JPH09134055A - 放電装置 - Google Patents

放電装置

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JPH09134055A
JPH09134055A JP28958295A JP28958295A JPH09134055A JP H09134055 A JPH09134055 A JP H09134055A JP 28958295 A JP28958295 A JP 28958295A JP 28958295 A JP28958295 A JP 28958295A JP H09134055 A JPH09134055 A JP H09134055A
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discharge
discharge device
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JP28958295A
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Kazuo Asano
和夫 浅野
Shigeo Ono
茂雄 大野
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Fuji Xerox Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】被帯電体の帯電むらをなくし、被帯電体の劣化
の原因物質であり環境衛生上有害である放電生成ガス
(オゾンやNOx)の発生量を低減した放電装置を提供
する。 【解決手段】所定のピッチで一列に形成された複数の第
1の開口5と、複数の第1の開口5のうち隣接するもの
同士の間に対応する位置に、第1の開口5の列に並んで
一列に形成された第2の開口5’を放電電極4に形成し
た。各開口部5,5’は、帯状に形成された誘電電極2
a,2bと重なる様に配置し、第2の開口5’において
生成される荷電粒子の生成量を、第1の開口において生
成される荷電粒子の生成量よりも多くする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電記録や電子写
真記録等における帯電、転写、除電等に用いられる放電
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、静電記録方式あるいは電子写
真方式の複写機やプリンター等の帯電、除電、転写等に
用いられる放電装置として、コロトロンやスコロトロン
等のコロナ放電装置が広く知られている。コロナ放電装
置には放電ワイヤが備えられており、この放電ワイヤに
トナーや紙粉、放電生成物等の異物が付着しやすい。放
電ワイヤに異物が付着すると、放電むらが生じやすいの
で、放電ワイヤの清掃や交換等の定期的なメンテナンス
が必要である。また、放電ワイヤのワイヤ径が細く断線
しやすいため信頼性に乏しい。また、コロナ放電装置に
よって得られる最大放電電流密度は10μA/cm2
度であり、このため、例えば印字速度が大きく制限され
る。また、放電によりオゾンガスが生成され、このオゾ
ンガスは、被帯電体の帯電特性や表面特性を劣化させ
る。オゾンガスが多量に生成されると環境衛生上有害な
ため、オゾンガスはオゾンフィルタ等により除去され
る。このため、オゾンフィルタの定期交換やオゾンガス
をフィルタへ送るためのファンが必要となり、省資源と
低騒音の達成が困難である。
【0003】そこで、デバイスの堅牢さと高電流密度が
得られる点から、特開昭54−53537号公報に記載
の固体放電装置が提案されている。この放電装置は、図
34に示すように、固体誘電部材23の一方の側に誘導
電極22を設け、他方の側に放電電極24を設け、両電
極間に60Hzないし4MHzの交番電圧26を印加す
ることにより、放電領域25に沿面コロナ放電を生じさ
せ、この沿面コロナ放電により生成された荷電粒子を、
放電電極24に印加される制御電圧27により引き出
し、被帯電体28を帯電させる構成となっている。また
同公報において、図34に示す放電装置の原理を静電記
録装置へ適用したマトリクス型イオン発生器として、図
35に示すような装置が提案されている。この装置は、
直径6×10-3インチ(152.4μm)の複数の孔が
形成された放電電極34を、各孔が誘電体33を挟んで
誘導電極32に対向するように、誘導電極32と交差さ
せ、孔周縁部において沿面コロナ放電を生じさせ、各放
電点35をスキューさせた(斜めに配置した)ドット・
マトリクス配列としたことにより静電文字パターンを形
成できる装置である。
【0004】また、特開昭60−79689号公報に
は、図36に示すように、放電電極44の近傍を加熱手
段49、50を用いて間接的に加熱し、放電を安定化さ
せ、かつオゾンガスを効率よく分解するようにした放電
装置が提案されている。尚、図34の放電装置の構成要
素と同一の構成要素は同一の符号で示されている。さら
に、他の放電装置として、特開平1−101567号公
報には、図37に示すように、放電電極54の複数の開
口部55が、誘電体53を挟んで誘導電極52に対向す
る位置に設けられ、放電電極54と誘導電極52とに交
番電圧を印加し、各開口部55の周縁部近傍にイオンを
発生させることにより、特開昭60−79689号公報
等に開示された固体放電装置に比べ消費電力を抑えた放
電装置が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の特開昭
60−79689号公報に開示された、放電領域近傍を
加熱する放電装置では、オゾンの著しい低減効果を得る
ためには100℃以上の加熱が必要である。オゾンを完
全に分解するためには、通常、300℃以上必要である
ことが知られており、この加熱温度は、放電装置に近接
して配置された被帯電体(例えば電子写真方式の印字装
置であれば感光体)の耐熱温度をはるかに超えるもので
あり、被帯電体の熱的劣化が避けられない。また、放電
装置を高温に維持しておくための電力が必要となり、低
消費電力化が困難である。また、加熱によりオゾン発生
量は減少傾向を示すものの、他の放電生成ガスであるN
Oxの発生量が増加するという新たな問題点がある。N
Oxは、被帯電体として感光体を用いる場合の像流れ現
象(デリーション)の原因物質のひとつでもあり、ま
た、環境衛生上も好ましくない。
【0006】一方、上述の特開平1−101567号公
報に開示された放電装置(図37参照)は、放電電極と
して縦横に多数の円形開口部を有する板状電極を用いる
ことにより、荷電粒子の生成効率の向上と低消費電力化
が達成できるものである。この放電装置では、この公報
に指摘されているように、放電によって得られる荷電粒
子によって、電子写真プロセス等の被帯電体である感光
体等を帯電させる場合、より均一な帯電を行うために
は、図37中のF−F’列に並ぶ開口部と図37中のG
