JPH09166413A - 光学的変位検出装置 - Google Patents
光学的変位検出装置Info
- Publication number
- JPH09166413A JPH09166413A JP32714695A JP32714695A JPH09166413A JP H09166413 A JPH09166413 A JP H09166413A JP 32714695 A JP32714695 A JP 32714695A JP 32714695 A JP32714695 A JP 32714695A JP H09166413 A JPH09166413 A JP H09166413A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- measured
- stage
- amount
- displacement amount
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光てこ方式の光学的変位検出装置において、
カンチレバーの撓み方向(上下方向)への変位しか検出
できず、被測定物が平行移動した場合にはその変位を全
く検出することができない。 【解決手段】 従来は必須構成であったカンチレバーと
その表面に設置される平面鏡に代えて、曲面鏡のみでこ
れをする。全体構成が簡易、小型化、安価となった上、
上下、左右方向への移動をも検出することができ、ま
た、構成に機械的な力が加わらないので、経時的にも安
定し、信頼度の高い検出を長期間にわたって可能とし
た。さらには、従来のカンチレバーの曲げ曲面よりも高
い任意の曲率を有する曲面鏡を使用することにより、従
来のものよりも変位量の増幅率も大幅に向上させること
ができ、より高い精度での変位検出が可能となった。
カンチレバーの撓み方向(上下方向)への変位しか検出
できず、被測定物が平行移動した場合にはその変位を全
く検出することができない。 【解決手段】 従来は必須構成であったカンチレバーと
その表面に設置される平面鏡に代えて、曲面鏡のみでこ
れをする。全体構成が簡易、小型化、安価となった上、
上下、左右方向への移動をも検出することができ、ま
た、構成に機械的な力が加わらないので、経時的にも安
定し、信頼度の高い検出を長期間にわたって可能とし
た。さらには、従来のカンチレバーの曲げ曲面よりも高
い任意の曲率を有する曲面鏡を使用することにより、従
来のものよりも変位量の増幅率も大幅に向上させること
ができ、より高い精度での変位検出が可能となった。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光てこ原理を利用し
た光学的変位検出装置に関し、特に2次元または3次元
ステージ等被測定物の微小変位の検出に好適に利用され
る。
た光学的変位検出装置に関し、特に2次元または3次元
ステージ等被測定物の微小変位の検出に好適に利用され
る。
【0002】
【従来の技術】被測定物の光学的変位検出方式の1つと
して「光てこ方式」が知られている。この光てこ方式の
原理説明図を図2に示す。一般に、可撓性材料からなる
カンチレバー(片持ち梁)の自由端の下面を図外の被測
定物に固定または接触させておくことにより、該自由端
の変位量を被測定物の変位量として検出する。
して「光てこ方式」が知られている。この光てこ方式の
原理説明図を図2に示す。一般に、可撓性材料からなる
カンチレバー(片持ち梁)の自由端の下面を図外の被測
定物に固定または接触させておくことにより、該自由端
の変位量を被測定物の変位量として検出する。
【0003】該自由端の変位量の検出には、光学反射が
利用される。カンチレバー自由端の上面は反射板を取付
け或いは研磨することにより光の平面反射を可能とさ
れ、レーザ光源LDから発せられる測定光を前記カンチ
レバーの反射面に照射して、カンチレバーの変位により
生ずる該反射面に対するレーザ光の入射角の変化をフォ
トダイオードアレイ等の光センサの入射位置の変化とし
て検出することにより、カンチレバー自由端、即ち被測
定物の変位量を知る。
利用される。カンチレバー自由端の上面は反射板を取付
け或いは研磨することにより光の平面反射を可能とさ
れ、レーザ光源LDから発せられる測定光を前記カンチ
レバーの反射面に照射して、カンチレバーの変位により
生ずる該反射面に対するレーザ光の入射角の変化をフォ
トダイオードアレイ等の光センサの入射位置の変化とし
て検出することにより、カンチレバー自由端、即ち被測
定物の変位量を知る。
【0004】このような検出方法によれば、測定光の入
射角の微小変化が光センサの入射位置の変化量L2とし
て増幅して検出されるため(図2(b)参照)、カンチ
レバー自由端の変位量L1を高感度に検出することがで
きるという利点がある。
射角の微小変化が光センサの入射位置の変化量L2とし
