JPH09148317A - ウエハ等焼付物の加熱装置 - Google Patents
ウエハ等焼付物の加熱装置Info
- Publication number
- JPH09148317A JPH09148317A JP32240495A JP32240495A JPH09148317A JP H09148317 A JPH09148317 A JP H09148317A JP 32240495 A JP32240495 A JP 32240495A JP 32240495 A JP32240495 A JP 32240495A JP H09148317 A JPH09148317 A JP H09148317A
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- Japan
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- sides
- conductor
- wafer
- conducting member
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 均一な温度分布を全面に亙り精度高く実現
し、良好な加熱動作を得ることができる。 【解決手段】 熱伝導性の良好な材料を用い薄板状に形
成されるとともに、ウエハ等の焼付物が搭載されて加熱
される表面１Ａに黒色の着色処理がなされ、かつ、側面
１Ｂ側に白色の着色が施された熱伝導部材１と、この熱
伝導部材１の内面若しくは裏面に設けた発熱部材２とを
備え、表面１Ａを均一に加熱するように構成した。
し、良好な加熱動作を得ることができる。 【解決手段】 熱伝導性の良好な材料を用い薄板状に形
成されるとともに、ウエハ等の焼付物が搭載されて加熱
される表面１Ａに黒色の着色処理がなされ、かつ、側面
１Ｂ側に白色の着色が施された熱伝導部材１と、この熱
伝導部材１の内面若しくは裏面に設けた発熱部材２とを
備え、表面１Ａを均一に加熱するように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばＩＣ等の
半導体デバイスのように加熱処理を必要とするもの（以
下焼付物とよぶ）を所定の温度で加熱するためのウエハ
等焼付物の加熱装置に関するものである。
半導体デバイスのように加熱処理を必要とするもの（以
下焼付物とよぶ）を所定の温度で加熱するためのウエハ
等焼付物の加熱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイス、例えばＩＣ（集積回
路）等は、高純度のシリコン単結晶のウエハに対し、感
光性樹脂への露光によるパターン形成を行うフォトリソ
グラフィを行った後、熱酸化、不純物拡散、イオン注
入、エッチング、気相成長、金属蒸着等の各種作業工程
を経て形成されるものである。
路）等は、高純度のシリコン単結晶のウエハに対し、感
光性樹脂への露光によるパターン形成を行うフォトリソ
グラフィを行った後、熱酸化、不純物拡散、イオン注
入、エッチング、気相成長、金属蒸着等の各種作業工程
を経て形成されるものである。
【０００３】このうち熱酸化工程時には、ウエハの加熱
酸化を行うため、例えば図３に示すような焼付装置が知
られている。即ち、この焼付装置は、ウエハ（図略）の
形状に合わせた円板型をなすアルミプレート１００と、
このアルミプレート１００の裏面に固着したヒータ１０
１とを備えており、ヒータ１０１から発生する熱がウエ
ハを搭載した熱伝導性の良好なアルミプレート１００に
伝播してウエハを熱酸化するようになっている。
酸化を行うため、例えば図３に示すような焼付装置が知
られている。即ち、この焼付装置は、ウエハ（図略）の
形状に合わせた円板型をなすアルミプレート１００と、
このアルミプレート１００の裏面に固着したヒータ１０
１とを備えており、ヒータ１０１から発生する熱がウエ
ハを搭載した熱伝導性の良好なアルミプレート１００に
伝播してウエハを熱酸化するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところがこの焼付装置
は、ヒータからの発生する熱が各部均一であったとして
も、この熱が伝導するアルミプレートはその形状から周
縁部側に行くほど外部へ発散する熱も多いから、中央部
の温度が高く、周縁部の温度が低くなる傾向があった。
この結果良好な熱酸化作業を実現することができない欠
点があった。
は、ヒータからの発生する熱が各部均一であったとして
