JPH09206718A - 除塵方法及び除塵シ−ト - Google Patents
除塵方法及び除塵シ−トInfo
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- JPH09206718A JPH09206718A JP4036396A JP4036396A JPH09206718A JP H09206718 A JPH09206718 A JP H09206718A JP 4036396 A JP4036396 A JP 4036396A JP 4036396 A JP4036396 A JP 4036396A JP H09206718 A JPH09206718 A JP H09206718A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】空気中に浮遊しているほこりや凹部、角に付着
しているほこりでも簡易な器具で容易に除塵できる除塵
方法を提供する。 【解決手段】粘着シ−ト1の裏面側にプレ−ト電極21
を有し、同粘着シ−ト1の表面に局部電極22を有する
除塵シ−トの両電極21−22間に電位差を作用させて
粘着シ−ト表面を静電的に吸引可能な状態にし、荷電さ
れたほこりを粘着シ−ト表面で捕獲する。
しているほこりでも簡易な器具で容易に除塵できる除塵
方法を提供する。 【解決手段】粘着シ−ト1の裏面側にプレ−ト電極21
を有し、同粘着シ−ト1の表面に局部電極22を有する
除塵シ−トの両電極21−22間に電位差を作用させて
粘着シ−ト表面を静電的に吸引可能な状態にし、荷電さ
れたほこりを粘着シ−ト表面で捕獲する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はほこり等を静電的に
除塵する方法及びその方法において使用する除塵シ−ト
に関するものである。
除塵する方法及びその方法において使用する除塵シ−ト
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、除塵方法として、粘着剤を使用す
る方法、静電界を使用する方法、更には静電界で吸引し
たほこりを粘着剤で固定する方法等が知られている。上
記粘着剤を使用する代表例としては、床面等でのほこり
を粘着ロ−ルで除塵する方法であり、静電界を利用する
代表例としては、放電極と除塵極との間に静電界を作用
させ、浮遊粒子にコロナ放電で電荷を与え、荷電粒子を
静電界によりク−ロン力を作用させて除塵極に吸引させ
る方法である。
る方法、静電界を使用する方法、更には静電界で吸引し
たほこりを粘着剤で固定する方法等が知られている。上
記粘着剤を使用する代表例としては、床面等でのほこり
を粘着ロ−ルで除塵する方法であり、静電界を利用する
代表例としては、放電極と除塵極との間に静電界を作用
させ、浮遊粒子にコロナ放電で電荷を与え、荷電粒子を
静電界によりク−ロン力を作用させて除塵極に吸引させ
る方法である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、粘着剤
を利用する方法では、粘着ロ−ルを接触させ得ない凹部
や角での除塵が不可であり、また、ほこりを吸引できな
いために空気中に浮遊するほこりの除塵も至難である。
他方、静電界を利用する方法では、高電圧を必要とし装
置の大型化が避けられない。
を利用する方法では、粘着ロ−ルを接触させ得ない凹部
や角での除塵が不可であり、また、ほこりを吸引できな
いために空気中に浮遊するほこりの除塵も至難である。
他方、静電界を利用する方法では、高電圧を必要とし装
置の大型化が避けられない。
【0004】本発明の目的は、空気中に浮遊しているほ
こりや凹部、角に付着しているほこりでも簡易な器具で
容易に除塵できる除塵方法及び除塵シ−トを提供するこ
とにある。
こりや凹部、角に付着しているほこりでも簡易な器具で
容易に除塵できる除塵方法及び除塵シ−トを提供するこ
とにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係る除塵方法
