JPH09159852A - 薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄膜フィルタを導波路の溝に挿入固定する時
の作業性を良くし、薄膜フィルタの反りを解消し、薄膜
フィルタを溝に接着する際の薄膜フィルタの位置ずれを
防止できる薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその
方法を提供する。 【解決手段】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
入固定するための挿入固定治具において、Ｓi 基板をエ
ッチング加工してＳi 基板の底面１０ａまで貫通したフ
ィルタ挿入穴１１を形成し、そのフィルタ挿入穴１１に
薄膜フィルタを斜めに起立させて支持する傾斜面１２を
形成したことを特徴とする。上記フィルタ挿入穴１１は
上記傾斜面１２が形成されたフィルタ挿入部１３と、そ
のフィルタ挿入部１３の対向する側に上記溝への挿入後
の薄膜フィルタの両側を保持するフィルタ固定部１４と
から成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は薄膜フィルタを導波
路に形成した溝へ挿入固定するための挿入固定治具及び
その方法に係り、特にＳi 基板をエッチング加工した挿
入固定治具及びその治具を用いて薄膜フィルタを挿入す
る方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】導波路のコアに薄膜フィルタを取付ける
場合、薄膜フィルタが導波路のコアを横断するように溝
を形成し、その溝に薄膜フィルタを挿入するようにして
いる。

【０００３】従来の薄膜フィルタの溝への挿入固定方法
としては、ピンセット等で薄膜フィルタを挾み、導波路
に形成した溝へ直接薄膜フィルタを挿入固定するものが
ある。

【０００４】図６に従来の薄膜フィルタの溝への挿入固
定方法を示す。導波路５０表面から俯角αで作製された
導波路５０上の溝５２に薄膜フィルタ５１を挿入固定す
る場合、薄膜フィルタ５１をピンセット等で取り扱い、
溝５２に挿入後、接着剤５３でモールド固定を行なう。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法においては、薄膜フィルタ５１を溝５２
へ挿入するための位置決めに時間がかかり作業性に問題
がある。薄膜フィルタ５１が反り等を持っている場合、
溝５２への挿入が困難となる。また、薄膜フィルタ５１
を溝５２へ挿入後、接着剤の使用時に薄膜フィルタ５１
が所定の固定位置からずれる問題がある。

【０００６】本発明の目的は、前記した従来技術の欠点
を解消し、薄膜フィルタを溝に挿入固定する時の作業性
を良くし、薄膜フィルタの反りを解消し、薄膜フィルタ
を溝に接着する際の薄膜フィルタの位置ずれを防止でき
る薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法を提
供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１の発明は、導波路に形成した溝に薄膜フィルタ
を挿入固定するための挿入固定治具において、Ｓi 基板
をエッチング加工してＳi 基板の底面まで貫通したフィ
ルタ挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィル
タを斜めに起立させて支持する傾斜面を形成したもので
ある。

【０００８】請求項２の発明は、上記フィルタ挿入穴は
上記傾斜面が形成されたフィルタ挿入部と、そのフィル
タ挿入部の対向する側に上記溝への挿入後の薄膜フィル
タの両側を保持するフィルタ固定部とから成り、導波路
と薄膜フィルタを接着固定するための接着剤が挿入固定
治具に触れないようにフィルタ固定部のＳｉ基板の裏面
に逃溝を形成したものである。

【０００９】請求項３の発明は、上記フィルタ固定部の
幅は薄膜フィルタの幅と同等又は数μｍ広く形成される
ものである。

【００１０】請求項４の発明は、導波路に形成した溝に
薄膜フィルタを挿入固定する方法において、Ｓi 基板を
エッチング加工してＳi 基板の底面まで貫通したフィル
タ挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタ
を斜めに起立させて支持する傾斜面を形成した治具を形
成し、その治具に薄膜フィルタを保持し、導波路上を移
動させて薄膜フィルタを溝に挿入する方法である。

【００１１】本発明は、Ｓi 基板をエッチング加工し薄
膜フィルタを溝へ挿入する部分と接着固定を行なう部分
を作製した挿入固定治具を用い、この挿入固定治具によ
って薄膜フィルタの溝への挿入の作業性を良くし、薄膜
フィルタの反りの解消を図る。また、薄膜フィルタを接
着剤で固定するときの位置ずれを解消できるものであ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の好適実施の形態を添付図
面に基づいて詳述する。

【００１３】図１に薄膜フィルタを溝へ挿入固定する挿
入固定治具の構造を示す。

【００１４】挿入固定治具１０には直方体のＳi 基板が
用いられ、そのＳi 基板の中央部にＳi 基板の底面１０
ａまで貫通したフィルタ挿入穴１１が形成されている。
挿入固定治具１０はそのフィルタ挿入穴１１に傾斜面１
２を形成したフィルタ挿入部１３と、そのフィルタ挿入
部１３の対向する側に幅Ｗを持たせて形成したフィルタ
固定部１４とから主に構成される。フィルタ挿入部１３
の傾斜面１２の傾斜角は図３（ａ）に示すように挿入固
定治具１０の底面１０ａに対して仰角βが底面１０ａか
ら溝３３への俯角αよりも小さくなるように形成されて
いる。また、フィルタ固定部１４の幅Ｗは挿入する薄膜
フィルタ３の幅より数μｍ広く形成されている。

【００１５】更に、図１（ｂ）に示すようにフィルタ固
定部１４の底面１０ａには薄膜フィルタを接着固定時に
挿入固定治具１０と薄膜フィルタが接着されないように
底面１０ａから高さｔまでエッチングされた逃溝１５が
形成されている。

