JPH09181560A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
- Publication number
- JPH09181560A JPH09181560A JP33442795A JP33442795A JPH09181560A JP H09181560 A JPH09181560 A JP H09181560A JP 33442795 A JP33442795 A JP 33442795A JP 33442795 A JP33442795 A JP 33442795A JP H09181560 A JPH09181560 A JP H09181560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric resonator
- vibration
- piezoelectric
- spurious
- damping material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気的効率及び周波数特性が優れた圧電共振
子を得る。 【解決手段】 圧電共振子１は、一辺の長さがＬの正方
形状の圧電体基板２と、この圧電体基板２の表裏面に形
成された振動電極３，４と、振動電極３の表面に形成さ
れたダンピング材５とで構成されている。ダンピング材
５は、圧電共振子１の主振動最大変位部分Ｂの変位量に
対して変位量が３／４以下の部分に設けられている。具
体的には、ダンピング材５は、手前側の辺中央部から奥
側の辺中央部に渡っている、幅が略Ｌ／２の帯と、この
帯と交差するように左側の辺中央部から右側の辺中央部
に渡っている、幅が略Ｌ／２の帯を合成した十字形状を
している。
子を得る。 【解決手段】 圧電共振子１は、一辺の長さがＬの正方
形状の圧電体基板２と、この圧電体基板２の表裏面に形
成された振動電極３，４と、振動電極３の表面に形成さ
れたダンピング材５とで構成されている。ダンピング材
５は、圧電共振子１の主振動最大変位部分Ｂの変位量に
対して変位量が３／４以下の部分に設けられている。具
体的には、ダンピング材５は、手前側の辺中央部から奥
側の辺中央部に渡っている、幅が略Ｌ／２の帯と、この
帯と交差するように左側の辺中央部から右側の辺中央部
に渡っている、幅が略Ｌ／２の帯を合成した十字形状を
している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電共振子、特に
フィルタや発振子等として使用される圧電共振子に関す
る。
フィルタや発振子等として使用される圧電共振子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電共振子として、図１１に
示す圧電共振子６１が知られている。この圧電共振子６
１は、圧電体基板６２の表裏全面にそれぞれ振動電極６
３、６４を設けるものである。この圧電共振子６１は金
属端子で挟持され、面積振動モードにて振動する。
示す圧電共振子６１が知られている。この圧電共振子６
１は、圧電体基板６２の表裏全面にそれぞれ振動電極６
３、６４を設けるものである。この圧電共振子６１は金
属端子で挟持され、面積振動モードにて振動する。
【０００３】ところで、この種の圧電共振子６１は主振
動の他に、不要なスプリアス振動も発生する。このた
め、例えば、圧電共振子６１の表面全面にダンピング材
６５を設けてスプリアス振動を低減させたり、圧電体基
板６２の分極度を小さくしてスプリアス振動を低減させ
ている。
動の他に、不要なスプリアス振動も発生する。このた
め、例えば、圧電共振子６１の表面全面にダンピング材
６５を設けてスプリアス振動を低減させたり、圧電体基
板６２の分極度を小さくしてスプリアス振動を低減させ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電共振子６１において、ダンピング材６５や分極度を
小さくすることはスプリアス振動を低減させ、スプリア
ス特性を改善する一方、主振動も低減させるので、圧電
共振子６１の電気的効率が悪くなるという問題があっ
た。特に、主振動に近い３倍波や５倍波のスプリアス振
動を抑圧しようとすると、主振動も大きく低減し、充分
な効果が得られなかった。
圧電共振子６１において、ダンピング材６５や分極度を
