removing means. It is characterized by that.
【００２５】請求項１４記載の液晶表示パネル用洗浄装
置は、請求項４乃至請求項１３記載の液晶表示パネル用
洗浄装置において、前記液晶表示パネルへの付着物を除
去した後、前記液晶表示パネルの外観不良を検査する検
査手段を有していることを特徴としている。A cleaning device for a liquid crystal display panel according to a fourteenth aspect is the cleaning device for a liquid crystal display panel according to any one of the fourth to thirteenth aspects, after removing the deposits on the liquid crystal display panel. It is characterized in that it has an inspection means for inspecting the external appearance defect.
【００２６】本発明の液晶表示パネルの洗浄方法によれ
ば、セル化分断及びショートリングの面取り時に発生し
たガラスの微小な破片の平面部分が、液晶表示パネルの
平面部分に密着して付着し、両者の間が真空状態となっ
て、ガラスの微小な破片が液晶表示パネルに強固に付着
している場合であっても、刃物を液晶表示パネルに接触
させ、摺動させることにより、液晶表示パネルへの付着
物を削り取るように除去するので、液晶表示パネルに強
固に付着しているガラスの微小な破片も除去することが
できる。According to the method of cleaning a liquid crystal display panel of the present invention, the flat surface portion of the fine glass fragments generated during cell division and chamfering of the short ring adheres closely to the flat surface portion of the liquid crystal display panel, Even if a minute glass piece is firmly attached to the liquid crystal display panel due to a vacuum state between the two, the liquid crystal display panel can be moved by bringing the blade into contact with the liquid crystal display panel and sliding it. Since the adhered substances are removed by scraping off, it is possible to remove the minute fragments of the glass firmly adhered to the liquid crystal display panel.
【００２７】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
ることにより、付着物除去時に発生する静電気を除電す
ることができ、ＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電
することにより発生する表示不良等の静電気に起因する
問題を防止することができる。Further, when the deposits on the liquid crystal display panel are removed, by blowing ionized air onto the liquid crystal display panel, the static electricity generated at the time of removing the deposits can be eliminated, the destruction of the TFT and the transparent electrode. It is possible to prevent problems caused by static electricity such as display defects caused by static electricity being charged.
【００２８】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことにより、付着物除去時に静電気を発生さ
せることがなく、ＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯
電することにより発生する表示不良等の静電気に起因す
る問題を防止することができるとともに、空気中に除去
した付着物を飛散させることがないため、クリーンルー
ム内のクリーン度を悪化させることがない。Further, since the adhered substances on the liquid crystal display panel are removed in water, static electricity is not generated when the adhered substances are removed, and the display failure is caused by the destruction of the TFT and the electrostatic charge on the transparent electrode. It is possible to prevent problems caused by static electricity such as the above, and since the adhered substances removed in the air are not scattered, the cleanliness in the clean room is not deteriorated.
【００２９】本発明の液晶表示パネル用洗浄装置によれ
ば、セル化分断及びショートリングの面取り時に発生し
たガラスの微小な破片の平面部分が、液晶表示パネルの
平面部分に密着して付着し、両者の間が真空状態となっ
て、ガラスの微小な破片が液晶表示パネルに強固に付着
している場合であっても、刃物が取り付けられた付着物
除去手段を液晶表示パネルに接触させ、摺動させること
により、液晶表示パネルへの付着物を削り取るように除
去するので、液晶表示パネルに強固に付着しているガラ
スの微小な破片も除去することができる。According to the liquid crystal display panel cleaning device of the present invention, the flat surface portion of the fine glass fragments generated during cell division and chamfering of the short ring adheres closely to the flat surface portion of the liquid crystal display panel, Even if minute glass fragments are firmly attached to the liquid crystal display panel between the two, even if the blade is attached, the attached matter removing means is brought into contact with the liquid crystal display panel to slide it. By moving it, the deposits on the liquid crystal display panel are removed so as to be scraped off, so that minute fragments of glass firmly attached to the liquid crystal display panel can also be removed.
【００３０】さらに、液晶表示パネル上に円を描くよう
に、刃物が取り付けられた付着物除去手段を回転させて
液晶表示パネルへの付着物を除去することにより、短時
間に液晶表示パネルへの付着物を除去することができる
とともに、同一の付着物に対して、付着物除去手段に取
り付けられた刃物を短時間により多く接触させることが
でき、液晶表示パネルへの付着物を除去できる確率を高
めることができる。Further, by rotating the adhering matter removing means to which a blade is attached so as to draw a circle on the liquid crystal display panel, the adhering matter on the liquid crystal display panel is removed, so that the liquid crystal display panel is quickly covered. It is possible to remove the attached matter, and more blades attached to the attached matter removing means can be brought into contact with the same attached matter in a shorter time, so that the probability of removing the attached matter to the liquid crystal display panel can be improved. Can be increased.
【００３１】さらに、付着物除去手段は、一般公差の真
直度を有する第１の刃物と、第１の刃物より高精度の真
直度を有する第２の刃物とを有していることにより、第
１の刃物で比較的大きな液晶表示パネルへの付着物を除
去し、第２の刃物では第１の刃物で除去できない微小な
液晶表示パネルへの付着物を除去するため、効率良く液
晶表示パネルへの付着物を除去することができるととも
に、高精度の真直度を有する第２の刃物が液晶表示パネ
ルへの付着物に接触した際の衝撃を弱めることができ、
刃物の寿命を長くすることができる。Further, since the adhered substance removing means has the first blade having the straightness of the general tolerance and the second blade having the straightness of higher accuracy than the first blade, The blade of 1 removes a relatively large deposit on the liquid crystal display panel, and the second blade removes a fine deposit on the liquid crystal display panel that cannot be removed by the first blade. It is possible to remove the attached matter of, and it is possible to weaken the impact when the second blade having high accuracy straightness contacts the attached matter to the liquid crystal display panel,
The life of the blade can be extended.
【００３２】さらに、付着物除去手段がサスペンション
機構を有していることにより、付着物除去手段が液晶表
示パネルと接触した際に、付着物除去手段が破損するこ
とを防止できるとともに、液晶表示パネルが破損するこ
とを防止できる。Further, since the attached matter removing means has the suspension mechanism, it is possible to prevent the attached matter removing means from being damaged when the attached matter removing means comes into contact with the liquid crystal display panel, and the liquid crystal display panel is provided. Can be prevented from being damaged.
【００３３】さらに、付着物除去手段が空気噴出口を有
していることにより、液晶表示パネルへの付着物を除去
する際に、空気噴出口より、液晶表示パネルに空気を吹
き付けることができ、除去したガラスの微小な破片等の
付着物を吹き飛ばし、液晶表示パネルに再付着すること
を防止することができる。Further, since the adhering substance removing means has the air ejection port, air can be blown to the liquid crystal display panel from the air ejecting port when removing the adhering substance to the liquid crystal display panel, It is possible to blow off the adhered substances such as minute fragments of the removed glass and prevent the adhered substances from reattaching to the liquid crystal display panel.
【００３４】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、除電手段により、イオン化した空気を液晶表示
パネルに吹き付けて静電気を除去することにより、付着
物除去時に発生する静電気によるＴＦＴの破壊、透明電
極に静電気が帯電することにより発生する表示不良等の
静電気に起因する問題を防止することができる。Further, when removing the deposits on the liquid crystal display panel, the static elimination means blows ionized air to the liquid crystal display panel to remove the static electricity, thereby destroying the TFTs by the static electricity generated during the removal of the deposits. Therefore, it is possible to prevent problems caused by static electricity such as display defects caused by static electricity being charged on the transparent electrode.
