JPH0917371A - 異物欠陥観察装置 - Google Patents
異物欠陥観察装置Info
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- JPH0917371A JPH0917371A JP16508995A JP16508995A JPH0917371A JP H0917371 A JPH0917371 A JP H0917371A JP 16508995 A JP16508995 A JP 16508995A JP 16508995 A JP16508995 A JP 16508995A JP H0917371 A JPH0917371 A JP H0917371A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 迅速な検査を行なうことのできる異物欠陥観
察装置を提供する。 【構成】 観察試料１１の画像を表示するモニタ画面３
２と、光学顕微鏡３１により得られた観察試料１１上の
異物に関する情報に基づいて異物の位置座標を指定する
ことにより異物を観察する電子顕微鏡３３とを備えた異
物欠陥観察装置において、電子顕微鏡３３による観察指
定領域と観察指定以外の領域とを区別して表示するよう
にモニタ画面３２を制御するホストコンピュータ（制御
手段）３４を備えている。
察装置を提供する。 【構成】 観察試料１１の画像を表示するモニタ画面３
２と、光学顕微鏡３１により得られた観察試料１１上の
異物に関する情報に基づいて異物の位置座標を指定する
ことにより異物を観察する電子顕微鏡３３とを備えた異
物欠陥観察装置において、電子顕微鏡３３による観察指
定領域と観察指定以外の領域とを区別して表示するよう
にモニタ画面３２を制御するホストコンピュータ（制御
手段）３４を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ製造工程におい
て、ウェハまたはチップ等の観察試料上の微細な異物や
欠陥などの有無を観察する異物欠陥観察装置に関するも
のである。
て、ウェハまたはチップ等の観察試料上の微細な異物や
欠陥などの有無を観察する異物欠陥観察装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣを構成するウェハまたはチップ（以
下、ＩＣ製造工程におけるこれらのウェハまたはチップ
を観察試料という）上の異物や欠陥には、約１μｍ程度
と微小なものがあり、光の波長との関係から１０００倍
程度までしか倍率を上げることができない光学式観察装
置ではそのような微細なものを観察することが困難であ
る。
下、ＩＣ製造工程におけるこれらのウェハまたはチップ
を観察試料という）上の異物や欠陥には、約１μｍ程度
と微小なものがあり、光の波長との関係から１０００倍
程度までしか倍率を上げることができない光学式観察装
置ではそのような微細なものを観察することが困難であ
る。
【０００３】そこで、高倍率の走査型電子顕微鏡を備え
た異物検査装置が用いられている。この種の異物検査装
置の一つに、例えば特開平５−２２３７４７号公報に示
されるように、異物などの大きさのレベルを判定し、こ
のレベルが一定値以下のときには、その観察領域をＮ×
Ｍに分割し、それぞれの分割領域ごとに電子顕微鏡で順
次検索するものが知られている。
た異物検査装置が用いられている。この種の異物検査装
置の一つに、例えば特開平５−２２３７４７号公報に示
されるように、異物などの大きさのレベルを判定し、こ
のレベルが一定値以下のときには、その観察領域をＮ×
Ｍに分割し、それぞれの分割領域ごとに電子顕微鏡で順
次検索するものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような異物検査装置の場合、高倍率の電子顕微鏡を用い
て異物検査を行なっているため、作業者は現在ウェハ上
のどこの位置を観察しているのか分からなくなってしま
う場合がある。そのため、すでに検査を終えた領域を再
度検査してしまい迅速な検査が行なわれないという不具
合がある。
