JPH0921586A - 加熱乾燥方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被洗浄物に溶剤蒸気を短時間に効率良く供給
して乾燥時間を短縮し、洗浄品質を向上させる。 【構成】 密閉乾燥槽内に設置した被乾燥物を溶剤蒸気
で洗浄および乾燥する加熱乾燥方法において、密閉乾燥
槽を減圧しながら内部に溶剤蒸気を供給する工程と、こ
の密閉乾燥槽内への溶剤蒸気の供給を停止した後に、溶
剤蒸気を液化凝縮して回収する工程と、密閉乾燥槽内を
再度、減圧する工程とを行う。密閉乾燥槽内を徐々に減
圧しながら溶剤蒸気を密閉乾燥槽内の被乾燥物に供給す
るので、溶剤が突沸することなく潜熱を効果的に供給で
き、乾燥を短時間で行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学部品、金属部品等
の被乾燥物を導入して溶剤蒸気により減圧下で加熱乾燥
する加熱乾燥方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】有機溶剤を用いた洗浄方法には、有機溶
剤に被洗浄物を浸漬して行うディッピング法と、有機溶
剤の蒸気を被洗浄物に凝結させて行う蒸気洗浄法とがあ
る。ディッピング法の場合、液から被洗浄物を引き上げ
る際、例え液をオーバーフローさせたとしても、液面に
浮遊している油分が被洗浄物に付着して洗浄性能を低下
させるばりか、被洗浄物に付着している溶剤を回収する
ことが困難で溶剤消費量が増えたりする。蒸気洗浄法は
このようなことがないところから、多用されている。

【０００３】従来より用いられている蒸気洗浄法として
は、実公平５−２９１１３号公報に記載されたものがあ
る。図３はこの方法にもちいられる装置を示し、内部の
空気を真空ポンプ２２０により排除可能な気密洗浄槽２
１０と、気密洗浄槽２１０の下方に連接された溶剤蒸気
槽２３０と、溶剤蒸気槽２３０の内部を減圧して気密洗
浄槽２１０内で液化した溶剤を溶剤蒸発槽２３０に排出
するためのエゼクタ２７０からなる真空装置と、エゼク
タ２７０に接続され溶剤を真空蒸留して冷却回収するた
めの作動ポンプ２６０と、溶剤蒸発槽２３０内の溶剤を
循環するための循環ポンプ２４０を含む溶剤循環装置２
００とから構成されている。

【０００４】この装置では、気密洗浄槽２１０に被洗浄
物を入れ、密閉した後、気密洗浄槽２１０内の空気を真
空ポンプ２２０で排除して１００Ｔｏｒｒ以下の減圧状
態とする。ついで、溶剤蒸発槽２３０で発生した溶剤蒸
気を気密洗浄槽２１０に送入して洗浄する。洗浄終了時
には気密洗浄槽２１０内の気圧は概略１気圧になる。こ
のとき、被洗浄物に付着した溶剤蒸気は液化し、一部は
落下して気密洗浄槽２１０内に落下するが、残りは被洗
浄物に付着したまま残る。

【０００５】ついで溶剤蒸気の送入を止めて、気密洗浄
槽２１０の底部に溜まった溶剤を溶剤蒸発槽２３０に移
送するために、作動ポンプ２６０を作動させて溶剤回収
受槽２５０の溶剤を循環させてエゼクタ２７０によって
減圧し、溶剤蒸発槽２３０の槽内圧力を低下させ、中間
弁２１２を開き、気密洗浄槽２１０の底部から溶剤蒸発
槽２３０への溶剤の流下を容易にする。

【０００６】この装置により被洗浄物の乾燥をも行う場
合、気密洗浄槽２１０の底部に溜まった溶剤の溶剤蒸発
槽２３０への流下を行った後、再度、気密洗浄槽２１０
内の空気及び液化せずに残存している溶剤蒸気を、作動
ポンプ２６０を作動させてエゼクタ２７０に吸引し、気
密洗浄槽２１０内を真空にし、被洗浄物に付着して液化
した溶剤蒸気を蒸発して乾燥させる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した装置を用いて
被洗浄物の乾燥まで行う場合、被洗浄物に充分な溶剤蒸
気を供給して被洗浄物に対して潜熱を供給し、乾燥では
被洗浄物に付着して液化した溶剤蒸気の蒸発を促進する
ため気密洗浄槽２１０を高度の減圧状態とする必要があ
る。このことは、特に被乾燥物がリードフレーム等の積
層部品のような乾燥の困難な場合には潜熱の供給を充分
に行う必要がある。

