JPH09219350A - In-vacuum drive device - Google Patents
In-vacuum drive deviceInfo
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- JPH09219350A JPH09219350A JP2414396A JP2414396A JPH09219350A JP H09219350 A JPH09219350 A JP H09219350A JP 2414396 A JP2414396 A JP 2414396A JP 2414396 A JP2414396 A JP 2414396A JP H09219350 A JPH09219350 A JP H09219350A
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- vacuum
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子ビーム
描画装置等に適用され、半導体基板などの被移動体を移
動させる真空内駆動装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an in-vacuum driving device which is applied to, for example, an electron beam drawing apparatus and moves a moving body such as a semiconductor substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体製造装置等の電子ビ―ム
描画装置では、真空容器（真空チャンバー）内に、Ｘス
テ―ジ、Ｙステ―ジを有するステージ装置を設け、該ス
テージ装置の上面に設けられたホルダ上に半導体基板を
載置して描画するようになっている。2. Description of the Related Art For example, in an electron beam drawing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus, a stage device having an X stage and a Y stage is provided in a vacuum container (vacuum chamber), and an upper surface of the stage device is provided. The semiconductor substrate is placed on the holder provided in the drawing to draw.
【０００３】また、特に大形マスク用描画装置には、描
画される基板のサイズが種々で、その厚さの種類に対応
するために、前記Ｙステ―ジ上にＺステ―ジを付設した
Ｘ、Ｙ、Ｚステージを有するステージ装置が使用され
る。Further, particularly in a large mask drawing apparatus, a Z stage is provided on the Y stage in order to cope with various sizes of substrates to be drawn and the kind of the thickness thereof. A stage device having X, Y, Z stages is used.
【０００４】従来、Ｚステージを移動させるＺステージ
移動手段としては、例えば特開昭５９−１１７１１８号
公報に見られるように、ピエゾ素子を用いたものが一般
的である。Conventionally, as a Z stage moving means for moving the Z stage, as shown in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 59-117118, a piezoelectric element is generally used.
【０００５】しかしながら、ピエゾ素子を使用した場
合、移動ストロ―クが小さく、基板の曲りの補正程度は
できるが、基板厚さの種類に対応することはできず、ホ
ルダ―に基板を底上げする機構を持たせて、２つの機構
で対処する必要があった。However, when the piezo element is used, the movement stroke is small and the degree of correction of the bending of the substrate can be corrected, but it is not possible to deal with the type of the substrate thickness, and the mechanism for raising the substrate to the holder is raised. It was necessary to deal with it with two mechanisms.
【０００６】一方、大きなストロークを得るために、ナ
ット部材（雌ねじ部材）およびこのナット部材に螺合す
るねじ部材を用いた駆動系とすることが考えられるが、
電子ビ―ム描画装置の場合においては、ゴミの影響や磁
場の変動を嫌うため、前記ねじ部材を駆動する駆動装置
に、ゴミや磁場の変動を発生する通常の電気モータは使
用できないといった問題があり、実用化されていないの
が現状である。On the other hand, in order to obtain a large stroke, a drive system using a nut member (female screw member) and a screw member screwed to the nut member can be considered.
In the case of an electronic beam drawing apparatus, it is difficult to use an ordinary electric motor that generates dust or magnetic field fluctuations as a drive device that drives the screw member because it does not like the influence of dust or fluctuations in the magnetic field. However, the current situation is that it has not been put to practical use.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
真空内駆動装置においては、ゴミや磁場の変動の発生の
悪影響で、通常の電気モータを駆動源とした大きなスト
ロークを実現できるものがなく、半導体基板などの被移
動体の厚さの変動に十分対応できないといった問題があ
った。As described above, in the conventional in-vacuum drive device, it is possible to realize a large stroke using an ordinary electric motor as a drive source due to the adverse effect of the generation of dust and fluctuation of magnetic field. However, there is a problem in that it is not possible to sufficiently cope with variations in the thickness of a moving body such as a semiconductor substrate.
