JPH09202699A - ガーネット型構造単結晶の製造方法 - Google Patents

ガーネット型構造単結晶の製造方法

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JPH09202699A JP30950396A JP30950396A JPH09202699A JP H09202699 A JPH09202699 A JP H09202699A JP 30950396 A JP30950396 A JP 30950396A JP 30950396 A JP30950396 A JP 30950396A JP H09202699 A JPH09202699 A JP H09202699A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のガーネット型構造単結晶ファイバの製
造方法においては、作製される結晶の一部分に(21
1)面、(110)面もしくは(100)面におけるフ
ァセット成長により屈折率変動部、いわゆるコアがで
き、レーザ装置やアイソレーター等の光学装置に用いる
場合、光学的品質に問題があった。本発明の目的はコア
のないガーネット型構造単結晶の製造方法を提供するこ
とにある。 【解決手段】 本発明は、育成方向に対する種結晶の方
位を<100>方位に等価な方位から10度以上、<1
10>方位に等価な方位から20度以上、および<21
1>方位に等価な方位から20度以上の角度を持つ方位
として、作製される結晶を育成することを特徴とするも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ装置やアイ
ソレーター等の光学装置に用いられるガーネット型構造
単結晶の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザ装置やアイソレーター等の光学装
置に用いられるガーネット型構造単結晶ファイバにおい
ては、光学的均一性がその性能に大きな影響を及ぼす。
作製される結晶において、(211)面、(110)
面、もしくは(100)面におけるファッセット成長に
より屈折率変動部、いわゆるコアができると、光学的均
一性が下がり、その結果素子性能の低下を招く。この問
題についての例として、固体レーザに用いるガーネット
型構造単結晶ファイバの育成について述べる。
【0003】一般に固体レーザにおいて、レーザ活性種
は励起エネルギーの一部を熱の形で放出するため、励起
中は励起前に比べてレーザロッドの温度が上昇する。レ
ーザ活性種の発光効率は温度上昇に伴い減少するので、
効率的なレーザ発振の条件として、レーザロッドからの
充分な熱の放散が重要である。標準的な直径5mm程度
のロッドに比べ、直径500μm程度以下のファイバ形
状のロッドは、励起されたレーザ活性種のある中心部か
らロッド外縁の冷却部までの距離が短く、効率的に熱の
放散が行われる。そのためレーザ用に単結晶ファイバが
必要とされる。
【0004】従来のレーザ用ガーネット型構造単結晶フ
ァイバの製造方法においては、図4に示したように、育
成方向に対し<100>方位や、<111>方位を向い
た種結晶14を用いて、レーザ加熱溶融法などにより作
製される結晶13を引き上げていた。この場合作製され
る結晶13の固液界面の一部分23に、(211)面、
(110)面、もしくは(100)面におけるファッセ
ット成長があらわれ、そのために屈折率変動部、いわゆ
るコアができた。これは従来チョクラルスキー法によっ
て作製された結晶に見られたものと同じ現象である。屈
折率変動の原因は格子歪みによるとされている。(B.
