JPH0843487A - Conveyance apparatus - Google Patents

Conveyance apparatus

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JPH0843487A
JPH0843487A JP20013894A JP20013894A JPH0843487A JP H0843487 A JPH0843487 A JP H0843487A JP 20013894 A JP20013894 A JP 20013894A JP 20013894 A JP20013894 A JP 20013894A JP H0843487 A JPH0843487 A JP H0843487A
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JP
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device
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suction
pad
body
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Application number
JP20013894A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Ariga
Kunihiro Furuya
邦浩 古屋
剛 有賀
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Tokyo Electron Yamanashi Kk
東京エレクトロン山梨株式会社
東京エレクトロン株式会社
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Abstract

PURPOSE:To obtain a conveyance apparatus by which an object to be conveyed is sucked and released stably without being affected by its attitude by installing a suction part which is fitted into a suction-and-holding-part body so as to be tiltable with reference to its axial center. CONSTITUTION:A suction-and-holding-part body 40 is lowered, a suction pad 8 is brought into close contact with the surface of a device (an object to be conveyed) 10, and the surface of the device 10 is vacuum-sucked to the pad 8 by a vacuum-suction operation through a suction hole 83. At this time, also the pad 8 is sucked against the elastic force of a compression spring 82, and it is fitted so as to be tiltable with reference to the axial center of the body 40. When the device 10 is tilted, the pad 8 is tilted along the surface of the device 10. Then, the device 10 is pressed to a socket part 2 by a piston part 30. As a result, a lead terminal R is pressed to an electrode 21 for the socket part 2 so as to be brought into electric contact. In this state, the device 10 is mounted on the socket part 2, its electric measurement is performed, and the quality of the device 10 is inspected.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばパッケージングされたデバイスを検査などのために搬送する搬送装置に関する。 The present invention relates to relates to, for example, transfer device for transferring, such as for testing the packaged device.

【0002】 [0002]

【従来の技術】パッケージングされたデバイスは、電気的特性について試験されるが、この種の検査装置としては、デバイスの電気的特性を試験するテスタとデバイスをハンドリングする装置とを組み合わせたシステムが用いられている。 BACKGROUND ART packaged devices are tested for electrical properties, as this type of inspection system, a system that combines a device for handling a tester and a device for testing the electrical characteristics of the device It has been used. そしてデバイスを検査する方式としては、ソケット部にデバイスのリード端子(ピン)を装着し、ソケット部側の電極を介してソケット部の下方のテストヘッドとデバイスとを電気的に接続する方式が知られている。 And as a method of inspecting a device, method wearing the device lead terminals (pins) to the socket portion, for electrically connecting the device and the test head of the lower socket portion via the electrode of the socket portion is known It is. ソケット方式の検査装置では、デバイスを搬入側トレーから予備加熱部へ搬送して予備加熱し、次いで供給用整列部へ一旦移載した後ソケット部へ搬送し、 In the inspection apparatus of a socket type is to carry the device from the carry-in side tray preheated is transported to the preheating unit, and then to the socket portion after once transferred to the feed aligned portion,
ここで所定の電気的特性を試験した後収納用整列部へ一旦移載し、その後検査結果に応じて搬出用トレーに分類搬送するようにしている。 Here once transferred to the housing for aligning portion after testing predetermined electrical characteristics, and so as to classify transported to the carry-out tray in accordance with the subsequent test results.

【0003】ここで供給用整列部からソケット部へデバイスを吸着して搬送する搬送装置は、X、Y、Z方向に移動自在な移動機構を検査装置の上部に設け、この移動機構の下方側に吸着保持部を取り付けて構成されている。 [0003] Here, transfer device for transferring by adsorbing device from supplying the alignment portion to the socket section is provided with X, Y, the upper portion of the inspection device movable moving mechanism in the Z direction, the lower side of the moving mechanism It is constructed by attaching the suction holding portion. 吸着保持部は、吸引孔が形成されたゴム製の吸着パッドや金属ベローズなどを下面に備え、デバイスの上面に密着して前記吸引孔による吸引によりデバイスを吸着保持するように構成されており、デバイスを吸着保持したままソケット部に装着し試験が行われる。 Suction holding portion, and the like on the lower surface suction pad or metal bellows made of rubber suction holes are formed, it is configured to suck and hold the device by suction by the suction holes in close contact with the top surface of the device, wearing the device remains socket and held adsorption test is performed.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の搬送装置において、ゴム製の吸着パッドを吸着保持部として用いる場合にはデバイスのパッケージが樹脂のモールド体であるため、吸着パッドとパッケージとの接触により静電気が発生し、デバイスが静電破壊することがあったし、また吸着パッドが柔らかいため収納用整列部にてデバイスが着地したときにデバイスの姿勢が大きく崩れその状態で解放されるため、デバイスの姿勢が、整列することのできる許容範囲を越えてしまいその後の搬送に支障をきたすという問題があった。 In However conventional conveying apparatus A be Solved by the Invention] Since in the case of using the suction pad made of rubber as a suction holding part is a molded part of the device package resin, by contact with the suction pads and the package since static electricity is generated, the device to there be damaged by static also to be released in this state the attitude of the device is broken greatly when the landing device at the suction pads is soft for accommodating the alignment unit, the device attitude of, there is a problem that hindered cause subsequent transporting exceeds the allowable range that can be aligned.