【０００８】本発明は、上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、ゴミや磁場変動の発生の
悪影響がなく、しかも、大きなストロークを実現できる
真空内駆動装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an in-vacuum drive device which is free from the adverse effects of dust and magnetic field fluctuations and which can realize a large stroke. is there.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するための手段として、真空容器内に可動ステ−ジを有
する電子ビーム描画装置等の真空内駆動装置において、
超音波モータと、この超音波モータの外周を気密に覆う
カバー容器と、このカバー容器と超音波モータの出力軸
との間に設けられた気密性を有する軸シールとからな
り、前記カバー容器を前記真空容器内に設置し、かつ、
前記カバー容器内に大気または大気圧に近い圧力のガス
を導入する構造としたものである。As a means for achieving the above object, the present invention provides a vacuum driving apparatus such as an electron beam drawing apparatus having a movable stage in a vacuum container.
An ultrasonic motor, a cover container that hermetically covers the outer circumference of the ultrasonic motor, and an airtight shaft seal provided between the cover container and the output shaft of the ultrasonic motor. Installed in the vacuum container, and
The cover container has a structure in which a gas having a pressure close to the atmosphere or atmospheric pressure is introduced.
【００１０】本発明の真空内駆動装置によれば、超音波
モータの外周が、大気または大気圧に近い圧力のガスを
導入したカバー容器で覆われ、気密な軸シ―ルを介して
出力軸を突出させた構成とし、これを真空容器内に設け
るようにしたため、超音波モータから発生したゴミは、
カバー容器内に封じ込められ、真空容器内空間に漏れ出
して悪影響を及ぼすことがなく、装置構成を簡単にでき
るとともに、大きなストロ−クを実現させることができ
ると共に、通常の超音波モータを安定的に作動させるこ
とができる。According to the in-vacuum drive device of the present invention, the outer periphery of the ultrasonic motor is covered with the cover container into which the atmosphere or the gas having a pressure close to the atmospheric pressure is introduced, and the output shaft is provided through the airtight shaft seal. Since it is configured to protrude and is provided in the vacuum container, dust generated from the ultrasonic motor is
It is enclosed in a cover container and does not leak into the space inside the vacuum container to adversely affect it. The device structure can be simplified, a large stroke can be realized, and a normal ultrasonic motor can be stabilized. Can be activated.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空内駆動
装置１の構成を示すもので、真空内駆動装置１は真空容
器としての真空チャンバー内に設置される。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows the configuration of an in-vacuum drive device 1 according to the present invention. The in-vacuum drive device 1 is installed in a vacuum chamber as a vacuum container.
【００１２】真空内駆動装置１は、ベース５と、このベ
ース５の上面側にガイド手段６，６を介して載設され図
中左右方向（Ｘ方向）に水平移動するＸステージ７と、
このＸステージ７の上面側にガイド手段８，８を介して
載設され図中前後方向（Ｙ方向）に水平移動するＹステ
ージ９を有する。The in-vacuum drive device 1 includes a base 5, an X stage 7 mounted on the upper surface of the base 5 via guide means 6 and 6, and horizontally moved in the horizontal direction (X direction) in the drawing.
A Y stage 9 is provided on the upper surface side of the X stage 7 via guide means 8 and 8 and horizontally moved in the front-rear direction (Y direction) in the drawing.
【００１３】そして、前記ベース５、Ｘステージ７、Ｙ
ステ―ジ９からなるＸＹテ―ブル１０を構成している。
さらに、ＸＹテ―ブル１０上には、上下方向（Ｚ方向）
に移動可能なＺステージ１１が設けられている。The base 5, the X stage 7, and the Y
An XY table 10 composed of stages 9 is constructed.
Further, on the XY table 10, the vertical direction (Z direction)
A movable Z stage 11 is provided.
【００１４】このＺステージ１１の上面には、被移動体
である半導体基板１２を保持するホルダ１３と、位置測
定用のレーザミラー１４が搭載されている。また、Ｚス
テージ１１は、Ｚステージ移動装置１５により移動され
る。On the upper surface of the Z stage 11, a holder 13 for holding a semiconductor substrate 12 which is a movable body and a laser mirror 14 for position measurement are mounted. The Z stage 11 is moved by the Z stage moving device 15.
