JPH09178519A

JPH09178519A - 圧力センサ

Info

Publication number: JPH09178519A
Application number: JP33834895A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Matsubara; 賢一松原
Original assignee: Tokyo Gas Co Ltd
Current assignee: Tokyo Gas Co Ltd
Priority date: 1995-12-26
Filing date: 1995-12-26
Publication date: 1997-07-11

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の圧力センサと同様に、減算演算処理に
より外部からの振動の影響を除去し、膜を振動させるこ
となく騒音を除去し、その結果、膜の生産時の個体差、
経年劣化の個体差の影響を受けない騒音除去能力が保証
され、計測流量がゼロのときに管路内の雑音に対して膜
を動かさないようにして、膜の弾性劣化を抑制し、耐久
性を向上させることができ、構造簡単で制作の容易な圧
力センサを提供すること。【解決手段】フルイディック素子１７を使用する流体
振動型流量計の圧力センサ１０であって、該フルイディ
ック素子１７の流れの方向に対して対称位置に設けられ
た導圧孔２４ａ、２４ｂの圧力を識別できるよう対向配
置された気密性の高い２個の膜３２ａ、３２ｂと、膜が
検出すべき流体振動に対し互いに逆向きに振れ且つ外乱
の振動に対しては同じ向きに振れるよう各膜の両側と前
記導圧孔との間に等長・同径に構成された導圧路ｌ₁ 、
ｌ₂ とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は流体振動型流量計に
使用する圧力センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、流体振動型流量計に例えば実開平
１ー５８１１９に開示されるような２膜式の圧力センサ
が使用されている。

【０００３】この流体振動型流量計に流体振動検出素子
または圧力発生素子としてフルイディック素子が広く使
用されている。フルイディック素子のノズルから噴出し
た流体はコアンダ効果により側壁に沿って流れ、この偏
流による圧力上昇をノズル出口にフィードバックする
と、流れの偏りが反対側に切り替わる。これらの現象が
繰り返され流体振動が発生する。この流体振動の周波数
はフルイディック素子を通過する流体の流量に比例す
る。フルイディック素子内の流体振動検出端に流体の流
れ方向に対称的に導圧孔が設けられている。

【０００４】図１３は従来の圧力センサの概略構成を示
す図である。

【０００５】図１３の圧力センサ１０’はフルイディッ
ク素子を使用する流体振動型流量計の圧力センサであっ
て、該フルイディック素子の流れの方向に対して対称位
置に設けられた導圧孔３５ａ、３５ｂの圧力を識別でき
る同一平面上もしくは平行平面上に配置された気密性の
高い２個の膜３２ａ、３２ｂと導圧孔３５ａ、３５ｂの
それぞれから膜３２ａ、３２ｂの片面ずつに到達する導
圧路３３ａ、３３ｂとを具備し、導圧路３３ａ、３３ｂ
は導圧孔３５ａ、３５ｂの圧力差により膜３２ａ、３２
ｂが互いに逆向きに変形するよう構成され、それぞれの
膜３２ａ、３２ｂの両面からそれぞれの導圧孔３５ａ、
３５ｂに至る部分の導圧路３３ａ、３３ｂを等長かつ同
体積にし、かつ導圧孔３５ａ、３５ｂがそれぞれ導圧路
３３ａ、３３ｂの中央位置に開通されているので、まっ
たく対称に構成されている。このような構造を有する圧
力センサ１０’は振動と騒音の影響を除去しながら流体
振動を効果的に検出することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
圧力センサ１０’は２枚の膜３２ａ、３２ｂを備え、か
つ検出すべき流体振動に対し互いに逆向きに、外乱の振
動に対しては同じ向きに振れるように導圧路３３ａ、３
３ｂを構成しなければならない制約上、両者が同一の点
上で重ならないようその構造が立体的にならざるをえず
工作が非常に困難である。