ような異物検査装置の場合、高倍率の電子顕微鏡を用い
て異物検査を行なっているため、作業者は現在ウェハ上
のどこの位置を観察しているのか分からなくなってしま
う場合がある。そのため、すでに検査を終えた領域を再
度検査してしまい迅速な検査が行なわれないという不具
合がある。
【０００５】この発明は、このような実情を背景として
なされたもので、迅速な検査を行なうことのできる異物
欠陥観察装置を提供することを目的としている。
なされたもので、迅速な検査を行なうことのできる異物
欠陥観察装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、観察試料の画像を表示す
るモニタ画面と、光学顕微鏡により得られた前記観察試
料上の異物に関する情報に基づいて前記異物の位置座標
を指定することにより前記異物を観察する電子顕微鏡と
を備えた異物欠陥観察装置において、前記電子顕微鏡に
よる観察指定領域と観察指定以外の領域とを区別して表
示するように前記モニタ画面を制御する制御手段を備え
ていることを特徴としている。
め、請求項１に記載の発明は、観察試料の画像を表示す
るモニタ画面と、光学顕微鏡により得られた前記観察試
料上の異物に関する情報に基づいて前記異物の位置座標
を指定することにより前記異物を観察する電子顕微鏡と
を備えた異物欠陥観察装置において、前記電子顕微鏡に
よる観察指定領域と観察指定以外の領域とを区別して表
示するように前記モニタ画面を制御する制御手段を備え
ていることを特徴としている。
【０００７】請求項２に記載の発明は、前記モニタ画面
上の前記観察試料の観察指定領域の表示色を前記電子顕
微鏡の観察倍率の変化に対応して変化させる表示色調節
手段を備えていることを特徴としている。
上の前記観察試料の観察指定領域の表示色を前記電子顕
微鏡の観察倍率の変化に対応して変化させる表示色調節
手段を備えていることを特徴としている。
【０００８】
【作用】この発明によれば、光学顕微鏡によって得たウ
ェハまたはチップ等の観察試料の異物情報に基づいて異
物の位置座標を指定することにより、電子顕微鏡により
観察試料上の所定領域の異物または欠陥などの観察を行
なう。電子顕微鏡による観察試料の観察が完了した領域
と観察指定以外の領域とは区別されて表示される。ま
た、観察指定領域の表示色は電子顕微鏡の観察倍率の変
化に対応して変化されるのが望ましい。
ェハまたはチップ等の観察試料の異物情報に基づいて異
物の位置座標を指定することにより、電子顕微鏡により
観察試料上の所定領域の異物または欠陥などの観察を行
なう。電子顕微鏡による観察試料の観察が完了した領域
と観察指定以外の領域とは区別されて表示される。ま
た、観察指定領域の表示色は電子顕微鏡の観察倍率の変
化に対応して変化されるのが望ましい。
【０００９】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明
を説明する。
を説明する。
【００１０】図１は、この発明の異物欠陥観察装置の全
体構成を示し、符号１０はウェハまたはチップ等の観察
試料１１を載せる円盤状の移動台である。この異物欠陥
観察装置は、観察試料１１上に異物があるか否かを光学
的に観察する光学顕微鏡３１によって検出された異物情
報（位置座標、大きさ、形状など）に基づいて観察試料
１１の画像を表示するモニタ画面３２と、異物を観察す
る走査型電子顕微鏡３３（以下、単に電子顕微鏡とい
う）とから大略構成されている。
体構成を示し、符号１０はウェハまたはチップ等の観察
試料１１を載せる円盤状の移動台である。この異物欠陥
観察装置は、観察試料１１上に異物があるか否かを光学
的に観察する光学顕微鏡３１によって検出された異物情
報（位置座標、大きさ、形状など）に基づいて観察試料
１１の画像を表示するモニタ画面３２と、異物を観察す
る走査型電子顕微鏡３３（以下、単に電子顕微鏡とい
う）とから大略構成されている。
【００１１】光学顕微鏡３１によって得られた異物や欠
陥などの位置座標、大きさ、形状などの異物情報は、フ
ロッピディスクや光磁気ディスクなどの記憶媒体に記録
され、電子顕微鏡３３に接続されたホストコンピュータ