【００３５】さらに、付着物除去手段に設けた空気噴出
口より、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
て静電気を除去することにより、付着物除去時に発生す
る静電気によるＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電
することにより発生する表示不良等の静電気に起因する
問題を防止することができるとともに、除去したガラス
の微小な破片等の付着物を吹き飛ばし、液晶表示パネル
に再付着することを防止することができる。Further, ionized air is blown to the liquid crystal display panel from the air ejection port provided in the adhered matter removing means to remove static electricity, thereby destroying the TFT due to static electricity generated at the time of removing adhered matter, and causing static electricity on the transparent electrode. It is possible to prevent problems caused by static electricity such as defective display caused by being charged, and to blow away adhered substances such as minute fragments of the removed glass to prevent reattachment to the liquid crystal display panel. You can
【００３６】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことができる水槽を有していることにより、
水中での液晶表示パネルへの付着物の除去を行うことが
できるため、付着物除去時に静電気を発生させることが
なく、ＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電すること
により発生する表示不良等の静電気に起因する問題を防
止することができるとともに、空気中に除去した付着物
を飛散させることがないため、クリーンルーム内のクリ
ーン度を悪化させることがない。Further, by having a water tank capable of removing the deposits on the liquid crystal display panel in water,
Since it is possible to remove the deposits on the liquid crystal display panel in water, static electricity is not generated when removing the deposits, and the display failure such as the destruction of the TFT and the electrostatic charge on the transparent electrode may occur. The problem caused by static electricity can be prevented, and since the adhered matter removed in the air is not scattered, the cleanliness in the clean room is not deteriorated.
【００３７】さらに、水槽内の水を流動させることによ
り、除去した付着物が液晶表示パネルに再付着すること
を防止することができる。Furthermore, by flowing the water in the water tank, it is possible to prevent the removed deposits from reattaching to the liquid crystal display panel.
【００３８】また、付着物除去手段を清掃するための清
掃手段を有していることにより、液晶表示パネルから除
去したガラスの微小な破片等の付着物が付着物除去手段
に付着した場合であっても、別の液晶表示パネルに、付
着物除去手段に付着したガラスの微小な破片等を付着さ
せてしまうことを防止することができる。In addition, since there is a cleaning means for cleaning the adhering matter removing means, there is a case where adhering matter such as minute fragments of glass removed from the liquid crystal display panel adheres to the adhering matter removing means. However, it is possible to prevent fine glass fragments attached to the adhered matter removing means from adhering to another liquid crystal display panel.
【００３９】また、付着物除去手段により液晶表示パネ
ルへの付着物を除去した後に、液晶表示パネルの外観不
良を検査する検査手段を有していることにより、不良品
を後工程へ流すことがなくなり、偏光板及び駆動回路等
の部材を不良品に取り付けてしまうことがないため、こ
れらの部材を節約することができるとともに、これらの
部材の取り付けにかかる時間と労力を節約することがで
きる。Further, by having the inspection means for inspecting the appearance defect of the liquid crystal display panel after removing the adhered matter to the liquid crystal display panel by the adhered matter removing means, it is possible to pass the defective product to the subsequent process. Since the members such as the polarizing plate and the drive circuit are not attached to the defective product, these members can be saved and the time and labor required for attaching these members can be saved.
【００４０】[0040]
【発明の実施の形態】図１乃至図１０を用いて本発明の
実施の形態について説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００４１】（実施の形態１）本発明の実施の形態に係
わる液晶表示パネル用洗浄装置を図１及び図２に示す。
図１は本発明の実施の形態に係わる液晶表示パネル用洗
浄装置の平面図、図２は本発明の実施の形態に係わる液
晶表示パネル用洗浄装置の側面図である。(Embodiment 1) FIG. 1 and FIG. 2 show a cleaning device for a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a plan view of a liquid crystal display panel cleaning device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of a liquid crystal display panel cleaning device according to an embodiment of the present invention.
【００４２】ローダー部１には、液晶表示パネル収納用
カセット２が複数個セットされている。この液晶表示パ
ネル収納用カセット２から液晶表示パネル３を順次１組
ずつ取り出す際に、液晶表示パネル収納用カセット２の
支柱と液晶表示パネル３の端子部とが接触することによ
り、静電気が発生し、ＴＦＴが静電気破壊しないよう
に、液晶表示パネル収納用カセット２の中心と液晶表示
パネル３の中心とが一致するように位置決めされてい
る。A plurality of liquid crystal display panel storage cassettes 2 are set in the loader section 1. When the liquid crystal display panel 3 is sequentially taken out from the cassette 2 for storing the liquid crystal display panel one by one, static electricity is generated due to contact between the column of the cassette 2 for storing the liquid crystal display panel and the terminal portion of the liquid crystal display panel 3. , The center of the liquid crystal display panel storage cassette 2 and the center of the liquid crystal display panel 3 are aligned so that the TFTs are not destroyed by static electricity.
【００４３】液晶表示パネル３は、取り出しアーム４に
吸着固定され、液晶表示パネル収納用カセット２から取
り出され、取り出しアーム４の上方に設けられた供給ア
ーム５に吸着固定され、上面洗浄ステージ６に供給され
る。The liquid crystal display panel 3 is adsorbed and fixed to the take-out arm 4, taken out from the liquid crystal display panel storage cassette 2, adsorbed and fixed to the supply arm 5 provided above the take-out arm 4, and attached to the upper surface cleaning stage 6. Supplied.
【００４４】上面洗浄ステージ６に供給された液晶表示
パネル３は、上面洗浄ステージ６に吸着固定され、上方
から複数の刃物７が取り付けられた付着物除去手段８が
回転しながら下降して液晶表示パネル３と接触し、液晶
表示パネル３に付着しているガラスの微小な破片の除去
を行う。The liquid crystal display panel 3 supplied to the upper surface cleaning stage 6 is adsorbed and fixed to the upper surface cleaning stage 6, and the adhering matter removing means 8 to which a plurality of blades 7 are attached descends while rotating to display a liquid crystal display. The minute pieces of glass that come into contact with the panel 3 and adhere to the liquid crystal display panel 3 are removed.
【００４５】液晶表示パネル３上面の全面についてガラ
スの微小な破片を除去するため、上面洗浄ステージ６が
移動することにより、液晶表示パネル３上面の全面の洗
浄を行う。全面の洗浄を行うためには、付着物除去手段
８が移動するように構成されていても構わないし、付着
物除去手段８と上面洗浄ステージ６との両方が移動する
ように構成されていても構わない。In order to remove minute glass fragments on the entire upper surface of the liquid crystal display panel 3, the upper surface cleaning stage 6 moves to clean the entire upper surface of the liquid crystal display panel 3. In order to clean the entire surface, the adhered substance removing means 8 may be configured to move, or both the adhered substance removing means 8 and the upper surface cleaning stage 6 may be configured to move. I do not care.
【００４６】液晶表示パネル３上面の洗浄が終了する
と、付着物除去手段８は回転しながら上昇し、上昇して
いく途中で回転を停止してから上昇を終了する。上昇を
終了した付着物除去手段８は、刃物７に付着したガラス
の微小な破片の除去を行うため、清掃手段９に移動し、
清掃手段９内へ下降して回転する。When the cleaning of the upper surface of the liquid crystal display panel 3 is completed, the adhering matter removing means 8 moves up while rotating, stops rotating in the middle of rising, and then ends rising. The adhering matter removing means 8 that has finished ascending moves to the cleaning means 9 in order to remove minute glass fragments adhering to the blade 7.
It descends into the cleaning means 9 and rotates.
【００４７】清掃手段９では、イオン化した空気を回転
している付着物除去手段８へ吹き付け、ガラスの微小な
破片を吹き飛ばして除去するとともに、付着物除去手段
８に帯電している静電気を除電する。清掃が終了する
と、付着物除去手段８は回転を停止して上昇し、次の液
晶表示パネル３が上面洗浄ステージ６に供給されるまで
待機する。In the cleaning means 9, the ionized air is blown to the rotating adhering matter removing means 8 to blow and remove the minute glass fragments, and the static electricity charged in the adhering matter removing means 8 is eliminated. . When the cleaning is completed, the adhered matter removing means 8 stops rotating and rises, and stands by until the next liquid crystal display panel 3 is supplied to the upper surface cleaning stage 6.
