JPH0922306A - 生産制御装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】収納形態の変化するロットを、各種設備に投入
しても、ロットや収納媒体の存在位置を、正確に把握す
ること等が可能なシステムを提供する。 【構成】収納体を生産ライン上で搬送させることを想定
し、各設備の制御を行う設備コントローラと、各設備コ
ントローラを制御する統括コントローラとを備える。各
設備は、入力手段と、ロットに対し処理を行なう処理手
段と、収納体を次設備に送出する出力手段と、設備の状
態変化の情報を設備コントローラに通知する通知手段と
を設ける。また、統括コントローラは、各設備毎に、各
設備が設けた入力手段、処理手段、および、出力手段の
それぞれに対して、対象とする収納体の構成要素の種
類、および、収納体の搬送方向の上、下流側に位置す
る、設備、入力手段、処理手段、および、出力手段のい
ずれかを、予記憶する記憶手段と、各収納体の各構成要
素の存在位置を検出する検出手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種の設備を使用して
生産ラインで製品を製造する際に、ロットやロットの収
納媒体の存在位置を把握して生産制御を行なうシステム
に係り、特に、半導体のような薄膜製品の製造ラインに
おいて、ロットや収納媒体の管理を行なうための技術に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ロット（ロットを所定の収納態様で収納
媒体に収納した収納体を含む）を、複数種類の設備を有
して構成された製造ラインに投入して、完成品を製造す
るシステムにおいては、ロットに対する設備固有の処理
内容を考慮して、各設備の配置が決定され、製造ライン
が構築される。

【０００３】例えば、特開平３−２６４２４６号公報に
記載されているように、半導体製品を製造するための製
造ラインにおいては、同一機能を有する設備を集めた設
備群を複数構成し、これらの設備群の間で、製品を所定
の順序で受け渡しながら、所定の処理を行なって完成品
を生産する、「ジョブショップ型」の製造ラインについ
ての技術開示があり、ジョブショップ型の製造ライン
は、各種の産業分野において広く採用されている。

【０００４】また、各設備を、製品に対して行なう処理
の順序を考慮して配置した製造ラインである、「フロー
ショップ型」や、フローショップ型とジョブショップ型
とを折衷した型の製造ラインも提案されている。

【０００５】この折衷型の生産ラインの制御系の一例と
して、同一機能を有する設備を集めた設備群を、セル用
制御コンピュータで制御し、さらに、複数のセル用制御
コンピュータを、ショップコンピュータで制御し、さら
にまた、複数のショップコンピュータを、ホストコンピ
ュータで制御し、各コンピュータが制御する設備を、設
備群の構成内容と無関係に、容易に設定変更可能とす
る、生産制御装置等が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
生産システムでは、以下に示すような、解決すべき課題
が存在していた。

【０００７】まず、製造ラインにおいて加工対象（処理
対象）となるロットは、仕掛かり設備の特性に応じて、
「ケース」、「カセット」「ロット」の組み合わせが変
化する。例えば、ある設備では、「ケース＋カセット＋
ロット」の組み合わせで構成された収納体が、別の設備
に搬送されたときには、「カセット＋ロット」の組み合
わせで構成される収納体に変化する場合等が頻繁に発生
する。ここで、「ロット」は、生産品自体であり、「ケ
ース」、「カセット」は、ロットを収納するための収納
媒体である。ロットを、収納媒体を用いて、所定の収納
態様で収納したものを収納体と称している。なお、収納
態様としては、ロットのみの場合を含め、ロットをカセ
ットで収納すること（「カセット＋ロット」）、ロット
をカセットで収納したものを、さらに、ケースで収納す
ること（「ケース＋カセット＋ロット」）等が考えられ
る。

【０００８】ところで、製造ラインを構成する設備は、
収納体を受け付けるロット受入部と、収納体の構成要素
であるロットに対し、設備固有の処理を行なうロット処
理部と、収納体を次設備に送出するロット払出部を有し
て構成されるが、各部の構成態様は、様々なものが考え
られるため、設備の構成は多種多様である。さらに、あ
る設備においては、ロット受入部での、収納体が「カセ
ット＋ロット」から、「カセット」と「ロット」に分離
して、ロット処理部で「ロット」に対する所定の処理が
行なわれた後に、ロット払出部において、「カセット」
と「ロット」が合体して、「カセット＋ロット」の収納
態様が変化する。また、他の設備では、ロット受入部か
らロット払出部まで、ロットの収納態様は、総て「カセ
ット＋ロット」で、同一である場合も考えられる。この
ように、ロット受入部、ロット処理部、ロット払出部等
の設備の構成部位毎に、ロットの収納態様が多様に変化
する設備を有して製造ラインが構成されており、各設備
を制御するコントローラに対して、制御ソフトウエア
を、個別に製作していたのでは、開発工数が増大する。

【０００９】また、設備の構成部位毎に、ロットの収納
態様が多様に変化する設備を有して製造ラインが構成さ
れておるため、ロットや収納媒体の存在位置を、一元的
に管理可能な手段が存在せず、生産の進捗状況の把握
や、生産計画立案を行なうことは容易ではない、等の問
題点が存在していた。

【００１０】また、ロットや収納媒体の存在位置を適切
に把握できないため、使用する設備を推奨する手段が存
在せず、効率の良い生産を行なうことが可能な構成にな
っていなかった。

【００１１】さらにまた、各設備の検査を行なう手段の
開示がなく、製品の品質管理を適切に行なうことができ
なかった、とういう課題も存在していた。

【００１２】そこで、本発明の目的は、上記のような課
題を有する製造ラインにおいて、ロット、ケース等の存
在位置を一元的に管理する手段の提供を行なうととも
に、ロットの処理を着工可能な設備を選択し、設備の固
有の処理条件で、円滑にロットの処理を行なうことや所
定時に設備の生産品質検査を自動的に行なう生産制御手
段を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し、本発
明の目的を達成するため、以下の手段がある。

【００１４】すなわち、複数種類の設備を有して構成さ
れる生産ラインに、ロットのみ、または、少なくとも１
種類の収納媒体を用いて所定の収納態様で収納したロッ
トを投入して、完成品を生産する生産制御装置であっ
て、前記ロットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体
を、ロットの構成要素とし、該構成要素の組合せからな
る収納体（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で
搬送させることを想定し、各設備の制御を行う設備コン
トローラと、各設備コントローラを制御する統括コント
ローラとを備える。

【００１５】さらに、各設備は、収納体を受け付ける入
力手段と、収納体の構成要素であるロットに対し、設備
固有の処理を行なう処理手段と、収納体を次設備に送出
する出力手段と、前記入力手段および出力手段が、収納
体を受け付け、送出することにより変化する、設備の状
態変化の情報を、対応する設備コントローラに通知する
通知手段とを設ける。

【００１６】そして、前記統括コントローラは、各設備
毎に、各設備が設けた入力手段、処理手段、および、出
力手段の、それぞれの手段に対して、対象とする収納体
の構成要素の種類、および、収納体の搬送方向の上流
側、下流側に位置する、設備、入力手段、処理手段、お
よび、出力手段のいずれかを、予め定めて記憶するため
の記憶手段と、各収納体の各構成要素の存在位置を検出
する検出手段とを備え、該検出手段は、前記通知手段か
ら通知された情報、および、前記記憶手段に記憶され
た、前記通知手段に対応する、設備の情報を参照して、
前記生産ラインに投入された収納体を構成する各構成要
素の、前記生産ラインにおける存在位置を把握し、把握
した結果を出力する、生産制御装置である。

【００１７】また、以下のような態様もある。

【００１８】すなわち、複数種類の設備を有して構成さ
れる生産ラインに、ロットのみ、または、少なくとも１
種類の収納媒体を用いて所定の収納態様で収納したロッ
トを投入して、完成品を生産する生産制御装置であっ
て、前記ロットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体
を、ロットの構成要素とし、該構成要素の組合せからな
る収納体（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で
搬送させることを想定し、各設備の制御を行う設備コン
トローラと、各設備コントローラを制御する統括コント
ローラと、生産を管理する指示を与える管理装置とを備
える。

【００１９】さらに、前記管理装置は、投入された収納
体の構成要素であるロット毎に定められた複数の処理工
程に対して、ロットの処理を着工可能な１以上の設備を
示す情報である着工可能設備情報と、該着工可能設備情
報で示された各設備の固有の処理態様である処理条件情
報とを、少なくとも記憶する記憶手段を設け、前記統括
コントローラは、各ロットに対し、対応する着工可能設
備情報および処理条件情報を、前記記憶手段を参照して
求め、求めた着工可能設備情報および処理条件情報に基
づいて、対応する設備コントローラに制御信号を供給す
る処理を行なう、生産制御装置である。