は、粘着シ−トの裏面側にプレ−ト電極を有し、同粘着
シ−トの表面に局部電極を有する除塵シ−トの両電極間
に電位差を作用させて粘着シ−ト表面を静電的に吸引可
能な状態にし、荷電されたほこり(以下、病原菌や微粒
子を含めてほこりと称する)を粘着シ−ト表面で捕獲す
ることを特徴とする構成であり、ほこりの荷電は紫外線
の照射により行うことができ、また、除塵シ−ト及びプ
レ−ト電極を通気性とし、除塵シ−トの厚み方向にほこ
り浮遊空気を通過させることもできる。本発明に係る一
の除塵シ−トは、粘着シ−トの裏面全体に誘電体層を介
してプレ−ト電極を設け、同粘着シ−トの表面に局部電
極を設け、しかも粘着シ−トの表面に凹凸を形成したこ
とを特徴とする構成である。もちろん、粘着シ−トの表
面は平滑面であってもよい。本発明に係る他の除塵シ−
トは、粘着シ−トの裏面全体に誘電体層を介してプレ−
ト電極を設け、同粘着シ−トの表面に局部電極を設け、
しかも誘電体層と粘着シ−トとの間または誘電体層とプ
レ−ト電極との間に非接触部を散在させたことを特徴と
する構成である。
は、粘着シ−トの裏面側にプレ−ト電極を有し、同粘着
シ−トの表面に局部電極を有する除塵シ−トの両電極間
に電位差を作用させて粘着シ−ト表面を静電的に吸引可
能な状態にし、荷電されたほこり(以下、病原菌や微粒
子を含めてほこりと称する)を粘着シ−ト表面で捕獲す
ることを特徴とする構成であり、ほこりの荷電は紫外線
の照射により行うことができ、また、除塵シ−ト及びプ
レ−ト電極を通気性とし、除塵シ−トの厚み方向にほこ
り浮遊空気を通過させることもできる。本発明に係る一
の除塵シ−トは、粘着シ−トの裏面全体に誘電体層を介
してプレ−ト電極を設け、同粘着シ−トの表面に局部電
極を設け、しかも粘着シ−トの表面に凹凸を形成したこ
とを特徴とする構成である。もちろん、粘着シ−トの表
面は平滑面であってもよい。本発明に係る他の除塵シ−
トは、粘着シ−トの裏面全体に誘電体層を介してプレ−
ト電極を設け、同粘着シ−トの表面に局部電極を設け、
しかも誘電体層と粘着シ−トとの間または誘電体層とプ
レ−ト電極との間に非接触部を散在させたことを特徴と
する構成である。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。図1の(イ)は本発明に係る除
塵シ−トの一例を示す説明図(平面図)、図1の(ロ)
は図1の(イ)におけるロ−ロ断面図である。図1の
(イ)及び図1の(ロ)において、1は粘着シ−トであ
り、支持基材11の片面に粘着剤層12を設けたものを
使用できる。21は粘着シ−ト1の裏面側に誘電体層3
を介して設けたプレ−ト電極である。22は粘着シ−ト
1の表面に設けた局部電極である。本発明に係る除塵シ
−トを用いて、空気中の浮遊ほこりを除塵するには、プ
レ−ト電極21をプラス極性(ア−ス)に、局部電極2
2をマイナス極性(−V0)にして両電極21−22間
に直流電位差を作用させ、空気を粘着シ−ト1の表面に
接して流動させる。
実施の形態を説明する。図1の(イ)は本発明に係る除
塵シ−トの一例を示す説明図(平面図)、図1の(ロ)
は図1の(イ)におけるロ−ロ断面図である。図1の
(イ)及び図1の(ロ)において、1は粘着シ−トであ
り、支持基材11の片面に粘着剤層12を設けたものを
使用できる。21は粘着シ−ト1の裏面側に誘電体層3
を介して設けたプレ−ト電極である。22は粘着シ−ト
1の表面に設けた局部電極である。本発明に係る除塵シ
−トを用いて、空気中の浮遊ほこりを除塵するには、プ
レ−ト電極21をプラス極性(ア−ス)に、局部電極2
2をマイナス極性(−V0)にして両電極21−22間
に直流電位差を作用させ、空気を粘着シ−ト1の表面に
接して流動させる。
【0007】周知の通り誘電体に電界を作用させると、
原子や分子内の電子の分布が電気力線の方向に偏った
り、イオン間の相対位置が変化する結果、双極子モ−メ
ントが誘導され、誘電体表面に分極電荷が発生し、その
分極電荷密度Pは誘電体の比誘電率をεr、電気力線の
強度をEとすれば、 P=Eε0(εr−1) で与えられる。而るに、図1において、プレ−ト電極2
