JPS5991798A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPS5991798A JPS5991798A JP57202652A JP20265282A JPS5991798A JP S5991798 A JPS5991798 A JP S5991798A JP 57202652 A JP57202652 A JP 57202652A JP 20265282 A JP20265282 A JP 20265282A JP S5991798 A JPS5991798 A JP S5991798A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- inspected
- ultrasonic wave
- oscillator
- phase
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、非破壊検査や医療診断等に用いられる超音
波探触子に関するものである。
波探触子に関するものである。
従来のこの種超音波探触子は９例えば第１図に示すよう
に、１ケの超音波振動子（１）の一方の音響放射面（２
）上に、バッキング材（３）を設け、他方の音響放射面
（２）上に厚さが４分の１波長の一層あるいけ多層の音
響インピーダンス変成層（４）を設けて構成されていた
。
に、１ケの超音波振動子（１）の一方の音響放射面（２
）上に、バッキング材（３）を設け、他方の音響放射面
（２）上に厚さが４分の１波長の一層あるいけ多層の音
響インピーダンス変成層（４）を設けて構成されていた
。
非破壊検査や医療診断等においては、超音波の減衰が大
きい被検材を検査する場合が多い。減衰が大きい被検材
内の２例えば、微小欠陥等を精度よく検出するには、欠
陥からのエコーレベルが小さいため、信号対雑音比が高
いことが要求される。
きい被検材を検査する場合が多い。減衰が大きい被検材
内の２例えば、微小欠陥等を精度よく検出するには、欠
陥からのエコーレベルが小さいため、信号対雑音比が高
いことが要求される。
さて、従来のこの種の超音波探触子では、上述のような
欠陥を検出する場合、信号対雑音比を向上するため、超
音波振動子（１）の励振信号レベルを高くしていた。し
かし、超音波振動子（１）の励・振信号レベルをある程
度以上大きくすると、超音波振動子（１１は、圧電特性
が破壊されてしまう。したがって、正常に動作しなくな
る。このため、従来のこの種の超音波探触子では、極め
て微小な欠陥等は、信号対雑音比が悪く精度よく検出で
きない欠点があった。
欠陥を検出する場合、信号対雑音比を向上するため、超
音波振動子（１）の励振信号レベルを高くしていた。し
かし、超音波振動子（１）の励・振信号レベルをある程
度以上大きくすると、超音波振動子（１１は、圧電特性
が破壊されてしまう。したがって、正常に動作しなくな
る。このため、従来のこの種の超音波探触子では、極め
て微小な欠陥等は、信号対雑音比が悪く精度よく検出で
きない欠点があった。
この発明は、複数個の超音波振動子（１）を、各超音波
振動子（１）の音響放射面（２）が対向するようにして
積重ねて配置し、各超音波振動子（１）の励振及び受信
信号の位相を制御することにより、上述した欠点を除去
したものであシ、以下、第２図に示す一実施例を用いて
詳細に説明する。
振動子（１）の音響放射面（２）が対向するようにして
積重ねて配置し、各超音波振動子（１）の励振及び受信
信号の位相を制御することにより、上述した欠点を除去
したものであシ、以下、第２図に示す一実施例を用いて
詳細に説明する。
第２図は、この発明に係る超音波探触子の一実施例であ
シ、超音波振動子（１）は、各超音波振動子ｆ１）の音
響放射面（２）が対向するように積重ねて配置している
。第２図においては、説明を簡単にするため、超音波振
動子（１）を３ヶ配列した場合について示している。（
３）は従来と同様のバッキング材であり、（４）も従来
と同様の一層あるいは多層の音響インピーダンス変成層
である。（５）は、各超音波振動子（］）間を電気的に
絶縁するだめの絶縁膜である。
シ、超音波振動子（１）は、各超音波振動子ｆ１）の音
響放射面（２）が対向するように積重ねて配置している
。第２図においては、説明を簡単にするため、超音波振
動子（１）を３ヶ配列した場合について示している。（
３）は従来と同様のバッキング材であり、（４）も従来
と同様の一層あるいは多層の音響インピーダンス変成層
である。（５）は、各超音波振動子（］）間を電気的に
絶縁するだめの絶縁膜である。
さて、この発明に係る超音波探触子において。
バッキング材（３）に最も近い超音波振動子（１）をま
ず最初に励振し１次に、中間の超音波振動子（１）を励
振し、最稜に、被検材に最も近い超音波振動子（１）を
励振し、各超音波振動子（１）によυ励振された超音波
が被検材方向に同相で伝ばんするようにする。
ず最初に励振し１次に、中間の超音波振動子（１）を励
振し、最稜に、被検材に最も近い超音波振動子（１）を
励振し、各超音波振動子（１）によυ励振された超音波
が被検材方向に同相で伝ばんするようにする。
上記のように、各超音波振動子（１）の励振信号の位相
を制御すれば、被検材内へ伝ばんする超音波の振幅レベ
ルは、従来の３倍大きくなる。
を制御すれば、被検材内へ伝ばんする超音波の振幅レベ
ルは、従来の３倍大きくなる。
しプζがって、この発明に係る超音波探触子においては
、微小欠陥からのエコーレベルも高くなシ。
、微小欠陥からのエコーレベルも高くなシ。
信号対雑音比が従来に比べて改善され、精度よく被検材