小さくすることはスプリアス振動を低減させ、スプリア
ス特性を改善する一方、主振動も低減させるので、圧電
共振子６１の電気的効率が悪くなるという問題があっ
た。特に、主振動に近い３倍波や５倍波のスプリアス振
動を抑圧しようとすると、主振動も大きく低減し、充分
な効果が得られなかった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、電気的効率及び
周波数特性が優れた圧電共振子を提供することにある。
周波数特性が優れた圧電共振子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明に係る圧電共振子は、（ａ）圧電体基板と、
（ｂ）前記圧電体基板の表面に設けた振動電極と、
（ｃ）前記圧電体基板の表面の、主振動最大変位部分の
変位量に対して主振動の変位量が３／４以下の部分に設
けたダンピング材と、を備えたことを特徴とする。
め、本発明に係る圧電共振子は、（ａ）圧電体基板と、
（ｂ）前記圧電体基板の表面に設けた振動電極と、
（ｃ）前記圧電体基板の表面の、主振動最大変位部分の
変位量に対して主振動の変位量が３／４以下の部分に設
けたダンピング材と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】また、本発明に係る圧電共振子は、（ｄ）
圧電体基板と、（ｅ）前記圧電体基板の表面に設けた振
動電極と、（ｆ）前記圧電体基板の第１スプリアス振動
の最大変位部分で、かつ、主振動最大変位部分を外して
設けられた第１ダンピング材と、（ｇ）前記圧電体基板
の第２スプリアス振動の最大変位部分で、かつ、主振動
最大部分を外して設けられた第２ダンピング材と、を備
えたことを特徴とする。
圧電体基板と、（ｅ）前記圧電体基板の表面に設けた振
動電極と、（ｆ）前記圧電体基板の第１スプリアス振動
の最大変位部分で、かつ、主振動最大変位部分を外して
設けられた第１ダンピング材と、（ｇ）前記圧電体基板
の第２スプリアス振動の最大変位部分で、かつ、主振動
最大部分を外して設けられた第２ダンピング材と、を備
えたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】以上の構成により、ダンピング材は主振動が最
も大きく変位する部分を外して設けられているため、主
振動を殆どダンピングすることなく、スプリアス振動の
みが効率良くダンピングされる。また、第１及び第２ス
プリアス振動のそれぞれの振動が最も大きく変位する部
分にダンピング材を選択的に設けることにより、必要最
小限のダンピング材で、第１及び第２スプリアス振動が
抑圧される。
も大きく変位する部分を外して設けられているため、主
振動を殆どダンピングすることなく、スプリアス振動の
みが効率良くダンピングされる。また、第１及び第２ス
プリアス振動のそれぞれの振動が最も大きく変位する部
分にダンピング材を選択的に設けることにより、必要最
小限のダンピング材で、第１及び第２スプリアス振動が
抑圧される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る圧電共振子の
実施形態について添付図面を参照して説明する。 ［第１実施形態、図１〜図４］図１に示すように、圧電
共振子１は圧電体基板２と振動電極３、４とダンピング
材５とで構成されている。圧電体基板２は一辺の長さが
Ｌの正方形状であり、ＰＺＴ等のセラミックや水晶、Ｌ
ｉＴａＯ3等の単結晶からなる。
実施形態について添付図面を参照して説明する。 ［第１実施形態、図１〜図４］図１に示すように、圧電
共振子１は圧電体基板２と振動電極３、４とダンピング
材５とで構成されている。圧電体基板２は一辺の長さが
Ｌの正方形状であり、ＰＺＴ等のセラミックや水晶、Ｌ
ｉＴａＯ3等の単結晶からなる。
【００１０】振動電極３、４は、Ａｇ，Ｎｉ，Ａｕ，Ｃ
ｕ，Ｐｄ及びその合金のスパッタリング、蒸着、あるい
は印刷乾燥等の手段にて圧電体基板２の表裏面に形成さ
れている。以上の構造からなる圧電共振子１は、面積振
動を主振動としている。図２は圧電共振子１の主振動を
有限要素法にてシュミレーション解析した変位分布図で
ある。図中の矢印の方向と長さは、変位の方向と大きさ
を示している。図２に示すように、圧電共振子１は、中
心部分Ａが主振動の節、すなわち主振動の変位がゼロの