【0005】一方金属ベローズを用いた場合には、吸着面に柔軟性がないためデバイスが傾いていると吸着できずに取りそこなうことがあったし、また繰り返し使用すると復元力が低下し、デバイスがわずかに傾いていても吸着面がデバイスの上面に密着しなくなるのでデバイスの吸着失敗のおそれが大きかった。 [0005] If on the other hand using metal bellows, to was sometimes impair taken unable suction that the device tilted because there is no flexibility in the suction surface, also reduces the restoring force and repeated use, the device since the suction surface be inclined slightly are not in close contact with the top surface of the device the risk of the device adsorption failure was large. 更にはデバイスを加熱するにあたって、金属ベローズに加熱部を設け、金属ベローズを通じてデバイスを加熱するようにしているため、デバイスの外形が大きくなると金属ベローズの外径も大きくする必要があった。 Further order to heat the device, the heating portion in a metal bellows provided, because you have to heat the device through the metal bellows, it is necessary to outline the device also increases the outer diameter of the larger the metal bellows.

【0006】本発明は、このような事情のもとになされたものであり、その目的は静電気による被搬送物または被検査物の破壊のおそれがなくて、耐久性が大きくしかも被搬送物または被検査物の姿勢に影響されずに安定して吸着、解放動作を行うことができる搬送装置を提供することにある。 [0006] The present invention has been made based on such circumstances, and its object is no risk of destruction of the object to be conveyed or the object to be inspected due to the static electricity, a large durability yet transferred object or stabilized without being affected by the posture of the object to be inspected to adsorb, it is to provide a conveying apparatus capable of performing a release operation.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、被搬送物を吸着保持して搬送する搬送装置において、下面が被搬送物の上面をガイドするガイド面をなす吸着保持部本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備えたことを特徴とする。 The invention of claim 1 [Summary of], in conveying apparatus for conveying by suction holding the carried object, and a suction holding portion main body which forms the guide surface lower surface for guiding the top surface of the object to be conveyed, this suction holder body, the lower limit position is restricted, slightly convex, is tiltably fitted against vertically movable and the axis of the suction holder main body downward from the guide surface when in a lower position Rutotomoni, characterized by comprising a suction pads made of metal having an adsorption function, and a conductive elastic body provided in the gap between the suction holder body and the suction pad.

【0008】請求項2の発明は、端子部を備えた被検査物を吸着保持して、前記端子部が検査位置の電極に接触する位置まで搬送し、被検査物を検査位置にて吸着保持したまま被検査物の検査が行われる搬送装置において、 [0008] According to a second aspect of the invention, the object to be inspected having a terminal portion and held by suction, the terminal portion is conveyed to a position in contact with the electrodes of the testing position, the suction holding at the test position the object to be inspected in tests conveying device takes place of the object to be inspected while,
下面が被検査物の上面をガイドするガイド面をなす吸着保持部本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備え、前記吸着パッドが被検査物を吸着したときに、ガイド面が被検査物の上面に接触する位置まで吸着パッドが後退することを特徴とする。 A suction holder body lower surface forms a guide surface for guiding the top surface of the object, in this suction holder body, the lower limit position is restricted, slightly protrude downward from the guide surface when in the lower position, vertically movably and while being tiltably fitted with the axis of the suction holder body, and a metal suction pad having a suction function, the provided clearance between the suction holder body and the suction pad comprising electrically and conductive elastic body, wherein the suction pad when adsorbing the object to be inspected, the suction pad to a position where the guide surface contacts the upper surface of the object to be inspected, characterized in that retraction. ことを特徴とする。 It is characterized in.

【0009】請求項3の発明は、請求項2記載の発明において、被検査物の端子部はリード端子であり、吸着保持部本体は、吸着保持した被検査物のリード端子をガイドするガイド部を備えていることを特徴とする。 [0009] The invention of claim 3 is the invention of claim 2, wherein the terminal portions of the specimen are lead terminals, suction holder body, guide portion for guiding the lead terminal of the specimen were held by suction characterized in that it comprises a. 請求項4の発明は、請求項2または3記載の発明において、吸着保持部本体内に加熱部を設け、この加熱部よりの熱を前記吸着保持部本体を介して被検査物に伝熱する構造としたことを特徴とする。 The invention according to claim 4, characterized in that in the invention of claim 2 or 3, wherein the heating unit provided in the suction holding portion main body, transfer heat to the object to be inspected via the suction holder main body from the heat the heating unit characterized in that the structure.

【0010】請求項5の発明は、請求項1、2、3または4記載の発明において、吸着保持部本体は、上部側の第1部分と、この下面が被検査物の上面をガイドするガイド面をなし、前記第1部分の下部側に位置する第2部分とに分割され、前記第2部分は第1部分に対し、軸芯方向及び軸芯に直交する方向に僅かな遊びをもって嵌合された状態で連結されると共に、前記第1部分が第2部分を相対的に押圧していないときにはこれらの相対位置を所定の位置に復帰させるために第1部分及び第2部分間に弾性体を介装したことを特徴とする。 [0010] The invention of claim 5 is the invention of claim 1, 2, 3 or 4, wherein the suction holding body includes a first portion of the upper side, the lower surface to guide the upper surface of the object to be inspected Guide No surface, the is divided into a second portion located on the lower side of the first portion, the second portion to the first portion, with a slight play in a direction perpendicular to the axial direction and axial fitting together are connected while being elastic body between the first portion first portion and second portion in order to return these relative positions in position when not in relatively presses the second portion characterized in that it has been interposed.

