JPH09138224A - アレイ探触子 - Google Patents
アレイ探触子Info
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- JPH09138224A JPH09138224A JP7295318A JP29531895A JPH09138224A JP H09138224 A JPH09138224 A JP H09138224A JP 7295318 A JP7295318 A JP 7295318A JP 29531895 A JP29531895 A JP 29531895A JP H09138224 A JPH09138224 A JP H09138224A
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- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0648—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element of rectangular shape
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
Abstract
(57)【要約】
【課題】 鋼管や鋼板の超音波探傷試験のための自動探
傷装置に最適なリニア駆動方式用のアレイ探触子を提供
することを目的としている。 【解決手段】 探触子を構成する振動子のセラミック基
材１の片面には全面電極２を形成し、反対面の電極は内
側に配置される電極１１ｂの幅寸法より両端に配置され
る電極１１ａの幅寸法が大きい分割電極を備え、さらに
それぞれの分割電極１１ａ，１１ｂの形状が平行四辺形
である振動子を備えている。
傷装置に最適なリニア駆動方式用のアレイ探触子を提供
することを目的としている。 【解決手段】 探触子を構成する振動子のセラミック基
材１の片面には全面電極２を形成し、反対面の電極は内
側に配置される電極１１ｂの幅寸法より両端に配置され
る電極１１ａの幅寸法が大きい分割電極を備え、さらに
それぞれの分割電極１１ａ，１１ｂの形状が平行四辺形
である振動子を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は鋼板や鋼管の超音
波探傷試験に使用する超音波探触子に関するものであ
る。
波探傷試験に使用する超音波探触子に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）は従来のアレイ探触子の断面
図、図３（ｂ）は振動子の電極分割面を示す図、図３
（ｃ）は従来のアレイ探触子のビームパターン図、図３
（ｄ）は従来のアレイ探触子の振動子の動作状況を示す
図である。図において１は振動子のベースとなる圧電基
材（ここではセラミック基材を例に上げて説明す
る。）、２はセラミック基材１の片面に設けられた全面
電極、３ａはセラミック基材１の他方の面に形成されて
両端に配置された分割電極、３ｂはセラミック基材１の
片面で内側に配置された分割電極、４はバッキング材、
５は音響整合層、６はケース、７は分割された両端電極
３ａと全面電極２間に電圧を加えた時に形成されるビー
ムパターン、８は分割された内側電極３ｂと全面電極２
間に電圧を加えた時に形成されるビームパターン、ｗ１
は分割電極３ａ，３ｂの幅、ｙ１は内側に配置された分
割電極３ｂで形成されるビームパターン８の中間部に生
じるエコー高さの低下量、ｙ２は分割電極３ａで形成さ
れるビームパターン７と隣接する分割電極３ｂで形成さ
れるビームパターン８との中間部に生じるエコー高さの
低下量、イは内側電極３ｂと全面電極２間に電圧を印加
した時に駆動する領域、ロは両端に配置された分割電極
３ａと全面電極２間に電圧を印加した時に駆動する領域
である。
図、図３（ｂ）は振動子の電極分割面を示す図、図３
（ｃ）は従来のアレイ探触子のビームパターン図、図３
（ｄ）は従来のアレイ探触子の振動子の動作状況を示す
図である。図において１は振動子のベースとなる圧電基
材（ここではセラミック基材を例に上げて説明す
る。）、２はセラミック基材１の片面に設けられた全面
電極、３ａはセラミック基材１の他方の面に形成されて
両端に配置された分割電極、３ｂはセラミック基材１の
片面で内側に配置された分割電極、４はバッキング材、
５は音響整合層、６はケース、７は分割された両端電極
３ａと全面電極２間に電圧を加えた時に形成されるビー
ムパターン、８は分割された内側電極３ｂと全面電極２
間に電圧を加えた時に形成されるビームパターン、ｗ１
