JPH09128750A

JPH09128750A - 磁気記録媒体の製造装置

Info

Publication number: JPH09128750A
Application number: JP28417995A
Authority: JP
Inventors: Kazunobu Chiba; 一信千葉; Jota Ito; 条太伊藤; Tsutomu Takeda; 勉武田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1995-10-31
Filing date: 1995-10-31
Publication date: 1997-05-16

Abstract

(57)【要約】【課題】簡易かつ安価な構造で、蒸着に際してベース
フィルムの熱負けやスプラッシュによる影響を防止す
る。【解決手段】補充のための磁性材料２０をルツボ１９
の長手方向の一端側に吊すワイヤー１と、このワイヤー
１の昇降を制御する制御部２が設けられ、上記ルツボ１
９内に磁性材料２０が連続的に供給される。そして、ワ
イヤー１に吊り下げられた磁性材料２０を加熱する加熱
手段３が設けられてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の製
造装置の技術分野に属するもので、特に、蒸着に際して
ベースフィルムの熱負けやスプラッシュによる影響を防
止する磁気記録媒体の製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、酸化
物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩
化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポリエステル樹脂、
ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機結合剤中に分
散せしめた磁性塗料を非磁性支持体上に塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。

【０００３】これに対して、ビデオテープレコーダー
（ＶＴＲ）等の分野においては、高画質化を図るため
に、高密度磁気記録化が一層強く要求されており、これ
に対応する磁気記録媒体として、Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｃ
ｏ−Ｃｒ系合金、Ｃｏ−Ｏ系等の金属磁性材料を、メッ
キや真空薄膜形成技術（真空蒸着法やスパッタリング
法、イオンプレーティング法等）によってポリエステル
フィルムやポリアミド、ポリイミドフィルム等の非磁性
支持体上に磁性層として直接被着した、いわゆる強磁性
金属薄膜塗布型の磁気記録媒体が提案され注目を集めて
いる。

【０００４】そして、この強磁性金属薄膜塗布型の磁気
記録媒体においては、電磁変換特性を向上させ、より大
きな出力を得ることが出来るようにするために、該磁気
記録媒体の磁性層を形成する場合、磁性層を斜めに蒸着
する斜め蒸着が提案され実用化されている。したがっ
て、このような金属薄膜媒体は、磁気特性的な優位さ故
に今後の高密度磁気記録媒体の主流となると考えられ
る。

【０００５】この真空蒸着法においては、例えば、図４
に示すように、非磁性支持体であるベースフィルム１０
２を外周表面に走行させながら支持する円筒状の冷却キ
ャン１０１と、ルツボ１０３に収容された蒸着源たるＣ
ｏ−Ｎｉ系の強金属磁性材料１０４と、ベースフィルム
１０２の所定範囲を被う入射角制限マスク１０５と、蒸
着源を蒸発させる電子ビーム銃（図示せず）とが、真空
層内に配置されて構成される真空蒸着装置を用いて行わ
れる。

【０００６】この真空蒸着装置では、電子ビーム銃から
放出される電子ビームが蒸着源となる強金属磁性材料１
０４に照射され当該強金属磁性材料１０４を蒸発させる
ことにより、蒸発させられた蒸気粒子はベースフィルム
１０２上に被着された蒸着膜として形成される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この斜方蒸
着テープは、蒸着蒸気を上記入射角制限マスク１０５
（「シャッター」とも呼ばれる。）で遮断して斜め入射
の蒸着成分のみを使用することで優れた磁気特性及び電
磁変換特性を実現している。このため、その他の余分な
金属蒸気成分は水冷された入射角制限マスク１０５に付
着させ、蒸着終了後清掃破棄してしまう。この入射角制
限マスク１０５に付着した磁性材料は蒸着時間が長くな
り付着物の量が多くなると自重で下に落下してしまい粉
塵が発生する。また、一部は蒸着源たる強金属磁性材料
１０４に落下する。この場合には高温で液状になってい
る磁性金属中に、冷却固化した金属が落下するため溶融
合金の飛びはねが発生し、飛沫がベースに被着し、ベー
スフィルム１０２が熱負けしてしまう問題を発生する。