も、この熱が伝導するアルミプレートはその形状から周
縁部側に行くほど外部へ発散する熱も多いから、中央部
の温度が高く、周縁部の温度が低くなる傾向があった。
この結果良好な熱酸化作業を実現することができない欠
点があった。
【０００５】この発明は、上記した事情に鑑み、均一な
温度分布を全面に亙り精度高く実現し、良好な加熱動作
を得ることができるウエハ等焼付物の加熱装置を提供す
ることを目的とするものである。
温度分布を全面に亙り精度高く実現し、良好な加熱動作
を得ることができるウエハ等焼付物の加熱装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】即ち、この請求項１に記
載の発明は、熱伝導性の良好な材料を用い薄板状に形成
されるとともに、ウエハ等の焼付物が搭載されて加熱さ
れる表面に黒色の着色処理がなされ、かつ、側面側に白
色の着色が施された熱伝導部材と、この熱伝導部材の内
面若しくは裏面に設けた発熱部材とを備え、表面を均一
に加熱するように構成したものである。
載の発明は、熱伝導性の良好な材料を用い薄板状に形成
されるとともに、ウエハ等の焼付物が搭載されて加熱さ
れる表面に黒色の着色処理がなされ、かつ、側面側に白
色の着色が施された熱伝導部材と、この熱伝導部材の内
面若しくは裏面に設けた発熱部材とを備え、表面を均一
に加熱するように構成したものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例につい
て、添付図面を参照しながら説明する。図１はこの実施
例に係るウエハ等焼付物の加熱装置を示す概略断面であ
る。熱伝導部材１は、この実施例では材料的に熱伝導性
の良好なもの、例えばアルミニュウムを用いて形成され
ており、焼き付けるウエハ等の焼付物の大きさに合わせ
これよりも若干大きな縦横寸法を有する略薄箱形状に形
成してある。また、この熱伝導部材１では、表面１Ａに
メッキ処理等により、例えば潤滑アルマイト等によって
熱吸収性の良好な黒色に着色されている。
て、添付図面を参照しながら説明する。図１はこの実施
例に係るウエハ等焼付物の加熱装置を示す概略断面であ
る。熱伝導部材１は、この実施例では材料的に熱伝導性
の良好なもの、例えばアルミニュウムを用いて形成され
ており、焼き付けるウエハ等の焼付物の大きさに合わせ
これよりも若干大きな縦横寸法を有する略薄箱形状に形
成してある。また、この熱伝導部材１では、表面１Ａに
メッキ処理等により、例えば潤滑アルマイト等によって
熱吸収性の良好な黒色に着色されている。
【０００８】潤滑アルマイトとはアルミニウム表面に多
孔質アルマイト皮膜を形成し、このアルミニウムを陽極
酸化処理し、このアルマイト皮膜中にモリブデン硫化物
を含浸させて硬度と潤滑性を向上させたアルマイト皮膜
である。
孔質アルマイト皮膜を形成し、このアルミニウムを陽極
酸化処理し、このアルマイト皮膜中にモリブデン硫化物
を含浸させて硬度と潤滑性を向上させたアルマイト皮膜
である。
【０００９】またこの熱伝導部材１の側面、つまり、表
面１Ａを囲む４つの側面１Ｂは、適宜のメッキ、例えば
無電解ニッケルメッキ等によって熱反射性の良好な白色
に着色されており、この側面部分から熱が発散するのを
防止するようになっている。
面１Ａを囲む４つの側面１Ｂは、適宜のメッキ、例えば
無電解ニッケルメッキ等によって熱反射性の良好な白色
に着色されており、この側面部分から熱が発散するのを
防止するようになっている。
【００１０】発熱部材２は縦横方向の寸法が熱伝導部材
１と同様の大きさに形成されたおよそ１ｍｍ程度の厚さ
を有するシリコンラバのヒータが使用されており、熱伝
導部材１の裏面に固設され一定量の電流を通電させて発
熱させるようになっている。
１と同様の大きさに形成されたおよそ１ｍｍ程度の厚さ
を有するシリコンラバのヒータが使用されており、熱伝
導部材１の裏面に固設され一定量の電流を通電させて発
熱させるようになっている。
【００１１】従ってこの実施例によれば、発熱部材２か
ら発生する熱は、６面ある熱伝導部材１の面のうち、特
に４つの側面１Ｂは白色であって熱の発散が極力抑えら
れている。一方、発熱部材２を取り付けた裏面及び側面
１Ｂを除く表面１Ａは、黒色に着色されて熱伝導部材１
内部を伝導してくる発熱部材２からの熱が効率的に吸収
し易くなっており、これによって他の面への無駄な熱の
発散が抑えられ、より均一な発熱作用が促される。
ら発生する熱は、６面ある熱伝導部材１の面のうち、特