【0011】請求項6の発明は、請求項1、2、3、4 [0011] The invention of claim 6, claim 1, 2, 3, 4
または5記載の発明において、ガイド面の周縁部には被検査物の上縁部をガイドする段部が形成されていることを特徴とする。 Or in the invention of 5, wherein the peripheral edge of the guide surface, characterized in that the step portion for guiding the upper edge of the object to be inspected is formed. 請求項7の発明は、請求項1、2、3、 Invention of claim 1, 2, 3 according to claim 7,
4、5または6記載の発明において、吸着パッドは吸着面に開口する吸引孔を備えていることを特徴とする。 In the invention of 4, 5 or 6, wherein the suction pad is characterized in that it comprises a suction hole which opens to the suction surface.

【0012】 [0012]

【作用】請求項1の発明では、吸着パッドが被搬送物の上面に接触し、このとき被搬送物が吸着パッドの吸着面に対して傾いている場合吸着パッドが弾性体の弾性力に抗して被搬送物の上面に沿って傾き、当該上面に密着する。 [Action] In the present invention of claim 1, the suction pad is in contact with the upper surface of the object to be conveyed, the anti-this time when the suction pad carried object is inclined with respect to the suction surface of the suction pad to the elastic force of the elastic body gradient along the upper surface of the conveyed object to be adhered to the upper surface. 請求項2の発明では吸着パッドが被検査物を吸着保持して検査位置例えばソケット部まで搬送し、吸着保持部本体は被検査物を検査位置に対して押圧する。 In the present invention of claim 2 is conveyed to the inspection position, for example the socket portion holds adsorb the suction pad inspection object, the suction holding body is pressed against the inspection position to be inspected. これにより被検査物の例えばリード端子が電極と確実に接触し、電気的測定が行われる。 Thus for example, the lead terminal of the object to be inspected securely contact with the electrodes, the electrical measurements are made.

【0013】このような吸着パッドを用いることにより被搬送物あるいは被検査物の姿勢にかかわらず確実に吸着することができ、静電気による破壊も起こらない。 [0013] can be adsorbed reliably regardless of the posture of the conveyed object or the object to be inspected by using such suction pad, it does not occur even destruction due to static electricity. また吸着解放時も吸着パッドが硬いため常に一定の姿勢で解放される。 Also during the adsorption release it is also released at a constant and posture harder the suction pads. そして請求項5の発明のように第1部分及び第2部分が相対的に微少量動くようにすれば移動機構の位置精度を緩和することができる。 And may first and second portions as in the invention of claim 5 is to relax the positional accuracy of the moving mechanism when to move relatively small amount. 更に被検査物の加熱を行う場合ガイド面を介して加熱することにより被検査物の外形によらず安定した加熱が行える。 Moreover perform heating a stable regardless of the external shape of the object to be inspected by heating through the case guide surface of heating of the object.

【0014】 [0014]

【実施例】以下に本発明を、半導体集積回路チップをパッケージングしてなるデバイスの検査装置に適用した一例について述べる。 The present invention EXAMPLES Hereinafter, described an example of applying the semiconductor integrated circuit chip testing device packaging and formed by the device. 図1はデバイスの検査装置の全体構成を示す図であり、本発明の実施例に係る搬送装置を説明する前に検査装置の概要について簡単に述べると、装置の正面側(図1では裏側)には4個のトレー載置部1 Figure 1 is a diagram showing the overall configuration of the inspection apparatus of the device, Briefly overview of the test device before describing the conveying device according to an embodiment of the present invention, the front side of the apparatus (in FIG. 1 back) 4 trays in the mounting portion 1
A〜1DがX方向に沿って配置されている。 A~1D are arranged along the X direction. ただし実際には各トレー載置部1A〜1Dには複数のトレーが載置されている。 However in practice a plurality of trays are placed on the respective tray mounting portion 1A to 1D.

【0015】前記トレー載置部1A、1Bの奥側にはこれらに対向して予備加熱板11が設けられ、予備加熱板11の横には、供給用整列部12及び収納用整列部13 [0015] The tray mounting portion 1A, the preheating plate 11 opposite thereto is provided on the rear side of the 1B, the side of the preheating plate 11, supply alignment unit 12 and the accommodating aligning section 13
が一体的にXレール14にガイドされつつ図示しない駆動機構に移動されるようになっている。 There is adapted to be moved to a driving mechanism (not shown) while being guided by the integrally X rail 14. なおトレーT及び予備加熱板11には夫々デバイス10を収納する凹部Ta、11aが形成されており、前記整列部12、13 Incidentally recess Ta in the tray T and the preheating plate 11 for accommodating the respective devices 10, 11a are formed, the alignment portion 12, 13
は、凹部15を備えていて、この中にデバイス10が入れられると自動的に水平姿勢で所定の向きにアライメント(位置合わせ)された状態に置かれることになる。 Is provided with a recess 15, it will be placed in a predetermined orientation in automatically horizontally when the device 10 is placed in the alignment state (aligned) ed.

