JPH09176900A - ウェットエッチング用カーボン電極及びアルミ電解箔のエッチング方法 - Google Patents
ウェットエッチング用カーボン電極及びアルミ電解箔のエッチング方法Info
- Publication number
- JPH09176900A JPH09176900A JP33832895A JP33832895A JPH09176900A JP H09176900 A JPH09176900 A JP H09176900A JP 33832895 A JP33832895 A JP 33832895A JP 33832895 A JP33832895 A JP 33832895A JP H09176900 A JPH09176900 A JP H09176900A
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- Japan
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- etching
- carbon
- electrode
- carbon electrode
- graphite
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチングのバラツキを改善することがで
き、エッチング効率を高めることができるウェットエッ
チング用カーボン電極及びエッチングのバラツキを改善
することができ、エッチング効率を高めたアルミ電解箔
のエッチング方法を提供する。 【解決手段】 不浸透化した複数の黒鉛板の間に金属板
又は金属網を介在させ、前記黒鉛板の間の少なくとも電
解液に浸漬させる部分をシールしてなるウェットエッチ
ング用カーボン電極及びこのウェットエッチング用カー
ボン電極を電極として用いることを特徴とするアルミ電
解箔のエッチング方法。
き、エッチング効率を高めることができるウェットエッ
チング用カーボン電極及びエッチングのバラツキを改善
することができ、エッチング効率を高めたアルミ電解箔
のエッチング方法を提供する。 【解決手段】 不浸透化した複数の黒鉛板の間に金属板
又は金属網を介在させ、前記黒鉛板の間の少なくとも電
解液に浸漬させる部分をシールしてなるウェットエッチ
ング用カーボン電極及びこのウェットエッチング用カー
ボン電極を電極として用いることを特徴とするアルミ電
解箔のエッチング方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンデンサーに用
いられるアルミ電解箔のエッチング等に使用するウェッ
トエッチング用カーボン電極及びこれを用いたアルミ電
解箔のエッチング方法に関する。
いられるアルミ電解箔のエッチング等に使用するウェッ
トエッチング用カーボン電極及びこれを用いたアルミ電
解箔のエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来使用されているウエットエッチング
用カーボン電極は、一般に図２に示すような構造であ
り、一枚の黒鉛板に単に銅電極がボルトで締め付けられ
固定された構造である。これを用いてアルミ電解箔をエ
ッチングするには、二体の電極を陰極、アルミ電解箔自
体を陽極として電解液中に浸漬し、銅電極部分を介して
カーボン電極に電流を流し、その二体の電極の間にアル
ミ電解箔を通し、所定のエッチングを行う方法や、二体
の電極を一体ずつ陰極及び陽極として所定のエッチング
を行う方法が行われる。
用カーボン電極は、一般に図２に示すような構造であ
り、一枚の黒鉛板に単に銅電極がボルトで締め付けられ
固定された構造である。これを用いてアルミ電解箔をエ
ッチングするには、二体の電極を陰極、アルミ電解箔自
体を陽極として電解液中に浸漬し、銅電極部分を介して
カーボン電極に電流を流し、その二体の電極の間にアル
ミ電解箔を通し、所定のエッチングを行う方法や、二体
の電極を一体ずつ陰極及び陽極として所定のエッチング
を行う方法が行われる。
【０００３】前記の従来のカーボン電極は、黒鉛基板の
比抵抗が銅等に比べて高く、約１０００μΩ−cmである
ため、電極のサイズ大型化に伴ない、電極の幅方向及び
長さ方向で電流密度のバラツキが生じ、アルミ電解箔の
エッチングが均一にできないという欠点があった。
比抵抗が銅等に比べて高く、約１０００μΩ−cmである
ため、電極のサイズ大型化に伴ない、電極の幅方向及び
長さ方向で電流密度のバラツキが生じ、アルミ電解箔の
エッチングが均一にできないという欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
欠点を解決するものである。請求項１記載の発明は、エ
ッチングのバラツキを改善することができ、エッチング
効率を高めることができるウェットエッチング用カーボ
ン電極を提供するものである。請求項２記載の発明は、
エッチングのバラツキを改善することができ、エッチン
グ効率を高めたアルミ電解箔のエッチング方法を提供す
るものである。
欠点を解決するものである。請求項１記載の発明は、エ
ッチングのバラツキを改善することができ、エッチング
効率を高めることができるウェットエッチング用カーボ
