JPH09221383A - 単結晶引き上げ用黒鉛部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単結晶引き上げ後の冷却時に黒鉛ルツボと石
英ルツボの収縮量の差に起因して、黒鉛ルツボの半径方
向に引っ張り応力が作用するが、従来の単結晶引き上げ
用黒鉛部品においては、使用回数が増加するに従って嵌
合面の一部がＳｉＣ化するため、分割形態の黒鉛ルツボ
においても開口しにくくなり、くびれ部や底部中央の内
面に引っ張り応力が集中して破損が発生し易かった。 【解決手段】 単結晶引き上げ用黒鉛部品１１を構成す
る黒鉛ルツボ１２の底面１７の中央部１７ａと底面１７
の外周部１７ｂとを除く部分にくぼみ１４を形成し、か
つ底部外周部近傍に面取りが施されたくびれ部１６を形
成し、引っ張り応力がくびれ部１６や底部中央の内面１
９に集中するのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は単結晶引き上げ用黒
鉛部品に関し、より詳細には、チョクラルスキー法（以
下、「ＣＺ法」と記す）等によりシリコン等の単結晶を
引き上げる際に用いられる単結晶引き上げ用黒鉛部品に
関する。

【０００２】

【従来の技術】結晶成長法には種々の方法があるが、そ
の一つとして、例えばＣＺ法に代表される単結晶引き上
げ法が挙げられる。

【０００３】図５は、ＣＺ法に用いられる単結晶引き上
げ装置を模式的に示した断面図であり、図中、５１はチ
ャンバ６３内に配置された単結晶引き上げ用黒鉛部品を
示している。

【０００４】単結晶引き上げ用黒鉛部品５１は有底円筒
形状の黒鉛ルツボ５２とこの黒鉛ルツボ５２の底部に嵌
合された黒鉛受け台５３とにより構成されており、単結
晶引き上げ用黒鉛部品５１は所定の速度で回転する支持
軸５５に支持されている。黒鉛ルツボ５２の内側には石
英ルツボ５４が嵌合されており、黒鉛ルツボ５２の外側
には抵抗加熱式のヒータ５６が、さらにその外側には黒
鉛製の保温筒５７が同心円状に配設されており、石英ル
ツボ５４の内部には所定量の結晶用原料をヒータ５６に
より溶融させた溶融液５８が充填されるようになってい
る。黒鉛ルツボ５４の中心軸上には、図中矢印方向に所
定速度で回転する引き上げ棒又はワイヤーからなる引き
上げ軸５９が吊設されており、この引き上げ軸５９の先
端にシードチャック６０を介して種結晶６１が取り付け
られるようになっている。

【０００５】単結晶６２を引き上げる際には、引き上げ
軸５９の先に取り付けられた種結晶６１を溶融液５８の
表面に接触させ、支持軸５５と同一軸心で逆方向あるい
は同方向に所定の速度で回転させながら引き上げ軸５９
を引き上げることにより、溶融液５８を凝固させて単結
晶６２を成長させる。

【０００６】上記単結晶引き上げ装置において、黒鉛ル
ツボ５２内に嵌合された石英ルツボ５４は、単結晶引き
上げ中に高温に加熱されるため軟化し、黒鉛ルツボ５２
と密着する。黒鉛の熱膨張係数は石英の約１０倍である
ため、冷却時における半径方向の収縮は石英ルツボ５４
よりも黒鉛ルツボ５２の方が大きい。この両者の収縮量
の差に起因し、冷却時に黒鉛ルツボ５２は収縮量の少な
い石英ルツボ５４より内圧を受け、黒鉛ルツボ５２に引
っ張り応力が作用する。

【０００７】近年、高収率で単結晶６２を得るために単
結晶６２の直径は大きくなり、それに伴い石英ルツボ５
４や黒鉛ルツボ５２の大型化が進んでいる。この黒鉛ル
ツボ５２等の大型化により、単結晶引き上げ後の冷却時
における石英ルツボ５４と黒鉛ルツボ５２との半径方向
の収縮量の差が大きくなり、黒鉛ルツボ５２に作用する
引っ張り応力が増大し、変形、割れ又は欠損等（以下、
破損とも記す）が発生し易くなり、同一の黒鉛ルツボ５
２を繰り返して使用し得る回数が減少してきている。