【０００７】また、騒音除去の点から導圧路３３ａ、３
３ｂが膜３２ａ、３２ｂに関して面対称にするのが最善
であるが、この第１条件と前述の２条件、すなわち２枚
の膜３２ａ、３２ｂを備え、かつ検出すべき流体振動に
対し互いに逆向きに、外乱の振動に対しては同じ向きに
振れるように導圧路３３ａ、３３ｂを構成しなければな
らない第２条件と、それぞれの膜３２ａ、３２ｂの両面
からそれぞれの導圧孔３５ａ、３５ｂに至る部分の導圧
路３３ａ、３３ｂを等長かつ同体積にしなければならな
い第３条件を同時に満たすこととは幾何学的に両立しえ
ない。したがって、騒音の影響は大幅に低減できるもの
の、完全に除去することは不可能である。

【０００８】本発明は上述の点にかんがみてなされたも
ので、従来の圧力センサと同様に、減算演算処理により
外部からの振動の影響を除去することができ、かつ膜を
振動させることなく雑音を除去することができ、その結
果、膜の生産時の個体差、経年劣化の個体差の影響を受
けない雑音除去能力が保証され、また、計測流量がゼロ
のときに管路内の雑音に対して膜を動かさないようにし
て、膜の弾性劣化を抑制し、耐久性を向上させることが
でき、さらに構造簡単で制作の容易な圧力センサを提供
することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】先に述べた図１３の圧力
センサ１０’では２個のマイクに挟まれた空間に正確に
等長・同径の導圧路をつくることはできない。それは導
圧路の対称性から２つの導圧路がマイク間の中央の点で
重なってしまうので、導圧路の面積がゼロにできない限
り、この形では実現できない。そこで、発明者は２個の
マイクに挟まれた空間の外側に導圧路を形成した（図１
参照）。

【００１０】本発明は上記目的を達成するため、フルイ
ディック素子を使用する流体振動型流量計の圧力センサ
であって、該フルイディック素子の流れの方向に対して
対称位置に設けられた導圧孔の圧力を識別できるよう対
向配置された気密性の高い２個の膜と、前記膜が検出す
べき流体振動に対し互いに逆向きに振れ且つ外乱の振動
に対しては同じ向きに振れるよう前記各膜の両側と前記
導圧孔との間に等長・同径に構成された導圧路とを具備
することを特徴とする。

【００１１】また、本発明は前記膜が圧電性フィルムで
あることを特徴とする。

【００１２】また、本発明は前記膜がダイアフラムの両
側が開放されているマイクのダイアフラムであることを
特徴とする。

【００１３】このように、フルイディック素子の２つの
導圧孔から各膜の表裏に到達するまでの導圧経路を等
長、同体積にしたので、平面的にも構成することがで
き、構造簡単で製作容易となり、導圧路が短くなり共振
周波数を上げることができ、かつ管路内の騒音が各膜の
両側に同時、同相、同レベルに伝わるので膜は動かず雑
音は検知しない。また、検出圧力成分には逆相に振れ、
外部からの振動成分には同相に振れるように２枚の膜を
配置したので、減算演算処理により外部からの振動の影
響を除去することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。

【００１５】図７は本発明の圧力センサ１０を適用した
流体流量計の概略構成を示す図である。

【００１６】この流体流量計はフルイディック素子１７
を使用したフルイディック流量計である。流路の入口１
１から流入し、ノズル１２から噴出した気体がコアンダ
効果により、側壁１３ａ、１３ｂに沿った流れになる。
この流れがフィードバック流路１４ａまたは１４ｂに到
達すると、圧力がノズル１２に伝わり流れを切り替え
る。この切り替えは交互に発生し、流量に比例した周波
数をもつ流体振動になる。１５はターゲット、１６は出
口である。１８はフルイディック素子１７を形成するケ
ース本体である。ターゲット１５の下流側に流体振動検
出端１４が設けられ、この流体振動検出端１４の両端に
上記フィードバック流路１４ａ、１４ｂが設けられてい
る。

【００１７】流体振動はフィードバック流路１４ａ、１
４ｂに開口する一対の導圧孔２４ａ、２４ｂからそれぞ
れ導圧管１９ａ、１９ｂにより圧力センサ１０に導か
れ、電気信号に変換されて電子回路２１に伝えられる。
同時に、ノズル１２に配置された熱式フローセンサ２２
により流速が検出され、電気信号に変換されて電子回路
２１に伝えられる。この電気信号は、電子回路２１にお
いて、予め測定された両センサの線形性（信号と流量の
対応の直線性）が逆転する流量で良い方に切り替えら
れ、演算処理され、流量積算値として表示器２３に表示
される。２２ａはノズル１２に配置された整流板であ
る。

