JPH09176283A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
半導体封止用エポキシ樹脂組成物Info
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- JPH09176283A JPH09176283A JP33472895A JP33472895A JPH09176283A JP H09176283 A JPH09176283 A JP H09176283A JP 33472895 A JP33472895 A JP 33472895A JP 33472895 A JP33472895 A JP 33472895A JP H09176283 A JPH09176283 A JP H09176283A
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Abstract
向上させ、基板実装時における半導体パッケージの耐半
田ストレスを著しく向上させる半導体封止用エポキシ樹
脂組成物を提供すること。 【解決手段】 50〜90℃の軟化点を有する式(1)
で示されるエポキシ樹脂、55〜130℃の軟化点を有
するフェノール樹脂硬化剤、式(2)で示される硬化促
進剤、及び無機充填材を必須成分とし、かつ全組成物中
に該無機充填材を70〜92重量%含む半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物。 【化1】 (ただし、式(1)中のRは、水素、ハロゲン、アルキ
ル基の中から選択される同一もしくは異なる原子または
基) 【化2】 (ただし、式(2)中、R1〜R4は、1価の有機基であ
り、Y1〜Y4の少なくとも1つは、プロトン供与体がプ
ロトンを1個放出してなる基である。)
Description
保存特性、成形性に優れた挿入実装及び表面実装対応の
半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関するものである。
体を機械的、化学的作用から保護するために、エポキシ
樹脂系半導体封止樹脂は開発、生産されてきた。この樹
脂組成物に要求される項目は、素子の種類、パッケージ
の構造、使用される環境によって変化しつつある。特に
ICでは、耐熱性、耐湿性に優れたオルソクレゾールノ
ボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック樹脂、
溶融シリカ、結晶シリカ等の無機充填材を配合したエポ
キシ樹脂組成物が用いられている。ところが近年、IC
の高集積化に伴いチップがだんだん大型化し、かつパッ
ケージは従来の挿入型のDIPタイプから表面実装化さ
れた小型、薄型のQFP、SOP、SOJ、TSOP、
TQFP、PLCCに変わってきている。大型のチップ
を小型で薄いパッケージに封入することになり、熱応力
によりクラックが発生し、これらのクラックによる耐湿
性の低下等の問題が大きくクローズアップされてきてい
る。特に、半田付け工程において急激に200℃以上の
高温にさらされることにより、パッケージの割れや樹脂
とリードフレーム、樹脂とチップの剥離により耐湿性が
劣化してしまうといった問題がでてきている。
て、無機充填材を多く含む樹脂組成物が開発されてお
り、多量の無機充填材を配合する方法としては、無機充
填材の粒度分布や形状の選択、エポキシ樹脂や硬化剤樹
脂の低粘度化などがある。しかし、樹脂の低粘度化のた
めに樹脂の分子量を小さくすると、分子が動きやすくな
って反応の初期段階では架橋反応が速やかに進み、従っ
て樹脂混練時に架橋反応が一部進んで所定の流動性が発
現されず、また同じ理由で常温でも反応が起こりやす
く、樹脂組成物の常温保管性が低下するという欠点があ
る。さらに、分子量の低い樹脂は、初期の反応性は高い
が反応の最終段階においては逆に架橋密度が充分に上が
らず、封止樹脂組成物が充分に硬化しないという問題点
がある。従来用いられている硬化促進剤は、2−メチル
イミダゾール、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]
ウンデセン−7、トリフェニルホスフィン等あるが、こ
れらの硬化促進剤は前述のように比較的低温でも硬化促
進効果を示すため、これらを使用したエポキシ樹脂組成
物は常温における保存性が悪く、そのために常温で保管
すると成形時の流動性の低下から、充填不良が発生した
り、ICチップの金ワイヤーが断線し、導通不良が発生
するなどの問題点が生じる。このためエポキシ樹脂組成
物は初期の流動性を維持するため、冷蔵保管及び冷蔵輸
送する必要があり、保管、輸送には多大なコストがかか
っているのが現状である。
題を解決するために種々の検討の結果なされたものであ