【００２０】この場合、設備による製造品質を検査する
処理を行なう検査設備を備え、前記記憶手段は、さら
に、各設備に対して、所定ロット数の処理後に点検を行
なう旨の点検情報を記憶しておき、前記統括コントロー
ラは、前記点検情報を参照して、いずれかの設備での処
理ロット数が、点検を行なうための所定ロット数になっ
たと判断した場合、当該設備へ投入される収納体を、前
記検査設備に搬送するように、対応する設備コントロー
ラに制御信号に供給する処理を行なう、生産制御装置も
考えられる。

【００２１】また、以下のような生産制御方法も考えら
れる。

【００２２】すなわち、複数種類の設備を有して構成さ
れる生産ラインに、ロットのみ、または、少なくとも１
種類の収納媒体を用いて所定の収納態様で収納したロッ
トを投入して、完成品を生産する方法であって、前記ロ
ットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体を、ロット
の構成要素とし、該構成要素の組合せからなる収納体
（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で搬送させ
ることを想定する。

【００２３】さらに、各設備は、収納体を受け付ける
と、収納体の構成要素であるロットに対し、設備固有の
処理を行い、処理後に収納体を次設備に送出するととも
に、収納体を受け付け、送出することにより変化する、
設備の状態変化の情報を通知し、各設備毎に、対象とす
る収納体の構成要素の種類、および、収納体の搬送方向
の上流側、下流側に位置する、生産ライン上の位置を、
予め定めて記憶しておく。

【００２４】さらに、前記通知した情報、および、前記
記憶しておいた、前記通知に対応する、設備の情報を参
照して、前記生産ラインに投入された収納体を構成する
各構成要素の、前記生産ラインにおける存在位置を把握
し、把握した結果を出力する、生産制御方法である。

【００２５】

【作用】生産ラインに、ロットのみ、または、少なくと
も１種類の収納媒体を用いて所定の収納態様で収納した
ロットを投入して、完成品を生産することを考える。

【００２６】そして、前記ロットおよび前記少なくとも
１種類の収納媒体を、ロットの構成要素とし、該構成要
素の組合せからなる収納体（ロットのみの場合を含む）
を生産ライン上で搬送させるものとする。

【００２７】設備コントローラは、各設備の制御を行
い、統括コントローラは、各設備コントローラを制御す
る。

【００２８】各設備が備える入力手段は、収納体を受け
付け、処理手段は、収納体の構成要素であるロットに対
し、設備固有の処理を行ない、さらに、出力手段は、収
納体を次設備に送出する。また、通知手段は、前記入力
手段および出力手段が、収納体を受け付け、送出するこ
とにより変化する、設備の状態変化の情報を、対応する
設備コントローラに通知する。

【００２９】一方、前記統括コントローラが備える記憶
手段には、各設備毎に、各設備が設けた入力手段、処理
手段、および、出力手段の、それぞれの手段に対して、
対象とする収納体の構成要素の種類、および、収納体の
搬送方向の上流側、下流側に位置する、設備、入力手
段、処理手段、および、出力手段のいずれかを、予め定
めて記憶しておく。

【００３０】そして、検出手段は、前記通知手段から通
知された情報、および、前記記憶手段に記憶された、前
記通知手段に対応する、設備の情報を参照して、前記生
産ラインに投入された収納体を構成する各構成要素の、
前記生産ラインにおける存在位置を把握する。把握した
結果は、表示出力や印字出力される。

【００３１】また、管理装置が、生産を管理する指示を
与える場合は、以下のようになる。

【００３２】まず、前記管理装置が備える記憶手段に
は、投入された収納体の構成要素であるロット毎に定め
られた複数の処理工程に対して、ロットの処理を着工可
能な１以上の設備を示す情報である着工可能設備情報
と、該着工可能設備情報で示された各設備の固有の処理
態様である処理条件情報とを、少なくとも記憶してお
く。

【００３３】そして、統括コントローラは、各ロットに
対し、対応する着工可能設備情報および処理条件情報
を、前記記憶手段を参照して求める。次に、求めた着工
可能設備情報および処理条件情報に基づいて、対応する
設備コントローラに制御信号を供給する。

【００３４】また、検査設備を備え、各設備による製造
品質を検査する処理を行なうことも考えられる。

【００３５】すなわち、前記記憶手段には、さらに、各
設備に対して、所定ロット数の処理後に点検を行なう旨
の点検情報を記憶しておく。

【００３６】そして、統括コントローラは、前記点検情
報を参照して、いずれかの設備での処理ロット数が、点
検を行なうための所定ロット数になったと判断した場合
に検査を行なう。即ち、当該設備へ投入される収納体
を、前記検査設備に搬送するように、対応する設備コン
トローラに制御信号に供給する処理を行なう。

【００３７】

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しつつ説明する。

【００３８】なお、本実施例では、特に、半導体のウェ
ハ製造ラインを対象とする。もちろん、本発明は、多様
な分野の製造ラインに適用可能である。

【００３９】さて、図２に、半導体のウェハ製造ライン
のレイアウトの状態を示す。

【００４０】ラインは、複数の「ベイ」と称される生産
エリア（１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６１
７、１８、１９、２０、２１）を有して構成され、例え
ば、ベイ１１は、ストッカ３１、搬送設備４１、生産設
備Ｘ群（５１、５２、５３）、生産設備Ｙ群（６１、６
２、６３）、生産設備Ｚ群（７１、７２）、カセット交
換設備Ｔ８１、および、検査設備Ｐ９１を、少なくとも
備えて構成されている。

【００４１】少なくとも１枚のウェハが、カセットに収
納され、さらに、必要に応じて、ウェハ入りカセットが
ケースに収納される。カセットやケースは、収納媒体と
して機能する。

【００４２】ロット、カセット、ケースを、ロットの構
成要素とし、該構成要素の組合せからなる収納体（ロッ
トのみの場合を含む）を生産ライン上で搬送させること
を想定する。なお、本実施例においては、この収納体
を、単に、「ロット」と呼することが殆どである。そし
て、ロットは、所定の処理順序に基づき、ベイ間におい
て繰り返し通し流されながらベイに対応する処理が行な
われ、完成品が製造される。

【００４３】図１に、上記のようなベイを対象とした、
生産制御システムの構成図に示す。

【００４４】本システムは、対応する設備を制御する、
各種のコントローラと、各コントローラを制御するベイ
コントローラ１０１と、進捗管理システム２０１と、製
造条件管理システム２０２と、作業条件管理システム２
０３と、を有して構成される。

【００４５】以下、各構成要素について簡単に説明す
る。

【００４６】ストッカコントローラ３０１は、ストッカ
３１を制御する。搬送コントローラ４０１は、搬送設備
４１を制御する。また、生産設備群Ｘコントローラ５０
０は、生産設備Ｘ５１、５２、５３を制御し、生産設備
Ｙコントローラ６０１、６０２、６０３は、夫々、生産
設備Ｙ６１、６２、６３を制御し、さらに、生産設備Ｚ
コントローラ７０１、７０２は、夫々、生産設備Ｚ７
１、７２を制御する。

【００４７】同様に、検査設備コントローラ９０１は、
検査設備Ｐ９１を制御し、カセット交換設備コントロー
ラ８０１は、カセット交換設備Ｔ８１を制御する。

【００４８】なお、各設備と、対応するコントローラと
は、通信回線で接続され、両者間で、必要な情報が送受
信される構成になっている。

【００４９】また、各コントローラ、即ち、ストッカコ
ントローラ３０１、搬送コントローラ４０１、生産設備
Ｘ群コントローラ５００、生産設備Ｙコントローラ６０
１、６０２、６０３、生産設備Ｚコントローラ７０１、
７０２、検査設備コントローラ９０１、および、カセッ
ト交換設備Ｔコントローラ８０１は、通信回線を介し
て、ベイコントローラ１０１と接続され、ベイコントロ
ーラ１０１との間で、必要な情報の送受信を行う構成に
なっている。

【００５０】さらに、ベイコントローラ１０１は、進度
管理システム２０１、製造条件管理システム２０２、お
よび、作業指示システム２０３と、通信回線を介して接
続され、必要な情報の送受信が行なわれるように構成さ
れている。

【００５１】進度管理システム２０１は、ライン内の全
てのロットに対して、図３に示す「ロット情報」を管理
する機能を有する。

【００５２】図３に示すように、ロット情報は、ロット
の識別子である「ロットＩＤ」、品種の名称である「品
種名」、「ウェハ枚数」、現在の当該ロットが仕掛かっ
ている工程である「仕掛かり工程」、各工程毎の、該工
程の処理を行う「ベイ名称」、および、処理の手順を示
すため工程名を順番に並べた「工程フロー」の、各情報
を有している。