部分である。これに対して、圧電共振子１の四つの隅部
分Ｂが主振動の腹、すなわち主振動が最も大きく変位す
る部分である。
ｕ，Ｐｄ及びその合金のスパッタリング、蒸着、あるい
は印刷乾燥等の手段にて圧電体基板２の表裏面に形成さ
れている。以上の構造からなる圧電共振子１は、面積振
動を主振動としている。図２は圧電共振子１の主振動を
有限要素法にてシュミレーション解析した変位分布図で
ある。図中の矢印の方向と長さは、変位の方向と大きさ
を示している。図２に示すように、圧電共振子１は、中
心部分Ａが主振動の節、すなわち主振動の変位がゼロの
部分である。これに対して、圧電共振子１の四つの隅部
分Ｂが主振動の腹、すなわち主振動が最も大きく変位す
る部分である。
【００１１】図３は、図２の一点鎖線Ｘに沿って圧電共
振子１の外辺部分の変位量を、隅部分Ｂの主振動最大変
位量に基づいて基準化したグラフである。グラフから、
変曲点Ｐは主振動最大変位部分Ｂの変位量に対して、変
位量が３／４すなわち０．７５となる点である。従っ
て、主振動最大変位部分Ｂの変位量に対して変位量が３
／４以下の部分の圧電共振子１上にダンピング材５を設
けることにより、主振動を殆どダンピングすることな
く、スプリアス振動のみを効率良くダンピングすること
ができる。
振子１の外辺部分の変位量を、隅部分Ｂの主振動最大変
位量に基づいて基準化したグラフである。グラフから、
変曲点Ｐは主振動最大変位部分Ｂの変位量に対して、変
位量が３／４すなわち０．７５となる点である。従っ
て、主振動最大変位部分Ｂの変位量に対して変位量が３
／４以下の部分の圧電共振子１上にダンピング材５を設
けることにより、主振動を殆どダンピングすることな
く、スプリアス振動のみを効率良くダンピングすること
ができる。
【００１２】具体的には、ダンピング材５は、振動電極
３上に十字形状、すなわち手前側の辺中央部から奥側の
辺中央部に渡っている、幅が略Ｌ／２の帯と、この帯と
交差するように左側の辺中央部から右側の辺中央部に渡
っている、幅が略Ｌ／２の帯を合成した形状である。た
だし、ダンピング材５の形状は必ずしもこれに限るもの
ではなく、図２に図示された十字形状領域６内に含まれ
ていれば、任意の形状を選択することができる。
３上に十字形状、すなわち手前側の辺中央部から奥側の
辺中央部に渡っている、幅が略Ｌ／２の帯と、この帯と
交差するように左側の辺中央部から右側の辺中央部に渡
っている、幅が略Ｌ／２の帯を合成した形状である。た
だし、ダンピング材５の形状は必ずしもこれに限るもの
ではなく、図２に図示された十字形状領域６内に含まれ
ていれば、任意の形状を選択することができる。
【００１３】ダンピング材５の材料としては、レジスト
インク等の樹脂、導電性ペーストあるいはシリコンゴム
等がある。樹脂やシリコンゴム等の絶縁材を用いた場合
には、中央部分Ａにはダンピング材５を設けない。振動
電極３と後述の金属端子１３との導通を確保する必要が
あるからである。この圧電共振子１は、主振動を殆どダ
ンピングせず、スプリアス振動のみを選択的に抑えるこ
とができ、電気的効率及び周波数特性を従来の圧電共振
子と比較して向上させることができる。
インク等の樹脂、導電性ペーストあるいはシリコンゴム
等がある。樹脂やシリコンゴム等の絶縁材を用いた場合
には、中央部分Ａにはダンピング材５を設けない。振動
電極３と後述の金属端子１３との導通を確保する必要が
あるからである。この圧電共振子１は、主振動を殆どダ
ンピングせず、スプリアス振動のみを選択的に抑えるこ
とができ、電気的効率及び周波数特性を従来の圧電共振
子と比較して向上させることができる。
【００１４】図４は、こうして得られた圧電共振子１を
用いて組み立てた共振器９を示す。この共振器９はＫＨ
ｚ帯で動作するもので、内ケース１０に金属端子１１、
圧電共振子１、金属端子１３を重ねて収容し、内ケース
１０の開口部を内蓋１４で閉じ、さらに外ケース１５で
被覆し、シール樹脂１６で封止したものである。圧電共
振子１は金属端子１１と金属端子１３にて表裏面中央部
分を挟持され、面積振動モードにて振動する。金属端子
１１，１３はリン青銅等の板材の表面にＡｇ膜をめっき
等の手段にて設けたものである。金属端子１１，１３
は、ばね性を有し、圧電共振子１の中心部分Ａに弾性的
に接点接触している。
用いて組み立てた共振器９を示す。この共振器９はＫＨ