【０００８】上記問題に対処するため、最近では縦割り
に２分割あるいはそれ以上に分割された黒鉛ルツボが使
用されている。

【０００９】図６（ａ）は、縦割りに２分割された黒鉛
ルツボを備えた単結晶引き上げ用黒鉛部品等を模式的に
示した平面図であり、（ｂ）はその断面図である。

【００１０】この単結晶引き上げ用黒鉛部品７１は、底
部外周近傍にくびれ部７６が形成され、かつ分割面７３
で２分割された黒鉛ルツボ７２（７２ａ、７２ｂ）と黒
鉛受け台５３とから構成されており、黒鉛ルツボ７２の
内側には石英ルツボ５４が嵌合される。くびれ部７６を
含む黒鉛ルツボ７２の底面７５は、支持軸５５で支持さ
れた黒鉛受け台５３の上面５３ａにしっかりと密着する
ように嵌合している。このように黒鉛ルツボ７２はしっ
かりと黒鉛受け台５３に密着した状態で嵌合しいるの
で、通常分割された黒鉛ルツボ７２ａ、７２ｂの分割面
７３は密接し、石英ルツボ５４をしっかりと保持できる
ようになっている。

【００１１】単結晶を引き上げた後に冷却されると、図
６に示した単結晶引き上げ用黒鉛部品７１にも、図５に
示した単結晶引き上げ用黒鉛部品５１の場合と同様、石
英ルツボ５４と黒鉛ルツボ７２との収縮量の差に起因し
た引っ張り応力が黒鉛ルツボ７２の半径方向に作用す
る。しかし、黒鉛ルツボ７２は予め２つの黒鉛ルツボ７
２ａ、７２ｂに分割されているために開口し、発生した
引っ張り応力は開放される。

【００１２】図７（ａ）は、単結晶引き上げ後の冷却時
に開口した黒鉛ルツボ及びその周辺の部材を模式的に示
した平面図であり、（ｂ）はその断面図である。図７に
示したように、黒鉛ルツボ７２に作用する引っ張り応力
に起因し、黒鉛ルツボ７２は黒鉛受け台５３の上面５３
ａの一部を中心にして図中矢印Ａで示した方向に回転し
ながら開口し、底面７５の中央部分が浮き上がり、石英
ルツボ５４を持ち上げた状態で静止する。

【００１３】上述したように黒鉛ルツボ７２を分割して
おくことにより、冷却時に黒鉛ルツボ７２は分割面７３
で開口し、その破損率は減少するが、分割された黒鉛ル
ツボ７２を用いてもなお以下のような問題が残る。すな
わち、単結晶６２（図５）を引き上げる際、溶融液５８
及び石英ルツボ５４は高温に加熱されるため、溶融液５
８と石英ルツボ５４とが接触面で反応してＳｉＯが発生
する。このＳｉＯは飛散して黒鉛ルツボ７２と反応し、
黒鉛はＳｉＣに変化する。黒鉛がＳｉＣに変化すること
により、黒鉛ルツボ７２のＳｉＣに変化した部分は体積
が膨張する。ＳｉＯは黒鉛ルツボ７２の外表面のみなら
ず、黒鉛受け台５３の外表面や上面５３ａ、特にくびれ
部７６との合せ面にも侵入し、これらの部分は主として
表面がＳｉＣへ変化する。黒鉛ルツボ７２の使用回数が
増加するに従い、ＳｉＣに変化する領域が拡大するとと
もに、体積膨張も増加する。このため、黒鉛ルツボ７２
と黒鉛受け台５３との密着度が次第に強くなり、黒鉛受
け台５３の黒鉛ルツボ７２に対する拘束力も強くなる。
またＳｉＣに変化した黒鉛受け台５３の上面５３ａ及び
黒鉛ルツボ７２の底面７５の相互摩擦係数も増大し、す
べりにくくなる。従って、冷却時に作用する引っ張り応
力による黒鉛ルツボ７２の回転運動は阻害され、分割面
７３が開口しにくくなり、上記引っ張り応力の開放も阻
害されることとなる。

【００１４】そのため、黒鉛ルツボ７２に作用する引っ
張り応力は依然としてかなり残存することになり、この
残存した引っ張り応力は、黒鉛ルツボ７２のくびれ部７
６、及び黒鉛ルツボ７２の底部中央の内面７９（石英ル
ツボ５４との接触面）に集中する。このため、図８に示
したように、黒鉛ルツボ７２のくびれ部７６から円周方
向に伸展する割れ７７、及び黒鉛ルツボ７２の底部中央
の内面７９から底面７５に至る欠け７８が発生し易くな
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】このうち、黒鉛ルツボ
７２の底部中央の内面７９から底面７５に至る欠け７８
を防止するものとして、本発明者による黒鉛ルツボ（単
結晶引き上げ用黒鉛部品）が先に出願されている（特願
平６−１２７８０６号））。

