JPH09166789A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JPH09166789A
JPH09166789A JP32926295A JP32926295A JPH09166789A JP H09166789 A JPH09166789 A JP H09166789A JP 32926295 A JP32926295 A JP 32926295A JP 32926295 A JP32926295 A JP 32926295A JP H09166789 A JPH09166789 A JP H09166789A
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晋 柴田
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盛毅 高橋
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 バスラインの断線欠陥をリペア配線によって
修正したときにリペア配線を経由して供給される信号に
遅延が生じない液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 (a)リペア配線と前記バスラインとの
交差部における前記リペア配線の線幅が、交差部以外の
線幅Wよりも狭く、かつ、レーザリペア可能な第1の線
幅N1、および、前記第1の線幅よりもさらに狭くレー
ザリペア不可能な第2の線幅N2のうちのいずれかであ
り、(b)前記複数本のリペア配線のそれぞれを前記絶
縁性基板上で異なるリペア領域に対応せしめ、あるリペ
ア配線と対応するリペア領域内における前記バスライン
との交差部は第1の線幅とし、当該リペア領域外におけ
る前記バスラインとの交差部は第2の線幅となるように
選択されて形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜トランジスタ
(以下、TFTという)を用いたアクティブマトリクス
型液晶表示装置(以下、LCDという)に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ガラスなどの光透過性絶縁性基板
上にTFTなどのスイッチング素子、および信号線、走
査線などのバスラインを併せて形成した画素電極基板を
用いるTFT−LCDにおいて、前記画素電極基板は製
造工程が複雑であり、また大面積に形成されるため、す
べてのバスラインを断線欠陥なく形成することは容易で
はなく、この断線欠陥が、画素電極基板の製造歩留りを
低下させる一因となっている。そこで、画素電極基板の
歩留りを向上させるためには、断線欠陥をリペアするこ
とが重要となる。
【0003】図3は、特開平2−156227号公報記
載の断線欠陥の修正を容易に行えるようにした画素電極
基板の表面構造を概略的に示した回路図である。図3に
おいて、ソースバスラインX1、X2、・・・、Xr、
・・・、Xm−1、Xm(mは、液晶表示装置の表示画
面の横方向の画素数であり、rは1≦r≦mの整数であ
り、以下、任意のソースバスラインを符号Xで表わす)
は信号線となるバスラインであり、ゲートバスラインY
1、Y2、・・・、Yn−1、Yn(nは液晶表示装置
の表示画面の縦方向の画素数であり、以下、任意のゲー
トバスラインを符号Yで表わす)は走査線となるバスラ
インである。ソースバスラインXとゲートバスラインY
は、絶縁性基板上において互いに直角に、かつ立体交差
をするように配列させられて形成されている。TFT1
は画素電極基板のスイッチ要素となる素子で、このTF
T1と画素電極2とがソースバスラインXとゲートバス
ラインYの各交差部にそれぞれ対応させられてマトリク
ス状に配列されて形成され、TFT1のソース電極はソ
ースバスラインXに、ゲート電極はゲートバスラインY
に、ドレイン電極は画素電極2にそれぞれ接続されてい
る。
【0004】また、前記ソースバスラインX、ゲートバ
スラインY、TFT1、および画素電極2などを形成し
た領域の外側には、リペア配線3a、3bがソースバス
ラインXの各端縁部およびゲートラインYの各端縁部と
絶縁膜を介して立体交差するように形成されている。こ
こで、リペア配線3aは表示画面中央から左側に位置す
るソースバスラインをリペアするために形成され、リペ
ア配線3bは表示画面中央から右側に位置するソースバ
スラインをリペアするために形成されている。前記表示
画面中央から左側の領域に対応するリペア配線3aと前
記表示画面中央から右側の領域に対応するリペア配線3
bとは、表示画面中央で分離されている。このように構
成された画素電極基板が液晶材料と組み合わされて完成
するTFT−LCDの駆動においては、TFT1をオ