て増幅して検出されるため(図2(b)参照)、カンチ
レバー自由端の変位量L1を高感度に検出することがで
きるという利点がある。
【0005】或いは、光てこ方式のものであって、光セ
ンサ側の検出方法として、反射光を2分割フォトダイオ
ードPDに入射させ、検出位置の変位を双方のPDに対
する入射光量の差として検出するようにしたものも考案
されている。この方法のものでは、カンチレバー自由端
からの反射光を臨界角プリズムを介した後にPDに入射
させることにより自由端の変位量L1を拡大してPDに
入射するような工夫がなされている。
ンサ側の検出方法として、反射光を2分割フォトダイオ
ードPDに入射させ、検出位置の変位を双方のPDに対
する入射光量の差として検出するようにしたものも考案
されている。この方法のものでは、カンチレバー自由端
からの反射光を臨界角プリズムを介した後にPDに入射
させることにより自由端の変位量L1を拡大してPDに
入射するような工夫がなされている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したよう
な光てこ方式の変位検出装置は、次のような欠点を有し
ている。
な光てこ方式の変位検出装置は、次のような欠点を有し
ている。
【0007】先ず第1に、図2の方式の最大の欠点とも
言えることは、カンチレバーの撓み方向(通常は上下方
向である)への変位しか検出できないことである。被測
定物が平行移動した場合にはその変位を全く検出するこ
とができない。
言えることは、カンチレバーの撓み方向(通常は上下方
向である)への変位しか検出できないことである。被測
定物が平行移動した場合にはその変位を全く検出するこ
とができない。
【0008】また、カンチレバーは、梁の長さ、厚み、
材質等に撓み具合が大きく左右されるので、設計・製作
上、制約が多い。
材質等に撓み具合が大きく左右されるので、設計・製作
上、制約が多い。
【0009】更に、カンチレバーには機械的な曲げ力が
繰り返し加えられるため、変形や疲労等により経時的に
信頼性が低下する。
繰り返し加えられるため、変形や疲労等により経時的に
信頼性が低下する。
【0010】臨界角プリズムと2分割PDを利用した検
出方法は、光学系の構造が複雑で装置全体が大型となる
上、高価である。
出方法は、光学系の構造が複雑で装置全体が大型となる
上、高価である。
【0011】本発明は、このような従来装置の課題を鑑
み、簡易にして3次元方向への微小変位を検出すること
ができる光学的変位検出装置を提供することを目的とす
るものである。
み、簡易にして3次元方向への微小変位を検出すること
ができる光学的変位検出装置を提供することを目的とす
るものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る光学的変位検出装置は、測定光を発す
る発光部と、被測定物の変位量との相関を持って測定光
の入射位置が移動するように構成される曲面を有する反
射鏡と、該反射鏡により反射する測定光の反射角度の変
化を測定可能な受光部とからなり、前記発光部から発せ
られ前記反射鏡の曲面部で反射される測定光の、被測定
物の変位に伴う反射角度の変化量から被測定物の変位量
を検出するようにしたことを特徴とする。
に、本発明に係る光学的変位検出装置は、測定光を発す
る発光部と、被測定物の変位量との相関を持って測定光
の入射位置が移動するように構成される曲面を有する反
射鏡と、該反射鏡により反射する測定光の反射角度の変
化を測定可能な受光部とからなり、前記発光部から発せ
られ前記反射鏡の曲面部で反射される測定光の、被測定
物の変位に伴う反射角度の変化量から被測定物の変位量
を検出するようにしたことを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光学的変位検
出装置の一実施例について図面を参照して説明する。
出装置の一実施例について図面を参照して説明する。
【0014】図1に本発明に係る光学的変位検出装置の
基本構成を示す。例えば、被測定物として精密駆動X−
Y−Zステージを挙げ、その微小な位置変位の検出につ
いて説明する。光学的変位検出装置は、測定光を発する
発光部としてのレーザダイオードLD、被測定物である
ステージ上に設置されてこれと共に移動する曲面鏡M、
受光部としてのフォトダイオードアレイPDAから構成
される。
基本構成を示す。例えば、被測定物として精密駆動X−
Y−Zステージを挙げ、その微小な位置変位の検出につ
いて説明する。光学的変位検出装置は、測定光を発する
発光部としてのレーザダイオードLD、被測定物である
ステージ上に設置されてこれと共に移動する曲面鏡M、
受光部としてのフォトダイオードアレイPDAから構成
される。
【0015】図1(a)はステージが初期位置にある状