【００５３】製造条件管理システム２０２は、図４に示
すような「製造条件情報」を管理する機能を有する。

【００５４】図４に示すように、「製造条件情報」は、
品種および工程単位に、着工可能な設備群情報と、各着
工可能設備に対する「レシピ番号」を有する。なお、着
工可能設備とは、あるロットが投入され、生産ライン上
に存在するとき、当該ロットに対する処理を行なう機能
を有する設備のことを指す。

【００５５】作業指示システム２０３は、図５に示すよ
うな設備単位の「検査頻度情報」、図６に示すような品
種・工程単位の「処理前カセット種別、処理後カセット
種別情報」を管理する機能を有する。

【００５６】図５に示すように「検査頻度情報」は、設
備単位に工程毎に、検査の態様を示す「検査パターン」
と、検査を実行する間隔を示す「頻度」を有する。ま
た、図６に示すように、「処理前カセット種別、処理後
カセット種別情報」は、工程別に、処理前の収納体の収
納態様を示す「処理前カセット種別」と、処理後の収納
体の収納態様を示す「処理前カセット種別」とを有して
いる。

【００５７】なお、図３から図６に示す各種の情報は、
一部を除いて、その殆どを予め定めて記憶しておくよう
にする。

【００５８】さて、ベイコントローラ１０１は、進度管
理システム２０１から「ロット情報」を、製造条件管理
システム２０２から「製造条件情報」を、さらに、作業
指示システム２０３から「検査頻度情報」、「カセット
種別情報」を取得し、管理する機能を有する。

【００５９】また、後述するが、ベイコントローラ１０
１は、さらに、各設備の属性情報を予め備えている。

【００６０】さらに、ベイコントローラ１０１は、スト
ッカコントローラ３０１、搬送コントローラ４０１、生
産設備Ｘ群コントローラ５００、生産設備Ｙコントロー
ラ６０１、６０２、６０３、生産設備Ｚコントローラ７
０１、７０２、検査設備コントローラ９０１、および、
カセット交換設備コントローラ８０１の各コントローラ
から、対応する設備の状態が変化した時、その状態変化
の情報を入手し、各設備の状態を監視する。

【００６１】ここで、状態変化とは、主として、設備
に、新たなロットが投入されることや、処理が終了した
ロットが、次の設備に搬送されるように送出されること
を、意味する。

【００６２】ベイコントローラ１０１は、ロット情報、
製造条件情報、検査頻度情報、カセット種別情報、設備
の属性情報、および、設備の状態変化情報の各情報に基
づいて、生産ライン上でのロットの所在位置の把握、管
理を行ない、当該ロットの次の搬送先となる設備を決定
し、当該ロットを当該設備へ自動搬送し、当該ロットに
対する処理条件を、当該設備に指示する処理を行なう。
具体的な処理例については、後に述べる。

【００６３】次に、図７に、ベイコントローラ１０１
が、予め定めて格納しておく、各設備の属性情報を示
す。

【００６４】設備の属性情報として、まず、設備を識別
するための「設備識別子７a」、ロットの受入払出し方
式（後述する）を示す「受入払出種別７b」がある。さ
らに、設備を、ロットの流れに着目し、ロットの受入
部、処理部、払出部等の部位に分割し、各部位単位に、
以下の部位情報を有する。

【００６５】部位情報は、部位を識別するための「部位
識別子７c」、受入部、処理部、払い出し部等を示す
「部位区分」７d、該部位にロットを流してくる設備の
種別（後述する）を表す「上流設備種別７e」、またこ
れに対応する部位識別子を表す「上流部位７f」、上流
側から流れてくるかロットの構成要素を示す「上流ロッ
ト構成要素７g」、さらに、該部位からロットを流す、
下流側の設備の種別を表す「下流設備種別７h」、また
これに対応する部位識別子を表す「下流部位７ｉ」、下
流側に流れるロットの構成要素を示す「下流ロット構成
要素７j」である。上記７cから７jの情報は、各部位単
位、例えば、ロットの受入部、処理部、払出部毎に定め
られている。

【００６６】ここで、図８に、生産設備の主なロットの
受入・払出種別（図７b参照）を示す。

【００６７】第１の方式は、カセット、ロット本体を構
成要素として、「カセット＋ロット本体」のように組み
合わされたロットが、ロット受入部に搬入され、ウェハ
のみが処理部に搬送され、ウェハに対する処理が行なわ
れた後、処理後のウェハが元のカセットに回収され、再
度、「カセット＋ロット本体」となるユニカセット方式
である。

【００６８】第２の方式は、カセット、ロット本体を構
成要素として、「カセット＋ロット本体」のように組み
合わされたロットが、ロット受入部に搬入され、ウェハ
のみ処理部に搬送され、ウェハに対する処理が行なわれ
る一方、ウェハが払出されたカセットは、ロットの受入
部からロットの払出部へ搬送設備を使用して搬送され、
そして、処理が完了したウェハは、カセットに回収さ
れ、再度、「カセット＋ロット本体」となるセンダ・レ
シーバ方式である。

【００６９】第３の方式は、カセット、ロット本体を構
成要素として、「カセット＋ロット本体」のように組み
合わされたロットが、ロット受入部に搬入され、「カセ
ット＋ロット本体」が一緒に処理部に搬送され、所定の
処理が行なわれた後、ロット払出部に、そのまま「カセ
ット＋ロット本体」として搬出される、カセット移動方
式である。

【００７０】ロットの受入・払出種別（図７b参照）に
は、例えば、上記、第１から３の、いずれかの方式を示
す情報が定められている。

【００７１】また、設備の種別としては、ストッカ、搬
送設備、生産設備、検査設備、カセット交換設備等が考
えられ、各設備と一意に対応するデータを、図７の７a
に、記憶しておけば良い。

【００７２】次に、各設備の構成部位、部位間のロット
の流れについて説明する。

【００７３】図９を参照して、ストッカの構成部位と、
ストッカ内でのロットの流れについて説明する。

【００７４】ストッカ３１は、ベイ間搬送対応入庫口３
1a、ベイ間搬送対応出庫口３１b、搬送設備対応入庫口
３１c、搬送設備対応出庫口３１d、および、ロットを保
管する棚３１eを、備えっている。

【００７５】また、各入出庫口には、センサが取り付け
られており、各センサによって、ロット搬入、搬出を検
知する。他の設備に設けるセンサも同様であるが、セン
サとしては、例えば、透過型のフオトインタラプタや、
近接センサ等を使用すれば良い。

【００７６】また、各入出庫口と保管棚との間のロット
の移動は、ストッカ内のロボットにより自動的に行われ
る。ロボットは、所定の動作を行なうように、その動作
状態を制御するように、プログラミングされている。

【００７７】次に、ロットの流れについて説明する。ロ
ットは、「ケース＋カセット＋ロット本体」のように、
３つの構成要素を組み合わせたものとし、他のベイが備
えるストッカから搬送され、当該ベイのストッカのベイ
間搬送対応入庫口３１aにセットされる。そして、スト
ッカ内のロボットにより、保管棚３１eに搬入される。

【００７８】棚に保管されたロットは、ベイ内に投入さ
れる時、ストッカ内のロボットにより、搬送設備対応出
庫口３１dにセットされる。そして、搬送設備４１によ
り、ケースからカセットとロット本体を取り出し、ケー
スのみは、ストッカ内のロボットにより搬送設備対応出
庫口３１dから保管棚３１eに戻される。また、ロットを
ストッカに戻す場合には、保管棚３１eに保管されてい
る当該ロットのケースを、ストッカ内のロボットによ
り、搬送設備対応入庫口３１cにセットし、搬送設備４
１により、カセットとロット本体は、搬送設備対応入庫
口３１cのケースに収納され、ストッカ内のロボットに
より、搬送設備対応入庫口３１cから保管棚３１eに戻さ
れる。当該ベイでの処理が終了したロットは、ロボット
によって、保管棚３１eから取り出されベイ間搬送対応
出庫口３１bにセットされ、他のストッカへ自動搬送さ
れる。

【００７９】ここで、図１０に、ベイコントローラで予
め定義される、ストッカの属性情報を示す。

【００８０】ストッカに対する「設備識別子」は「３
１」であり、「受入・払出種別」は、ストッカ独自のも
のであるため「ストッカ方式」と称することにする。

【００８１】ストッカを構成する部位としては、ベイ間
搬送対応入庫口３1a、ベイ間搬送対応出庫口３１b、搬
送設備対応入庫口３１c、搬送設備対応出庫口３１d、お
よび、ロットを保管する棚３１eが、挙げられる。