ｚ帯で動作するもので、内ケース１０に金属端子１１、
圧電共振子１、金属端子１３を重ねて収容し、内ケース
１０の開口部を内蓋１４で閉じ、さらに外ケース１５で
被覆し、シール樹脂１６で封止したものである。圧電共
振子１は金属端子１１と金属端子１３にて表裏面中央部
分を挟持され、面積振動モードにて振動する。金属端子
１１，１３はリン青銅等の板材の表面にＡｇ膜をめっき
等の手段にて設けたものである。金属端子１１，１３
は、ばね性を有し、圧電共振子１の中心部分Ａに弾性的
に接点接触している。
【００１５】［第２実施形態、図５〜図９］第２実施形
態の圧電共振子は、ダンピング材を残して前記第１実施
形態の圧電共振子１と同様のものである。図５及び図６
は、第２実施形態の圧電共振子２１の３倍波及び５倍波
の振動をそれぞれ有限要素法にてシュミレーション解析
した変位分布図である。図中矢印の方向と長さは、変位
の方向と大きさを表示している。図５に示すように、３
倍波のスプリアス振動は、最も大きく変位する部分が圧
電共振子２１の四つの隅部Ｂ、各辺の中央部Ｃ並びに中
央の環状部Ｄに位置している。この場合、圧電共振子２
１の３倍波のスプリアス振動最大変位部分でかつ主振動
最大変位部分以外の領域は、圧電共振子２１のＣ，Ｄ
（実線にて囲んだ部分）である。従って、Ｃ，Ｄの領域
にダンピング材を設ければ主振動をダンピングすること
なく、３倍波のスプリアス振動が抑圧されることにな
る。
態の圧電共振子は、ダンピング材を残して前記第１実施
形態の圧電共振子１と同様のものである。図５及び図６
は、第２実施形態の圧電共振子２１の３倍波及び５倍波
の振動をそれぞれ有限要素法にてシュミレーション解析
した変位分布図である。図中矢印の方向と長さは、変位
の方向と大きさを表示している。図５に示すように、３
倍波のスプリアス振動は、最も大きく変位する部分が圧
電共振子２１の四つの隅部Ｂ、各辺の中央部Ｃ並びに中
央の環状部Ｄに位置している。この場合、圧電共振子２
１の３倍波のスプリアス振動最大変位部分でかつ主振動
最大変位部分以外の領域は、圧電共振子２１のＣ，Ｄ
（実線にて囲んだ部分）である。従って、Ｃ，Ｄの領域
にダンピング材を設ければ主振動をダンピングすること
なく、３倍波のスプリアス振動が抑圧されることにな
る。
【００１６】また、図６に示すように、５倍波のスプリ
アス振動は、最も大きく変位する部分が圧電共振子２１
の各辺の中央部Ｅ、並びに中央の二つの同心環状部Ｆ，
Ｇに位置している。この場合、圧電共振子２１の５倍波
のスプリアス振動最大変位部分でかつ主振動最大変位部
分以外の領域は、圧電共振子２１のＥ，Ｆ，Ｇ（実線に
て囲んだ部分）である。従って、Ｅ，Ｆ，Ｇの領域にダ
ンピング材を設ければ主振動をダンピングすることな
く、５倍波のスプリアス振動が抑圧されることになる。
アス振動は、最も大きく変位する部分が圧電共振子２１
の各辺の中央部Ｅ、並びに中央の二つの同心環状部Ｆ，
Ｇに位置している。この場合、圧電共振子２１の５倍波
のスプリアス振動最大変位部分でかつ主振動最大変位部
分以外の領域は、圧電共振子２１のＥ，Ｆ，Ｇ（実線に
て囲んだ部分）である。従って、Ｅ，Ｆ，Ｇの領域にダ
ンピング材を設ければ主振動をダンピングすることな
く、５倍波のスプリアス振動が抑圧されることになる。
【００１７】そこで、図７に示すように、圧電共振子２
１の表面に、３倍波のスプリアス振動抑圧用のダンピン
グ材３１を塗布する。塗布する位置は、図５に図示した
Ｃ，Ｄの領域である。この後、図８及び図９に示すよう
に、さらに圧電共振子の表面に、５倍波のスプリアス振
動抑圧用ダンピング材３２を重ね塗布する。塗布する位
置は、図６に図示したＥ，Ｆ，Ｇの領域である。ただ
し、ダンピング材３１，３２の形状は必ずしもこれに限
るものではなく、それぞれ図５及び図６に図示された領
域Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ内に含まれていれば、任意の形状
を選択することができる。
１の表面に、３倍波のスプリアス振動抑圧用のダンピン
グ材３１を塗布する。塗布する位置は、図５に図示した
Ｃ，Ｄの領域である。この後、図８及び図９に示すよう
に、さらに圧電共振子の表面に、５倍波のスプリアス振
動抑圧用ダンピング材３２を重ね塗布する。塗布する位
置は、図６に図示したＥ，Ｆ，Ｇの領域である。ただ