1から誘電体層3及び粘着シ−ト1を経て局部電極22
に向かう電気力線が作用し、粘着シ−ト表面では、位置
に応じた強度及び方向の電気力線がその位置で屈折して
表面を抜け、局部電極22に向かっていくから、その表
面位置での電気力線強度、方向及び粘着剤の誘電率等で
与えられる密度の分極電荷が発生する。(この分極電荷
の極性は、通常、局部電極の極性と逆極性であり、加電
極性により定まる) 従って、ほこりが浮遊している空気を、ほこりを上記粘
着シ−ト表面の分極電荷と逆極性に荷電のうえ、上記し
たように、粘着シ−トの表面に接して流動させると、ほ
こりが粘着シ−ト表面にク−ロン力により吸引され、粘
着シ−ト表面に接触されて粘着固定される。なお、ほこ
りの荷電には、例えば、紫外線照射を使用できる。
原子や分子内の電子の分布が電気力線の方向に偏った
り、イオン間の相対位置が変化する結果、双極子モ−メ
ントが誘導され、誘電体表面に分極電荷が発生し、その
分極電荷密度Pは誘電体の比誘電率をεr、電気力線の
強度をEとすれば、 P=Eε0(εr−1) で与えられる。而るに、図1において、プレ−ト電極2
1から誘電体層3及び粘着シ−ト1を経て局部電極22
に向かう電気力線が作用し、粘着シ−ト表面では、位置
に応じた強度及び方向の電気力線がその位置で屈折して
表面を抜け、局部電極22に向かっていくから、その表
面位置での電気力線強度、方向及び粘着剤の誘電率等で
与えられる密度の分極電荷が発生する。(この分極電荷
の極性は、通常、局部電極の極性と逆極性であり、加電
極性により定まる) 従って、ほこりが浮遊している空気を、ほこりを上記粘
着シ−ト表面の分極電荷と逆極性に荷電のうえ、上記し
たように、粘着シ−トの表面に接して流動させると、ほ
こりが粘着シ−ト表面にク−ロン力により吸引され、粘
着シ−ト表面に接触されて粘着固定される。なお、ほこ
りの荷電には、例えば、紫外線照射を使用できる。
【0008】上記において、誘電体層3は粘着シ−ト1
に対する絶縁補強及び上記電界分布に対する調整作用を
奏する。而して、粘着シ−トの厚みを表面の凹凸化によ
り一定間隔またはランダムな間隔で変化させたり、また
は、粘着シ−トと誘電体層との間に非接触部(空間部)
を一定間隔またはランダムな間隔で形成すれば、除塵シ
−トの誘電率分布が不均一となり、その影響が粘着シ−
ト表面の電界分布に現れ、粘着シ−ト表面の荷電状態を
マイナス電荷部分とプラス電荷部分とを上記一定間隔ま
たはランダムな間隔で交互に点在させた状態にすること
が可能となる。従って、空気中の浮遊ほこりが何れの極
性で荷電されていても、除塵可能となる。
に対する絶縁補強及び上記電界分布に対する調整作用を
奏する。而して、粘着シ−トの厚みを表面の凹凸化によ
り一定間隔またはランダムな間隔で変化させたり、また
は、粘着シ−トと誘電体層との間に非接触部(空間部)
を一定間隔またはランダムな間隔で形成すれば、除塵シ
−トの誘電率分布が不均一となり、その影響が粘着シ−
ト表面の電界分布に現れ、粘着シ−ト表面の荷電状態を
マイナス電荷部分とプラス電荷部分とを上記一定間隔ま
たはランダムな間隔で交互に点在させた状態にすること
が可能となる。従って、空気中の浮遊ほこりが何れの極
性で荷電されていても、除塵可能となる。
【0009】上記において、粘着シ−ト表面での除塵が
進行するに従い、粘着シ−トの粘着力が低下されていく
ので、図2(図1と同一符号は同じ構成部分を示してい
る)に示すように、粘着シ−ト1を複数枚積層して使用
し、粘着力が低下して不十分になると、最上層の粘着シ
−トを剥離して新しい粘着面を表出させることができ
る。本発明に係る除塵方法及び除塵シ−トにおいては、
除塵シ−トを通気性とし、除塵の表面側に送風ファンを
設けるか、除塵シ−トの裏側に吸気ファンを設け、除塵
シ−トの厚み方向にほこり浮遊空気を通過させることも
できる。
進行するに従い、粘着シ−トの粘着力が低下されていく
ので、図2(図1と同一符号は同じ構成部分を示してい
る)に示すように、粘着シ−ト1を複数枚積層して使用
し、粘着力が低下して不十分になると、最上層の粘着シ