【００１５】このＺステージ移動装置１５は、Ｚステー
ジ１１の下面側に設けられた楔ステージ１６を有する。
楔ステージ１６は、Ｙステ―ジ９の上面側にガイド手段
１７，１７を介して載設され、前記Ｘステージ７と同方
向に移動可能となっている。The Z stage moving device 15 has a wedge stage 16 provided on the lower surface side of the Z stage 11.
The wedge stage 16 is mounted on the upper surface side of the Y stage 9 via guide means 17 and 17, and is movable in the same direction as the X stage 7.
【００１６】楔ステージ１６の上面には、一対の傾斜ガ
イド面１６Ａ，１６Ａが形成されており、一方、Ｚステ
ージ１１の下面には、前記一対の傾斜ガイド面１６Ａ，
１６Ａに対応し同方向に傾斜する一対の傾斜ガイド面１
１Ａ，１１Ａが形成されている。そして、これら一対の
傾斜ガイド面１６Ａ，１６Ａと傾斜ガイド面１１Ａ，１
１Ａとの間には、ガイド手段１８，１８が設けられた状
態となっている。A pair of inclined guide surfaces 16A, 16A are formed on the upper surface of the wedge stage 16, while a pair of inclined guide surfaces 16A, 16A are formed on the lower surface of the Z stage 11.
A pair of inclined guide surfaces 1 corresponding to 16A and inclined in the same direction
1A and 11A are formed. Then, the pair of inclined guide surfaces 16A, 16A and the inclined guide surfaces 11A, 1A
The guide means 18 and 18 are provided between the 1A and 1A.
【００１７】また、Ｚステージ１１の一端側（図中左端
側）には、下方に突出する状態にガイド片１１Ｂが設け
られていると共に、Ｙステ―ジ９の一端側（図中左端
側）には、上方に突出する状態にガイド片９Ａが設けら
れている。そして、これらガイド片１１Ｂとガイド片９
Ａとの間には、ガイド手段２０が設けられた状態となっ
ており、楔ステージ１６は上下方向（Ｚ方向）にのみ移
動可能となっている。A guide piece 11B is provided on one end side (left end side in the figure) of the Z stage 11 so as to project downward, and one end side (left end side in the figure) of the Y stage 9 is provided. Is provided with a guide piece 9A in a state of protruding upward. And these guide pieces 11B and guide pieces 9
A guide means 20 is provided between the wedge stage 16 and A, and the wedge stage 16 is movable only in the vertical direction (Z direction).
【００１８】また、Ｚステージ移動装置１５は、楔ステ
ージ１６を図中左右方向（Ｘ方向）に水平移動させる楔
ステージ移動手段としての楔ステージ移動装置２１を有
する。Further, the Z stage moving device 15 has a wedge stage moving device 21 as a wedge stage moving means for horizontally moving the wedge stage 16 in the horizontal direction (X direction) in the drawing.
【００１９】楔ステージ移動装置２１は、楔ステージ１
６に取付けられたナット部材２２、および、このナット
部材２２に螺合するねじ部材であるボールねじ２３と、
このボールねじ２３を駆動することにより楔ステージ１
６を水平方向に移動させてＺステージ１１を上下方向に
移動させる駆動装置２４とからなる。The wedge stage moving device 21 includes the wedge stage 1
6, a nut member 22 attached to 6, and a ball screw 23 that is a screw member screwed into the nut member 22,
By driving this ball screw 23, the wedge stage 1
6 is moved in the horizontal direction to move the Z stage 11 in the vertical direction.
【００２０】また、駆動装置２４は、図２に示すよう
に、カバー容器３０で外周が覆われ軸シールとしてのリ
ップシール３１を介して出力軸３２Ａを突出させた非磁
性モータである超音波モータ３２からなる。Further, as shown in FIG. 2, the drive unit 24 is an ultrasonic motor which is a non-magnetic motor in which the outer periphery is covered with a cover container 30 and an output shaft 32A is projected through a lip seal 31 as a shaft seal. It consists of 32.
