JPH09129585A - 石英ヒータモニタリングシステムを具備したウエットステーション装置 - Google Patents

石英ヒータモニタリングシステムを具備したウエットステーション装置

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JPH09129585A
JPH09129585A JP8254252A JP25425296A JPH09129585A JP H09129585 A JPH09129585 A JP H09129585A JP 8254252 A JP8254252 A JP 8254252A JP 25425296 A JP25425296 A JP 25425296A JP H09129585 A JPH09129585 A JP H09129585A
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永煥 尹
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 石英ヒータモニタリングシステムを具備した
ウエットステーション装置を提供する。 【解決手段】 化学薬品溶液１１が入っている薬液槽２
１と、化学薬品溶液１１の温度を感知する温度感知手段
３１と、温度感知手段３１により感知された温度を所定
の設定された基準温度と比較してその結果を制御信号と
して出力する温度制御手段４１と、化学薬品溶液１１を
加熱する石英ヒータ５１と、制御信号を供され石英ヒー
タ５１に印加される電源供給量を調節する電源供給制御
手段６１と、電源供給制御手段６１に連結され外部から
入力される加熱始発信号を入力信号にして電源の開閉役
割を果たす印加電源開閉器７１とを具備したウエットス
テーション装置において、石英ヒータ５１及び電源供給
制御手段６１の動作状態を判断し使用者に知らせるヒー
タモニタリングシステムを更に具備することにより、工
程進行速度が増加し、大型工程事故を防止することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハの洗
浄又は蝕刻作業に用いられるウエットステーション装置
に係り、特に石英ヒータモニタリングシステムを具備し
たウエットステーション装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】洗浄又は湿式蝕刻作業をするためには、
ウエットステーション(Wet Station)装置の薬液槽(chem
ical bath)に入っている化学薬品溶液を適正な温度まで
加熱する必要がある。このとき、加熱のためにヒータ線
が用いられている。ところが、前記ヒータ線が化学薬品
溶液に直接触れると、化学薬品によりたやすく腐蝕され
損なわれる。かつ、ヒータ線に存在する望ましくない不
純物により化学薬品溶液が汚染され得る。従って、この
ような問題を防止するためにヒータ線を密封された石英
管に入れて用いている。このような形態のヒータを石英
ヒータという。
【０００３】図１は従来のウエットステーション装置を
示した概略図である。具体的に、参照符号１０は半導体
ウェーハの洗浄又は湿式蝕刻作業に用いられる化学薬品
溶液、２０は前記化学薬品溶液１０が入っている薬液
槽、３０は前記化学薬品溶液１０の温度を感知するため
の温度感知手段、４０は前記温度感知手段３０で感知さ
れた温度を所定の設定された基準温度と比較してその結
果を制御信号（Ｎ１）として出力する温度制御手段、５
０は前記化学薬品溶液１０を加熱するための石英ヒー
タ、６０は前記制御信号（Ｎ１）を入力信号にして前記
石英ヒータ５０に印加される電源供給量を調節する電源
供給制御手段、７０は前記電源供給制御手段６０に連結
され前記石英ヒータ５０に印加される電源の開閉の役割
を果たす印加電源開閉器、８０は洗浄又は湿式蝕刻工程
時ウェーハカセットと前記石英ヒータ５０が直接接触さ
れないようにウェーハカセットが置かれるテフロンの
蓋、９０は石英ヒータ５０の電源コネクタをそれぞれ表
す。ここで、前記石英ヒータ５０は前記化学薬品溶液１
０に入っているので従来のウエットステーション装置で
は次のような問題が発生する。
【０００４】第１、前記石英ヒータ５０を前記化学薬品
１０内で長時間用いると前記石英ヒータ５０の石英管と
前記化学薬品１０が化学反応を起こす。従って、前記石
英管の表面にピンホールが生じたり外部の微小な衝撃に
より前記石英管が壊れたりする。従って、前記石英管５
０のヒータ線が前記化学薬品に露出され容易に腐蝕され
る上に前記ヒータ線に存在する望ましくない不純物によ
り前記化学薬品溶液１０が汚染される。
【０００５】一方、前記テフロン蓋８０が前記石英ヒー
タ５０を覆っており前記石英管が損なわれたことを肉眼
で確認することが難しい。かつ、従来のウエットステー