−G’列に並ぶ開口部のように、放電電極の離散した開
口部を被帯電体の移動方向(矢印Pで示すでプロセス方
向)に対して直角方向にずらした位置に形成することが
好ましい。しかし、この場合、プロセス方向の上流側の
開口部(図中F−F’列)で生成された荷電粒子が下流
側の開口部(図中G−G’列)で生成された荷電粒子に
先んじて被帯電体を帯電するため、被帯電体との間の帯
電電界によって、放電装置の下流側で生成された荷電粒
子の被帯電体への移動が阻止され、その結果、プロセス
方向の帯電むらが発生する。このため、続く現像工程に
おいて筋状の現像むらが発生するという問題がある。
【0007】この現象を、図38を用いてさらに詳細に
説明する。図38は、上述の特開平1−101567号
公報の放電装置(図37参照)を用いて、被帯電体を帯
電するときに放電装置と被帯電体との間に形成される電
位分布を表わし、(a)は放電電極の上流側(図37の
F−F’断面)の電位分布を計算により求めたもの、
(b)は下流側(図37のG−G’断面)の電位分布を
計算により求めたものである。放電電極の上流側におい
ては、図38(a)に示すように、放電電極54に印加
される帯電制御電圧が荷電粒子(電荷)の引き出し電界
Eaを形成している。一方、放電電極54の下流側にお
いては、図38(b)に示すように、上流側で帯電され
た被帯電体48の電位によって、荷電粒子の引き出し電
界EbがEaに比べて小さくなる。その結果、被帯電体
48の表面の帯電電位分布の凹部を埋めることが出来
ず、被帯電体48に電位むらが生じることとなる。
【0008】本発明は、上記事情に鑑み、被帯電体の帯
電むらをなくし、被帯電体の劣化の原因物質であり環境
衛生上有害である放電生成ガス(オゾンやNOx)の発
生量を低減した放電装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第1の放電装置は、所定のプロセス方向に相
対移動する被帯電体に対向して配置される、誘電体層
と、この誘電体層の、上記被帯電体から離れた側の面に
積層された、上記プロセス方向に交わる所定の幅方向に
延びる少なくとも2列の誘導電極と、上記少なくとも2
列の誘導電極のうち相対的に上記プロセス方向上流側に
形成された第1の誘導電極に対し上記誘電体層を介して
向き合う位置に上記幅方向に所定のピッチで形成された
第1の開口、及び上記少なくとも2列の誘導電極のうち
相対的に上記プロセス方向下流側に形成された第2の誘
導電極に対し上記誘電体層を介して向き合う位置であっ
て、かつ、上記複数の第1の開口のうち隣接するものど
うしの間に対応する位置に、上記幅方向に所定のピッチ
で形成された第2の開口からなる少なくとも2列の複数
の開口を有する、上記誘電体層の上記被帯電体側の面に
積層された放電電極とを有する荷電粒子発生部を具備す
るとともに、上記複数の第1の開口で生成される荷電粒
子の上記被帯電体への相対的に低い供給能力と、上記複
数の第2の開口で生成される荷電粒子の上記被帯電体へ
の相対的に高い供給能力とをもって、上記少なくとも2
列の複数の開口で荷電粒子を生成して、生成された荷電
粒子を上記被帯電体に向けて駆動する荷電粒子生成駆動
手段が組み込まれてなることを特徴とするものである。
【0010】ここで、上記荷電粒子生成駆動手段が、上
記複数の第1の開口で生成される荷電粒子の生成量より
も大きな生成量をもって上記複数の第2の開口で荷電粒
子を生成する手段を有するものであることが好ましい。
また、上記荷電粒子生成駆動手段が、上記複数の第1の
開口で生成される荷電粒子を上記被帯電体に向けて駆動
する駆動力よりも大きな駆動力をもって上記複数の第2
の開口で生成された荷電粒子を上記被帯電体に向けて駆
動する手段を有するものであることが好ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。 (第1実施形態)図1は、本発明の放電装置の第1実施
形態の平面図である。図1に示される様に、放電装置1
0(図3参照)は、所定のプロセス方向(図2の矢印P
方向)に相対移動する被帯電体8(図3参照)に対向し
て配置される、誘電体層3と、誘電体層3の、被帯電体
8から離れた側の面に積層され、プロセス方向に交わる
所定の幅方向に延びる2列の誘導電極2a,2bと、誘
電体層の被帯電体側の面に積層された放電電極4とを有
する荷電粒子発生部11を備えている。誘導電極2a,
2bは、セラミックなどの絶縁性の基板1の上に形成さ
れている。
【0012】図2は、図1の放電装置の電極形状を示す
拡大図である。放電電極4には、上記したプロセス方向
に交わる所定の幅方向に所定のピッチで形成された複数
の第1の開口5と、複数の第1の開口5のうち隣接する
ものどうしの間に対応する位置に、上記幅方向に所定の
ピッチで形成された第2の開口5’が形成されている。
第1の開口5は、2列の誘導電極2a,2bのうち相対
的にプロセス方向上流側に形成された第1の誘導電極2
aに対し誘電体層3を介して向き合う位置に位置してい
る。一方、第2の開口は、2列の誘導電極2a,2bの
うち相対的にプロセス方向下流側に形成された第2の誘
導電極2bに対し誘電体層3を介して向き合う位置に位
置している。
【0013】図3は、図2のA−A’断面と、図2の放
電装置10を帯電器として用いた場合の電源供給方法を
模式的に表したものである。交流電源6a,6bは、第
1及び第2の開口5,5’において沿面コロナ放電を生
成させるための電圧をこれらの電極に印加するものであ
る。印加される交流電圧は数十Hz〜数MHz(荷電粒
子の生成効率の点からは、100Hz〜2MHzの周波
数で1〜3kVp-p の高周波高電圧であることが好まし
い)である。誘電体3を挟んだ電極2a,2b,4に上
記した交流電圧が印加されると、放電電極4の開口5,
5’の電極端部において沿面コロナ放電が起こり、この
付近に正負の荷電粒子が生成される。直流電源7からバ
イアス電圧として負の電圧を印加すれば、負の荷電粒子
のみを取り出し、被帯電体8に向けて駆動することがで
きる。上記した交流電源6a,6bと直流電源7とが、
本発明にいう荷電粒子生成駆動手段の一例である。
【0014】図4を参照して、交流電源6a,6bと直
流電源7とを用いて、2列の複数の開口5,5’で荷電
粒子を生成して、生成された荷電粒子を被帯電体8に向
けて駆動する方法について説明する。図4に示すよう
に、誘導電極2aに印加する電圧を周波数1/T1,ピ
ーク電圧V1とする(6a)と、誘導電極2bに印加す
る電圧をV1<V2なるV2とする(6b)か、周波数
をT1>T2なる1/T2とする(6b’)ことによ
り、第2の開口5’において放電により生成される荷電
粒子生成量を、第1の開口5における荷電粒子生成量よ
りも多くすることができる。例えば、1/T1=5〜1
0kHz、V1=1.8〜2.0kVppとしたとき、V
2=2.0〜2.2kVpp、1/T2=10〜20kH
zとすることにより、第1の開口5における荷電粒子生
成量に比べ、第2の開口5’における下流側の荷電粒子