り、エポキシ樹脂として式(1)で示されるエポキシ樹
脂を用いることにより、リードフレーム及び半導体チッ
プとの接着性向上、成形物の低吸水化により、基板実装
時における半導体パッケージの耐半田ストレスを著しく
向上させ、なおかつ式(2)の硬化促進剤を用いること
によって、流動性に優れ成形時の硬化性を大幅に改善す
ると同時に、樹脂組成物の常温保存特性も改善できる無
機充填材をエポキシ樹脂組成物中に70〜92重量%含
む、半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供するもので
ある。
で示される軟化点50〜90℃のエポキシ樹脂、軟化点
55〜130℃のフェノール樹脂硬化剤、下記式(2)
で示される硬化促進剤、及び無機充填材を必須成分と
し、かつ全組成物中に該無機充填材を70〜92重量%
含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物
であり、
ル基の中から選択される同一もしくは異なる原子または
基)
環もしくは複素環を有する1価の有機基又は1価の脂肪
族基であり、それらは互いに同一であっても異なってい
てもよい。また、Y1、Y2、Y3及びY4は芳香環もしく
は複素環を有する1価の有機基または1価の脂肪族基で
あって、それらのうち少なくとも1個は、分子外に放出
し得るプロトンを少なくとも1個有するプロトン供与体
がプロトンを1個放出してなる基であり、それらは互い
に同一であっても異なっていてもよい。) 好ましくは、式(2)で示される硬化促進剤のプロトン
供与体が、1分子内に少なくとも1個のカルボキシル基
を有する芳香族カルボン酸である半導体封止用エポキシ
樹脂組成物である。軟化点はJIS K 2207に準
じ、ボーリング法で昇温速度3±0.5℃で測定する。
エポキシ樹脂の軟化点が50℃未満だと取扱いが難しく
て使用しづらく、90℃を越えると無機充填材量を必要
量配合することができない。同様にフェノール樹脂も軟
化点が55℃未満だと取扱いが難しく使用しづらく、1
30℃を越えると無機充填材量を必要量配合することが
できない。
る。本発明で用いられる式(1)のエポキシ樹脂は、ジ
シクロペンタジエンとフェノール類とを付加反応により
重合させたフェノール樹脂をグリシジルエーテル化する
ことによって得られるエポキシ樹脂で、従来のオルソク
レゾールノボラックエポキシ樹脂に比較し、ガラス転移
温度を越えた高温時の弾性率が低く、リードフレーム等
の金属類との接着性に優れる。従って、表面実装の半田
付け時における熱ストレスを低減させることができ、耐
半田クラック性に優れるエポキシ樹脂組成物を得ること
ができる。耐半田クラック性の効果を引き出すために
は、式(1)で示されるエポキシ樹脂を総エポキシ樹脂
量に対して30重量%以上、好ましくは50重量%以上
使用することが望ましい。30重量%未満だと高温時の
低弾性化及び高接着性が得られず耐半田クラック性が不
十分である。また全組成物中の無機充填材量を70〜9
2重量%とするためには、軟化点の低いエポキシ樹脂を
使用することが好ましい。更に式(1)中のRは水素原
子が好ましい。
のエポキシ樹脂と併用する場合、使用するエポキシ樹脂
は、エポキシ基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマ
ー全般を指し、例えば、ビフェニル型エポキシ化合物、
ビスフェノール型エポキシ化合物、フェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、トリフェノールメタン型エポキシ化合物、アルキル
変性トリフェノールメタン型エポキシ化合物及びトリア
ジン核含有エポキシ樹脂等が挙げられる。
は、上記のエポキシ樹脂と硬化反応を行い架橋構造を形
成することができる少なくとも2個以上のフェノール性
水酸基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を
指し、特に限定するものではないが、例えばフェノール
ノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、パラキシ
リレン変性フェノール樹脂、メタキシリレン・パラキシ
リレン変性フェノール樹脂等のフェノールアラルキル樹
脂、テルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエ
ン変性フェノール樹脂等が挙げられ、これらは単独でも
混合して使用しても差し支えない。軟化点、水酸基当量
等も特に規定するものではないが、樹脂中の塩素含有量
は極力低い方が長期信頼性の点から好ましい。全組成物
中の無機充填材量を70〜92重量%とするためには、
エポキシ樹脂と同様、軟化点の低い硬化剤を使用するこ