ン電極を提供するものである。請求項２記載の発明は、
エッチングのバラツキを改善することができ、エッチン
グ効率を高めたアルミ電解箔のエッチング方法を提供す
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、不浸透化した
複数の黒鉛板の間に金属板又は金属網を介在させ、前記
黒鉛板の間の少なくとも電解液に浸漬させる部分をシー
ルしてなるウェットエッチング用カーボン電極に関す
る。また、本発明は、前記ウェットエッチング用カーボ
ン電極を電極として用いることを特徴とするアルミ電解
箔のエッチング方法に関する。
複数の黒鉛板の間に金属板又は金属網を介在させ、前記
黒鉛板の間の少なくとも電解液に浸漬させる部分をシー
ルしてなるウェットエッチング用カーボン電極に関す
る。また、本発明は、前記ウェットエッチング用カーボ
ン電極を電極として用いることを特徴とするアルミ電解
箔のエッチング方法に関する。
【０００６】
【発明の実施の形態】まず、本発明のウェットエッチン
グ用カーボン電極について説明する。用いる不浸透化し
た複数の黒鉛板の基材としては、一般の黒鉛基材を用い
ることができる。前記一般の黒鉛基材とは、ピッチ等の
結合材にてコークス等の微粉を混練した後、粉砕、成
形、焼成炭化及び黒鉛化をして得られるものである。黒
鉛基材の不浸透化は、電解液中にカーボン電極を入れた
とき、電解液が黒鉛基材内に浸透し、銅電極又は介在さ
せた金属板を腐食させることを防ぐために行われる。そ
の方法は特に制限はされないが、フェノール樹脂、フラ
ン樹脂等の樹脂を黒鉛基材に含浸して気孔を埋める方法
が簡易で効果が高いので好ましい。具体的な方法として
は、次の方法がある。すなわち、樹脂を水等の溶媒に溶
解し、黒鉛基材と共に容器に収容し、全体を減圧にして
放置する。充分に樹脂が含浸された後、黒鉛基材を取り
出し、加熱下に（好ましくは８０〜９５℃で）乾燥す
る。以上の操作を数回繰り返して不浸透化を行う。
グ用カーボン電極について説明する。用いる不浸透化し
た複数の黒鉛板の基材としては、一般の黒鉛基材を用い
ることができる。前記一般の黒鉛基材とは、ピッチ等の
結合材にてコークス等の微粉を混練した後、粉砕、成
形、焼成炭化及び黒鉛化をして得られるものである。黒
鉛基材の不浸透化は、電解液中にカーボン電極を入れた
とき、電解液が黒鉛基材内に浸透し、銅電極又は介在さ
せた金属板を腐食させることを防ぐために行われる。そ
の方法は特に制限はされないが、フェノール樹脂、フラ
ン樹脂等の樹脂を黒鉛基材に含浸して気孔を埋める方法
が簡易で効果が高いので好ましい。具体的な方法として
は、次の方法がある。すなわち、樹脂を水等の溶媒に溶
解し、黒鉛基材と共に容器に収容し、全体を減圧にして
放置する。充分に樹脂が含浸された後、黒鉛基材を取り
出し、加熱下に（好ましくは８０〜９５℃で）乾燥す
る。以上の操作を数回繰り返して不浸透化を行う。
【０００７】複数の前記不浸透化した黒鉛板の間には金
属板又は金属網を介在させる。これによりカーボン電極
の各部分での電流密度をより均一にでき、アルミ電解箔
のエッチングの均一性を向上させることができる。本発
明に用いる金属板又は金属網としては、黒鉛板より低い
比抵抗を有する金属である、銅、銀、亜鉛、アルミニウ
ム、金、鉄、鉛、ニッケル、白金、錫、黄銅等が挙げら
れるが、比抵抗が低く比較的安価であることから、銅及
び銀が好ましい。形状は、板状又は網状が好ましい。
属板又は金属網を介在させる。これによりカーボン電極
の各部分での電流密度をより均一にでき、アルミ電解箔
のエッチングの均一性を向上させることができる。本発
明に用いる金属板又は金属網としては、黒鉛板より低い
比抵抗を有する金属である、銅、銀、亜鉛、アルミニウ
ム、金、鉄、鉛、ニッケル、白金、錫、黄銅等が挙げら
れるが、比抵抗が低く比較的安価であることから、銅及
び銀が好ましい。形状は、板状又は網状が好ましい。
【０００８】複数の不浸透化した黒鉛板の間に金属板又
は金属網を介在させ、次いで黒鉛板の間の、金属板又は
金属網の周辺であって、少なくとも電解液に浸漬させる
部分をシールする。シールする方法は、金属板又は金属
網が電解液に浸漬した際に電解液に接触しないものであ
れば特に制限されない。例えば、複数の黒鉛板をカーボ
ンセメント等の接着剤で接着する方法、電解液に耐食性
のあるシール剤、例えばゴム、ＦＲＰ等又は黒鉛のスペ
ーサなどを金属板又は金属網の周辺に設置して、接着剤
を用いて接着するかボルトで締め付けしシールする方法
等が好ましい方法として用いられる。
は金属網を介在させ、次いで黒鉛板の間の、金属板又は
金属網の周辺であって、少なくとも電解液に浸漬させる
部分をシールする。シールする方法は、金属板又は金属
網が電解液に浸漬した際に電解液に接触しないものであ
れば特に制限されない。例えば、複数の黒鉛板をカーボ
ンセメント等の接着剤で接着する方法、電解液に耐食性
のあるシール剤、例えばゴム、ＦＲＰ等又は黒鉛のスペ
ーサなどを金属板又は金属網の周辺に設置して、接着剤
を用いて接着するかボルトで締め付けしシールする方法
等が好ましい方法として用いられる。