生成量を多くすることができる。このようにして、複数
の第1の開口5で生成される荷電粒子の被帯電体8への
相対的に低い供給能力と、複数の第2の開口5’で生成
される荷電粒子の被帯電体8への相対的に高い供給能力
とをもって、2列の複数の開口5,5’で荷電粒子を生
成して、生成された荷電粒子を被帯電体8に向けて駆動
することができる。
【0015】放電装置10の製造方法として、周知の厚
膜印刷方法を利用することが出来る。電極材料として
は、金、タングステン、ニッケル等の印刷用金属ペース
トを用い、誘電体材料としては、アルミナ、ガラス等、
放電における耐久性に優れた印刷用絶縁ペーストを用い
ることが出来る。構成要素の大きさの一例としては、誘
導電極2の厚さは1〜40μm程度とする。薄すぎると
配線抵抗が大きく電力損が発生し、厚すぎると誘導電極
が印刷後の次層以降の印刷段差となり層厚均一性が得ら
れないことから、好ましくは5〜10μmに設定され
る。また、誘導電極幅は60〜500μm程度であり、
製造性や放電効率の点から好ましくは100〜200μ
mに設定される。誘電体3の厚さは10〜50μm程度
であり、薄すぎると製造時にピンホールが発生し易くな
り絶縁耐圧の低下等を引き起こす。また誘電体3が厚す
ぎると放電開始に必要な電圧が高くなることから、好ま
しくは20〜30μmに設定される。開口部を有する放
電電極4の放電領域を形成する開口部分の幅Wは、30
〜300μm程度である。
【0016】本発明者が開口部分の幅Wを振った種々の
放電装置において放電実験を行ったところ、開口部分の
幅Wと放電時に生成されるオゾンガス濃度との間に相関
があることが判明した。その実験結果を図5に示す。図
5の縦軸はガス発生濃度を示し、横軸は放電電流を示
す。実験では開口部分の幅Wを100,150,300
μmとしたとき、放電電流に対するオゾンガス発生濃度
とNOX ガス発生濃度を測定した。ガス濃度は、W=3
00μmのときの値で規格化してある。図5から明らか
なように、W=100μmにおいてオゾンガス発生濃度
を、W=300μmのときの1/3以下、スコロトロン
等のコロナ放電装置の1/10以下に減らすことが出
来、帯電器として用いた際に、オゾンフィルタなしで帯
電を行うことが出来る。この実験結果から、放電電極4
の開口部分の幅Wは100μm以下が好ましいことが判
明した。一方、開口5,5’のピッチLは、0.1〜5
mm程度であり、帯電均一性の点から好ましくは0.3
〜1mmに設定される。誘電電極2a,2bのピッチは
0.3〜5mm程度であり、被帯電体に対向させて用い
る際、被帯電体の曲率により放電電極の電荷生成領域5
a,5bと被帯電体との距離の差が少なくなるように、
好ましくは0.3〜2mmとした。
【0017】図6は、放電装置10を帯電器として利用
した電子写真方式の画像形成装置を示す概略構成図であ
る。感光体15を上記放電装置10で帯電し、帯電後に
画像露光12を行い、感光体15に静電潜像を形成し、
現像器13で静電潜像を現像し、放電装置10と同様な
構造の放電装置を利用した転写装置14により、記録紙
18上に現像像を転写する。転写後の記録紙は定着装置
17を通過して最終的な複写画像が形成される。感光体
15は、クリーニング装置19でクリーニングされ、除
電装置16で除電され、複写の1サイクルを終了する。
【0018】この放電装置10では放電電極4(図4参
照)と感光体15表面との距離が0.3〜5mm(汚れ
防止と帯電制御性の点から好ましくは0.5〜1mm)
に設定されている。被帯電体である感光体15の表面電
位が直流電源7(図3参照)によるバイアス電圧と略等
しくなると荷電粒子は引き出されなくなり、帯電は終了
する。実機評価のために負帯電用OPC感光体を用い、
記録速度を300mm/sにしたとき、バイアス電圧が
−900Vのとき感光体表面を−830Vまで帯電させ
ることができる。また、感光体15のうち、上流側の開
口5で生成される荷電粒子により帯電された部分以外の
低電位部(電位分布の凹部)に、下流側の開口部5’で
生成される荷電粒子(電荷)を上流側と略等量供給する
ことが出来、均一な帯電を行うことが出来、むらの無い
良好な画像サンプルを得ることができる。尚、バイアス
電圧の極性を切り換えることで、所望の極性の荷電粒子
を均一に取り出すことができる。 (第2実施形態)次に、本発明の第2実施形態につい
て、図7を参照して説明する。
【0019】図7は、第2実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。第2実施形態が第1実施形態と
異なる点は、4列の誘導電極62a,62a’,62
b,62b’を設け、放電電極64の開口65a,65
a’,65b,65b’を4列として、各々の開口65
a,65a’,65b,65b’を誘導電極62a,6
2a’,62b,62b’に対応する位置に配置した点
にある。開口65a,65bが本発明にいう第1の開口
の一例であり、開口65a’,65b’が本発明にいう
第2の開口の一例である。開口65aは所定のピッチで
一列に形成されており、開口65a’は、複数の開口6
5aのうち隣接するもの同士の間に対応する位置に、開
口65aの列に並んで一列に形成されている。開口65
bと開口65b’との位置関係も上記と同様である。装
置の構成要素、製造方法の一例としては、実施形態1と
同様のパラメータを用いた。
【0020】図8に、図7のB−B’断面と、荷電粒子
生成駆動手段の一例を示す。図8において、図5に示す
交流電源6a,6bから交流電圧を誘導電極62aと6
2a’、62bと62b’に印加することにより、矢印
Pで示すプロセス方向に対して下流側の開口65b,6
5b’における荷電粒子生成料を上流側の開口部65
a,65a’における荷電粒子生成量より多くし、本放
電装置を帯電工程に用いたところ均一な帯電を行うこと
ができる。また、4列の65a,65a’,65b,6
5b’のうち、3、4列目の千鳥配列の開口部65b,
65b’それぞれが、プロセス方向に対して1、2列目
の開口部65a,65a’と略同位置に配置されたたこ
とにより、上流側で形成される電位分布の凹部へいっそ
う効率的に荷電粒子を供給することが出来、より均一な
帯電を行うことができる。なお、本実施形態では誘導電
極が4列の例を示したが、本発明は誘導電極の本数を限
定するものではない。 (第3実施形態)次に、本発明の第3実施形態につい
て、図9を参照して説明する。
【0021】図9は、第3実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。第3実施形態が第1実施形態と
異なる点は、誘導電極2cが誘導電極2b(図2参照)
に比べ幅広になっている点である。誘導電極2aの電極
幅をLWa、誘導電極2cの電極幅をLWcとしたと
き、LWa<LWcとなるように誘導電極を形成するこ
とにより、プロセス方向に対して下流側の放電領域面積
を上流側の放電領域面積より大きくした。ここで、誘導
電極2a,2cの厚さ、誘電体3の厚さ、放電電極4の