とが望ましい。
(2)で示されるホスホニウムボレートからなる。
R2、R3及びR4は、芳香環もしくは複素環を有する1
価の有機基又は1価の脂肪族基であり、それらは互いに
同一であっても異なっていてもよい。
ば、テトラフェニルホスホニウム基、テトラトリルホス
ホニウム基、テトラエチルフェニルホスホニウム基、テ
トラメトキシフェニルホスホニウム基、テトラナフチル
ホスホニウム基、テトラベンジルホスホニウム基、エチ
ルトリフェニルホスホニウム基、n−ブチルトリフェニ
ルホスホニウム基、2−ヒドロキシエチルトリフェニル
ホスホニウム基、トリメチルフェニルホスホニウム基、
メチルジエチルフェニルホスホニウム基、メチルジアリ
ルフェニルホスホニウム基、テトラ−n−ブチルホスホ
ニウム基等を挙げることができる。式(2)において、
R1、R2、R3及びR4は、芳香環を有する1価の有機基
であることが特に好ましく、また、式(2)で示される
ホスホニウムボレートの融点は特に限定されるものでは
ないが、均一分散の点からは250℃以下であることが
好ましい。特に、テトラフェニルホスホニウム基を有す
るホスホニウムボレートは、熱硬化性樹脂との相溶性が
良好であり、好適に使用することができる。
Y2、Y3及びY4は、芳香環もしくは複素環を有する1
価の有機基または1価の脂肪族基であって、それらのう
ち少なくとも1個は、分子外に放出し得るプロトンを少
なくとも1個有するプロトン供与体がプロトンを1個放
出してなる基であり、Y1、Y2、Y3及びY4は互いに同
一であっても異なっていてもよい。このようなボレート
基を与えるプロトン供与体としては、例えば、酢酸、ト
リフルオロ酸、ステアリン酸、安息香酸、1−ナフトエ
酸、2−ナフトエ酸、フタル酸、トリメット酸、ピロメ
リット酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸、ポリアク
リル酸等のカルボン酸やその無水物の部分開環体、フェ
ノール、1−ナフトール、2−ナフトール、ポリフェノ
ール、イソシアヌル酸、ベンゾトリアゾール、さらにこ
れらのうち芳香環を有する化合物の芳香環に置換基を有
する化合物等を挙げることができるが、好ましくは、安
息香酸、1−ナフトエ酸、2−ナフトエ酸、フタル酸、
トリメット酸、ピロメリット酸、2,6−ナフタレンジ
カルボン酸が良好であり、好適に使用できる。
ボレートからなる硬化促進剤は、熱硬化性樹脂に配合さ
れた場合、常温においては触媒活性を示さないので熱硬
化性樹脂の硬化反応が進むことがなく、成形時の高温に
おいて触媒活性が発現し、しかもいったん発現すると従
来の硬化促進剤よりも強い触媒活性を示して熱硬化性樹
脂を高度に硬化させる。本発明の硬化促進剤は、全エポ
キシ樹脂組成物に対し0.10〜1重量%であり、通常
適度の高温下、例えば70〜150℃で混合することが
できる。硬化促進剤が0.10重量%未満であると加熱
成形時において充分な硬化性が得られない恐れがあり、
1重量%を越えると、硬化が速すぎて成形時に流動性の
低下により充填不良などを生ずる恐れがある。本発明の
硬化促進剤は、単独で使用することができ、あるいは他
の硬化促進剤と混合して用いることができる。他の硬化
促進剤と混合して使用する場合、本発明の硬化促進剤
は、他の硬化促進剤との合計量の40重量%以上である
ことが好ましい。本発明の硬化促進剤が40重量%未満
であると、本発明の目的を充分に達成できない恐れがあ
る。本発明の硬化促進剤と混合して使用できる他の硬化
促進剤は、例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフ
ェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、1,8−
ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7等を挙げ
ることができる。
溶融破砕シリカ粉末、溶融球状シリカ粉末、結晶シリカ
粉末、2次凝集シリカ粉末、アルミナ等が挙げられ、特
に封止樹脂組成物の流動性の向上という観点から、溶融
球状シリカ粉末が望ましい。球状シリカ粉末の形状は、
流動性改善のために、粒子自体の形状は限りなく真球状
であることが望ましく、更に粒度分布がブロードで有る
ことが望ましい。又、無機充填材の配合量としては、耐
半田クラック性と成形性及び流動性のバランスから全組
成物中に70〜92重量%が望ましい。無機充填材量が
70重量%未満であると、低吸水率化、低熱膨張化が得
られず耐半田クラック性が不十分である。また、無機充
填材量が92重量%を越えると高粘度化により半導体パ
ッケージ内部の金線変形、ダイパッド変形を引き起こす
等の不具合を生じる。
ール樹脂硬化剤、硬化促進剤及び無機充填材を必須成分