【００８２】次に、搬送設備対応出庫口３１dを例にと
り、前述した部位情報を説明する。

【００８３】まず、「部位区分」は「出庫口」であり、
該部位にロットを流してくる「上流設備種別」は、スト
ッカの保管棚から流れてくることから、「ストッカ３
１」であり、さらに、「上流部位」は、「保管棚３１
e」である。また、上流ロット構成要素は、「ケース＋
カセット＋ロット本体」（a）である。該部位からロッ
トを流す先である「下流設備種別」は、「搬送設備４
１」であり、さらに、「下流部位」は、搬送設備４１の
「ポート４１a、４１b、４１c、４１d」のいずれかであ
る。また、下流ロット構成要素は、「カセット＋ロット
本体」（b）となる。

【００８４】図１１を参照して、搬送設備４１の構成部
位と、ロットの流れについて説明する。

【００８５】搬送設備４１は、ロットを搭載するポート
４１a、４１b、４１c、４１d、搬送台車４１e、ロボッ
ト４１fを備えて構成される。

【００８６】また、各ポートには、センサが取り付けら
れており、各センサによって、ロットの搬入、搬出を検
知する。搬送設備４１は、ロボットによりストッカの搬
送設備対応入出庫口、生産設備の受入部、払出部等から
ロットを取り出し、搬送台車上のポート４１a、４１b、
４１c、４１dのいずれかに搭載する。さらに、搬送台車
上のポート４１a、４１b、４１c、４１dのロットを、ロ
ボットによって、ストッカの搬送設備対応入出庫口、生
産設備の受入部、払出部等に搭載する。搬送台車４１e
は、任意の設備間を移動可能に構成されており、与えら
れるロットに対応して、所定パターンの軌道で移動する
ように、予め移動のための制御プログラムが内蔵されて
いる。なお、ロットの構成要素は、搬送設備上では変化
しない。

【００８７】図１２に、ベイコントローラに、予め定義
されて格納されている搬送設備の属性情報を示す。

【００８８】搬送設備に対する「設備識別子」は「４
１」であり、受入・払出種別は、搬送設備独自のもので
あるため、「搬送設備方式」とする。搬送設備を構成す
る部位は、ポート４１a、４１b、４１c、４１dである。

【００８９】次に、ポート４１aを例にとり、部位情報
について説明する。

【００９０】まず、「部位区分」は、搬送設備のポート
特有であるため「ポート」とする。該部位にロットを流
してくる「上流設備種別」は、ストッカ、生産設備等の
各種設備であり、「上流部位」も、ストッカ入出庫口、
生産設備のロット受入部、払出部等である。また、該部
位での構成要素は、上流部位でのロットの構成要素であ
る、上流ロット構成要素をそのまま継承する。

【００９１】一方、該部位からロットを流す側である
「下流設備種別」についても上流設備種別と同様に、ス
トッカ、生産設備等の各種設備となり、「下流部位」
も、ストッカ入出庫口、生産設備のロット受入部、払出
部等である。また、「下流ロット構成要素」は、該部位
でのロットの構成要素を、そのまま継承する。

【００９２】次に、図１３を参照して、生産設備Ｘ５１
の構成部位と、ロットの流れについて説明する。生産設
備Ｘ５１は、ロット受け入れと、ロット払い出しとを兼
用する４つの受入部５１a、５１b、５１c、５１dと、１
つの処理部５１eとを有して構成される。

【００９３】各受入部には、センサが設けられており、
各受入部の状態、即ち、ロット受け入れと、ロット払い
出しを検知し、把握する。受入部５１a、５１b、５１c
には、搬送設備４１により、「カセット＋ロット本体」
なる、構成要素の組み合わせからなるロットが搬入さ
れ、ロット本体のみが、処理部に搬入され、ロットに対
する処理の完了後に、同一のカセットに収納される。
「カセット＋ロット本体」は、搬送設備４１により、受
け入れ払い出し部を介して、搬送設備４１に載置され、
搬送される。

【００９４】各受入部の状態変化は、各受入部に設置さ
れているセンサにより検知され把握される。

【００９５】ここで、受入部の状態は、「搬入待ち」、
「処理待ち」、「処理中」、搬出待ち、である。「搬入
待ち」とは受入部上にカセットが無い状態であり、「処
理待ち」は、受入部上に、処理が開始されていない状態
のロットがある状態、「処理中」とは、受入部上に処理
中のロットがある状態、「搬出待ち」とは、処理が完了
し、搬出されるのを待っているロットが搭載されている
状態をいう。

【００９６】上記の各状態は、ロット本体と、これに対
応するカセットの存在位置を検出するセンサの出力信号
によって把握しうる。このような処理は、コントローラ
が行なうようにしておけば良い。

【００９７】受入部５１dは、先行ウェハ対応の受入部
である。すなわち、生産設備Ｘ５１の処理条件が、適切
か否かを判断するために、受入部５１a、５１b、５１c
に搬入されたロット本体から１枚のウェハのみを処理
し、予め受入部５１dに設置されたカセットに回収し、
搬送設備４１により、該ウェハとカセットを検査設備９
１に搬送し、検査後、再度、当該ロット、「カセット＋
ウェハ」を、生産設備Ｘ５１の受入部５１dに搬入し、
ウェハのみが、元のロット本体に戻される。

【００９８】図１４に、ベイコントローラにて格納され
る、予め定義される生産設備Ｘ５１の属性情報を示す。
「設備識別子」は、「５１」であり、「受入・払出種
別」は、「ユニカセット方式」である。構成される部位
は、受入部５１a、５１b、５１c、５１d、である。

【００９９】受入部５１a、５１b、５１cの「部位区
分」は、「受入払出部」、受入部５１dは、「先行受入
払出部」である。

【０１００】受入部５１a、５１b、５１cにロットを流
す「上流設備種別」は、「搬送設備４１」であり、「上
流部位」は、「ポート４１a、４１b、４１c、４１d」の
いずれかである。また、上流ロット構成要素は、「カセ
ット＋ロット本体」である。

【０１０１】同様に、受入部５１a、５１b、５１cから
ロットを流す「下流設備種別」は、「搬送設備４１」で
あり、「下流部位」は、「ポート４１a、４１b、４１
c、４１d」のいずれかである。また、受入部５１a、５
１b、５１cに対する「下流ロット構成要素」は、いずれ
も、「カセット＋ロット本体」である。

【０１０２】受入部５１dの上流部位から該部位に流れ
る際のロット構成要素は「先行カセット＋先行ウェハ」
であり、該部位から下流設備に流れる際の下流ロット構
成要素は「先行カセット＋先行ウェハ」である。

【０１０３】他の生産設備Ｘ５２、５３についても、同
様に実現でき、対応する属性情報も、同様に設定しう
る。

【０１０４】次に、図１５を参照して、生産設備Ｙ６１
の構成部位と、ロットの流れについて説明する。生産設
備Ｙ６１は、ロットの受け入れを行なう、２つのロット
受入部６１a、６１b、と、ロットに対する処理を行なう
処理部６１c、６１dと、ロットの払い出しを行なう払出
部６１e、６１fとを有して構成される。

【０１０５】各ロットの受入部、払出部には、センサが
設置されており、各受入部、払出部の状態を検知し、把
握する。

【０１０６】受入部６１a、６１bには、搬送設備４１に
より、「カセット＋ロット本体」なる構成要素の組合わ
せであるロットが搬入され、ロット本体のみが処理部に
搬入され、受入部上には、カセットのみが残り、このカ
セットは、搬送設備４１によって、ロット払出部に搬送
され、処理が完了したロット本体を、対応するカセット
内に回収するような構成になっている。このような構成
は、例えば、特殊な分岐態様を有するベルトコンベアー
等によって実現できる。

【０１０７】この「カセット＋ロット本体」は、搬送設
備４１によって、払出部から搬出される。

【０１０８】なお、受入部の状態は、「搬入待ち」、
「処理待ち」、「処理中」、および「搬出待ち」のいず
れかである。

【０１０９】ここで、「搬入待ち」とは、受入部にロッ
トが無い状態であり、「処理待ち」とは受入部上のロッ
トから、ウェハが処理部に払い出されるのを待っている
状態であり、「処理中」とは、ウェハの払い出しが開始
した状態であり、「搬出待ち」とはウェハの払い出しが
完了し、カセットを搬出できる状態である。

【０１１０】払出部の状態は、「搬入待ち」、「回収待
ち」、「回収中」、および、「搬出待ち」のいずれかで
ある。ここで、「搬出待ち」とは、払い出し部にカセッ
トが無い状態、「回収待ち」とは、払出部にカセットは
あるが、ロット本体は無い状態、「回収中」とは、ロッ
ト本体をカセットに回収している状態、「搬出待ち」
は、ロット本体をカセットに回収し、搬送設備４１によ
り回収されるのを待っている状態である。