【００４８】液晶表示パネル３上面の洗浄が終了する
と、液晶表示パネル３は上面洗浄ステージ６への吸着固
定が解除され、上面洗浄ステージ６内部にある突き上げ
ピン１０が上昇し、液晶表示パネル３は突き上げピン１
０に突き上げられた状態で、突き上げピン１０に吸着固
定される。この状態を保持し、反転アーム１１のある位
置まで上面洗浄ステージ６が移動した後、突き上げピン
１０が下降し、液晶表示パネル３が突き上げピン１０へ
の吸着固定を解除され、反転アーム１１に移載される。
上面洗浄ステージ６は、元の位置に戻って次の液晶表示
パネル３が供給されるまで待機する。When the cleaning of the upper surface of the liquid crystal display panel 3 is completed, the liquid crystal display panel 3 is released from the suction fixing to the upper surface cleaning stage 6, the push-up pin 10 inside the upper surface cleaning stage 6 is raised, and the liquid crystal display panel 3 is Push-up pin 1
In the state of being pushed up to 0, it is sucked and fixed to the push-up pin 10. In this state, the upper surface cleaning stage 6 is moved to a position where the reversing arm 11 is located, and then the push-up pin 10 is lowered, the liquid crystal display panel 3 is released from the sticking and fixing to the push-up pin 10, and is transferred to the reversing arm 11. Listed.
The upper surface cleaning stage 6 returns to its original position and waits until the next liquid crystal display panel 3 is supplied.
【００４９】反転アーム１１は液晶表示パネル３の上下
面を反転させ、下面洗浄ステージ１２が反転アーム１１
のある位置まで移動する。下面洗浄ステージ１２内部に
ある突き上げピン１０が上昇し、液晶表示パネル３は反
転アーム１１への吸着固定を解除され、突き上げピン１
０に吸着固定される。下面洗浄ステージ１２が元の位置
まで移動し、突き上げピン１０が下降して、液晶表示パ
ネル３は突き上げピン１０への吸着固定を解除され、下
面洗浄ステージ１２に吸着固定される。The reversing arm 11 reverses the upper and lower surfaces of the liquid crystal display panel 3, and the lower surface cleaning stage 12 includes the reversing arm 11.
Move to the position with. The push-up pin 10 inside the lower surface cleaning stage 12 rises, the liquid crystal display panel 3 is released from the suction fixing to the reversing arm 11, and the push-up pin 1 is released.
It is adsorbed and fixed at 0. The lower surface cleaning stage 12 moves to the original position, the push-up pin 10 descends, the liquid crystal display panel 3 is released from the suction fixing to the push-up pin 10, and is fixed to the lower surface cleaning stage 12 by suction.
【００５０】液晶表示パネル３下面に付着したガラスの
微小な破片の除去については、前述した液晶表示パネル
３上面と同様に行い、液晶表示パネル３下面の洗浄を終
了する。The removal of minute glass fragments adhered to the lower surface of the liquid crystal display panel 3 is carried out in the same manner as the upper surface of the liquid crystal display panel 3, and the cleaning of the lower surface of the liquid crystal display panel 3 is completed.
【００５１】液晶表示パネル３からガラスの微小な破片
を除去する際に発生する静電気を除電するため、液晶表
示パネル３上面及び下面ともに、ガラスの微小な破片を
除去する際に、除電手段１３によりイオン化した空気を
液晶表示パネル３に吹き付けることにより、発生した静
電気を除電している。In order to eliminate static electricity generated when removing minute glass fragments from the liquid crystal display panel 3, both the upper surface and the lower surface of the liquid crystal display panel 3 are removed by the charge eliminating means 13 when removing minute glass fragments. By blowing the ionized air onto the liquid crystal display panel 3, the generated static electricity is removed.
【００５２】液晶表示パネル３下面の洗浄が終了する
と、液晶表示パネル３は下面洗浄ステージ１２への吸着
固定が解除され、下面洗浄ステージ１２内部にある突き
上げピン１０が上昇し、液晶表示パネル３は突き上げピ
ン１０に突き上げられた状態で、突き上げピン１０に吸
着固定される。この状態を保持し、移載アーム１４のあ
る位置まで下面洗浄ステージ１２が移動した後、突き上
げピン１０が下降し、液晶表示パネル３が突き上げピン
１０への吸着固定を解除され、移載アーム１４に移載さ
れる。下面洗浄ステージ１２は、元の位置に戻って次の
液晶表示パネル３が供給されるまで待機する。When the cleaning of the lower surface of the liquid crystal display panel 3 is completed, the liquid crystal display panel 3 is released from the suction fixing to the lower surface cleaning stage 12, the push-up pin 10 inside the lower surface cleaning stage 12 is lifted, and the liquid crystal display panel 3 is In the state of being pushed up by the push-up pin 10, it is sucked and fixed to the push-up pin 10. In this state, after the lower surface cleaning stage 12 moves to a position where the transfer arm 14 is located, the push-up pin 10 descends, the liquid crystal display panel 3 is released from the suction-fixed state of the push-up pin 10, and the transfer arm 14 is released. Reprinted in. The lower surface cleaning stage 12 returns to the original position and stands by until the next liquid crystal display panel 3 is supplied.
【００５３】液晶表示パネル３は、移載アーム１４によ
り、ウェット洗浄部１５へ移載される。ウェット洗浄部
１５では、液晶表示パネル３は、搬送コンベア１６によ
り搬送されながら、液晶表示パネル３の上下に設置され
たシャワーノズル１７及びブラシ１８により、両面に純
水を吹き付けられながらブラッシングされた後、乾燥ブ
ロアー１９により、付着した水滴を吹き飛ばされてウェ
ット洗浄を終了し、本工程における洗浄を完了する。The liquid crystal display panel 3 is transferred to the wet cleaning section 15 by the transfer arm 14. In the wet cleaning unit 15, the liquid crystal display panel 3 is brushed while being transported by the transport conveyor 16 while being sprayed with pure water on both sides by the shower nozzle 17 and the brush 18 installed above and below the liquid crystal display panel 3. The attached water droplets are blown off by the dry blower 19 to finish the wet cleaning, and the cleaning in this step is completed.
【００５４】洗浄を完了した液晶表示パネル３は、液晶
表示パネル３を上下から撮像できるように設置したライ
ンセンサーカメラ２０により、全体を撮像され、その画
像を２値化処理することにより、液晶表示パネル３表面
のキズ及び液晶表示パネル３周縁部のカケの有無につい
て自動検査が行われ、良否判定をされながら搬送コンベ
ア１６により搬送される。The liquid crystal display panel 3 that has been washed is entirely imaged by the line sensor camera 20 installed so that the liquid crystal display panel 3 can be imaged from above and below, and the image is binarized to obtain a liquid crystal display. An automatic inspection is carried out for scratches on the surface of the panel 3 and for the presence or absence of chips on the peripheral edge of the liquid crystal display panel 3, and the sheet is conveyed by the conveyor 16 while making a quality decision.
【００５５】ラインセンサーカメラ２０付近に設置され
た画像モニター２１には、ラインセンサーカメラ２０に
よって撮像された液晶表示パネル３上下面の画像が表示
され、目視によっても外観不良検査及び良否判定を行え
るようになっている。An image of the upper and lower surfaces of the liquid crystal display panel 3 picked up by the line sensor camera 20 is displayed on the image monitor 21 installed near the line sensor camera 20, and the visual defect inspection and the pass / fail judgment can be performed visually. It has become.
【００５６】外観検査が終了した液晶表示パネル３は、
液晶表示パネル収納用カセット２の支柱と液晶表示パネ
ル３の端子部とが接触することにより、静電気が発生
し、ＴＦＴが静電気破壊しないように、液晶表示パネル
収納用カセット２の中心と液晶表示パネル３の中心とが
一致するように、位置決めピン２２によって位置決めさ
れる。位置決めされた液晶表示パネル３は、搬出アーム
２３に吸着固定され、収納アーム２４上に供給される。The liquid crystal display panel 3 whose appearance inspection has been completed is
The center of the cassette 2 for accommodating the liquid crystal display panel and the liquid crystal display panel are prevented so that static electricity is not generated by the contact between the support of the cassette 2 for accommodating the liquid crystal display panel and the terminal portion of the liquid crystal display panel 3, and the TFT is not destroyed by the static electricity. Positioning is performed by the positioning pin 22 so that the center of 3 matches. The positioned liquid crystal display panel 3 is suction-fixed to the carry-out arm 23 and supplied onto the storage arm 24.