態での検出状態を示している。LDから発せられたレー
ザ光は、ステージ上の曲面鏡Mに照射されて反射し、P
DAのある位置において受光される。図2(b)実線に
示すようにステージが下方向にL1だけ微小変位した場
合には、レーザ光の曲面鏡Mへの入射位置が僅かにず
れ、PDAの検出位置が大きく変化する。即ち、ステー
ジの変位量L1をPDAの変位量L2に増幅し、被測定
物の変位を高感度に検出している。PDAにおける変化
量L2は、既知の実測値、或いは理論値と比較され、実
際のステージの変位量L1が算出される。
態での検出状態を示している。LDから発せられたレー
ザ光は、ステージ上の曲面鏡Mに照射されて反射し、P
DAのある位置において受光される。図2(b)実線に
示すようにステージが下方向にL1だけ微小変位した場
合には、レーザ光の曲面鏡Mへの入射位置が僅かにず
れ、PDAの検出位置が大きく変化する。即ち、ステー
ジの変位量L1をPDAの変位量L2に増幅し、被測定
物の変位を高感度に検出している。PDAにおける変化
量L2は、既知の実測値、或いは理論値と比較され、実
際のステージの変位量L1が算出される。
【0016】ステージが水平方向に移動した場合にも同
様にしてその変位量が高感度に測定される。
様にしてその変位量が高感度に測定される。
【0017】図1の構成ではステージ自体の変位を検出
するため、平面鏡Mはステージ上に設置してあるが、平
面鏡Mは被測定物と相関的に移動する構成とすれば同様
の作用効果が得られる。ステージ上に真の被測定物を設
置して間接的に測定することは勿論、図3に示すように
被測定物には平面鏡のみを設置し、平面鏡からの反射光
を曲面鏡Mで再度反射させてPDAに入射させるような
構成としても良く、構成の自由度が大幅に拡大される。
この構成では、被測定物の表面自体が平面反射面を成し
ている場合には、該平面鏡を設置する必要が無いことは
言うまでもない。
するため、平面鏡Mはステージ上に設置してあるが、平
面鏡Mは被測定物と相関的に移動する構成とすれば同様
の作用効果が得られる。ステージ上に真の被測定物を設
置して間接的に測定することは勿論、図3に示すように
被測定物には平面鏡のみを設置し、平面鏡からの反射光
を曲面鏡Mで再度反射させてPDAに入射させるような
構成としても良く、構成の自由度が大幅に拡大される。
この構成では、被測定物の表面自体が平面反射面を成し
ている場合には、該平面鏡を設置する必要が無いことは
言うまでもない。
【0018】被測定物の微小回転変位を検出する場合に
は、ラック&ピニオン等の構成を採用し、ラックに曲面
鏡Mを設置することにより容易に適用できる。また、そ
の他の介在物を採用することも、被測定物と曲面鏡Mと
の相関移動関係が維持されるものであれば適宜選択する
ことができる。
は、ラック&ピニオン等の構成を採用し、ラックに曲面
鏡Mを設置することにより容易に適用できる。また、そ
の他の介在物を採用することも、被測定物と曲面鏡Mと
の相関移動関係が維持されるものであれば適宜選択する
ことができる。
【0019】曲面鏡Mは、図では凸面鏡としたが、凹面
鏡とすることも勿論差し支えない。
鏡とすることも勿論差し支えない。
【0020】検出部にフォトダイオードアレイではな
く、2分割または4分割のフォトダイオードを採用し
て、各受光セルの出力の差を必要に応じて増幅し、これ
を検出信号としても良い。
く、2分割または4分割のフォトダイオードを採用し
て、各受光セルの出力の差を必要に応じて増幅し、これ
を検出信号としても良い。
【0021】
【発明の効果】本発明に係る光学的変位検出装置は、従
来の光てこ方式のものにおいて必須構成であったカンチ
レバーとその表面に設置される平面鏡に代えて、曲面鏡
のみでこれを構成したので、全体構成が簡易、小型化、
安価となり、構成や材質等の選択の自由度が拡大された
上、上下、左右方向への移動をも検出可能とすることが
できた。また、構成に機械的な力が加わらないので、経
時的にも安定し、信頼度の高い検出を長期間にわたって
可能とした。さらには、従来のカンチレバーの曲げ曲面
よりも高い任意の曲率を有する曲面鏡を使用することに
より、従来のものよりも変位量の増幅率も大幅に向上さ
せることができ、より高い精度での変位検出が可能とな
った。
来の光てこ方式のものにおいて必須構成であったカンチ
レバーとその表面に設置される平面鏡に代えて、曲面鏡
のみでこれを構成したので、全体構成が簡易、小型化、
安価となり、構成や材質等の選択の自由度が拡大された
上、上下、左右方向への移動をも検出可能とすることが
できた。また、構成に機械的な力が加わらないので、経
時的にも安定し、信頼度の高い検出を長期間にわたって
可能とした。さらには、従来のカンチレバーの曲げ曲面
よりも高い任意の曲率を有する曲面鏡を使用することに
より、従来のものよりも変位量の増幅率も大幅に向上さ