は分割電極３ａ，３ｂの幅、ｙ１は内側に配置された分
割電極３ｂで形成されるビームパターン８の中間部に生
じるエコー高さの低下量、ｙ２は分割電極３ａで形成さ
れるビームパターン７と隣接する分割電極３ｂで形成さ
れるビームパターン８との中間部に生じるエコー高さの
低下量、イは内側電極３ｂと全面電極２間に電圧を印加
した時に駆動する領域、ロは両端に配置された分割電極
３ａと全面電極２間に電圧を印加した時に駆動する領域
である。
【０００３】従来のアレイ探触子を構成する振動子は上
記のようにセラミック基材１の片面上に配列方向におけ
る幅寸法ｗ１が全て同一寸法な分割電極３ａ，３ｂが形
成され、音響放射面と反対面には振動子の自由振動を抑
制するためのバッキング材４が設けられ、超音波放射面
側には音響整合層５を設けてケース６に収納されてい
る。このように構成されたアレイ探触子において、超音
波の送受信を各々１個ずつタイミングをずらして独立に
動作させるリニア方式の駆動を行うと、内側に配置され
た分割電極３ｂと全面電極２間に電圧を加えた時に音響
放射面として動作する領域イが、分割電極幅ｗ１に両端
に存在するセラミック基材１と全面電極２の影響により
全面電極２側で電極幅ｗ１より大きめな領域イで動作
し、ビームパターン８が形成される。一方、両端の分割
電極３ａと全面電極２間に電圧を加えた時には片端にセ
ラミック基材１及び全面電極２がないために、動作領域
ロが内側の電極３ｂと全面電極２に電圧が加えられたの
と同条件にはならず、内側のビームパターン８より狭い
ビームパターン７が形成される。その結果、お互いに隣
接するビームパターンの中間部に生じるエコー高さの低
下量ｙ１，ｙ２も同条件にならない。
記のようにセラミック基材１の片面上に配列方向におけ
る幅寸法ｗ１が全て同一寸法な分割電極３ａ，３ｂが形
成され、音響放射面と反対面には振動子の自由振動を抑
制するためのバッキング材４が設けられ、超音波放射面
側には音響整合層５を設けてケース６に収納されてい
る。このように構成されたアレイ探触子において、超音
波の送受信を各々１個ずつタイミングをずらして独立に
動作させるリニア方式の駆動を行うと、内側に配置され
た分割電極３ｂと全面電極２間に電圧を加えた時に音響
放射面として動作する領域イが、分割電極幅ｗ１に両端
に存在するセラミック基材１と全面電極２の影響により
全面電極２側で電極幅ｗ１より大きめな領域イで動作
し、ビームパターン８が形成される。一方、両端の分割
電極３ａと全面電極２間に電圧を加えた時には片端にセ
ラミック基材１及び全面電極２がないために、動作領域
ロが内側の電極３ｂと全面電極２に電圧が加えられたの
と同条件にはならず、内側のビームパターン８より狭い
ビームパターン７が形成される。その結果、お互いに隣
接するビームパターンの中間部に生じるエコー高さの低
下量ｙ１，ｙ２も同条件にならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のアレイ探触子で
は分割電極の幅寸法ｗ１が全て同一であるため、配列群
の内側に配置された分割電極３ｂと全面電極２間に電圧
を加えた時には両側に存在するセラミック基材１と全面
電極２の影響を受けるが、両端に配置された分割電極３
ａと全面電極２間に電圧を加えた場合には片端にセラミ
ック基材１、及び全面電極が存在しないためにビームパ
ターン７が内側のビームパターン８より狭くなり、全振
動子幅に対するビーム幅が不足したり、互いに隣接する
ビームパターンの中間部に生じるエコー高さの低下量ｙ
２が内側のビームパターン８間に生じるエコー高さ低下
量ｙ１より大きくなり、欠陥検出における再現性を低下
させる課題があった。
は分割電極の幅寸法ｗ１が全て同一であるため、配列群
の内側に配置された分割電極３ｂと全面電極２間に電圧
を加えた時には両側に存在するセラミック基材１と全面
電極２の影響を受けるが、両端に配置された分割電極３
ａと全面電極２間に電圧を加えた場合には片端にセラミ
ック基材１、及び全面電極が存在しないためにビームパ
ターン７が内側のビームパターン８より狭くなり、全振
動子幅に対するビーム幅が不足したり、互いに隣接する
ビームパターンの中間部に生じるエコー高さの低下量ｙ
２が内側のビームパターン８間に生じるエコー高さ低下
量ｙ１より大きくなり、欠陥検出における再現性を低下
させる課題があった。
【０００５】この発明は、かかる課題を解決するために
なされたものであり、ビームパターンの均一化改善によ
り欠陥検出能の再現性を向上させ、信頼性の高い装置を
提供することを目的としている。
なされたものであり、ビームパターンの均一化改善によ
り欠陥検出能の再現性を向上させ、信頼性の高い装置を