【００１６】図２に挿入固定治具１０の作製方法を示
す。Ｓi 基板２１の（１１１）面をエッチング加工し、
フィルタ挿入部及びフィルタ固定部となるフィルタ挿入
穴１１を作製する。次に裏面をエッチング加工しフィル
タ固定部の逃溝１５を作製することにより、図１に示し
た挿入固定治具１０ができる。

【００１７】図３、図４に薄膜フィルタ３の挿入固定方
法を示す。導波路３８にダイシング等で作製された溝３
３に薄膜フィルタ３を挿入固定する場合、先ず、図３
（ａ）に示すように挿入固定治具１０のフィルタ挿入部
１３の傾斜面１２の底辺３１ｂと溝３３のエッジ３３ａ
を揃える。ここで、挿入する溝３３の角度αはフィルタ
挿入部１３の角度βより大きく９０度以下とする。

【００１８】次に、図３（ｂ）に示すように薄膜フィル
タ３をフィルタ挿入部１３の傾斜面１２に載せ薄膜フィ
ルタ３の端面３ａを溝３３に引っ掛けるように置く。こ
こで、薄膜フィルタ３が反っている場合、Ｂ方向から薄
膜フィルタ３を押すことにより薄膜フィルタ３の端面３
ａの反りを解消し、溝３３に引っ掛けるように置くこと
ができる。

【００１９】次に、図４（ａ）に示すように薄膜フィル
タ３をＣ方向から押し、フィルタ挿入部１３の傾斜面１
２から離し、溝３３へ挿入する。

【００２０】その後、図４（ｂ）に示すように挿入固定
治具１０を薄膜フィルタ３の位置にフィルタ固定部１４
が来るまでＤ方向にずらす。ここで、薄膜フィルタ３
の、導波路３８上の溝３３の長手方向における位置合わ
せは挿入固定治具１０を溝３３の長手方向に沿って移動
させることにより行なう。そして、接着剤３７でモール
ド固定を行なう。モールド固定を行なう際、薄膜フィル
タ３が導波路３８の溝３３の接着固定位置からずれるの
を防ぐため、フィルタ固定部１４のエッジ３６ａからエ
ッジ３６ｂまでの幅Ｗは薄膜フィルタ３の幅より数μｍ
だけ広いものとする。

【００２１】また、挿入固定治具１０と薄膜フィルタ３
及び導波路３８が同時に接着されないようフィルタ固定
部１４と導波路３８の接触面は深さｔだけ逃溝１５をエ
ッチング加工されている。この逃溝１５により、薄膜フ
ィルタ３はフィルタ固定部１４のエッジ３６ａ、３６ｂ
の位置３６ｃのみで固定位置決めされるため、薄膜フィ
ルタ３と導波路３８は接着剤３７により接着されるが、
挿入固定用治具１０は接着固定されない。

【００２２】そして、薄膜フィルタ３を導波路３８の溝
３３に接着固定後、挿入固定用治具１０を取り外すこと
により薄膜フィルタ３の溝３３への挿入固定が完了す
る。

【００２３】

【実施例】図５に挿入固定用治具の実施例を示す。挿入
固定用治具４１に薄膜フィルタの挿入固定部４２、４３
を２つ形成した例である。これにより、導波路４０のコ
ア４４及びコア４５を横断する溝４６に薄膜フィルタを
挿入する場合、同時に２つの薄膜フィルタを挿入固定で
きるため挿入固定時間が短縮される。

【００２４】図５は薄膜フィルタの挿入箇所が２箇所の
場合の例であるが、挿入固定部は３箇所以上あってもよ
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の薄膜フィルタを溝へ挿入固定する挿入
固定治具の構造を示す図である。

【図２】挿入固定治具の作製方法を示す図である。

【図３】薄膜フィルタの挿入固定方法を示す図である。

【図４】薄膜フィルタの挿入固定方法を示す図である。

【図５】挿入固定用治具の実施例を示す図である。

【図６】従来の薄膜フィルタの挿入固定方法を示す図で
ある。

【符号の説明】

３ 薄膜フィルタ １０ 挿入固定治具 １０ａ 底面 １１ フィルタ挿入穴 １２ 傾斜面 １３ フィルタ挿入部 １４ フィルタ固定部 １５ 逃溝 ２１ Ｓi 基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒沢 正昭 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
   入固定するための挿入固定治具において、Ｓi 基板をエ
   ッチング加工してＳi 基板の底面まで貫通したフィルタ
   挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタを
   斜めに起立させて支持する傾斜面を形成したことを特徴
   とする薄膜フィルタの溝への挿入固定治具。
2. 【請求項２】 上記フィルタ挿入穴は上記傾斜面が形成
   されたフィルタ挿入部と、そのフィルタ挿入部の対向す
   る側に上記溝への挿入後の薄膜フィルタの両側を保持す
   るフィルタ固定部とから成り、導波路と薄膜フィルタを
   接着固定するための接着剤が挿入固定治具に触れないよ
   うにフィルタ固定部のＳｉ基板の裏面に逃溝を形成した
   請求項１記載の薄膜フィルタの溝への挿入固定治具。
3. 【請求項３】 上記フィルタ固定部の幅は薄膜フィルタ
   の幅と同等又は数μｍ広く形成される請求項２記載の薄
   膜フィルタの溝への挿入固定治具。
4. 【請求項４】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
   入固定する方法において、Ｓi 基板をエッチング加工し
   てＳi 基板の底面まで貫通したフィルタ挿入穴を形成
   し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタを斜めに起立さ
   せて支持する傾斜面を形成した治具を形成し、その治具
   に薄膜フィルタを保持し、導波路上を移動させて薄膜フ
   ィルタを溝に挿入することを特徴とする薄膜フィルタの
   溝への挿入固定方法。