厚さと開口部幅、開口部ピッチについては第1実施形態
と同様のパラメータを用いた。
【0022】図10に、図9のC−C’断面と、荷電粒
子生成駆動手段の一例を示す。図10に示すように、誘
導電極2a,2cに、共通の交流電源から同じ条件の交
流高電圧を印加することにより、誘導電極の電極幅の違
いに基づいて荷電粒子生成量を変えることが出来る。誘
導電極の電極幅と荷電粒子生成量は比例関係にあること
が発明者の実験により判明した。例えばLWa=100
μm、LWc=150μmのとき、下流側の開口5cで
生成される荷電粒子生成量は、上流側の開口5aで生成
される荷電粒子生成量の1.5倍となった。そして、本
実施形態の放電装置を帯電に用いたところ、被帯電体う
ち、プロセス方向に対して上流側の開口5aで生成され
る荷電粒子により帯電された部分以外の低電位部(電位
分布の凹部)に、下流側の開口5cで生成される荷電粒
子(電荷)を上流側と略等量供給することが出来、均一
な帯電を行うことができる。 (第4実施形態)次に、本発明の第4実施形態につい
て、図11を参照して説明する。
【0023】図11は、第4実施形態の放電装置の電極
形状を示す拡大図である。第4実施形態が第3実施形態
と異なる点は、誘導電極を72a,72a’,72d,
72d’の4列とし、放電電極4の開口を4列として、
各開口75a,75a’,75d,75d’を誘導電極
72a,72a’,72d,72d’に対応する位置に
2次元的に配置した点にある。開口75a,75dが本
発明にいう第1の開口の一例であり、開口75a’,7
5d’が本発明にいう第2の開口の一例である。開口7
5aは所定のピッチで一列に形成されており、開口75
a’は、複数の開口75aのうち隣接するもの同士の間
に対応する位置に、開口75aの列に並んで一列に形成
されている。開口75dと開口75d’との位置関係も
上記と同様である。矢印方向に示すプロセス方向に対し
て下流側の誘導電極72d,72d’の電極幅を、上流
側の誘導電極72a,72a’の電極幅より広くするこ
とにより、上流側と下流側の放電領域面積を変えた。電
極構成としては、前述実施形態3と同様のパラメータを
用いることが出来る。
【0024】図12に、図11のD−D’断面と、荷電
粒子生成駆動手段の一例を示す。ここで、実施形態3と
同様の駆動条件で被帯電体8を帯電させたところ、均一
な帯電を行うことができる。また、本実施形態において
は、上述実施形態2と同様に、4列の開口75a,75
a’,75d,75d’のうち、3、4列目の開口75
d,75d’が1、2列目の開口75a,75a’とプ
ロセス方向に対して略同位置に配置したことにより、上
流側で形成される電位分布の凹部へいっそう効率的に荷
電粒子を供給することが出来、より均一な帯電を行うこ
とができる。なお、本実施形態では誘導電極が4列の例
を示したが、本発明は誘導電極の本数を限定するもので
はない。 (第5実施形態)次に、本発明の第5実施形態につい
て、図13を参照して説明する。
【0025】図13は、第5実施形態の放電装置の電極
形状を示す拡大図で、図2の構成要素と同一の構成要素
は同じ符号でしめされている。第5実施形態が第1実施
形態と異なる点は、放電電極4に形成された開口のう
ち、矢印Pで示すプロセス方向の上流側の開口(本発明
にいう第1の開口の一例)85aの開口幅をSWa、下
流側の開口(本発明にいう第2の開口の一例)85bの
開口幅をSWbとしたとき、SWa<SWbとなるよう
に開口85a,85bが形成され、プロセス方向に対し
て下流側の放電領域面積を上流側の放電領域面積より大
きくした点にある。具体的には、SWa=70μm、S
Wb=100μmとしたとき、第3実施形態と同様に、
放電領域面積がS(5a)<S(5b)となり、開口8
5bで生成される荷電粒子の量が、開口85aで生成さ
れる荷電粒子の量よりも多くなる。この結果、被帯電体
のうち、上流側の開口85aで生成される荷電粒子によ
り帯電された部分以外の低電位部(電位分布の凹部)
に、下流側の開口85bで生成される荷電粒子(電荷)
を上流側と略等量供給することが出来、均一な帯電を行
うことができる。 (第6実施形態)次に本発明の第6実施形態について、
図14を参照して説明する。
【0026】図14は、第6実施形態の放電装置の電極
形状を示す拡大図であり、図2の構成要素と同一の構成
要素は同じ符号で示されている。第6実施形態が第1実
施形態と異なる点は、放電電極4に形成された開口90
a,90bの形状を円形にし、矢印Pで示すプロセス方
向の上流側の開口90aの面積をSa、下流側の開口9
0b面積をSbとしたとき、Sa<Sbとなるようにし
た点にある。開口90aが本発明にいう第1の開口の一
例であり、開口90bが本発明にいう第2の開口の一例
である。誘導電極92a,92cのうち、プロセス方向
の上流側の誘導電極92a,下流側の誘導電極92cの
電極幅を各々LWa,LWcとしたとき、LWa<LW
bとなるように誘導電極を形成し、誘導電極幅と放電電
極開口部径を略同一となるようにした点も第1実施形態
とは異なっている。具体的には、Sa=3.84×10
-3mm2 (LWa=70μm),Sc=7.85×10
-3mm2 (LWc=100μm)とした。その結果、開
口92bで生成される荷電粒子の量が、開口85aで生
成される荷電粒子の量よりも多くなり、第3〜5実施形
態と同様に被帯電体8(図12参照)に均一な帯電を行
うことができる。 (第7実施形態)次に本発明の第7実施形態について、
図15を参照して説明する。
【0027】図15は、第7実施形態の放電装置の断面
図である。本放電装置が第2実施形態の放電装置と異な
る点は、荷電粒子の加速と制御のためにグリッド電極9
を設けた点にある。放電電極4とグリッド電極9の間に
荷電粒子加速電源10から加速電圧を印加した。グリッ
ド電極9には、荷電粒子の供給を制御するために制御電
源7から制御電圧を印加する。グリッド電極9と加速電
圧10以外は実施形態2と同様の構成パラメータおよび
駆動条件を用いた。具体的には、放電電極の開口、すな
わち家電粒子生成領域に対応した部分に、開口径50μ
m以上(製造性から好ましくは100μm以上)の開口
がエッチングやレーザー加工等により形成された厚さ1
0〜300μm(製造性と取扱い易さから好ましくは3
0〜100μm)のステンレス等の金属板が、放電電極
から距離100〜2mm(取付け精度と荷電粒子加速効
果から好ましくは200〜1mm)の位置に、絶縁性部
材からなるスペーサを介して配置されている。放電電極
4とグリッド電極9との間に加速電源10から電位差が
50〜500Vとなる電圧を電極間距離に応じて印加し
た。グリッド電極9と被帯電体8の距離を0.2〜5m
m、設定精度と帯電電位制御性から好ましくは0.3〜
2mmに設定して、グリッド電極9に制御電源7から−
900Vの制御電圧を印加して被帯電体8を帯電したと
ころ、略−830Vに均一に帯電することができる。ま
た、グリッド電極9を設けることにより、トナー等の汚
