JPH09219071A - 磁気ヘッド用サスペンションアセンブリとそれに使用するフレクシャ - Google Patents

磁気ヘッド用サスペンションアセンブリとそれに使用するフレクシャ

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JPH09219071A
JPH09219071A JP9044580A JP4458097A JPH09219071A JP H09219071 A JPH09219071 A JP H09219071A JP 9044580 A JP9044580 A JP 9044580A JP 4458097 A JP4458097 A JP 4458097A JP H09219071 A JPH09219071 A JP H09219071A
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JP
Japan
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flexure
slider
magnetic head
suspension assembly
load beam
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Application number
JP9044580A
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English (en)
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Amanullah Khan
アマヌラー・カーン
Kevin Patrick Hanrahan
ケビン・パトリック・ハンラハン
T Seah Yao
ヤオ−ティー・シア
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Read Rite Corp
Original Assignee
Read Rite Corp
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/486Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives with provision for mounting or arranging electrical conducting means or circuits on or along the arm assembly
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4833Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head

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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Moving Of Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気ベアリング剛性対サスペンション剛性比
を最適化し、製造上歩留まりを向上させる。 【構成】 回転する磁気ディスクの表面との間でデータ
を変換するための磁気ヘッド用サスペンションアセンブ
リは、スライダをディスク面の上方の所望の高さに維持
するように、指示された力をスライダに供給するための
ロードビームを有する。ロードビームには、その上に導
体トレースのパターンを形成したフレキシブル誘電体層
で形成したフレクシャが固定されている。これら導体ト
レースは、様々な度合いの動きにおける十分な可撓性と
物理的変形に耐える十分な剛性とを与えるように、スラ
イダ及びロードビームを機械的かつ構造的に最適に支持
するように、かつスライダを読取り/書込み電子回路に
電気的に接続するようにパターン形成される。好適な実
施例では、誘電体層がポリイミドのような高分子樹脂材
料で形成され、かつ導体トレースが銅で形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド用サス
ペンションアセンブリの改良に関し、特にサスペンショ
ンアセンブリに組み込まれる導体トレース(trace)フ
レクシャの構成に関する。
【0002】
【従来の技術】ディスクドライブ装置は一般に、共通の
軸に間隔をおいて同心に積み重ねるように取り付けられ
た多数の磁気記憶ディスクと、ハウジング内に収納され
たアクチュエータアームアセンブリとを備える。アクチ
ュエータアームアセンブリは、前記ディスク間の隙間内
に延長する複数のアームを有する。各アームの末端部に
は、弾性を有するサスペンションアセンブリが取り付け
られ、該サスペンションアセンブリは空気ベアリングス
ライダを担持している。サスペンションアセンブリに
