JPH09136282A - Electronic part suction nozzle - Google Patents

Electronic part suction nozzle

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JPH09136282A
JPH09136282A JP7296930A JP29693095A JPH09136282A JP H09136282 A JPH09136282 A JP H09136282A JP 7296930 A JP7296930 A JP 7296930A JP 29693095 A JP29693095 A JP 29693095A JP H09136282 A JPH09136282 A JP H09136282A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
circuit board
printed circuit
suction
tcp
Prior art date
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Application number
JP7296930A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Chikaoka
秀男 近岡
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH09136282A publication Critical patent/JPH09136282A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely bring a lead wire of a TCP into contact with a pad in a printed circuit board when the TCP is mounted on the printed circuit board. SOLUTION: An electronic part suction nozzle for sucking and holding a TCP 51, which is an electronic part to be mounted on a printed circuit board, is provided with a nozzle main body 11, a suction body 18 which is arranged in the nozzle main body 11 so as to suck and hold the TCP, and a pressing body 31 which is arranged in the nozzle main body 11 freely oscillationally by means of a spring part 34 and presses the electronic part when the TCP sucked and held on the suction body 18 is mounted on the printed circuit board.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は半導体実装装置に
おいて、たとえばプリント基板にテ−プキャリアパッケ
−ジ(以下、「TCP」と称する。)などの電子部品を
装着するマウントヘッドに組み込まれる電子部品吸着ノ
ズルに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor mounting apparatus, in which an electronic component incorporated in a mount head for mounting an electronic component such as a tape carrier package (hereinafter referred to as "TCP") on a printed circuit board. It relates to a suction nozzle.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、半導体実装装置であるアウタ
−リ−ドボンデイング装置のマウントヘッドにはTCP
などの電子部品を吸着保持するために電子部品吸着ノズ
ルが用いられている。この電子部品吸着ノズルによって
TCPをプリント基板に装着する場合、上記吸着ノズル
の吸着面とプリント基板の実装面とを平行に保つことに
よって、TCPのリ−ドとプリント基板のパッドとを確
実に接合するようにしていた。そのため、上記吸着ノズ
ルの下面の角度を高精度に調整する必要があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, a TCP has been used for a mount head of an outer lead bonding apparatus which is a semiconductor mounting apparatus.
An electronic component suction nozzle is used to suck and hold electronic components such as. When the TCP is mounted on the printed circuit board by the electronic component suction nozzle, the suction surface of the suction nozzle and the mounting surface of the printed circuit board are kept parallel to each other to reliably bond the lead of the TCP and the pad of the printed circuit board. I was trying to do it. Therefore, it is necessary to adjust the angle of the lower surface of the suction nozzle with high accuracy.

【0003】しかしながら、実際にはプリント基板は反
りなどによってその平面精度にばらつきがあるなどのこ
とによって吸着ノズルの吸着面と、プリント基板の実装
面との平行度を高精度に設定することは容易でない。こ
れらの平行度が高精度に設定されていない場合には、プ
リント基板のパッドとTCPのリ−ドとの接触状態に不
良箇所が生じ、上記パッドに確実にはんだ付けされない
リ−ドが発生するということがあった。
However, in actuality, it is easy to set the parallelism between the suction surface of the suction nozzle and the mounting surface of the printed circuit board with high accuracy because the plane accuracy of the printed circuit board varies due to warping or the like. Not. If these parallelisms are not set with high precision, a defective portion may occur in the contact state between the pad of the printed board and the lead of the TCP, and the lead may not be reliably soldered to the pad. There was that.

【0004】上記リ−ドの接触状態を改善するためには
上記TCPを上記プリント基板へ強く加圧すればよい。
しかしながら、加圧力が強いと、TCPに設けられた半
導体チップがプリント基板に強く押圧されるから、その
半導体チップに割れが生じることがある。
In order to improve the contact state of the lead, the TCP may be strongly pressed against the printed board.
However, when the applied pressure is strong, the semiconductor chip provided on the TCP is strongly pressed against the printed circuit board, so that the semiconductor chip may be cracked.

【0005】しかも、加圧力が強いと、プリント基板が
変形するから、その変形を防止するためにプリント基板
の裏面にバックアップを必要とする。それによって、バ
ックアップが接するプリント基板の裏面には部品を実装
できなくなるから、実装密度が低くなるということがあ
る。
In addition, when the applied pressure is strong, the printed circuit board is deformed, so that it is necessary to back up the back surface of the printed circuit board to prevent the deformation. As a result, components cannot be mounted on the back surface of the printed circuit board to which the backup contacts, which may result in low mounting density.

【0006】また、CPUなどの発熱量の大きなTCP
においては、放熱性を高めるためにプリント基板と、T
CPとの間に銀ペ−ストなどの放熱材を設け、両者間の
伝熱性を向上させることが行われている。
In addition, TCP, which has a large heat generation amount such as CPU
In order to improve heat dissipation, the printed circuit board and T
A heat dissipation material such as a silver paste is provided between the CP and the CP to improve heat transfer between them.

【0007】その場合、TCPの半導体チップが設けら
れる中央部分と、リ−ドが設けられる周辺部分とをそれ
ぞれ適切な加圧力で押圧することが要求されるが、従来
はTCP全体を同じ加圧力で押圧していた。そのため、
TCPの中央部分と周辺部分とをそれぞれ適切な加圧力
で加圧できないから、半導体チップの接触不良やTCP
のリ−ド曲りなどの実装不良を招くということがあっ
た。
In that case, it is required to press the central portion where the TCP semiconductor chip is provided and the peripheral portion where the lead is provided with appropriate pressing forces, respectively, but conventionally, the entire TCP is pressed with the same pressing force. I was pressing. for that reason,
Since the central portion and the peripheral portion of the TCP cannot be pressed with appropriate pressures, contact failure of the semiconductor chip and TCP
In some cases, this could lead to mounting defects such as lead bending.

【0008】上記TCPはキャリアテ−プから打ち抜か
れて形成される。その時、リ−ドは所定の形状に成形さ
れるものの、それぞれのリ−ドを形成する金属材料に硬
さのばらつきなどがあると一定形状にならず、TCPを
プリント基板に加圧したとき、そのパッドから浮いてし
まうリ−ド、所定形状とは異なる形状に変形したリ−ド
がある。そのため、そのリ−ドはパッドに確実にはんだ
付けされされないということもある。
The TCP is formed by punching out a carrier tape. At that time, although the lead is molded into a predetermined shape, if the metal material forming each lead does not have a uniform shape due to variations in hardness, when TCP is pressed onto the printed circuit board, There are leads that float from the pad and leads that are deformed into a shape different from the predetermined shape. Therefore, the lead may not be surely soldered to the pad.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は電
子部品を実装するに際し、プリント基板と電子部品との
平行度を高精度に確保しなければならないが、実際には
プリント基板の平行度にばらつきがあるなどのことによ
って平行度を高精度に設定できないため、実装不良を招
くということなどがあった。
As described above, conventionally, when mounting an electronic component, it is necessary to ensure the parallelism between the printed circuit board and the electronic component with high accuracy. However, in reality, the parallelism of the printed circuit board is high. Since the parallelism cannot be set with high accuracy due to the variation in, the mounting failure may be caused.