−トを剥離して新しい粘着面を表出させることができ
る。本発明に係る除塵方法及び除塵シ−トにおいては、
除塵シ−トを通気性とし、除塵の表面側に送風ファンを
設けるか、除塵シ−トの裏側に吸気ファンを設け、除塵
シ−トの厚み方向にほこり浮遊空気を通過させることも
できる。
【0010】本発明に係る除塵シ−トにおいて、粘着シ
−トには通常、支持基材の片面に粘着剤層を設けたもの
が使用される。その支持基材にはプラスチック製(例え
ば、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレン、
ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリアミド、エチレン−
酢酸ビニル共重合体、ウレタンゴム等)フィルム、
紙、、繊維、ネット、不織布、発泡体等を使用でき、粘
着剤には、アクリル系、ゴム系の感圧性粘着剤、SIS
やSBSを主体とするホットメルト系等を使用できる。
−トには通常、支持基材の片面に粘着剤層を設けたもの
が使用される。その支持基材にはプラスチック製(例え
ば、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレン、
ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリアミド、エチレン−
酢酸ビニル共重合体、ウレタンゴム等)フィルム、
紙、、繊維、ネット、不織布、発泡体等を使用でき、粘
着剤には、アクリル系、ゴム系の感圧性粘着剤、SIS
やSBSを主体とするホットメルト系等を使用できる。
【0011】本発明に係る除塵シ−トにおいて、誘電体
層にはポリ塩化ビニル板、ポリプロピレン板、ポリエチ
レン板、エポキシ樹脂板、繊維強化プラスチック板、ポ
リエステル板、ゴム板、ポリカ−ボネ−ト板、プリアク
リル板、フェノ−ル板等を使用できる。上記除塵シ−ト
の通気性は、孔を穿設することにより付与することもで
きる。また、粘着シ−トに対しては、穿孔に代え、支持
基材に発泡体、紙、不織布等の通気性基材を使用し、粘
着剤をこの基材の通気性を保持できる程度に含浸する
か、繊維状で塗布することができる。上記除塵シ−トの
粘着剤表面に凹凸を付するには、粘着剤をドットパタ−
ンで塗布したり、粘着剤層を発泡させる方法を使用でき
る。
層にはポリ塩化ビニル板、ポリプロピレン板、ポリエチ
レン板、エポキシ樹脂板、繊維強化プラスチック板、ポ
リエステル板、ゴム板、ポリカ−ボネ−ト板、プリアク
リル板、フェノ−ル板等を使用できる。上記除塵シ−ト
の通気性は、孔を穿設することにより付与することもで
きる。また、粘着シ−トに対しては、穿孔に代え、支持
基材に発泡体、紙、不織布等の通気性基材を使用し、粘
着剤をこの基材の通気性を保持できる程度に含浸する
か、繊維状で塗布することができる。上記除塵シ−トの
粘着剤表面に凹凸を付するには、粘着剤をドットパタ−
ンで塗布したり、粘着剤層を発泡させる方法を使用でき
る。
【0012】本発明に係る除塵シ−トにおいて、粘着シ
−トと誘電体層とプレ−ト電極との間は、両面粘着テ−
プ、接着剤またはクリップ等の物理的手段により一体化
される。また、枠縁の嵌着により一体化することもでき
る。本発明に係る除塵シ−トにおいて、誘電率分布を不
均一化するための空間部は、誘電体板を予め凹凸成形す
ることにより設けることができる。また、粘着シ−トと
誘電体板とを一体化する両面粘着テ−プの打ち抜きまた
は接着剤の部分塗布により形成することもできる。本発
明に係る除塵シ−トにおいては、粘着シ−トの粘着剤層
の表面積を増大するために、その表面に細かい凹凸を付
することもできる。
−トと誘電体層とプレ−ト電極との間は、両面粘着テ−
プ、接着剤またはクリップ等の物理的手段により一体化
される。また、枠縁の嵌着により一体化することもでき
る。本発明に係る除塵シ−トにおいて、誘電率分布を不
均一化するための空間部は、誘電体板を予め凹凸成形す
ることにより設けることができる。また、粘着シ−トと
誘電体板とを一体化する両面粘着テ−プの打ち抜きまた