は、一方の端部においてベースプレートによりアクチュ
エータアームに取り付けられたロードビームと、該ロー
ドビームの他方の端部に取り付けられてスライダを枢支
するフレクシャとが設けられている。
【0003】前記ロードビームが、関連するディスクの
表面に向けてスライダを付勢する弾性ばね作用を有する
のに対し、前記フレクシャはスライダのための可撓性を
有する。薄膜磁気変換器はスライダの端部に配置され
て、磁気ディスクと相互に作用して変換を行う。
【0004】前記サスペンションにより、スライダとア
クチュエータアーム間における寸法上の安定性、スライ
ダの回転ディスク上における動作方向に関するピッチ及
びロール動作の制御された柔軟性、及びヨーイング動作
に対する抵抗力が得られる。従来のサスペンションアセ
ンブリでは、スライダに対して予荷重力が与えられ、そ
れが、スライダの空気ベアリング面とディスク面との間
に生じる空気力学的な力で補償されるようになってい
る。従って、スライダはディスク面に極めて近接した状
態に維持される。
【0005】前記フレクシャは、特に高い共振振動数に
おいて様々な振れや振動を受け、更に曲げ力及び捻り
力、並びに左右の振れ即ち横方向の変位を受ける。ディ
スクドライブ装置の起動の際及びシークモードの際に、
磁気ヘッドがデータトラックをアクセスし、かつ選択し
たデータトラック間を半径方向に移動すると、前記フレ
クシャはある共振周波数において酷い振動を生じること
がある。また、ヘッドアセンブリが、一般にはその位置
がデータトラックの半径方向端部付近であるクラッシュ
停止において突然停止した場合には、前記装置はトラッ
ク障害又は他の機械的な障害を被る虞があり、それによ
り前記サスペンション及びそのスライダは衝撃を受け、
かつ特に高い共振振動数で振動することになる。更に、
ディスクドライブ装置の作動中におけるフレクシャの過
度の屈曲は、フレクシャの金属体に疲労を生じさせる虞
があり、かつスライダに供給される荷重力を低下させる
ことになる。
【0006】従来のサスペンションでは、変換器と読取
り/書込みドライバ電子装置間の電気的接続が、サスペ
ンションのロードビームの長さ方向に走行して、フレク
シャ及びスライダ上に延長するツイストワイヤ(twiste
d wire)即ちより線により行われている。より線の端部
は、スライダ上の変換器にソルダリング又は超音波ボン
ディングにより接続されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、前記より線の剛性は一般に空気ベアリングの剛性と
比較して無視することができる。しかしながら、ディス
クドライブ装置の製造技術は、小型化、並びに高速デー
タシーク及び書込み時間、高密度記録という高性能化に
向かう傾向がある。空気ベアリングスライダの変換器と
ディスクの記録面との間隙を小さくすることにより、デ
ータ信号の記録密度の増加が可能になることは良く知ら
れている。そこで、スライダの寸法が縮小され、かつ浮
動高さがより低くなっている。
【0008】これらの要求に適合させるため、かつスラ
イダがディスク面に近接して浮動できるようにするた
め、磁気ヘッド用サスペンションは、とりわけロール剛
性及びピッチ剛性が小さくかつ横剛性が高くなければな
らない。その結果、前記より線に関連した剛性の影響が
明らかに目に付くようになっている。これらワイヤの寸
法の縮小はその剛性を低下させるが、同時にその電気抵
抗を増大させ、それによりその性能を低下させかつ信頼
性を失わせることになる。更に、このようなワイヤ寸法
の減少は、サスペンションアセンブリの製造時に効率的
に取扱うことができる能力を低下させることになる。
【0009】前記フレクシャの望ましい目的は、従来の
電線即ちワイヤを排除することにある。このようなフレ
クシャは、米国特許第5,011,583号及び第5,
006,946号両明細書に記載されている。しかしな
がら、積層したディスク間の最小の間隙即ちZ高さの減
少を実現し、かつサスペンションの剛性に対する空気ベ
アリングの剛性の比率を最適化することが可能なワイヤ
レスサスペンション構造への大きな要求があり、かつ未
だ十分に満足されていない。
【0010】本発明の第1の目的は、磁気ヘッドアセン
ブリのための、新規なワイヤレス導体トレースフレクシ
ャを提供することにある。
【0011】本発明の第2の目的は、空気ベアリング剛
性対サスペンション剛性比を最適化し、ヘッドアセンブ
リの高さ圧縮(height compaction)を少なくし、かつ
その製造歩留まりを向上させるフレクシャを提供するこ
とにある。
【0012】本発明の第3の目的は、ヘッドアセンブリ
の製造コスト全体を低減させるために、フレクシャの製
造において容易に入手可能な材料を用いることである。
【0013】本発明の第4の目的は、荷重又はモーメン
ト負担部品として使用するために十分な構造的及び機械
的支持機能を備えた導体トレースを有するフレクシャを
提供することにある。