し、ダンピング材３１，３２の形状は必ずしもこれに限
るものではなく、それぞれ図５及び図６に図示された領
域Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ内に含まれていれば、任意の形状
を選択することができる。
【００１８】以上のダンピング材３１，３２を表面に形
成した圧電共振子２１は、必要最小限のダンピング材で
３倍波及び５倍波のスプリアス振動を有効に抑圧するこ
とができる。
成した圧電共振子２１は、必要最小限のダンピング材で
３倍波及び５倍波のスプリアス振動を有効に抑圧するこ
とができる。
【００１９】［他の実施形態］なお、本発明に係る圧電
共振子は前記実施形態に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更することができる。
共振子は前記実施形態に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更することができる。
【００２０】圧電共振子は面積振動モードにて振動する
ものに限らない。例えば、長さ振動モードにて振動する
圧電共振子であってもよい。また、ダンピング材はその
厚みが一定でなくてもよく、スプリアス抑圧を特に行な
いたい部分を局部的に厚くしてもよい。また、圧電共振
子の表裏いずれか一方の面だけであってもよいし、両面
であってもよい。さらに、表裏面にそれぞれ異なるパタ
ーンを設けてもよいし、それぞれのスプリアス振動毎に
異なる材質のダンピング材を設けてもよい。あるいは、
図１０に示すように、スプリアス振動の腹の一部分３５
（実線にて囲んだ円形部分）にのみスポット的にダンピ
ング材を設けてもよい。図１０は圧電共振子３４の５倍
波のスプリアス振動の場合を示すもので、圧電共振子３
４はダンピング材を残して前記第１実施形態の圧電共振
子１と同様のものである。
ものに限らない。例えば、長さ振動モードにて振動する
圧電共振子であってもよい。また、ダンピング材はその
厚みが一定でなくてもよく、スプリアス抑圧を特に行な
いたい部分を局部的に厚くしてもよい。また、圧電共振
子の表裏いずれか一方の面だけであってもよいし、両面
であってもよい。さらに、表裏面にそれぞれ異なるパタ
ーンを設けてもよいし、それぞれのスプリアス振動毎に
異なる材質のダンピング材を設けてもよい。あるいは、
図１０に示すように、スプリアス振動の腹の一部分３５
（実線にて囲んだ円形部分）にのみスポット的にダンピ
ング材を設けてもよい。図１０は圧電共振子３４の５倍
波のスプリアス振動の場合を示すもので、圧電共振子３
４はダンピング材を残して前記第１実施形態の圧電共振
子１と同様のものである。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、主振動最大変位部分の変位量に対して変位量が
３／４以下の部分にダンピング材を設けたので、主振動
を殆どダンピングすることなく、スプリアス振動のみを
効率良くダンピングすることができる。
よれば、主振動最大変位部分の変位量に対して変位量が
３／４以下の部分にダンピング材を設けたので、主振動
を殆どダンピングすることなく、スプリアス振動のみを
効率良くダンピングすることができる。
【００２２】また、第１スプリアス振動の最大変位部分
でかつ主振動最大変位部分を外して第１ダンピング材を
設けると共に、第２スプリアス振動の最大変位部分でか
つ主振動最大変位部分を外して第２ダンピング材を設け
たので、必要最小限のダンピング材で第１及び第２スプ
リアス振動を抑圧することができ、圧電共振子の品質を
アップすることができる。また、それぞれのスプリアス
振動の最大変位部分でかつ主振動最大変位部分を外した
部分にダンピング材を設ければよいので、ダンピング材
の配置位置を機械的に容易に設計することができる。
でかつ主振動最大変位部分を外して第１ダンピング材を
設けると共に、第２スプリアス振動の最大変位部分でか
つ主振動最大変位部分を外して第２ダンピング材を設け
たので、必要最小限のダンピング材で第１及び第２スプ
リアス振動を抑圧することができ、圧電共振子の品質を
アップすることができる。また、それぞれのスプリアス
振動の最大変位部分でかつ主振動最大変位部分を外した
部分にダンピング材を設ければよいので、ダンピング材
