JPH09143728A - 連続真空蒸着装置用シール装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置用シール装置Info
- Publication number
- JPH09143728A JPH09143728A JP30602295A JP30602295A JPH09143728A JP H09143728 A JPH09143728 A JP H09143728A JP 30602295 A JP30602295 A JP 30602295A JP 30602295 A JP30602295 A JP 30602295A JP H09143728 A JPH09143728 A JP H09143728A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- substrate
- sealing device
- vapor deposition
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板の走行を一時停止したとき、シャッタ機
構を封鎖し、入側真空シール装置の内部および出側真空
シール装置の内部と大気とを遮断してシール装置内への
空気の流入を阻止し、真空度を保持する連続真空蒸着装
置用シール装置を提供する。 【解決手段】 真空成膜室内を連続走行する帯状の基板
に蒸発材料を蒸着する連続真空蒸着装置用シール装置で
あって、真空成膜室の上流側に設けられている入側真空
シール装置の入口および真空成膜室の下流側に設けられ
ている出側真空シール装置の出口に、基板を挟んで上下
に対峙して昇降可能に設けられ、基板の走行停止時に基
板を挟んで互いに密着して、シール室への空気の流入を
防止するシャッタ機構を有するものである。
構を封鎖し、入側真空シール装置の内部および出側真空
シール装置の内部と大気とを遮断してシール装置内への
空気の流入を阻止し、真空度を保持する連続真空蒸着装
置用シール装置を提供する。 【解決手段】 真空成膜室内を連続走行する帯状の基板
に蒸発材料を蒸着する連続真空蒸着装置用シール装置で
あって、真空成膜室の上流側に設けられている入側真空
シール装置の入口および真空成膜室の下流側に設けられ
ている出側真空シール装置の出口に、基板を挟んで上下
に対峙して昇降可能に設けられ、基板の走行停止時に基
板を挟んで互いに密着して、シール室への空気の流入を
防止するシャッタ機構を有するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、連続真空蒸着装置
用シール装置に係わり、特に、真空成膜室の上流側に設
けられている入側真空シール装置の入口および真空成膜
室の下流側に設けられている出側真空シール装置の出口
に設けられる連続真空蒸着装置用シール装置に関するも
のである。
用シール装置に係わり、特に、真空成膜室の上流側に設
けられている入側真空シール装置の入口および真空成膜
室の下流側に設けられている出側真空シール装置の出口
に設けられる連続真空蒸着装置用シール装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着は、真空中で蒸発材料を加熱し
て蒸発させ、蒸発材料を基板の表面に蒸着させて皮膜を
作る成膜プロセスである。
て蒸発させ、蒸発材料を基板の表面に蒸着させて皮膜を
作る成膜プロセスである。
【０００３】この成膜プロセスに使用される連続真空蒸
着装置は、図５に示すように、電子ビーム１０を放射す
る電子銃９と、溶解した蒸発材料１２を収容するるつぼ
１１とを備えた真空成膜室２の上流側に、複数のロール
５を上下に千鳥状に配設して基板３を蛇行するように通
過させるとともにそれらのロール５を上下に挟むように
配設したシールブロック７によりロール５と通過する基
板３との間隙を少なくして真空成膜室２の真空が安定し
て保てるようにする入側真空シール装置４と、通過する
基板３を加熱して基板３の汚染除去と基板３への蒸着に
適した温度まで昇温を行う予備加熱装置８とを有し、真
空成膜室２の下流側にも前記入側真空シール装置４と同
様の構成を有して真空成膜室２の真空が安定して保てる
ようにした出側真空シール装置１３を有している。この
入側真空シール装置４および出側真空シール装置１３
は、基板３の板厚や板幅が種々変化しても、複数個に分
割されたシールブロック７を個々に基板３に接近させる
ことにより間隙を少なくするように構成されている。こ
の間隙の調整は、例えば、送りねじや直動シリンダ等
（いずれも図示せず）により行われる。また、シール性
を確保するため、最大の間隙量を基にして真空ポンプ６
や図示しないモータ等の容量が決められている。なお、
１４は基板３が多重に巻かれたアンコイラーであり、１
５はリコイラーである。
着装置は、図５に示すように、電子ビーム１０を放射す
る電子銃９と、溶解した蒸発材料１２を収容するるつぼ
１１とを備えた真空成膜室２の上流側に、複数のロール
５を上下に千鳥状に配設して基板３を蛇行するように通
過させるとともにそれらのロール５を上下に挟むように
配設したシールブロック７によりロール５と通過する基
板３との間隙を少なくして真空成膜室２の真空が安定し
て保てるようにする入側真空シール装置４と、通過する
基板３を加熱して基板３の汚染除去と基板３への蒸着に