Cockayne et al.,J.Materia
l Science8(1973)p.382 参照) 図5に作製される結晶13の、クロスニコル配置偏光顕
微鏡断面写真を示す。屈折率変動に伴う複屈折により偏
光回転が起こり、コアが観察された。作製される結晶1
3に光を通したところ、このコアによって光が散乱され
たため、レーザ発振特性は非常に悪かった。例えば、カ
ルシウムとクロムを添加したイットリウム・アルミニウ
ム・ガーネット(分子式:Cr,Ca:Y3 Al
5 12,Cr,Ca:YaGと略す)ファイバレーザの
場合は、ゲインが<111>方位より大きい<100>
方位に育成した単結晶ファイバをレーザ装置に組み込
み、波長1.06μm、強度10Wの光で励起したが、
ロッド内での光の散乱が強く、発振しなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】かかるガーネット単結
晶ファイバの製造方法においては、作製される結晶の一
部分に(211)面、(110)面、もしくは(10
0)面におけるファッセット成長により屈折率変動部、
いわゆるコアができ、レーザ装置やアイソレータ等の光
学装置に用いる場合、光学的品質に問題があった。本発
明の目的はコアのないガーネット型構造単結晶の製造方
法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガーネット型
構造を有する結晶の溶融液に、種結晶を接触させ、該種
結晶を引き上げることによって単結晶を育成するガーネ
ット型構造単結晶の製造方法において、ガーネット型構
造を有する結晶からなる母材の先端部を溶融し、溶融さ
れた該先端部に種結晶を接触させ、該種結晶を引き上げ
ることによってファイバ状の単結晶を育成するガーネッ
ト型構造単結晶の製造方法において、あるいは、るつぼ
に収納されたガーネット型構造を有する結晶の溶融液
に、種結晶を接触させ、回転しながら該種結晶を引き上
げることによって棒状の単結晶を育成するガーネット型
構造単結晶の製造方法において、該種結晶を引き上げる
方向に、該種結晶の<100>方向から10度以上、<
110>方向から20度以上、および<211>方向か
ら20度以上離れた範囲19にある一の方向、または該
一の方向に結晶学的同価な方向を、一致させることを特
徴とするガーネット型構造単結晶の製造方法である。
【0007】また、前記ガーネット型構造を有する結晶
が、イットリウム・アルミニウム・ガーネットであるこ
とを特徴とする前記のガーネット型構造単結晶の製造方
法である。
【0008】さらに、前記ガーネット型構造を有する結
晶が、イットリウム・スカンジウム・アルミニウム・ガ
ーネット(分子式:Y3 Scx Al5-x 12)、イット
リウム・ガリウム・アルミニウム・ガーネット(分子
式:Y3 Gax Al5-x 12)、ルテチウム・アルミニ
ウム・ガーネット(分子式:Lu3 Al5 12)、イッ
トリウム・鉄・ガーネット(分子式:Y3 Fe5 12
のいずれかであることを特徴とする前記のガーネット型
構造単結晶の製造方法である。
【0009】
【発明の実施の形態】ガーネット結晶の育成方位が<1
00>方位や<111>方位である場合、固液界面はフ
ァッセット成長面の(211)面、(110)面、もし
くは(100)面と浅い角度を持つため、ファセット成
長によるコアが現れるが、本発明においては、<100
>方位に等価な方位から10度以上、<110>方位に
等価な方位から20度以上、および<211>方位に等
価な方位から20度以上の角度に結晶を育成するため、
育成結晶と溶融部の固液界面は(211)面、(11
0)面、もしくは(100)面と充分深い角度を持ち、
ファッセット成長は起きない。したがってコアのない光
学的品質に優れたガーネット型構造単結晶を作製するこ
とができる。
【0010】
【実施例】本発明によるガーネット型構造単結晶ファイ
バの製造方法の概要を、模式的に図1に示す。本実施例
では、レーザ加熱溶融法を用いて、Cr,Ca:YAG
を作製する場合について述べる。酸化カルシウムと酸化
クロムを表面に蒸着したYAG単結晶を母材11に用い
る。母材の上端をCO2 レーザー光15により加熱溶融
する。YAGの種結晶14を溶融部12に接触させ、種
結晶14を上方に移動すると、Cr,Cr:YAG単結
晶ファイバ13が育成される。育成結晶の半径Rf は、
【0011】
【数1】Rf =Rs (Vs /Vf 2 、 により決定される。ここでRs は母材の半径、Vf は種
結晶の引き上げ速度、Vs は母材の送り出し速度であ
り、Rf が500μm以下になるように調整する。単結
晶ファイバ13の結晶方位は、種結晶14の結晶方位と
同一になる。種結晶14は、結晶方位が成長方向に対し
<001>方向に垂直かつ<100>方位から15°に