【0016】トレー載置部1A上のトレーT内のデバイス10は、4個の吸着保持部16aを備えたローダ16 The loader 16 devices 10 in the tray T on the tray mounting portion 1A is provided with four suction holding portion 16a
により4個同時に予備加熱板11に移載されて予備加熱され、次いで供給整列部12に搬送される。 4 is transferred to the preheated plate 11 at the same time by pre-heated and then conveyed to the feed aligned portion 12. 前記整列部12、13の移動領域からトレー載置部1A〜1Dとは反対側のY方向に離れた検査位置には、リング状の保持体20に保持され、電極21を備えたソケット部2が設けられると共に(図1、図2参照)、デバイス10を上面から保持し、このソケット部2と整列部12、13との間で搬送する本発明の実施例である搬送装置3が設けられている。 The inspection position apart in the Y direction opposite to the tray mounting portion 1A~1D from the moving region of the alignment unit 12, 13 is held in a ring-shaped holding member 20, the socket portion 2 having the electrodes 21 together they are provided (see FIGS. 1 and 2), and hold the device 10 from above, the conveying device 3 is an embodiment of the present invention for transporting provided between the socket portion 2 and the alignment portion 12, 13 ing. 前記ソケット部2は、デバイス10のリード端子Rが接触してその下方のテストヘッド(図示せず)にリード端子Rを電気的に接続する役割を有するものである。 The socket portion 2, and has a role of electrically connecting the lead terminals R in contact lead terminals R of the device 10 is in its lower test head (not shown). 検査後のデバイス10は収納用整列部13に搬送された後、前記ローダ16と同様に4個の吸着保持部17aを備えたアンローダ17により検査結果に応じてトレー載置部1C、1D上のトレーTに分類して搬送される。 After the device 10 after the inspection is carried to the accommodating alignment unit 13, a tray mounting portion 1C based on the detection result by the unloader 17 with a similarly four suction holding portion 17a and the loader 16, on 1D It is conveyed by classifying the tray T.

【0017】次に本発明の実施例である搬送装置3について詳述すると、この搬送装置は図示しないX−Y移動機構により各々独立してX、Y方向に移動可能な搬送部3A、3Bを有し、各搬送部3A、3Bは2個同時にデバイス10を吸着保持し、かつ昇降させることができるように構成されている。 [0017] Next will be described more in detail conveying device 3 is an embodiment of the present invention, the transfer apparatus and each independently by X-Y moving mechanism (not shown) X, Y-direction movable transport unit 3A, and 3B a respective transport unit 3A, 3B is held by suction to two simultaneous device 10, and is configured to be able to raise and lower. 即ち図2は搬送部3A(3B) That 2 transport unit 3A (3B)
の概観を示す図であり、31は、図示しないX−Y移動機構に設けられたシリンダ取り付け板である。 It is a diagram showing an overview of, 31 is a cylinder mounting plate provided an X-Y moving mechanism (not shown). このシリンダ取り付け板31には、夫々ピストン部30が貫通されている2本のエアシリンダ32、32が固定され、このピストン部30の下端には、図3、図4に示すように下端部にフランジ41が形成された、吸着保持部本体4 The cylinder mounting plate 31, the air cylinder 32, 32 of two of each piston unit 30 extends through is fixed to the lower end of the piston portion 30, FIG. 3, the lower end as shown in FIG. 4 flange 41 is formed, the suction holding body 4
0の上側部分である筒状の第1部分4が設けられている。 Cylindrical first portion 4 is provided an upper portion of the 0.

【0018】シリンダ取り付け板31は、図示しないが鉛直方向に伸縮する引張りバネを介して、搬送部3A The cylinder mounting plate 31 is not shown, via a tensile spring which expands and contracts in the vertical direction, the conveyance section 3A
(3B)の一部31bに固定された固定板31aに結合されており、図示しない押圧手段によりピストン30のヘッドが押圧されたときに固定板31aに対して引張りバネに抗して押し下げられるように構成されている。 (3B) is coupled to the fixing plate 31a which is fixed to a portion 31b of the so pressed down against the tension spring with respect to the fixed plate 31a when the head of the piston 30 is pressed by a pressing means (not shown) It is configured.

【0019】この第1部分4には、軸芯方向及び軸芯に直交する方向に僅かな遊びをもって嵌合された状態で、 [0019] In this first portion 4, a state of being fitted with a slight clearance in a direction perpendicular to the axial direction and axial,
吸着保持部本体40の下側部分である第2部分5が連結されている。 The second part 5 is connected a lower portion of the suction holding body 40. 即ち第2部分5は、前記フランジ41が嵌入される凹部51が形成された受け部52と、前記凹部51の開口縁を塞いでフランジ41が抜けないようにするための蓋部53とを有している。 That second portion 5 is closed and the receiving portion 52 a recess 51 is formed to the flange 41 is fitted, and a lid portion 53 so that the flange 41 can not be pulled out block the opening edge of the recess 51 are doing.

【0020】前記凹部51の口径はフランジ41の外径よりも例えば0.15mm大きく設定され、深さはフランジ41の高さよりも例えば0.2mm大きく設定されている。 The diameter of the recess 51 is also set e.g. 0.15mm greater than an outer diameter of the flange 41, the depth is set to be for example 0.2mm larger than the height of the flange 41. また前記凹部51の側壁部には、直径方向に互いに対向する位置(2ヶ所)に図5に示すように上部がV字形の溝54が形成される一方、フランジ41の側周面には、前記溝54内に突出し、その溝幅よりも僅かに小さい直径の円柱状のピン42が設けられている。 The side wall portion of the recess 51, while upper groove 54 of V-shaped are formed as shown in FIG. 5 to the position (2 places) that diametrically opposite each other, on the side peripheral surface of the flange 41, protrudes into the groove 54, cylindrical pin 42 of slightly smaller diameter is provided than the groove width. このピン42の径は、第1部分4が第2部分5に対して例えば±1度回転できる大きさに設定されている。 The diameter of the pin 42, the first portion 4 is set to a size that can be rotated for example ± 1 ° with respect to the second part 5.