３４にインプットされる。
陥などの位置座標、大きさ、形状などの異物情報は、フ
ロッピディスクや光磁気ディスクなどの記憶媒体に記録
され、電子顕微鏡３３に接続されたホストコンピュータ
３４にインプットされる。
【００１２】電子顕微鏡３３には、鏡筒１の上部に荷電
粒子線（電子ビーム）を放射する電子銃５が設けられて
いる。この電子銃５から放射された電子ビーム５ａは、
コンデンサレンズ２と対物レンズ３を通って移動台１０
上の観察試料１１に照射される。そして、観察試料１１
からの２次電子ビーム等の信号は検出器１３により検出
され、増幅器１４により増幅されて表示部１８に観察試
料１１の像が表示される。コンデンサレンズ２と対物レ
ンズ３との間には、電子ビーム走査用の偏向部材４が介
装されている。この偏向部材４は、Ｘ方向偏向コイル４
ＸとＹ方向偏向コイル４Ｙとから構成されている。Ｘ方
向偏向コイル４Ｘ、Ｙ方向偏向コイル４Ｙには、Ｘ方向
走査用電源１６、Ｙ方向走査用電源１７とから鋸歯状の
偏向信号ＳＸ、ＳＹが別個に供給される。そして、観察
試料１１のうちの走査面１２のみが電子ビーム５ａの走
査を受け、走査面１２の像が表示部１８に表示される。
粒子線（電子ビーム）を放射する電子銃５が設けられて
いる。この電子銃５から放射された電子ビーム５ａは、
コンデンサレンズ２と対物レンズ３を通って移動台１０
上の観察試料１１に照射される。そして、観察試料１１
からの２次電子ビーム等の信号は検出器１３により検出
され、増幅器１４により増幅されて表示部１８に観察試
料１１の像が表示される。コンデンサレンズ２と対物レ
ンズ３との間には、電子ビーム走査用の偏向部材４が介
装されている。この偏向部材４は、Ｘ方向偏向コイル４
ＸとＹ方向偏向コイル４Ｙとから構成されている。Ｘ方
向偏向コイル４Ｘ、Ｙ方向偏向コイル４Ｙには、Ｘ方向
走査用電源１６、Ｙ方向走査用電源１７とから鋸歯状の
偏向信号ＳＸ、ＳＹが別個に供給される。そして、観察
試料１１のうちの走査面１２のみが電子ビーム５ａの走
査を受け、走査面１２の像が表示部１８に表示される。
【００１３】移動台１０は、真空状態の試料室６内に設
置され、この移動台１０は互いに直交するＸ方向とＹ方
向とに移動可能とされている。このＸ方向、Ｙ方向への
移動は、図２に示すように、Ｘ方向アクチュエータ７
Ｘ、Ｘ方向送りねじ８Ｘ、Ｘ方向ガイドバー９Ｘと、Ｙ
方向アクチュエータ７Ｙ、Ｙ方向送りねじ８Ｙ、Ｙ方向
ガイドバー９Ｙによって行なわれる。Ｘ方向アクチュエ
ータ７Ｘ、Ｙ方向アクチュエータ７Ｙには、Ｘ方向アク
チュエータ制御回路１９、Ｙ方向アクチュエータ制御回
路２０が接続され、Ｘ方向アクチュエータ制御回路１
９、Ｙ方向アクチュエータ制御回路２０にはＸ方向移動
指令値設定器２１、Ｙ方向移動指令値設定器２２が接続
されている。Ｘ方向移動指令値設定器２１、Ｙ方向移動
指令値設定器２２には、ホストコンピュータ３４からの
信号が入力される。
置され、この移動台１０は互いに直交するＸ方向とＹ方
向とに移動可能とされている。このＸ方向、Ｙ方向への
移動は、図２に示すように、Ｘ方向アクチュエータ７
Ｘ、Ｘ方向送りねじ８Ｘ、Ｘ方向ガイドバー９Ｘと、Ｙ
方向アクチュエータ７Ｙ、Ｙ方向送りねじ８Ｙ、Ｙ方向
ガイドバー９Ｙによって行なわれる。Ｘ方向アクチュエ
ータ７Ｘ、Ｙ方向アクチュエータ７Ｙには、Ｘ方向アク
チュエータ制御回路１９、Ｙ方向アクチュエータ制御回
路２０が接続され、Ｘ方向アクチュエータ制御回路１
９、Ｙ方向アクチュエータ制御回路２０にはＸ方向移動
指令値設定器２１、Ｙ方向移動指令値設定器２２が接続
されている。Ｘ方向移動指令値設定器２１、Ｙ方向移動
指令値設定器２２には、ホストコンピュータ３４からの
信号が入力される。
【００１４】なお、電子顕微鏡３３は表示部１８を有し
ており、この表示部１８には異物や欠陥などの拡大像が
表示される。この電子顕微鏡３３の倍率設定は図４に示
すモニタ画面３２のマルチウインドウ（後述する）を見
ながら設定することができる。なお、この表示部１８に
は、ウェハやチップの全体像は表示されない。一方、電
子顕微鏡３３に接続されたホストコンピュータ３４のモ