【0014】本発明の第5の目的は、既存のヘッドアセ
ンブリのサスペンション要素と共に用いることができる
フレクシャを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の上述した目的及
び更に別の目的は、スライダをディスク面の上方の所望
の高さに、バランスのとれた平衡位置で維持するよう
に、指示された力をスライダに供給するためのロードビ
ームを備える磁気ヘッド用サスペンションアセンブリに
より達成することができる。フレクシャは前記ロードビ
ームに固定され、かつ所定位置に保持される導体トレー
スのパターンからなり、かつコンプリアントな(compli
ant)誘電体材料で電気的に絶縁されたフレキシブル積
層板で形成されている。
【0016】これら導体トレースは、様々な度合いの動
きにおける十分な機敏性と物理的変形に耐える剛性とを
供し、スライダ及びロードビームへの最適な機械的及び
構造的な支持を与え、更に離れた位置の読取り/書込み
電子回路にスライダを電気的に接続するようにパターン
形成される。好適な実施例では、前記導体トレースは銅
で形成され、かつ前記積層板はポリイミドのような高分
子樹脂材料で形成される。
【0017】前記フレクシャは前部と屈曲部と後部とを
有する。前記前部は、ロードビームの突出部に沿って概
ね対称形に延長し、かつそれにその概ね全長に沿って溶
接又は接着により固着される。このような対称形は、望
ましい共振振動数及び静的剛性等の特性を与えるのに望
ましい。前記屈曲部は、前記後部に一体に延長し、該後
部はロードビームの横エッジに対して概ね平坦にされか
つ固定される。前記フレクシャの後部は、前記読取り/
書込み電子回路に接続するために前記アクチュエータア
ームアセンブリに向けて延長する。
【0018】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照しつつ、本
発明について詳細に説明する。添付図面において、類似
の構成要素には類似の参照符号を付して示す。図中の各
構成要素の寸法は一定の割合で即ち正確な比率で描かれ
たものではなく、説明のために分かり易く表示されてい
る。
【0019】図1は、アクチュエータアームアセンブリ
2と、共通軸5を中心に間隔をおいて回転可能に積層し
た多数のディスク4とを有するディスクドライブ装置を
部分的に示している。アクチュエータアームアセンブリ
2は、アクチュエータアームの軸線6を中心として回転
可能である。アクチュエータアームアセンブリ2は、デ
ィスク4A及び4B間の間隙内に延長する複数のアクチ
ュエータアーム8A〜8Cを有する。各アクチュエータ
アーム8A〜8Cには、弾性ロードビーム12とフレク
シャ14とスライダ16とからなる磁気ヘッド用サスペ
ンション10が取り付けられている。
【0020】図2は、サスペンション10を更に詳細に
示している。ロードビーム12は、アクチュエータアー
ム8Aの穴22(図1)内に挿入可能なボス20を有す
るベース部18を備える。また、ロードビーム12は、
ベース部18と該ロードビーム12の突出部26との間
に配置された弾性部24を有する。弾性部24は、ベー
ス部18と突出部26との間で角度的な変位を生じさせ
るように形成されている。曲げの度合いにより、ディス
ク面28へのスライダ16の下向きの予荷重力が決定さ
れる。
【0021】また、弾性部24には開口30が設けられ
ている。開口30の大きさが、ロードビーム12の弾性
を決定することになる。突出部26は、該突出部のエッ
ジに沿って一体に形成された1対の補強リブ又は補強領
域(図示せず)により、通常比較的剛固に形成される。
しかしながら本発明によれば、フレクシャ14は、突出
部26に必要な機械的及び構造的支持を与えるように設
計し得るので、この補強用リブ対は任意により省略する
ことができる。
【0022】フレクシャ14は、部分的にロードビーム
12の突出部26の下側に配置される。フレクシャ14
には位置合わせ用穴34が、突出部26の対応する穴
(図示せず)に整合させ、それによりフレクシャ14を
適当な位置に配向するために設けられている。
【0023】図3及び図5に示されるように、フレクシ
ャ14には舌片36が一体に形成されている。スライダ
16は、例えば紫外線により硬化する接着剤により、参
照符号50で示される影線領域(図2)において舌片3
6に固着される。ロードビーム12にはディンプル(窪
み)38が形成され、舌片36に形成された逃げ穴65
を介してスライダ16の背面に押し当てられ、ジンバル
動作に寄与するようになっている。別の実施例では、デ
ィンプル38を舌片36上に形成し、ロードビーム12
の下側に押し当てることができる。変換器40はスライ
ダ16の後端に取り付けられる。スライダ16の背面に
は、接地電位の導体接触パッドが設けられている。
【0024】図4及び図6に関して、フレクシャ14
は、コンプリアントな誘導体層55により保持されかつ
電気的に絶縁された導体トレース57〜60からなるフ