【００１８】図８は本発明の圧力センサに接続される電
子回路のブロック図である。

【００１９】図８において、電子回路２１はアナログア
ンプ、波形整形回路、信号判定回路、コンバータ、クロ
ック制御回路、カウンタ、電気制御回路、マイクロコン
ピュータ及び電源により構成されている。

【００２０】図１は本発明の圧力センサの概略構成を示
す透視斜視図である。図２は本発明の圧力センサの概略
構成を示す断面図である。

【００２１】図１、２に示す本発明の圧力センサ１０
は、ダイアフラムの両側が開放されているマイク、例え
ばエレクトレットコンデンサマイクのダイアフラム（以
下マイクと略称する）を膜として使用したものであり、
そのセンサユニット篋体３１の内部は２個の圧力室３
６、３７に分割され、これらの圧力室３６、３７にそれ
ぞれマイク３０ａ、３０ｂが嵌め込まれている。この実
施例において、マイク３０ａ、３０ｂは同じものを使用
している。また、各圧力室３６、３７は前述の各マイク
のダイアフラム３２ａとダイアフラム３２ｂにより、そ
れぞれ室３６ａ、３６ｂと室３７ａ、３７ｂに仕切られ
ている。ダイアフラム３２ａとダイアフラム３２ｂは同
一平面上に配置され、気密性の高いものである。

【００２２】室３６ａの圧力導入口３５ａにフルイディ
ック素子１７の導圧孔２４ａから導圧管１９ａを通じて
流体圧力Ｐ₁ が導入され、この流体圧力は室３６ａから
流路３３ａを通じて室３７ｂに導入される。また、室３
６ｂの圧力導入口３５ｂにフルイディック素子１７の導
圧孔２４ｂから導圧管１９ｂを通じて流体圧力Ｐ₂ が導
入され、この流体圧力は室３６ｂから流路３３ｂを通じ
て室３７ａに導入される。

【００２３】したがって、フルイディック素子１７の導
圧孔２４ａの流体圧力はダイアフラム３２ａの片面と、
ダイアフラム３２ｂの他面に作用する。また、フルイデ
ィック素子１７の導圧孔２４ｂの流体圧力はダイアフラ
ム３２ｂの他面と、ダイアフラム３２ｂの片面に作用す
る。その結果、フルイディック素子１７の導圧孔２４
ａ、２４ｂの流体圧力に差があれば、ダイアフラム３２
ａ、３２ｂは逆向きにまったく同様に変形する。

【００２４】本発明の圧力センサにおいて、フルイディ
ック素子１７の導圧孔２４ａ、２４ｂからそれぞれダイ
アフラム３２ａ、ダイアフラム３２ｂに達するまでの全
距離を合計したものを導圧路ｌ₁ 、ｌ₂ と稱する。これ
ら２本の導圧路ｌ₁ 、ｌ₂ はダイアフラム３２ａとダイ
アフラム３２ｂが検出すべき流体振動に対し互いに逆向
きに振れるよう各ダイアフラム３２ａ、ダイアフラム３
２ｂの両側と前記導圧孔２４ａ、２４ｂとの間に等長・
同径に構成されている（図１参照）。検出すべき流体振
動の周波数が導圧路ｌ₁ 、ｌ₂ の共振周波数に対して十
分低い場合、導圧路の曲折や枝管の影響は誤差として無
視できるほど小さい。

【００２５】図３は音の伝達係数と周波数との関係を示
す図である。

【００２６】導圧孔２４ａ、２４ｂから膜すなわちダイ
アフラム３２ａ、ダイアフラム３２ｂまでの音の伝達特
性Ｇ（単位：ｄＢ）を縦軸にとり、音の周波数を横軸に
とる。各圧力室３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂの音の
伝達特性をそれぞれＧ₁ 、Ｇ₂ 、Ｇ₃ 、Ｇ₄ とする（図
１）。これらの伝達特性Ｇは図３に示すようにある周波
数で極大値となる。計算上の極大値は気体中を伝搬する
際の減衰を無視すれば無限大である。