れがグリッド電極9に捕獲され、放電装置の放電領域に
付着せず、長期に亘って安定した放電を行うことができ
る。ここで、グリッド電極の開口は、その開口ピッチが
放電電極の開口ピッチより小さければ、必ずしも放電電
極の開口すなわち荷電粒子生成領域に対応した部分に設
けられていなくてもよい。また、グリッド電極の開口形
状はなんでも良く、従来のスコロトロン等で用いられて
いるグリッド電極でもよいし、金属ワイヤ等で編まれた
メッシュでもよい。本実施形態では、第2実施形態にグ
リッド電極を設けたが、第1〜第6実施形態に対しても
同様にグリッド電極を設ける例が考えられ、これによ
り、帯電電位制御性の更なる向上が図られる。 (第8実施形態)次に本発明の第8実施形態について、
図16を参照して説明する。
【0028】図16は、第8実施形態の放電装置の電極
形状を示す拡大図である。本実施形態の誘導電極62
a,62a’,62b,62b’は第2実施形態のもの
と同一であり、放電電極64a,64bが矢印Pで示す
プロセス方向に2分割されている点が第2実施形態とは
異なる。開口65a,65a’,65b,65b’の配
列は、第2実施形態のものと同一である。装置の構成要
素、作成方法の一例としては、実施形態2と同様のパラ
メータを用いた。
【0029】図17に、図16のE−E’断面と荷電粒
子生成駆動手段の一例を示す。図17において、分割さ
れた放電電極64a,64bに、制御電源67a,67
bから制御電圧を印加する。ここで、制御電源67a,
67bから、プロセス方向の上流側の放電電極64aに
印加される制御電圧の絶対値が、下流側の放電電極64
bに印加される制御電圧の絶対値より小さくなるように
電圧設定される。本実施形態では、制御電源67aから
の電圧を−100V〜−800V、好ましくは最終帯電
電圧の略半分である−400〜−500Vとし、制御電
源67bからの電圧を−900Vとすることにより、被
帯電体との距離0.5〜1mmにおいて均一な帯電を行
うことができる。このとき、誘導電極62aと62
a’、62bと62b’には、実施形態2と同様に図5
に示す交流電圧6a,6bまたは6b’を印加してもよ
いし、全ての誘導電極に同じ交流電圧を印加してもよ
い。また、分割された放電電極は互いに異なる電圧が印
加されるため、電極間での異常放電が起きないように、
分割された電極間は、絶縁性の樹脂、例えばシリコーン
やエポキシ等の絶縁性接着材を充填したり、電極成形工
程においてガラスやセラミックの印刷ペーストを塗布し
たのち焼成したりすることにより封止される。但し、本
発明は封止方法を限定するものではなく、また本実施形
態では誘導電極が4列、放電電極を2分割した例を示し
たが、本発明は誘導電極の本数、放電電極の分割数を限
定するものではない。 (第9実施形態)次に、本発明の第9実施形態につい
て、図18を参照して説明する。
【0030】図18に、第9実施形態の放電装置の断面
と荷電粒子生成駆動手段の一例を示す。本実施形態が、
図15に示した第7実施形態のグリッド電極を設けた放
電装置と異なる点は、グリッド電極を、矢印Pで示すプ
ロセス方向に対してグリッド電極9a、9bに2分割
し、その上流側のグリッド電極9aに、下流側のグリッ
ド電極9bよりも、絶対値が小さい制御電圧を印加する
点にある。具体的には、分割されたグリッド電極9aに
制御電源7aから制御電圧として−100V〜−800
V、好ましくは最終帯電電圧の略半分である−400〜
−500Vを印加し、一方のグリッド電極9bに制御電
源7bから制御電圧として−900Vを印加することに
より、被帯電体との距離0.3〜2mmにおいて、略−
830Vの均一な帯電を行うことができる。その際、制
御電圧以外の駆動パラメータは第7実施形態と同様とし
た。また、分割されたグリッド電極9a,9bには互い
に異なる電圧が印加されるため、電極間での異常放電が
生起しないように、電極間が絶縁性の樹脂、例えばシリ
コーンやエポキシ等の絶縁性接着材で封止される。 (第10実施形態)次に本発明の第10実施形態につい
て、図19,図20を参照して説明する。図19は、第
10実施形態の放電装置の電極形状を示す拡大図であ
る。放電装置の構成要素、作成方法の一例としては、実
施形態1と同様のパラメータを用いることができる。図
20に、図19のJ−J’断面と荷電粒子生成駆動手段
の一例を示す。図7に示す第2実施形態と異なる点は、
4列の誘導電極62a,62b,62c,62dに交流
電圧を印加する交流電源6a,6b,6c,6dとし
て、そのピーク電圧Vが6a<6b<6c<6dとなる
ものを用いた点にある。これにより、矢印Pで示すプロ
セス方向の下流側の開口部における荷電粒子生成量を上
流側の開口部における荷電粒子生成量よりも多くした。
本放電装置を帯電工程に用いたところ均一な帯電を行う
ことができる。具体例として、その電圧周波数fを10
〜20kHzとしたとき、V(6a)=1.8kVpp
V(6b)=1.9kVpp,V(6c)=2.0k
pp,V(6d)=2.1kVppとした。ここで、交流
電源6a,6b,6c,6dから、その電圧周波数が6
a<6b<6c<6dとなるように電圧を印加しても同
様の効果が得られた。具体例として、電圧Vを2.0〜
2.2kVppとしたとき、f(6a)=5kHz,f
(6b)=10kHz,f(6c)=15kHz,f
(6d)=20kHzとした。ただし、帯電速度によっ
ては上記具体例に限定されるものではなく、電圧と周波
数の組合せは上記関係式を満たす範囲で設定される。ま
た、本実施形態の場合、4列の開口65a,65b,6
5c,65dのうち、3、4列目の開口65c,65d
が、1,2列目の開口65a,65bとプロセス方向に
対して略同位置になるように配置した。これにより、上
流側で形成される電位分布の凹部へより効率的に荷電粒
子を供給することが出来、より均一な帯電を行うことが
できる。なお、本実施形態では誘導電極が4列の例を示
したが、本発明は誘導電極が4列の例を示したが、本発
明は誘導電極の本数を限定するものではない。 (第11実施形態)次に、本発明の第11実施形態につ
いて、図21,図22を参照して説明する。図21は、
第11実施形態の放電装置の電極形状を示す拡大図であ
る。装置の構成要素、作成方法の一例としては、実施形
態1と同様のパラメータを用いることができる。
【0031】図22に、図21のK−K’断面と荷電粒
子生成駆動手段を示す。図22に示す装置では、実施形
態1と同様に交流電圧6a,6bまたは6b’を各々誘
導電極2aと2a’,2bと2b’に印加することによ
り、プロセス方向の下流側の開口(本発明にいう第2の
開口)5b,5b’における荷電粒子生成量を上流側の
開口(本発明にいう第1の開口)5a,5a’における
荷電粒子生成量よりも多くした。本放電装置を帯電工程
に用いたところ均一な帯電を行うことができる。また、
本実施形態の場合、4列の5a,5b,5a’,5b’
のうち、3、4列目の開口5a’,5b’が、1、2列
目の開口5a,5bとプロセス方向に対して略同位置に