【００５７】収納アーム２４は、アンローダー部２５に
セットされている複数の液晶表示パネル収納用カセット
２に、外観検査での判定結果に基づき、良品と不良品の
区別をして液晶表示パネル３を収納し、本工程を完了す
る。The storage arm 24 is provided in the plurality of liquid crystal display panel storage cassettes 2 set in the unloader section 25, and the liquid crystal display panel 3 is distinguished from the non-defective products based on the result of the visual inspection. Is stored, and this process is completed.
【００５８】図３乃至図５を用いて付着物除去手段８に
ついて説明する。図３は付着物除去手段８の一例を示す
斜視図、図４はサスペンション機構２６及び空気噴出口
２７を有する付着物除去手段８の一例を示す説明図、図
５は空気噴出口２７の他の例を示す断面図である。The deposit removing means 8 will be described with reference to FIGS. 3 to 5. 3 is a perspective view showing an example of the adhering matter removing means 8, FIG. 4 is an explanatory view showing an example of the adhering matter removing means 8 having the suspension mechanism 26 and the air ejection port 27, and FIG. It is sectional drawing which shows an example.
【００５９】図３に示すように、２枚の刃物７は、モー
ター２８によって回転しながらガラスの微小な破片を除
去するため、互いに刃先を逆方向に向けて取り付けられ
ている。刃物７の材質については、セラミックまたは金
属等を用いることができ、特に限定されるものではな
く、取り付ける刃物７の数についても、特に限定される
ものではない。As shown in FIG. 3, the two blades 7 are attached by turning their edges in opposite directions in order to remove minute glass fragments while rotating by a motor 28. The material of the blade 7 may be ceramic or metal, and is not particularly limited, and the number of blades 7 to be attached is not particularly limited.
【００６０】この刃物７の刃先角は、２５〜３５°が望
ましく、さらに望ましいのは３０°である。刃先角が２
５°より鋭角になった場合、刃物の強度が弱くなり、３
５°より鈍角になった場合、ガラスの微小な破片を充分
に除去することができない。The edge angle of the blade 7 is preferably 25 to 35 °, and more preferably 30 °. The cutting edge angle is 2
When the angle becomes sharper than 5 °, the strength of the blade becomes weaker and 3
When the angle becomes obtuse than 5 °, it is not possible to sufficiently remove minute glass fragments.
【００６１】また、液晶表示パネル３（図３には図示せ
ず）と刃物７との接触角は、２５〜３５°が望ましく、
さらに望ましいのは３０°である。液晶表示パネル３と
刃物７との接触角が２５°より鋭角になった場合、刃物
７によって液晶表示パネル３に加える圧力が弱くなり、
ガラスの微小な破片を充分に除去することができなくな
り、液晶表示パネル３と刃物７との接触角が３５°より
鈍角になった場合、刃物７によって液晶表示パネル３に
加える圧力が強くなり、液晶表示パネル３の表面にキズ
が付いてしまうとともに、刃物７の寿命が著しく短くな
る。Further, the contact angle between the liquid crystal display panel 3 (not shown in FIG. 3) and the blade 7 is preferably 25 to 35 °,
More desirable is 30 °. When the contact angle between the liquid crystal display panel 3 and the blade 7 becomes more acute than 25 °, the pressure applied to the liquid crystal display panel 3 by the blade 7 becomes weaker,
When it becomes impossible to sufficiently remove minute glass fragments and the contact angle between the liquid crystal display panel 3 and the blade 7 becomes an obtuse angle of more than 35 °, the pressure applied to the liquid crystal display panel 3 by the blade 7 becomes strong, The surface of the liquid crystal display panel 3 will be scratched and the life of the blade 7 will be significantly shortened.
【００６２】また、刃物７の回転数は、８０〜１４０ｒ
ｐｍが望ましく、さらに望ましいのは１００〜１２０ｒ
ｐｍである。刃物７の回転数が８０ｒｐｍより低い場
合、ガラスの微小な破片の液晶表示パネル３への密着力
に刃物７が負けて浮いてしまい、再度液晶表示パネル３
へ接触した際に液晶表示パネル３の表面にキズが付いて
しまい、１４０ｒｐｍより高い場合、刃物７がガラスの
微小な破片に接触した際の衝撃力が強まるため、刃物７
の寿命が著しく短くなる。The rotation speed of the blade 7 is 80 to 140 r.
pm is desirable, more preferably 100-120r
pm. When the rotational speed of the blade 7 is lower than 80 rpm, the blade 7 loses the adhesion force of the minute glass fragments to the liquid crystal display panel 3 and floats, and the liquid crystal display panel 3 again.
When the surface of the liquid crystal display panel 3 is scratched when it comes into contact with the blade, and when the speed is higher than 140 rpm, the impact force when the blade 7 comes into contact with minute fragments of glass is increased, so that the blade 7
The life of is shortened remarkably.
【００６３】尚、本発明の刃物は、ナイフの刃等のよう
に、紙または木等を切断または切削できるものでも構わ
ないし、定規等のように、紙または木等を切断または切
削することが困難なものでも構わない。The blade of the present invention may be one that can cut or cut paper or wood, such as a knife blade, or can cut or cut paper or wood, such as a ruler. It can be difficult.
【００６４】図４に示すように、バネを用いたサスペン
ション機構２６は、刃物７とモーター２８との間に設け
られ、空気噴出口２７は、モーター２８付近の回転しな
い箇所に設けられている。As shown in FIG. 4, the suspension mechanism 26 using a spring is provided between the blade 7 and the motor 28, and the air ejection port 27 is provided near the motor 28 in a non-rotating portion.
【００６５】このバネの反発力によって刃物７が液晶表
示パネル３（図４には図示せず）に加える荷重は、８０
０〜１２００ｇが望ましく、さらに望ましいのは９００
〜１１００ｇである。刃物７が液晶表示パネル３に加え
る荷重が８００ｇより小さい場合、ガラスの微小な破片
の液晶表示パネル３への密着力に刃物７が負けて浮いて
しまい、再度液晶表示パネル３に接触した際に液晶表示
パネル３の表面にキズが付いてしまい、１２００ｇより
大きい場合、刃物７にかかるストレスが大きくなり、刃
物７の寿命が著しく短くなる。The repulsive force of the spring causes the blade 7 to apply a load of 80 to the liquid crystal display panel 3 (not shown in FIG. 4).
0-1200g is desirable, more desirable 900
~ 1100g. When the load applied to the liquid crystal display panel 3 by the blade 7 is less than 800 g, the blade 7 loses its adhesion to the liquid crystal display panel 3 due to the small pieces of glass, and the blade 7 floats when it comes in contact with the liquid crystal display panel 3 again. If the surface of the liquid crystal display panel 3 is scratched and the weight is more than 1200 g, the stress applied to the blade 7 becomes large and the life of the blade 7 becomes extremely short.
【００６６】また、空気噴出口２７には、空気またはイ
オン化した空気を供給するための管（図示せず）が接続
されている。この空気噴出口２７からの空気またはイオ
ン化した空気の噴出速度は、１２〜１６ｍ／ｓｅｃが望
ましい。この噴出速度でイオン化した空気を液晶表示パ
ネル３に吹き付けた場合、液晶表示パネル３から除去し
たガラスの微小な破片を吹き飛ばすことができるととも
に、液晶表示パネル３の表面に１０００Ｖ以上帯電して
いる静電気を５０Ｖ以下まで除電することができる。A pipe (not shown) for supplying air or ionized air is connected to the air ejection port 27. The ejection speed of air or ionized air from the air ejection port 27 is preferably 12 to 16 m / sec. When the ionized air is blown to the liquid crystal display panel 3 at this ejection speed, minute glass fragments removed from the liquid crystal display panel 3 can be blown off, and the surface of the liquid crystal display panel 3 is charged with 1000 V or more static electricity. Can be discharged to 50 V or less.
【００６７】図５に示すように、空気噴出口２７を刃物
７に設け、管２９を接続して空気またはイオン化した空
気を空気噴出口２７へ供給することもできる。この場
合、刃物７を回転させてガラスの微小な破片を除去する
ときには不向きであるが、刃物７を直線的に動かしてガ
ラスの微小な破片を除去するときには有効である。As shown in FIG. 5, it is also possible to provide an air jet 27 on the blade 7 and connect a pipe 29 to supply air or ionized air to the air jet 27. In this case, it is not suitable when removing the fine glass fragments by rotating the blade 7, but it is effective when linearly moving the blade 7 to remove the fine glass fragments.