適した温度まで昇温を行う予備加熱装置８とを有し、真
空成膜室２の下流側にも前記入側真空シール装置４と同
様の構成を有して真空成膜室２の真空が安定して保てる
ようにした出側真空シール装置１３を有している。この
入側真空シール装置４および出側真空シール装置１３
は、基板３の板厚や板幅が種々変化しても、複数個に分
割されたシールブロック７を個々に基板３に接近させる
ことにより間隙を少なくするように構成されている。こ
の間隙の調整は、例えば、送りねじや直動シリンダ等
（いずれも図示せず）により行われる。また、シール性
を確保するため、最大の間隙量を基にして真空ポンプ６
や図示しないモータ等の容量が決められている。なお、
１４は基板３が多重に巻かれたアンコイラーであり、１
５はリコイラーである。
【０００４】前記真空成膜室２，入側真空シール装置
４，予備加熱装置８および出側真空シール装置１３は、
いずれも真空ポンプ６（符号は共通に使用）により排気
され、成膜室２では１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒの真空に保
持されている。
４，予備加熱装置８および出側真空シール装置１３は、
いずれも真空ポンプ６（符号は共通に使用）により排気
され、成膜室２では１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒの真空に保
持されている。
【０００５】上記のような構成を有する連続真空蒸着装
置１は、真空成膜室２において、るつぼ１１内に、図示
しない供給装置により蒸発材料１２を供給し、この蒸発
材料１２を電子銃９から放射する電子ビーム１０により
溶融・蒸発させて連続走行する帯状の基板３に蒸着す
る。
置１は、真空成膜室２において、るつぼ１１内に、図示
しない供給装置により蒸発材料１２を供給し、この蒸発
材料１２を電子銃９から放射する電子ビーム１０により
溶融・蒸発させて連続走行する帯状の基板３に蒸着す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た連続真空蒸着装置では、基板の走行を一時的に停止す
るときがあるが、本来、真空シール装置には、ロールと
シールブロックとの間に基板を通過させるための間隙
（板厚＋０．５ｍｍ位）があるため、その間隙から、常
時、空気が流入している。そこで、基板の走行を一時的
に停止したときでも真空成膜室の真空を保持しておくた
め、常時、真空ポンプを稼働しなければならず、したが
って、エネルギーの損失が大きくランニングコストもか
かるという問題があった。
た連続真空蒸着装置では、基板の走行を一時的に停止す
るときがあるが、本来、真空シール装置には、ロールと
シールブロックとの間に基板を通過させるための間隙
（板厚＋０．５ｍｍ位）があるため、その間隙から、常
時、空気が流入している。そこで、基板の走行を一時的
に停止したときでも真空成膜室の真空を保持しておくた
め、常時、真空ポンプを稼働しなければならず、したが
って、エネルギーの損失が大きくランニングコストもか
かるという問題があった。
【０００７】本発明は、上記のような課題を解決するた
めに創案されたものである。すなわち、本発明は、基板
の走行を一時的に停止したとき、連続真空蒸着装置への
空気の流入を防止して真空ポンプの負担を軽くする連続
真空蒸着装置用シール装置を提供することを目的とする
ものである。
めに創案されたものである。すなわち、本発明は、基板
の走行を一時的に停止したとき、連続真空蒸着装置への
空気の流入を防止して真空ポンプの負担を軽くする連続
真空蒸着装置用シール装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、真空成膜室内を連続走行する帯状
の基板に蒸発材料を蒸着する連続真空蒸着装置用シール
装置であって、真空成膜室の上流側に設けられている入
側真空シール装置の入口および真空成膜室の下流側に設
けられている出側真空シール装置の出口に、基板を挟ん
で上下に対峙して昇降可能に設けられ、基板の走行停止
時に基板を挟んで互いに密着して前記シール装置への空
気の流入を防止するシャッタ機構を有することを特徴と
する連続真空蒸着装置用シール装置が提供される。
め、本発明によれば、真空成膜室内を連続走行する帯状
の基板に蒸発材料を蒸着する連続真空蒸着装置用シール
装置であって、真空成膜室の上流側に設けられている入
側真空シール装置の入口および真空成膜室の下流側に設
けられている出側真空シール装置の出口に、基板を挟ん
で上下に対峙して昇降可能に設けられ、基板の走行停止
時に基板を挟んで互いに密着して前記シール装置への空
気の流入を防止するシャッタ機構を有することを特徴と
する連続真空蒸着装置用シール装置が提供される。
【０００９】上記本発明の構成によれば、基板の走行を
一時的に停止したとき、シャッタ機構を封鎖して入側真
空シール装置の内部および出側真空シール装置の内部と
大気とを遮断し、前記シール装置内への空気の流入を阻
止して真空度を保持することができる。
一時的に停止したとき、シャッタ機構を封鎖して入側真
空シール装置の内部および出側真空シール装置の内部と
大気とを遮断し、前記シール装置内への空気の流入を阻
止して真空度を保持することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面に基づいて説明する。なお、各図において従来