レキシブル積層板で形成されている。誘導体層55は、
その片面にパターン形成した導体トレース57〜60を
接着した平坦で可撓性を有するシート材である。図7
は、異なるパターンの導体トレース57〜60を示して
おり、更に舌片36により前記ディンプルの逃げ穴65
が画定された状態を示している。誘導体層55は、プラ
スチック材料又はポリイミドのような高分子樹脂材料で
形成され、例えば接着層62により前記導電トレースに
接着される。
【0025】導体トレース57〜60は、鋼、ベリリウ
ム、金、銀のような導電材料で形成できるが、銅が望ま
しい導電率及び引張り係数を有することから好ましい。
図6は、導体トレース57〜60及びフレクシャ14の
下面が前記導体トレースの短絡を防止するために、外層
61で被覆された状態を示している。
【0026】フレクシャ14により、スライダ16がデ
ィスク4A上を浮動している間、平坦でないディスク面
28のトポロジ(幾何学的形態)に適応するために様々
な度合いの動きにおける十分な可撓性と、それにも係わ
らず、アクチュエータアームアセンブリ2の急激な動作
により生じることがあるあらゆる物理的変形に耐える十
分な剛性とが得られる。このために、導体トレース57
〜60は、スライダ16及びロードビーム12に対して
最適の機械的及び構造的支持を与えるようにパターン形
成されている。
【0027】図2及び図4は、末端部即ち前部71、屈
曲部72及び基端部即ち後部73を有するフレクシャ1
4が記載されている。前部71は、ロードビーム12の
突出部26に関して概ね対称形に延長し、かつそれに対
して略全長に沿って溶接又は接着により固着されてい
る。このような対称形は、望ましい共振振動数及び静的
剛性の特性が得られることがあることから望ましい。
【0028】誘導体層55は概ね均一な厚さを有する
が、その応力及び荷重負担分布を最適化するために、誘
導体層55のある部分の厚さを変更することが可能であ
り、又は望ましい場合がある。例えば、図7に関して、
舌片36を形成する誘導体層55の部分の厚さは、その
他の前部71、特に導体トレース57〜60が設けられ
ている部分の厚さよりも任意により厚くすることができ
る。
【0029】更に剛性及び強度を増すため、又は前記ス
ライダとフレクシャの舌片とを結合するために用いる接
着剤の流れ又はフレクシャの平坦さを制御するために、
導電材料又は非導電材料で形成される補強リブ又はトレ
ース77(図7)を追加して誘導体層55上にパターン
形成することができる。図7に示す構成では、補強リブ
77が破線で示され、かつロードビーム12に接着する
ためにフレクシャ14の上面に設けられている。補強リ
ブ77は単数又は複数の接着部位(bond site)95、
96及び前記接着剤の流れを制限するために周辺の外形
トレース97で形成されている。接着部位99も同様に
舌片36上に形成される。接着部位95、96、99
は、フレクシャ14の製造を容易にするための視覚的な
補助として用いることができる。別の実施例では、接着
部位99は、接地するために導電材料で形成することが
できる。
【0030】導体トレース57〜60は、スライダ16
上の対応するパッド57S〜60Sと接続するために、
その末端にフレクシャ14の最先端部において導体パッ
ド57P〜60Pがそれぞれ設けられている。このよう
な接続を得るための方法の例として、スティッチボンデ
ィングや超音波接着などがある。
【0031】図2及び図4に示す実施例では、フレクシ
ャ14の前部71が、空気ベアリング剛性とサスペンシ
ョン剛性との釣り合いを補助する形及び寸法に形成され
たウィング部78を有する。ウィング部78は、ロード
ビーム12の弾性部24の直近まで至る概ね一様で細長
いテール部に、同様にロードビーム12の下側を通って
一体に延長している。本発明の構成における目的の1つ
は、荷重力のばね定数への影響を最小にするために、テ
ール部79を可能な限りアクチュエータアームアセンブ
リ2に向けて延長させることである。
【0032】本実施例では、屈曲部72がロードビーム
の弾性部24の中央に近接する位置まで延長している。
屈曲部72は後部73に連続し、該後部はロードビーム
16の横エッジ85(図1及び図2)に対して概ね平坦
にされかつ固定されている。フレクシャ14の後部73
は、ディスク4Aの読取り/書込み電子手段(図示せ
ず)に接続するために後方に延長している。
【0033】空気ベアリングによりデイスク面28の上
方のスライダ16の浮動高さを決定させることは望まし
いが、ロードビーム12の機械的操作により浮上高さを
操作し得る十分に大きなサスペンションの剛性を有する
ことも同様に望ましい。本実施例では、前記導体トレー
ス及びその幾何学的パターンが、前部71の形状及び配
置に加えて、スライダ16に最適の剛性を与えるように
設計されかつ関連させてある。更に、導体トレース57
〜60は、一般に荷重及びモーメント負担部材として動
作するのに十分な幅を有する。