【０１１１】上記の各状態は、ロット本体と、これに対
応するカセットの存在位置を検出するセンサの出力信号
によって、把握しうる。このような処理は、コントロー
ラが行なうようにしておけば良い。

【０１１２】図１６に、ベイコントローラに格納され
る、予め定義される生産設備Ｙ７１の属性情報を示す。

【０１１３】「設備識別子」は、「６１」であり、「受
入・払出種別」は、「センダレシーバ方式」である。構
成される部位は、ロット受入部６１a、６１bと、ロット
の処理を行なう処理部６１c、６１dと、ロットの払い出
しを行なう払出部６１e、６１fである。

【０１１４】ロット受入部６１a、６１bの「部位区分」
は、「受入部」であり、６１a、６１bにロットを流す
「上流設備種別」は、「搬送設備４１」、「上流部位」
は、「ポート４１a、４１b、４１c、４１d」のいずれか
である。

【０１１５】また、「上流ロット構成要素」は、「カセ
ット＋ロット本体」である。また、該部位からロットを
流す「下流設備種別」は、「生産設備６１」であり、ロ
ット受入部６１a、６１bの「下流部位」は、夫々、「処
理部６１c」、「処理部６１d」であり、「下流ロット構
成要素」は、「ロット本体」である。

【０１１６】次に、処理部６１c、６１dの「上流部位」
は、夫々「ロット受入部６１a」、「ロット受入部６１
b」であり、「上流ロット構成要素」は、ともに「ロッ
ト本体」である。また、「下流設備種別」は、ともに
「６１」であり、処理部６１c、６１dの「下流部位」
は、夫々、「払出部６１e」、「払出部６１f」であり、
「下流ロット構成要素」は、「ロット本体」である。

【０１１７】さらに、払出部６１e、６１fの「上流部
位」は、夫々「処理部６１c」、「処理部６１d」であ
り、「上流ロット構成要素」は、ともに「ロット本体」
である。また、「下流設備種別」は、ともに「４１」で
あり、「下流部位」は、「搬送設備のポート４１a、４
１b、４１c、４１dの」いずれかであり、「下流ロット
構成要素」は、ともに「カセット＋ロット本体」であ
る。

【０１１８】他の生産設備Ｙ６２、６３についても、同
様に実現でき、対応する属性情報も、同様に設定しう
る。

【０１１９】次に、図１７を参照して、生産設備Ｚ７１
の構成部位と、ロットの流れを説明する。

【０１２０】生産設備Ｚ７１は、ロットの受け入れを行
なう２つのロット受入部７１a、７１bと、ロットの処理
を行なう処理部７１c、７１dと、ロットの払い出しを行
なう払出部７１e、７１fとを有して構成される。

【０１２１】各ロットの受入部、払出部には、センサが
設けられており、各受入部、払出部の状態を検知、把握
する。

【０１２２】受入部７１a、７１bには搬送設備４１によ
り、「カセット＋ロット本体」なる構成要素の組み合わ
せからなるロットが搬入され、「カセット＋ロット本
体」は、夫々、処理部７１c、７１dに搬入され、所定の
処理が行なわれる。該処理の完了後、「カセット＋ロッ
ト本体」は、払出部７１e、７１fに送られ、この「カセ
ット＋ロット本体」は、搬送設備４１により、各払出部
７１e、７１fから搬出される。

【０１２３】受入部の状態には、「搬入待ち」、「搬入
中」がある。ここで、「搬入待ち」とは、受入部にロッ
トが無い状態であり、「搬入中」とは、ロットを処理部
に搬入している状態である。また、払出部の状態には、
「搬出中」、「搬出待ち」がある。ここで、「搬出中」
とは、払出部にロットが無い状態であり、「搬出待ち」
とは、処理が完了したロットが払出部にある状態をい
う。

【０１２４】図１８を参照して、ベイコントローラに格
納される、予め定義される生産設備Ｚ７１の属性情報を
説明する。

【０１２５】「設備識別子」は、「７１」であり、「受
入・払出種別」は、「カセット移動方式」である。構成
される部位は、ロット受入部７１a、７１b、ロットの処
理を行なう処理部７１c、７１d、ロットの払い出しを行
なう払出部７１e、７１fである。図１８に示すように、
夫々の記号「７１a、７１b、７１c、７１d、７１e、７
１f」が、対応する部位の「部位識別子」となる。

【０１２６】７１a、７１bの「部位区分」は、「受入
部」であり、７１a、７１bにロットを流す「上流設備種
別」は、「搬送設備４１」、「上流部位」は、「ポート
４１a、４１b、４１c、４１d」のいずれかである。

【０１２７】「上流ロット構成要素」は、「カセット＋
ロット本体」である。また該部位からロットを流す「下
流設備種別」は、「生産設備７１」であり、ロット受入
部７１a、７１bの「下流部位」は、夫々、「処理部７１
c」、「処理部７１d」であり、「下流ロット構成要素」
は、「カセット＋ロット本体」である。

【０１２８】次に、処理部７１c、７１dの「上流設備種
別」は、「７１」であり、「上流部位」は、夫々、「ロ
ット受入部７１a」、「ロット受入部７１b」であり、
「上流ロット構成要素」は、ともに「カセット＋ロット
本体」である。

【０１２９】また、処理部７１c、７１dの「下流設備種
別」は、「７１」であり、「下流部位」は、夫々、「払
出部７１e」、「払出部７１f」であり、「下流ロット構
成要素」は、「カセット＋ロット本体」である。

【０１３０】さらに、払出部７１e、７１fの「上流設備
種別」は、「７１」であり、「上流部位」は、夫々、
「処理部７１c」、「処理部７１d」であり、「上流ロッ
ト構成要素」は、「カセット＋ロット本体」である。ま
た、「下流設備種別」は、ともに「搬送設備４１」であ
り、「下流部位」は、搬送設備の「ポート４１a、４１
b、４１c、４１d」のいずれかであり、「下流ロット構
成要素」は、「カセット＋ロット本体」である。

【０１３１】次に、図１９に示す動作手順例を参照し
て、ベイコントローラ１０１と、各設備、即ち、ストッ
カ３１、搬送設備４１、および、生産設備Ｙ６１と、各
システム、即ち、進度管理システム２０１、製造条件管
理システム２０２、および、作業条件管理システム２０
３と、の間で行なわれる通信によって、ロット構成要素
の所在位置を管理する方法の一例について述べる。説明
のため、図１に示す設備を総て使用するケースを想定し
ていないが、図１に示す設備やシステムを総て使用する
動作も行なえることは言うまでもない。

【０１３２】まず、各ステップの処理内容を概説し、後
に詳細に述べるものとする。

【０１３３】初期状態では、ストッカ３１、搬送設備４
１、生産設備Ｙ６１が起動されているものとする。

【０１３４】まず、ロットが、ストッカ３１に設けられ
ているベイ間搬送対応入庫口より入庫される（ステップ
１）。次に、該ロットは、ストッカに設けられている搬
送設備対応出庫口より出庫される（ステップ２）。

【０１３５】次に、該ロットが、搬送設備４１によっ
て、生産設備Ｙ６１に設けられているロットの受入部に
搬入される（ステップ３）。そして、該ロットの収納媒
体であるカセットが、搬送設備４１により、生産設備Ｙ
６１の受入部から払出部へと搬送される（ステップ
４）。

【０１３６】次に、該ロットが、生産設備Ｙ６１の払出
部から、搬送設備４１により搬出される（ステップ
５）。そして、該ロットは、ストッカ３１に設けられた
搬送設備対応入庫口から、入庫される。

【０１３７】以下、各ステップにおける処理を詳細に説
明する。

【０１３８】図２０に、ステップ１における、通信手順
とロットのトラッキングファイルの内容を示す。なお、
ベイコントローラ１０１がトラッキングファイルを管理
するように構成しておけば良い。

【０１３９】ベイ間搬送対応入庫口経由で、ロットが入
庫されたことが、ストッカ３１からストッカコントロー
ラ３０１を介して、ベイコントローラ１０１に報告され
る（ステップ１ａ）。

【０１４０】ベイコントローラ１０１は、ストッカ３１
から報告されたロットＩＤをキーにして、ロット情報の
問い合わせを、進度管理システム２０１に行ない（ステ
ップ１ｂ）、品種名、ウェハ枚数、仕掛り工程、ベイ内
で処理する工程フローの情報を、ロット情報問い合わせ
に対する応答として、受信する（ステップ１ｃ）。