のものと共通する部分については同じ符号を用いて説明
する。図１ないし図４は、本発明の一実施形態を示すも
のであり、図１は本発明による連続真空蒸着装置用シー
ル装置の断面図、図２は図１に示すシャッタ機構の拡大
図、図３は図２のＡ−Ａ矢視図、図４は図３に示すシャ
ッタ機構の閉鎖状態を示す図である。
態を図面に基づいて説明する。なお、各図において従来
のものと共通する部分については同じ符号を用いて説明
する。図１ないし図４は、本発明の一実施形態を示すも
のであり、図１は本発明による連続真空蒸着装置用シー
ル装置の断面図、図２は図１に示すシャッタ機構の拡大
図、図３は図２のＡ−Ａ矢視図、図４は図３に示すシャ
ッタ機構の閉鎖状態を示す図である。
【００１１】図１において、３はアンコイラー１４から
巻き出されて連続走行する帯状の基板で、真空成膜室２
の上流側に配設した入側真空シール装置４および予備加
熱装置８を通過して真空成膜室２に入り、真空成膜室２
内で蒸発材料１２を蒸着し、真空成膜室２の下流側に配
設した出側真空シール装置１３を通過してリコイラー１
５で巻き取られる。７は入側真空シール装置４および出
側真空シール装置１３に配設したシールブロックで、図
示していないが、中央部は大きいブロック、両側は小さ
いブロックにするようにして複数個に分割されており、
基板３の板幅の変化に対応して、各別に昇降させて基板
３との間隙を調整できるように構成されている。また、
このシールブロック７とロール５との間には、基板３を
通過させるため、例えば、板厚＋０．５ｍｍ位の間隙が
設けられており、さらに入側真空シール装置４の入口お
よび出側真空シール装置１３の出口は、約５０ｍｍの間
隙が設けられている。１０は電子銃９から放射された電
子ビームで、るつぼ１１内に供給された蒸発材料１２を
溶解する。１６は入側真空シール装置４の入口および出
側真空シール装置１３の出口に配設されたシャッタ機構
である。
巻き出されて連続走行する帯状の基板で、真空成膜室２
の上流側に配設した入側真空シール装置４および予備加
熱装置８を通過して真空成膜室２に入り、真空成膜室２
内で蒸発材料１２を蒸着し、真空成膜室２の下流側に配
設した出側真空シール装置１３を通過してリコイラー１
５で巻き取られる。７は入側真空シール装置４および出
側真空シール装置１３に配設したシールブロックで、図
示していないが、中央部は大きいブロック、両側は小さ
いブロックにするようにして複数個に分割されており、
基板３の板幅の変化に対応して、各別に昇降させて基板
３との間隙を調整できるように構成されている。また、
このシールブロック７とロール５との間には、基板３を
通過させるため、例えば、板厚＋０．５ｍｍ位の間隙が
設けられており、さらに入側真空シール装置４の入口お
よび出側真空シール装置１３の出口は、約５０ｍｍの間
隙が設けられている。１０は電子銃９から放射された電
子ビームで、るつぼ１１内に供給された蒸発材料１２を
溶解する。１６は入側真空シール装置４の入口および出
側真空シール装置１３の出口に配設されたシャッタ機構
である。
【００１２】前記シャッタ機構１６は、入側真空シール
装置４の入口および出側真空シール装置１３の出口に接
続して配設したケーシング１７と、このケーシング１７
内に密着して摺動可能に設けられ、通過する基板３を挟
んで上下に対峙しており、エアシリンダなどのアクチュ
エータ２０，２０ａにより昇降可能になっており、か
つ、対峙する面にゴム等の弾性体で形成されたシール材
１９，１９ａを有するシャッタ１８，１８ａとから構成
されている（図３および図４に示す）。このようにし
て、基板３の走行停止中、前記入側真空シール装置４の
入口および出側真空シール装置１３の出口に設けられて
いる約５０ｍｍの間隙を封鎖する。
装置４の入口および出側真空シール装置１３の出口に接
続して配設したケーシング１７と、このケーシング１７
内に密着して摺動可能に設けられ、通過する基板３を挟
んで上下に対峙しており、エアシリンダなどのアクチュ
エータ２０，２０ａにより昇降可能になっており、か
つ、対峙する面にゴム等の弾性体で形成されたシール材
１９，１９ａを有するシャッタ１８，１８ａとから構成
されている（図３および図４に示す）。このようにし
て、基板３の走行停止中、前記入側真空シール装置４の
入口および出側真空シール装置１３の出口に設けられて
いる約５０ｍｍの間隙を封鎖する。
【００１３】次に実施の形態に基づく作用について説明
する。基板３を連続走行して蒸発材料１２を蒸着すると
きは、アクチュエータ２０，２０ａによりシャッタ機構
１６のシャッタ１８，１８ａを開放する。次に、基板３
の走行を一時的に停止したときは、アクチュエータ２
０，２０ａによりシャッタ機構１６のシャッタ１８，１
８ａを密着させて基板３の周りを封鎖する。なお、この
ときシャッタ１８，１８ａの対峙する面にはゴム等の弾
性体のシール材１９，１９ａが装着されているので、シ
ール材１９，１９ａが変形して基板３の周りを密封する
ことができ、また、基板３の板厚や板幅が変化してもシ
ール材１９，１９ａの変形により対応することができ
る。
する。基板３を連続走行して蒸発材料１２を蒸着すると
きは、アクチュエータ２０，２０ａによりシャッタ機構
１６のシャッタ１８，１８ａを開放する。次に、基板３
の走行を一時的に停止したときは、アクチュエータ２