【0010】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、電子部品をプリント基板
に精度よく実装することができるようにした電子部品吸
着ノズルを提供することにある。
The present invention has been made based on the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an electronic component suction nozzle capable of mounting electronic components on a printed circuit board with high precision.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1の発明は、プリント基板に装着する電子部品
を吸着保持するための電子部品吸着ノズルにおいて、ノ
ズル本体と、このノズル本体に設けられ上記電子部品を
吸着保持する吸着部と、上記ノズル本体に弾性部材によ
って揺動自在に設けられているとともに上記吸着部に吸
着保持された電子部品を上記プリント基板に装着すると
きに上記電子部品を加圧する加圧面を有する加圧体とを
具備したことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is an electronic component suction nozzle for sucking and holding an electronic component mounted on a printed circuit board. A suction portion provided to suck and hold the electronic component, and an electronic component that is swingably provided to the nozzle body by an elastic member and that is sucked and held by the suction portion when the electronic component is mounted on the printed circuit board. And a pressing body having a pressing surface for pressing the component.

【0012】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、上記吸着部は、上記電子部品を揺動可能に吸着保持
する構成であることを特徴とする。請求項3の発明は、
請求項1の発明において、上記吸着部は、上記ノズル本
体に弾性的に変位自在に設けられていることを特徴とす
る。
According to a second aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the suction portion is structured to swingably hold the electronic component. The invention of claim 3 is
In the invention of claim 1, the suction part is elastically displaceably provided on the nozzle body.

【0013】請求項4の発明は、請求項1の発明におい
て、上記加圧体には、上記電子部品を上記プリント基板
に装着するときに、この電子部品を上記プリント基板に
所定以上の力で押圧するのを阻止するストッパが設けら
れていることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, when the electronic component is mounted on the printed circuit board, the electronic component is applied to the printed circuit board with a predetermined force or more. It is characterized in that a stopper for preventing pressing is provided.

【0014】請求項5の発明は、請求項1の発明におい
て、上記加圧体には、上記電子部品を上記プリント基板
に装着するときに、この電子部品に設けられたリ−ドの
変形を矯正する矯正部材が設けられていることを特徴と
する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, when the electronic component is mounted on the printed circuit board, the pressure body is deformed by a lead provided on the electronic component. A straightening member for straightening is provided.

【0015】請求項6の発明は、プリント基板に装着す
る電子部品を吸着保持するための電子部品吸着ノズルに
おいて、ノズル本体と、このノズル本体に設けられ上記
電子部品を吸着保持するとともにその電子部品を上記プ
リント基板に装着するときに加わる力によって変形可能
な弾性材料で作られた吸着体とを具備したことを特徴と
する。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an electronic component suction nozzle for sucking and holding an electronic component mounted on a printed circuit board, the nozzle body and the electronic component provided on the nozzle body for sucking and holding the electronic component. And an adsorbent made of an elastic material that can be deformed by a force applied when it is mounted on the printed circuit board.

【0016】請求項1の発明によれば、電子部品を加圧
する加圧面を有する加圧体が揺動自在に設けられている
ことで、プリント基板に対して電子部品が平行でない場
合には、電子部品がプリント基板に押圧されることで、
上記加圧体とともに揺動する。そのため、電子部品のリ
−ドをプリント基板のパッドに確実に接触させることが
できるから、そのはんだ付けも確実に行える。
According to the first aspect of the present invention, since the pressurizing body having the pressurizing surface for pressurizing the electronic component is swingably provided, when the electronic component is not parallel to the printed circuit board, By pressing the electronic parts against the printed circuit board,
It swings together with the pressure body. Therefore, the lead of the electronic component can be surely brought into contact with the pad of the printed circuit board, so that the soldering can be surely performed.

【0017】請求項2の発明によれば、電子部品は吸着
部に揺動自在に吸着保持されているから、プリント基板
に加圧されたときに揺動し易い。請求項3の発明によれ
ば、電子部品をプリント基板に加圧したときに、吸着部
が弾性的に変位するから、その吸着部に対応する部分を
プリント基板に適度な加圧力で押圧することができる。
According to the second aspect of the present invention, since the electronic component is swingably held by the suction portion, the electronic component easily swings when being pressed by the printed circuit board. According to the invention of claim 3, when the electronic component is pressed against the printed circuit board, the suction portion is elastically displaced, so that the portion corresponding to the suction portion is pressed against the printed circuit board with an appropriate pressing force. You can

【0018】請求項4の発明によれば、加圧体に設けら
れたストッパによって電子部品に加える加圧力が制限さ
れるから、リ−ドを押し潰すのが防止される。請求項5
の発明によれば、リ−ドの形状にばらつきがあっても、
電子部品をプリント基板に装着するときに、加圧体に設
けられた矯正部材によってその形状がほぼ一定に矯正さ
れるから、それぞれのリ−ドをプリント基板のパッドに
確実に接触させることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the pressing force applied to the electronic component is limited by the stopper provided on the pressurizing body, it is possible to prevent the lead from being crushed. Claim 5
According to the invention, even if the lead shape varies,
When the electronic component is mounted on the printed circuit board, the shape thereof is corrected to a substantially constant value by the correction member provided on the pressing body, so that each lead can be surely brought into contact with the pad of the printed circuit board. .

【0019】請求項6の発明によれば、電子部品をプリ
ント基板に装着する際、電子部品に加わる力に応じてノ
ズル体が変形することで電子部品が揺動するから、電子
部品がプリント基板に対して平行でなくとも、確実に実
装することができる。
According to the sixth aspect of the invention, when the electronic component is mounted on the printed circuit board, the nozzle body is deformed in accordance with the force applied to the electronic component to swing the electronic component. Even if it is not parallel to, it can be surely mounted.