ション装置は前記石英管が損なわれた場合にこれを自動
的に感知し得る手段が無いので大型工程事故をもたら
す。
【０００６】第２、一つの薬液槽に多数の石英ヒータが
装着された場合には、そのうち一つの石英ヒータのヒー
タ線が化学薬品により腐蝕され断線となっても工程は引
き続き行われる。従って、定められた温度までの加熱時
間が遅延され工程進行速度が減少される。
【０００７】第３、前記電源供給制御手段６０に異常が
ある時これを即時に感知し得る装置が無いため、前記石
英ヒータ５０が加熱されてから初めて警告信号を発す
る。
【０００８】前述したように、従来の半導体ウェーハの
洗浄又は湿式蝕刻作業に用いられるウエットステーショ
ン装置は石英ヒータの石英管が損なわれた場合や電源供
給制御手段に異常がある場合、これを即時に感知し得る
装置がないので大型工程事故が発生するようになる。
【０００９】
【発明が解決しょうとする課題】本発明は石英ヒータ又
は電源供給制御手段に異常がある場合、前記異常を即時
に感知して知らせる石英ヒータモニタリングシステムを
具備したウエットステーション装置を提供するにその目
的がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、化学薬品溶液が入っている薬液槽と、前記
化学薬品溶液の温度を感知する温度感知手段と、前記温
度感知手段から感知された温度を所定の設定された基準
温度と比較してその結果を制御信号として出力する温度
制御手段と、前記化学薬品溶液を加熱する石英ヒータ
と、前記制御信号を供され前記石英ヒータに印加される
電源供給量を調節する電源供給制御手段と、前記電源供
給制御手段に連結され加熱始発信号を供され電源の開閉
役割を果たす印加電源開閉器と、前記石英ヒータ及び電
源供給制御手段に連結され前記石英ヒータ及び前記電源
供給制御手段の動作状態を判断し、判断された状態を使
用者に知らせるヒータモニタリングシステムを具備する
ことを特徴とするウェットステーション装置を提供す
る。
【００１１】ここで、前記ヒータモニタリングシステム
は前記温度制御手段から出力される制御信号を供され、
前記石英ヒータへの電源印加量を増加させることを指示
する第１信号又は電源の印加の減少を指示する第２信号
を選択的に出力する第１比較手段と、前記石英ヒータと
前記印加電源開閉器との間に設けられ前記石英ヒータに
流れる電流の変化量を感知しこれを電圧に変換する電流
／電圧変換器と、前記電流／電圧変換器から供される電
圧信号を所定の基準値と比較して前記石英ヒータに流れ
る電流の変化量が前記所定の基準値に対応する電流の変
化量より小さいと第３信号を出力し、前記所定の基準値
に対応する電流の変化量より大きいと第４信号を出力す
る第２比較手段と、前記第１比較手段及び第２比較手段
の出力信号を入力信号にして前記石英ヒータ及び電源供
給制御手段の動作状態を判断する状態判断手段と、前記
状態判断手段で判断された石英ヒータ及び電源供給制御
手段の動作状態を使用者に示す表示手段とを具備する。
【００１２】かつ、前記状態判断手段は、第１比較手段
が第１信号を出力し前記第２比較手段が第３信号を出力
する場合又は前記第１比較手段が第２信号を出力し前記
第２比較手段が第４信号を出力する場合は前記石英ヒー
タ及び前記電源供給制御手段が正常状態であることを示
す第５信号を出力し、前記第１比較手段が第１信号を出
力し前記第２比較手段が第４信号を出力する場合は前記
石英ヒータに異常があることを示す第６信号を出力し、
前記第１比較手段が第２信号を出力し前記第２比較手段
が第３信号を出力する場合は前記電源供給制御手段に異
常があることを示す第７信号をそれぞれ出力する第１分
析器と、前記石英ヒータ及び電源供給制御手段に異常が
あると判断した時に前記加熱始発信号を遮断して電源供
給を中断させる信号遮断器と、前記加熱始発信号が遮断
された場合には前記第１比較手段及び第２比較手段で供
される信号の如何を問わず石英ヒータ及び電源供給制御
手段の動作状態に異常が無いと判断する第２分析器とを
含む。
【００１３】本発明によると、ウエットステーション装
置において、石英ヒータ又は電源供給制御手段に異常が
ある場合、これを即時に感知して知らせるヒータモニタ
リングシステムを更に具備することにより、工程進行速
度を増加させることができて、また、大型工程事故を防
止することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の実施例を更に詳細に説明する。図２は本発明の石英
ヒータモニタリングシステムを具備したウエットステー
ション装置を示した概略図である。具体的に、参照符号
１１は半導体ウェーハの洗浄又は湿式蝕刻作業に用いら
れる化学薬品溶液、２１は前記化学薬品溶液１１が入っ
ている薬液槽、３１は前記化学薬品溶液１１の温度を感