【０１４１】次に、ベイコントローラ１０１は、製造条
件管理システム２０２に、ロットＩＤ、品種名、工程名
をキーとして、着工可能設備群の情報を問い合わせ（ス
テップ１ｄ）、該問い合わせに対する応答を受信する
（ステップ１ｅ）。

【０１４２】さらに、品種名、工程名、着工可能設備を
キーにして、製造条件管理システム２０２に、レシピＮ
ｏを問い合わせ（ステップ１ｆ）、その応答を受信する
（ステップ１ｇ）。

【０１４３】ストッカの属性情報を参照し、ロットの形
態は、「ケース＋カセット＋ロット本体」と判断し、ロ
ットの所在位置をストッカの保管棚３１eと判定する。

【０１４４】このように、ロットの処理を着工可能な１
以上の設備を示す情報である着工可能設備群情報と、該
着工可能設備情報で示された各設備の固有の処理態様で
ある処理条件情報（レイピＮｏ）とを、製造条件管理シ
ステムに記憶しておき、記憶内容を参照して、各ロット
に対して対応する着工可能設備情報および処理条件情報
を求め、求めた着工可能設備情報および処理条件情報に
基づいた処理が、各設備コントローラの制御により、各
設備において行なれるようにすることが可能になる。

【０１４５】次に、図２１に、ステップ２における、通
信手順とロットのトラッキングファイルの内容を示す。

【０１４６】ベイコントローラ１０１は、当該ロットを
処理するための設備を決定し、ストッカコントローラ３
０１に対し、出庫指示を与える（ステップ２ａ）。

【０１４７】次に、ベイコントローラ１０１は、搬送設
備コントローラ４０１を介して搬送設備４１に、搬送指
示を与える（ステップ２ｂ）。ストッカ３１は、当該ロ
ットを、搬送設備対応出庫口にセットし、ベイコントロ
ーラ１０１は、ストッカコントローラ３０１からその旨
の報告を受ける（ステップ２ｃ）。

【０１４８】ここで、ベイコントローラ１０１は、ロッ
トの所在位置を、ストッカ３１の搬送設備対応入庫口と
する。このときのロット形態は、図１０を参照すると
「ケース＋カセット＋ロット本体」である。

【０１４９】次に、搬送設備４１が、ストッカ３１の搬
送設備対応入庫口から、「カセット＋ロット本体」なる
ロットを取り出した時、ベイコントローラ１０１は、搬
送コントローラ４０１から、その旨を報告される（ステ
ップ２ｄ）。ここで、ベイコントローラ１０１は、スト
ッカ３１の設備属性情報を参照し、「カセット＋ロット
本体」の所在位置を、搬送設備４１のポートとし、「ケ
ース」の所在位置を、搬送設備対応出庫口とする。

【０１５０】さらに、ケースは、ストッカ内の保管棚３
１eに戻され、ベイコントローラ１０１は、ストッカコ
ントローラ３０１からその旨を報告される（ステップ２
ｅ）。ここでベイコントローラ１０１は、ケースの所在
位置を、ストッカの保管棚３１eとする。

【０１５１】次に、図２２に、ステップ３における、通
信手順とロットのトラッキングファイルの内容を示す。

【０１５２】搬送設備４１は、ロットを生産設備Ｙ６１
の受入部に搬送し、ロットを受入部に搬入する。この
時、生産設備Ｙ６１より、受入部の状態が「搬入待ち」
から「処理待ち」に変化した旨を、生産設備Ｙコントロ
ーラ６０１を介して、ベイコントローラ１０１に報告さ
れる（ステップ３ａ）。

【０１５３】次に、ベイコントローラ１０１は、搬送設
備コントローラ４０１から、ロットを搬入した旨を報告
される（ステップ３ｂ）。ここで、図１６に示す属性情
報を参照して、「カセット＋ロット本体」の所在位置を
生産設備Ｙ６１の受入部とする。

【０１５４】そして、ベイコントローラ１０１から生産
設備Ｙ６１にレシピＮｏを報告し、ウェハの払い出しが
開始され、生産設備Ｙコントローラ６０１から、受入部
の状態が「処理待ち」から「処理中」に変化された旨が
報告される（ステップ３ｃ）。

【０１５５】さらに、ウェハの払い出しが完了した時、
生産設備Ｙコントローラ６０１から、受入部の状態が
「処理中」から「搬出待ち」に変化された旨が報告され
る（ステップ３ｄ）。

【０１５６】ここで、ベイコントローラ１０１は、生産
設備Ｙ６１の属性情報を参照し、カセットの所在位置
は、生産設備Ｙ６１の受入部であり、また、ロット本体
の所在位置を生産設備Ｙ６１の処理部であると判断す
る。

【０１５７】次に、図２３に、ステップ４における、通
信手順とロットのトラッキングファイルの内容を示す。

【０１５８】ベイコントローラ１０１は、生産設備Ｙ６
１の属性情報を参照して、ロット本体は、払出部に移動
するとを判断し、搬送コントローラ４０１に対し、受入
部上のカセットの搬送指示を与える（ステップ４ａ）。

【０１５９】次に、搬送設備４１が、生産設備Ｙ６１上
のカセットを取り出した時、ベイコントローラ１０１
は、生産設備Ｙコントローラ６０１から、受入部の状態
が「搬出待ち」から「搬入待ち」に変化した旨を報告さ
れる（ステップ４ｂ）。

【０１６０】また、ベイコントローラ１０１は、搬送コ
ントローラ４０１から、カセットの取り出しを完了した
旨を報告される（ステップ４ｃ）。ここで、生産設備Ｙ
の属性情報を参照して、ベイコントローラ１０１は、カ
セットの所在位置を搬送設備４１のポートとする。

【０１６１】搬送設備４１が、カセットを生産設備Ｙ４
１の払出部に搬送し、カセットを投入した時、ベイコン
トローラ１０１は、生産設備Ｙコントローラ６０１か
ら、払出部の状態が「搬入待ち」から「回収中」に変化
した旨を報告される（ステップ４ｄ）。

【０１６２】また、ベイコントローラ１０１は、搬送コ
ントローラ４０１から、カセットの搬入を完了した旨を
報告される（ステップ４ｅ）。

【０１６３】次に、ベイコントローラ１０１は、生産設
備Ｙ６１の払出部において、カセット内にウェハを回収
することを終了したことを報告される（ステップ４
ｆ）。ここで、ベイコントローラ１０１は、生産設備Ｙ
６１の属性情報を参照して、「カセット＋ロット本体」
の所在位置を、生産設備Ｙ６１の払出部とする。

【０１６４】図２４に、ステップ５における、通信手順
とロットのトラッキングファイルの内容を示す。

【０１６５】ベイコントローラ１０１は、搬送コントロ
ーラ４０１に対して、生産設備Ｙ６１上のロットを搬送
することを指示する（ステップ５ａ）。

【０１６６】次に、搬送設備４１は、生産設備Ｙ６１の
払出部からロットを取り出した時、ベイコントローラ１
０１は、生産設備Ｙコントローラ６０１から、払出部の
状態が「搬出待ち」から「搬入待ち」に変化した旨を報
告される（ステップ５ｂ）。

【０１６７】さらに、搬送コントローラ４０１から、ロ
ットの取り出しが完了した旨を報告される（ステップ５
ｃ）。ここで、ベイコントローラ１０１は、生産設備Ｙ
６１に対する属性情報を参照して、「カセット＋ロット
本体」の所在位置を、搬送設備のポートとする。

【０１６８】図２５に、ステップ６における、通信手順
とロットのトラッキングファイルの内容を示す。

【０１６９】ベイコントローラ１０１は、ストッカコン
トローラ３０１に対して、当該ロットのケースの入庫指
令を与える（ステップ６ａ）。ストッカ３１が、ケース
を搬送設備対応入庫口にセットし、ストッカコントロー
ラ３０１からその旨を報告される（ステップ６ｂ）。こ
こで、ベイコントローラ１０１は、ストッカ３１の属性
情報を参照して、ケースの所在位置を、ストッカの搬送
設備対応入庫口とする。さらに、搬送設備４１が、スト
ッカが存在する場所まで移動し、「カセット＋ロット本
体」をケースに収納し、ベイコントローラ１０１は、搬
送コントローラ４０１からその旨を報告される（ステッ
プ６ｃ）。ここで、ベイコントローラ１０１は、ストッ
カ３１の属性情報を参照して、「ケース＋カセット＋ロ
ット本体」の所在位置を、ストッカ３１の搬送設備対応
口とする。

【０１７０】ストッカ３１は、その後、「ケース＋カセ
ット＋ロット本体」を保管棚３１eに搬送し、ストッカ
コントローラ３０１から、ベイコントローラ１０１にそ
の旨を報告する（ステップ６ｄ）。ここで、ベイコント
ローラ１０１は、「ケース＋カセット＋ロット本体」の
所在位置を、ストッカ３１の属性情報を参照して、保管
棚３１eとする。