【０００８】また、連続蒸着では、長時間の連続蒸着を
行う場合、ルツボ１０３に磁性材料である合金の供給を
行うことが一般的である。この蒸着時に供給される合金
に含まれる酸化物やカーボンなどの不純物が起因して、
溶融時に発生するスプラッシュによって微少な熱負けが
磁気記録層の部分的な特性劣化を生じ、ベースフィルム
１０２に対する磁気ヘッドの当たり不良やドロップアウ
ト（記録抜け）の原因となっていた。

【０００９】他方、かかる問題を解決する方法として、
この熱負けやスプラッシュを防止する手段が大きいもの
であったり、汎用性に欠けるものであったりすると、既
存の真空蒸着装置に適さず、コストが高くなるおそれが
ある。

【００１０】すなわち、ルツボ１０３への磁性材料の合
金の供給方法は、一般には、（１）この合金を直径１０
ｍｍ以下の細線状に形成して、ルツボ１０３上から連続
的に供給する、いわゆるワイヤー方法や、（２）合金を
直径１０ｍｍ程度で長さ数十ｍｍ程度のペレット状の合
金を一定間隔でルツボ１０３に供給する、いわゆるペレ
ット供給方式、さらに、（３）直径６０〜８０ｍｍの棒
状に加工した合金をルツボ１０３下部又は横方向からか
ら連続的に供給させる、いわゆるロッドフィード方式等
がある。

【００１１】しかしながら、これら（１）〜（３）のい
ずれのものも一長一短がある。

【００１２】まず、（１）のワイヤー方法は、磁性材料
である合金を細線状に加工するための加工費が高く合金
の製造コストが高い。次に、（２）のペレット供給方式
は、ペレット状に加工する加工費が高く、また、ルツボ
１０３の液面にこのペレット状の合金を供給するときに
液面の暴れや、スプラッシュが発生する問題がある。さ
らに、（３）のロッドフィード方式は、合金を棒状に加
工する点では、前記（１）（２）の方式に勝るものの、
直径の大きな合金をルツボ１０３下部又は横方向から供
給する構造をとる必要があるために、蒸着装置の大型化
が避けられず、又、液漏れ対策が必要である等である。

【００１３】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであって、簡易かつ安価な構造で、蒸
着に際してベースフィルムの熱負けやスプラッシュによ
る影響を防止することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、磁性層が形成される非磁性支持体を搬
送しながら冷却する冷却キャンと、磁性層を形成する磁
性材料が充填されるルツボと、ルツボ内の磁性材料に電
子ビームを照射する電子ビーム照射手段を少なくとも有
して、真空蒸着法により非磁性支持体上に強磁性金属薄
膜を磁性層として蒸着させる磁気記録媒体の製造装置に
おいて、補充のための磁性材料をルツボの長手方向の一
端側に吊すワイヤーと、このワイヤーの昇降を制御する
制御部が設けられ、上記ルツボ内に磁性材料が連続的に
供給されることことを特徴とする。

【００１５】また、磁性材料が棒状又は角形形状である
ことを特徴とする。

【００１６】また、ルツボの一端側に傾斜部が設けられ
てなることを特徴とする。

【００１７】また、ルツボの長さが冷却キャンの幅より
も長く形成され、このルツボの冷却キャンから外れた側
の端部に傾斜部が設けられてなることを特徴とする。

【００１８】また、ワイヤーに吊り下げられた磁性材料
を加熱する加熱手段が設けられてなることを特徴とす
る。

【００１９】本発明によれば、制御部により磁性材料が
吊下げられたワイヤーを降下させることにより、ルツボ
内にその一端側から磁性材料の合金を供給させると、連
続的に供給されることとなって、スプラッシュ等の飛散
現象が抑制されることとなる。

【００２０】そして、ルツボの一端側に傾斜部が設けら
れてなることにより、磁性材料がルツボ内に安定して供
給されることとなる。

【００２１】また、ワイヤーに吊り下げられた磁性材料
を加熱する加熱手段が設けられてなることで、供給され
る磁性材料を伝わるようにして熱が伝導し、ルツボの液
面の温度が下がることが防止される。したがって、磁性
材料の加熱効率が図られるとともに、スプラッシュ等の
飛散現象が抑制される。