配置したことにより、上流側で形成される電位分布の凹
部へより効率的に荷電粒子を供給することが出来、より
均一な帯電を行うことができる。なお、本実施形態では
誘導電極が4列の例を示したが、本発明は誘導電極の本
数を限定するものではない。 (第12実施形態)次に本発明の第12実施形態につい
て、図23,図24を参照して説明する。図23は、第
12実施形態の放電装置の電極形状を示す拡大図であ
る。本実施形態が図11の第4実施形態と異なる点は、
4列の誘導電極72a,72b,72c,72dのう
ち、矢印Pで示すプロセス方向の下流側の誘導電極の電
極幅を上流側の誘導電極の電極幅より広くする、すなわ
ち電極幅をLWとすれば、LW(72a)<LW(72
b)<LW(72c)<LW(72d)とすることによ
り、上流側と下流側の放電領域面積を変え、荷電粒子生
成量を変えた点にある。具体例として、LW(2a)=
100μm,LW(2b)=150μm,LW(2c)
=200μm,LW(2d)=250μmとした。
【0032】図24に、図23のL−L’断面とその荷
電粒子生成駆動手段を示す。ここで、実施形態3と同様
の駆動条件で被帯電体8を帯電させたところ、均一な帯
電を行うことができる。また、本実施形態においては、
上述実施形態2と同様に、4列の開口75a,75b,
75c,75d(開口75a,75cが本発明にいう第
1の開口であり、開口75b,75dが本発明にいう第
2の開口である。)のうち、3、4列目の開口75c,
75dが1、2列目の開口75a,75b’とプロセス
方向に対して略同位置に配置したことにより、上流側で
形成される電位分布の凹部へより効率的に荷電粒子を供
給することが出来、より均一な帯電を行うことができ
る。なお、本実施形態では誘導電極が4列の例を示した
が、本発明は誘導電極の本数を限定するものではない。 (第13実施形態)次に本発明の第13実施形態につい
て、図25,図26を参照して説明する。図25は、第
13実施形態の放電装置の電極形状を示す拡大図であ
る。本実施形態が、図9の第3実施形態と異なる点は、
4列の誘導電極2a,2c,2a’,2c’を備え、放
電電極4に4列の開口5a,5c,5a’,5c’(開
口5a,5a’が本発明にいう第1の開口であり、開口
5c,5c’が本発明にいう第2の開口である。)を配
列した点にある。各開口5a,5c,5a’,5c’
は、図11に示す開口と同様に配置されており、各開口
5a,5c,5a’,5c’が誘導電極2a,2c,2
a’,2c’に対応する位置に配置されている。矢印P
で示すプロセス方向の下流側の誘導電極2c,2c’の
電極幅を、上流側の誘電電極2a,2a’の電極幅より
広くすることにより、上流側と下流側の放電領域面積を
変えた。電極構成としては、実施形態3と同様のパラメ
ータを用いることが出来る。図26に、図25のM−
M’断面とその荷電粒子生成駆動手段を示す。ここで、
実施形態3と同様の駆動条件で被帯電体8を帯電させる
ことにより、均一な帯電を行うことができる。また、本
実施形態においては、実施形態2と同様に、4列の5
a,5c,5a’,5c’のうち3、4列目の開口5
a’,5c’が1、2列目の開口5a,5c’とプロセ
ス方向に対して略同位置になるように配置されているこ
とにより、上流側で形成される電位分布の凹部へより効
率的に荷電粒子を供給することが出来、より均一な帯電
を行うことができる。なお、本実施形態では誘導電極が
4列の例を示したが、本発明は誘導電極の本数を限定す
るものではない。 (第14実施形態)次に本発明の第14実施形態につい
て、図27,図28を参照して説明する。図27は、第
14実施形態の放電装置の電極形状を示す拡大図であ
る。本実施形態では、4列の誘導電極2a,2b,2
c,2dを設け、放電電極94a,94b,94c,9
4dの開口95a,95b,95c,95d(開口95
a,95cが本発明にいう第1の開口であり、開口95
b,95dが本発明にいう第2の開口である。)を、第
2実施形態のものと同様に配列し、各開口が誘導電極2
a,2b,2c,2dに対応する位置に配置した。さら
に、放電電極94a,94b,94c,94dをプロセ
ス方向に対して4分割した。装置の構成要素、作成方法
の一例としては、実施形態2と同様のパラメータを用い
た。
【0033】図28に、図27のN−N’断面と荷電粒
子生成駆動手段を示す。図28において、分割された放
電電極94a,94b,94c,94dに、制御電源7
a,7b,7c,7dから制御電圧を印加する。ここ
で、制御電源7a,7b,7c,7dでは、プロセス方
向の上流側の放電電極に印加される制御電圧の絶対値が
下流側の放電電極に印加される制御電圧の絶対値よりも
小さくなるように電圧が設定される。すなわち、電圧の
絶対値において、7a<7b<7c<7dなる関係とな
るように設定する。具体例として、V(7d)=−90
0V、V(7c)=−800〜900V,V(7b)=
−600〜700V,V(7a)=−400〜500V
に設定した。このとき、誘導電極2a,2b,2c,2
dには、実施形態2と同様に図5に示す交流電圧6a,
6bまたは6b’を印加してもよいし、全ての誘導電極
に同じ交流電圧値を印加してもよい。また、分割された
放電電極は互いに異なる電圧が印加されるため、電極間
での異常放電が起きないように、分割された電極間は、
絶縁性の樹脂、例えばシリコーンやエポキシ等の絶縁性
接着材を充填したり、電極形成工程においてガラスやセ
ラミックの印刷ペーストを塗布したのち焼成することに
より封止されている。但し、本発明は封止方法を限定す
るものではなく、また本実施形態では誘導電極が4列、
放電電極を4分割した例を示したが、本発明は誘導電極
の本数、放電電極の分割数を限定するものではない。 (第15実施形態)次に、本発明の第15実施形態につ
いて、図29、図30を参照して説明する。
【0034】図29は、第15実施形態の放電装置の電
極形状を示す拡大図である。本実施形態では、4列の誘
導電極2a、2b、2a’、2b’が設けられ、各放電
電極104a、104b、104a’、104b’に4
列の開口105a、105b、105a’、105b’
(開口105a,105a’が本発明にいう第1の開口
であり、開口105b,105b’が本発明にいう第2
の開口である。)を、第4実施形態の開口と同様に形成
した。開口105a、105b、105a’、105
b’は誘導電極2a、2b、2a’、2b’に対応する
位置に配置されている。さらに、本実施形態の放電装置
は、プロセス方向に4分割された放電電極104a、1
04b、104a’、104b’を備えている。装置の
構成要素、作成方法の一例としては、実施形態2と同様
のパラメータを用いた。
【0035】図30に、図29のO−O’断面と荷電粒
子生成駆動手段を示す。分割された放電電極104a、
104b、104a’、104b’に制御電極7a、7
bから制御電極を印加する。ここで、制御電極7a、7
bでは、放電電極104a、104a’に印加される制