【0020】[0020]

【発明の実施形態】以下、この発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図1乃至図6はこの発明の第1の実
施形態を示す。図1はこの発明の電子部品吸着ノズル1
の断面図を示し、この吸着ノズル1はアウタリ−ドボン
デイング装置のマウントヘッドの取付軸2に着脱自在に
取り付けられている。つまり、上記取付軸2の下端部に
はチャック機構3が設けられている。このチャック機構
3は上記取付軸2の下端部に外嵌固定された筒体4を有
する。この筒体4の周壁には周方向に所定間隔で複数の
貫通孔5が形成されている。この貫通孔5にはボ−ル6
が設けられ、このボ−ル6は一端を上記筒体4に固定し
た板ばね7の他端によって弾性的に押圧されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 6 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an electronic component suction nozzle 1 according to the present invention.
The suction nozzle 1 is detachably attached to the attachment shaft 2 of the mount head of the outer bonding device. That is, the chuck mechanism 3 is provided at the lower end of the mounting shaft 2. The chuck mechanism 3 has a cylindrical body 4 which is externally fitted and fixed to the lower end of the mounting shaft 2. A plurality of through holes 5 are formed in the peripheral wall of the cylindrical body 4 at predetermined intervals in the circumferential direction. A ball 6 is provided in the through hole 5.
The ball 6 is elastically pressed by the other end of the leaf spring 7 having one end fixed to the cylindrical body 4.

【0021】上記取付軸2の下端部外周面と上記筒体4
の内周面の下端部にはそれぞれ凹状の段部2a、4aが
形成され、これらの段部によって取付軸2と筒体4との
間には挿入部8が形成されている。なお、上記板ばね7
によって押圧されたボ−ル6は上記取付軸2の段部2a
の外周面に当接するから、貫通孔5から脱落することが
ない。
The outer peripheral surface of the lower end portion of the mounting shaft 2 and the cylindrical body 4
Recessed step portions 2a, 4a are formed at the lower ends of the inner peripheral surfaces of the two, and an insert portion 8 is formed between the mounting shaft 2 and the cylindrical body 4 by these step portions. The leaf spring 7
The ball 6 pressed by the step portion 2a of the mounting shaft 2 is
Since it comes into contact with the outer peripheral surface of, it does not fall off from the through hole 5.

【0022】上記吸着ノズル1はノズル本体11を有す
る。このノズル本体11は盤状の下部材12と、この下
部材12の上面に接合固定された上部材13とからな
る。この上部材13は中空軸部14と、この中空軸部1
4の下端部に設けられ上記下部材12の上面に接合さ
れ、ねじ15aによって固定された鍔部15とからな
る。
The suction nozzle 1 has a nozzle body 11. The nozzle body 11 includes a disk-shaped lower member 12 and an upper member 13 joined and fixed to the upper surface of the lower member 12. The upper member 13 includes a hollow shaft portion 14 and the hollow shaft portion 1
4 is provided at the lower end of the lower member 4 and is joined to the upper surface of the lower member 12 and is fixed by a screw 15a.

【0023】上記中空軸部14は、上記挿入部8に挿入
できる内外径寸法に設定されていて、その外周面には周
方向において上記貫通孔5と対応する間隔で複数の円錐
状の凹部16が形成されている。上記中空軸部14を上
記挿入部8に挿入することで、その凹部16に上記ボ−
ル6が弾性的に係合するから、それによって吸着ノズル
1が取付軸2に着脱自在に保持されることになる。
The hollow shaft portion 14 is set to have inner and outer diameter dimensions that can be inserted into the insertion portion 8, and a plurality of conical recesses 16 are formed on the outer peripheral surface thereof at intervals corresponding to the through holes 5 in the circumferential direction. Are formed. By inserting the hollow shaft portion 14 into the insertion portion 8, the hollow 16 is inserted into the recess 16 of the hollow shaft portion 14.
The elastic nozzle 6 engages elastically, so that the suction nozzle 1 is detachably held by the mounting shaft 2.

【0024】上記ノズル本体11の下部材12には、そ
の中央部分に上下方向に貫通した収納部17が形成され
ている。この収納部17には吸着部を形成する吸着体1
8が気密な状態でスライド自在に収納されている。この
吸着体18は先端部(下端)に軸部19が形成されてい
る。この軸部19には一端を軸部19の先端面に開口さ
せた吸着孔21が穿設されている。この吸着孔21の他
端は上記吸着体18の後端面(上端)に開放して形成さ
れた凹部22に連通している。
The lower member 12 of the nozzle body 11 is formed with an accommodating portion 17 penetrating in the vertical direction in the central portion thereof. The storage unit 17 has an adsorbent 1 forming an adsorption unit.
8 is slidably stored in an airtight state. The adsorbent 18 has a shaft portion 19 formed at its tip (lower end). The shaft portion 19 is provided with a suction hole 21 having one end opened to the tip surface of the shaft portion 19. The other end of the suction hole 21 communicates with a recess 22 formed in the rear end surface (upper end) of the suction body 18 and opened.

【0025】この凹部22には上記吸着体18を収納部
17から突出する方向に付勢したばね23が設けられて
いる。つまり、吸着体18は上記ばね23によって上記
収納部17に弾性的に変位自在に保持されている。
The recess 22 is provided with a spring 23 that biases the adsorbent 18 in a direction projecting from the housing 17. That is, the adsorbent 18 is elastically displaceably held in the storage portion 17 by the spring 23.

【0026】なお、収納部17の開放端には鍔24が設
けられ、この鍔24に上記吸着体18の下端部に形成さ
れた段部18aが係合することで、上記吸着体18が収
納部17から抜出するのが阻止されている。なお、上記
鍔24は下部材12の下面から所定寸法突出している。
A collar 24 is provided at the open end of the accommodating portion 17, and a step portion 18a formed at the lower end of the adsorbent 18 engages with the collar 24 to accommodate the adsorbent 18. It is prevented from being pulled out from the portion 17. The collar 24 projects from the lower surface of the lower member 12 by a predetermined dimension.

【0027】上記吸着孔21は上記凹部22を介して上
記取付軸2に形成された吸引路2aに連通している。こ
の吸引路2aは吸引ポンプ25に連通している。したが
って、吸引ポンプ25が作動することで、上記吸着孔2
1に吸引力を発生させることができるようになってい
る。
The suction hole 21 communicates with the suction passage 2a formed in the mounting shaft 2 through the recess 22. The suction passage 2 a communicates with the suction pump 25. Therefore, by operating the suction pump 25, the suction holes 2
1 can generate a suction force.