ン、オフ制御するためのゲート電圧、および表示信号と
してTFT1のソース電極に選択的に与えられるソース
電圧は、それぞれゲートバスラインY、ソースバスライ
ンXの定められた一方の端縁部から印加される。
【0005】したがって、図3に示すようにソースバス
ラインXrの途中の部分Dに断線があるばあいには、ソ
ース電圧の印加される端縁部から断線箇所Dまでに接続
されているTFT1にはソース電圧が印加されず、これ
らのTFT1に対応する画素は駆動されないことにな
る。
【0006】そこでかかる断線欠陥の生じた画素電極基
板については、前記ソースバスラインXrとリペア配線
3aとが立体交差する部分A、Bにおいて、ソースバス
ラインXrとリペア配線3aとを接続させることによっ
て、その断線欠陥がリペアされる。すなわち、このとき
ソースバスラインXrの断線箇所Dからソース信号が印
加されていない側の端縁部までの部分には、リペア配線
3aを経由してソース電圧が印加されることになる。
【0007】図4は前記画素電極基板が組み込まれたT
FT−LCDのTFT部分の拡大断面図であり、図5は
図3のTFT−LCDにおけるリペア配線3aとバスラ
インX、Yが立体交差する部分N(図5において、バス
ラインは、ソースバスラインXを示す)を拡大して示す
断面図である。図4において、絶縁性基板4はたとえば
ガラスからなり、該絶縁性基板4上にTFT1のゲート
電極5がCrなどの金属で形成され、その上にSiNx
(チッ化シリコン、たとえばSi34、SiNなど)膜
がゲート絶縁膜6として形成されている。ゲート絶縁膜
6上には、a−Si(アモルファスシリコン)層7およ
びa−Si(n)(n型半導体非結晶質シリコン)層8
が形成され、さらにその上にソース電極9およびドレイ
ン電極10が形成されることによってa−Si層からな
るTFT1が形成されている。
【0008】また、画素電極11はITO(インジウム
錫酸化物)膜からなり、その一部がドレイン電極10上
に重ねられている。前述のa−Si層からなるTFT
1、画素電極11、走査線であるゲートバスラインY
(図示せず)、および信号線であるソースバスラインX
の全表面にはSiNx膜が保護膜12として形成され、
さらに前記保護膜12の表面全面に配向膜13aが形成
されており、これらから表示電極基板14が形成されて
いる。
【0009】このようにして形成された画素電極基板1
4と対向させて対向電極基板15が配置され、この画素
電極基板14と対向電極基板15のあいだに液晶材料1
6が封入されている。対向電極基板15においては、ガ
ラスからなる絶縁性基板17の前記画素電極基板14と
対向する表面で、画素電極11と対向する部分にカラー
フィルタ18が形成されており、またその他の部分に
は、光非透過膜19が形成され、その表面にITO膜か
らなる対向電極20が形成されており、さらにその上に
配向膜13bが形成されている。
【0010】また、図5において、画素電極基板14に
形成されるリペア配線3aは絶縁膜21を介してソース
バスラインX、ゲートバスラインYなどの上を立体交差
させてある。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、リペア
配線3aおよび3bは、ともにソースバスラインXおよ
びゲートバスラインYと絶縁膜を介して立体交差させて
あり、これらの交差部には浮遊容量が生じる一方、リペ
ア配線3a、3bと対向電極20のあいだには、これら
のあいだに介在する液晶材料16、配向膜13a、13
b、および保護膜12などの誘電性に起因する浮遊容量
が介在するため、リペア配線3a、3bのもつ抵抗との
積で与えられる時定数に応じた信号の遅延が生じる。す
なわち、断線箇所をリペアしたバスラインと、他の正常
なバスラインとの入力信号に差が生じ、そのバスライン
に並ぶ画素による表示は、正常部と比べて薄い線状を呈
することになり、表示品位を低下させてしまうという問
題がある。
【0012】かかる問題を改善するために、たとえば、
図6に示されるようにリペア配線3aとソースバスライ
ンXとの交差部N、およびリペア配線3bとゲートバス
ラインYとの交差部Nの線幅を、非交差部Wの線幅より
も狭くして、リペア配線3aとソースバスラインXとの
交差部N、およびリペア配線3bとゲートバスラインY
との交差部Nに生じる浮遊容量を小さくする方法が考え
られている。しかし、レーザリペアによりリペア配線3
aとソースバスラインXとの接続、およびリペア配線3
bとゲートバスラインYとの接続を行うためには、レー
ザリペアによるレーザのスポット径の大きさ、レーザ接
続による接続抵抗および断線の信頼性の点から、リペア
配線3aおよび3bの線幅は、あるしきい値以上、たと
えば30μm以上を確保する必要がある。したがって浮
遊容量の低減には限界がある。
【0013】一方、TFT−LCDは、高精細化が進ん