【００２２】本発明が適用される磁気記録媒体の製造装
置により製造される磁気記録媒体としては、非磁性材料
よりなる性非磁性支持体上に強磁性金属薄膜が磁性層と
して形成される、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒
体が挙げられる。

【００２３】上記非磁性支持体上には、強磁性金属材料
を直接被着することにより金属磁性薄膜が磁性層として
形成されているが、この金属磁性材料としては、通常の
蒸着テープに使用されるものであれば、如何なるもので
あっても良い。例示すれば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の強磁
性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，
Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｆ
ｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃ
ｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げ
られる。これらの単層膜であってもよいし多層膜であっ
てよい。さらには、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、或
いは、多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並びに
抗磁力の制御等のために、下地層、又は、中間層を設け
ても良い、金属磁性薄膜形成の手段としては、真空下で
強磁性材料を加熱蒸発させ非磁性支持体上に沈着させる
真空蒸着法や、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行うイ
オンプレーティング法、いわゆるＰＶＤ技術によれば良
い。

【００２４】また、上記非磁性支持体上に形成された強
磁性金属材料上には保護膜層が形成されていても良い
が、この材料としては、通常の金属磁性薄膜用保護膜と
して一般に使用されるものであれば如何なるものであっ
ても良い。例示すれば、カーボン、ＣｒＯ₂，Ａｌ
₂Ｏ₃，ＢＮ，Ｃｏ酸化物、ＭｇＯ，ＳｉＯ₂，Ｓｉ
₃Ｏ₄，ＳｉＮｘ，ＳｉＣ、ＳｉＮｘ−ＳｉＯ₂，Ｚｒ
Ｏ₂，ＴｉＯ₂、ＴｉＣ等が挙げられる。これらの単層膜
であっても良いし、多層膜や金属との複合膜であっても
良い。

【００２５】

【実施例】以下、本発明を具体的な実施例を実験結果に
基づいて説明する。

【００２６】（実施例１）図１に示すように、本磁気記
録媒体の製造装置は、頭部と低部にそれぞれ設けられた
排気口１１から排気されて内部が真空状態となされた真
空室１２内に、図中の反時計回り方向に定速回転する送
りロール１３と、図中の時計回り方向に定速回転する巻
取りロール１４とが設けられ、これら送りロール１３か
ら巻取りロール１４にテープ状の非磁性支持体であるベ
ースフィルム１５が順次走行するようになされている。

【００２７】これら送りロール１３から巻取りロール１
４側に上記ベースフィルム１５が走行する中途部には、
各ロール１３，１４の径よりも大径となされた冷却キャ
ン１６が設けられている。この冷却キャン１６は、ベー
スフィルム１５を図中下方に引き出すように設けられ、
図中の時計回り方向に定速回転する構成とされる。

【００２８】また、上記送りロール１３、巻取りロール
１４、及び、冷却キャン１６は、それぞれベースフィル
ム１５の幅と略同じ長さからなる円筒状をなすものであ
り、また、冷却キャン１６には、内部に図示しない冷却
装置が設けられ、上記ベースフィルム１５の温度上昇に
よる変形等を抑制し得るようになされている。

【００２９】したがって、ベースフィルム１５は、送り
ロール１３から順次送り出され、さらに上記冷却キャン
１６の周面を通過し、巻取りロール１４に巻取られてい
くようになされている。尚、上記送りロール１３と記冷
却キャン１６との間及び該冷却キャン１６と上記巻取り
ロール１４との問にはそれぞれガイドロール１７、１８
が配設され、上記送りロール１３から冷却キャン１６及
び該冷却キャン１６から券取りロール１４にわたって走
行するベースフィルム１５に所定のテンションをかけ、
該ベースフィルム１５が円滑に走行するようになされて
いる。

【００３０】また、上記真空室１２内には、上記冷却キ
ャン１６の下方に筺体状のルツボ１９が設けられてい
る。

【００３１】このルツボ１９は、蒸着源たるＣｏ−Ｎｉ
系等の金属磁性材料２０を供給して溶融させるものであ
るが、本実施の形態では、ルツボ１９の長手方向の長さ
Ｈ１が冷却キャン１６の外周表面１６ａの幅方向の間隔
Ｈ２よりも長くなるように突出形成されている（図３に
おいて、Ｈ１＞Ｈ２）。そして、このルツボ１９の冷却
キャン１６から外れた側の端部に傾斜部１９ａが設けら
れている。

