JPH09125248A - ロードロック室 - Google Patents
ロードロック室Info
- Publication number
- JPH09125248A JPH09125248A JP28366395A JP28366395A JPH09125248A JP H09125248 A JPH09125248 A JP H09125248A JP 28366395 A JP28366395 A JP 28366395A JP 28366395 A JP28366395 A JP 28366395A JP H09125248 A JPH09125248 A JP H09125248A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrates
- chamber
- substrate
- endless
- plural
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 上下方向に移動して基板を１枚ずつ搬入して
複数枚の基板を収納し、又、上下方向に移動して基板を
１枚ずつ搬出することで処理能力を高め、スループット
を向上すると共にチャンバ製作費及び容積を低減する。 【解決手段】 チャンバ６内の左，右両側に、上，下に
枢設した回転体４Ａ間にエンドレス体５を張架し、両エ
ンドレス体５に、基板２を載せる複数個の基板受け３を
設けることを特徴とする。
複数枚の基板を収納し、又、上下方向に移動して基板を
１枚ずつ搬出することで処理能力を高め、スループット
を向上すると共にチャンバ製作費及び容積を低減する。 【解決手段】 チャンバ６内の左，右両側に、上，下に
枢設した回転体４Ａ間にエンドレス体５を張架し、両エ
ンドレス体５に、基板２を載せる複数個の基板受け３を
設けることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
真空処理室内に搬入，出する基板を前，後に収納してお
くロードロック室に係り、特に基板搬送装置を有するロ
ードロック室に関するものである。
真空処理室内に搬入，出する基板を前，後に収納してお
くロードロック室に係り、特に基板搬送装置を有するロ
ードロック室に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のロードロック室には、１枚の基板
を収納し、基板１枚毎に搬入，搬出を繰り返す構成のも
のと、複数枚の基板を収納し、基板を１枚ずつ順次搬
入，搬出する構成のものがある。図２は複数枚の基板を
収納できる従来のロードロック室の１例を示す断面図で
ある。図２において６は架台１２上に設置されたチャン
バ、１３は複数枚の基板２を収納するカセット、３はこ
のカセット１３の両面に、対向して設けられた基板受
け、１４はカセット１３の底面に固着され、チャンバ６
下方の架台１２を貫通する作動軸、８は架台１２に取着
されたモータ、１７は同じく架台１２に固定され、上下
方向に案内するガイド、１６はモータ８に連結された送
りネジ、１５は作動軸１４に固定され、この送りネジ１
６に螺合された移動体で、ガイド１７に上下方向に案内
されている。１８は架台１２と作動軸１４間に取付けら
れたベローズで、チャンバ６内の真空を保持する。この
従来例は、モータ８により送りネジ１６を回転させるこ
とによりこれに螺合した移動体１５をガイド１７に沿っ
て上下方向に案内して上下動させ、移動体１５に固定さ
れた作動軸１４及びカセット１３を上下方向に移動させ
て、基板受け３上に、複数枚の基板２を順次搬送口１１
より搬入して収納し、又、該搬送口１より搬出する。な
お、搬送口１１は真空処理室での基板処理中、封鎖す
る。
を収納し、基板１枚毎に搬入，搬出を繰り返す構成のも
のと、複数枚の基板を収納し、基板を１枚ずつ順次搬
入，搬出する構成のものがある。図２は複数枚の基板を
収納できる従来のロードロック室の１例を示す断面図で
ある。図２において６は架台１２上に設置されたチャン
バ、１３は複数枚の基板２を収納するカセット、３はこ
のカセット１３の両面に、対向して設けられた基板受
け、１４はカセット１３の底面に固着され、チャンバ６
下方の架台１２を貫通する作動軸、８は架台１２に取着
されたモータ、１７は同じく架台１２に固定され、上下
方向に案内するガイド、１６はモータ８に連結された送
りネジ、１５は作動軸１４に固定され、この送りネジ１
６に螺合された移動体で、ガイド１７に上下方向に案内
されている。１８は架台１２と作動軸１４間に取付けら
れたベローズで、チャンバ６内の真空を保持する。この
従来例は、モータ８により送りネジ１６を回転させるこ
とによりこれに螺合した移動体１５をガイド１７に沿っ
て上下方向に案内して上下動させ、移動体１５に固定さ
れた作動軸１４及びカセット１３を上下方向に移動させ
て、基板受け３上に、複数枚の基板２を順次搬送口１１