【００６８】図６を用いて清掃手段９について説明す
る。図６は清掃手段９の一例を示す斜視図である。付着
物除去手段８（図６には図示せず）を中心の凹部に入
れ、排気管３０から排気を行いながら、複数のエアーノ
ズル３１より空気またはイオン化した空気を付着物除去
手段８に吹き付けることによって清掃を行う。エアーノ
ズル３１には、空気またはイオン化した空気を供給する
ための管（図示せず）が接続されている。The cleaning means 9 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a perspective view showing an example of the cleaning means 9. The deposit removing means 8 (not shown in FIG. 6) is placed in the central recess, and air or ionized air is blown from the plurality of air nozzles 31 to the deposit removing means 8 while exhausting from the exhaust pipe 30. Clean by. A pipe (not shown) for supplying air or ionized air is connected to the air nozzle 31.
【００６９】図７を用いて検査手段について説明する。
図７は検査手段の一例を示す説明図である。液晶表示パ
ネル３をラインセンサーカメラ２０の撮像視野内に入れ
るために、ガイドピン３２が液晶表示パネル３の両側に
設けられている。このガイドピン３２は、液晶表示パネ
ル３の搬送コンベア１６による進行方向に対して負荷が
かからないように、ベアリング（図示せず）を介して取
り付けられている。The inspection means will be described with reference to FIG.
FIG. 7 is an explanatory view showing an example of the inspection means. Guide pins 32 are provided on both sides of the liquid crystal display panel 3 in order to bring the liquid crystal display panel 3 into the imaging visual field of the line sensor camera 20. The guide pin 32 is attached via a bearing (not shown) so that no load is applied to the direction in which the liquid crystal display panel 3 is conveyed by the conveyor 16.
【００７０】また、液晶表示パネル３を撮像するための
ラインセンサーカメラ２０及びライン型光源３３は、液
晶表示パネル３の上下面を同時に検査するため、液晶表
示パネル３を上下から挟み込むような位置に設置されて
いる。このラインセンサーカメラ２０によって撮像され
た画像は、画像処理部（図示せず）及び判定部（図示せ
ず）よって２値化され、良否判定が行われるとともに、
上面、下面用の画像モニター２１に画像が表示され、作
業者が目視による確認を行うこともできる。Further, since the line sensor camera 20 and the line type light source 33 for picking up the image of the liquid crystal display panel 3 inspect the upper and lower surfaces of the liquid crystal display panel 3 simultaneously, the line sensor camera 20 and the line type light source 33 are positioned so as to sandwich the liquid crystal display panel 3 from above and below. is set up. The image captured by the line sensor camera 20 is binarized by an image processing unit (not shown) and a determination unit (not shown) to make a pass / fail determination, and
Images are displayed on the image monitors 21 for the upper surface and the lower surface, so that the operator can visually check the images.
【００７１】また、良否判定によって不良を検出した場
合、パトライト（図示せず）等で作業者に知らせること
により、刃物７（図７には図示せず）の交換時期を確実
なものにすることができる。Further, when a defect is detected by the quality judgment, the operator is notified by a patrol light (not shown) or the like to ensure the replacement time of the blade 7 (not shown in FIG. 7). You can
【００７２】（実施の形態２）図８乃至図１０を用い
て、本発明の他の実施の形態について説明する。図８は
本発明の他の実施の形態に係わる液晶表示パネル用洗浄
装置の側面図、図９は付着物除去手段８の他の例を示す
説明図、図１０は水槽内部を示す説明図である。(Second Embodiment) Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a side view of a liquid crystal display panel cleaning device according to another embodiment of the present invention, FIG. 9 is an explanatory view showing another example of the adhered substance removing means 8, and FIG. 10 is an explanatory view showing the inside of a water tank. is there.
【００７３】ローダー部１にセットされている液晶表示
パネル収納用カセット２から、液晶表示パネル３を取り
出しアーム４よって取り出し、供給アーム５によって上
面洗浄ステージ６に供給する。The liquid crystal display panel 3 is taken out from the liquid crystal display panel storage cassette 2 set in the loader section 1 by the take-out arm 4, and is supplied to the upper surface cleaning stage 6 by the supply arm 5.
【００７４】上面洗浄ステージ６に供給された液晶表示
パネル３は、上面洗浄ステージ６に吸着固定され、上面
洗浄ステージ６が上面洗浄用水槽３４内に下降し、図９
に示すような第１の刃物３５及び第２の刃物３６が取り
付けられた付着物除去手段８を液晶表示パネル３と接触
させながらＡ方向に平行移動させ、液晶表示パネル３に
付着しているガラスの微小な破片の除去を行う。The liquid crystal display panel 3 supplied to the upper surface cleaning stage 6 is adsorbed and fixed to the upper surface cleaning stage 6, and the upper surface cleaning stage 6 descends into the upper surface cleaning water tank 34, as shown in FIG.
The glass attached to the liquid crystal display panel 3 is moved in parallel with the liquid crystal display panel 3 by moving the attached matter removing means 8 to which the first blade 35 and the second blade 36 shown in FIG. Remove the minute debris.
【００７５】液晶表示パネル３上面の洗浄が終了する
と、反転アーム１１によって液晶表示パネル３の上下面
を反転させ、移載アーム１４によって下面洗浄ステージ
１２に液晶表示パネル３が供給される。When the cleaning of the upper surface of the liquid crystal display panel 3 is completed, the upper and lower surfaces of the liquid crystal display panel 3 are reversed by the reversing arm 11, and the liquid crystal display panel 3 is supplied to the lower surface cleaning stage 12 by the transfer arm 14.
【００７６】液晶表示パネル３下面に付着したガラスの
微小な破片の除去については、前述した液晶表示パネル
３上面と同様に下面洗浄用水槽３７内で行い、液晶表示
パネル３下面の洗浄を終了する。The removal of minute glass fragments adhered to the lower surface of the liquid crystal display panel 3 is performed in the lower surface cleaning water tank 37 in the same manner as the upper surface of the liquid crystal display panel 3 described above, and the cleaning of the lower surface of the liquid crystal display panel 3 is completed. .
【００７７】液晶表示パネル３下面の洗浄が終了する
と、液晶表示パネル３は移載アーム１４によってウェッ
ト洗浄部１５へ移載される。ウェット洗浄部１５でウェ
ット洗浄を終了し、本工程における洗浄を完了する。When the cleaning of the lower surface of the liquid crystal display panel 3 is completed, the liquid crystal display panel 3 is transferred to the wet cleaning section 15 by the transfer arm 14. The wet cleaning is finished in the wet cleaning unit 15, and the cleaning in this step is completed.
【００７８】洗浄を完了した液晶表示パネル３は、搬出
アーム２３によって収納アーム２４上に供給され、アン
ローダー部２５にセットされている液晶表示パネル収納
用カセット２に収納され、本工程を完了する。The liquid crystal display panel 3 that has been cleaned is supplied onto the storage arm 24 by the carry-out arm 23 and stored in the liquid crystal display panel storage cassette 2 set in the unloader section 25, and this step is completed. .
【００７９】ここで、図９に示した付着物除去手段８に
ついて説明する。Here, the deposit removing means 8 shown in FIG. 9 will be described.
【００８０】第１の刃物３５及び第２の刃物３６の刃先
角は２５〜３５°が望ましく、さらに望ましいのは３０
°である。刃先角が２５°より鋭角になった場合、刃物
の強度が弱くなり、３５°より鈍角になった場合、ガラ
スの微小な破片を充分に除去することができない。The edge angles of the first and second blades 35 and 36 are preferably 25 to 35 °, more preferably 30.
°. If the cutting edge angle is sharper than 25 °, the strength of the cutting tool becomes weak, and if it becomes obtuse than 35 °, it is not possible to sufficiently remove fine glass fragments.