【００３２】この傾斜部２０ａは、後述する金属磁性材
料２０を安定して供給されるようにするためのもので、
ルツボ１９の底部まで徐々に傾斜している。

【００３３】また、図２及び図３に示すように、上記金
属磁性材料２０は、長尺状の合金で形成されている。具
体的には、直径６０ｍｍという比較的直径の大きな棒状
の合金である。したがって、細線状のもの等よりもが加
工が容易である。なお、棒状のものに限らず、インゴッ
ト形状に近い角形形状であっても良いが、かかる角形形
状の場合には、更に加工が容易である。

【００３４】そして特に、ルツボ１９の一方の側の上方
には、図１乃至図３に示すように、長尺状の合金２０を
その手方向の一端側から吊すワイヤー１と、このワイヤ
ー１の昇降を制御する制御部２が設けられてなる。

【００３５】さらに、ワイヤー１に吊り下げられた長尺
状の合金２０を加熱する加熱手段３が設けられている。
この加熱手段３は、上記長尺状の合金２０よりも若干大
きめの筒状に形成されてなり、ルツボ１９上に配置され
るヒータである。

【００３６】なお、このような吊り下げ機構は、ルツボ
１９の一方の側の上方に簡単に設けられるもので、既存
の装置を何等変更することなく取り付けることができ
る。

【００３７】一方、上記真空室１２の側壁部には、図４
に示すように、上記ルツボ１９内に充填された金属磁性
材料２０を加熱蒸発させるための電子銃２１が取り付け
られる。この電子銃２１は、当該電子銃２１より放出さ
れる電子ビームＸが上記ルツボ１９内の金属磁性材料２
０に照射されるような位置に配設される。そして、この
電子銃２１によって蒸発した金属磁性材料２０が上記冷
却キャン１６の周面を定速走行するベースフィルム１５
上に磁性層として被着形成されるようになっている。

【００３８】また、上記冷却キャン１６とルツボ１９と
の間であって該冷却キャン１６の近傍には、入射角制限
マスク２２ａ，２２ｂが配設されている。

【００３９】この入射角制限マスク２２ａ，２２ｂは、
蒸発源から飛来する金属上気流の入射角度を規制するた
めのもので、通常、低入射角制限マスク２２ａと高入射
角制限マスク２２ｂと２つからなる。これら入射角制限
マスク２２ａ，２２ｂは、上記冷却キャン１６の外周表
面を定速走行するベースフィルム１５の所定領域を覆う
形で形成され、これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂ
により上記蒸発せしめられた金属磁性材料２０が上記ベ
ースフィルム１５に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着
されるようになっている。そして、成膜の際の最高入射
角及び最低入射角は、これら入射角制限マスク２２ａ，
２２ｂの開口位置によって決まる。

【００４０】このように、ＣｏＮｉ合金の蒸着入射ビー
ムは、入射角制限マスク２２を設置することにより任意
に蒸着入射角の範囲を設定でき、ここではこの入射角を
４５°とした。

【００４１】さらに、このような蒸着に際し、上記真空
室１２の側壁部を貫通して設けられる酸素ガス導入口２
４を介してベースフィルム１５の表面に酸素ガスが供給
され、磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。

【００４２】したがって、本発明の磁気記録媒体の製造
装置を実際に使用する場合には、図３に示すように、制
御部２により磁性材料が吊下げられたワイヤー１を降下
させると、金属磁性材料である長尺状の合金２０は、加
熱手段３を通過して、予め加熱された状態でルツボ１９
内に供給される。したがって、ルツボの液面の温度が下
がることが防止され、磁性材料の加熱効率が図られると
ともに、スプラッシュ等の飛散現象にも効果ある。

【００４３】そして、さらに降下させると、このルツボ
１９の冷却キャン１６から外れた側の端部に傾斜部１９
ａが設けられているために、この傾斜部１９ａを伝わっ
て連続的に安定して供給される。したがって、ベースフ
ィルム１５の熱負けやスプラッシュ等の飛散現象が抑制
されることとなる。