【0021】前記受け部52とフランジ41との間には、フランジ41の底面の周方向4等分の位置にて弾性体例えば圧縮バネ61が介装されており、第1部分4及び第2部分5が相対的に押圧されていないときには圧縮バネ61の復元力により図6(a)に示すようにピン4 [0021] between the receiving portion 52 and the flange 41, an elastic body for example, a compression spring 61 in the circumferential direction four equal position of the bottom surface of the flange 41 is interposed, the first portion 4 and the second pins as shown in FIG. 6 (a) by the restoring force of the compression spring 61 when the portion 5 is not relatively pressed 4
2が溝54のV字形の上部に係入して、第2部分5が第1部分4に対して規定位置に置かれる一方、両者が相対的に押圧されたときには、受け部52が浮上して既述した隙間の範囲で図6(b)に示すように第1部分4が第2部分5に対して揺動できることとなる。 2 is engageably inserted into the upper portion of the V-shaped groove 54, while the second portion 5 is placed in the specified location with respect to the first part 4, when both are relatively pressed, the receiving portion 52 floats the first portion 4 as shown in FIG. 6 (b) in the range of the gap already described Te is able to swing with respect to the second portion 5.

【0022】前記受け部52の下部側には、外周面にネジ部を有する小径部62が形成され、この小径部62の中には例えば抵抗発熱体よりなる加熱部63が設けられている。 [0022] the bottom side of the receiving portion 52, the small diameter portion 62 is formed with a threaded portion on an outer peripheral surface, the heating unit 63 is made of, for example, resistance heating element in the small-diameter portion 62 is provided. 小径部62は下端に角形の突起部64が形成されており、この突起部64には中間リング65が密に外嵌されている。 The small diameter portion 62 is formed with a projecting portion 64 of the square at the lower end, the intermediate ring 65 is tightly fitted to the protrusion 64. そして小径部62の周面には取り付けリング66が螺合しており、中間リング65の上部のフランジが取り付けリング66の下部の突縁部により小径部62に押し付けられている。 And the peripheral surface of the small diameter portion 62 is engaged with the mounting ring 66 is screwed, pressed against the small-diameter portion 62 by the projecting edge of the lower portion of the mounting top flanges of the intermediate ring 65 is a ring 66.

【0023】前記中間リング65の下部側には、中央に軸方向に貫通孔71が形成された角形のガイドブロック72が固定されており、このガイドブロック72における貫通孔71を囲む下面は、デバイス10の上面をガイドするガイド面73を形成すると共に、ガイド面73の周縁にはデバイス10の上縁部をガイドする段部74が形成されている。 [0023] lower side of the intermediate ring 65 has a central are axially into the through-hole 71 rectangular guide block 72 formed is fixed to the lower surface surrounding the through hole 71 in the guide block 72, the device to form a guide surface 73 for guiding the upper surface 10, the peripheral edge of the guide surface 73 stepped portion 74 for guiding the upper edge of the device 10 is formed. 前記貫通孔71内には、中間リング6 Wherein the through hole 71, the intermediate ring 6
5の小径部67が嵌入されると共に、小径部67の下方側には、金属製例えばステンレスよりなる円柱状の吸着パッド8が小径部67との間に例えば0.3mm程度の隙間を介して上下動自在に貫通孔71内に嵌入されている。 5 together with the small diameter portion 67 is fitted in, on the lower side of the small diameter portion 67, a cylindrical suction pad 8 made of metal for example stainless steel through the gap, for example, about 0.3mm between the small-diameter portion 67 It is fitted in the vertically movable within the through hole 71.

【0024】吸着パッド8の上端部にはフランジ81が形成されており、このフランジ81が貫通孔71内壁の段部に係合し、これにより吸着パッド8の下限位置が規制されると共に、吸着パッド8の外周面と貫通孔71の内壁との間にも僅かに隙間が形成され、吸着パッド8が軸芯(吸着保持部本体40の長手方向の軸)に対して傾倒できるようになっている。 [0024] The upper end of the suction pad 8 is formed a flange 81, together with the flange 81 is engaged with the stepped portion of the through hole 71 inner wall, the lower limit position of the suction pad 8 is restricted by this, adsorption It is also slightly gap formed between the outer surface and the inner wall of the through hole 71 of the pad 8, so the suction pad 8 can be inclined with respect to axial (longitudinal axis of the suction holding body 40) there. 吸着パッド8は下限位置にあるときには前記ガイド面72より僅かに例えば0.2 Slightly example 0.2 from the guide surface 72 when the suction pad 8 is in the lower limit position
mm下方に突出している。 It protrudes mm downward. また吸着パッド8と前記小径部67との間には弾性体である圧縮バネ82が例えば周方向に4等分した位置に夫々介装されている。 Also are respectively interposed in 4 equally divided positions compression spring 82 is an elastic body, for example the circumferential direction between the small-diameter portion 67 and the suction pad 8. 図3中O Figure 3 in O
1、O2はOリングである。 1, O2 is an O-ring.

【0025】前記ガイドブロックの下面側には、前記段部74を囲むようにデバイス10のリード端子Rのガイド部75をなす突条部が形成されており、ガイド部75 [0025] lower surface of the guide block, protrusions forming the guide portion 75 of the lead terminal R of the device 10 so as to surround the stepped portion 74 is formed, the guide portion 75
はリード端子Rの先端部に当接して、リード端子Rがソケット部2に接触したときにその位置ずれを防止する役割をもっている。 Is in contact with the distal end of the lead terminal R, the lead terminal R has a role of preventing the positional deviation when in contact with the socket portion 2. 前記吸着パッド8から受け部52に亘って吸着保持部本体40の軸芯位置にて吸引孔83が形成されており、その下端は吸着パッド8の下面に開口すると共に上端は吸引管84に連通している。 The have suction holes 83 at the axial center position of the suction received from the pad 8 52 suction holding body 40 over is formed, communicating the upper end the suction pipe 84 with its lower end open to the lower surface of the suction pad 8 are doing. 吸引管84 Suction tube 84
は図示しない真空ポンプに接続され、吸着パッド8がデバイス10を真空吸着するようになっている。 Is connected to a vacuum pump (not shown), the suction pad 8 is in the device 10 so that vacuum suction.

