JPH09210828A - 圧力センサおよびその調整方法 - Google Patents
圧力センサおよびその調整方法Info
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- JPH09210828A JPH09210828A JP3891896A JP3891896A JPH09210828A JP H09210828 A JPH09210828 A JP H09210828A JP 3891896 A JP3891896 A JP 3891896A JP 3891896 A JP3891896 A JP 3891896A JP H09210828 A JPH09210828 A JP H09210828A
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- Japan
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- pressure
- hole
- hybrid
- pressure sensor
- case
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ケースとハイブリッドＩＣとの密封性を増
し、より正確な圧力検出を行うことのできる安価な圧力
センサおよびその調整方法を提供すること。 【解決手段】 下ケース１２の底面の貫通孔１７と、ハ
イブリッドＩＣ１４に設けた貫通孔１５を一致させて密
着固定し、更に、前記ハイブリッドＩＣ１４の貫通孔１
５の上面を密封するようにセンサチップ１３を固定する
と共に、圧力導入孔１６を有する上ケース１１を前記下
ケース１２と一体化した圧力センサおよび引圧によって
行うその調整方法。
し、より正確な圧力検出を行うことのできる安価な圧力
センサおよびその調整方法を提供すること。 【解決手段】 下ケース１２の底面の貫通孔１７と、ハ
イブリッドＩＣ１４に設けた貫通孔１５を一致させて密
着固定し、更に、前記ハイブリッドＩＣ１４の貫通孔１
５の上面を密封するようにセンサチップ１３を固定する
と共に、圧力導入孔１６を有する上ケース１１を前記下
ケース１２と一体化した圧力センサおよび引圧によって
行うその調整方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサおよび
その調整方法に関し、特に、センサチップと回路をケー
ス内に収納した圧力センサおよびその調整方法に関す
る。
その調整方法に関し、特に、センサチップと回路をケー
ス内に収納した圧力センサおよびその調整方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図２に、従来の圧力センサの概略断面図
を示す。図２に示すように、従来の圧力センサ３０は、
下ケース２１の底面に、ハイブリッドＩＣ１４を接着
し、ハイブリッドＩＣ１４のハイブリッドＩＣ貫通孔１
５上に、センサチップ１３を接着した後、下ケース２１
と上ケース１１とを超音波溶着により一体化して形成さ
れる。
を示す。図２に示すように、従来の圧力センサ３０は、
下ケース２１の底面に、ハイブリッドＩＣ１４を接着
し、ハイブリッドＩＣ１４のハイブリッドＩＣ貫通孔１
５上に、センサチップ１３を接着した後、下ケース２１
と上ケース１１とを超音波溶着により一体化して形成さ
れる。
【０００３】このような圧力センサ３０では、上ケース
１１の圧力導入孔１６より加圧しながら、ハイブリッド
ＩＣ１４に搭載されているトリミング抵抗等を、下ケー
ス２１に設けた貫通孔２２より調整を行っていた。
１１の圧力導入孔１６より加圧しながら、ハイブリッド
ＩＣ１４に搭載されているトリミング抵抗等を、下ケー
ス２１に設けた貫通孔２２より調整を行っていた。
【０００４】これにより、従来の圧力センサでは、圧力
導入孔１６からの圧力に対して、下ケース２１に設けた
貫通孔１７、ハイブリッドＩＣ貫通孔１５からの圧力の
差圧をセンシングしている。
導入孔１６からの圧力に対して、下ケース２１に設けた
貫通孔１７、ハイブリッドＩＣ貫通孔１５からの圧力の
差圧をセンシングしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
圧力センサの調整方法では、ケースに調整用の貫通孔が
必要なため、ケースとハイブリッドＩＣとの気密性が悪
くなっていた。そのため、従来の圧力センサでは、リー
ク等で正確な圧力検出を行うことができなかった。又、
ケースの構造が複雑なため、ケースのコストアップの要
因となるという問題点があった。
圧力センサの調整方法では、ケースに調整用の貫通孔が
必要なため、ケースとハイブリッドＩＣとの気密性が悪
くなっていた。そのため、従来の圧力センサでは、リー
ク等で正確な圧力検出を行うことができなかった。又、
ケースの構造が複雑なため、ケースのコストアップの要
因となるという問題点があった。
【０００６】従って、本発明の目的は、ケースとハイブ
リッドＩＣとの気密性を増し、より正確な圧力検出を行
うことのできる安価な圧力センサおよびその調整方法を
提供することである。
リッドＩＣとの気密性を増し、より正確な圧力検出を行
うことのできる安価な圧力センサおよびその調整方法を
提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、下ケースの底
面に貫通孔を有し、該貫通孔上に、ハイブリッドＩＣに
設けた貫通孔を一致して密着固定し、更に、前記ハイブ
リッドＩＣの貫通孔の上面を密封するようにセンサチッ
プを固定すると共に圧力導入孔を有する上ケースを前記
下ケースと一体化したことを特徴とする圧力センサであ
る。
面に貫通孔を有し、該貫通孔上に、ハイブリッドＩＣに
設けた貫通孔を一致して密着固定し、更に、前記ハイブ
リッドＩＣの貫通孔の上面を密封するようにセンサチッ
プを固定すると共に圧力導入孔を有する上ケースを前記
下ケースと一体化したことを特徴とする圧力センサであ
る。
【０００８】又、本発明は、センサチップと回路をケー
ス内に搭載し、センサチップに加わる圧力の差圧を検出
する圧力センサにおいて、圧力センサの調整を引圧によ
って行うことを特徴とする圧力センサの調整方法であ
る。
ス内に搭載し、センサチップに加わる圧力の差圧を検出
する圧力センサにおいて、圧力センサの調整を引圧によ
って行うことを特徴とする圧力センサの調整方法であ
る。
【０００９】（作用）本発明では、圧力センサの調整を
引圧によって行うことにより、ケースに設けられた調整
用の貫通孔がいらなくなり、センサチップとケースとの
気密性が増し、より正確な圧力検出を行うことができる
圧力センサを安価で提供することができる。
引圧によって行うことにより、ケースに設けられた調整
用の貫通孔がいらなくなり、センサチップとケースとの
気密性が増し、より正確な圧力検出を行うことができる
圧力センサを安価で提供することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係わる圧力セン