知するため前記化学薬品溶液１１に胴体の一部が浸され
ている温度感知手段、４１は前記温度感知手段３１によ
り感知された温度を所定の設定された基準温度と比較し
てその結果を制御信号（Ｎ３）に出力する温度制御手
段、５１は前記化学薬品溶液１１を加熱するための石英
ヒータ、６１は前記制御信号（Ｎ３）を入力信号にして
前記石英ヒータ５１に印加される電源供給量を調節する
電源供給制御手段、７１は前記電源供給制御手段６１に
連結され加熱始発信号（Ｎ２）を入力信号にして電源の
開閉役割を果たす印加電源開閉器、８１は洗浄又は湿式
蝕刻工程を経る半導体ウェーハが装着されたウェーハカ
セットが直接前記石英ヒータ５１に触れないように保つ
ため前記化学薬品溶液１１に浸かっているテフロンの蓋
を、８５は石英ヒータ５１の電源コネクタをそれぞれ示
す。かつ、９１は前記温度制御手段４１から出力される
前記制御信号（Ｎ３）を供され、この制御信号（Ｎ３）
が現在前記石英ヒータ５１に電源を更に印加すべきこと
を示す第１信号であるか又は電源の印加を減少すべきこ
とを示す第２信号であるかを判断する第１比較手段、１
０１は前記石英ヒータ５１と前記印加電源開閉器７１と
の間に設けられ前記石英ヒータ５１に流れる電流の変化
量を感知して電圧に変換する電流／電圧変換器、２０１
は前記電流／電圧変換器１０１から供される電圧信号を
所定の基準値と比較して前記石英ヒータ５１に流れる電
流の変化量が前記所定の基準値に対応する電流の変化量
より小さいと第３信号を出力し、前記所定の基準値に対
応する電流の変化量より大きいと第４信号を出力する第
２比較手段、３０１は前記第１比較手段９１及び第２比
較手段２０１の出力信号を入力信号にして前記石英ヒー
タ５１及び電源供給制御手段６１の動作状態を判断する
状態判断手段、４０１は前記状態判断手段３０１で石英
ヒータ又は電源供給制御手段の動作状態に異常があると
判断されるとこれを使用者に知らせる表示手段をそれぞ
れ表す。
【００１５】ここで、前記状態判断手段３０１は第１比
較手段９１が第１信号を出力し前記第２比較手段２０１
が第３信号を出力する場合又は前記第１比較手段９１が
第２信号を出力し前記第２比較信号２０１が第４信号を
出力する場合は正常状態を示す第５信号、前記第１比較
手段９１が第１信号を出力し前記第２比較手段２０１が
第４信号を出力する場合は前記石英ヒータに異常がある
状態であることを示す第６信号、前記第１比較手段９１
が第２信号を出力し前記第２比較手段２０１が第３信号
を出力する場合は前記電源供給制御手段に異常がある状
態であることを示す第７信号をそれぞれ出力しその結果
を前記表示手段４０１に供する第１分析器３１１と、前
記第１分析器３１１から出力される信号を供され前記石
英ヒータ又は電源供給制御手段に異常があると判断した
時電源供給を中断させる信号遮断器３２１、前記加熱始
発信号が遮断された場合には前記第１比較手段及び第２
比較手段から供された信号の如何を問わず石英ヒータ及
び電源供給制御手段の動作状態に異常がないと判断しそ
の結果を前記表示手段４０１に供する第２比較分析器３
３１とを含む。
【００１６】一方、前記表示手段４０１は使用者に聴覚
的に警告するアラームを用いたり視覚的に警告するラン
プを用いることができる。そして、前記電源供給制御手
段６１が半導体継電器装置(Solid State Relay Unit; S
SR unit)である場合は前記制御信号（Ｎ３）として直流
０〜５Ｖ，０〜１０Ｖ，０〜２４Ｖのうち選択されたい
ずれかの一つを用いることができる。かつ、前記電流／
電圧変換器１０１は前記石英ヒータ５１に流れる電流の
変化量を０〜５Ｖの電圧範囲に変換させることを用いる
ことができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明よると、石英ヒータ又は電源供給
制御手段に異常がある場合、これを即時に感知して知ら
せるヒータモニタリングシステムを更に具備することに
より、工程信号速度が増加され、大型工程事故を防止す
ることができる。
【００１８】本発明は前記実施例に限られず、多くの変
形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識
を有する者により可能であることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来のウエットステーション装置を示した概
略図である。
【図２】 本発明の石英ヒータモニタリングシステムを
具備したウエットステーション装置を示した概略図であ
る
【符号の説明】
１０ 化学薬品溶液、２０ 薬液槽、３０ 温度感知手
段、４０ 温度制御手段、５０ 石英ヒータ、６０ 電
源供給制御手段、７０ 印加電源開閉器、８０テフロン
蓋、９０ 電源コネクタ、１１ 化学薬品溶液、２１
薬液槽、３１温度感知手段、４１ 温度制御手段、５１