【００２１】カバー容器３０は、出力軸３２Ａが貫通す
る軸貫通口３０Ａを底部中央に有する有底筒状のカバー
容器本体３０Ｂと、このカバー容器本体３０Ｂの開口部
を閉塞する蓋体３０Ｃとからなり、前記蓋体３０Ｃに
は、モータ３２に電力を供給する端子３３，３３を保持
した端子板３４が取付けられている。The cover container 30 comprises a bottomed cylindrical cover container main body 30B having a shaft through hole 30A through which the output shaft 32A penetrates at the center of the bottom, and a lid 30C closing the opening of the cover container main body 30B. Therefore, a terminal plate 34 holding terminals 33, 33 for supplying electric power to the motor 32 is attached to the lid 30C.
【００２２】また、前記リップシール３１は、出力軸３
２Ａに密に嵌合する内径部を有した環状を呈しており、
この部分の真空シ―ルおよびダストシ―ルをするもので
あり、カバー容器本体３０Ｂとこのカバー容器本体３０
Ｂにねじ止めされた押え板３５との間で挟持される。Further, the lip seal 31 has the output shaft 3
It has an annular shape with an inner diameter that fits tightly into 2A,
A vacuum seal and a dust seal of this portion are provided, and the cover container body 30B and the cover container body 30 are provided.
It is clamped between the holding plate 35 screwed to B.
【００２３】また、カバー容器本体３０Ｂと蓋体３０
Ｃ、および蓋体３０Ｃと端子板３４のそれぞれの接合部
には、シール部材であるＯリング３６が配設されてい
て、気密性が保持されるようになっている。Further, the cover container body 30B and the lid 30
An O-ring 36, which is a sealing member, is provided at each of the joints of C, the lid 30C, and the terminal plate 34, so that airtightness is maintained.
【００２４】また、密閉容器であるカバー容器３０は、
カバー容器３０に取付けられた管継手４１０Ａと、前記
真空チャンバー２に取付けられた管継手４１０Ｂとをチ
ューブ４１１で接続することにより、前記カバー容器３
０を真空チャンバー２外に接続した構成となっている。The cover container 30, which is a closed container, is
By connecting the pipe joint 410A attached to the cover container 30 and the pipe joint 410B attached to the vacuum chamber 2 with the tube 411, the cover container 3
0 is connected to the outside of the vacuum chamber 2.
【００２５】そして、このようにカバー容器３０を完全
にシ―ルするとともに、前記真空チャンバー２内の空間
４０が真空状態になっても、カバー容器３０の内部空間
４５に大気の領域を確保できるようになっている。In this way, the cover container 30 is completely sealed, and even if the space 40 in the vacuum chamber 2 is in a vacuum state, an area of the atmosphere can be secured in the internal space 45 of the cover container 30. It is like this.
【００２６】しかして、上記超音波モータ３２を駆動さ
せると、超音波モータ３２は大気環境内にあるため、極
めて円滑に、かつ安定して作動し、この出力軸３２Ａと
連結状態にあるボールねじ２３が一体に回転し、このボ
ールねじ２３と螺合状態にあるナット部材２２が装着さ
れた楔ステージ１６が水平方向に移動する。そして、楔
ステージ１６の移動に伴いＺステージ１１が上下方向に
移動する。However, when the ultrasonic motor 32 is driven, the ultrasonic motor 32 operates in an extremely smooth and stable manner because it is in the atmospheric environment, and the ball screw is in a connected state with the output shaft 32A. 23 rotates integrally, and the wedge stage 16 mounted with the nut member 22 screwed with the ball screw 23 moves in the horizontal direction. Then, as the wedge stage 16 moves, the Z stage 11 moves in the vertical direction.
【００２７】すなわち、Ｚステージ１１を上昇させる場
合には、図１の状態において、楔ステージ１６を、図中
左方向に移動するように超音波モータ３２を駆動させ、
また逆に、Ｚステージ１１を下降させる場合には、図１
の状態において、楔ステージ１６を図中右方向に移動さ
せるように超音波モータ３２を駆動させる。That is, when the Z stage 11 is raised, in the state shown in FIG. 1, the ultrasonic motor 32 is driven so as to move the wedge stage 16 to the left in the figure,
On the contrary, when lowering the Z stage 11, as shown in FIG.