【0028】上記吸着体18の軸部19には弾性部材と
してのOリング26が設けられている。このOリング2
6は図4に示すように上記軸部19の先端面からわずか
に突出する状態で設けられている。この突出寸法を同図
にAで示す。それによって、上記吸着孔21に発生する
吸引力で上記軸部19に吸着保持される電子部品として
のTCP51は上記Oリング26に接触するから、この
Oリング26を弾性変形させて揺動できる状態となって
いる。
An O-ring 26 as an elastic member is provided on the shaft portion 19 of the adsorbent 18. This O-ring 2
As shown in FIG. 4, 6 is provided so as to slightly project from the tip end surface of the shaft portion 19. This protruding dimension is indicated by A in the figure. As a result, the TCP 51 as an electronic component that is sucked and held by the shaft portion 19 by the suction force generated in the suction hole 21 comes into contact with the O-ring 26, so that the O-ring 26 can be elastically deformed and swung. Has become.

【0029】上記TCP51は、図4に示すように所定
形状の樹脂テ−プ51aと、このテ−プ51aの中央部
分に形成されたデバイス孔51bに設けられた半導体チ
ップ51cと、上記テ−プ51aの周辺部から導出され
たリ−ド51dとを有する。このリ−ド51dは、長尺
なテ−プからTCP51を打ち抜くときに所定形状、こ
の実施例ではウイング状に成形されている。
As shown in FIG. 4, the TCP 51 has a resin tape 51a having a predetermined shape, a semiconductor chip 51c provided in a device hole 51b formed in the central portion of the tape 51a, and the tape. Lead 51d derived from the peripheral portion of the plug 51a. The lead 51d is formed in a predetermined shape when the TCP 51 is punched out from a long tape, that is, a wing shape in this embodiment.

【0030】上記ノズル本体11の下面側には下面を押
圧面31aとした加圧体31が設けられている。この加
圧体31は図2に示すように矩形状の枠部32と、この
枠部32内の中央部分に設けられた環状部33と、この
環状部33と板ばね材料によって一体形成された4本の
帯状のばね部34とから形成されている。
A pressure member 31 having a lower surface as a pressing surface 31a is provided on the lower surface side of the nozzle body 11. As shown in FIG. 2, the pressurizing body 31 is formed by a rectangular frame portion 32, an annular portion 33 provided in the central portion of the frame portion 32, and the annular portion 33 and a leaf spring material. It is formed of four strip-shaped spring portions 34.

【0031】上記環状部33は上記ノズル本体11の下
部材12に設けられた鍔24の下面に取付けピン35に
よって固定されている。したがって、上記加圧体31の
枠部32は、ばね部34を弾性変形させることで揺動で
きるようになっている。
The annular portion 33 is fixed to the lower surface of the collar 24 provided on the lower member 12 of the nozzle body 11 by a mounting pin 35. Therefore, the frame portion 32 of the pressing body 31 can be swung by elastically deforming the spring portion 34.

【0032】上記枠部32の四隅部には取付け部36が
形成されている。この取付け部36にはストッパとして
のストッパピン37が突設されている。このストッパピ
ン37は上記取付け部36の下面である、押圧面31a
から所定寸法突出している。この突出寸法を図1にBで
示す。
Mounting portions 36 are formed at the four corners of the frame portion 32. A stopper pin 37 as a stopper is projected from the mounting portion 36. The stopper pin 37 is a lower surface of the mounting portion 36, which is a pressing surface 31a.
It protrudes from the specified size. This protruding dimension is indicated by B in FIG.

【0033】さらに、上記ストッパピン37の下端は、
上記吸着体18に吸着保持されたTCP51のリ−ド5
1dの下端面よりも所定寸法上方に位置する長さに設定
されている。この寸法を図1にCで示し、この寸法はた
とえば0.6mm程度に設定されている。
Further, the lower end of the stopper pin 37 is
Lead 5 of TCP 51 adsorbed and held on the adsorbent 18
The length is set to be above the lower end surface of 1d by a predetermined dimension. This dimension is indicated by C in FIG. 1, and this dimension is set to, for example, about 0.6 mm.

【0034】したがって、吸着体18に吸着保持された
TCP51をプリント基板61に装着する際、上記TC
P51はそのリ−ド51dがプリント基板61のパッド
61aに接触してから上記ストッパピン37の下端がプ
リント基板61に当接するまで、この実施形態では約
0.6mm下方へ変位させることができるようになってい
る。したがって、ストッパピン37は上記リ−ド51d
が上記パッド61aに所定以上の力で押圧されてその折
曲形状が潰されるのが防止されるようになっている。な
お、プリント基板61に設けられたパッド61aの厚さ
は約30μmである。
Therefore, when the TCP 51 adsorbed and held by the adsorbent 18 is mounted on the printed circuit board 61, the TC
In this embodiment, P51 can be displaced downward by about 0.6 mm from the contact of the lead 51d with the pad 61a of the printed circuit board 61 to the contact of the lower end of the stopper pin 37 with the printed circuit board 61. It has become. Therefore, the stopper pin 37 is connected to the lead 51d.
The pad 61a is prevented from being pressed by a force greater than a predetermined value to collapse the bent shape. The thickness of the pad 61a provided on the printed board 61 is about 30 μm.

【0035】上記加圧体31の枠部32の各側辺には矯
正部材としてのワイヤ38がそれぞれ張設されている。
この実施例では上記ワイヤ38は両端を上記枠部32の
角部に設けられたストッパピン37に溶着して張設され
ている。上記ワイヤ38は図5に示すように、TCP5
1をプリント基板61に装着する際、所定形状に成形さ
れたリ−ド51dの先端部に接触する高さに設けられて
いる。
A wire 38 as a correction member is stretched on each side of the frame 32 of the pressing body 31.
In this embodiment, the wire 38 is stretched by welding both ends to the stopper pins 37 provided at the corners of the frame 32. The wire 38 is TCP5 as shown in FIG.
When mounting 1 on the printed circuit board 61, it is provided at such a height that it comes into contact with the tip portion of the lead 51d molded into a predetermined shape.

【0036】それによって、上記ワイヤ38は、成形時
に図5に鎖線で示すように跳ね上がったリ−ド51dが
あっても、そのリ−ド51dを同図に実線で示すように
押し下げてプリント基板61のパッド61aに接触させ
ることになる。つまり、ワイヤ38はリ−ド51dの変
形を矯正することができるようになっている。
As a result, even if the wire 38 has a lead 51d that jumps up as shown by a chain line in FIG. 5 at the time of molding, the lead 51d is pushed down as shown by a solid line in FIG. The pad 61a of 61 is brought into contact with the pad. That is, the wire 38 can correct the deformation of the lead 51d.