とするがこれ以外に、必要に応じて、カーボンブラック
等の着色剤、ブロム化エポキシ樹脂、三酸化アンチモン
等の難燃剤、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン等のカップリング剤、シリコーンオイル、ゴム等の
低応力成分、カルナバワックス等の離型剤を添加するこ
とができる。本発明のエポキシ樹脂組成物は、エポキシ
樹脂、フェノール樹脂硬化剤、硬化促進剤、無機充填
材、その他添加剤をミキサー等にて充分に均一混合し、
熱ロールまたはニーダー等の混練機にて溶融混練し、冷
却後粉砕し成形材料を得ることができる。
混練し、冷却後粉砕し成形材料とした。得られた成形材
料のスパイラルフロー、ゲルタイム、常温保管特性、成
形性を検討した。
イラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、
注入圧力70kg/cm2 、硬化時間2分で測定。 ・ゲルタイム:175℃に加熱した熱板上で封止樹脂組
成物を溶融後、へらで練りながら硬化するまでの時間を
測定。 ・ショア硬度:ショアD硬度計を用い、金型温度175
℃、硬化時間2分で測定。 ・常温保管性:樹脂組成物を25℃にて保管した後、ス
パイラルフローを測定。初期フロー長さを100%とし
たときのフロー残存率が90%になるまでの日数で示
す。
し、実施例1と同様にして成形材料を得、同様に評価し
た。これらの評価結果を表1に示す。 《比較例1〜3》表1の処方に従って配合し、実施例1
と同様にして成形材料を得、同様に評価した。実施例1
以外で使用するその他の原料は、エポキシ樹脂はオルソ
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(軟化点60℃、
エポキシ当量200)、硬化促進剤はトリフェニルホス
フィン及びテトラフェニルホスフォニウム・テトラフェ
ニルボレートである。これらの評価結果を表1に示す。
及び流動性に優れ、成形時の硬化特性を大幅に改善で
き、かつ耐半田クラック性に優れ、生産性を大きく向上
させることができる。
Claims (2)
- 【請求項1】 下記式(1)で示される軟化点50〜9
0℃のエポキシ樹脂、軟化点55〜130℃のフェノー
ル樹脂硬化剤、下記式(2)で示される硬化促進剤、及
び無機充填材を必須成分とし、かつ全組成物中に該無機
充填材を70〜92重量%含むことを特徴とする半導体
封止用エポキシ樹脂組成物。 【化1】 (ただし、式(1)中のRは、水素、ハロゲン、アルキ
ル基の中から選択される同一もしくは異なる原子または
基) 【化2】 (ただし、式(2)中、R1、R2、R3及びR4は、芳香
環もしくは複素環を有する1価の有機基又は1価の脂肪
族基であり、それらは互いに同一であっても異なってい
てもよい。また、Y1、Y2、Y3及びY4は芳香環もしく
は複素環を有する1価の有機基または1価の脂肪族基で
あって、それらのうち少なくとも1個は、分子外に放出
し得るプロトンを少なくとも1個有するプロトン供与体
がプロトンを1個放出してなる基であり、それらは互い
に同一であっても異なっていてもよい。) - 【請求項2】 式(2)で示される硬化促進剤のプロト
ン供与体が、1分子内に少なくとも1個のカルボキシル
基を有する芳香族カルボン酸である請求項1記載の半導
体封止用エポキシ樹脂組成物。
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JP33472895A JP3585615B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
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---|---|---|---|
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---|---|---|---|
JP33472895A Expired - Fee Related JP3585615B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
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Cited By (4)
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1995
- 1995-12-22 JP JP33472895A patent/JP3585615B2/ja not_active Expired - Fee Related
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