ニタ画面３２には、ウェハやチップの全体像が略等倍で
表示される。なお、観察試料の部分的な拡大像を表示可
能としてもよい。
ており、この表示部１８には異物や欠陥などの拡大像が
表示される。この電子顕微鏡３３の倍率設定は図４に示
すモニタ画面３２のマルチウインドウ（後述する）を見
ながら設定することができる。なお、この表示部１８に
は、ウェハやチップの全体像は表示されない。一方、電
子顕微鏡３３に接続されたホストコンピュータ３４のモ
ニタ画面３２には、ウェハやチップの全体像が略等倍で
表示される。なお、観察試料の部分的な拡大像を表示可
能としてもよい。
【００１５】次に、上記の構成からなる異物欠陥観察装
置の動作について図３に基づいて説明する。光学顕微鏡
３１によって記憶媒体にインプットされた異物などの位
置座標をはじめとする異物情報は、ホストコンピュータ
３４から電子顕微鏡３３側に入力される（ステップＳ
１）。その入力された異物情報に基づいて、異物などの
所定の位置に移動台１０を移動させる（ステップＳ
２）。移動台１０は、ホストコンピュータ３４のＣＰＵ
によって制御されて移動する。すなわち、異物情報の電
気信号が電子顕微鏡３３の移動台１０およびそのＸ、Ｙ
方向移動機構に入力されて、Ｘ方向移動アクチュエータ
７Ｘが駆動してＸ方向送りねじ８ＸおよびＸ方向ガイド
バー９Ｘにより所定のＸ座標位置まで移動され、同様
に、Ｙ方向移動アクチュエータ７Ｙが駆動してＹ方向送
りねじ８ＹおよびＹ方向ガイドバー９Ｙにより所定のＹ
座標位置まで移動される。
置の動作について図３に基づいて説明する。光学顕微鏡
３１によって記憶媒体にインプットされた異物などの位
置座標をはじめとする異物情報は、ホストコンピュータ
３４から電子顕微鏡３３側に入力される（ステップＳ
１）。その入力された異物情報に基づいて、異物などの
所定の位置に移動台１０を移動させる（ステップＳ
２）。移動台１０は、ホストコンピュータ３４のＣＰＵ
によって制御されて移動する。すなわち、異物情報の電
気信号が電子顕微鏡３３の移動台１０およびそのＸ、Ｙ
方向移動機構に入力されて、Ｘ方向移動アクチュエータ
７Ｘが駆動してＸ方向送りねじ８ＸおよびＸ方向ガイド
バー９Ｘにより所定のＸ座標位置まで移動され、同様
に、Ｙ方向移動アクチュエータ７Ｙが駆動してＹ方向送
りねじ８ＹおよびＹ方向ガイドバー９Ｙにより所定のＹ
座標位置まで移動される。
【００１６】移動台１０を所定のＸ、Ｙ座標位置まで移
動した後、光学顕微鏡３１の分解能の限界によって詳細
に観察できなかった１μｍ程度の微小な異物などの観察
を行なう（ステップＳ３）。
動した後、光学顕微鏡３１の分解能の限界によって詳細
に観察できなかった１μｍ程度の微小な異物などの観察
を行なう（ステップＳ３）。
【００１７】ウェハ上の異物などは、電子銃５からの電
子ビーム５ａをウェハ１１上に照射して、ウェハ１１か
らの２次電子ビームなどの信号を検出器１３により検出
することで行なう。異物などが発見された場合には、表
示部１８にウェハ１１の実像が表示される（ステップＳ
４）。表示部１８にウェハ１１の実像が表示された後
は、電子顕微鏡が備えているエネルギー分散Ｘ線分光機
構で異物などを分析する。このとき検出できる粒子の最
小径は０．５μｍである。
子ビーム５ａをウェハ１１上に照射して、ウェハ１１か
らの２次電子ビームなどの信号を検出器１３により検出
することで行なう。異物などが発見された場合には、表
示部１８にウェハ１１の実像が表示される（ステップＳ
４）。表示部１８にウェハ１１の実像が表示された後
は、電子顕微鏡が備えているエネルギー分散Ｘ線分光機
構で異物などを分析する。このとき検出できる粒子の最
小径は０．５μｍである。
【００１８】異物などが発見されない場合には、光学顕
微鏡３１による異物などの座標位置からずれて観察して
いるか、あるいはまったく的外れな位置で移動台１０を
移動させているかが考えられる。
微鏡３１による異物などの座標位置からずれて観察して
いるか、あるいはまったく的外れな位置で移動台１０を
移動させているかが考えられる。
【００１９】そのため、作業者が現在ウェハまたはチッ
プのどの位置を観察しているか判断できるように、ホス