【００４４】次に、本発明の磁気記録媒体の製造装置を
使用して、磁気記録媒体を製造した。

【００４５】本磁気記録媒体の製造装置により製造され
る磁気記録媒体は、非磁性支持体であるベースフィルム
１５上に強磁性金属或いはその合金の薄膜からなる磁性
層が形成されるとともに、この磁性層の形成面とは反対
側の面にバックコート層が形成される磁気記録媒体であ
る。このバックコート層の塗布に際しては、潤滑剤とし
てパーフルオロポリエーテルを塗布して、８ミリ幅に裁
断していわゆる８ミリカセットに組み込んだ。

【００４６】本実施例では、ポリエンエチレンテレフタ
レート（ＰＥＴ）フィルムからなるベースフィルム１５
上にＣｏ₈₀Ｎｉ₂₀を蒸着させた。

【００４７】

【表１】

【００４８】（実施例２）加熱手段３を使用しない以外
は、実施例１と同様にサンプルテープを製造した。

【００４９】（比較例ｌ）直径１０ｍｍで、長さ１２ｍ
ｍの所定の長さに裁断されたペレット状合金を実施例１
のサンプルテープと同様の蒸着条件で作製した。このと
きの合金の供給方法は、上記ペレット状合金をルツボ１
９の液面１９ｂの高さが一定となる時間間隔で断続的に
供給した。

【００５０】（比較例２）比較例２として、直径６ｍｍ
という細線状の合金をルツボ１９の液面１９ｂより連続
的に押し出すように供給することができるものを作製し
た。このときの供給速度はルツボ１９の液面１９ｂ高さ
が一定となるように設定した。この比較例２は、実施例
１，２と異なり、ワイヤー１で降下させるようなもので
なく、細線状に加工された合金をそのまま巻き取るため
のリール機構や、湾曲した線状合金を直線状に矯正する
ための機構などを真空室内に設けられてなるものであ
る。

【００５１】ここでは、合金の形状及び供給形態の違い
を確認するためのテストとするために同一ロットの溶解
合金を各々の形状に加工した。このときの使用した合金
の不純物含有量を表２に示す。

【００５２】

【表２】

【００５３】ドロップアウトの測定には、ソニー社製
（商品名；ハイバンド８ミリビデオデッキＥＶ−Ｓ９０
０）を改造したものを使用した。そして、再生出力レベ
ルから−１６ｄＢより低下した時間が１０μｓｅｃ以上
続いた回数を測定した。測定は１０分間行い、１分間当
たりの平均値をドロップアウトの個数とした。また、合
金コストは加工プロセスが多くり、加工形状が小さくな
ると一般的に高くなるが、今回作製した合金形状による
加工コストは、表３に示す通りである。

【００５４】

【表３】

【００５５】比較例１では、ペレット状合金をルツボ１
９に供給する時にルツボ１９の液面１９ｂからスプラッ
シュが発生し、その飛沫が冷却キャン１６に搬送される
非磁性支持体１５まで到達して、熱負けが発生している
ものもある。

【００５６】これは磁性層の完全な欠落となり製品品質
上問題となるレベルである。また、目視状態では良く確
認できないものの顕微鏡観察で確認できる程度の微少な
熱負けが多数発生し、ドロップアウトの原因となってい
る。また、所定の長さに裁断されたペレット状の合金
は、製造時に加熱溶解の後、一度線合金を引き延ばし、
更に、所定の長さに裁断するため、加工プロセスも多く
かかり、このペレット状合金を製造するコストが高い。

【００５７】比較例２では、線状の合金をルツボ１９に
供給する時に比較例１のようなスプラッシュは発生しな
い。しかしながら、線状の合金を作製するためには、こ
の線状に加工するための費用が高い。なお、この費用は
比較例１程は高くない。

【００５８】また、比較例２では、液面１９ｂから細線
状で、長時間の蒸着に対応するためには相当量の長さが
必要となり、これを巻き取るためのリール機構及び湾曲
した線状合金を直線状に矯正するための機構などを真空
室内に設置する必要があり、全体の装置構成が大きくな
る。このような理由から、比較例２は、既存の設備への
設置は容易ではなく、製造費用が高くなる。