【0034】図5は、フレクシャ14の製造プロセスが
比較的簡単なことを示している。フレクシャ14は、プ
ラスチック材料又は高分子樹脂材料の単シート90上に
隣接するフレクシャ14を連続してパターン形成するこ
とにより、大量生産することができる。次に、外層61
(図6)をフレクシャ14の上面に付着させる。次にフ
レクシャ14をシート90から切断し、後部73の端部
のテストパッド92を用いて個々に試験する。フレクシ
ャ14の試験が成功すると、テストパッド92は切断さ
れ、本実施例では4個のパッド94〜97である接続パ
ッドが、読取り/書込み電子装置に接続するために露出
される。
【0035】本発明が上述した特定のパラメータ、材料
及び実施例に限定されるものではなく、その技術的範囲
内において様々な変形・変更を加えて実施し得ること
は、当業者であれば容易に理解される。
【0036】
【発明の効果】本発明の新規なサスペンションアセンブ
リによれば、ディスク対ディスク間の間隙を狭くし、製
造上歩留まりを向上させ、空気ベアリング剛性対サスペ
ンション剛性比を最適化し、変換器と前置増幅器回路又
はドライブ装置との間の導電状態を得るために使用され
る別個の導体ワイヤを排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のフレクシャを有する磁気ヘッド用サス
ペンションを備えたディスクドライブ装置を示す部分斜
視図である。
【図2】導体トレースは示していないがフレクシャを示
す図1のサスペンションの拡大底面図である。
【図3】回転ディスクに関するスライダの位置を示す図
2の3−3線におけるサスペンションの前部の部分断面
図である。
【図4】本発明の一実施例によりパターン形成された導
体トレースを示すフレクシャの前部の斜視図である。
【図5】製造方法を示すために、2個のフレクシャを横
に並べて示す平面図である。
【図6】図4の6−6線におけるフレクシャの拡大断面
図である。
【図7】本発明の別の実施例によりパターン形成された
導体トレースを示す図5のフレクシャの前部の拡大平面
図である。
【符号の説明】
2 アクチュエータアームアセンブリ 4、4A、4B ディスク 5 共通軸 6 軸線 8A〜8C アクチュエータアーム 10 サスペンション 12 ロードビーム 14 フレクシャ 16 スライダ 18 ベース部 20 ボス 22 穴 24 弾性部 26 突出部 28 ディスク面 30 開口 34 位置合わせ用穴 36 舌片 38 ディンプル 40 変換器 50 影線領域 55 誘導体層 57〜60 導体トレース 57S〜60S パッド 57P〜60P 導体パッド 61 外層 62 接着層 65 逃げ穴 71 前部 72 屈曲部 73 後部 77 補強リブ 78 ウィング部 79 テール部 85 横エッジ 90 シート 92 テストパッド 94〜97 パッド 95、96 接着部位 97 外形トレース 99 接着部位
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ケビン・パトリック・ハンラハン アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 95125,サン・ノゼ,カミーノ・ラモン・ 1077 (72)発明者 ヤオ−ティー・シア アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 94588,プレザントン,パーマー・ドライ ブ・1908

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転する磁気ディスクとの間でデータを
    変換するための磁気ヘッド用サスペンションアセンブリ
    であって、 ロードビームと、 前記ロードビームに固定され、その中に導体トレースの
    パターンを形成した誘導体層を有するフレクシャと、 前記フレクシャに固定され、磁気変換器を支持する空気
    ベアリングスライダとからなり、前記ロードビームが前
    記スライダに力を供給して、前記スライダを前記磁気デ
    ィスクの前記面の上方に所望の高さに維持し、 前記導体トレースが、様々な度合いの動きにおける可撓
    性と物理的変形に耐える剛性とを可能にし、かつ前記ス
    ライダ及び前記ロードビームを機械的かつ構造的に最適
    に支持し、かつ前記変換器を読取り/書込み回路に電気
    的に接続するようにパターン形成されていることを特徴
    とする磁気ヘッド用サスペンションアセンブリ。
  2. 【請求項2】 前記誘導体層が高分子樹脂材料で形成さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド用
    サスペンションアセンブリ。
  3. 【請求項3】 前記誘導体層がポリイミドで形成されて
    いることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド用サス