トコンピュータ３４側のモニタ画面にウェハまたはチッ
プの全体像を表示する。そして、図６に示すようなキー
５１を用いてカーソル５２（図４参照）および移動台１
０の移動速度（ＭＳ）を選択する。例えば、キー５１ｂ
は基準速度「１」を意味し、キー５１ａを押し続ける
と、Ｘの＋方向にキー５１ｂの５倍の速度「５」でカー
ソル５２が移動する（ステップＳ１０）。なお、この表
示を行なう際には、ウェハ画面かチップ画面かの選択を
行なう（ステップＳ１１）。ここで、チップ画面とはウ
ェハ画面の中の微細な箇所を部分的に表示する画面をい
う。そして、ホストコンピュータ３４のモニタ画面に例
えばウェハ画面を設定した後、カーソル５２がウェハ上
の光学顕微鏡による異物などの座標位置で、例えば赤色
で表示される。なお、異物情報による座標位置は作業中
常に表示され、いつでもその座標位置に戻ることができ
る。
プのどの位置を観察しているか判断できるように、ホス
トコンピュータ３４側のモニタ画面にウェハまたはチッ
プの全体像を表示する。そして、図６に示すようなキー
５１を用いてカーソル５２（図４参照）および移動台１
０の移動速度（ＭＳ）を選択する。例えば、キー５１ｂ
は基準速度「１」を意味し、キー５１ａを押し続ける
と、Ｘの＋方向にキー５１ｂの５倍の速度「５」でカー
ソル５２が移動する（ステップＳ１０）。なお、この表
示を行なう際には、ウェハ画面かチップ画面かの選択を
行なう（ステップＳ１１）。ここで、チップ画面とはウ
ェハ画面の中の微細な箇所を部分的に表示する画面をい
う。そして、ホストコンピュータ３４のモニタ画面に例
えばウェハ画面を設定した後、カーソル５２がウェハ上
の光学顕微鏡による異物などの座標位置で、例えば赤色
で表示される。なお、異物情報による座標位置は作業中
常に表示され、いつでもその座標位置に戻ることができ
る。
【００２０】電子顕微鏡３３の表示部１８で観察を行な
う際のモニタ画面上での観察領域表示倍率の設定は、図
４に示すようにマルチウインド４１で表示されるので、
作業者は所定の倍率（例えば、１００倍）にカーソル５
２を移動させて倍率の設定を行なう（ステップＳ１
２）。例えば、図５に示すようなチップ画面上で観察し
たい異物の座標位置６２にカーソルを移動させてマウス
クリックすることにより赤色から黄色に変更してその座
標位置を確定し、次にカーソルを矢印キー６１に当てて
マウスクリックすることにより確定された座標位置の倍
率を設定してその座標位置近傍の観察領域を拡大表示さ
せる。このとき、電子顕微鏡３３の表示部１８で観察を
行なう際の倍率に応じて適宜高倍率、例えば電子顕微鏡
３３の倍率を１００００倍に設定するとしたとき、２０
００倍の設定を行なう。なお、この倍率の設定は、相対
的に低倍率から順次高倍率に上げてゆくのが所望の異物
の観察領域を指定するうえで好ましい。このモニタ画面
３２を見ながら移動したい位置に、図６に示すようなキ
ー５１を用いてカーソル５２を上下左右に移動させ（ス
テップＳ１３）、この移動に伴って表示したい拡大像の
領域が走査線として表示される（ステップＳ１４）。上
記キー５１は、Ｘ方向の２方向、Ｙ方向の２方向にそれ
ぞれ設けられ、各方向ともカーソル５２の移動速度が５
段階設定されている。そして、このキー５１を押し続け
る限りカーソル５２が移動し続けるものである。その際
に、領域の表示に伴い所定の色で表示されるようにプロ
グラムされている。例えば、２０００倍で領域の表示を
指定する場合、領域４２´が青色で表示される。
う際のモニタ画面上での観察領域表示倍率の設定は、図
４に示すようにマルチウインド４１で表示されるので、
作業者は所定の倍率（例えば、１００倍）にカーソル５
２を移動させて倍率の設定を行なう（ステップＳ１
２）。例えば、図５に示すようなチップ画面上で観察し
たい異物の座標位置６２にカーソルを移動させてマウス
クリックすることにより赤色から黄色に変更してその座
標位置を確定し、次にカーソルを矢印キー６１に当てて
マウスクリックすることにより確定された座標位置の倍
率を設定してその座標位置近傍の観察領域を拡大表示さ
せる。このとき、電子顕微鏡３３の表示部１８で観察を