【０００８】ところが実公平５−２９１１３号公報では
溶剤蒸気供給前に気密洗浄槽２１０を真空にした後に溶
剤蒸発槽２３０と気密洗浄槽２１０とを配管で接続する
ため、気密洗浄槽２１０内が飽和状態に達する。このた
め気密洗浄槽２１０への溶剤蒸気の供給量が激減する。

【０００９】このため溶剤蒸気量を増す目的で気密洗浄
槽の真空度を上げると、気密洗浄槽２１０と溶剤蒸発槽
２３０とを接続した時に、溶剤蒸発槽２３０の圧力が急
激に変化し、溶剤蒸発槽２３０の溶剤が突沸してしま
い、溶剤と共に溶剤蒸発槽２３０内に浮遊している不純
物が被洗浄物に付着する。このため従来の装置では、乾
燥を行うことができない不便さを有していた。

【００１０】また、エゼクタ２７０の減圧効率と到達真
空度は作動流体の温度の飽和蒸気圧に依存するから、乾
燥工程において気密洗浄槽２１０内の高温の溶剤蒸気を
吸引して、気密洗浄槽２１０を真空にすることはできな
い。

【００１１】本発明は以上のような従来技術の問題点を
考慮してなされたものであり、被洗浄物に溶剤蒸気を短
時間で効率良く供給することで潜熱の供給を行い、ま
た、乾燥では高温の溶剤蒸気の吸引による作動流体の温
度上昇を防止して減圧効果の低下を抑止し、洗浄品質を
損なうことなく乾燥工程のサイクルタイムとタクトタイ
ムを短縮し、これにより乾燥効率を増大させることが可
能な加熱乾燥方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明の加熱乾
燥方法は、密閉乾燥槽内に設置した被乾燥物を溶剤蒸気
で洗浄および乾燥する加熱乾燥方法において、前記密閉
乾燥槽を減圧しながら内部に溶剤蒸気を供給する工程
と、この密閉乾燥槽内への溶剤蒸気の供給を停止した後
に、溶剤蒸気を液化凝縮して回収する工程と、前記密閉
乾燥槽内を再度、減圧する工程と、を有するものであ
る。

【００１３】図１は本発明が適用される装置の基本構成
を示し、密閉乾燥槽２内に被乾燥物１が導入されてい
る。被乾燥物１としては、例えば、レンズ、平板、プリ
ズム等の光学部品や枠、リュウズ、ネジ、ボディ等の機
械部品の他、金属部品、プラスチック部品、メッキ部
品、塗装部品、リードフレーム等の電子部品、半導体部
品を選択することができる。この被乾燥物１は洗浄が終
了した後、乾燥するために密閉乾燥槽２に導入する。密
閉乾燥槽２としては簡易性の点から、チャンバー、オー
トクレーブ等が好ましい。密閉乾燥槽２の材質は、耐熱
性、耐久性、アウトガスが少ないという点から、好まし
くは金属、耐薬性、腐食性の点から更に好ましくはステ
ンレス合金、アルミニウム合金等を採択使用する。な
お、以下記載を省略するが、他の構成部材や配管等も同
様の理由から同様の材質が好ましい。

【００１４】密閉乾燥槽２の下方にバルブ３Ａ、好まし
くはバタフライバルブを介して溶剤蒸発槽４を接続す
る。溶剤蒸発槽４は図示しないボイラからの過熱蒸気、
スチームの供給を受ける加熱コイルを内部に有したリボ
イラー等であり、その内部に貯蓄された有機溶剤を加熱
して溶剤蒸気を発生させ、バルブ３Ａを開けることによ
り、密閉乾燥槽２に溶剤蒸気を供給する。密閉乾燥槽２
内を減圧する液封ポンプ５の吸引口５ａは、密閉乾燥槽
２の上方に設けられた蒸気排出口２ａに、例えばコンデ
ンサー等の冷却器１５とバルブ３Ｅを介して接続され、
バルブ３Ｅを開けることにより、密閉乾燥槽２内の溶剤
蒸気および空気は液封ポンプ５に吸引される。