サおよびその調整方法について、図面に基づき説明す
る。
サおよびその調整方法について、図面に基づき説明す
る。
【００１１】図１は、本発明の圧力センサの概略断面図
である。図１において、圧力センサ２０は、下ケース１
２の底部に、ハイブリッドＩＣ１４をシリコーン接着剤
により接着し、ハイブリッドＩＣ１４のハイブリッドＩ
Ｃ貫通孔１５上にセンサチップ１３をシリコーン接着剤
により接着する。
である。図１において、圧力センサ２０は、下ケース１
２の底部に、ハイブリッドＩＣ１４をシリコーン接着剤
により接着し、ハイブリッドＩＣ１４のハイブリッドＩ
Ｃ貫通孔１５上にセンサチップ１３をシリコーン接着剤
により接着する。
【００１２】次に、貫通孔１７、ハイブリッドＩＣ貫通
孔１５より引圧しながら、センサチップ１３の容量のば
らつきを補正するため、ハイブリッドＩＣ１４の出力信
号のオフセット・ゲイン等の調整をハイブリッドＩＣ１
４上のトリミング抵抗により行う。
孔１５より引圧しながら、センサチップ１３の容量のば
らつきを補正するため、ハイブリッドＩＣ１４の出力信
号のオフセット・ゲイン等の調整をハイブリッドＩＣ１
４上のトリミング抵抗により行う。
【００１３】ハイブリッドＩＣ１４の調整終了後、下ケ
ース１２と上ケース１１とを超音波溶着により一体化し
て、圧力センサが形成される。
ース１２と上ケース１１とを超音波溶着により一体化し
て、圧力センサが形成される。
【００１４】この調整法により、従来のケースに設けら
れた、図２に示す調整用の貫通孔２２がなくなり、ハイ
ブリッドＩＣとケースとの密封性が増し、圧力導入孔１
６からの圧力に対する、貫通孔１７、ハイブリッドＩＣ
貫通孔１５との差圧を正確にセンシングすることができ
る。
れた、図２に示す調整用の貫通孔２２がなくなり、ハイ
ブリッドＩＣとケースとの密封性が増し、圧力導入孔１
６からの圧力に対する、貫通孔１７、ハイブリッドＩＣ
貫通孔１５との差圧を正確にセンシングすることができ
る。
【００１５】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、ケースとハイブリッドＩＣとの密封性を増し、より
正確な圧力検出を行うことのできる安価な圧力センサお
よびその調整方法を提供することができる。
ば、ケースとハイブリッドＩＣとの密封性を増し、より
正確な圧力検出を行うことのできる安価な圧力センサお
よびその調整方法を提供することができる。
【図１】本発明の圧力センサの概略断面図。
【図２】従来の圧力センサの概略断面図。
１１ 上ケース １２，２１ 下ケース １３ センサチップ １４ ハイブリッドＩＣ １５ ハイブリッドＩＣ貫通孔 １６ 圧力導入孔 １７，２２ 貫通孔 ２０，３０ 圧力センサ
Claims (2)
- 【請求項１】 ケース内にセンサチップと回路を収納し
てなる圧力センサにおいて、下ケースの底面に貫通孔を
有し、該貫通孔上に、ハイブリッドＩＣに設けた貫通孔
を一致して密着固定し、更に、前記ハイブリッドＩＣの
貫通孔の上面を密封するように前記センサチップを固定
すると共に圧力導入孔を有する上ケースを前記下ケース
と一体化したことを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 センサチップと回路をケース内に搭載
し、センサチップに加わる圧力の差圧を検出する圧力セ
ンサにおいて、圧力センサの調整を引圧によって行うこ
とを特徴とする圧力センサの調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3891896A JPH09210828A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 圧力センサおよびその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3891896A JPH09210828A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 圧力センサおよびその調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09210828A true JPH09210828A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=12538603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3891896A Pending JPH09210828A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 圧力センサおよびその調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09210828A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19830538A1 (de) * | 1998-07-08 | 2000-01-20 | Siemens Ag | Drucksensor-Anordnung, insbesondere zur Druckerfassung in einem ölbeaufschlagten Druckbereich eines Kraftfahrzeuggetriebes |
| JP2014081351A (ja) * | 2012-03-09 | 2014-05-08 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体センサ装置及びこれを用いた電子装置 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP3891896A patent/JPH09210828A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19830538A1 (de) * | 1998-07-08 | 2000-01-20 | Siemens Ag | Drucksensor-Anordnung, insbesondere zur Druckerfassung in einem ölbeaufschlagten Druckbereich eines Kraftfahrzeuggetriebes |
| JP2014081351A (ja) * | 2012-03-09 | 2014-05-08 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体センサ装置及びこれを用いた電子装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040319 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040330 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040727 |