を検査できる利点がある。
を検査できる利点がある。
以上は、配列した超音波振動子（＋＋の数が３の場合に
ついて説明したが、超音波振動子（１１の数が３以上の
場合についても同様の利点があることは明らかである。
ついて説明したが、超音波振動子（１１の数が３以上の
場合についても同様の利点があることは明らかである。
また、各超音波振動子（１）によυ受信される被検材内
からのエコーが同相で加算されるように、各超音波振動
子（１）の受信信号の位相をも同時に制御すれば、更に
信号対雑音比が改善されることも明らかであろう。壕だ
、くさび等を用いて被検材表面から斜めに超音波を送受
信する斜角形超音波探触子に適用してもよい。
からのエコーが同相で加算されるように、各超音波振動
子（１）の受信信号の位相をも同時に制御すれば、更に
信号対雑音比が改善されることも明らかであろう。壕だ
、くさび等を用いて被検材表面から斜めに超音波を送受
信する斜角形超音波探触子に適用してもよい。
以上のように、この発明に係る超音波探触子では、複数
個の超音波振動子（１）を、各超音波振動子（１）の音
響放射面どうしが対向するように積重ねて配列し、各超
音波振動子（１）の励振及び受信信号の位相を制御して
、各超音波振動子（１）によシ被検材方向に送受信され
る超音波が同相となるようにすることにより、従来に比
べ、信号対雑音比を改善でき、精度よく被検材を検査で
きる利点がある。
個の超音波振動子（１）を、各超音波振動子（１）の音
響放射面どうしが対向するように積重ねて配列し、各超
音波振動子（１）の励振及び受信信号の位相を制御して
、各超音波振動子（１）によシ被検材方向に送受信され
る超音波が同相となるようにすることにより、従来に比
べ、信号対雑音比を改善でき、精度よく被検材を検査で
きる利点がある。
第１図は従来の超音波探触子を示す図、第２図はこの発
明に係る超音波探触子の一実施例を示す図である。図中
、（１）は超音波振動子、（２）は音響放射面、（３）
はバッキング材、（４）は音響インピーダンス変成層、
（５）は絶縁膜である。 なお２図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示しである。 代理人 葛野信− 第１図 第２図
明に係る超音波探触子の一実施例を示す図である。図中
、（１）は超音波振動子、（２）は音響放射面、（３）
はバッキング材、（４）は音響インピーダンス変成層、
（５）は絶縁膜である。 なお２図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示しである。 代理人 葛野信− 第１図 第２図
Claims (1)
- 複数個の超音波振動子を、上記各超音波振動子の音響放
射面どうしが対向するように積重ねて配置し、上記各超
音波振動子の振動及び受信信号の位相を制御して、各超
音波振動子によシ被検材方向に送受信される超音波が同
相となるようにしたことを特徴とする超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57202652A JPS5991798A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57202652A JPS5991798A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5991798A true JPS5991798A (ja) | 1984-05-26 |
Family
ID=16460888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57202652A Pending JPS5991798A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5991798A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012088113A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Toyama Univ | 超音波発受信器および超音波計測装置 |
| JP2015180901A (ja) * | 2015-07-22 | 2015-10-15 | 国立大学法人東北大学 | 超音波発受信器および超音波計測装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5075025A (ja) * | 1973-10-25 | 1975-06-20 |
-
1982
- 1982-11-18 JP JP57202652A patent/JPS5991798A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5075025A (ja) * | 1973-10-25 | 1975-06-20 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012088113A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Toyama Univ | 超音波発受信器および超音波計測装置 |
| JP2015180901A (ja) * | 2015-07-22 | 2015-10-15 | 国立大学法人東北大学 | 超音波発受信器および超音波計測装置 |
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