の配置位置を機械的に容易に設計することができる。
【図１】本発明に係る圧電共振子の第１実施形態を示す
斜視図。
斜視図。
【図２】図１に示した圧電共振子の主振動変位分布図。
【図３】図１に示した圧電共振子の外辺部分の変位を示
すグラフ。
すグラフ。
【図４】図１に示した圧電共振子を用いた圧電部品の断
面図。
面図。
【図５】本発明に係る圧電共振子の第２実施形態を示す
もので、３倍波スプリアス振動変位分布図。
もので、３倍波スプリアス振動変位分布図。
【図６】図５に示した圧電共振子の５倍波スプリアス振
動変位分布図。
動変位分布図。
【図７】３倍波スプリアス振動抑圧用ダンピング材を塗
布した圧電共振子の平面図。
布した圧電共振子の平面図。
【図８】５倍波スプリアス振動抑圧用ダンピング材をさ
らに重ね塗布した圧電共振子の平面図。
らに重ね塗布した圧電共振子の平面図。
【図９】図８に示した圧電共振子の断面図。
【図１０】本発明に係る圧電共振子の他の実施形態を説
明するための５倍波スプリアス振動変位分布図。
明するための５倍波スプリアス振動変位分布図。
【図１１】従来の圧電共振子を示す斜視図。
１…圧電共振子 ２…圧電体基板 ３，４…振動電極 ５…ダンピング材 ２１…圧電共振子 ３１，３２…ダンピング材 ３４…圧電共振子 Ｂ…主振動最大変位部分 Ｃ，Ｄ…３倍波スプリアス振動最大変位部分 Ｅ，Ｆ，Ｇ…５倍波スプリアス振動最大変位部分
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電体基板と、 前記圧電体基板の表面に設けた振動電極と、 前記圧電体基板の表面の、主振動最大変位部分の変位量
に対して主振動の変位量が３／４以下の部分に設けたダ
ンピング材と、 を備えたことを特徴とする圧電共振子。 - 【請求項２】 圧電体基板と、 前記圧電体基板の表面に設けた振動電極と、 前記圧電体基板の第１スプリアス振動の最大変位部分
で、かつ、主振動最大変位部分を外して設けられた第１
ダンピング材と、 前記圧電体基板の第２スプリアス振動の最大変位部分
で、かつ、主振動最大変位部分を外して設けられた第２
ダンピング材と、 を備えたことを特徴とする圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33442795A JPH09181560A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33442795A JPH09181560A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 圧電共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09181560A true JPH09181560A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18277262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33442795A Pending JPH09181560A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09181560A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001006647A1 (en) | 1999-07-19 | 2001-01-25 | Nokia Corporation | Resonator structure and a filter comprising such a resonator structure |
| JP2015502088A (ja) * | 2011-11-15 | 2015-01-19 | クアルコム，インコーポレイテッド | スプリアスモード抑制圧電共振器の設計 |
-
1995
- 1995-12-22 JP JP33442795A patent/JPH09181560A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001006647A1 (en) | 1999-07-19 | 2001-01-25 | Nokia Corporation | Resonator structure and a filter comprising such a resonator structure |
