JPH09113211A - ノイズ防止機能付干渉計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基準面および被検面で反射した２つの光ビー
ムがスポット状に集光するビームスポット位置に配置さ
れたアライメントスクリーンを用いて基準面および被検
面のアライメントを行う干渉計において、干渉縞の観察
測定時にはビームスポット形成位置に遮光板を配置する
ことにより、被検面の反射率が低い場合でも干渉縞の観
察測定を精度よく行えるようにする。 【構成】 アライメントスクリーン３０をビームスポッ
ト形成位置に配置してアライメントを行った後、切換機
構３４の切換操作により遮光板３２をビームスポット形
成位置に配置して、その光透過孔３２ａを通る光ビーム
以外はすべて遮断した状態で干渉縞の観察測定を行う。
これにより、基準板裏面２ｂからの反射光が散乱光とな
ってＣＣＤカメラ２６の撮像面２６ａに到達し干渉縞の
像にノイズとして重畳されるのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノイズ防止機能付
干渉計、すなわち基準面および被検面のアライメントに
起因して発生するノイズを防止し得るように構成された
干渉計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、干渉計としてフィゾー型の干
渉計が広く用いられている。このフィゾー型の干渉計に
おいては、基準板の基準面および該基準板を透過した後
被検面で反射した２つの光ビームをスポット状に集光さ
せた後、両光ビームの干渉作用により撮像面上に干渉縞
を形成させ、この干渉縞を観察測定することにより、被
検面評価を行うようになっている。上記干渉計において
被検面評価を正確に行うためには、基準面と被検面とを
正確な位置関係で配置しておくことが必要である。この
ため干渉計においては、測定を行う前に、基準面および
被検面のアライメントを行うようになっている。

【０００３】このアライメントの方法としては、従来よ
り、下面（片面）が粗面状に形成されるとともに中央に
光透過孔が形成されたアライメントスクリーンを、反射
光ビームがスポット状に集光される位置に配置して該ア
ライメントスクリーンの下面に基準面および被検面から
の反射光のビームスポットを結像させ、この状態で基準
面および被検面の傾斜角を各々調整して両反射光のビー
ムスポットを上記光透過孔において一致させることによ
り、アライメントを行う方法が知られている。

【０００４】ところで、フィゾー型の干渉計において
は、基準板の基準面のみならずその反対側の面（以下
「基準板裏面」と称する）からも反射光が生じるが、こ
れら両反射光の向きが完全に一致してしまうのを防止す
るため、基準板の両面は完全に平行ではなく僅かにウェ
ッジ状に形成されている。したがって、基準板の両面か
らの反射光のビームスポットは、図６（ａ）に示すよう
に、アライメントスクリーン３０上においては、近接し
た１対のビームスポットＡ、Ｂとなって現れる。そし
て、図６（ｂ）に示すように、これら１対のビームスポ
ットＡ、Ｂのうち、基準面からの反射光のビームスポッ
トＡを光透過孔３０ｂに位置合わせすることにより、基
準面のアライメントが行われるようになっている。

【０００５】上記アライメントにより基準面からの反射
光のビームスポットＡが光透過孔に位置合わせされたと
き、当然ながら、基準板裏面からの反射光のビームスポ
ットＢは、図６（ｂ）および図７に示すように、アライ
メントスクリーン３０上の光透過孔近傍に残ったままと
なる。このビームスポットＢを形成する基準板裏面から
の反射光は、図８に示すように、粗面状に形成されたア
ライメントスクリーン下面３０ａで散乱光となってアラ
イメントスクリーン３０を透過する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、フィゾー型
の干渉計における測定対象は、通常、ガラスの表面やミ
ラー等の高反射面であり、その光反射率は数パーセント
から１００パーセントであるが、光学部品によっては、
使用中に光学的なノイズを発生させないようにするた
め、その表面に使用される光ビームの波長に応じた反射
防止膜コーティングが施されるものもあり、このような
光学部品の表面の反射率は極めて低いものとなる。そし
て、このような低反射率の表面が被検面となる場合に
は、被検面からの反射光と基準面からの反射光との光強
度バランスが悪くなり、これに伴い、撮像面上に形成さ
れる干渉縞のコントラストも低下し、干渉縞の観察測定
を行いにくくなる。特に、干渉縞から被検面の形状を自
動的に解析する解析装置の使用が困難なものとなる。