御電圧の絶対値が放電電極104b、104b’に印加
される制御電圧の絶対値よりも小さくなるように電圧設
定されている。本実施形態では、制御電源7aが−10
0V〜−800V、好ましくは最終帯電電圧の略半分で
ある−400〜−500Vとなるように設定し、制御電
源7bが−900Vとなるように設定することにより、
被帯電体との距離0.5〜1mmにおいて均一な帯電を
行うことができる。このとき、誘導電極2a,2b,2
a’、2b’には、実施形態2と同様に、図5に示す交
流電圧6a、6bまたは6b’を印加してもよいし、全
ての誘導電極に同じ交流電流電圧値を印加してもよい。
また、分割された放電電極は互いに異なる電圧が印加さ
れるため、電極間での異常放電が起きないように、分割
された電極間は、絶縁性の樹脂、例えばシリコンやエポ
キシ等の絶縁性接着剤を充填したり、電極形成工程にお
いてガラスやセラミックの印刷ペーストを塗布した後焼
成することにより封止される。但し、本発明は封止方法
を限定するものではなく、また本実施形態では誘導電極
が4列、放電電極を4分割した例を示したが、本発明は
誘導電極の本数、放電電極の分割数を限定するものでは
ない。 (16実施形態)次に、本発明の第16実施形態につい
て、図31を参照して説明する。図31は、第16実施
形態の放電装置の断面図である。本放電装置は、図28
で示される第14実施形態の放電装置に、荷電粒子の加
速と制御のためにグリッド電極9を設けたものである。
放電電極94a、94b、94c、94dとグリッド電
極9との間に荷電粒子加速電源10a、10b、10
c、10dから加速電圧を印加する。グリッド電極9に
は、荷電粒子の供給を制御するために、制御電源7から
制御電圧を印加する。グリッド電極9と加速電圧以外は
実施形態14と同様の構成パラメータ及び駆動条件を用
いた。具体的には、放電電極の開口すなわち荷電粒子生
成領域に対応した部分に開口径50μm以上(製造性か
ら好ましくは100μm以上)の開口をエッチングやレ
ーザ加工等により設けた厚さ10〜300μm(製造性
と取扱い易さから好ましくは30〜100μm)のステ
ンレス等の金属板を、放電電極から距離100μm〜2
mm(取付精度と荷電粒子加速効果から好ましくは20
0μm〜1mm)の位置に絶縁性部材からなるスペーサ
を介して配置し、放電電極94a、94b、94c、9
4dとグリッド電極9との間に加速電圧としてその電位
差が50〜500Vとなる電圧を電極間距離に応じて印
加した。具体例として、|V(10a)|=150V、
|V(10b)|=200V、|V(10c)|=25
0V、|V(10d)|=300Vとした。グリッド電
極9と被帯電体8の距離を0.2〜5mm(設定精度と
帯電電位制御性から好ましくは0.3〜2mm)に設定
して、グリッド電極9に制御電圧として−900Vを印
加して被帯電体8を帯電した。この結果、被帯電体8を
略−830Vに均一に帯電することができる。また、グ
リッド電極9を設けることにより、トナー等の汚れがグ
リッド電極9に捕獲され、放電装置の放電領域に付着せ
ず、長期に渡って安定した放電を行うことができる。こ
こで、グリッド電極の開口は、その開口ピッチが放電電
極開口ピッチより小さければ、必ずしも放電電極開口部
即ち荷電粒子生成領域に対応した部分に設けられていな
くてもよい。また、グリッド電極の開口形状はなんでも
よく、従来のスコロトロン等で用いられているグリッド
電極でもよいし、金属ワイヤ等で編まれたメッシュでも
よい。 (第17実施形態)次に、本発明の第17実施形態につ
いて、図32を用いて説明する。図32は、第17実施
形態の放電装置の断面図である。本放電装置は図30に
示される第15実施形態の放電装置に荷電粒子の加速と
制御用にグリッド電極9を設けたものである。したがっ
て、放電電極104a、104b、104a’、104
b’(図30参照)とグリッド電極9との間には、荷電
粒子加速電源10a、10bから加速電圧を印加する。
グリッド電極9には、荷電粒子の供給を制御するため
に、制御電源7から制御電圧を印加する。グリッド電極
9と加速電圧以外は実施形態15と同様の構成パラメー
タ及び駆動条件を用いた。グリッド電極は、実施形態1
6と同様の構成パラメータを用いた。放電電極104a
と104a’、104bと104b’(図30参照)と
グリッド電極9の間に加速電圧として、その電位差が5
0〜500Vとなる電圧を電極管距離に応じて印加し
た。具体例として|V(10a)|=150V、|V
(10b)|=250Vとした。グリッド電極9と被帯
電体8の距離を0.2〜5mm(設定精度と帯電電位制
御性から好ましくは0.3〜2mm)に設定して、グリ
ッド電極9に制御電圧として−900Vを印加して被帯
電体8を帯電したところ、略−830Vに均一に帯電す
ることができた。また、グリッド電極9を設けることに
より、トナー等の汚れがグリッド電極9に捕獲され、放
電装置の放電領域に付着せず、長期に渡って安定した放
電を行うことができる。ここで、グリッド電極の開口
は、その開口ピッチが放電電極開口ピッチより小さけれ
ば、必ずしも放電電極開口部すなわち荷電粒子生成領域
に対応した部分に設けられていなくてもよい。また、グ
リッド電極の開口形状はなんでもよく、従来のスコロト
ロン等で用いられているグリッド電極でもよいし、金属
ワイヤ等で編まれたメッシュでもよい。 (第18実施形態)次に、本発明の第18実施形態につ
いて図33を参照し説明する。
【0036】図33に第18実施形態の放電装置の断面
と荷電粒子生成駆動手段を示す。本実施形態では、矢印
で示すプロセス方向に対して4分割グリッド電極9a、
9b、9c、9dを備え、プロセス方向上流側のグリッ
ド電極に、下流側のグリッド電極よりもその絶対値が小
さい制御電極を印加する。すなわち、制御電極の絶対値
において、9a<9b<9c<9dとなるように電圧を
印加する。具体例として、分割されたグリッド電極群の
V(9d)=−900V、V(9c)=−800〜90
0V、V(9b)=−600〜700V、V(9a)=
−400〜500Vに設定した。このとき、誘導電極2
a、2b、2c、2dには、実施形態2と同様に図5に
示す交流電圧6a、6bまたは6b’を印加してもよい
し、全ての誘導電極に同じ交流電圧値を印加してもよ
い。また、加速電圧10a、10b、10c、10d
を、実施形態16の加速電圧と同様に設定してもよい
し、全ての加速電圧を同じに設定してもよい。また、分
割されたグリッド電極は、互いに異なる電圧が印加され
るため、電極間での異常放電が生起しないように電極間
は絶縁性の樹脂、例えばばシリコーンやエポキシ等の絶
縁性接着材で封止される。
【0037】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の第1の放電
装置は、第1の開口と第2の開口が形成された放電電極
を備え、荷電粒子駆動手段を用いて、第1の開口で生成
される荷電粒子が被帯電体へ供給される量よりも、第2