より搬入して収納し、又、該搬送口１より搬出する。な
お、搬送口１１は真空処理室での基板処理中、封鎖す
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記１枚の基板を収納
する従来例では、基板１枚の搬入，搬出毎にリーク, す
なわち真空処理室内にＮ2 等の不活性ガスを入れて大気
圧に戻したり、エバック, すなわち大気圧状態の真空処
理室を真空引きしたりすることを繰り返しているため、
処理能力が低く、スループットを向上できないという課
題がある。又、複数枚の基板を収納できる従来例では、
基板上下動機構にベローズを用いているため、製作費が
高くなり、カセット１３の移動ストロークＤ分、チャン
バ容積も大きくなるという課題がある。
する従来例では、基板１枚の搬入，搬出毎にリーク, す
なわち真空処理室内にＮ2 等の不活性ガスを入れて大気
圧に戻したり、エバック, すなわち大気圧状態の真空処
理室を真空引きしたりすることを繰り返しているため、
処理能力が低く、スループットを向上できないという課
題がある。又、複数枚の基板を収納できる従来例では、
基板上下動機構にベローズを用いているため、製作費が
高くなり、カセット１３の移動ストロークＤ分、チャン
バ容積も大きくなるという課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のロードロック室
は、上記従来技術の課題であるスループットの低下並び
にチャンバ製作費及び容積の増大を解決するため、図１
に示すようにチャンバ６内の左，右両側に、上，下に枢
設した回転体４Ａ間にエンドレス体５を張架し、両エン
ドレス体５に、基板２を載せる複数個の基板受け３を設
けることを特徴とする。
は、上記従来技術の課題であるスループットの低下並び
にチャンバ製作費及び容積の増大を解決するため、図１
に示すようにチャンバ６内の左，右両側に、上，下に枢
設した回転体４Ａ間にエンドレス体５を張架し、両エン
ドレス体５に、基板２を載せる複数個の基板受け３を設
けることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ
本発明のロードロック室の実施の形態を示す正断面図及
びその側断面図である。図１において６は架台１２上に
設置されたチャンバ、４はチャンバ６内の左，右両側に
上，下に枢設した歯車、４Ａはそのシャフト、５は上，
下のシャフト４Ａ間に張架したベルト、３はベルト５に
設けられた複数個の基板受け、７は上，下の歯車４に噛
合せた歯車、１０はこれら歯車４，７を被うカバーで、
Ｏリング９を介してチャンバ６に取付けられている。８
は歯車７の軸に連結されたモータで、チャンバ６に固定
されている。上，下の歯車４と、これらに張架したベル
ト５とで移動部１を構成しており、左，右の移動部１
は、同期して移動するようになっている。
本発明のロードロック室の実施の形態を示す正断面図及
びその側断面図である。図１において６は架台１２上に
設置されたチャンバ、４はチャンバ６内の左，右両側に
上，下に枢設した歯車、４Ａはそのシャフト、５は上，
下のシャフト４Ａ間に張架したベルト、３はベルト５に
設けられた複数個の基板受け、７は上，下の歯車４に噛
合せた歯車、１０はこれら歯車４，７を被うカバーで、
Ｏリング９を介してチャンバ６に取付けられている。８
は歯車７の軸に連結されたモータで、チャンバ６に固定
されている。上，下の歯車４と、これらに張架したベル
ト５とで移動部１を構成しており、左，右の移動部１
は、同期して移動するようになっている。
【０００６】上記形態においてモータ８を回転させて歯
車７及びこれに噛合せた上，下の歯車４を回転させるこ
とにより上，下の歯車４のシャフト４Ａ間に張架したベ
ルト５を回転移動させ、左，右のベルト５に設けられた
複数個の基板受け３を上，下方向に移動させ、これらの
基板受け３に搬送口１１から基板２を１枚ずつ搬入して
複数枚の基板受け３に収納し、又、搬送口１１から基板
２を１枚ずつ搬出する。この形態はベローズを用いてい
ないので製作費を安くできると共にエンドレスタイプの
移動部とすることにより複数枚の基板の、搬入による収
納とその搬送に従来必要であった移動ストローク分の容
積を不要にできることになる。
車７及びこれに噛合せた上，下の歯車４を回転させるこ
とにより上，下の歯車４のシャフト４Ａ間に張架したベ
ルト５を回転移動させ、左，右のベルト５に設けられた
複数個の基板受け３を上，下方向に移動させ、これらの
基板受け３に搬送口１１から基板２を１枚ずつ搬入して
複数枚の基板受け３に収納し、又、搬送口１１から基板
２を１枚ずつ搬出する。この形態はベローズを用いてい
ないので製作費を安くできると共にエンドレスタイプの
移動部とすることにより複数枚の基板の、搬入による収
納とその搬送に従来必要であった移動ストローク分の容
積を不要にできることになる。