行なう際の倍率に応じて適宜高倍率、例えば電子顕微鏡
３３の倍率を１００００倍に設定するとしたとき、２０
００倍の設定を行なう。なお、この倍率の設定は、相対
的に低倍率から順次高倍率に上げてゆくのが所望の異物
の観察領域を指定するうえで好ましい。このモニタ画面
３２を見ながら移動したい位置に、図６に示すようなキ
ー５１を用いてカーソル５２を上下左右に移動させ（ス
テップＳ１３）、この移動に伴って表示したい拡大像の
領域が走査線として表示される（ステップＳ１４）。上
記キー５１は、Ｘ方向の２方向、Ｙ方向の２方向にそれ
ぞれ設けられ、各方向ともカーソル５２の移動速度が５
段階設定されている。そして、このキー５１を押し続け
る限りカーソル５２が移動し続けるものである。その際
に、領域の表示に伴い所定の色で表示されるようにプロ
グラムされている。例えば、２０００倍で領域の表示を
指定する場合、領域４２´が青色で表示される。
【００２１】上記ステップＳ１２、Ｓ１３で領域設定、
倍率設定を行なった後、これらの情報がホストコンピュ
ータのＣＰＵから電子顕微鏡側の移動台１０の制御機構
に送られ、所定位置の微動制御がされる。その際、移動
台１０の移動速度はキー５１により指定された方向およ
び速さで移動される。ホストコンピュータ３４側のモニ
タ画面でカーソル５２の移動に伴い観察指定領域と観察
指定以外の領域とが区別され、観察が完了して検査を指
定された領域４２（図４参照）、領域４２´（図５参
照）が選択された倍率に対応した色で表示されるので、
作業者は現在ウェハ上のどの位置で観察を行なっている
か判断することができる。
倍率設定を行なった後、これらの情報がホストコンピュ
ータのＣＰＵから電子顕微鏡側の移動台１０の制御機構
に送られ、所定位置の微動制御がされる。その際、移動
台１０の移動速度はキー５１により指定された方向およ
び速さで移動される。ホストコンピュータ３４側のモニ
タ画面でカーソル５２の移動に伴い観察指定領域と観察
指定以外の領域とが区別され、観察が完了して検査を指
定された領域４２（図４参照）、領域４２´（図５参
照）が選択された倍率に対応した色で表示されるので、
作業者は現在ウェハ上のどの位置で観察を行なっている
か判断することができる。
【００２２】異物が発見できない場合には、光学顕微鏡
３１による異物などの座標位置から、例えば一辺が５イ
ンチの正方形領域について異物などの観察を行い、Ｎ回
同様の作業を繰り返す（ステップＳ１６）。
３１による異物などの座標位置から、例えば一辺が５イ
ンチの正方形領域について異物などの観察を行い、Ｎ回
同様の作業を繰り返す（ステップＳ１６）。
【００２３】異物などを発見した場合には、電子顕微鏡
３３の表示部に異物などの実像を表示し、エネルギー分
散Ｘ線分光機構により異物などを分析する。
３３の表示部に異物などの実像を表示し、エネルギー分
散Ｘ線分光機構により異物などを分析する。
【００２４】なお、この発明は上記の実施例に限定され
ず、ウェハ画面上においても、観察指定領域と観察指定
以外の領域とを区別し、電子顕微鏡３３の倍率の変更に
対応した色で表示し、作業者に現在チップ上のどの位置
で観察を行なっているのかを判断させることができる。
ず、ウェハ画面上においても、観察指定領域と観察指定
以外の領域とを区別し、電子顕微鏡３３の倍率の変更に
対応した色で表示し、作業者に現在チップ上のどの位置
で観察を行なっているのかを判断させることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明によれ
ば、電子顕微鏡による観察指定領域と観察指定以外の領
域とを区別して表示するようにモニタ画面を制御する制
御手段を備えているので、作業者はウェハまたはチップ
上のどの位置で観察を行なっているのか判断でき、すで
に観察した箇所を重複して再度観察することを回避で
き、迅速な観察を行なうことができるという効果を奏す
る。
ば、電子顕微鏡による観察指定領域と観察指定以外の領
域とを区別して表示するようにモニタ画面を制御する制
御手段を備えているので、作業者はウェハまたはチップ