でおり、XGA(画素数1024×768)、EWS
(画素数1280×1024)などの高精細LCDが実
用化されている。このような高精細LCDでは、ソース
バスラインおよびゲートバスラインの本数も従来のVG
A(画素数640×480)に比べて飛躍的に増加する
ため、リペア配線3aおよび3bと、ソースバスライン
XおよびゲートバスラインYとのそれぞれの交差部の浮
遊容量も増加することになる。さらに、これら高精細L
CDでは、画素数の増加に伴い、TFT1の充放電時間
が減少するため、入力信号遅延の影響による前述の表示
品位の低下は顕著なものとなり、レーザリペア可能な分
だけリペア配線3aおよび3bの線幅を確保すると、断
線したバスラインをリペアしても薄い線状の欠陥として
認識されるという問題を有する。
【0014】本発明はこのような問題を解決し、リペア
配線と各バスライン(ソースバスラインおよびゲートバ
スライン)に生じる浮遊容量が小さく抑えられ、かつバ
スラインの断線欠陥をリペア配線によって修正したとき
にリペア配線を経由して供給される信号に遅延が生じな
い液晶表示装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置
は、絶縁性基板上に、バスラインとしてのそれぞれ複数
本の信号線および走査線と、前記バスラインのいずれか
に接続可能であり、かつ、前記バスラインのいずれかと
立体交差させて形成される断線修正用の複数本のリペア
配線とを有するアクティブマトリクス型液晶表示装置で
あって、(a)前記リペア配線と前記バスラインとの交
差部における前記リペア配線の線幅が、交差部以外の線
幅よりも狭く、かつ、レーザリペア可能な第1の線幅、
および、前記第1の線幅よりもさらに狭くレーザリペア
不可能な第2の線幅のうちのいずれかであり、(b)前
記複数本のリペア配線のそれぞれを前記絶縁性基板上で
異なるリペア領域に対応せしめ、あるリペア配線と対応
するリペア領域内における前記バスラインとの交差部は
第1の線幅とし、当該リペア領域外における前記バスラ
インとの交差部は第2の線幅となるように選択されて形
成されている。
【0016】本発明の液晶表示装置は、前記リペア配線
の第1の線幅の部分が配線方向と垂直な幅方向で片側に
片寄せされ、当該片寄せされた側の端縁が一直線状に形
成されていてもよい。
【0017】本発明の液晶表示装置は、前記リペア配線
の第2の線幅の部分が配線方向と垂直な幅方向で片側に
片寄せされ、当該片寄せされた側の端縁が一直線状に形
成されてなることが、リペア配線の断線の対策のため好
ましい。
【0018】本発明の液晶表示装置は、前記第2の線幅
が10〜30μmであることが、バスラインとリペア配
線とのあいだの浮遊容量を低減させ、かつリペア配線の
抵抗が増加するのを抑制させるため好ましい。
【0019】本発明の液晶表示装置は、前記リペア配線
の第2の線幅の部分が配線方向に平行に2本に分割さ
れ、当該分割されたそれぞれの線幅の合計は前記第2の
線幅に等しく、かつ前記分割されたリペア配線は互いに
間隔をあけて形成されていてもよい。
【0020】本発明の液晶表示装置は、前記リペア配線
の対応するリペア領域以外の領域における線幅が前記第
2の線幅に等しいことが、リペア領域以外のバスライン
とリペア配線とのあいだの浮遊容量を低減させるため好
ましい。
【0021】
【発明の実施の形態】つぎに図面を参照しながら本発明
の液晶表示装置の一実施例を説明する。
【0022】図1は本発明の液晶表示装置の一実施例に
かかわる配線部分の説明図であり、図2は本発明の液晶
表示装置にかかわる画素電極基板の表面構造の概略説明
図である。本実施例では、TFT−LCDの表示領域を
複数の領域(図2では、8領域)に分割し、各領域に対
してソースバスラインの断線をリペアするためのリペア
配線を専用化する。つまり、領域A1で発生したソース
バスラインの断線欠陥については、リペア配線RW1を
用いてリペアし、領域A2で発生したソースバスライン
の断線欠陥についてはリペア配線RW2を用いてリペア
を行う。このように、領域A1〜A8に用いるリペア配
線とリペア配線RW1〜RW8とをそれぞれ対応させ
る。
【0023】図1はリペア配線部分の拡大図である。図
1に示すように、リペア配線RW1〜RW8の線幅につ
いては、ソースバスラインXまたはゲートバスラインY
と立体交差しない非交差部Wはリペア配線RW1〜RW
8の配線抵抗を小さくするために線幅が広く形成されて
いるのに対して、リペア配線RW1〜RW8とソースバ
スラインXおよびゲートバスラインYとのそれぞれの交
差部N1とN2については、リペア配線RW1〜RW8
とソースバスラインXおよびゲートバスラインYとのあ
いだに生じる浮遊容量を小さくするために線幅が非交差
部Wよりも狭く形成されている。さらに、前述のよう