【００５９】これに対し、実施例１では、長尺状の合金
の供給が連続的でつねにルツボ１９内に溶けている合金
と供給合金が接続状態であるために、蒸着時のスプラッ
シュ等の飛沫が発生する問題がない。また、供給される
合金の形状も、ルツボ１９の形状や真空室の設置スペー
スや他の機構との干渉などの諸条件に合わせ、角形、棒
状等自由に設定することが出来ることから加工費も安
く、比較例１，２に比べ大幅に安価である。

【００６０】さらに、実施例２では、ワイヤー１に吊り
下げられた長尺状の合金を加熱する加熱手段３が設けら
れてなることで、供給される長尺状の合金を伝わるよう
にして熱が伝導しルツボ１９の液面１９ｂの温度が下が
ることが防止される。したがって、長尺状の合金を加熱
することで、電子銃の照射条件の変更の必要もなく、非
磁性支持体に対する幅方向の蒸気分布も均一になり安定
した製造が可能となる。

【００６１】なお、実施例１及び実施例２では、ルツボ
１９の端部への長尺状の合金の供給がルツボ１９の液面
１９ｂに対して垂直方向から実施したが、もちろん常に
垂直である必要はなく、斜め上方から供給するものでも
良い。

【００６２】以上、上記実施例においては、製造される
磁気記録媒体がＣｏ、Ｃｏ−Ｎｉ系の金属磁性材料を真
空蒸着法によって成膜した場合について説明したが、金
属磁性材料はこれらに限定されるものではなく、また、
バックコート層、潤滑剤を塗布したもので説明したが、
本発明の磁気記録媒体の製造装置は、これらの磁気記録
媒体を製造するものに限定されないことは言うまでもな
い。

【００６３】

【発明の効果】本発明にかかる磁気記録媒体の製造装置
によれば、補充のための磁性材料をルツボの長手方向の
一端側に吊すワイヤーと、このワイヤーの昇降を制御す
る制御部が設けられ、上記ルツボ内に磁性材料が連続的
に供給されることから、ベースフィルムの熱負けスプラ
ッシュを発生させずに供給することができる。

【００６４】したがって、本発明にかかる製造装置を使
用して磁気記録媒体を製造した場合、ドロップアウトの
発生が少ない磁気記録媒体が提供されることとなる。

【００６５】また、本発明にかかる装置は、長尺状の合
金をワイヤーで降下させるもので、構造が比較的簡単で
あるために、既存の設備にも容易に導入することがで
き、又、小型でスペースをとらない構造上の利点を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置を示す図であ
る。

【図２】上記磁気記録媒体の製造装置の冷却キャンとル
ツボを拡大して示す模式図である。

【図３】上記磁気記録媒体の製造装置の冷却キャンとル
ツボを拡大して示す模式図である。

【図４】従来の磁気記録媒体の製造装置を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ワイヤー２制御部３加熱手段（ヒータ）１５非磁性支持体（ベースフィルム）１６冷却キャン１９ルツボ１９ａルツボの傾斜部１９ｂルツボの液面２０金属磁性材料（長尺状の合金）Ｈ１ルツボの幅方向の間隔Ｈ２冷却キャンの幅方向の間隔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁性層が形成される非磁性支持体を搬送
しながら冷却する冷却キャンと、磁性層を形成する磁性
材料が充填されるルツボと、ルツボ内の磁性材料に電子
ビームを照射する電子ビーム照射手段を少なくとも有し
て、真空蒸着法により非磁性支持体上に強磁性金属薄膜
を磁性層として蒸着させる磁気記録媒体の製造装置にお
いて、補充のための磁性材料をルツボの長手方向の一端側に吊
すワイヤーと、このワイヤーの昇降を制御する制御部が設けられ、上記ルツボ内に磁性材料が連続的に供給されることを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【請求項２】磁性材料が棒状又は角形形状であること
を特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項３】ルツボの一端側に傾斜部が設けられてな
ることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造
装置。
【請求項４】ルツボの長さが冷却キャンの幅よりも長
く形成され、このルツボの冷却キャンから外れた側の端
部に傾斜部が設けられてなることを特徴とする請求項３
記載の磁気記録媒体の製造装置
【請求項５】ワイヤーに吊り下げられた磁性材料を加
熱する加熱手段が設けられてなることを特徴とする請求
項１記載の磁気記録媒体の製造装置。