石英ヒータ、６１ 電源供給制御手段、７１ 印加電
源開閉器、８１ テフロン蓋、８５ 電源コネクタ、９
１ 第１比較手段、１０１ 電流／電圧変換器、２０１
第２比較手段、３０１ 状態判断手段、４０１ 表示
手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尹 敏相 大韓民国京畿道龍仁市柳防洞1007−51番地 仁正プリンスアパート3001棟505號

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 化学薬品溶液が入っている薬液槽と、 前記化学薬品溶液の温度を感知する温度感知手段と、 前記温度感知手段により感知された温度を所定の設定さ
    れた基準温度と比較してその結果を制御信号として出力
    する温度制御手段と、 前記化学薬品溶液を加熱する石英ヒータと、 前記制御信号を供され前記石英ヒータに印加される電源
    供給量を調節する電源供給制御手段と、 前記電源供給制御手段に連結され加熱始発信号を供され
    電源の開閉役割を果たす印加電源開閉器と、 前記石英ヒータ及び電源供給制御手段に連結され前記石
    英ヒータ及び前記電源供給制御手段の動作状態を判断
    し、判断された状態を使用者に知らせるヒータモニタリ
    ングシステムとを具備することを特徴とするウエットス
    テーション装置。
  2. 【請求項２】 前記ヒータモニタリングシステムは前記
    温度制御手段から出力される制御信号を供されこの制御
    信号を判断して、前記石英ヒータへの電源印加量を増加
    させることを示す第１信号又は電源の印加の減少を示す
    第２信号を選択的に出力する第１比較手段と、 前記石英ヒータと前記印加電源開閉器との間に設けられ
    前記石英ヒータに流れる電流の変化量を電圧に変換する
    電流／電圧変換器と、 前記電流／電圧変換器から供される電圧信号を所定の基
    準値と比して前記石英ヒータに流れる電流の変化量が前
    記所定の基準値に対応する電流の変化量より小さいと第
    ３信号を出力し、前記所定の基準値に対応する電流の変
    化量より大きいと第４信号を出力する第２比較手段と、 前記第１比較手段及び第２比較手段の出力信号を入力信
    号にして前記石英ヒータ及び電源供給制御手段の動作状
    態を判断する状態判断手段と、 前記状態判断手段で判断された石英ヒータ及び電源供給
    制御手段の動作状態を使用者に知らせる表示手段とを具
    備することを特徴とする請求項１に記載のウエットステ
    ーション装置。
  3. 【請求項３】 前記状態判断手段は、前記第１比較手段
    が第１信号を出力し前記第２比較手段が第３信号を出力
    する場合又は前記第１比較手段が第２信号を出力し前記
    第２比較手段が第４信号を出力する場合は前記石英ヒー
    タ及び前記電源供給制御手段が正常状態であることを示
    す第５信号を出力し、前記第１比較手段が第１信号を出
    力し前記第２比較手段が第４信号を出力する場合は前記
    石英ヒータに異常があることを示す第６信号を出力し、
    前記第１比較手段が第２信号を出力し前記第２比較手段
    が第３信号を出力する場合は前記電源供給制御手段に異
    常があることを示す第７信号をそれぞれ出力する第１分
    析器と、 前記石英ヒータ及び電源供給制御手段に異常があると判
    断した時に前記加熱始発信号を遮断して電源供給を中断
    させる信号遮断器と、 前記加熱始発信号が遮断された場合には前記第１比較手
    段及び第２比較手段で供される信号の如何を問わず石英
    ヒータ及び電源供給制御手段の動作状態に異常が無いと
    判断する第２分析器とを含むことを特徴とする請求項２
    に記載のウエットステーション装置。
JP8254252A 1995-10-24 1996-09-26 石英ヒータモニタリングシステムを具備したウエットステーション装置 Pending JPH09129585A (ja)

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KR1995-P-036867 1995-10-24
KR1019950036867A KR0161442B1 (ko) 1995-10-24 1995-10-24 석영히터 모니터링 시스템을 구비한 웨트 스테이션 장치

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JPH09129585A true JPH09129585A (ja) 1997-05-16

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