に４つの側面１Ｂは白色であって熱の発散が極力抑えら
れている。一方、発熱部材２を取り付けた裏面及び側面
１Ｂを除く表面１Ａは、黒色に着色されて熱伝導部材１
内部を伝導してくる発熱部材２からの熱が効率的に吸収
し易くなっており、これによって他の面への無駄な熱の
発散が抑えられ、より均一な発熱作用が促される。
【００１２】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明によ
れば、薄板状の熱伝導部材の表面を黒色に、また、側面
側の４面を白色に着色させ、表面での発熱が均一な温度
分布となるように熱の伝導性が工夫されており、これに
よって熱伝導部材の内面若しくは裏面に設けた発熱部材
から発生する熱が側面から発散するのを防止できるとと
もに、熱吸収性のある黒色の表面に向けて熱の流れが向
かうように調整できるから、全面にわたって均一な温度
分布を実現することが可能になり、ひいては高品質の加
熱動作を行うことができる。
れば、薄板状の熱伝導部材の表面を黒色に、また、側面
側の４面を白色に着色させ、表面での発熱が均一な温度
分布となるように熱の伝導性が工夫されており、これに
よって熱伝導部材の内面若しくは裏面に設けた発熱部材
から発生する熱が側面から発散するのを防止できるとと
もに、熱吸収性のある黒色の表面に向けて熱の流れが向
かうように調整できるから、全面にわたって均一な温度
分布を実現することが可能になり、ひいては高品質の加
熱動作を行うことができる。
【図１】この発明に係るウエハ等焼付物の加熱装置を示
す概略斜視図。
す概略斜視図。
【図２】同装置の作用を示す説明図。
【図３】従来例を示す概略断面図。
１ 熱伝導部材 １Ａ 表面 １Ｂ 側面 ２ 発熱部材
Claims (1)
- 【請求項１】 熱伝導性の良好な材料を用い薄板状に形
成されるとともに、ウエハ等の焼付物が搭載されて加熱
される表面（１Ａ）に黒色の着色処理がなされ、かつ側
面（１Ｂ）に白色の着色が施された熱伝導部材（１）
と、 この熱伝導部材（１）の内面もしくは裏面に設けた発熱
部材（２）とを備え、表面を均一に加熱するように構成
したことを特徴とするウエハ等焼付物の加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32240495A JPH09148317A (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | ウエハ等焼付物の加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32240495A JPH09148317A (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | ウエハ等焼付物の加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148317A true JPH09148317A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18143291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32240495A Pending JPH09148317A (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | ウエハ等焼付物の加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09148317A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100460180B1 (ko) * | 2002-04-08 | 2004-12-08 | (주)울텍 | 다공질 실리콘을 이용한 전자 소자 냉각용 히트 파이프 |
-
1995
- 1995-11-17 JP JP32240495A patent/JPH09148317A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100460180B1 (ko) * | 2002-04-08 | 2004-12-08 | (주)울텍 | 다공질 실리콘을 이용한 전자 소자 냉각용 히트 파이프 |
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