【０１７１】次に、生産設備Ｘ５１を対象とした、先行
処理の一例について示す。

【０１７２】ベイコントローラ１０１は、作業条件管理
システム２０３から、図５に示すような、先行検査の頻
度情報を入手する。ベイコントローラ１０１は、該当す
る設備での該当する工程の着工ロット数（処理したロッ
ト数）を管理し、頻度情報を参照して、所定の検査時期
が到来した時（即ち、着工ロット数と頻度情報とが一致
したとき）に、先行対象ロットを選定し、ベイコントロ
ーラ１０１から、生産設備Ｘ５１の受入部（５１ａ）の
ロットの処理開始を指示する時に、先行処理の指示を出
す。

【０１７３】そして、先行検査を指示した後、着工ロッ
ト数をクリアしておく。これを受けた生産設備Ｘ５１で
は、当該ロットの１枚のウェハを処理し、生産設備の先
行受入部（図１３の５１ｄ）で、先行カセットにウェハ
が収納される。

【０１７４】ベイコントローラ１０１は、生産設備Ｘ群
コントローラ５００から、生産設備Ｘ５１の先行受入部
（５１ｄ）の状態が、「搬出待ち」になった旨を報告さ
れ、生産設備Ｘ５１の属性情報を参照して、「先行カセ
ット＋先行ウェハ」が、先行受入部にセットされたこと
を認識する。この時、ロット本体の２４枚（２４枚は、
１例である）の所在位置は、受入部５１ａであり、「先
行カセット＋先行ウェハ」の所在位置を、先行受入部５
１ｄと判断する。そして、「先行ウェハ＋先行カセッ
ト」を検査設備９１に、搬送設備４１を使用して搬送す
る。検査終了後、搬送設備４１を使用して、「先行カセ
ット＋先行ウェハ」を生産設備Ｘ５１の先行受入部５１
ｄにセットする。

【０１７５】ここで、ベイコントローラ１０１は、属性
情報を参照して、「先行カセット＋先行ウェハ」の所在
位置を払出部（５１ｄ）とする。生産設備Ｘ５１は、残
りのウェハの処理を行ない、さらに、先行ウェハは、元
のロット本体に戻されて、ロット受入部の状態が「搬出
待ち」になった時、ベイコントローラ１０１はその旨を
報告され、「カセット＋ロット本体」の所在位置を受入
部５１ａとする。

【０１７６】このように、ベイコントローラ１０１は、
前記点検頻度の情報を参照して、いずれかの設備での処
理ロット数が、点検を行なうための所定ロット数になっ
たと判断した場合、当該設備へ投入される収納体を、検
査設備に搬送するように、対応する設備コントローラに
制御信号に供給し、所定の検査を実行することが可能に
なる。

【０１７７】さて、半導体製造ラインでは、プロセスの
制約上、工程によっては、特殊なカセットを使用する必
要がある。ここでは、カセットの交換を自動で行なう一
例について述べる。

【０１７８】ベイコントローラ１０１は、作業条件管理
システム２０３から、図６に示すような工程別の、処理
前のカセット種別、処理後のカセット種別の情報を取得
する。

【０１７９】ベイコントローラ１０１における、ロット
の所在位置の管理は、カセットの種別情報を含めて管理
する。

【０１８０】カセットの交換方法としては、カセット交
換設備Ｔ８１上での交換と、センダレシーバ方式のよう
に設備上での交換が考えられる。

【０１８１】図２６に、カセット交換設備Ｔ８１の構成
例を示す。カセット交換設備Ｔ８１は、各種のカセット
を保管する保管棚２６ａ、ウェハを、あるカセットから
他のカセットに入れ替える移載機２６ｂ、移載するため
にカセットを置く移載棚２６ｃを有して構成され、保管
棚２６ａと移載棚２６ｃ間のカセットの移動を行なうロ
ボット２６ｄが配置されている。

【０１８２】ロボット２６ｄは、予め定めた動作を行な
うように、その移動動作が制御プログラムによって制御
されている。

【０１８３】ベイコントローラ１０１は、カセット交換
設備Ｔ８１上でのカセット交換は、前工程の処理後のカ
セット種別（Ａ）と、現工程のカセット種別（Ｂ）とが
異なる場合に実行するものとする。

【０１８４】この場合、「Ａカセット＋ロット本体」
を、カセット交換設備Ｔ８１に搬送設備４１を使用して
搬入し、カセット交換設備コントローラ８０１に対し
て、ベイコントローラ１０１は、Ｂカセットへの交換指
示を与え、カセット交換設備Ｔ８１は、交換すべきカセ
ットＢを、保管棚２６ａから移載棚２６ｃに移動させ
る。そして、搬送設備４１から搬入された、「Ａカセッ
ト＋ロット本体」のロット本体を、保管棚２６ａから搬
入された、Ｂカセットに、移載機２６ｂを駆動して交換
する。交換が終了すると、カセット交換設備Ｔ８１から
ベイコントローラ１０１にその旨が報告され、ベイコン
トローラ１０１は、「Ａカセット」と、「Ｂカセット＋
ロット本体」の所在位置を、夫々管理する。

【０１８５】また、生産設備Ｙ６１のような、センダレ
シーバ方式を採用する設備での交換は、現工程の、処理
前のカセット種別（Ｂ）と、処理後のカセット種別
（Ｃ）とが異なる場合に実行するものとする。ベイコン
トローラ１０１は、生産設備Ｙ６１の受入部で、ウェハ
の払い出しが終了した後、「Ｂカセット」は、ストッカ
３１内にある「ケース」に収納し、処理が完了したロッ
ト本体を回収する「カセット（Ｃ）」を、カセット交換
設備Ｔ８１から。搬送設備４１を使用して取り出し、続
いて、払出部に投入して、カセットの入れ替えを実行す
る。ここで、ベイコントローラ１０１は、「Ｃカセット
＋ロット本体」の所在位置を生産設備Ｙ６１の払出部と
認識する。

【０１８６】このように、特殊なカセットを使用して
も、その交換は容易に行なえる。

【０１８７】

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、収納形態の変化するロットを、各種設備に投入して
も、ロットや収納媒体の存在位置を、正確に把握するこ
と等が可能なシステムを提供する。

【０１８８】その結果、製造ラインにおいて、処理対象
となるロットは、仕掛かり設備の特性に応じて、「ケー
ス、カセット、ロット」の組み合わせが変化しても、そ
の形態変化を監視でき、各構成要素の所在位置や状態
を、リアルタイムで把握することができる。

【０１８９】例えば、ある設備では、「ケース＋カセッ
ト＋ロット」の組み合わせの収納体であったが、他の設
備へ搬送されたときには、「カセット＋ロット」の組み
合わせの収納体に変化するような製造ラインにおいて
も、各収納体の構成要素の所在位置や状態を、リアルタ
イムに把握することが可能となる。各構成要素の所在位
置や状態を正確に把握することによって、各構成要素
を、予め立案しておいた生産計画に従って自動搬送する
ことも可能となる。

【０１９０】また、通常カセットから専用カセットへの
交換、専用カセットから通常カセットへの交換、さら
に、先行検査等において、生産設備で一部処理したウエ
ハを先行検査用カセットに収納し、該カセットを検査装
置に搬送し、検査後、生産設備に搬送し、そこで、一部
ウエハを元のカセットに戻す等の工程を有する製造ライ
ンにおいても、各構成要素の所在位置や状態をリアルタ
イムに把握することにより、実現可能となる。

【０１９１】また、ロット受入部、ロット処理部、ロッ
ト払出部等の設備の構成部位毎に、ロットの収納態様が
多様に変化する設備を有して製造ラインが構成される場
合であっても、各設備を制御する設備コントローラを、
一元制御可能な統括コントローラを設けた構成にしたた
め、制御方式の変更が生じた場合であっても、統括コン
トローラ対する制御ソフトウエアを変更するのみで、個
々の設備コントローラに対する制御ソフトウエアを各々
変更する必要がなくなり、開発工数を低減できる。

【０１９２】また、設備の構成部位毎に、ロットの収納
態様が多様に変化する設備を有して製造ラインが構成さ
れておるため、ロットや収納媒体の存在位置を、一元的
に管理可能な手段が存在せず、生産の進捗状況の把握
や、生産計画立案を行なうことは容易ではない、等の問
題点が存在していた。

【０１９３】また、使用する設備を推奨する手段を提供
することによって、効率の良い生産を行なうことが可能
になった。

【０１９４】さらにまた、各設備の検査を行なう手段を
設けたことにより、製品の品質管理を適切に行なうこと
ができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるシステムの構成図である。