【００８１】また、液晶表示パネル３と第１の刃物３５
及び第２の刃物３６との接触角は２５〜３５°が望まし
く、さらに望ましいのは３０°である。液晶表示パネル
３と第１の刃物３５及び第２の刃物３６との接触角が２
５°より鋭角になった場合、第１の刃物３５及び第２の
刃物３６によって液晶表示パネル３に加える圧力が弱く
なり、ガラスの微小な破片を充分に除去することができ
なくなり、液晶表示パネル３と第１の刃物３５及び第２
の刃物３６との接触角が３５°より鈍角になった場合、
第１の刃物３５及び第２の刃物３６によって液晶表示パ
ネル３に加える圧力が強くなり、液晶表示パネル３の表
面にキズが付いてしまうとともに、第１の刃物３５及び
第２の刃物３６の寿命が著しく短くなる。Further, the liquid crystal display panel 3 and the first blade 35
The contact angle with the second blade 36 is preferably 25 to 35 °, and more preferably 30 °. The contact angle between the liquid crystal display panel 3 and the first blade 35 and the second blade 36 is 2
When the angle is more than 5 °, the pressure applied to the liquid crystal display panel 3 is weakened by the first blade 35 and the second blade 36, and it becomes impossible to sufficiently remove minute glass fragments, resulting in a liquid crystal display panel. 3 and the first blade 35 and the second
If the contact angle with the blade 36 of
The pressure applied to the liquid crystal display panel 3 is increased by the first blade 35 and the second blade 36, and the surface of the liquid crystal display panel 3 is scratched, and the life of the first blade 35 and the second blade 36 is reduced. Becomes significantly shorter.
【００８２】また、第１の刃物３５及び第２の刃物３６
の真直度は、例えば第１の刃物３５の真直度が０．１ｍ
ｍの場合、第２の刃物３６の真直度は０．０１ｍｍが望
ましい。このように、第１の刃物３５及び第２の刃物３
６の真直度を異ならせ、付着物除去手段８の移動方向で
あるＡ方向の前側にある第１の刃物３５で比較的大きな
付着物の除去を行い、後側にある第２の刃物３６で微小
な付着物の除去を行うことにより、第２の刃物３６が付
着物と接触した際の衝撃を弱めることができ、高精度の
真直度を有する第２の刃物３６の寿命を延ばすことがで
きる。Further, the first blade 35 and the second blade 36
The straightness of the first blade 35 is, for example, 0.1 m.
In the case of m, the straightness of the second blade 36 is preferably 0.01 mm. In this way, the first blade 35 and the second blade 3
The straightness of 6 is made different, the relatively large deposit is removed by the first blade 35 on the front side in the direction A which is the moving direction of the deposit removing means 8, and the second blade 36 on the rear side removes it. By removing minute deposits, it is possible to weaken the impact when the second blade 36 contacts the deposit, and it is possible to extend the life of the second blade 36 having high accuracy straightness. .
【００８３】また、バネを用いたサスペンション機構２
６を用いた場合、このバネの反発力によって第１の刃物
３５及び第２の刃物３６が液晶表示パネル３に加える荷
重は、水中で付着物の除去を行うときには、空気中より
も付着物が除去しやすくなるため、３００〜６００ｇが
望ましく、さらに望ましいのは４００〜５００ｇであ
る。第１の刃物３５及び第２の刃物３６が液晶表示パネ
ル３に加える荷重が３００ｇより小さい場合、ガラスの
微小な破片の液晶表示パネル３への密着力に第１の刃物
３５及び第２の刃物３６が負けて浮いてしまい、再度液
晶表示パネル３に接触した際に液晶表示パネル３の表面
にキズが付いてしまい、６００ｇより大きい場合、第１
の刃物３５及び第２の刃物３６にかかるストレスが大き
くなり、第１の刃物３５及び第２の刃物３６の寿命が著
しく短くなる。Also, a suspension mechanism 2 using a spring
When 6 is used, the load applied to the liquid crystal display panel 3 by the first blade 35 and the second blade 36 due to the repulsive force of the spring is such that when removing the adhering substance in water, the adhering substance is larger than in the air. Since it is easy to remove, 300 to 600 g is preferable, and 400 to 500 g is more preferable. When the load applied to the liquid crystal display panel 3 by the first blade 35 and the second blade 36 is less than 300 g, the adhesion of the fine glass fragments to the liquid crystal display panel 3 may increase the first blade 35 and the second blade 35. When 36 loses and floats, the surface of the liquid crystal display panel 3 is scratched when it comes in contact with the liquid crystal display panel 3 again.
The stress applied to the blade 35 and the second blade 36 becomes large, and the lives of the first blade 35 and the second blade 36 are significantly shortened.
【００８４】ここで、図１０を用いて上面洗浄用水槽３
４及び下面洗浄用水槽３７について説明する。Here, referring to FIG. 10, the upper surface cleaning water tank 3 is used.
4 and the lower surface cleaning water tank 37 will be described.
【００８５】上面洗浄用水槽３４及び下面洗浄用水槽３
７は同じ構造でよく、給水口３８及び排水口３９を有
し、付着物除去手段８の移動方向であるＡ方向と同じ方
向であるＢ方向に水４０が流動するようにすることが望
ましい。このようにすることで、液晶表示パネル３から
除去された付着物が液晶表示パネル３に再付着したり、
上面洗浄ステージ６または下面洗浄ステージ１２に付着
することを防止することができる。Top cleaning water tank 34 and bottom cleaning water tank 3
7 may have the same structure, and preferably has a water supply port 38 and a drainage port 39 so that the water 40 flows in the direction B, which is the same direction as the direction A in which the deposit removing means 8 is moved. By doing so, the adhered matter removed from the liquid crystal display panel 3 is reattached to the liquid crystal display panel 3,
Adhesion to the upper surface cleaning stage 6 or the lower surface cleaning stage 12 can be prevented.
【００８６】水４０の流速は５〜１０ｍ／ｍｉｎが望ま
しく、この流速の場合に、液晶表示パネル３から除去し
た付着物が効率よく排水口３９に流動していくため、液
晶表示パネル３から除去した付着物の液晶表示パネル３
への再付着及び上面洗浄ステージ６または下面洗浄ステ
ージ１２への付着を防止することができる。The flow velocity of the water 40 is preferably 5 to 10 m / min. At this flow velocity, the adhering substances removed from the liquid crystal display panel 3 efficiently flow into the drain port 39, so that the water 40 is removed from the liquid crystal display panel 3. Liquid crystal display panel 3
It is possible to prevent reattachment to the upper surface cleaning stage 6 or lower surface cleaning stage 12.
【００８７】[0087]
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の液晶表示
パネルの洗浄方法によれば、刃物を液晶表示パネルに接
触させ、摺動させることにより、液晶表示パネルに強固
に付着しているガラスの微小な破片も除去することがで
き、偏光板を液晶表示パネルに貼り付ける際に、偏光板
と液晶表示パネルの間に気泡が混入することを防止する
ことができるため、良品率を向上させることができる。As described above, according to the method of cleaning a liquid crystal display panel of the present invention, the blade is firmly attached to the liquid crystal display panel by bringing the blade into contact with the liquid crystal display panel and sliding it. Small pieces of glass can be removed, and when the polarizing plate is attached to the liquid crystal display panel, it is possible to prevent bubbles from entering between the polarizing plate and the liquid crystal display panel, improving the yield rate. Can be made.
【００８８】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
て静電気を除去することにより、静電気によるＴＦＴの
破壊、透明電極に静電気が帯電することにより発生する
表示不良等の静電気に起因する問題を防止することがで
きる。Further, when removing the deposits on the liquid crystal display panel, ionized air is blown to the liquid crystal display panel to remove static electricity, thereby destroying the TFT due to static electricity and charging the transparent electrode with static electricity. It is possible to prevent problems caused by static electricity such as display defects that occur.
【００８９】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことにより、静電気によるＴＦＴの破壊、透
明電極に静電気が帯電することにより発生する表示不良
等の静電気に起因する問題を防止することができるとと
もに、クリーンルーム内のクリーン度を悪化させること
がない。Further, by removing the deposits on the liquid crystal display panel in water, the problems caused by static electricity such as the destruction of the TFT due to static electricity and the display failure caused by the static electricity being charged on the transparent electrode can be prevented. In addition, the cleanliness in the clean room is not deteriorated.