【００１６】図９は前記公報に開示された単結晶引き上
げ用黒鉛部品を模式的に示した断面図である。単結晶引
き上げ用黒鉛部品８１を構成する黒鉛ルツボ８２の底部
中央に突出部８４、底部外周にくびれ部８６が形成され
ている。従って、黒鉛ルツボ８２を黒鉛受け台５３に嵌
合させると、黒鉛ルツボ８２の突出部８４の底面８８、
及びくびれ部８６の一部のみが黒鉛受け台５３の上面５
３ａと接触し、突出部８４の周囲に空隙８５が形成され
る。

【００１７】上記構成の単結晶引き上げ用黒鉛部品８１
を用いることにより、黒鉛ルツボ８２の底部中央の内面
８９から底面８８に至る欠け（図８に示した欠け７８に
相当）が減少し、黒鉛ルツボ８２の破損の割合が減少す
るが、依然として下記の課題が残される。

【００１８】すなわち、図９に示した構成の黒鉛ルツボ
８２においては、黒鉛ルツボ８２の開口の際、くびれ部
８６への応力集中が生じ、黒鉛ルツボ８２のくびれ部８
６から円周方向に伸展する割れ（図８に示した割れ７７
に相当）が発生し易いという課題が残される。

【００１９】本発明は上記課題に鑑みなされたものであ
り、単結晶の引き上げを繰り返すことにより黒鉛ルツボ
の底部と黒鉛受け台の合せ面付近がＳｉＣに変化した場
合等においても、単結晶引き上げ後の冷却時において黒
鉛ルツボのくびれ部からの割れの発生を防止することが
できる単結晶引き上げ用黒鉛部品を提供することを目的
としている。

【００２０】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成するために本発明に係る単結晶引き上げ用黒鉛部品
（１）は、縦に分割された黒鉛ルツボと該黒鉛ルツボの
底部に嵌合された黒鉛受け台とにより構成される単結晶
引き上げ用黒鉛部品において、前記黒鉛ルツボ底面の中
央部と該底面の外周部を除く部分にくぼみが形成されて
いることを特徴としている。

【００２１】上述したように、単結晶引き上げ後の冷却
時に、黒鉛ルツボの開口が阻害されることにより作用す
る引っ張り応力は、黒鉛ルツボのくびれ部（石英ルツボ
を実質的に支持するための嵌合部分）及び底部中央の内
面に集中する。しかし、黒鉛ルツボの底部においても、
前記くびれ部等及び底部中央の内面以外の部分には引っ
張り応力の集中は生ぜず、引っ張り応力の大きさは黒鉛
の強度よりもかなり小さくなる。従って、前記黒鉛ルツ
ボ底面の中央部と該底面の外周部を除く部分にくぼみを
形成してその厚みを減少させると、冷却時の変形がこの
部分で増加し、その結果、上記した破損の発生しやすい
部分に作用する引っ張り応力を減少させることができ
る。

【００２２】すなわち単結晶引き上げ用黒鉛部品（１）
によれば、前記黒鉛ルツボ底面の中央部と該底面の外周
部を除く部分にくぼみを形成することにより、破損の発
生し易い底部中央の内面等に作用する引っ張り応力を、
応力集中の小さい部分で吸収させることができ、黒鉛ル
ツボの破損を防止することができる。

【００２３】また本発明に係る単結晶引き上げ用黒鉛部
品（２）は、上記単結晶引き上げ用黒鉛部品（１）にお
いて、黒鉛ルツボの底部外周近傍にくびれ部が形成され
ていることを特徴としている。

【００２４】上記単結晶引き上げ用黒鉛部品（２）によ
れば、破損の発生し易いくびれ部が形成されていても、
該くびれ部に作用する引っ張り応力を、前記くぼみで吸
収させることができ、黒鉛ルツボの破損を防止すること
ができる。

【００２５】また本発明に係る単結晶引き上げ用黒鉛部
品（３）は、上記単結晶引き上げ用黒鉛部品（２）にお
いて、黒鉛ルツボのくびれ部に半径５ｍｍ以上の面取り
が施されていることを特徴としている。