は接着剤の部分塗布により形成することもできる。本発
明に係る除塵シ−トにおいては、粘着シ−トの粘着剤層
の表面積を増大するために、その表面に細かい凹凸を付
することもできる。
【0013】上記した通り、本発明においては、粘着シ
−ト表面に電位を加えその表面を抜ける電気力線を作用
させて分極電荷を発生させることにより、粘着剤層の表
面を実質的に荷電状態にしており、粘着シ−トの単位面
積当たりの表面抵抗をRs、除塵シ−トの単位体積当た
りの厚み方向抵抗をRt、局部電極から距離Xでの表面
電位をV、電流をIとすると、概ね、 ΔV=Rs・I・ΔX ΔI=V・ΔI/Rt が成立し、電位Vはほぼ
−ト表面に電位を加えその表面を抜ける電気力線を作用
させて分極電荷を発生させることにより、粘着剤層の表
面を実質的に荷電状態にしており、粘着シ−トの単位面
積当たりの表面抵抗をRs、除塵シ−トの単位体積当た
りの厚み方向抵抗をRt、局部電極から距離Xでの表面
電位をV、電流をIとすると、概ね、 ΔV=Rs・I・ΔX ΔI=V・ΔI/Rt が成立し、電位Vはほぼ
【数1】 式で把握することができる。従って、図1において、
局部電極22から粘着シ−ト端までの長さLは、その端
の位置での電位を充分な大きさにするように設定され、
加電圧−5kvでL=100cmに設定される。本発明
に係る除塵方法において、加電圧は通常±5kv〜±5
0kvに設定され、電圧加電時での充電電流は、感電を
防止するために10μA以下に設定することが望まし
い。
局部電極22から粘着シ−ト端までの長さLは、その端
の位置での電位を充分な大きさにするように設定され、
加電圧−5kvでL=100cmに設定される。本発明
に係る除塵方法において、加電圧は通常±5kv〜±5
0kvに設定され、電圧加電時での充電電流は、感電を
防止するために10μA以下に設定することが望まし
い。
【0014】この加電装置としては、電源として電池ま
たは100ボルト電源を用いた高電圧装置が使用され、
電源内部インピ-ダンスまたは外部抵抗の接続により短
絡時の電流を10μA以下とした感電時の衝撃の小さい
タイプの電源を使用することが望ましい。また、省エネ
ルギ−のため断続的に印加するものの選択使用も可能で
ある。
たは100ボルト電源を用いた高電圧装置が使用され、
電源内部インピ-ダンスまたは外部抵抗の接続により短
絡時の電流を10μA以下とした感電時の衝撃の小さい
タイプの電源を使用することが望ましい。また、省エネ
ルギ−のため断続的に印加するものの選択使用も可能で
ある。
【0015】本発明に係る除塵シ−トおいて、局部電極
は除塵シ−トの使用条件の如何によっては、粘着シ−ト
表面の中央に設けることも可能である。また、図3に示
すように、局部電極22を除塵シ−トの全巾にわたり設
けることもできる。更に、除塵シ−トの寸法が大きい場
合は、図4に示すように、局部電極22を所定間隔(上
記した設定間隔のほぼ2倍)を隔てて複数箇設けること
も可能である。
は除塵シ−トの使用条件の如何によっては、粘着シ−ト
表面の中央に設けることも可能である。また、図3に示
すように、局部電極22を除塵シ−トの全巾にわたり設
けることもできる。更に、除塵シ−トの寸法が大きい場
合は、図4に示すように、局部電極22を所定間隔(上
記した設定間隔のほぼ2倍)を隔てて複数箇設けること
も可能である。
【0016】本発明に係る除塵シ−トによれば、1μm
以下の微粒子や病原菌の捕獲が可能であり、特に、半導
体製造のクリ−ンル−ムや病院での使用に好適である。
勿論、一般家庭、工場でも使用でき、煙の除去、靴底の
ゴミ取りマット等としても使用できる。本発明に係る除
塵シ−トは、額縁に装着して使用すること、吸気口並び
に排気口を有するケ−ス内にファンと共に収容して使用
すること、壁掛けタイプで使用すること等が可能であ
り、壁掛けタイプで使用する場合、日めくり方式あるい
は絵柄等を印刷してインテリアとして使用することもで
きる。
以下の微粒子や病原菌の捕獲が可能であり、特に、半導
体製造のクリ−ンル−ムや病院での使用に好適である。