【００９０】本発明の液晶表示パネル用洗浄装置によれ
ば、刃物が取り付けられた付着物除去手段を液晶表示パ
ネルに接触させ、摺動させることにより、液晶表示パネ
ルに強固に付着しているガラスの微小な破片も除去する
ことができ、偏光板を液晶表示パネルに貼り付ける際
に、偏光板と液晶表示パネルの間に気泡が混入すること
を防止することができるため、良品率を向上させること
ができる。According to the liquid crystal display panel cleaning apparatus of the present invention, the glass adhered firmly to the liquid crystal display panel is brought into contact with the liquid crystal display panel by causing the adhered matter removing means having the blade attached thereto to slide. It is possible to remove even small fragments and prevent bubbles from entering between the polarizing plate and the liquid crystal display panel when the polarizing plate is attached to the liquid crystal display panel, thus improving the non-defective rate. be able to.
【００９１】さらに、液晶表示パネル上に円を描くよう
に、付着物除去手段を回転させて液晶表示パネルへの付
着物を除去することにより、短時間に液晶表示パネルへ
の付着物を除去することができるとともに、液晶表示パ
ネルへの付着物を除去できる確率を高めることができ
る。Further, by removing the adhering matter on the liquid crystal display panel by rotating the adhering matter removing means so as to draw a circle on the liquid crystal display panel, the adhering matter on the liquid crystal display panel is removed in a short time. In addition, it is possible to increase the probability that the deposits on the liquid crystal display panel can be removed.
【００９２】さらに、付着物除去手段は、一般公差の真
直度を有する第１の刃物と、第１の刃物より高精度の真
直度を有する第２の刃物とを有していることにより、効
率良く液晶表示パネルへの付着物を除去することができ
るとともに、刃物の寿命を長くすることができる。Further, since the adhered substance removing means has the first blade having the straightness of general tolerance and the second blade having the straightness of higher accuracy than the first blade, the efficiency is improved. Adhesion to the liquid crystal display panel can be removed well, and the life of the blade can be extended.
【００９３】さらに、付着物除去手段がサスペンション
機構を有していることにより、付着物除去手段が破損す
ることを防止できるとともに、液晶表示パネルが破損す
ることを防止できる。Further, since the adhering matter removing means has the suspension mechanism, it is possible to prevent the adhering matter removing means from being damaged and the liquid crystal display panel from being damaged.
【００９４】さらに、付着物除去手段が空気噴出口から
液晶表示パネルに空気を吹き付けることができ、除去し
たガラスの微小な破片等の付着物が、液晶表示パネルに
再付着することを防止することができる。Further, the adhered matter removing means can blow air from the air ejection port onto the liquid crystal display panel, and prevent the adhered matter such as the fine fragments of the removed glass from reattaching to the liquid crystal display panel. You can
【００９５】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、除電手段により、イオン化した空気を液晶表示
パネルに吹き付けて静電気を除去することにより、静電
気によるＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電するこ
とにより発生する表示不良等の静電気に起因する問題を
防止することができる。Further, when removing the deposits on the liquid crystal display panel, the static elimination means blows ionized air to the liquid crystal display panel to remove static electricity, thereby destroying the TFT due to static electricity and static electricity on the transparent electrode. It is possible to prevent problems caused by static electricity such as display defects caused by charging.
【００９６】さらに、付着物除去手段に設けた空気噴出
口より、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
て静電気を除去することにより、静電気によるＴＦＴの
破壊、透明電極に静電気が帯電することにより発生する
表示不良等の静電気に起因する問題を防止することがで
きるとともに、除去したガラスの微小な破片等の付着物
が液晶表示パネルに再付着することを防止することがで
きる。Further, ionized air is blown to the liquid crystal display panel from the air ejection port provided in the adhered matter removing means to remove static electricity, which causes destruction of the TFT due to static electricity and static electricity charging of the transparent electrode. It is possible to prevent problems caused by static electricity, such as display defects, and to prevent reattachment of adhered substances such as the removed fine glass fragments to the liquid crystal display panel.
【００９７】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことができる水槽を有していることにより、
静電気によるＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電す
ることにより発生する表示不良等の静電気に起因する問
題を防止することができるとともに、クリーンルーム内
のクリーン度を悪化させることがない。Further, by having a water tank capable of removing the deposits on the liquid crystal display panel in water,
It is possible to prevent problems caused by static electricity, such as display failure and the like caused by static electricity destruction of the TFTs and static electricity being charged on the transparent electrodes, and the cleanliness in the clean room is not deteriorated.
【００９８】さらに、水槽内の水を流動させることによ
り、除去した付着物が液晶表示パネルに再付着すること
を防止することができる。Furthermore, by flowing the water in the water tank, it is possible to prevent the removed deposits from reattaching to the liquid crystal display panel.
【００９９】また、清掃手段により、付着物除去手段を
清掃することによって、液晶表示パネルから除去したガ
ラスの微小な破片等の付着物が付着物除去手段に付着し
た場合であっても、別の液晶表示パネルに、付着物除去
手段に付着したガラスの微小な破片等を付着させてしま
うことを防止することができる。Further, even if the adhered matter removing means is cleaned by the cleaning means, even if the adhered matter such as fine glass fragments removed from the liquid crystal display panel adheres to the adhered matter removing means, another It is possible to prevent the adhesion of minute fragments of glass or the like adhered to the adhered matter removing means to the liquid crystal display panel.
【０１００】また、付着物除去手段により液晶表示パネ
ルへの付着物を除去した後に、検査手段により、液晶表
示パネルの外観不良を検査することによって、不良品を
後工程へ流すことがなくなり、偏光板及び駆動回路等の
部材を不良品に取り付けてしまうことがないため、これ
らの部材を節約することができるとともに、これらの部
材の取り付けにかかる時間と労力を節約することができ
る。[0100] Also, after removing the deposits on the liquid crystal display panel by the deposit removing means, the inspecting means inspects the liquid crystal display panel for a defective appearance so that the defective product is prevented from flowing to the subsequent process, and the polarization is prevented. Since members such as the plate and the drive circuit are not attached to defective products, these members can be saved and the time and labor required for attaching these members can be saved.
【図１】本発明の実施の形態に係わる液晶表示パネル用
洗浄装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a cleaning device for a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の形態に係わる液晶表示パネル用
洗浄装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the liquid crystal display panel cleaning device according to the embodiment of the present invention.
【図３】付着物除去手段の一例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of adhering matter removing means.
【図４】サスペンション機構及び空気噴出口を有する付
着物除去手段を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing an adhering substance removing means having a suspension mechanism and an air ejection port.
【図５】空気噴出口の他の例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of an air ejection port.
【図６】清掃手段の一例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an example of a cleaning unit.
【図７】検査手段の一例を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of an inspection unit.
【図８】本発明の他の実施の形態に係わる液晶表示パネ
ル用洗浄装置の側面図である。FIG. 8 is a side view of a liquid crystal display panel cleaning device according to another embodiment of the present invention.
【図９】付着物除去手段の他の例を示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory view showing another example of the adhered substance removing means.
【図１０】水槽内部を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory view showing the inside of the water tank.