に、たとえばリペア配線RW2は領域A2のソースバス
ライン断線欠陥のリペア専用の配線であるため、リペア
配線RW2と領域A2のソースバスラインXとの交差部
N1の線幅(第1の線幅)はレーザリペアが可能な幅、
すなわち30〜50μm程度を確保している。一方、リ
ペア配線RW2と領域A1のソースバスラインXおよび
ゲートバスラインYとの交差部N2の線幅(第2の線
幅)は、領域A1がリペア配線RW2のリペアする領域
ではないため、浮遊容量をより小さくするためにレーザ
リペアが不可能な線幅、すなわち10〜30μm程度に
狭く形成されている。従来の液晶表示装置においては、
リペア配線抵抗を充分に小さくなるよう抑制するという
理由で、線幅は50μm以下にすることはなかったが、
本発明の液晶表示装置においては、XGAレベルの高解
像度の表示装置であるため、バスラインとリペア配線と
の交差部の面積が増加する。したがって、前記交差部の
面積の増加に伴う浮遊容量を低減するため、交差部N1
およびN2の部分の線幅をWよりも狭く形成した。
【0024】つぎに、たとえば、液晶表示装置の有効表
示領域が対角12インチクラスの解像度XGA(画素数
1024×768)の液晶表示装置に本発明の液晶表示
装置を適用したばあいについて説明する。表示領域を図
2のように8領域に分割し、各領域のソースバスライン
断線欠陥をリペアするリペア配線RW1〜RW8を各2
本ずつ設ける。これにより各領域内の384本のソース
バスラインのうち、2本までの断線リペアが可能とな
る。
【0025】ところで、通常このクラスの液晶表示装置
では、リペア配線RW1〜RW8の線幅は、50μm程
度である。本発明においては、ソースバスラインXとの
非交差部Wの線幅を50μm程度とし、リペア可能な領
域におけるリペア配線RW1〜RW8のソースバスライ
ンXとの交差部N1との線幅を45μm程度とし、リペ
ア不可能な領域におけるリペア配線RW1〜RW8のソ
ースバスラインXおよびゲートバスラインYとの交差部
N2の線幅を20μm程度とした。本発明の液晶表示装
置におけるリペア配線による信号時定数τを、従来のリ
ペア配線の線幅がどの部分においても50μm程度で一
定のばあいと比較する。
【0026】リペア配線の抵抗R、およびリペア配線と
バスライン間との浮遊容量Cが共に最大となるリペア配
線RW4とRW5について考える。従来のリペア配線の
ばあい、リペア配線抵抗R1は790Ω程度で、浮遊容
量C1は600pF程度である。一方、本実施例によれ
ば、リペア配線の抵抗R2は1300Ωで、浮遊容量C
2は250pFである。ここに、従来のリペア配線の時
定数τ1と本実施例のリペア配線の時定数τ2を比較す
る。
【0027】τ2/τ1=(R2・C2)/(R1・C
1)=0.69 となり、本実施例におけるリペア配線の時定数は従来の
ものに比較して、70%以下に低減することができる。
また、従来のリペア配線を用いてソースバスラインの断
線欠陥をリペアすると、リペアを行ったソースバスライ
ンに対応する画素が他の画素より明るくなるという線状
の表示不良が見られたが、本実施例によるリペア配線を
用いてソースバスラインの断線欠陥をリペアすると、線
状の表示不良が発生しないことが確認された。
【0028】また、本実施例では、リペア配線を各領域
に2本ずつ設けた例について説明したが、リペア配線は
少なくとも1本あればよい。ただし、リペア配線が1本
のばあいは、リペアできるソースバスラインは1本であ
り、リペア配線が2本のばあいは、リペアでできるソー
スバスラインは2本である。また、レーザリペア不可能
な交差部N2の部分は必ずしも1本である必要はなく、
たとえば、交差部N2の部分を配線部分に平行に2本に
分割し、当該分割されたそれぞれの線幅の合計が前記交
差部N2の幅に等しくなるように形成し、さらに前記2
本のあいだをあけて形成してもよい。要は、分割された
交差部N2全体の浮遊容量が充分小さく、かつ前記分割
されたそれぞれの線幅がレーザリペア不可能な幅であれ
ばよい。
【0029】リペア配線の第2の線幅の部分、すなわち
図1(a)中の交差部N2については、リペア配線の非
交差部Wに対して、必ずしも図1(a)に示されるよう
にWの中央部に形成されていなくとも、図1(b)に示
されるように配線方向と垂直な幅方向で片側に片寄せさ
れて、当該片寄せされた端縁が一直線状に形成されてい
てもよい。すなわち、図1(b)に示されるように、配
線方向が横方向であれば、非交差部Wの幅方向(図1
(b)においては上下方向)の上側か下側かのどちらか
の端縁(図1(b)では下側)に第2の線幅の部分N2
の端縁が一致するように片寄せされて、下側が一直線状
に形成されていてもよい。その理由は、このように第2
の線幅の部分N2が非交差部Wに片寄せされているばあ
いも第2の線幅の部分N2が非交差部Wの幅方向に対し