せることができ、より高い精度での変位検出が可能とな
った。
【図1】 本発明に係る光学的変位検出装置の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図2】 従来の光てこ方式の光学的変位検出装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図3】 本発明に係る光学的変位検出装置の変形実施
例を示す図である。
例を示す図である。
LD … 発光部(レーザーダイオード) M … 曲面鏡 PDA… 光センサ(フォトダイオードアレイ)
Claims (1)
- 【請求項1】 測定光を発する発光部と、被測定物の変
位量との相関を持って測定光の入射位置が移動するよう
に構成される曲面を有する反射鏡と、該反射鏡により反
射する測定光の反射角度の変化を測定可能な受光部とか
らなり、前記発光部から発せられ前記反射鏡の曲面部で
反射される測定光の、被測定物の変位に伴う反射角度の
変化量から被測定物の変位量を検出するようにしたこと
を特徴とする光学的変位検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32714695A JPH09166413A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 光学的変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32714695A JPH09166413A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 光学的変位検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09166413A true JPH09166413A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18195831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32714695A Pending JPH09166413A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 光学的変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09166413A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001124537A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-05-11 | Snap On Deutschland Holding Gmbh | 回転部材用回転角センサー |
US6515754B2 (en) | 2000-06-02 | 2003-02-04 | Nec Corporation | Object-displacement detector and object-displacement controller |
CN109238181A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-18 | 昆明理工大学 | 一种基于多级光杠杆的电梯轨道平整度检测系统及方法 |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP32714695A patent/JPH09166413A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001124537A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-05-11 | Snap On Deutschland Holding Gmbh | 回転部材用回転角センサー |
US6515754B2 (en) | 2000-06-02 | 2003-02-04 | Nec Corporation | Object-displacement detector and object-displacement controller |
CN109238181A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-18 | 昆明理工大学 | 一种基于多级光杠杆的电梯轨道平整度检测系统及方法 |
CN109238181B (zh) * | 2018-09-29 | 2023-09-26 | 昆明理工大学 | 一种基于多级光杠杆的电梯轨道平整度检测系统及方法 |
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