【０００９】以上の各部材から得られる本発明のカーボ
ン電極の一例を図１に示す。（ａ）は正面図、（ｂ）は
そのＡ−Ａ’断面図である。黒鉛板１には金属板５を介
在して黒鉛板４がカーボンネジ６により固定されてい
る。カーボンネジ６は接着剤を塗布した後、ネジ止めさ
れる。金属板５の周囲には、シーリング剤を用いてシー
ル７が施されている。電極上部には銅電極２がボルトナ
ット３によって固定されている。なお、カーボン電極の
大きさは特に制限されない。
ン電極の一例を図１に示す。（ａ）は正面図、（ｂ）は
そのＡ−Ａ’断面図である。黒鉛板１には金属板５を介
在して黒鉛板４がカーボンネジ６により固定されてい
る。カーボンネジ６は接着剤を塗布した後、ネジ止めさ
れる。金属板５の周囲には、シーリング剤を用いてシー
ル７が施されている。電極上部には銅電極２がボルトナ
ット３によって固定されている。なお、カーボン電極の
大きさは特に制限されない。
【００１０】次に、前記ウェットエッチング用カーボン
電極を電極として用いるアルミ電解箔のエッチング方法
について説明する。図３にアルミ電解箔のエッチング装
置の模式図を示す。これは片面エッチング直流用コンデ
ンサーの製造法である。電解液９が入った電解液槽８に
は４体のカーボン電極１０が設置されている。前記カー
ボン電極を図３に示すように二体ずつ陰極と陽極とし、
直流電流を流すと、電解作用により、基材フィルム上に
アルミ箔が成膜されているアルミ電解箔１１がエッチン
グされる。アルミ電解箔１１は、矢印の方向で電解液槽
８に浸漬され、エッチングされ、取り出される。この方
法に選れば、カーボン電極表面での電流密度のバラツキ
が小さいため、アルミ電解箔のエッチングの均一性が向
上し、しかもその速度を挙げることができる。
電極を電極として用いるアルミ電解箔のエッチング方法
について説明する。図３にアルミ電解箔のエッチング装
置の模式図を示す。これは片面エッチング直流用コンデ
ンサーの製造法である。電解液９が入った電解液槽８に
は４体のカーボン電極１０が設置されている。前記カー
ボン電極を図３に示すように二体ずつ陰極と陽極とし、
直流電流を流すと、電解作用により、基材フィルム上に
アルミ箔が成膜されているアルミ電解箔１１がエッチン
グされる。アルミ電解箔１１は、矢印の方向で電解液槽
８に浸漬され、エッチングされ、取り出される。この方
法に選れば、カーボン電極表面での電流密度のバラツキ
が小さいため、アルミ電解箔のエッチングの均一性が向
上し、しかもその速度を挙げることができる。
【００１１】
実施例 図１に示す形状のカーボン電極を製造した。不浸透化し
た黒鉛板としては、ＨＴＢ−１０４（日立化成工業(株)
製、比抵抗１，１００μΩ・cm）を用いた。５００mm×
１，４５０mm×２７mmの黒鉛板１の上に、４８０mm×
１，４４０mm×１mmの銀板２ （比抵抗２．４μΩ・c
m）を重ね、その上にさらに５００mm×１，３７５mm×
１２mmの黒鉛板４と銅電極２を重ねた。黒鉛基板１及び
４は、直径１０mmのカーボンネジで締付け固定した。カ
ーボンネジには、予めカーボンセメントを塗布した。銀
板の周りは前記基板と同様の黒鉛材料で作成したカーボ
ンのスペーサーをカーボンセメントで接着してシールし
た。電極上部には１，２００mm×７５mm×１２mmの銅電
極を直径１０mmのボルト及びナットで、銅電極を固定し
た。
た黒鉛板としては、ＨＴＢ−１０４（日立化成工業(株)
製、比抵抗１，１００μΩ・cm）を用いた。５００mm×
１，４５０mm×２７mmの黒鉛板１の上に、４８０mm×
１，４４０mm×１mmの銀板２ （比抵抗２．４μΩ・c
m）を重ね、その上にさらに５００mm×１，３７５mm×
１２mmの黒鉛板４と銅電極２を重ねた。黒鉛基板１及び
４は、直径１０mmのカーボンネジで締付け固定した。カ
ーボンネジには、予めカーボンセメントを塗布した。銀
板の周りは前記基板と同様の黒鉛材料で作成したカーボ
ンのスペーサーをカーボンセメントで接着してシールし
た。電極上部には１，２００mm×７５mm×１２mmの銅電
極を直径１０mmのボルト及びナットで、銅電極を固定し
た。
【００１２】比較例 ５００mm×１，４５０mm×４０mmの黒鉛板に１，２００
mm×７５mm×１２mmの銅電極を取り付け、直径１０mmの
ボルト及びナツトで締め付け図２に示し形状のカーボン
電極を得た。
mm×７５mm×１２mmの銅電極を取り付け、直径１０mmの
ボルト及びナツトで締め付け図２に示し形状のカーボン
電極を得た。
【００１３】評価例 図３に示す構成のウェットエッチング装置により、アル
ミ電解箔のエッチングを行った。８００Ａの直流電流を
流した。この場合、実施例のＡｌ溶解度（指数）は５〜
１１となり、ばらつきが大幅に低減したが、比較例のＡ
ｌ溶解度（指数）は０〜１４であり、均一なエッチング
ができなかった。なお、Ａｌ溶解度（指数）は、エッチ
ングされたアルミ電解箔の表面を観察して求められ、エ
ッチング液槽内の電流の分布を表わす指数であり、数値
の幅が小さいほど、電流密度は均一となる。
ミ電解箔のエッチングを行った。８００Ａの直流電流を
流した。この場合、実施例のＡｌ溶解度（指数）は５〜
１１となり、ばらつきが大幅に低減したが、比較例のＡ