| WO2001006646A1 (en) * | 1999-07-19 | 2001-01-25 | Nokia Corporation | Resonator structure and a filter having such a resonator structure |
| EP1196990B1 (en) * | 1999-07-19 | 2014-09-10 | Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd. | Resonator structure and a filter comprising such a resonator structure |
| EP2782250A1 (en) * | 1999-07-19 | 2014-09-24 | Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd | Resonator structure and a filter comprising such a resonator structure |
| JP2015502088A (ja) * | 2011-11-15 | 2015-01-19 | クアルコム，インコーポレイテッド | スプリアスモード抑制圧電共振器の設計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6232699B1 (en) | Energy-trap piezoelectric resonator and energy-trap piezoelectric resonance component | |
| KR20000005836A (ko) | 압전공진자 | |
| JP2000138554A (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 | |
| US6274964B1 (en) | Piezoelectric resonator | |
| JP4003302B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2001211052A (ja) | 圧電共振子 | |
| US6987346B2 (en) | Energy trap type piezoelectric resonator component | |
| JPH08335847A (ja) | 厚みすべり振動型２重モードフィルタ | |
| US6388363B1 (en) | Piezoelectric resonator | |
| JPH09181560A (ja) | 圧電共振子 | |
| JP2001144576A (ja) | 圧電共振子 | |
| JP3783288B2 (ja) | 超薄板圧電振動子 | |
| JPH07336184A (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 | |
| JP3542403B2 (ja) | 圧電振動子及び発振器 | |
| JPH0575376A (ja) | 圧電音叉型共振子 | |
| JPS63190413A (ja) | 圧電共振子 | |
| JP2023000464A (ja) | 水晶振動片および水晶振動子 | |
| JP2003087077A (ja) | 圧電共振子およびこの圧電共振子を用いた圧電部品 | |
| JPH0437210A (ja) | 圧電振動子の電極構造 | |
| JPH0117857Y2 (ja) | ||
| JPH11330897A (ja) | 厚みすべりを用いた圧電振動子とこれを用いた圧電部品 | |
| JP3337086B2 (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電振動部品の製造方法 | |
| JPH0753303Y2 (ja) | 圧電フィルタ | |
| JPS603245B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5883419A (ja) | 弾性表面波装置 |