【００１５】密閉乾燥槽２内の被乾燥物１の設置場所は
密閉乾燥槽２の上方に設けられた蒸気排出口２ａと、下
方に設けられたバルブ３Ａに接続される蒸気導入口２ｂ
とを結んだ部分、すなわち溶剤蒸気の通り道である。密
閉乾燥槽２の内部には加熱／冷却切換部材６、例えばス
テンレス性のフレキシブル配管をコイル状とし、過熱蒸
気やスチームと冷却水とを切換自在に配管したものを挿
入してある。凝縮により密閉乾燥槽２内で液化した凝縮
液を回収する凝縮液回収タンク７は密閉乾燥槽２の下方
で、溶剤蒸発槽４より上方の間に位置し、その上方を密
閉乾燥槽２の底面とバルブ３Ｃを介して接続し、その下
方をバルブ３Ｂを介して溶剤蒸発槽４の上面と接続す
る。凝縮液回収タンク７の上方はバルブ３Ｇを介して溶
剤蒸発槽４の上方と連通されており、バルブ３Ｇを開く
ことにより、溶剤蒸発槽４と凝縮液回収タンク７との内
圧を等圧にすることができる。液封ポンプ５の排出口５
ｂは凝縮タンク８、例えば充填物、デミスター、グット
ロール等と冷却回路８Ａを内在させたデミスタータンク
を介して液封タンク９と接続する。液封ポンプ５は配管
１０により液封タンク９と連結されており、これによ
り、これらが同一液で満たされると共に同一液が循環し
ている。

【００１６】上記構成において、溶剤蒸発槽４及び液封
タンク９に１２０℃〜２００℃程度の沸点の有機溶剤を
満たす。バルブ３Ｅ及び３Ａは開とし、他の各バルブは
閉とする。液封ポンプ５を運転し、密閉乾燥槽２と溶剤
蒸発槽４とを３００Ｔｏｒｒ〜４００Ｔｏｒｒ程度に減
圧する。そして、バルブ３Ａ及び３Ｅを閉め、密閉乾燥
槽２に接続されたリーク弁３Ｎを開けて密閉乾燥槽２を
大気圧にする。溶剤蒸発槽４の加熱コイルにボイラから
スチームを供給して、減圧下での溶剤の沸点温度である
１２０℃〜２００℃に有機溶剤を加熱し、有機溶剤の蒸
気を発生させる。その時の溶剤蒸発槽４の圧力は時間経
過と共に大気圧に近づく。

【００１７】密閉乾燥槽２の内部の加熱／冷却切換え部
材６にもボイラからスチームを供給して溶剤蒸発槽４と
同等の温度、減圧下での溶剤の沸点温度の１１０℃〜１
９０℃程度に密閉乾燥槽２の内部を予備加熱する。以上
で運転準備操作を終了する。このように一連の準備操作
を減圧下で行うことは、有機溶剤を蒸気化する温度を、
大気圧下での溶剤の沸点温度から減圧下での沸点温度ま
で下げるメリットがある。

【００１８】次に乾燥を行う場合を述べると、密閉乾燥
槽２に蓋（図示省略）を設け、この蓋を開けて内部に被
乾燥物１を導入した後、蓋を閉め、密閉乾燥槽２を密閉
状態にする。そして、バルブ３Ｅ、３Ａ及び３Ｃを開
け、液封ポンプ５を駆動して、溶剤蒸発槽４から密閉乾
燥槽２に溶剤蒸気を導入しながら、密閉乾燥槽２の内
部、溶剤蒸発槽４の内部及び凝縮液回収タンク７の内部
を徐々に、５００Ｔｏｒｒ〜６６０Ｔｏｒｒ程度に減圧
する。この時の真空度が高すぎると、溶剤蒸気量が多す
ぎ、液封ポンプの減圧効果の低下を招く恐れがあり、低
すぎると溶剤蒸気量が少なすぎ、被乾燥物への潜熱供給
が不十分で乾燥が不完全になる恐れがある。溶剤蒸発槽
４を減圧しながら密閉乾燥槽２に溶剤蒸気を導入するこ
とにより溶剤の蒸発が活発になり、より多くの溶剤蒸気
が導入できる。