提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明におけるアレイ
探触子においては分割電極の最も端に配置される電極の
幅寸法を内側に配置される電極の幅寸法より大きくして
配置したものである。
探触子においては分割電極の最も端に配置される電極の
幅寸法を内側に配置される電極の幅寸法より大きくして
配置したものである。
【０００７】また、各々の分割電極の形状を平行四辺形
として配置したものである。
として配置したものである。
【０００８】また、平行四辺形電極の鋭角部の角度が４
５゜から８５゜の範囲にしたものである。
５゜から８５゜の範囲にしたものである。
【０００９】
実施の形態１．図１（ａ）はこの発明の実施の形態１を
示すアレイ探触子の断面図、図１（ｂ）はこの発明のア
レイ探触子における振動子の分割電極面を示す図、図１
（ｃ）はこの発明の一実施例のアレイ探触子におけるビ
ームパターン図である。図において９ａはこの発明によ
る内側の分割電極３ｂより幅寸法が大きい分割電極、１
０は分割電極９ａと全面電極２との間に電圧を加えた時
に形成されるビームパターン、ｗ２は両端に配置された
分割電極９ａの幅寸法である。
示すアレイ探触子の断面図、図１（ｂ）はこの発明のア
レイ探触子における振動子の分割電極面を示す図、図１
（ｃ）はこの発明の一実施例のアレイ探触子におけるビ
ームパターン図である。図において９ａはこの発明によ
る内側の分割電極３ｂより幅寸法が大きい分割電極、１
０は分割電極９ａと全面電極２との間に電圧を加えた時
に形成されるビームパターン、ｗ２は両端に配置された
分割電極９ａの幅寸法である。
【００１０】上記のように構成されたアレイ探触子にお
いては、両端に配置される分割電極９ａの幅寸法ｗ２が
内側に配置される分割電極３ｂより若干大きいために、
上記分割電極９ａと全面電極２との間に電圧を加えた時
の音響放射面の寸法が内側に配置された分割電極３ｂと
全面電極２との間に電圧を加えた時とほぼ同様の寸法を
得ることができ、アレイ探触子の両端に形成されるビー
ムパターン１０は内側に形成されるビームパターン８と
ほぼ同一の特性となる。その結果、お互いに隣接するビ
ームパターン間の中間部に生じるエコー高さの低下量ｙ
１もほぼ同一の値にすることが可能となる。
いては、両端に配置される分割電極９ａの幅寸法ｗ２が
内側に配置される分割電極３ｂより若干大きいために、
上記分割電極９ａと全面電極２との間に電圧を加えた時
の音響放射面の寸法が内側に配置された分割電極３ｂと
全面電極２との間に電圧を加えた時とほぼ同様の寸法を
得ることができ、アレイ探触子の両端に形成されるビー
ムパターン１０は内側に形成されるビームパターン８と
ほぼ同一の特性となる。その結果、お互いに隣接するビ
ームパターン間の中間部に生じるエコー高さの低下量ｙ
１もほぼ同一の値にすることが可能となる。
【００１１】実施の形態２．図２（ａ）はこの発明の実
施の形態２を示すアレイ探触子の断面図、図２（ｂ）は
この発明の実施の形態２によるアレイ探触子を構成する
振動子の分割電極面を示す図、図２（ｃ）はこの発明の
実施の形態２のアレイ探触子におけるビームパターン図
である。図において１１ａは両端に配置された電極幅寸
法ｗ２が大きい平行四辺形の分割電極、１１ｂは内側に
配置された電極幅寸法ｗ１が小さい平行四辺形の分割電
極、１２ａは両端に配置された分割電極１１ａと全面電
極２間に電圧を加えた時に形成されるビームパターン、
１２ｂは内側に配置された分割電極１１ｂと全面電極２
間に電圧を加えた時に形成されるビームパターン、ｙ３
はお互いに隣接するビームパターンの中間部生じるエコ
ー高さの低下量、θは平行四辺形電極の鋭角部の角度で
ある。上記のように構成されたアレイ探触子ではそれぞ
れの分割電極１１ａ，１１ｂの形状が平行四辺形のた
め、分割電極１１ａ，１１ｂの配列方向におけるビーム
パターン１２ａ，１２ｂが互いに隣接する電極１１ａ，
１１ｂ、及び電極１１ｂ，１１ｂ間の中間部を補い合う
傾向を示し、中間部に生じるエコー高さ低下量ｙ３を小
さくでき、平行四辺形電極の鋭角部の角度θが４５゜か
ら８５゜の範囲であれば、１ｍｍ程度の幅しかない欠陥
でも確実に分割電極１１ａ，１１ｂの下を通過させるこ
とができる。さらに、両端に配置される平行四辺形の分
割電極１１ａの幅寸法ｗ２は内側に配置された分割電極
１１ｂの幅寸法ｗ１より大きいため、実施の形態１で説
明したように端で形成されるビームパターン１２ａと内
側で形成されるビームパターン１２ｂとをほぼ同一にで
きる。
施の形態２を示すアレイ探触子の断面図、図２（ｂ）は
この発明の実施の形態２によるアレイ探触子を構成する