【００２７】図４は音の伝達特性と導圧路の長さとの関
係を示す図である。音の伝達特性Ｇ（単位：ｄＢ）を縦
軸にとり、音の周波数を横軸にとる。

【００２８】図４に示すように、伝達特性Ｇは導圧路の
長さにより周波数方向に平行移動する性質を持ってい
る。導圧路の長さが長いと周波数の低い方に移動し、短
いと周波数の高い方に移動する。

【００２９】図５はノイズレベルの許容上限と騒音に対
するセンサの出力特性を示す図である。

【００３０】図５は音の伝達特性Ｇ（単位：ｄＢ）を縦
軸にとり、音の周波数を横軸にとる。実装時は気体伝搬
時の減衰や導圧路壁面での吸音のため極大値Ｐ１、Ｐ２
はかなり大きい有限値である。Ｇ₃=Ｇ₄ 、Ｇ₁=Ｇ₂ なら
ば、２つの導圧孔から均一の騒音が侵入してもダイアフ
ラム（膜）で打ち消しあってしまうが、マイクのダイア
フラム両側での構造のちがい（図２）や製造誤差がある
ため、｜Ｇ₃ −Ｇ₄|と｜Ｇ₁ −Ｇ₂|に該当する出力が出
てしまう。そして、センサ出力はマイク出力の差になる
ため、|(Ｇ₁-Ｇ₂)−（Ｇ₃-Ｇ₄)| ＝｜Ｇ₁-Ｇ₂-Ｇ₃+Ｇ₄|
が図５のような外来騒音に対する出力特性になる。

【００３１】ここで、図４の性質と合わせて考えると、
「導圧路が長くなるとグラフが左に移動する、すなわち
騒音の影響を十分に除去できなくなる周波数が低くなる
ため、測定可能な発振周波数＝流量の上限が下がってし
まう」ことが判明する。

【００３２】そこで対抗案として、本発明の圧力センサ
１０が開発された。この圧力センサ１０ではあえて２個
のマイクに挟まれた空間を迂回して導圧路を作る必要が
ないので、導圧路を短くできるようになり、図５におけ
るＰ１を右方向（高い周波数の方）へ動かすことができ
るようになった。反面、振動板であるダイアフラム
（膜）からみた導圧路の形状や分岐位置が両側で異なる
ため、｜Ｇ₁-Ｇ₂|、｜Ｇ₃-Ｇ₄|がそれぞれ大きくなって
しまうという問題も発生する。

【００３３】図６は外来騒音に対する出力特性を示す図
である。音の伝達特性Ｇ（単位：ｄＢ）を縦軸にとり、
音の周波数を横軸にとる。

【００３４】図６において、外来騒音に対する出力特性
を従来型は点線Ｂで示し、本発明は実線で示す。これに
よると、本発明は従来型に比べて「測定範囲内の騒音は
多少拾いやすいが、測定範囲が広い」ということができ
る。また、従来型は図１３のように、導圧孔をダイアフ
ラム（膜）に対向する位置に設けるのが理想的である
が、本発明の型は図１のように導圧孔をダイアフラム
（膜）の横方向にも設けられるため、例えば感度を上げ
るために大きなマイクユニットを使う場合には測定可能
な周波数の上限の差、すなわち、測定可能な流量の上限
の差は非常に大きくなる。

【００３５】上記構成になる本発明の圧力センサ１０は
次のような動作を行う。

【００３６】図９は本発明の圧力センサの流量計測時に
おける動作と出力をフルイディック素子１７の内部にお
けるガスの流れの状態と関連して説明する図である。

【００３７】図９（ａ−１）、（ａ−２）、（ａ−
３）、（ａ−４）は圧力センサ１０がそれぞれ状態１、
状態２、状態３、状態４に在るときのフルイディック素
子１７の内部におけるガスの流れの状態を示す図であ
る。ガスの流れは状態１、状態２、状態３、状態４の順
序で繰り変えされる。なお、ガスの流れは鎖線で示され
ている。また、フルイディック素子１７の導圧孔２４
ａ、２４ｂにおける流体の圧力、したがって、これらに
それぞれ連通した圧力センサ１０の圧力導入口３５ａ、
３５ｂの圧力をそれぞれＰ₁ 、Ｐ₂ として示している
（図９参照）。