勿論、一般家庭、工場でも使用でき、煙の除去、靴底の
ゴミ取りマット等としても使用できる。本発明に係る除
塵シ−トは、額縁に装着して使用すること、吸気口並び
に排気口を有するケ−ス内にファンと共に収容して使用
すること、壁掛けタイプで使用すること等が可能であ
り、壁掛けタイプで使用する場合、日めくり方式あるい
は絵柄等を印刷してインテリアとして使用することもで
きる。
【0017】
【発明の効果】本発明においては、粘着シ−ト表面の局
部電極と同シ−ト裏面全体にわたるプレ−ト電極との間
に電位差を作用させて粘着シ−ト表面を分極により実質
的に荷電状態とし、この荷電と逆極性の微粒子をク−ロ
ン力で吸引して粘着面で捕獲する構成であり、吸引捕獲
であるために、凹部や角に付着しているほこりや空気中
の浮遊ほこりでも容易に捕獲できる。また、除塵器具が
シ−ト状であり、構成が簡単である。更に、ほこり浮遊
空間に電界を作用させる必要がなく、また、粘着シ−ト
が接地面に接触しても自由電子の放電が無くスパ−クの
発生を排除できる、という利点もある。
部電極と同シ−ト裏面全体にわたるプレ−ト電極との間
に電位差を作用させて粘着シ−ト表面を分極により実質
的に荷電状態とし、この荷電と逆極性の微粒子をク−ロ
ン力で吸引して粘着面で捕獲する構成であり、吸引捕獲
であるために、凹部や角に付着しているほこりや空気中
の浮遊ほこりでも容易に捕獲できる。また、除塵器具が
シ−ト状であり、構成が簡単である。更に、ほこり浮遊
空間に電界を作用させる必要がなく、また、粘着シ−ト
が接地面に接触しても自由電子の放電が無くスパ−クの
発生を排除できる、という利点もある。
【図1】図1の(イ)は本発明に係る除塵シ−トの一例
を示す説明図、図1の(ロ)は図1の(イ)におけるロ
−ロ断面図である。
を示す説明図、図1の(ロ)は図1の(イ)におけるロ
−ロ断面図である。
【図2】本発明に係る除塵シ−トの別例を示す説明図で
ある。
ある。
【図3】本発明に係る除塵シ−トの上記とは別の例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図4】本発明に係る除塵シ−トの上記とは別の例を示
す説明図である。
す説明図である。
1 粘着シ−ト 21 プレ−ト電極 22 局部電極 3 誘電体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 厚 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 日東 電工株式会社内
Claims (5)
- 【請求項1】粘着シ−トの裏面側にプレ−ト電極を有
し、同粘着シ−トの表面に局部電極を有する除塵シ−ト
の両電極間に電位差を作用させて粘着シ−ト表面を静電
的に吸引可能な状態にし、荷電されたほこり、病原菌や
微粒子を粘着シ−ト表面で捕獲することを特徴とする除
塵方法。 - 【請求項2】ほこり、病原菌や微粒子の荷電を紫外線の
照射によって行う請求項1記載の除塵方法。 - 【請求項3】除塵シ−トを通気性とし、除塵シ−トの厚
み方向にほこり、病原菌や微粒子の浮遊空気を通過させ
る請求項1または2記載の除塵方法。 - 【請求項4】粘着シ−トの裏面全体に誘電体層を介して
プレ−ト電極を設け、同粘着シ−トの表面に局部電極を
設け、しかも粘着シ−トの表面に凹凸を形成した、請求
項1乃至3何れか記載の除塵方法において使用する除塵
シ−ト。 - 【請求項5】粘着シ−トの裏面全体に誘電体層を介して
プレ−ト電極を設け、同粘着シ−トの表面に局部電極を
設け、しかも誘電体層と粘着シ−トとの間または誘電体
層とプレ−ト電極との間に非接触部を散在させた、請求
項1乃至3何れか記載の除塵方法において使用する除塵
シ−ト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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1996
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