【０００７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、上下方向
に移動して基板を１枚ずつ搬入して、複数枚の基板を収
納し、又、上下方向に移動して基板を１枚ずつ搬出する
ことで処理能力を高めスループットを向上することがで
きると共にチャンバ製作費及び容積を低減することがで
きる。又、移動部を駆動する駆動部を簡単にでき、チャ
ンバの下に比較的大きなスペースを確保することができ
る。
に移動して基板を１枚ずつ搬入して、複数枚の基板を収
納し、又、上下方向に移動して基板を１枚ずつ搬出する
ことで処理能力を高めスループットを向上することがで
きると共にチャンバ製作費及び容積を低減することがで
きる。又、移動部を駆動する駆動部を簡単にでき、チャ
ンバの下に比較的大きなスペースを確保することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ本発明のロードロ
ック室の実施の形態を示す正断面図及びその側断面図で
ある。
ック室の実施の形態を示す正断面図及びその側断面図で
ある。
【図２】複数枚の基板を収納できる従来のロードロック
室の１例を示す断面図である。
室の１例を示す断面図である。
１ 移動部 ２ 基板 ３ 基板受け ４ 回転体（歯車） ４Ａ 回転体（シャフト） ５ エンドレス体（ベルト） ６ チャンバ ７ 回転体（歯車） ８ モータ ９ Ｏリング １０ カバー １１ 搬送口 １２ 架台
Claims (4)
- 【請求項１】 チャンバ内に、上下方向に移動される移
動部を収設し、この移動部に基板を載せる基板受けを設
けることを特徴とするロードロック室。 - 【請求項２】 前記移動部を左，右両側に設け、これら
の移動部を同期して上下動することを特徴とする請求項
１のロードロック室。 - 【請求項３】 前記移動部は上下に枢設した回転体間に
エンドレス体を張架してるなることを特徴とする請求項
１のロードロック室。 - 【請求項４】 チャンバ内の左，右両側に、上，下に枢
設した回転体間にエンドレス体を張架し、両エンドレス
体に、基板を載せる複数個の基板受けを設けることを特
徴とするロードロック室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28366395A JPH09125248A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | ロードロック室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28366395A JPH09125248A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | ロードロック室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09125248A true JPH09125248A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17668455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28366395A Pending JPH09125248A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | ロードロック室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09125248A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101131417B1 (ko) * | 2003-11-12 | 2012-04-03 | 주성엔지니어링(주) | 로드락 장치 및 이를 설치한 로드락 챔버 |
| CN104404453A (zh) * | 2014-10-30 | 2015-03-11 | 马瑞利汽车零部件(芜湖)有限公司 | 一种车灯卧式镀铝辅助装置 |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP28366395A patent/JPH09125248A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101131417B1 (ko) * | 2003-11-12 | 2012-04-03 | 주성엔지니어링(주) | 로드락 장치 및 이를 설치한 로드락 챔버 |
| CN104404453A (zh) * | 2014-10-30 | 2015-03-11 | 马瑞利汽车零部件(芜湖)有限公司 | 一种车灯卧式镀铝辅助装置 |
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