【００３８】図９（ｂ−１）、（ｂ−２）、（ｂ−
３）、（ｂ−４）は状態１、状態２、状態３、状態４に
おける、マイク３０ａのダイアフラム３２ａ及びマイク
３０ｂのダイアフラム３２ｂの動きを示す図である（図
１参照）。ダイアフラム３２ａとダイアフラム３２ｂの
動きも状態１、状態２、状態３、状態４の順序で繰り変
えされる。状態２と状態４において、マイク３０ａのダ
イアフラム３２ａ及びマイク３０ｂのダイアフラム３２
ｂは変形していない。しかし、状態１において、マイク
３０ａのダイアフラム３２ａ右方向に変形し、マイク３
０ｂのダイアフラム３２ｂは左方向に変形している。す
なわち、両ダイアフラムが逆向きに変形するように構成
されている。状態３において、両ダイアフラムの変形方
向は状態１の場合とまったく逆になっている。

【００３９】図９（ｃ）は圧力センサ１０の出力を示す
図である。横軸に時間ｔを、縦軸に出力ｖをとり、点線
はマイク３０ａの出力、鎖線はマイク３０ｂの出力、実
線は圧力センサ１０の出力を示す。これらの曲線の横軸
上の各位置はそれぞれ状態１、状態２、状態３、状態４
に対応する。

【００４０】図１０は本発明の圧力センサ１０の流量計
測時すなわち正常な流体振動時における動作と出力を説
明する図である。

【００４１】図１０（ａ）はフルイディック素子１７の
導圧孔２４ａに連通している室３６ａと室３７ｂの圧力
変化を示す図で、横軸に時間、縦軸に圧力を示す。図１
０（ｂ）はフルイディック素子１７の導圧孔２４ｂに連
通している室３６ｂと室３７ａの圧力変化を示す図で、
横軸に時間、縦軸に圧力を示す。図１０（ｃ）はマイク
３０ａのダイアフラム３２ａの変形を示す図で、横軸に
時間、縦軸に変形を示す。図１０（ｄ）はマイク３０ｂ
のダイアフラム３２ｂの変形を示す図で、横軸に時間、
縦軸に変形を示す。図１０（ｅ）はマイク３０ａの出力
を示す図で、横軸に時間、縦軸に出力を示す。図１０
（ｆ）はマイク３０ｂの出力を示す図で、横軸に時間、
縦軸に出力を示す。図１０（ｇ）は図１０（ｅ）のマイ
ク３０ａの出力と図１０（ｆ）のマイク３０ｂの出力を
減算して得られる圧力センサ１０の出力を示す図で、横
軸に時間、縦軸に出力を示す。

【００４２】図１０（ａ）、（ｂ）に示すようにダイア
フラムの両側で差圧が生じるため、この差圧に応じて図
１０（ｃ）、（ｄ）に示すようにダイアフラムが変形
し、図６（ｅ）、（ｆ）に示すように前記変形に応じて
電圧が発生し、減算処理により図１０（ｇ）に示すよう
な出力電圧が得られる。

【００４３】図１１は本発明の圧力センサ１０の外部振
動キャンセル時の動作と出力を説明する図である。ま
た、図１１（ａ）〜（ｇ）はそれぞれ図１１（ａ）〜
（ｇ）に対応する図である。図１１（ａ）、（ｂ）に示
すように圧力変動は無くても、図１１（ｃ）、（ｄ）に
示すように振動が両方のダイアフラムを同様に変形させ
るため、図１１（ｅ）、（ｆ）に示すように同様の電圧
が生じ、図１１（ｇ）に示すように減算処理で出力電圧
はゼロになる。