【0037】上記パッド61aには予めはんだがメッキ
されている。したがって、上記パッド61aにTCP5
1のリ−ド51dを接触させたのち、その部分を図5に
示すようにレ−ザ光Lで照射すれば、はんだが溶融され
て上記リ−ド51dが上記パッド61aにはんだ付けさ
れる。上記ワイヤ38はレ−ザ光Lの熱によって溶融す
ることがないよう、たとえばタングステンなどの耐熱性
の材料が用いられている。
The pad 61a is pre-plated with solder. Therefore, TCP5 is added to the pad 61a.
After contacting the lead 51d of No. 1 and irradiating the portion with laser light L as shown in FIG. 5, the solder is melted and the lead 51d is soldered to the pad 61a. . The wire 38 is made of a heat-resistant material such as tungsten so as not to be melted by the heat of the laser light L.

【0038】ワイヤ38によってリ−ド51dの先端部
が覆われ、その部分全体にレ−ザ光Lを直接照射できな
いが、ワイヤ38からの熱伝導によってはんだを溶融す
ることができる。
Although the tip of the lead 51d is covered with the wire 38 and the laser light L cannot be directly applied to the entire portion, the solder can be melted by heat conduction from the wire 38.

【0039】上記構成の吸着ノズル1を用いてTCP5
1をプリント基板61に装着する際、まず、吸着体18
によってTCP51を吸着保持する。吸着体18に吸着
保持されたTCP51は、その半導体チップ51cが軸
部19に設けられたOリング26に接触することで、図
4に示すように寸法Aで示すように上記軸部19の先端
面とは所定の間隙を有するから、このOリング26によ
って弾性的に保持されることになる。
Using the suction nozzle 1 having the above structure, TCP 5
When mounting 1 on the printed circuit board 61, first, the adsorbent 18
The TCP 51 is adsorbed and held by. The semiconductor chip 51c of the TCP 51 adsorbed and held by the adsorbent 18 comes into contact with the O-ring 26 provided on the shaft portion 19, so that the tip end of the shaft portion 19 is indicated by the dimension A as shown in FIG. Since the surface has a predetermined gap, the O-ring 26 elastically holds the surface.

【0040】吸着体18にTCP51を保持したなら
ば、吸着ノズル1をプリント基板61の所定の位置の上
方に位置決めし、ついで下降させる。それによって、ま
ずTCP51のリ−ド51dの先端部がプリント基板6
1のパッド61aに接触し、さらに下降させることで上
記リ−ド51dはテ−プ51aを介して加圧体31の加
圧面31aによって上記パッド61aに押圧される。ま
た、半導体チップ51cは上記Oリング26によって押
圧される。
After the TCP 51 is held on the suction body 18, the suction nozzle 1 is positioned above a predetermined position on the printed circuit board 61 and then lowered. As a result, first, the leading end of the lead 51d of the TCP 51 is attached to the printed circuit board 6.
By contacting the first pad 61a and further lowering it, the lead 51d is pressed against the pad 61a by the pressing surface 31a of the pressing body 31 via the tape 51a. The semiconductor chip 51c is pressed by the O-ring 26.

【0041】上記リ−ド51dが上記パッド61aに接
触してから所定寸法下降すると、加圧体31に設けられ
たストッパピン37の下端がプリント基板61に当接す
る。その際、図6(a)に示すように上記プリント基板
61とTCP51とが平行でないと、4本のストッパピ
ン37がすべてプリント基板61に当接しないことにな
る。
When the lead 51d comes in contact with the pad 61a and then descends by a predetermined distance, the lower end of the stopper pin 37 provided on the pressurizing member 31 comes into contact with the printed circuit board 61. At this time, if the printed circuit board 61 and the TCP 51 are not parallel to each other as shown in FIG. 6A, all the four stopper pins 37 will not come into contact with the printed circuit board 61.

【0042】その場合、当接したストッパピン37から
加圧体31に反力が加わり、その反力によって加圧体3
1のばね部34が弾性変形させられることで、図6
(b)に示すように枠部32が揺動するから、この枠部
32の揺動にTCP51も連動する。したがって、プリ
ント基板61が変形していても、TCP51の各辺のリ
−ド51dをパッド61aに確実に接触させることがで
きる。
In this case, a reaction force is applied to the pressurizing body 31 from the stopper pin 37 in contact with the pressurizing body 3 by the reaction force.
By elastically deforming the spring part 34 of FIG.
Since the frame portion 32 swings as shown in (b), the TCP 51 also interlocks with the swing of the frame portion 32. Therefore, even if the printed circuit board 61 is deformed, the leads 51d on each side of the TCP 51 can be surely brought into contact with the pad 61a.

【0043】さらに、そのとき、各リ−ド51dの先端
部上面には枠部32の周辺部に設けられたワイヤ38が
当接する。したがって、たくさんのリ−ド51dのう
ち、図5に鎖線で示すように上方に跳ね上がったリ−ド
51dがあっても、そのリ−ド51dはワイヤ38によ
って変形が矯正されてパッド61aに接触する。したが
って、TCP51の各リ−ド51dをそれぞれ確実にパ
ッド61aに接触させることができる。
Further, at that time, the wires 38 provided in the peripheral portion of the frame portion 32 come into contact with the upper surface of the tip portion of each lead 51d. Therefore, of the many leads 51d, even if there is a lead 51d that has jumped upward as shown by the chain line in FIG. 5, the deformation of the lead 51d is corrected by the wire 38 and contacts the pad 61a. To do. Therefore, each lead 51d of the TCP 51 can be surely brought into contact with the pad 61a.

【0044】このように、吸着ノズル1を所定位置まで
下降させてTCP51の各リ−ド51dをパッド61a
に接触させたならば、その状態で上記リ−ド51d(ワ
イヤ38の部分)にレ−ザ光Lを照射することで、上記
リ−ド51dが上記パッド61aにはんだ付けされる。
In this way, the suction nozzle 1 is lowered to a predetermined position and each lead 51d of the TCP 51 is moved to the pad 61a.
When the lead 51d is brought into contact with the pad 51a, the lead 51d (the portion of the wire 38) is irradiated with the laser light L in this state, so that the lead 51d is soldered to the pad 61a.

【0045】上記TCP51の半導体チップ51cと上
記プリント基板61との間には、上記半導体チップ51
cの放熱性を向上させるために図4に示すように銀ペ−
スト71を介在させる場合がある。その場合、上記半導
体チップ51cは吸着体18の軸部19に取着されたO
リング26によって押圧され、上記銀ペ−スト71との
密着性が高められる。
The semiconductor chip 51 is provided between the semiconductor chip 51c of the TCP 51 and the printed circuit board 61.
In order to improve the heat dissipation of c, as shown in FIG.
The strike 71 may be interposed. In that case, the semiconductor chip 51c is attached to the shaft portion 19 of the adsorbent 18 by the O
It is pressed by the ring 26, and the adhesion with the silver paste 71 is enhanced.