【００１９】被乾燥物１は密閉乾燥槽２内の溶剤蒸気の
通り道に設置されており、効率的に溶剤蒸気による潜熱
が供給される。蒸発潜熱を奪われた溶剤蒸気は凝縮して
液化し、一部はそのまま被乾燥物１に付着し、残りは落
下して密閉乾燥槽２の底部から凝縮液回収タンク７へ回
収される。また一部の溶剤蒸気は被乾燥物１に接触せ
ず、凝縮液化しないで密閉乾燥槽２から液封ポンプ５に
より吸引され、冷却器１５により冷却、液化され凝縮タ
ンク８に回収される。冷却器１５は溶剤蒸気を冷却して
液化し、作動流体の温度上昇を防止し、減圧効果の低下
を抑止するように作用する。液封ポンプ５の排出口５ｂ
から排出される冷却器１５で液化しなかった有機溶剤蒸
気は凝縮タンク８により凝縮して液化し、液封タンク９
へ回収される。凝縮タンク８の内部は冷却回路８Ａによ
り１０°Ｃから２０°Ｃ程度に冷却されている。冷却温
度がこれよりも高いと液封ポンプ５の減圧能力が低下し
易い。反対に冷却温度がこれよりも低いと冷却回路８Ａ
の表面が結露して溶剤中に水分が混入し易い。

【００２０】次に、バルブ３Ｅを閉じ、バルブ３Ａを開
けたまま、引き続き密閉乾燥槽２に溶剤蒸気を導入す
る。被乾燥物１は溶剤蒸気により更に加熱され、蒸発潜
熱を奪われた蒸気は凝縮して液化する。この時、溶剤蒸
発槽４、及び密閉乾燥槽２の内部の圧力は新たに蒸発す
る溶剤蒸気により徐々に大気圧に近づく。蒸気の供給を
一定時間行った後、バルブ３Ａを閉め、蒸気の供給を停
止する。密閉乾燥槽２の内部の加熱／冷却切り換え部材
６に冷却水を供給し、密閉乾燥槽２の内部に残留する蒸
気の凝縮による液化を促進する。この時、液化した凝縮
液も凝縮液回収タンク７へ回収される。

【００２１】そしてバルブ３Ｃを閉じ、バルブ３Ｂ、及
び３Ｇを開き、凝縮液回収タンク７の凝縮液を溶剤蒸発
槽４に流下させる。バルブ３Ｇは凝縮回収タンク７の内
部と溶剤蒸発槽４の内部の圧力を均圧にし、凝縮液の流
下を速やかに行う効果がある。更に、バルブ３Ｅを開
け、液封ポンプ５を駆動し、密閉乾燥槽２の内部を１０
Ｔｏｒｒ〜５０Ｔｏｒｒ程度迄減圧し、被乾燥物１を一
定時間乾燥する。次に、バルブ３Ｅを閉じてリーク弁３
Ｎを開け、密閉乾燥槽２内を大気圧に戻し、被乾燥物１
を取り出す。

【００２２】

【実施例】

（実施例１）図２は本発明の実施例１が適用される加熱
乾燥装置の構成を示す。この加熱乾燥装置は耐薬性、耐
腐食性の高いＳＵＳ３０４により全体が形成されてい
る。内容積約４０リットルのチャンバー１０２の内部
に、沸点１４０°Ｃの洗浄兼乾燥液である商品名「ＥＥ
−３４１０（オリンパス光学工業（株）製）」で洗浄し
た５０枚が密着状態のリードフレーム１０１を導入す
る。このリードフレームはニッケルにより成形されてお
り、１枚が厚さ１ｍｍで約３０×２００ｍｍの大きさと
なっている。チャンバー１０２にはリークバルブ１０３
Ｎが設置してある。チャンバー１０２の下方にバタフラ
イバルブ１０３Ａを介し、リボイラー１０４を連結す
る。リボイラー１０４はボイラからのスチームの供給を
受ける加熱コイルを内部に有しており、内容積は約３０
リットルでＥＥ−３４１０を約２０リットル程供給して
ある。