    ペンションアセンブリ。
  4. 【請求項4】 前記誘導体層がプラスチックで形成され
    ていることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド用サ
    スペンションアセンブリ。
  5. 【請求項5】 前記導体トレースが銅で形成されている
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド用サスペン
    ションアセンブリ。
  6. 【請求項6】 前記フレクシャが前部、屈曲部及び後部
    を有し、 前記ロードビームが突出部を有し、 前記前部が前記突出部に関して実質的に対称形に延長
    し、かつ最適の共振振動数及び剛性特性を与えるように
    前記突出部に固着されていることを特徴とする請求項1
    記載の磁気ヘッド用サスペンションアセンブリ。
  7. 【請求項7】 前記ロードビームが横エッジを有し、か
    つ前記屈曲部が前記後部と一体をなすように延長し、該
    後部が前記横エッジに対して概ね平坦にされかつ該横エ
    ッジに固定されていることを特徴とする請求項6記載の
    磁気ヘッド用サスペンションアセンブリ。
  8. 【請求項8】 前記前部が、前記ロードビームの下側
    を、前記ロードビームの弾性部分の直近まで至る概ね一
    様な細長いテール部まで一体的に延長するウィング部を
    有することを特徴とする請求項7記載の磁気ヘッド用サ
    スペンションアセンブリ。
  9. 【請求項9】 前記誘導体層が概ね均一な厚さを有する
    ことを特徴とする請求項7記載の磁気ヘッド用サスペン
    ションアセンブリ。
  10. 【請求項10】 前記誘導体層の各部分が、その応力及
    び荷重負担分布を最適化するために異なる膜厚を有する
    ことを特徴とする請求項7記載の磁気ヘッド用サスペン
    ションアセンブリ。
  11. 【請求項11】 前記フレクシャの剛性を増加し、かつ
    前記フレクシャの平坦性を制御するために、前記フレク
    シャ上に設けられた補強領域を更に有することを特徴と
    する請求項7記載の磁気ヘッド用サスペンションアセン
    ブリ。
  12. 【請求項12】 前記補強領域により接着剤の流れが制
    限されることを特徴とする請求項11記載の磁気ヘッド
    用サスペンションアセンブリ。
  13. 【請求項13】 単数又は複数の接着部位を更に有する
    ことを特徴とする請求項11記載の磁気ヘッド用サスペ
    ンションアセンブリ。
  14. 【請求項14】 前記フレクシャがテストパッドを有す
    ることを特徴とする請求項7記載の磁気ヘッド用サスペ
    ンションアセンブリ。
  15. 【請求項15】 少なくとも1つの前記接着部位により
    接地されていることを特徴とする請求項13記載の磁気
    ヘッド用サスペンションアセンブリ。
  16. 【請求項16】 回転する磁気ディスクの表面との間で
    データを変換するための磁気ヘッド用サスペンションア
    センブリに使用するためのフレクシャにおいて、前記磁
    気ヘッド用サスペンションが、スライダを前記ディスク
    面の上方に所望の高さに維持するように、指示された力
    を前記スライダに供給するためのロードビームを有し、
    前記スライダが前記フレクシャに固定されており、 前記ロードビームに固定された可撓性を有する誘導体層
    と、 前記誘導体層上に形成された導体トレースのパターンと
    を有し、 前記導体トレースが、様々な度合いの動きにおける十分
    な可撓性と物理的変形に耐える剛性とを可能にし、かつ
    前記スライダ及び前記ロードビームを機械的かつ構造的
    に最適に支持し、かつ前記変換器を読取り/書込み回路
    に電気的に接続するようにパターン形成され、 前記誘導体層がポリイミドで形成され、かつ前記導体ト
    レースが銅で形成されていることを特徴とするフレクシ
    ャ。
  17. 【請求項17】 少なくとも1つのスライダボンディン
    グパッドを有し、かつ前記導体トレースが前記スライダ
    ボンディングパッド直近まで延長していることを特徴と
    する請求項16記載のフレクシャ。
  18. 【請求項18】 前記フレクシャが逃げ穴を設けた舌片
    を有し、 前記ロードビームが、前記舌片の前記逃げ穴を介して前
    記スライダに直接作用するディンプルを有することを特
    徴とする請求項17記載のフレクシャ。
  19. 【請求項19】 前記スライダがその裏面において前記
    フレクシャに固定され、かつ前記スライダの裏面が接地
    電位の導電接触パッドを有することを特徴とする請求項
    18記載のフレクシャ。
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