【図２】半導体製造ラインのレイアウトの説明図であ
る。

【図３】ロット情報の説明図である。

【図４】製造条件情報の説明図である。

【図５】設備単位の検査頻度情報の説明図である。

【図６】工程単位の処理前、後のカセット種別情報の説
明図である。

【図７】設備の属性情報の説明図である。

【図８】受入、払出種別の説明図である。

【図９】スタッカ内でのロットの流れの説明図である。

【図１０】スタッカの属性情報の説明図である。

【図１１】搬送設備の構成部位と、該設備内でのロット
の流れの説明図である。

【図１２】搬送設備の属性情報の説明図である。

【図１３】生産設備Ｘの構成部位と、該設備内でのロッ
トの流れの説明図である。

【図１４】生産設備Ｘの属性情報の説明図である。

【図１５】生産設備Ｙの構成部位と、該設備内でのロッ
トの流れの説明図である。

【図１６】生産設備Ｙの属性情報の説明図である。

【図１７】生産設備Ｚの構成部位と、該設備内でのロッ
トの流れの説明図である。

【図１８】生産設備Ｚの属性情報の説明図である。

【図１９】システムの動作手順例を示すフローチャート
である。

【図２０】通信手順とトラッキングファイルの説明図で
ある。

【図２１】通信手順とトラッキングファイルの説明図で
ある。

【図２２】通信手順とトラッキングファイルの説明図で
ある。

【図２３】通信手順とトラッキングファイルの説明図で
ある。

【図２４】通信手順とトラッキングファイルの説明図で
ある。

【図２５】通信手順とトラッキングファイルの説明図で
ある。

【図２６】カセット交換設備の構成図である。

【符号の説明】

１０…ベイ、１１…ベイ、１２…ベイ、１３…ベイ、１
４…ベイ、１５…ベイ、１６…ベイ、１７…ベイ、１８
…ベイ、１９…ベイ、２０…ベイ、２１…ベイ、３１…
ストッカ、４１…搬送設備、５１…生産設備Ｘ、５２…
生産設備Ｘ、５３…生産設備Ｘ、６１…生産設備Ｙ、６
２…生産設備Ｙ、６３…生産設備Ｙ、７１…生産設備
Ｚ、７２…生産設備Ｚ、８１…交換機Ｔ、９１…検査設
備Ｐ、１０１…ベイコントローラ、２０１…進度管理シ
ステム、２０２…製造条件管理システム、２０３…作業
条件管理システム、３０１…ストッカコントローラ、４
０１…搬送コントローラ、５００…生産設備Ｘ群コント
ローラ、６０１…生産設備Ｙコントローラ、６０２…生
産設備Ｙコントローラ、６０３…生産設備Ｙコントロー
ラ、７０１……生産設備Ｚコントローラ、７０２…生産
設備Ｚコントローラ、８０１…カセット交換コントロー
ラ、９０１…検査設備コントローラ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数種類の設備を有して構成される生産ラ
   インに、ロットのみ、または、少なくとも１種類の収納
   媒体を用いて所定の収納態様で収納したロットを投入し
   て、完成品を生産する生産制御装置であって、 前記ロットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体を、
   ロットの構成要素とし、該構成要素の組合せからなる収
   納体（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で搬送
   させることを想定し、 各設備の制御を行う設備コントローラと、各設備コント
   ローラを制御する統括コントローラとを備え、さらに、 各設備は、収納体を受け付ける入力手段と、収納体の構
   成要素であるロットに対し、設備固有の処理を行なう処
   理手段と、収納体を次設備に送出する出力手段と、前記
   入力手段および出力手段が、収納体を受け付け、送出す
   ることにより変化する、設備の状態変化の情報を、対応
   する設備コントローラに通知する通知手段とを設け、 前記統括コントローラは、各設備毎に、 各設備が設けた入力手段、処理手段、および、出力手段
   の、それぞれの手段に対して、対象とする収納体の構成
   要素の種類、および、収納体の搬送方向の上流側、下流
   側に位置する、設備、入力手段、処理手段、および、出
   力手段のいずれかを、予め定めて記憶するための記憶手
   段と、各収納体の各構成要素の存在位置を検出する検出
   手段とを備え、 該検出手段は、前記通知手段から通知された情報、およ
   び、前記記憶手段に記憶された、前記通知手段に対応す
   る、設備の情報を参照して、前記生産ラインに投入され
   た収納体を構成する各構成要素の、前記生産ラインにお
   ける存在位置を把握し、把握した結果を出力する、生産
   制御装置。
2. 【請求項２】複数種類の設備を有して構成される生産ラ
   インに、ロットのみ、または、少なくとも１種類の収納
   媒体を用いて所定の収納態様で収納したロットを投入し
   て、完成品を生産する方法であって、 前記ロットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体を、
   ロットの構成要素とし、該構成要素の組合せからなる収
   納体（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で搬送
   させることを想定し、 各設備は、収納体を受け付けると、収納体の構成要素で
   あるロットに対し、設備固有の処理を行い、処理後に収
   納体を次設備に送出するとともに、収納体を受け付け、
   送出することにより変化する、設備の状態変化の情報を
   通知し、 各設備毎に、対象とする収納体の構成要素の種類、およ
   び、収納体の搬送方向の上流側、下流側に位置する、生
   産ライン上の位置を、予め定めて記憶しておき、 さらに、前記通知した情報、および、前記記憶しておい
   た、前記通知に対応する、設備の情報を参照して、前記
   生産ラインに投入された収納体を構成する各構成要素
   の、前記生産ラインにおける存在位置を把握し、把握し
   た結果を出力する、生産制御方法。
3. 【請求項３】複数種類の設備を有して構成される生産ラ
   インに、ロットのみ、または、少なくとも１種類の収納
   媒体を用いて所定の収納態様で収納したロットを投入し
   て、完成品を生産する生産制御装置であって、 前記ロットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体を、
   ロットの構成要素とし、該構成要素の組合せからなる収
   納体（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で搬送
   させることを想定し、 各設備の制御を行う設備コントローラと、各設備コント
   ローラを制御する統括コントローラと、生産を管理する
   指示を与える管理装置とを備え、さらに、 前記管理装置は、投入された収納体の構成要素であるロ
   ット毎に定められた複数の処理工程に対して、ロットの
   処理を着工可能な１以上の設備を示す情報である着工可
   能設備情報と、該着工可能設備情報で示された各設備の
   固有の処理態様である処理条件情報とを、少なくとも記
   憶する記憶手段を設け、 前記統括コントローラは、各ロットに対し、対応する着
   工可能設備情報および処理条件情報を、前記記憶手段を
   参照して求め、求めた着工可能設備情報および処理条件
   情報に基づいて、対応する設備コントローラに制御信号
   を供給する処理を行なう、生産制御装置。
4. 【請求項４】複数種類の設備を有して構成される生産ラ
   インに、ロットのみ、または、少なくとも１種類の収納
   媒体を用いて所定の収納態様で収納したロットを投入し
   て、完成品を生産する方法であって、 前記ロットおよび前記少なくとも１種類の収納媒体を、
   ロットの構成要素とし、該構成要素の組合せからなる収
   納体（ロットのみの場合を含む）を生産ライン上で搬送
   させることを想定し、 投入された収納体の構成要素であるロット毎に定められ
   た複数の処理工程に対して、ロットの処理を着工可能な
   １以上の設備を示す情報である着工可能設備情報と、該
   着工可能設備情報で示された各設備の固有の処理態様で
   ある処理条件情報とを少なくとも記憶しておき、 各ロットに対し、対応する着工可能設備情報および処理
   条件情報を求め、求めた着工可能設備情報および処理条
   件情報に基づいて設備を制御する、生産制御方法。
5. 【請求項５】請求項３において、設備による製造品質を
   検査する処理を行なう検査設備を備え、 前記記憶手段は、さらに、各設備に対して、所定ロット
   数の処理後に点検を行なう旨の点検情報を記憶してお
   き、 前記統括コントローラは、前記点検情報を参照して、い
   ずれかの設備での処理ロット数が、点検を行なうための
   所定ロット数になったと判断した場合、当該設備へ投入
   される収納体を、前記検査設備に搬送するように、対応
   する設備コントローラに制御信号に供給する処理を行な
   う、生産制御装置。
6. 【請求項６】請求項４において、さらに、各設備に対し
   て、所定ロット数の処理後に点検を行なう旨の点検情報
   を記憶しておき、 前記点検情報を参照して、いずれかの設備での処理ロッ
   ト数が、点検を行なうための所定ロット数になったと判
   断した場合、当該設備へ投入される収納体を、設備によ
   る製造品質を検査する処理を行なう、生産制御方法。