【００２３】チャンバー１０２内を減圧する液封ポンプ
１０５の吸引口１０５ａを、バルブ１０３Ｅとコンデン
サー１１５と気液分離器１１６とバルブ１０３Ｋを介し
てチャンバー１０２の上方に接続する。チャンバー１０
２の内部には加熱／冷却切換えコイル１０６が設けられ
ている。このコイル１０６に対してはスチームと冷却水
を切換自在に配管しておく。チャンバー１０２内のリー
ドフレーム１０１の設置場所はチャンバー１０２の上方
に設けられたバルブ１０３Ｅと接続される１０２Ａと、
下方に設けられたバタフライバルブ１０３Ａと接続され
る蒸気導入口１０２Ｂとを結んだ所、すなわち溶剤蒸気
の通り道に設けられている。凝縮液回収タンク１０７は
内容積５リットル程度で、その上方をチャンバー１０２
の下方とバルブ１０３Ｃを介して接続し、下方をバルブ
１０３Ｂを介してリボイラー１０４の上方と接続する。
又、凝縮液回収タンク１０７の上方は、バルブ１０３Ｇ
を介してリボイラー１０４の上方と連通されている。

【００２４】液封ポンプ１０５の排出口１０５ｂは充填
物、デミスター、グットロール等と冷却回路１０８Ａを
内在させたデミスタータンク１０８を介し、液封タンク
１０９と接続する。液封タンク１０９は内容積２０リッ
トル程度でＥＥ−３４１０を１０リットル程供給してあ
る。液封ポンプ１０５は配管１１０により液封タンク１
９と連結されており、ＥＥ−３４１０で満たされ循環し
ている。デミスタータンク１０８、液封タンク１０９は
冷却水を供給できる構造であり、コンデンサー１１５に
は常時冷却水を循環しておく。

【００２５】このような構成に対し、本実施例ではリボ
イラー１０４、液封タンク１０９、液封ポンプ１０５及
びそれらを連通する配管にＥＥ−３４１０を満たす。バ
ルブ１０３Ｅ及びバタフライバルブ１０３Ａは開、他の
各バルブは閉とする。液封ポンプ１０５を運転し、チャ
ンバー１０２とリボイラー１０４を３６０Ｔｏｒｒ程度
に減圧する。液封ポンプ１０５の排気流量は毎分５００
リットル程度である。

【００２６】バルブ１０３Ｅ及びバタフライバルブ１０
３Ａを閉め、リーク弁１０３Ｎを開けチャンバー１０２
内を大気圧にする。リボイラー１０４の加熱コイルにボ
イラからスチームを供給し、１３０℃程度にＥＥ−３４
１０を加熱して蒸気を発生させる。その時のリボイラー
１０４の圧力は蒸発した溶剤蒸気により、時間経過とと
もに大気圧に近づく。チャンバー１０２の内部の加熱／
冷却切換えコイル１０６にもボイラからスチームを供給
し、リボイラー１０４と同等の温度、１３０℃程度にチ
ャンバー１０２及びその内部を予備加熱する。以上で運
転準備操作を終了する。この一連の準備操作を減圧下で
行うことは、ＥＥ−３４１０を蒸気化する温度を、大気
圧下での溶剤の沸点温度（１４０℃）から減圧下での沸
点温度（１３０℃）まで下げるように作用する。

【００２７】この後、チャンバー１０２にＥＥ−３４１
０で洗浄したリードフレーム５００枚１０１を導入す
る。バルブ１０３Ａ、１０３Ｃ及び１０３Ｅを開け、液
封ポンプ１０５を駆動し、チャンバー１０２に溶剤蒸気
を導入しながら、チャンバー１０２の内部、リボイラー
１０４の内部、及び凝縮液回収タンク１０７の内部を６
００Ｔｏｒｒ程度に減圧する。