【００２６】上記単結晶引き上げ用黒鉛部品（３）によ
れば、前記くびれ部に半径の大きな面取りが施されてい
るので、黒鉛ルツボの半径方向に作用する引っ張り応力
がくびれ部の狭い範囲に集中するのを防止するととも
に、黒鉛ルツボの前記くびれ部付近における厚みの減少
を抑制し、前記くびれ部に作用する引っ張り応力を軽減
して、黒鉛ルツボの破損をより効果的に防止することが
できる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る単結晶引き上
げ用黒鉛部品の実施の形態を図面に基づいて説明する。

【００２８】図１（ａ）は実施の形態に係る単結晶引き
上げ用黒鉛部品を模式的に示した平面図であり、（ｂ）
はその断面図である。

【００２９】この単結晶引き上げ用黒鉛部品１１は、分
割面１３で縦に２分割された黒鉛ルツボ１２（１２ａ、
１２ｂ）とこの黒鉛ルツボ１２の底部に嵌合された黒鉛
受け台１８とにより構成されている。この黒鉛ルツボ１
２の底部外周近傍には、黒鉛受け台１８に嵌合してその
内部に挿入される石英ルツボ５４及び溶融液５８（図
５）をしっかり支持するため、くびれ部１６が形成され
ている。また、底面１７の中央部１７ａとくびれ部１６
より内側に位置する外周部１７ｂとを除く部分にくぼみ
１４が形成されており、このくぼみ１４により単結晶引
き上げ後の冷却時に、石英ルツボ５４（図５）と黒鉛ル
ツボ１２との熱膨張率の差に起因して発生する引っ張り
応力を分散させ、黒鉛ルツボ１２のくびれ部１６や内面
１９の中央部に上記引っ張り応力が集中するのを防止す
る。以下、上記した場合に発生する引っ張り応力を単に
上記引っ張り応力ということにする。また、以下におい
て、くびれ部１６やくぼみ１４の好ましい形状や寸法等
について説明するが、この場合内径が約３１０ｍｍの黒
鉛ルツボ１２を基準としている。従って、この黒鉛ルツ
ボ１２の寸法の変化により、前記部分の寸法もそれに応
じて変化させることになる。

【００３０】くぼみ１４は、黒鉛ルツボ１２の底部中央
の内面１９における破損を防止するという観点から、黒
鉛ルツボ１２底面の中心からの距離（ｄ₁ ）が２０ｍｍ
以上の部分に形成するのが好ましく、４０ｍｍ以上の部
分に形成するのがより好ましい。またくぼみ１４は、く
びれ部１６での破損を防止するという観点から、黒鉛ル
ツボ１２の底面外周（くびれ部１６の下端）からの距離
（ｄ₂ ）が２０ｍｍ以上の部分に形成するのが好まし
く、４０ｍｍ以上の部分に形成するのがより好ましい。
くぼみ１４の深さ（ｔ）は深いほど、上記引っ張り応力
の集中を抑制する効果が大きくなるので好ましい。しか
し、くぼみ１４の深さ（ｔ₁ ）が深すぎるとくぼみ１４
が形成された部分から割れが発生する可能性が生じる。
このため、くぼみ１４の深さ（ｔ₁ ）は黒鉛ルツボ１２
の底部の厚さの最も薄い部分（通常は黒鉛ルツボ１２の
底部中央）の２／３以下とすることが望ましい。

【００３１】くぼみ１４の形状は、図１に示したように
くぼみ１４の深さを一定とする必要は特になく、多少変
化させてもよいが、くぼみ１４の一部に上記引っ張り応
力が集中しないように、くぼみ１４の深さ（ｔ₁ ）（黒
鉛ルツボ１２の底部の厚さ）が急激に変化する形状は好
ましくない。また、くぼみ１４は上記引っ張り応力の集
中を防止するという観点から、その端部１４ａ、１４ｂ
に十分滑らかな面取りを施すのが好ましく、また、図２
に示したように、分割面２３で縦に２分割された黒鉛ル
ツボ２２（２２ａ、２２ｂ）のくぼみ２４の端部２４
ａ、２４ｂに斜め加工を施し、くぼみ２４の深さが段々
と深くなるような構造にしてもよい。

【００３２】黒鉛ルツボ１２、２２のくぼみ１４、２４
は、黒鉛受け台１８に嵌合すると、黒鉛受け台１８との
間に大きな空隙１５、２５が形成される。そこで、図３
に示したように、黒鉛受け台３８の一部に突部３８ａを
形成し、黒鉛受け台３８と分割面３３で縦に２分割され
た黒鉛ルツボ３２（３２ａ、３２ｂ）とを嵌合させた際
に、黒鉛ルツボ３２のくぼみ１４の一部に黒鉛受け台３
８の突部３８ａが挿入されるようにしてもよい。但し、
突部３８ａはくぼみ１４により形成される空間より少し
小さい形状にしておく必要があり、黒鉛受け台３８に黒
鉛ルツボ３２を嵌合させた場合においても、黒鉛ルツボ
３２に形成されたくぼみ１４と黒鉛受け台３８の突部３
８ａとの間に空隙３５が形成される必要がある。