【0026】次に上述の搬送装置の作用について述べる。 [0026] Next the operation will be described of the above transport apparatus. 先ず図1にて既述したように搬送部3A(3B)が検査装置の天井部の図示しない移動機構により供給用整列部12内のデバイス10を吸着保持する。 First transport unit 3A as already described in FIG. 1 (3B) is sucked and held device 10 in the supply aligning unit 12 by the ceiling moving mechanism (not shown) of the inspection apparatus. この動作は吸着保持部本体40が降下して吸着パッド8がデバイス10の上面に密接し、吸引孔83を通じて真空引きによりデバイス10の上面が吸着パッド8に真空吸着される。 This behavior closely to the upper surface of the suction pad 8 is the device 10 to drop the suction holding body 40, the upper surface of the device 10 is vacuum sucked by the suction pad 8 by vacuum through the suction holes 83. この時吸着パッド8も圧縮バネ82の弾性力に抗して吸引されデバイス10の上面がガイド面73と面一になる位置まで後退する。 In this case the suction pad 8 is also the upper surface of the against the elastic force being sucked device 10 of the compression spring 82 is retracted to a position where the guide surface 73 flush. この場合加熱部63の熱が中間リング65及びガイド体72を介してデバイス10に伝熱され、デバイス10が加熱される。 In this case the heat of the heating portion 63 is transferred to the device 10 via an intermediate ring 65 and the guide body 72, the device 10 is heated. その後搬送部3A Thereafter conveying section 3A
(3B)がソケット部2の上まで移動し、エアシリンダ32(図2参照)により吸着保持部本体40が降下してデバイス10が図3の鎖線の如くソケット部2の受け台22の上に載せられる。 (3B) is moved to the top of the socket portion 2, on the air cylinder 32 receiving base 22 of the socket portion 2 as the device 10 descends suction holding body 40 is in chain line in FIG. 3 (see FIG. 2) It is placed.

【0027】そして例えば図示しない押圧手段によりピストン部30の上端を押圧し、これにより吸着保持部本体40が吸着パッド8を介してデバイス10をソケット2側に押圧する。 [0027] Then the upper end of the piston portion 30 is pressed by the pressing means, not shown, thereby the suction holding body 40 presses the device 10 to the socket 2 side via the suction pad 8. この結果リード端子Rの先端がソケット部2の電極21に押し付けられて電気的接触がとられる。 As a result the tip of the lead terminal R is pressed against the electrode 21 of the socket portion 2 electrical contact taken. これによってデバイス10がソケット部2を介して図示しないテストヘッドと電気的に接続され、この状態でつまり搬送部3A(3B)によりデバイス10をソケット部2に装着したまま電気的測定が行われてデバイス10の良否が検査される。 This device 10 is connected the test head and electrically (not shown) via the socket portion 2, a device 10 by clogging the conveyance section 3A (3B) in this state is performed electrical measurement while wearing the socket portion 2 quality of the device 10 is inspected.

【0028】続いて吸着保持部本体40は押圧が解除された後上昇し、搬送部3A(3B)が収納用整列部13 [0028] Following the suction holding body 40 is increased after the pressing is released, the transport unit 3A (3B) is accommodating aligning portion 13
の上方まで移動し、吸着保持部本体40が降下して真空吸着を解除し、デバイス10が収納用整列部13内に受け渡される。 Move up upward, to release the vacuum suction by lowering suction holder body 40, the device 10 is passed to a housing for aligning portion 13. ただし実際には搬送部3A(3B)はデバイス10を2個保持しているので、順次ソケット部2にて検査を行った後収納用整列部13に搬送される。 However in practice the transport unit 3A (3B) is since the device 10 holding two, are conveyed to the housing for aligning portion 13 after the test sequentially at the socket unit 2.

【0029】上述実施例によれば、デバイス10が多少傾いていても吸着パッド8がデバイス10の上面に沿って傾き、密着するため安定して吸着することができ、また吸着パッド8自体は変形しないため吸着解放時にもデバイス10の姿勢が安定し、このため次の搬送工程即ちアンローダ17による吸着保持工程も安定して行われる。 According to the above embodiment, even if the device 10 is somewhat inclined slope suction pad 8 is along the upper surface of the device 10, can be stably adsorbed to contact, also the suction pad 8 itself deformed and the attitude of the device 10 even when the suction release is stable because it is not, this because step suction and holding by the next transport step i.e. the unloader 17 is also stably performed. そしてデバイス10のソケット部2への装着時には、ガイド面73、段部74により夫々デバイスの上面、上縁部がガイドされると共にリード端子Rもガイド部75をなす突条部によりガイドされているので、デバイス10は水平姿勢かつ所定の向きで受け台22の上に載せられ各リード端子Rが確実に、対応する電極21に接触する。 And when mounting to the socket portion 2 of the device 10 is guided by the ridges forming the lead terminals R also guide portion 75 with guide surface 73, the upper surface of each device by the stepped portion 74, the upper edge is guided since, the device 10 is surely that each lead terminal R placed on the cradle 22 in a horizontal position and a predetermined direction, contacts the corresponding electrode 21.