セットする。この育成方向16に育成した結晶は、ファ
セット成長によるコアが発生することがなく、光学的均
一性に優れていた。なお、17は結晶軸方向を示す。
【0012】図6に作製結晶13のクロスニコル配置に
よる偏光顕微鏡断面写真を示す。屈折率変動に伴う複屈
折は全く観察されていない。育成結晶を使ってレーザ共
振器を構成したところ、波長1.06μmの励起光によ
り、波長1.34μmから1.58μmにおいて、レー
ザ発振した。発振波長1.45μmにおいて、しきい値
は0.3W、スロープ効率は50%であった。従来の方
法で作製された結晶では発振しなかったのであるから、
本発明の効果は明らかである。
【0013】上記以外の育成方位の結晶を実際に作製し
た結果をステレオ投影図に示す。ガーネットの結晶構造
はIa3dであり、対称性を考慮すると、図2の太枠で
囲んだ対象部分18のみ調べれば良い。その他の方位は
対象部分の中に同等な方位がある。図3に対象部分を拡
大し、コアの生じなかった育成方位を斜線19で示し
た。
【0014】まず上記例を含む点101〜107で示し
た育成方位を調べたところコアを生じなかった。これら
の方位は、<001>からの角度をθ、(010)面か
らの角度をφとして、(θ,φ)=(90°,10
°),(90°,15°),(90°,25°),(8
6°,25°),(84°,18°),(79°,11
°),(83°,7°)である。また、図3中に点20
1〜206で示した方位(θ,φ)=(90°,9
°),(90°,26°),(85°,26°),(8
3°,19°),(78°,12°),(84°,6
°)に引き上げると、コアを生じた。さらにその周囲の
育成方位を調べたところ<100>方位から10度以
上、<110>方位から20度以上、および<211>
方位から20度以上の方位(19の斜線部分)でコアを
生じないことを確認した。
【0015】次に、コアを生じなかった育成実施方位お
よびコアを生じた育成実施方位について、図3に示した
番号と対応させて、それぞれ表1および表2として示
す。
【0016】
【表1】
【0017】
【表2】
【0018】なお、図3中、20は<100>方位から
10度の方位を示す線であり、21は<110>方位か
ら20度の方位を示す線であり、さらに22は<211
>方位から20度の方位を示す線である。
【0019】育成方向が<100>方位や<111>方
位である従来の場合には、育成結晶と溶融部の固液界面
がファッセット成長面の(211)面、(110)面、
もしくは(100)面と浅い角度になるため、ファセッ
ト成長が起こり、コアが現れる。それに対し、本発明に
おいては、<100>方位に等価な方位から10度以
上、<110>方位に等価な方位から20度以上、およ
び<211>方位に等価な方位から20度以上、の角度
に結晶を育成するため、固液界面は(211)面、(1
10)面、もしくは(100)面と充分深い角度にな
り、ファセット成長は起きない。そのためコアのない光
学的品質に優れたガーネット型構造単結晶ファイバを作
製することができる。
【0020】Cr,Ca:YAGの他に、不純物を添加
しないYAG単結晶ファイバや、ネオジウムなど他の不
純物元素を添加したYAG単結晶ファイバを育成する際
にもこの方法は有効であった。またイットリウム・スカ
ンジウム・アルミニウム・ガーネット(分子式:Y3
x Al5-x 12)単結晶ファイバ、イットリウム・ガ
リウム・アルミニウム・ガーネット(分子式:Y3 Ga
x Al5-x 12)単結晶ファイバ、ルテチウム・アルミ
ニウム・ガーネット(分子式:Lu3 Al5 12)単結
晶ファイバ、イットリウム・鉄・ガーネット(分子式:
3 Fe5 12)単結晶ファイバを育成方位101〜1
07に引き上げたところやはりコアは生じなかった。
【0021】本発明の製造方法が、ここに挙げた以外の
ガーネット型構造単結晶ファイバの製造にも適用できる
ことはもちろんである。固体レーザ用ガーネット型構造
単結晶ファイバに限らず、アイソレータなどの他の光学
素子に用いるガーネット型構造単結晶ファイバにも適用
できる。さらに本発明の製造方法を用いて、チョクラル
スキー法によるYAG単結晶ファイバ(直径500μ
m)育成を行ったところコアは生じなかった。レーザ加
熱溶融法、チョクラルスキー法以外の引き上げ方法によ
る、ガーネット型構造単結晶ファイバ育成にも、さらに
その他のガーネット型構造単結晶の育成にも、本発明の
製造方法が用いられうることもまたもちろんである。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガーネッ
ト型構造単結晶の製造方法によると、育成方向に対する
種結晶の方位を<100>方位に等価な方位から10度
以上、<110>方位に等価な方位から20度以上、お
よび<211>方位に等価な方位から20度以上の角度