１ ローダー部 ２ 液晶表示パネル収納用カセット ３ 液晶表示パネル ４ 取り出しアーム ５ 供給アーム ６ 上面洗浄ステージ ７ 刃物 ８ 付着物除去手段 ９ 清掃手段 １０ 突き上げピン １１ 反転アーム １２ 下面洗浄ステージ １３ 除電手段 １４ 移載アーム １５ ウェット洗浄部 １６ 搬送コンベア １７ シャワーノズル １８ ブラシ １９ 乾燥ブロアー ２０ ラインセンサーカメラ ２１ 画像モニター ２２ 位置決めピン ２３ 搬出アーム ２４ 収納アーム ２５ アンローダー部 ２６ サスペンション機構 ２７ 空気噴出口 ２８ モーター ２９ 管 ３０ 排気管 ３１ エアーノズル ３２ ガイドピン ３３ ライン型光源 ３４ 上面洗浄用水槽 ３５ 第１の刃物 ３６ 第２の刃物 ３７ 下面洗浄用水槽 ３８ 給水口 ３９ 排水口 ４０ 水 1 Loader Part 2 Cassette for Liquid Crystal Display Panel Storage 3 Liquid Crystal Display Panel 4 Ejection Arm 5 Supply Arm 6 Top Cleaning Stage 7 Edged Tool 8 Adhesion Removal Means 9 Cleaning Means 10 Push-up Pin 11 Inverting Arm 12 Bottom Cleaning Stage 13 Static Elimination Means 14 Transfer Arm 15 Wet cleaning section 16 Conveyor conveyor 17 Shower nozzle 18 Brush 19 Drying blower 20 Line sensor camera 21 Image monitor 22 Positioning pin 23 Delivery arm 24 Storage arm 25 Unloader section 26 Suspension mechanism 27 Air ejection port 28 Motor 29 Tube 30 Exhaust pipe 31 Air Nozzle 32 Guide Pin 33 Line Light Source 34 Water Tank for Top Cleaning 35 First Blade 36 Second Blade 37 Water Tank for Bottom Cleaning 38 Water Supply Port 39 Drainage Port 40 Water
Claims (14)
液晶材料注入口を封止した後、偏光板を貼り付ける前に
行う液晶表示パネルの洗浄方法において、刃物を前記液
晶表示パネルに接触させ、摺動させることにより、前記
液晶表示パネルへの付着物を除去することを特徴とする
液晶表示パネルの洗浄方法。1. A liquid crystal material is injected into a liquid crystal display panel,
In a method of cleaning a liquid crystal display panel after sealing a liquid crystal material injection port and before attaching a polarizing plate, a blade adheres to the liquid crystal display panel by bringing the blade into contact with the liquid crystal display panel and sliding the blade. A method for cleaning a liquid crystal display panel, comprising:
る際に、前記液晶表示パネルにイオン化した空気を吹き
付けることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル
の洗浄方法。2. The method for cleaning a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein ionized air is blown to the liquid crystal display panel when removing the deposits on the liquid crystal display panel.
水中で行うことを特徴とする請求項１記載の液晶表示パ
ネルの洗浄方法。3. The method for cleaning a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the deposits on the liquid crystal display panel are removed in water.
液晶材料注入口を封止した後、偏光板を貼り付ける前に
洗浄を行うための液晶表示パネル用洗浄装置において、
前記液晶表示パネルに接触させ、摺動させることによ
り、前記液晶表示パネルへの付着物を除去する刃物が取
り付けられた付着物除去手段を有していることを特徴と
する液晶表示パネル用洗浄装置。4. A liquid crystal material is injected into a liquid crystal display panel,
In the cleaning device for the liquid crystal display panel for cleaning after sealing the liquid crystal material injection port and before attaching the polarizing plate,
A cleaning device for a liquid crystal display panel, comprising: an adhering matter removing means to which a blade for removing an adhering matter to the liquid crystal display panel by being brought into contact with and sliding on the liquid crystal display panel is attached. .
り、前記液晶表示パネルへの付着物を除去することを特
徴とする請求項４記載の液晶表示パネル用洗浄装置。5. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 4, wherein the adhering matter removing means is rotated to remove the adhering matter to the liquid crystal display panel.
度を有する第１の刃物と、前記第１の刃物より高精度の
真直度を有する第２の刃物とを有していることを特徴と
する請求項４記載の液晶表示パネル用洗浄装置。6. The deposit removing means has a first blade having a straightness of general tolerance and a second blade having a straightness of higher precision than the first blade. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 4.
機構を有していることを特徴とする請求項４乃至請求項
６記載の液晶表示パネル用洗浄装置。7. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 4, wherein the deposit removing means has a suspension mechanism.
していることを特徴とする請求項４乃至請求項７記載の
液晶表示パネル用洗浄装置。8. The liquid crystal display panel cleaning device according to claim 4, wherein the adhering substance removing means has an air ejection port.
る際に、イオン化した空気を前記液晶表示パネルに吹き
付けて静電気を除去する除電手段を有していることを特
徴とする請求項４乃至請求項８記載の液晶表示パネル用
洗浄装置。9. A static eliminator for removing static electricity by spraying ionized air to the liquid crystal display panel when removing the deposits on the liquid crystal display panel. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 8.
気を前記液晶表示パネルに吹き付けることを特徴とする
請求項８または請求項９記載の液晶表示パネルの洗浄装
置。10. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 8, wherein ionized air is blown onto the liquid crystal display panel from the air ejection port.
を水中で行うことができる水槽を有していることを特徴
とする請求項４乃至請求項７記載の液晶表示パネル用洗
浄装置。11. The cleaning apparatus for a liquid crystal display panel according to claim 4, further comprising a water tank capable of removing deposits on the liquid crystal display panel in water.
きることを特徴とする請求項１１記載の液晶表示パネル
用洗浄装置。12. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 11, wherein water in the water tank can be made to flow.
清掃手段を有していることを特徴とする請求項４乃至請
求項１２記載の液晶表示パネル用洗浄装置。13. The cleaning device for a liquid crystal display panel according to claim 4, further comprising a cleaning unit for cleaning the deposit removing unit.
した後、前記液晶表示パネルの外観不良を検査する検査
手段を有していることを特徴とする請求項４乃至請求項
１３記載の液晶表示パネル用洗浄装置。14. The liquid crystal according to claim 4, further comprising an inspection means for inspecting the appearance defect of the liquid crystal display panel after removing the deposits on the liquid crystal display panel. Cleaning device for display panel.
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|---|---|---|---|
| JP13653196A JP3442930B2 (en) | 1995-12-28 | 1996-05-30 | How to clean the LCD panel |
Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|---|---|
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| JP34307395 | 1995-12-28 | ||
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP3442930B2 (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107973A (en) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Micronics Japan Co Ltd | Inspection device |
| JP2007268391A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Reserve ejection apparatus and reserve discharge process |
| KR100781346B1 (en) * | 2000-12-30 | 2007-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Wet Washing Apparatus Of Glass |
| JP2009283761A (en) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Cleaning mechanism of carrying pad |
| JP2010149039A (en) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Apparatus and method of cleaning film substrate |
| KR101158701B1 (en) * | 2007-07-03 | 2012-06-22 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | Washing device, washing method, auxiliary discharge device and application device |
| CN102755977A (en) * | 2012-07-09 | 2012-10-31 | 广州创维平面显示科技有限公司 | Heavy industry technique and heavy industry equipment of light guide plate |
| CN104959333A (en) * | 2015-06-26 | 2015-10-07 | 来安县新元机电设备设计有限公司 | Surface glue removing and cleaning device for liquid crystal display polarizer |
| KR20160051822A (en) * | 2013-09-04 | 2016-05-11 | 쥐알디 프랜마린 홀딩스 피티와이 엘티디 | A marine cleaning system |
| CN114352307A (en) * | 2021-12-20 | 2022-04-15 | 中交三公局第三工程有限公司 | Tunnel structure and construction method thereof |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-05-30 JP JP13653196A patent/JP3442930B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100781346B1 (en) * | 2000-12-30 | 2007-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Wet Washing Apparatus Of Glass |
| JP2007107973A (en) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Micronics Japan Co Ltd | Inspection device |
| JP2007268391A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Reserve ejection apparatus and reserve discharge process |
| WO2007116609A1 (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Preliminary discharge device and preliminary discharge method |
| KR101158701B1 (en) * | 2007-07-03 | 2012-06-22 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | Washing device, washing method, auxiliary discharge device and application device |
| JP2009283761A (en) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Cleaning mechanism of carrying pad |
| JP2010149039A (en) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Apparatus and method of cleaning film substrate |
| CN102755977A (en) * | 2012-07-09 | 2012-10-31 | 广州创维平面显示科技有限公司 | Heavy industry technique and heavy industry equipment of light guide plate |
| KR20160051822A (en) * | 2013-09-04 | 2016-05-11 | 쥐알디 프랜마린 홀딩스 피티와이 엘티디 | A marine cleaning system |
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| CN104959333A (en) * | 2015-06-26 | 2015-10-07 | 来安县新元机电设备设计有限公司 | Surface glue removing and cleaning device for liquid crystal display polarizer |
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