【００２８】リードフレーム１０１はチャンバー１０２
内の溶剤蒸気の通り道に設置されており、効率的にＥＥ
−３４１０の蒸気により潜熱が供給される。潜発潜熱を
奪われたＥＥ−３４１０の蒸気は凝縮して液化し、一部
はそのままリードフレームに付着し、残りは落下し、チ
ャンバー１０２の底部より凝縮液回収タンク１０７へ回
収される。また一部の蒸気はリードフレーム１０１に接
触せず、液化しないでチャンバー１０２より液封ポンプ
１０５により吸引され、コンデンサー１１５により冷
却、液化され、デミスタータンク１０８に回収される。

【００２９】次に、バルブ１０３Ｅを閉じ、バタフライ
バルブ１０３Ａを開けたまま、引き続きチャンバー１０
２にＥＥ−３４１０の蒸気を導入する。リードフレーム
１０１はＥＥ−３４１０の蒸気により更に加熱され、蒸
発潜熱を奪われた蒸気は凝縮液化する。この時、リボイ
ラー１０４、チャンバー１０２、及び凝縮液回収タンク
内部の圧力は、新たに発生するＥＥ−３４１０の蒸気に
より徐々に大気圧に近づく。

【００３０】この蒸気の供給を３０秒程度行い、バルブ
バタフライ１０３Ａを閉め、蒸気の供給を停止する。チ
ャンバー１０２の内部の加熱冷却切換えコイル１０６に
冷却水を供給してチャンバー１０２の内部に残留する蒸
気の凝縮液化を促進する。この時、凝縮によって液化し
た凝縮液も凝縮液回収タンク１０７に回収される。バル
ブ１０３Ｃを閉じ、バルブ１０３Ｂ、１０３Ｇを開け、
凝縮液回収タンク１０７に溜まった凝縮液をリボイラー
１０４へ流下させる。更に、バルブ１０３Ｅを開け液封
ポンプ１０５を駆動し、チャンバー１０２の内部を５０
Ｔｏｒｒ程度迄減圧し、リードフレーム１０１を乾燥す
る。

【００３１】コンデンサー１１５はＥＥ−３４１０ガス
を冷却して液化し、作動流体としてのＥＥ−３４１０の
温度上昇を防止し、減圧効果の低下を抑止するように作
用する。液封ポンプ１０５の排出口１０５ｂから排出さ
れるＥＥ−３４１０の蒸気はデミスタータンク１０８に
より凝縮して液化され、液封タンク１０９へ回収され
る。液封ポンプ１０５は配管１１０により液封タンク１
０９と同一のＥＥ−３４１０で満たされている。バルブ
１０３Ｅを閉じ、リーク弁１０３Ｎを開け、チャンバー
１０２内を大気圧に戻す。そしてリードフレーム１０１
をチャンバー１０２から取り出す。

【００３２】以上のような本実施例では、ＥＥ−３４１
０の供給停止後、チャンバー内を減圧し、約９０秒間
で、全体で４分程度でリードフレームを完全に乾燥でき
た。また、ＥＥ−３４１０を大気圧下の沸点１４０℃よ
り１０℃低い温度で蒸気化できるため、熱効率が向上し
た。

【００３３】（実施例２）実施例１のＥＥ−３４１０に
代えて、沸点が１５０°Ｃの洗浄兼乾燥液である商品名
「ＥＥ−３１１０（オリンパス光学工業（株）製）」で
洗浄した厚さ１ｍｍ、約１００×１００ｍｍのガラス基
板を５０枚密着させた状態でチャンバー１０２内に導入
して乾燥に供した。本実施例では装置の全体にもＥＥ−
３１１０を用いた。他の構成は実施例１と同様である。

【００３４】この実施例では、リボイラー内のＥＥ−３
１１０とチャンバーの予備加熱を１４０℃程度で行っ
た。ＥＥ−３１１０の蒸気供給時の減圧度は５５０Ｔｏ
ｒｒ程度とし、他の条件は実施例１と同様に行った。こ
の実施例ではガラス基板を全体で６分程度で完全に乾燥
できた。