の開口で生成される荷電粒子が被帯電体へ供給される量
が多くなるようにしたので被帯電体を均一に帯電でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である放電装置の平面図
である。
【図2】図1に示す放電装置の電極形状を示す拡大図で
ある。
【図3】図1に示す放電装置の図2中のA−A’断面図
である。
【図4】図1に示す放電装置を利用した電子写真式の画
像形成装置を示す概略構成図である。
【図5】放電電極の開口幅を振った放電実験により求ま
った放電電流とガス発生濃度の関係を示す図である。
【図6】第1実施形態の放電装置を駆動するための駆動
電源の電圧波形図である。
【図7】本発明の第2実施形態である放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図8】図7に示す放電装置のB−B’断面図である。
【図9】本発明の第3実施形態である放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図10】図9に示す放電装置のC−C’断面図であ
る。
【図11】本発明の第4実施形態である放電装置の電極
形状を示す拡大図である。
【図12】図11に示す放電装置のD−D’断面図であ
る。
【図13】本発明の第5実施形態ある放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図14】本発明の第6実施形態ある放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図15】本発明の第7実施形態である放電装置の断面
図である。
【図16】本発明の第8実施形態である放電装置の電極
形状を示す拡大図である。
【図17】図11に示す放電装置のE−E’断面図であ
る。
【図18】本発明の第9実施形態である放電装置の断面
図である。
【図19】本発明の第10実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図20】図19に示す放電装置のJ−J’断面図であ
る。
【図21】本発明の第11実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図22】図21に示す放電装置のK−K’断面図であ
る。
【図23】本発明の第12実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図24】図23に示す放電装置のL−L’断面図であ
る。
【図25】本発明の第13実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図26】図25に示す放電装置のM−M’断面図であ
る。
【図27】本発明の第14実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図28】図27に示す放電装置のN−N’断面図であ
る。
【図29】本発明の第15実施形態の放電装置の電極形
状を示す拡大図である。
【図30】図29に示す放電装置のO−O’断面図であ
る。
【図31】本発明の第16実施形態の放電装置の断面図
である。
【図32】本発明の第17実施形態の放電装置の断面図
である。
【図33】本発明の第18実施形態の放電装置の断面図
である。
【図34】従来の放電装置の断面図である。
【図35】従来のドット・マトリクス型イオン発生装置
の電極形状を示す拡大図である。
【図36】従来の加熱式放電装置の断面図である。
【図37】従来の放電装置の他の例を示す拡大平面図で
ある。
【図38】図37に示す従来の放電装置を帯電に適用し
た際の、被帯電体と放電電極との間に出来る等電位線と
電界を計算により求めた結果を示すグラフである。
【符号の説明】
P プロセス方向 2a,2b,2c 誘導電極 3 誘電体 4,64a,64b,94a,94b,94c,94
d,104a,104b,104a’,104b’ 放
電電極 5,5a,5a’,65a,65b,75a,75d,
75c,85a,90a,95a,95c,105a,
105a’ 第1の開口 5’,5b,5b’,5c,5c’,65a’,65
b’,75b,75d,85b,90b,95b,95
d,105b,105b’ 第2の開口 6a,6b 交流電源 7 直流電源 7a,7b,7c,7d,67a,67b 制御電源 8 被帯電体 9,9a,9b グリッド電極 10 放電装置 11 荷電粒子発生部 62a,62a’,62b,62b’,72a,72
a’,72d,72d’,92a,92c 誘導電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定のプロセス方向に相対移動する被帯
    電体に対向して配置される、 誘電体層と、 該誘電体層の、前記被帯電体から離れた側の面に積層さ
    れた、前記プロセス方向に交わる所定の幅方向に延びる
    少なくとも2列の誘導電極と、 前記少なくとも2列の誘導電極のうち相対的に前記プロ
    セス方向上流側に形成された第1の誘導電極に対し前記
    誘電体層を介して向き合う位置に前記幅方向に所定のピ
    ッチで形成された第1の開口、及び前記少なくとも2列
    の誘導電極のうち相対的に前記プロセス方向下流側に形
    成された第2の誘導電極に対し前記誘電体層を介して向
    き合う位置であって、かつ、前記複数の第1の開口のう
    ち隣接するものどうしの間に対応する位置に、前記幅方
    向に所定のピッチで形成された第2の開口からなる少な
    くとも2列の複数の開口を有する、前記誘電体層の前記
    被帯電体側の面に積層された放電電極とを有する荷電粒
    子発生部を具備するとともに、 前記複数の第1の開口で生成される荷電粒子の前記被帯
    電体への相対的に低い供給能力と、前記複数の第2の開
    口で生成される荷電粒子の前記被帯電体への相対的に高
    い供給能力とをもって、前記少なくとも2列の複数の開
    口で荷電粒子を生成して、生成された荷電粒子を前記被
    帯電体に向けて駆動する荷電粒子生成駆動手段が組み込
    まれてなることを特徴とする放電装置。
  2. 【請求項2】 前記荷電粒子生成駆動手段が、前記複数
    の第1の開口で生成される荷電粒子の生成量よりも大き
    な生成量をもって前記複数の第2の開口で荷電粒子を生
    成する手段を有するものであることを特徴とする請求項
    1記載の放電装置。
  3. 【請求項3】 前記荷電粒子生成駆動手段が、前記複数
    の第1の開口で生成される荷電粒子を前記被帯電体に向
    けて駆動する駆動力よりも大きな駆動力をもって前記複
    数の第2の開口で生成された荷電粒子を前記被帯電体に
    向けて駆動する手段を有するものであることを特徴とす
    る請求項1記載の放電装置。
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