【0046】Oリング26が設けられた吸着体18は、
ノズル本体11の収納部17にスライド自在に設けら
れ、ばね23によって弾性的に保持されている。そのた
め、上記吸着体18は、吸着ノズル1の下降にともない
半導体チップ51cを押圧するものの、その押圧力が一
定以上になると、吸着ノズル1の下降にかかわらず、ば
ね23を弾性変形させて上方へ変位するから、上記半導
体チップ51cを押圧し過ぎて破損させるようなことが
ない。
The adsorbent 18 provided with the O-ring 26 is
It is slidably provided in the housing portion 17 of the nozzle body 11, and is elastically held by the spring 23. Therefore, although the suction body 18 presses the semiconductor chip 51c as the suction nozzle 1 descends, when the pressing force exceeds a certain level, the spring 23 elastically deforms upwards regardless of the suction nozzle 1 descending. Since the semiconductor chip 51c is displaced, the semiconductor chip 51c will not be excessively pressed and damaged.

【0047】つまり、TCP51は、その中央部分に設
けられた半導体チップ51cと、周辺部分に設けられた
リ−ド51dとが吸着体18と加圧体31とによってそ
れぞれ適した力で押圧されることになる。
That is, in the TCP 51, the semiconductor chip 51c provided in the central portion and the lead 51d provided in the peripheral portion are pressed by the adsorbing member 18 and the pressing member 31 with appropriate forces. It will be.

【0048】なお、電子部品がTCP51の場合、テ−
プ51aが可撓性を有する。そのため、吸着体18にO
リング26を設け、この吸着体18に半導体チップ51
cを揺動できるように支持しなくとも、加圧体31の揺
動によって、上記テ−プ51aだけを弾性的に屈曲さ
せ、その周辺部に設けられたリ−ド51dを揺動させる
ことができる。
If the electronic component is TCP 51, the
The cap 51a has flexibility. Therefore, the O
A ring 26 is provided, and the semiconductor chip 51 is attached to the adsorbent 18.
Even if c is not supported so that it can be swung, only the tape 51a is elastically bent by the swing of the pressurizing body 31, and the lead 51d provided around the tape 51a is swung. You can

【0049】図7は第1の実施形態の変形例を示す第2
の実施形態で、この実施形態はノズル本体11の下部材
12の収納部17に設けられる吸着体の変形例を示す。
この実施形態の吸着体18Aは、ポロン(商品名)など
の弾性材料を独立発泡成形して形成されていて、上記収
納部17にスライド不能、かつ下端部を下部材12の下
面から所定寸法突出させて抜出することがないよう収納
保持されている。
FIG. 7 shows a second modification of the first embodiment.
In this embodiment, this embodiment shows a modified example of the suction member provided in the housing portion 17 of the lower member 12 of the nozzle body 11.
The adsorbent 18A of this embodiment is formed by independently foaming an elastic material such as PORON (trade name), is not slidable in the accommodating portion 17, and has a lower end protruding from the lower surface of the lower member 12 by a predetermined dimension. It is stored and held so that it cannot be pulled out.

【0050】上記吸着体18Aにはマウントヘッドの軸
部2の吸引路2aに連通する吸着孔21Aが穿設されて
いて、この吸着孔21Aに発生する吸引力によってTC
P51を吸着保持するようになっている。
A suction hole 21A communicating with the suction passage 2a of the shaft portion 2 of the mount head is formed in the suction member 18A, and TC is generated by the suction force generated in the suction hole 21A.
P51 is adsorbed and held.

【0051】このように、上記吸着体18Aを弾性材料
で形成したことで、TCP51をプリント基板61に装
着する際、TCP51をプリント基板61に押圧する
と、その反力で上記吸着体18Aが弾性変形し、これに
吸着保持されたTCP51を揺動させたり、半導体チッ
プ51cに加わる反力を低減することができる。
Since the adsorbent 18A is formed of an elastic material as described above, when the TCP 51 is pressed against the printed board 61 when the TCP 51 is mounted on the printed board 61, the adsorbent 18A is elastically deformed by its reaction force. However, the TCP 51 adsorbed and held by the TCP 51 can be swung, and the reaction force applied to the semiconductor chip 51c can be reduced.

【0052】したがって、上記TCP51を確実に実装
するために、吸着体18Aを吸着孔21Aにスライド自
在に設けたり、ばね23によって弾性的に保持せずにす
むから、構成を簡略化することができる。
Therefore, in order to securely mount the TCP 51, the adsorbent 18A does not need to be slidably provided in the adsorbing hole 21A or elastically held by the spring 23, so that the structure can be simplified. .

【0053】図8乃至図10はこの発明の第3の実施形
態を示す。なお、この実施形態において、上記第1の実
施形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略す
る。すなわち、この実施形態はノズル体の変形例で、こ
の実施形態のノズル体11Aは下部材81と上部材82
とを有する。上部材82にはチャック機構3に弾性的に
保持される中空軸部14Aが設けられているとともに、
マウントヘッドの軸部2の吸引路2aに連通する連通路
83が形成されている。この連通路83は上部材81の
下面四隅部に開口している。
8 to 10 show a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the same parts as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. That is, this embodiment is a modification of the nozzle body, and the nozzle body 11A of this embodiment has a lower member 81 and an upper member 82.
And The upper member 82 is provided with a hollow shaft portion 14A elastically held by the chuck mechanism 3, and
A communication passage 83 communicating with the suction passage 2a of the shaft portion 2 of the mount head is formed. The communication passages 83 open at the four corners of the lower surface of the upper member 81.

【0054】上記下部材81は矩形状の取付板84と、
この取付板84の下面にポロン(商品名)などの弾性材
料を独立発泡成形して中空状に形成された吸着体18B
とからなり、上記取付板83が上記上部材82にねじ8
5によって固定されている。
The lower member 81 has a rectangular mounting plate 84,
An adsorbent 18B, which is formed into a hollow shape by independently foaming an elastic material such as PORON (trade name) on the lower surface of the mounting plate 84
And the mounting plate 83 is screwed onto the upper member 82.
5 fixed.

【0055】上記下部材81の四隅部には、それぞれ一
端を上記連通路83に連通させ、他端を上記吸着体18
Bの下面に開口させた吸引孔86が形成されていて、こ
の吸引孔86に発生する吸引力で吸着体18Bの下面に
TCP51が吸着保持される。つまり、TCP51はそ
の半導体チップ51cが吸着体18Bの中空部内に位置
し、テ−プ51aの部分が吸着体18Bの下面に接合し
て吸着保持される。したがって、吸着体18Bの下面
は、TCP51をプリント基板61に装着する際にこの
TCP51を押圧する押圧面87となっている。
One end of each of the four corners of the lower member 81 communicates with the communication passage 83, and the other end of the lower member 81 has the other end.
The suction hole 86 opened on the lower surface of B is formed, and the TCP 51 is suction-held on the lower surface of the adsorbent 18B by the suction force generated in the suction hole 86. That is, in the TCP 51, the semiconductor chip 51c is located inside the hollow portion of the adsorbent 18B, and the tape 51a portion is joined to the lower surface of the adsorbent 18B to be adsorbed and held. Therefore, the lower surface of the adsorbent 18B serves as a pressing surface 87 that presses the TCP 51 when the TCP 51 is mounted on the printed circuit board 61.