０，２０ａによりシャッタ機構１６のシャッタ１８，１
８ａを密着させて基板３の周りを封鎖する。なお、この
ときシャッタ１８，１８ａの対峙する面にはゴム等の弾
性体のシール材１９，１９ａが装着されているので、シ
ール材１９，１９ａが変形して基板３の周りを密封する
ことができ、また、基板３の板厚や板幅が変化してもシ
ール材１９，１９ａの変形により対応することができ
る。
【００１４】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更
し得ることは勿論である。
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更
し得ることは勿論である。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、基
板の走行を一時的に停止したとき、シャッタ装置により
入側真空シール装置および出側真空シール装置を封鎖す
るので、連続真空蒸着装置内への空気の流入を防止して
真空度の低下を防止することができる。また、基板の走
行停止中、真空ポンプやモータの運転を停止または運転
台数を減少させることができるので、エネルギーの節約
とランニングコストの低減を図ることができるとともに
真空ポンプやモータの寿命を延ばすことができるなど優
れた効果を奏する。
板の走行を一時的に停止したとき、シャッタ装置により
入側真空シール装置および出側真空シール装置を封鎖す
るので、連続真空蒸着装置内への空気の流入を防止して
真空度の低下を防止することができる。また、基板の走
行停止中、真空ポンプやモータの運転を停止または運転
台数を減少させることができるので、エネルギーの節約
とランニングコストの低減を図ることができるとともに
真空ポンプやモータの寿命を延ばすことができるなど優
れた効果を奏する。
【図１】本発明の連続真空蒸着装置用シール装置の全体
構成図である。
構成図である。
【図２】図１に示すシャッタ機構の拡大図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】図３に示すシャッタ機構の閉鎖状態を示す図で
ある。
ある。
【図５】従来の連続真空蒸着装置を示した全体構成図で
ある。
ある。
１ 連続真空蒸着装置 ２ 真空成膜室 ３ 基板 ４ 入側真空装置 ５ ロール ６ ポンプ ７ シールブロック ８ 予備加熱装置 ９ 電子銃 １０ 電子ビーム １１ るつぼ １２ 蒸発材料 １３ 出側真空装置 １４ アンコイラー １５ リコイラー １６ シャッタ機構 １７ ケーシング １８，１８ａ シャッタ １９，１９ａ シール材 ２０，２０ａ アクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 毛利 元治 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内 (72)発明者 松田 至康 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内
Claims (1)
- 【請求項１】 真空成膜室内を連続走行する帯状の基板
に蒸発材料を蒸着する連続真空蒸着装置用シール装置で
あって、真空成膜室の上流側に設けられている入側真空
シール装置の入口および真空成膜室の下流側に設けられ
ている出側真空シール装置の出口に、基板を挟んで上下
に対峙して昇降可能に設けられ、基板の走行停止時に基
板を挟んで互いに密着して前記シール装置への空気の流
入を防止するシャッタ機構を有することを特徴とする連
続真空蒸着装置用シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30602295A JPH09143728A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 連続真空蒸着装置用シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30602295A JPH09143728A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 連続真空蒸着装置用シール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09143728A true JPH09143728A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17952141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30602295A Pending JPH09143728A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 連続真空蒸着装置用シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09143728A (ja) |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP30602295A patent/JPH09143728A/ja active Pending
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