ｌ溶解度（指数）は０〜１４であり、均一なエッチング
ができなかった。なお、Ａｌ溶解度（指数）は、エッチ
ングされたアルミ電解箔の表面を観察して求められ、エ
ッチング液槽内の電流の分布を表わす指数であり、数値
の幅が小さいほど、電流密度は均一となる。
【００１４】
【発明の効果】請求項１記載のウェットエッチング用カ
ーボン電極は、アルミ電解箔のエッチングの均一性が向
上し、エッチングの効率を向上することができる。請求
項２記載のアルミ電解箔のエッチング方法によれば、ア
ルミ電解箔のエッチングを均一に行うことができ、エッ
チングの効率を向上することができる。
ーボン電極は、アルミ電解箔のエッチングの均一性が向
上し、エッチングの効率を向上することができる。請求
項２記載のアルミ電解箔のエッチング方法によれば、ア
ルミ電解箔のエッチングを均一に行うことができ、エッ
チングの効率を向上することができる。
【図１】本発明のウェットエッチング用カーボン電極の
一例を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はそのＡ
−Ａ′断面図である。
一例を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はそのＡ
−Ａ′断面図である。
【図２】従来のウェットエッチング用カーボン電極を示
す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はそのＢ−Ｂ′断
面図である。
す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）はそのＢ−Ｂ′断
面図である。
【図３】本発明のアルミ電解箔のエッチング方法を行う
ための電解液層の一例を示す模式図である。
ための電解液層の一例を示す模式図である。
１ …黒鉛板 ２ …銅電極 ３ …ボルト・ナット ４ …黒鉛板 ５ …金属板 ６ …カーボンボルト ７ …シール ８ …電解液槽 ９ …電解液 １０…カーボン電極 １１…アルミ電解箔
Claims (2)
- 【請求項１】 不浸透化した複数の黒鉛板の間に金属板
又は金属網を介在させ、前記黒鉛板の間の少なくとも電
解液に浸漬させる部分をシールしてなるウェットエッチ
ング用カーボン電極。 - 【請求項２】 請求項１記載のウェットエッチング用カ
ーボン電極を電極として用いることを特徴とするアルミ
電解箔のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33832895A JPH09176900A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | ウェットエッチング用カーボン電極及びアルミ電解箔のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33832895A JPH09176900A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | ウェットエッチング用カーボン電極及びアルミ電解箔のエッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09176900A true JPH09176900A (ja) | 1997-07-08 |
Family
ID=18317118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33832895A Pending JPH09176900A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | ウェットエッチング用カーボン電極及びアルミ電解箔のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09176900A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5292502B1 (ja) * | 2012-09-06 | 2013-09-18 | 成康 町田 | 電気デバイス |
| CN111964201A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-11-20 | 安徽加士迪环境科技有限公司 | 一种电极式加湿器的供汽系统 |
-
1995
- 1995-12-26 JP JP33832895A patent/JPH09176900A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5292502B1 (ja) * | 2012-09-06 | 2013-09-18 | 成康 町田 | 電気デバイス |
| CN111964201A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-11-20 | 安徽加士迪环境科技有限公司 | 一种电极式加湿器的供汽系统 |
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