【0056】このような構成の吸着ノズル1によれば、
TCP51をプリント基板61に装着する際、図10
(a)に示すようにTCP51とプリント基板61とが
平行でない場合がある。そのような場合、吸着ノズル1
が下降すると、TCP51の周辺部のリ−ド51dがプ
リント基板61に均等に当接しないことになるが、図1
0(b)に示すように上記リ−ド51dを介して吸着体
18Bに加わる力に応じてこの吸着体18Bが圧縮変形
する。
According to the suction nozzle 1 having such a structure,
When mounting the TCP 51 on the printed circuit board 61, as shown in FIG.
As shown in (a), the TCP 51 and the printed circuit board 61 may not be parallel to each other. In such a case, the suction nozzle 1
As the lead 51d in the peripheral portion of the TCP 51 does not evenly contact the printed circuit board 61 when is lowered, as shown in FIG.
As shown in 0 (b), the adsorbent 18B is compressed and deformed according to the force applied to the adsorbent 18B via the lead 51d.

【0057】つまり、吸着体18BはTCP51の周辺
部に設けられたリ−ド51dがほぼ均等にプリント基板
61に当接するよう変形する。したがって、TCP51
とプリント基板61との平行度が精密に設定されていな
くとも、その平行度の誤差に応じて吸着体18Bが圧縮
変形することでTCP51が揺動し、各リ−ド51dを
プリント基板61に確実に接触させることができるか
ら、その状態でレ−ザ光Lを照射すれば、上記リ−ド5
1dを確実にはんだ付けできる。
That is, the adsorbent 18B is deformed so that the leads 51d provided in the peripheral portion of the TCP 51 abut the printed circuit board 61 substantially uniformly. Therefore, TCP51
Even if the parallelism between the printed circuit board 61 and the printed circuit board 61 is not precisely set, the adsorbent 18B is compressed and deformed in accordance with the error in the parallelism so that the TCP 51 swings and each lead 51d is placed on the printed circuit board 61. Since it is possible to make sure contact, if the laser light L is applied in that state, the lead 5
1d can be reliably soldered.

【0058】なお、この第3の実施形態において、図示
しないが取付板84の四隅部に取付部を設け、ここに第
1の実施形態に示したストッパピン37を設けたり、リ
−ド51dの変形を矯正するワイヤ38を設けるように
してもよい。
In the third embodiment, although not shown, mounting portions are provided at four corners of the mounting plate 84, the stopper pins 37 shown in the first embodiment are provided therein, and the lead 51d is provided. A wire 38 that corrects the deformation may be provided.

【0059】また、リ−ド51dをプリント基板61の
パッド61aに溶接する熱源としてレ−ザ光を挙げた
が、それに代わり電子ビ−ムやはんだを溶融する温度に
加熱された熱風などであってもよい。
Laser light was used as a heat source for welding the lead 51d to the pad 61a of the printed circuit board 61, but instead of this, an electron beam or hot air heated to a temperature for melting the solder may be used. May be.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明は、電
子部品を吸着保持する吸着部を有するノズル本体に、上
記電子部品を加圧する加圧面を有する加圧体を揺動自在
に設けるようにした。
As described above, according to the first aspect of the invention, the nozzle body having the suction portion for sucking and holding the electronic component is provided with the pressure member having the pressure surface for pressing the electronic component in a swingable manner. I did it.

【0061】そのため、プリント基板に対して電子部品
が平行でない場合には、電子部品がプリント基板に押圧
されることで、上記加圧体とともに揺動するから、電子
部品のリ−ドをプリント基板のパッドに確実に接触させ
ることができ、それによってそのはんだ付けも確実に行
える。
Therefore, when the electronic component is not parallel to the printed circuit board, the electronic component is pressed against the printed circuit board and swings together with the pressing body. The pads can be reliably contacted, and thus the soldering can be reliably performed.

【0062】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、上記吸着部を電子部品が揺動自在に吸着保持できる
構成にした。そのため、その電子部品がプリント基板に
押圧されたときに揺動し易いから、電子部品のリ−ドを
プリント基板のパッドにより一層、確実に接触させるこ
とができる。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the suction portion is structured such that an electronic component can be swingably sucked and held. Therefore, when the electronic component is pressed against the printed circuit board, the electronic component is likely to swing, so that the lead of the electronic component can be more surely brought into contact with the pad of the printed circuit board.

【0063】請求項3の発明は、請求項1の発明におい
て、電子部品をプリント基板に加圧したときに、吸着部
が弾性的に変位できるようにした。そのため、電子部品
は上記吸着部と対応する部分を上記加圧体の加圧面とは
異なる力で押圧することができるから、たとえば電子部
品に設けられた半導体チッップを損傷させることなくプ
リント基板に適度な加圧力で押圧することが可能とな
る。
According to a third aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the suction portion can be elastically displaced when the electronic component is pressed against the printed circuit board. Therefore, since the electronic component can press the portion corresponding to the suction portion with a force different from the pressure surface of the pressure body, for example, it is suitable for a printed circuit board without damaging the semiconductor chip provided in the electronic component. It is possible to press with a sufficient pressing force.

【0064】請求項4の発明は、請求項1の発明におい
て、加圧体にストッパを設け、この加圧体によって電子
部品に加える加圧力を制限できるようにした。そのた
め、電子部品をプリント基板に加圧し過ぎてそのリ−ド
を潰すのを防止できる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, a stopper is provided on the pressing body, and the pressing force applied to the electronic component can be limited by the pressing body. Therefore, it is possible to prevent the electronic component from being over-pressurized on the printed circuit board and crushing the lead.

【0065】請求項5の発明は、請求項1の発明におい
て、加圧体に矯正部材を設け、リ−ドの形状にばらつき
があっても、電子部品をプリント基板に装着するとき
に、その形状をほぼ一定に矯正できるようにした。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the pressing member is provided with a correction member, and even if the lead shape varies, when the electronic component is mounted on the printed circuit board, The shape can be corrected almost uniformly.