を持つ方位として、結晶を育成したため、作製されたガ
ーネット型構造単結晶はファセット成長によるコアを含
んでおらず、優れた光学的均質性を有していた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるレーザ加熱溶融法を用いたガーネ
ット型構造単結晶ファイバの製造方法を表わす模式図で
ある。
【図2】本発明において引き上げられる結晶の育成方位
を示す図である。
【図3】本発明において引き上げられる結晶の育成方位
を示す図である。
【図4】従来のレーザ加熱溶融法を用いたガーネット型
構造単結晶ファイバの製造方法を示す図である。
【図5】従来法によって作製されたガーネット型構造単
結晶のクロスニコル配置による偏光顕微鏡断面写真を示
す図である。
【図6】本発明の方法で作成した結晶のクロスニコル配
置による偏光顕微鏡断面写真を示す図である。
【符号の説明】
11 母材 12 溶融部 13 育成単結晶ファイバ 14 種結晶 15 加熱用CO2 レーザ光 16 育成方向 17 結晶軸方向 18 検討対象結晶育成方位 19 本発明で育成される結晶の育成方位 20 <100>方位から10度の方位を示す線 21 <110>方位から20度の方位を示す線 22 <211>方位から20度の方位を示す線 23 ファセット成長部 101〜107 コアを生じなかった育成実施方位 201〜206 コアを生じた育成実施方位
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長沼 和則 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガーネット型構造を有する結晶の溶融液
    に、種結晶を接触させ、該種結晶を引き上げることによ
    って単結晶を育成するガーネット型構造単結晶の製造方
    法において、 該種結晶を引き上げる方向に、該種結晶の<100>方
    向から10度以上、<110>方向から20度以上、お
    よび<211>方向から20度以上離れた範囲19にあ
    る一の方向、または該一の方向に結晶学的同価な方向
    を、一致させることを特徴とするガーネット型構造単結
    晶の製造方法。
  2. 【請求項2】 ガーネット型構造を有する結晶からなる
    母材の先端部を溶融し、溶融された該先端部に種結晶を
    接触させ、該種結晶を引き上げることによってファイバ
    状の単結晶を育成するガーネット型構造単結晶の製造方
    法において、 該種結晶を引き上げる方向に、該種結晶の<100>方
    向から10度以上、<110>方向から20度以上、お
    よび<211>方向から20度以上離れた範囲19にあ
    る一の方向、または該一の方向に結晶学的同価な方向
    を、一致させることを特徴とするガーネット型構造単結
    晶の製造方法。
  3. 【請求項3】 るつぼに収納されたガーネット型構造を
    有する結晶の溶融液に、種結晶を接触させ、回転しなが
    ら該種結晶を引き上げることによって棒状の単結晶を育
    成するガーネット型構造単結晶の製造方法において、 該種結晶を引き上げる方向に、該種結晶の<100>方
    向から10度以上、<110>方向から20度以上、お
    よび<211>方向から20度以上離れた範囲19にあ
    る一の方向、または該一の方向に結晶学的同価な方向
    を、一致させることを特徴とするガーネット型構造単結
    晶の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記ガーネット型構造を有する結晶が、
    イットリウム・アルミニウム・ガーネットであることを
    特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のガーネ
    ット型構造単結晶の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記ガーネット型構造を有する結晶が、
    イットリウム・スカンジウム・アルミニウム・ガーネッ
    ト(分子式:Y3 Scx Al5-x 12)、イットリウム
    ・ガリウム・アルミニウム・ガーネット(分子式:Y3
    Gax Al5-x 12)、ルテチウム・アルミニウム・ガ
    ーネット(分子式:Lu3 Al5 12)、イットリウム
    ・鉄・ガーネット(分子式:Y3 Fe5 12)のいずれ
    かであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか
    に記載のガーネット型構造単結晶の製造方法。
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