【００３３】くぼみ１４、２４は、黒鉛ルツボ１２、２
２、３２の底面１７、２７、３７の中央部１７ａ、２７
ａ、３７ａと外周部１７ｂ、２７ｂ、３７ｂのくびれ部
１６、３６付近とを除く部分の全体に形成されている必
要はないが、上記の部分全体にくぼみ１４、２４を形成
した場合、上記引っ張り応力を分散させる効果が最も大
きい。

【００３４】くびれ部の形状は、図３に示した黒鉛ルツ
ボ３２のくびれ部３６のように断面形状が直線で形成さ
れているものでもよいが、図１、図２に示した黒鉛ルツ
ボ１２、２２のくびれ部１６のように断面が曲線（円）
形状になるように面取りされている方が好ましい。ま
た、断面が円形状になるように面取りした場合には、そ
の半径は５ｍｍ以上が好ましい。くびれ部１６の面取り
の半径が５ｍｍ未満であると、上記引っ張り応力がくび
れ部１６の狭い範囲に集中し易くなる。

【００３５】図１に示した黒鉛ルツボ１２においては、
断面が曲線（円）形状の面取りを施しているが、面取り
の形状は曲線に限定されるものではなく、くびれ部が形
成された部分の底面の厚さを確保するため、図４に示し
た黒鉛ルツボ４２（４２ａ、４２ｂ）のように、くびれ
部４６の断面形状の大部分が斜めの直線形状を有するよ
うに加工処理を施したものでもよい。本実施の形態に係
る単結晶引き上げ用黒鉛部品１１、２１、３１、４１
は、通常の高密度黒鉛材を加工することにより容易に作
製することができる。

【００３６】なお、黒鉛ルツボ１２、２２、３２、４２
にくびれ部１６、３６、４６が必ずしも形成されている
必要はなく、底部外周近傍は通常のルツボと同様の形状
でもよいが、その場合には黒鉛受け台１８、３８、４８
の形状をしっかりと黒鉛ルツボ１２、２２、３２、４２
を支持することができる形状に変ておく必要がある。ま
た、本実施の形態において、黒鉛ルツボ１２、２２、３
２、４２は２分割されているが、他の実施の形態におい
ては、３分割、４分割あるいはそれ以上に分割されてい
てもよい。

【００３７】

【実施例及び比較例】以下、本発明に係る単結晶引き上
げ用黒鉛部品の実施例を図面に基づいて説明する。ま
た、比較例として、従来の図６及び図９に示した単結晶
引き上げ用黒鉛部品を用いた場合についても説明する。

【００３８】実施例及び比較例に係るそれぞれの単結晶
引き上げ用黒鉛部品を、図５に示した単結晶引き上げ装
置に配設した後、以下の耐久性試験を行った。

【００３９】（１） 用いた単結晶引き上げ用黒鉛部品 各実施例及び比較例における黒鉛ルツボのタイプ、黒鉛
受け台のタイプ、くぼみの寸法、及びくびれ部の面取り
半径を下記の表１に示した。

【００４０】黒鉛ルツボ３２（図３）、１２（図１）、
７２（図６）、８２（図９）に共通する主要部分の寸法 内径：３１０ｍｍ 底面外周部の直径（底面中心よりくびれ部下端まで距離
×２）：約２００ｍｍ 底部中央の厚さ（ｌ）：３０ｍｍ くびれ部の高さ（ｈ）（底面の延長面よりくびれ部の上
端までの垂直距離）：２０ｍｍ （２） 耐久性試験の内容 黒鉛ルツボ３２・・・ に結晶用原料を溶融液とした時、液
面が黒鉛ルツボ３２・・・ の深さの１／２となるように充
填して加熱し、溶融させた。その後、単結晶の引き上げ
は行わず、そのまま１時間保持し、その後冷却、凝固さ
せた。溶融液の温度や装置内の雰囲気は通常の単結晶の
引き上げを行う場合と同様の条件とし、上記結晶用原料
の溶融と凝固とを繰り返し行い、黒鉛ルツボ３２・・・ の
耐久性を試験した。