In this state, the ultrasonic motor 32 is driven so as to move the wedge stage 16 to the right in the figure.
【００２８】そして、この楔ステージ１６の水平方向の
動きは、ガイド手段１８，１８が介在された傾斜ガイド
面１１Ａ，１１Ａと１６Ａ，１６Ａ、およびガイド手段
２０が介在されたガイド片９Ａと１１Ｂとの作用によ
り、Ｚステ―ジ１５を上下方向（Ｚ方向）に移動させ、
その上に載置されているホルダ１３、基板１２、レ―ザ
ミラ―１４等を一体的に移動させることになる。The horizontal movement of the wedge stage 16 is caused by the inclined guide surfaces 11A, 11A and 16A, 16A with the guide means 18, 18 interposed and the guide pieces 9A, 11B with the guide means 20 interposed. By the action of, the Z stage 15 is moved in the vertical direction (Z direction),
The holder 13, the substrate 12, the laser miller 14 and the like placed on it are moved integrally.
【００２９】本発明の真空内駆動装置１によれば、Ｚス
テージ１１を移動させるＺステージ移動装置１５が、前
記Ｚステージ１１の下面側に設けられ楔ステージ１６
と、この楔ステージ１６に取付けられたナット部材２２
およびこのナット部材２２に螺合するねじ部材であるボ
ールねじ２３と、このボールねじ２３を駆動することに
より楔ステージ１６を水平方向に移動させてＺステージ
１１を上下方向に移動させる駆動装置２４とからなる楔
ステージ移動装置２１とで構成したから、従来のピエゾ
素子を用いるものに比べ、大きなＺストロークを実現で
き、被移動体である半導体基板１２の曲り補正は勿論の
こと、厚さの変動に十分対応し得、従来のようにホルダ
１３に基板１２を底上げする機能を持たせる必要がな
い。According to the in-vacuum drive device 1 of the present invention, the Z stage moving device 15 for moving the Z stage 11 is provided on the lower surface side of the Z stage 11, and the wedge stage 16 is provided.
And the nut member 22 attached to the wedge stage 16.
And a ball screw 23, which is a screw member that is screwed into the nut member 22, and a drive device 24 that drives the ball screw 23 to move the wedge stage 16 in the horizontal direction and the Z stage 11 in the vertical direction. Since it is composed of the wedge stage moving device 21 consisting of, it is possible to realize a large Z stroke as compared with the one using the conventional piezo element, and it is possible to correct the bending of the semiconductor substrate 12 which is the moved body and to change the thickness. Therefore, it is not necessary for the holder 13 to have the function of raising the substrate 12 as in the conventional case.
【００３０】しかも、前記駆動装置２４が、カバー容器
３０で外周が覆われ、軸シ―ルとしてのリップシール３
１を介して出力軸３２Ａを突出させた非磁性モータであ
る超音波モータ３２からなる構成としたから、モータ３
２から発生したゴミは、カバー容器３０内に封じ込めら
れ、真空チャンバー２内の空間４０に漏れ出して悪影響
を及ぼすことがなく、しかも、非磁性モータである超音
波モータ３２を使用するため磁力の悪影響もない。Moreover, the outer periphery of the drive unit 24 is covered with the cover container 30, and the lip seal 3 as the shaft seal 3 is provided.
Since the ultrasonic motor 32 is a non-magnetic motor in which the output shaft 32A is projected through the motor 1, the motor 3
The dust generated from No. 2 is contained in the cover container 30 and does not leak to the space 40 in the vacuum chamber 2 to have a bad influence. Moreover, since the ultrasonic motor 32, which is a non-magnetic motor, is used, the magnetic force There is no adverse effect.