【００４４】図１２は本発明の圧力センサ１０の雑音キ
ャンセル時の動作と出力を説明する図である。

【００４５】図１２（ａ）はフルイディック素子１７の
導圧孔２４ａに連通している室３６ａと導圧孔２４ｂに
連通している室３６ｂの圧力変化を示す図で、横軸に時
間、縦軸に圧力を示す。図１２（ｂ）はフルイディック
素子１７の導圧孔２４ａに連通している室３７ｂと導圧
孔２４ｂに連通している室３７ａの圧力変化を示す図
で、横軸に時間、縦軸に圧力を示す。また、図１２
（ｃ）〜（ｇ）はそれぞれ図６（ｃ）〜（ｇ）及び図１
１（ｃ）〜（ｇ）に対応する図である。図１１（ａ）、
（ｂ）に示すようにダイアフラムの両側に同様に雑音が
伝わるため、図１２（ｃ）、（ｄ）に示すようにダイア
フラムは変形せず（この時点で雑音は除去される）、図
１２（ｅ）、（ｆ）に示すように電圧は生じない（した
がって、２個のダイアフラムの感度が異なっていても差
し支えない）ので、図１２（ｇ）に示すように出力電圧
も生じない。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明においては
フルイディック素子を使用する流体振動型流量計の圧力
センサであって、該フルイディック素子の流れの方向に
対して対称位置に設けられた導圧孔の圧力を識別できる
よう対向配置された気密性の高い２個の膜と、前記膜が
検出すべき流体振動に対し互いに逆向きに振れ且つ外乱
の振動に対しては同じ向きに振れるよう前記各膜の両側
と前記導圧孔との間に等長・同径に構成された導圧路と
を具備するので、次のような優れた効果が得られる。（１）流量計測時の検出圧力には逆相に動き、外部から
の振動には同相に動き、減算演算処理で振動成分の除去
を行うことができる。（２）膜を振動させることなく騒音を除去することがで
き、その結果、膜の生産時の個体差、経年劣化の個体差
の影響を受けない騒音除去能力が保証される。（３）計測流量がゼロのときに管路内の騒音に対して膜
を動かさないようにして、膜の弾性劣化を抑制し、耐久
性を向上させることができる。（４）流路を平面的にも構成できるので、構造が簡単で
加工もし易い。（５）従来よりも導圧路を短くすることが容易なので測
定範囲を測定精度よりも優先する流量計を構成する場合
に有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧力センサの概略構成を示す透視斜視
図である。

【図２】本発明の圧力センサの概略構成を示す断面図で
ある。

【図３】圧力センサの音の伝達係数と周波数との関係を
示す図である。

【図４】圧力センサの音の伝達特性と導圧路の長さとの
関係を示す図である。

【図５】ノイズレベルの許容上限と騒音に対するセンサ
の出力特性を示す図である。

【図６】外来騒音に対する出力特性を示す図である。

【図７】本発明の圧力センサを適用した流体流量計の概
略構成を示す図である。

【図８】本発明の圧力センサに接続される電子回路のブ
ロック図である。

【図９】本発明の圧力センサの流量計測時における動作
と出力をフルイディック素子１７の内部におけるガスの
流れの状態と関連して説明する図である。

【図１０】本発明の圧力センサの流量計測時における動
作と出力を説明する図である。

【図１１】本発明の圧力センサの外部振動キャンセル時
の動作と出力を説明する図である。

【図１２】本発明の圧力センサの雑音キャンセル時の動
作と出力を説明する図である。

【図１３】従来の２膜式の圧力センサの概略構成を示す
図である。

【符号の説明】

１０圧力センサ１７フルイディック素子２４ａフルイディック素子の導圧孔２４ｂフルイディック素子の導圧孔３２ａ膜またはダイアフラム３２ｂ膜またはダイアフラム３５ａ圧力センサの圧力導入口３５ｂ圧力センサの圧力導入口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フルイディック素子を使用する流体振動
型流量計の圧力センサであって、該フルイディック素子
の流れの方向に対して対称位置に設けられた導圧孔の圧
力を識別できるよう対向配置された気密性の高い２個の
膜と、前記膜が検出すべき流体振動に対し互いに逆向き
に振れ且つ外乱の振動に対しては同じ向きに振れるよう
前記各膜の両側と前記導圧孔との間に等長・同径に構成
された導圧路とを具備することを特徴とする圧力セン
サ。
【請求項２】前記膜が圧電性フィルムであることを特
徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】前記膜がダイアフラムの両側が開放され
ているマイクのダイアフラムであることを特徴とする請
求項１または請求項２に記載の圧力センサ。