振動子の分割電極面を示す図、図２（ｃ）はこの発明の
実施の形態２のアレイ探触子におけるビームパターン図
である。図において１１ａは両端に配置された電極幅寸
法ｗ２が大きい平行四辺形の分割電極、１１ｂは内側に
配置された電極幅寸法ｗ１が小さい平行四辺形の分割電
極、１２ａは両端に配置された分割電極１１ａと全面電
極２間に電圧を加えた時に形成されるビームパターン、
１２ｂは内側に配置された分割電極１１ｂと全面電極２
間に電圧を加えた時に形成されるビームパターン、ｙ３
はお互いに隣接するビームパターンの中間部生じるエコ
ー高さの低下量、θは平行四辺形電極の鋭角部の角度で
ある。上記のように構成されたアレイ探触子ではそれぞ
れの分割電極１１ａ，１１ｂの形状が平行四辺形のた
め、分割電極１１ａ，１１ｂの配列方向におけるビーム
パターン１２ａ，１２ｂが互いに隣接する電極１１ａ，
１１ｂ、及び電極１１ｂ，１１ｂ間の中間部を補い合う
傾向を示し、中間部に生じるエコー高さ低下量ｙ３を小
さくでき、平行四辺形電極の鋭角部の角度θが４５゜か
ら８５゜の範囲であれば、１ｍｍ程度の幅しかない欠陥
でも確実に分割電極１１ａ，１１ｂの下を通過させるこ
とができる。さらに、両端に配置される平行四辺形の分
割電極１１ａの幅寸法ｗ２は内側に配置された分割電極
１１ｂの幅寸法ｗ１より大きいため、実施の形態１で説
明したように端で形成されるビームパターン１２ａと内
側で形成されるビームパターン１２ｂとをほぼ同一にで
きる。
【００１２】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果を有する。
れているので、以下に記載されるような効果を有する。
【００１３】アレイ探触子の両端に配置される分割電極
の幅寸法が、内側に配置される分割電極の幅寸法より大
きいため、それぞれの分割電極と圧電基材の反対面に形
成された全面電極間に電圧を加えて得られる音響放射面
の大きさとそれぞれに形成されるビームパターンはほぼ
同一となり、互いに隣接するビームパターンの中間部に
発生するエコーの高さの低下量も均一となり、欠陥検出
における再現性の向上と、信頼性の高い装置を提供でき
る。
の幅寸法が、内側に配置される分割電極の幅寸法より大
きいため、それぞれの分割電極と圧電基材の反対面に形
成された全面電極間に電圧を加えて得られる音響放射面
の大きさとそれぞれに形成されるビームパターンはほぼ
同一となり、互いに隣接するビームパターンの中間部に
発生するエコーの高さの低下量も均一となり、欠陥検出
における再現性の向上と、信頼性の高い装置を提供でき
る。
【００１４】アレイ探触子の分割電極の形状が平行四辺
形で、かつ、両端に配置される分割電極の幅寸法が、内
側に配置される分割電極の幅寸法より大きいため、互い
に隣接するビームパターンの中間部に発生するエコー高
さの低下量を小さくでき、欠陥検出における再現性の大
幅向上と、信頼性の高い装置を提供できる。
形で、かつ、両端に配置される分割電極の幅寸法が、内
側に配置される分割電極の幅寸法より大きいため、互い
に隣接するビームパターンの中間部に発生するエコー高
さの低下量を小さくでき、欠陥検出における再現性の大
幅向上と、信頼性の高い装置を提供できる。
【００１５】アレイ探触子の平行四辺形電極の鋭角部の
角度は４５゜から８５゜の範囲のため、１ｍｍ程度の幅
しかない小さな欠陥でも、いずれかの分割平行四辺形電
極で確実に検出でき、信頼性の高い装置が提供できる。
角度は４５゜から８５゜の範囲のため、１ｍｍ程度の幅
しかない小さな欠陥でも、いずれかの分割平行四辺形電
極で確実に検出でき、信頼性の高い装置が提供できる。
【図１】 この発明の実施の形態１のアレイ探触子を示
す図である。
す図である。
【図２】 この発明の実施の形態２のアレイ探触子を示
す図である。
す図である。
【図３】 従来のアレイ探触子を示す図である。
１ 振動子のセラミック基材、２ 全面電極、９ａ 両
端に配置される分割電極、３ｂ 内側に配置される分割
電極、８ 内側に形成されるビームパターン、１０ 両
端に形成されるビームパターン、１１ａ 両端に配置さ
れる平行四辺形の分割電極、１１ｂ 内側に配置される
平行四辺形の分割電極、１２ａ 両端に形成されるビー
ムパターン、１２ｂ 内側に形成されるビームパター
ン、θ 平行四辺形電極の鋭角部の角度。
端に配置される分割電極、３ｂ 内側に配置される分割
電極、８ 内側に形成されるビームパターン、１０ 両
端に形成されるビームパターン、１１ａ 両端に配置さ
れる平行四辺形の分割電極、１１ｂ 内側に配置される
平行四辺形の分割電極、１２ａ 両端に形成されるビー
ムパターン、１２ｂ 内側に形成されるビームパター