て中央部に形成されているばあいとリペア配線抵抗が同
一だからである。また、前記第2の線幅の部分N2と同
様に第1の線幅の部分N1が配線方向と垂直な幅方向で
Wの片側に片寄せされて、当該片寄せされた端縁が一直
線状に形成されていてもよい。このばあいも同様にその
理由は、リペア配線抵抗は第1の線幅の部分N1が非交
差部Wの幅方向の中央に形成されているばあいと同一だ
からである。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、リペア配線とバスライ
ンとの交差部における前記リペア配線の線幅が交差部以
外の線幅よりも狭く、かつ、レーザリペア可能な第1の
線幅、および、さらに狭くレーザリペア不可能な第2の
線幅のうちのいずれかであり、(b)前記複数本のリペ
ア配線のそれぞれを前記絶縁性基板上で異なるリペア領
域に対応せしめ、あるリペア配線は対応するリペア領域
内における前記バスラインとの交差部は第1の線幅と
し、当該リペア領域外における前記バスラインとの交差
部は第2の線幅となるように選択されて形成されている
ので、リペア配線と各バスライン(ソースバスラインお
よびゲートバスライン)に生じる浮遊容量が小さく抑え
られ、かつバスラインの断線欠陥をリペア配線によって
修正したときにリペア配線を経由して供給される信号に
遅延が生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶表示装置の一実施例にかかわる配
線部分の平面説明図である。
【図2】本発明の液晶表示装置にかかわる画素電極基板
の表面構造の概略説明図である。
【図3】従来の画素電極基板の表面構造を概略的に示し
た回路図である。
【図4】従来の画素電極基板が組み込まれたTFT−L
CDの構造の一部拡大断面図である。
【図5】TFT−LCDにおける、リペア配線とソース
バスラインとが立体交差する部分の拡大断面図である。
【図6】従来の液晶表示装置の一例にかかわる配線部分
の平面説明図である。
【符号の説明】
A1〜A8 領域 RW1〜RW8 リペア配線

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁性基板上に、バスラインとしてのそ
    れぞれ複数本の信号線および走査線と、前記バスライン
    のいずれかに接続可能であり、かつ、前記バスラインの
    いずれかと立体交差させて形成される断線修正用の複数
    本のリペア配線とを有するアクティブマトリクス型液晶
    表示装置であって、(a)前記リペア配線と前記バスラ
    インとの交差部における前記リペア配線の線幅が、交差
    部以外の線幅よりも狭く、かつ、レーザリペア可能な第
    1の線幅、および、前記第1の線幅よりもさらに狭くレ
    ーザリペア不可能な第2の線幅のうちのいずれかであ
    り、(b)前記複数本のリペア配線のそれぞれを前記絶
    縁性基板上で異なるリペア領域に対応せしめ、あるリペ
    ア配線と対応するリペア領域内における前記バスライン
    との交差部は第1の線幅とし、当該リペア領域外におけ
    る前記バスラインとの交差部は第2の線幅となるように
    選択されて形成されてなる液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 前記リペア配線の第1の線幅の部分が配
    線方向と垂直な幅方向で片側に片寄せされ、当該片寄せ
    された側の端縁が一直線状に形成されてなる請求項1記
    載の液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 前記リペア配線の第2の線幅の部分が配
    線方向と垂直な幅方向で片側に片寄せされ、当該片寄せ
    された側の端縁が一直線状に形成されてなる請求項1記
    載の液晶表示装置。
  4. 【請求項4】 前記第2の線幅が10〜30μmである
    請求項1または3記載の液晶表示装置。
  5. 【請求項5】 前記リペア配線の第2の線幅の部分が配
    線方向に平行に2本に分割され、当該分割されたそれぞ
    れの線幅の合計は前記第2の線幅に等しく、かつ前記分
    割されたリペア配線は互いに間隔をあけて形成されてな
    る請求項1記載の液晶表示装置。
  6. 【請求項6】 前記リペア配線の対応するリペア領域以
    外の領域における線幅が前記第2の線幅に等しい請求項
    1、2、3、4または5記載の液晶表示装置。
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Cited By (3)

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