【0030】更に吸着パッド8は金属製であるから静電気によるデバイス10の破壊のおそれもないし、耐久性も大きい。 [0030] It further contact is no possibility of breakdown of the device 10 due to static electricity because the suction pad 8 is made of metal, durable large. また加熱部63から中間リング65及びガイド体72を介して伝熱された熱によりデバイス10が加熱されるので、デバイス10の外形が変わっても吸着パッド8の径を変更することなく安定した加熱を行うことができる。 Since the device 10 is heated by the heating unit 63 through an intermediate ring 65 and the guide body 72 are heat transfer heat, heating stable without even the outer shape of the device 10 is changed to change the diameter of the suction pad 8 It can be performed. なおデバイス10の外形が変わる場合、受け部52よりも下側の部分を交換するので、加熱部63は交換されずに各サイズのデバイスに対して共通であり、 In the case where the outer shape of the device 10 is changed, since replacing the portion of the lower side of the receiving portion 52, the heating unit 63 is common to the device of each size without being replaced,
従ってデバイス10の温度測定データは初めに得ておけばデバイス10の外形の変更の度にとらなくて済む。 Accordingly, the temperature measurement data of the device 10 need not take the time of the change of the outline of Oke if device 10 obtained at the beginning.

【0031】また供給用整列部12、ソケット部2及び収納用整列部13におけるデバイス10の受け取り位置、解放位置は高い精度が要求され、このため搬送部3 Further supply aligning unit 12 receives the position of the device 10 of the socket unit 2 and accommodating the alignment unit 13, the release position is required to have high accuracy, the transport unit 3 for this
A(3B)を正確にX、Y方向に移動制御しなければならないが、吸着保持部本体40を第1部分4及び第2部分5に分割し、これらが相対的に僅かに揺動できかつ回転できるように連結されているので、移動機構側とデバイスのアクセス位置との間で位置ずれが生じてもその位置ずれを第1部分4と第2部分5との間の隙間で吸収されるから、移動機構のX、Yガイド部の加工精度や停止位置の精度を緩和することができる。 A (3B) accurately X, but must move the control in the Y direction, the suction holding body 40 is divided into a first portion 4 and the second portion 5, can they be relatively slight rocking and since it is coupled for rotation, is absorbed by the gap between even if positional deviation the positional deviation between the first portion 4 and the second portion 5 between an access position of the moving mechanism side and the device from, X of the moving mechanism, it is possible to relax the machining accuracy of the stop position accuracy of the Y guide portion.

【0032】以上において吸着保持部本体40を押圧してデバイス10をソケット部2に確実に接触させる押圧手段としては、搬送部3A(3B)とは別個のものであってもよいし、搬送部3A(3B)に組込んだものであってもよい。 [0032] The device 10 to press the suction holding body 40 in the above as a pressing means to ensure contact with the socket 2 may also be separate from the conveyance section 3A (3B), the transport unit 3A or may be incorporated into (3B). また吸着保持部本体40からデバイス10 The device 10 from the suction holding body 40
を吸着解除して吸着保持部本体40をソケット部2から退避させ、別個の押圧手段でデバイス10を押圧してもよい。 The suction holder body 40 by releasing the suction is retracted from the socket unit 2, it may be pressed the device 10 in a separate pressing means. なお被検査物としては半導体集積回路をパッケージングしたデバイスに限定されず、液晶基板であってもよいし、また搬送装置は被検査物の検査に限らずその他の被搬送物を搬送するものに適用できる。 Incidentally not limited to devices where the semiconductor integrated circuit is packaged as an object to be inspected may be a liquid crystal substrate, also conveying device to those carrying the other objects to be conveyed is not limited to the inspection of the object to be inspected It can be applied.

【0033】 [0033]

【発明の効果】本発明によれば、静電気による被搬送物あるいは被検査物の破壊のおそれがなくて、耐久性が大きく、しかも被搬送物あるいは被検査物の姿勢に大きく影響されずに安定して吸着、解放動作を行うことができる。 According to the present invention, without fear of destruction of the object to be conveyed or the object to be inspected due to the static electricity, a large durability, and stably without being greatly affected by the posture of the conveyed object or the object to be inspected to adsorption, it is possible to perform the release operation. また請求項4のように加熱部よりの熱を吸着保持部本体を介して被検査物に伝熱させるように構成すれば、 Further, if configured to heat is transferred to the object to be inspected through the suction holding body heat of the heating portion as in claim 4,
被検査物の外形にかかわらず安定して被検査物を加熱することができる。 Can be heated stably object to be inspected regardless of the outer shape of the object to be inspected. 更に請求項5のように吸着保持部本体を第1部分と第2部分とに分割して互いに揺動、回転できるようにすれば、搬送装置の移動制御の精度を緩和することができ、製作上有利である。 Further the suction holding body is divided into a first portion and a second portion swinging together as claimed in claim 5, if for rotation, it is possible to relax the precision of the movement control of the transport apparatus, manufactured is a top advantageous.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の実施例を適用したデバイスの検査装置の全体を示す概略斜視図である。 1 is a schematic perspective view showing the entire of the inspection apparatus of the device according to the embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例の搬送装置の搬送部の外観を示す斜視図である。 Is a perspective view showing an appearance of conveyance of the conveying apparatus of the embodiment of the present invention; FIG.

【図3】吸着保持部本体及びソケット部を示す断面図である。 3 is a cross-sectional view showing a suction holder body and the socket portion.

【図4】吸着保持部本体を示す分解斜視図である。 4 is an exploded perspective view of a suction holder body.