【００３５】（実施例３）実施例１のＥＥ−３４１０に
代えて、沸点１７０°Ｃの洗浄兼乾燥液である商品名
「ＮＳクリーン１００（日光石油化学（株）製）」で洗
浄した真鍮からなる約３×１．５ミリ程度の中空ネジ
（時計の部品に使用されるネジ）１万個を積層状態でチ
ャンバー１０２内に導入して乾燥に供した。本実施例に
おいても装置全体にＮＳクリーン１００を用いた。他の
構成は実施例１と同様である。

【００３６】この実施例では、リボイラー内のＮＳクリ
ーン１００とチャンバーの予備加熱を１６０℃程度で行
い、他の条件は実施例１と同様に行った。この実施例で
は上述した時計部品を全体で３分程度で完全に乾燥でき
た。

【００３７】以上の実施例から本発明では、以下の態様
を含むものである。 （１）加熱／冷却切り換え手段を揺する密閉乾燥槽内に
設置した被乾燥物を溶剤蒸気で洗浄及び乾燥する方法に
おいて、前記加熱／冷却切り換え手段により密閉乾燥槽
内を加熱すると共に、密閉乾燥槽内を減圧しながら内部
に溶剤蒸気を供給する工程と、この溶剤後記の供給を停
止した後、前記加熱／冷却切り換え手段で密閉乾燥槽内
を冷却して溶剤蒸気を凝縮して液化し、回収する工程
と、前記密閉乾燥槽内を再度、減圧する工程と、を備え
ていることを特徴とする加熱乾燥方法。 （２）密閉乾燥槽内に設置した被乾燥物を密閉乾燥槽に
接続した溶剤蒸発槽で生成した溶剤蒸気により洗浄及び
乾燥する方法において、前記密閉乾燥槽及び溶剤蒸発槽
を減圧しながら密閉乾燥槽内に溶剤蒸気を供給する工程
と、この溶剤蒸気の供給を停止したあと、溶剤蒸気を凝
縮して液化し、回収する工程と、前記密閉乾燥槽内を再
度、減圧する工程と、を有することを特徴とする加熱乾
燥方法。 （３）上記（１）または（２）項において、密閉乾燥槽
内の減圧を溶剤上記と同質の溶剤を作動流体とした液封
ポンプで行うことを特徴とする加熱乾燥方法。 （４）上記（１）または（２）項において、液封ポンプ
の作動流体を冷却することを特徴とする加熱乾燥方法。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、密閉乾燥槽内を徐々に減圧し
ながら溶剤蒸気を密閉乾燥槽内の被乾燥物に供給するの
で、溶剤が突沸することなく潜熱を効果的に供給でき
る。また液封ポンプの作動により溶剤蒸気を密閉乾燥槽
へ強制的に吸引するため、多量の溶剤蒸気が密閉乾燥槽
内に供給されて、潜熱の供給を行うことができる。この
ためリードフレーム等の積層部品のような乾燥の困難な
被乾燥物に対しても乾燥時間の短縮が可能となる効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に適用される加熱乾燥装置の基本構成を
示す回路図である。

【図２】本発明の実施例に適用される加熱乾燥装置の回
路図である。

【図３】従来より使用されている乾燥装置の回路図であ
る。

【符号の説明】

１ 被乾燥物 ２ 密閉乾燥槽 ４ 溶剤蒸発槽 ５ 液封ポンプ ６ 加熱／乾燥切り換え部材 ７ 凝縮液回収タンク ８ 凝縮タンク ９ 液封タンク

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密閉乾燥槽内に設置した被乾燥物を溶剤
   蒸気で洗浄および乾燥する加熱乾燥方法において、 前記密閉乾燥槽を減圧しながら内部に溶剤蒸気を供給す
   る工程と、この密閉乾燥槽内への溶剤蒸気の供給を停止
   した後に、溶剤蒸気を液化凝縮して回収する工程と、前
   記密閉乾燥槽内を再度、減圧する工程と、を有すること
   を特徴とする加熱乾燥方法。
2. 【請求項２】 前記密閉乾燥槽内の減圧を溶剤蒸気と同
   質の溶剤を作動流体とした液封ポンプで行うことを特徴
   とする請求項１記載の加熱乾燥方法。
3. 【請求項３】 前記液封ポンプの動作流体を冷却するこ
   とを特徴とする請求項２に記載の加熱乾燥方法。