【００３１】さらに、超音波モータ３２は、大気雰囲気
内に置かれるため、通常のものでも、円滑かつ安定して
作動する。この様に、本発明の真空内駆動装置１におい
ては、非磁性のＺステ―ジをシンプルでかつ大ストロ―
クに作ることができる。Further, since the ultrasonic motor 32 is placed in the atmosphere, even a normal one can operate smoothly and stably. As described above, in the in-vacuum drive device 1 according to the present invention, the non-magnetic Z stage is simple and has a large stroke.
You can make it.
【００３２】なお、上述の一実施例において、カバー容
器３０と接続したチューブ４１１を大気に開放した構成
としたが、図３に示すようにＮ2 等のガス源４２０に接
続し、Ｎ2 等をカバー容器３０に導くようにしてもよ
い。[0032] Incidentally, in the foregoing embodiment, but the tube 411 connected with the cover container 30 has a structure which is open to the atmosphere, connected to a gas source 420, such as N 2, as shown in FIG. 3, N 2, etc. May be guided to the cover container 30.
【００３３】また、この時の圧力は、大気圧±０．５ｋ
ｇ／ｃｍ2 程度がよい。この図３の説明については、前
述の一実施例と同一部分は同一の符号を付して詳細な説
明を省略する。その他、本発明は、上記の実施例に限ら
ず、本発明の要旨を変えない範囲で種々の変形実施可能
なことは勿論である。The pressure at this time is atmospheric pressure ± 0.5 k.
About g / cm 2 is good. In the description of FIG. 3, the same parts as those in the above-described embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上、説明したように本発明の装置によ
れば、超音波モータの外周が、大気または大気圧に近い
圧力のガスを導入したカバー容器で覆われ、気密な軸シ
―ルを介して出力軸を突出させた構成とし、これを真空
容器内に設けるようにしたため、モータから発生したゴ
ミは、カバー容器内に封じ込められ、真空容器内空間に
漏れ出して悪影響を及ぼすことがなく、装置構成を簡単
にでき、かつ超音波モータを安定して作動させることが
できるとともに、大きなストロ−クを実現させることが
できるといった効果を奏する。As described above, according to the apparatus of the present invention, the outer periphery of the ultrasonic motor is covered with the cover container into which the gas of the atmosphere or the pressure close to the atmospheric pressure is introduced, and the airtight shaft seal is provided. Since the output shaft is configured to protrude through the inside of the vacuum container, and the output shaft is provided inside the vacuum container, dust generated from the motor is contained in the cover container and may leak into the space inside the vacuum container, which may have an adverse effect. In other words, the device configuration can be simplified, the ultrasonic motor can be stably operated, and a large stroke can be realized.
【図１】本発明の真空内駆動装置の一実施例を示す概略
的断面図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of an in-vacuum drive device of the present invention.
【図２】同実施例の要部である駆動装置の概略的拡大断
面図。FIG. 2 is a schematic enlarged cross-sectional view of a drive device that is a main part of the same embodiment.
【図３】本発明の真空内駆動装置の他の実施例を示す概
略的断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of the in-vacuum drive device of the present invention.