上のどの位置で観察を行なっているのか判断でき、すで
に観察した箇所を重複して再度観察することを回避で
き、迅速な観察を行なうことができるという効果を奏す
る。
【図１】この発明の異物欠陥観察装置の全体構成図であ
る。
る。
【図２】この発明の異物欠陥観察装置の要部平面図であ
る。
る。
【図３】この発明の異物欠陥観察装置の処理を示すフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図４】この発明の異物欠陥観察装置のモニタ画面を示
す図である。
す図である。
【図５】この発明の異物欠陥観察装置のモニタ画面を示
す図である。
す図である。
【図６】この発明の異物欠陥観察装置のキーを示す図で
ある。
ある。
１１ 観察試料（ウェハまたはチップ） ３１ 光学顕微鏡 ３２ モニタ画面 ３３ 電子顕微鏡 ３４ ホストコンピュータ（制御手段、表示色調節手
段）
段）
Claims (2)
- 【請求項１】 観察試料の画像を表示するモニタ画面
と、光学顕微鏡により得られた前記観察試料上の異物に
関する情報に基づいて前記異物の位置座標を指定するこ
とにより前記異物を観察する電子顕微鏡とを備えた異物
欠陥観察装置において、 前記電子顕微鏡による観察指定領域と観察指定以外の領
域とを区別して表示するように前記モニタ画面を制御す
る制御手段を備えていることを特徴とする異物欠陥観察
装置。 - 【請求項２】 前記モニタ画面上の前記観察試料の観察
指定領域の表示色を前記電子顕微鏡の観察倍率の変化に
対応して変化させる表示色調節手段を備えていることを
特徴とする請求項１に記載の異物欠陥観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16508995A JPH0917371A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 異物欠陥観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16508995A JPH0917371A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 異物欠陥観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917371A true JPH0917371A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15805680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16508995A Pending JPH0917371A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 異物欠陥観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0917371A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018160378A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 日本電子株式会社 | 画像処理装置、観察装置、および画像処理方法 |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP16508995A patent/JPH0917371A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018160378A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 日本電子株式会社 | 画像処理装置、観察装置、および画像処理方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041026 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060228 |