【0066】そのため、所定の形状に成形されないリ−
ドがあっても、そのリ−ドをプリント基板のパッドに確
実に接触させることができる。請求項6の発明によれ
ば、電子部品を吸着保持する吸着体を弾性的に変形可能
な材料によって形成した。
Therefore, a lead that is not molded into a predetermined shape
Even if there is a lead, the lead can be surely brought into contact with the pad of the printed board. According to the invention of claim 6, the adsorbent for adsorbing and holding the electronic component is made of an elastically deformable material.

【0067】そのため、電子部品をプリント基板に装着
する際、電子部品に加わる力に応じて吸着体が変形して
電子部品を揺動させることができるから、電子部品がプ
リント基板に対して平行でなくとも、そのリ−ドをプリ
ント基板に確実に接触させることができる。
Therefore, when the electronic component is mounted on the printed circuit board, the suction member can be deformed to swing the electronic component according to the force applied to the electronic component, so that the electronic component is parallel to the printed circuit board. Even without it, the lead can be surely brought into contact with the printed circuit board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の第1の実施形態を示す吸着ノズルの
縦断面図。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a suction nozzle showing a first embodiment of the present invention.

【図2】同じく吸着ノズルを下面側から見た平面図。FIG. 2 is a plan view of the suction nozzle as seen from the lower surface side.

【図3】同じく吸着ノズルの斜視図。FIG. 3 is a perspective view of the suction nozzle.

【図4】同じくTCPがプリント基板に加圧される状態
の拡大断面図。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a state where TCP is pressed against a printed circuit board.

【図5】同じくリ−ドの先端部がワイヤによって矯正さ
れる状態の説明図。
FIG. 5 is an explanatory view of a state where the tip of the lead is also straightened by a wire.

【図6】(a)、(b)は同じくTCPをプリント基板
に実装するときの説明図。
6 (a) and 6 (b) are explanatory views when mounting a TCP on a printed circuit board.

【図7】この発明の第2の実施形態の吸着ノズルを示す
縦断面図。
FIG. 7 is a vertical sectional view showing a suction nozzle according to a second embodiment of the present invention.

【図8】この発明の第3の実施形態を示す吸着ノズルの
縦断面図。
FIG. 8 is a vertical cross-sectional view of a suction nozzle showing a third embodiment of the present invention.

【図9】同じく下面側から見た平面図。FIG. 9 is a plan view of the same seen from the lower surface side.

【図10】(a)、(b)は同じくTCPをプリント基
板に実装するときの説明図。
FIG. 10A and FIG. 10B are explanatory views similarly when mounting the TCP on the printed circuit board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11、11A…ノズル本体、18、18A……吸着体
(吸着部)、23…ばね、26…Oリング、31…加圧
体、31a…加圧面、34…ばね部(弾性部材)、37
…ストッパピン(ストッパ)、38…ワイヤ(矯正部
材)、51…TCP(電子部品)、61…プリント基
板。
11, 11A ... Nozzle body, 18, 18A ... Adsorption body (adsorption part), 23 ... Spring, 26 ... O ring, 31 ... Pressurization body, 31a ... Pressurization surface, 34 ... Spring part (elastic member), 37
... stopper pin (stopper), 38 ... wire (correction member), 51 ... TCP (electronic component), 61 ... printed circuit board.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント基板に装着する電子部品を吸着
保持するための電子部品吸着ノズルにおいて、 ノズル本体と、 このノズル本体に設けられ上記電子部品を吸着保持する
吸着部と、 上記ノズル本体に弾性部材によって揺動自在に設けられ
ているとともに上記吸着部に吸着保持された電子部品を
上記プリント基板に装着するときに上記電子部品を加圧
する加圧面を有する加圧体とを具備したことを特徴とす
る電子部品吸着ノズル。
1. An electronic component suction nozzle for sucking and holding an electronic component mounted on a printed circuit board, comprising: a nozzle body, a suction portion provided on the nozzle body for sucking and holding the electronic component, and elastic to the nozzle body. A pressure member having a pressure surface that is swingably provided by a member and that presses the electronic component when the electronic component sucked and held by the suction unit is mounted on the printed circuit board. An electronic component suction nozzle.
【請求項2】 上記吸着部は、上記電子部品を揺動可能
に吸着保持する構成であることを特徴とする請求項1記
載の電子部品吸着ノズル。
2. The electronic component suction nozzle according to claim 1, wherein the suction portion is configured to swingably suck and hold the electronic component.
【請求項3】 上記吸着部は、上記ノズル本体に弾性的
に変位自在に設けられていることを特徴とする請求項1
記載の電子部品吸着ノズル。
3. The suction unit is elastically displaceably provided on the nozzle body.
The electronic component suction nozzle described.
【請求項4】 上記加圧体には、上記電子部品を上記プ
リント基板に装着するときに、この電子部品を上記プリ
ント基板に所定以上の力で押圧するのを阻止するストッ
パが設けられていることを特徴とする請求項1記載の電
子部品吸着ノズル。
4. The pressing body is provided with a stopper that prevents the electronic component from being pressed against the printed circuit board with a force greater than a predetermined value when the electronic component is mounted on the printed circuit board. The electronic component suction nozzle according to claim 1, wherein:
【請求項5】 上記加圧体には、上記電子部品を上記プ
リント基板に装着するときに、この電子部品に設けられ
たリ−ドの変形を矯正する矯正部材が設けられているこ
とを特徴とする請求項1記載の電子部品吸着ノズル。
5. The pressing member is provided with a correction member for correcting deformation of a lead provided on the electronic component when the electronic component is mounted on the printed circuit board. The electronic component suction nozzle according to claim 1.
【請求項6】 プリント基板に装着する電子部品を吸着
保持するための電子部品吸着ノズルにおいて、 ノズル本体と、 このノズル本体に設けられ上記電子部品を吸着保持する
とともにその電子部品を上記プリント基板に装着すると
きに加わる力によって変形可能な弾性材料で作られた吸
着体とを具備したことを特徴とする電子部品吸着ノズ
ル。
6. An electronic component suction nozzle for sucking and holding an electronic component to be mounted on a printed circuit board, comprising: a nozzle body; and the electronic component provided on the nozzle body for sucking and holding the electronic component and the electronic component on the printed circuit board. An electronic component adsorption nozzle, comprising: an adsorption body made of an elastic material that can be deformed by a force applied when it is mounted.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100479910B1 (en) * 1997-08-04 2005-05-16 삼성테크윈 주식회사 Suction nozzle apparatus for mounting semiconductor pack age
JP4698674B2 (en) * 2005-08-05 2011-06-08 平田機工株式会社 Work suction head

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100479910B1 (en) * 1997-08-04 2005-05-16 삼성테크윈 주식회사 Suction nozzle apparatus for mounting semiconductor pack age
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