【００４１】（３） 耐久性試験の結果 耐久性試験の結果を下記の表１に示す。

【００４２】

【表１】

【００４３】上記表１より明らかなように、比較例１の
場合には、黒鉛ルツボ７２（図６）にくぼみが形成され
ていないため、繰返し回数５回で黒鉛ルツボ７２の底部
中央での欠けやくびれ部７６からの割れが発生して破損
し、使用不能となった。また、比較例２の場合には、黒
鉛ルツボ８２（図９）の底部中央に突出部８４が形成さ
れているため、突出部８４での欠けは発生しなかった
が、くびれ部８６からの割れが発生し、繰返し回数４回
で使用不能となった。

【００４４】実施例１〜５の場合には、黒鉛ルツボ３２
（図３）にくぼみ１４が形成されているため、繰返し回
数１５回以上まで破損が発生しなかった。また、実施例
６〜９の場合には、黒鉛ルツボ１２（図１）にくぼみ１
４が形成され、かつくびれ部１６に半径５ｍｍ以上の面
取りが施されているので、耐用回数（繰り返し回数）が
さらに増加した。特に、実施例８、９の場合には、黒鉛
ルツボ１２のくびれ部１６に半径２０ｍｍ以上の面取り
が施されているので、繰返し回数２５回でも割れは発生
せず、さらに継続使用が可能であった。

【００４５】上記実施例及び比較例の結果から明らかな
ように、実施例に係る黒鉛ルツボ３２、１２にあって
は、黒鉛ルツボ３２、１２の底面３７、１７の中央部３
７ａ、１７ａと該底面の外周部３７ｂ、１７ｂとを除く
部分にくぼみ１４が形成されているので、黒鉛ルツボ３
２、１２のくびれ部３６、１６や内面３９、１９の中央
部に上記引っ張り応力が集中するのを防止することがで
きる。従って、黒鉛ルツボ３２、１２の耐久性が向上
し、長期に亙って黒鉛ルツボ３２、１２を使用すること
ができ、黒鉛ルツボ３２、１２の長寿命化を図ることが
できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の実施の形態に係る単結晶引き
上げ用黒鉛部品を模式的に示した平面図であり、（ｂ）
はその断面図である。

【図２】別の実施の形態に係る単結晶引き上げ用黒鉛部
品等を模式的に示した断面図である。

【図３】さらに別の実施の形態に係る単結晶引き上げ用
黒鉛部品等を模式的に示した断面図である。

【図４】さらに別の実施の形態に係る単結晶引き上げ用
黒鉛部品等を模式的に示した断面図である。

【図５】ＣＺ法に用いられる従来の単結晶引き上げ装置
を模式的に示した断面図である。

【図６】（ａ）は従来の単結晶引き上げ用黒鉛部品に石
英ルツボが嵌合された状態を模式的に示した平面図であ
り、（ｂ）はその断面図である。

【図７】（ａ）は図６に示した単結晶引き上げ用黒鉛部
品等の冷却時の状態を模式的に示した平面図であり、
（ｂ）はその断面図である。

【図８】従来の黒鉛ルツボにおける割れや欠けの発生位
置を模式的に示した断面図である。

【図９】底部中央に突出部が形成された従来の黒鉛ルツ
ボを模式的に示した断面図である。

【符号の説明】

１１、２１、３１、４１ 単結晶引き上げ用黒鉛部品 １２、２２、３２、４２ 黒鉛ルツボ １３、２３、３３ 分割面 １４、２４ くぼみ １６、３６、４６ くびれ部 １７、２７、３７、４７ 底面（黒鉛ルツボ） １７ａ、２７ａ、３７ａ 中央部（底面） １７ｂ、２７ｂ、３７ｂ 外周部（底面） １８、３８、４８ 黒鉛受け台

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 縦に分割された黒鉛ルツボと該黒鉛ルツ
   ボの底部に嵌合された黒鉛受け台とにより構成される単
   結晶引き上げ用黒鉛部品において、前記黒鉛ルツボ底面
   の中央部と該底面の外周部を除く部分にくぼみが形成さ
   れていることを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛部品。
2. 【請求項２】 黒鉛ルツボの底部外周近傍にくびれ部が
   形成されていることを特徴とする請求項１記載の単結晶
   引き上げ用黒鉛部品。
3. 【請求項３】 黒鉛ルツボのくびれ部に半径５ｍｍ以上
   の面取りが施されていることを特徴とする請求項２記載
   の単結晶引き上げ用黒鉛部品。