【図5】吸着保持部本体の第1部分及び第2部分の嵌合部分の一部を示す斜視図である。 5 is a perspective view of a portion of a mating portion of the first portion and second portion of the suction holding body.

【図6】吸着保持部本体の第1部分が第2部分に対して規定位置にあるときのピン42の位置及び揺動可能状態にあるときのピン42の位置を示す説明図である。 6 is an explanatory view showing the position of the pin 42 when in the position and swingable state of the pin 42 when the first portion of the suction holding body is in a defined position relative to the second portion.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 デバイス 2 ソケット部 21 電極 100 搬送装置 3A、3B 搬送部 40 吸着保持部本体 4 第1部分 5 第2部分 41 フランジ 42 ピン 61 圧縮バネ 65 中間リング 72 ガイド体 73 ガイド面 74 段部 8 吸着パッド 82 圧縮バネ 83 吸引孔 10 Device 2 socket 21 electrodes 100 conveying device 3A, 3B conveyance unit 40 suction holding body 4 first portion 5 second portion 41 flange 42 pin 61 compression spring 65 intermediate ring 72 guide body 73 guide surface 74 step portion 8 suction pad 82 compression spring 83 suction holes

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 被搬送物を吸着保持して搬送する搬送装置において、 下面が被搬送物の上面をガイドするガイド面をなす吸着保持部本体と、 この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の吸着パッドと、 前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備えたことを特徴とする搬送装置。 1. A transfer device for transferring by sucking and holding the carried object, and a suction holding portion main body which forms the guide surface lower surface for guiding the top surface of the transported object, this suction holder body, the lower limit position is regulated, slightly protrude downward from the guide surface when in the lower limit position, while being tiltably fitted against vertically movable and the axis of the suction holder body, made of metal having a suction function suction pad and the conveying device being characterized in that and a conductive elastic body provided in the gap between the suction holder body and the suction pad.
  2. 【請求項2】 端子部を備えた被検査物を吸着保持して、前記端子部が検査位置の電極に接触する位置まで搬送し、被検査物を検査位置にて吸着保持したまま被検査物の検査が行われる搬送装置において、 下面が被検査物の上面をガイドするガイド面をなす吸着保持部本体と、 この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備え、 前記吸着パッドが被検査物を吸着したときに、ガイド面が被検査物の上面に接触する位置まで吸着パッドが後退することを特徴とする搬送装 2. A test objects having a terminal portion and held by suction, is conveyed to a position where the terminal portion is in contact with the electrodes of the inspection position, while the inspection object was held by suction in the inspection position test objects in conveying device testing is conducted, the suction holding portion main body which forms the guide surface lower surface for guiding the top surface of the object, in this suction holder body, the lower limit position is restricted, the when in a lower position guide slightly protrude downward from the surface, movable up and down and while being tiltably fitted with the axis of the suction holder body, and a metal suction pad having a suction function, the suction holder body and and a conductive elastic body provided in the gap between the suction pad, when the suction pad is adsorbed to the test object, the suction pad to a position where the guide surface contacts the upper surface of the object to be inspected recedes conveying instrumentation, characterized in that 置。 Location.
  3. 【請求項3】 被検査物の端子部はリード端子であり、 Terminal portion of wherein the object to be inspected are lead terminals,
    吸着保持部本体は、吸着保持した被検査物のリード端子をガイドするガイド部を備えていることを特徴とする請求項2記載の搬送装置。 Suction holder body conveying apparatus according to claim 2, characterized in that it comprises a guide portion for guiding the lead terminal of the specimen were held by suction.
  4. 【請求項4】 吸着保持部本体内に加熱部を設け、この加熱部よりの熱を前記吸着保持部本体を介して被検査物に伝熱する構造としたことを特徴とする請求項2または3記載の搬送装置。 Wherein the heating unit provided in the suction holder body, according to claim 2 or, characterized in that the transfer heat structure heat from the heating unit to the object to be inspected via the suction holder body 3 conveying device according.
  5. 【請求項5】 吸着保持部本体は、上部側の第1部分と、この下面が被検査物の上面をガイドするガイド面をなし、前記第1部分の下部側に位置する第2部分とに分割され、 前記第2部分は第1部分に対し、軸芯方向及び軸芯に直交する方向に僅かな遊びをもって嵌合された状態で連結されると共に、前記第1部分が第2部分を相対的に押圧していないときにはこれらの相対位置を所定の位置に復帰させるために第1部分及び第2部分間に弾性体を介装したことを特徴とする請求項1、2、3または4記載の搬送装置。 5. The suction holder body includes a first portion of the upper side, the lower surface forms the guide surface for guiding the top surface of the object to be inspected, and a second portion located on the lower side of the first portion is divided, the second portion to the first portion, while being connected in a state of being fitted with a slight clearance in a direction perpendicular to the axial direction and the axial center, said first portion relative to the second portion manner pressed when no claims 1 to 4, wherein in that interposed an elastic body between the first and second parts in order to restore their relative positions in a predetermined position conveying device.
  6. 【請求項6】 ガイド面の周縁部には被検査物の上縁部をガイドする段部が形成されていることを特徴とする請求項1、2、3、4または5記載の搬送装置。 6. The guide surface transport apparatus according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, wherein the step portion for guiding the upper edge of the object to be inspected is formed on the periphery of the.
  7. 【請求項7】 吸着パッドは吸着面に開口する吸引孔を備えていることを特徴とする請求項1、2、3、4、5 7. A claim suction pad is characterized in that it comprises a suction hole which opens to the suction surface 2, 3, 4, 5
    または6記載の搬送装置。 Or conveying device according 6.
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