１…真空内駆動装置 ２…真空チャンバー（真空容器） ５…ベース ６…ガイド手段 ７…Ｘステージ ８…ガイド手段 ９…Ｙステージ ９Ａ…ガイド片 １０…ＸＹテ―ブル １１…Ｚステージ １１Ａ…傾斜ガイド面 １１Ｂ…ガイド片 １２…半導体基板（被移動体） １３…ホルダ １４…位置測定用のレーザミラー １５…Ｚステージ移動装置 １６…楔ステージ １６Ａ…傾斜ガイド面 １７…ガイド手段 １８…ガイド手段 ２０…ガイド手段 ２１…楔ステージ移動装置（楔ステージ移動手段） ２２…ナット部材 ２３…ボールねじ（ねじ部材） ２４…駆動装置 ３０…カバー容器 ３０Ａ…軸貫通口 ３０Ｂ…カバー容器本体 ３０Ｃ…蓋体 ３１…リップシール（軸シール） ３２…超音波モータ（非磁性モータ） ３２Ａ…出力軸 ３３…端子 ３４…端子板 ３５…押え板 ３６…Ｏリング（シール部材） ４０…空間 ４５…内部空間 ４１０Ａ…管継手 ４１０Ｂ…管継手 ４１１…チューブ ４２０…ガス源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... In-vacuum drive device 2 ... Vacuum chamber (vacuum container) 5 ... Base 6 ... Guide means 7 ... X stage 8 ... Guide means 9 ... Y stage 9A ... Guide piece 10 ... XY table 11 ... Z stage 11A ... Inclination Guide surface 11B ... Guide piece 12 ... Semiconductor substrate (movable body) 13 ... Holder 14 ... Position measuring laser mirror 15 ... Z stage moving device 16 ... Wedge stage 16A ... Inclined guide surface 17 ... Guide means 18 ... Guide means 20 ... Guide means 21 ... Wedge stage moving device (wedge stage moving means) 22 ... Nut member 23 ... Ball screw (screw member) 24 ... Driving device 30 ... Cover container 30A ... Shaft through hole 30B ... Cover container main body 30C ... Lid body 31 ... Lip seal (shaft seal) 32 ... Ultrasonic motor (non-magnetic motor) 32A ... Output shaft 33 ... Terminal 34 ... Terminal 35 ... holding plate 36 ... O-ring (seal member) 40 ... space 45 ... inner space 410A ... pipe fitting 410B ... pipe fitting 411 ... Tube 420 ... gas source
Claims (4)
ーム描画装置等の真空内駆動装置において、 超音波モータと、 この超音波モータの外周を気密に覆うカバー容器と、 このカバー容器と超音波モータの出力軸との間に設けら
れた気密性を有する軸シールと、からなり、前記カバー
容器を前記真空容器内に設置し、かつ、前記カバー容器
内に大気または大気圧に近い圧力のガスを導入する構造
としたことを特徴とする真空内駆動装置。1. An in-vacuum drive device such as an electron beam drawing device having a movable stage in a vacuum container, an ultrasonic motor, a cover container airtightly covering the outer periphery of the ultrasonic motor, and the cover container. An airtight shaft seal provided between the output shaft of the ultrasonic motor and the cover container is installed in the vacuum container, and the pressure in the cover container is close to atmospheric pressure or atmospheric pressure. An in-vacuum drive device having a structure for introducing the above gas.
超音波モ―タからなることを特徴とする請求項１に記載
の真空内駆動装置。2. The in-vacuum drive device according to claim 1, wherein the ultrasonic motor of the drive device is a non-magnetic ultrasonic motor.
ジと、このＸステージの移動方向に対して直交する水平
方向に移動するＹステージと、上下方向に移動可能なＺ
ステージとを有し、前記駆動装置が少なくともいずれか
１つのステージを駆動すべく構成されていることを特徴
とする請求項２に記載の真空内駆動装置。3. A movable stage, an X stage that moves horizontally, a Y stage that moves in a horizontal direction orthogonal to the moving direction of the X stage, and a Z that can move in the vertical direction.
3. The in-vacuum drive device according to claim 2, further comprising a stage, wherein the drive device is configured to drive at least one stage.
プ送りされるＸもしくはＹステージを駆動すべく構成さ
れていることを特徴とする請求項３に記載の真空内駆動
装置。4. The in-vacuum drive device of claim 3, wherein the drive device is configured to drive a Z stage or a stepped X or Y stage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2414396A JPH09219350A (en) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | In-vacuum drive device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2414396A JPH09219350A (en) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | In-vacuum drive device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09219350A true JPH09219350A (en) | 1997-08-19 |
Family
ID=12130112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2414396A Pending JPH09219350A (en) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | In-vacuum drive device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09219350A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007201292A (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Kyocera Corp | Sample positioning device |
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| JP2013212699A (en) * | 2013-06-28 | 2013-10-17 | Micro-Tec Co Ltd | Moving table positioning device, screen printing machine, and moving table positioning method |
| CN103687728A (en) * | 2012-05-25 | 2014-03-26 | 微技术株式会社 | Screen printer |
-
1996
- 1996-02-09 JP JP2414396A patent/JPH09219350A/en active Pending
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