ン、θ 平行四辺形電極の鋭角部の角度。
Claims (3)
- 【請求項１】 振動子の圧電基材を共通とし、片面の電
極を上記圧電基材全面に形成し、他の電極面を３個以上
に分割して配置し、上記分割電極の配列方向における寸
法が内側に配置される電極寸法より大きい電極を両端に
配置した振動子を備えたことを特徴とするアレイ探触
子。 - 【請求項２】 請求項１記載のアレイ探触子において、
分割電極のそれぞれの形状が平行四辺形である振動子を
備えたことを特徴とするアレイ探触子。 - 【請求項３】 請求項１記載のアレイ探触子において、
平行四辺形の分割電極の鋭角部の角度が４５゜から８５
゜の範囲である振動子を備えたことを特徴とするアレイ
探触子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7295318A JPH09138224A (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | アレイ探触子 |
| DE1996147712 DE19647712A1 (de) | 1995-11-14 | 1996-11-11 | Feldsonde |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7295318A JPH09138224A (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | アレイ探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09138224A true JPH09138224A (ja) | 1997-05-27 |
Family
ID=17819066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7295318A Pending JPH09138224A (ja) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | アレイ探触子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09138224A (ja) |
| DE (1) | DE19647712A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014041083A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Nippon Steel & Sumitomo Metal | 超音波探触子、超音波探傷装置および超音波探傷方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101776646B (zh) * | 2010-01-14 | 2014-03-05 | 奥瑞视（北京）科技有限公司 | 一种中厚板自动探伤系统和方法 |
| WO2013051524A1 (ja) | 2011-10-04 | 2013-04-11 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサおよびその製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU529113B2 (en) * | 1978-04-19 | 1983-05-26 | Commonwealth Of Australia, The | Ultrasonic transducer array |
-
1995
- 1995-11-14 JP JP7295318A patent/JPH09138224A/ja active Pending
-
1996
- 1996-11-11 DE DE1996147712 patent/DE19647712A1/de not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014041083A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Nippon Steel & Sumitomo Metal | 超音波探触子、超音波探傷装置および超音波探傷方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19647712A1 (de) | 1997-05-15 |
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