【０００７】これに対し、基準面にも被検体に施された
のと同様の反射防止膜をコーティングすることにより反
射光を低減させ、被検面からの反射光との強度比を１に
近づけるようにすれば、干渉縞のコントラストを向上さ
せることが可能である。しかしながら、このようにした
場合には、干渉縞を形成している測定光の強度は、被検
面および基準面共に反射防止膜コーティングが施されて
いない場合に比して１／１０以下となる。このため、例
えば、ＴＶカメラのような観察手段では光量不足とな
り、正常な画像を得ることが困難となる。

【０００８】これに対し、観察手段の光感度を上げるよ
うにすれば、光量不足については解決可能であるが、上
記アライメントスクリーンのビームスポットＢからの散
乱光も撮像面に到達して、測定光により形成された干渉
縞の像にノイズとして重畳され、これにより精度よく観
察測定を行うことができなくなるという問題が生じる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、基準面および被検面で反射した２つの光ビームがス
ポット状に集光される位置にアライメントスクリーンを
配置して基準面および被検面のアライメントを行う干渉
計において、被検面の反射率が低い場合であっても干渉
縞の観察測定を精度よく行うことができるノイズ防止機
能付干渉計を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係るノイズ防止
機能付干渉計は、基準面および被検面で反射した２つの
光ビームをスポット状に集光させた後、これら両光ビー
ムの干渉作用により撮像面上に干渉縞を形成させるよう
に構成された干渉計において、片面が粗面状に形成され
るとともに中央に光透過孔が形成されたアライメントス
クリーンと、中央に光透過孔が形成された遮光部材と、
前記アライメントスクリーンおよび前記遮光部材のうち
の一方を、前記両光ビームがスポット状に集光されるビ
ームスポット形成位置に選択的に配置する切換手段とを
備えてなることを特徴とするものである。

【００１０】上記構成において、干渉計の光路上に、撮
像面に入射する光ビームの強度を減殺させる減光部材を
配置し得る構成とするのが好ましい。その具体的構成と
しては、例えば、上記切換手段により減光部材をアライ
メントスクリーンおよび遮光部材と選択的にビームスポ
ット形成位置に配置する構成を採用することができる。
この場合における切換手段は、例えばターレット状に形
成することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて、本発明の実
施例について説明する。図１は、本発明の一実施例に係
るノイズ防止機能付干渉計を示す正面図である。図示の
ように、このノイズ防止機能付干渉計は、フィゾー型の
レーザ干渉計であり、レーザ光源１２と、発散レンズ１
４と、ハーフプリズム１６と、コリメータレンズ１８
と、基準板支持機構２０と、被検体支持機構２２と、観
察像結像レンズ２４と、ＣＣＤカメラ２６と、モニタ２
８と、アライメントスクリーン３０と、遮光板３２と、
切換機構３４とを備えてなり、上記基準板支持機構２０
および被検体支持機構２２には、平板状の基準板２およ
び被検体４が各々支持されている。

【００１２】上記レーザ光源１２から射出され、発散レ
ンズ１４で発散された光ビームは、ハーフプリズム１６
で下方に反射されてコリメータレンズ１８により平行光
にされた後、基準板２に入射するようになっている。こ
の基準板２の基準面２ａとなる下面（反コリメータレン
ズ側の面）は、極めて平面度の高い半透鏡平面に形成さ
れている。一方、基準板２の上面２ｂ（基準板裏面）
は、基準面２ａと略平行で滑らかな平面であるが、基準
面２ａに対して僅かに傾斜している。上記基準板支持機
構２０の角度調整（アライメント）により、コリメータ
レンズ１８からの平行光を基準面２ａに垂直に入射させ
るようになっている。上記基準板２の下方には、該基準
板２と所定間隔をおいて被検体４が配されており、基準
板２を透過した光ビームを入射させるようになってい
る。この被検体４の上面が被検面４ａであって、被検体
支持機構２２の角度調整（アライメント）により、基準
板２からの光ビームを被検面４ａに垂直に入射させるよ
うになっている。

【００１３】上記被検体４の上面には反射防止膜コーテ
ィングが施されており、その被検面４ａの反射率は極め
て低いものとなっている。このような場合には、被検面
４ａからの反射光と基準面２ａからの反射光との光強度
バランスが悪くなり、これに伴い、撮像面上に形成され
る干渉縞のコントラストも低下してしまい、干渉縞の観
察測定が行いにくくなる。このため、本実施例において
は、基準面２ａにも被検体４に施されたのと同様の反射
防止膜をコーティングすることにより反射光を低減さ
せ、被検面４ａからの反射光との強度比を１に近づける
ようにしている。

【００１４】上記基準面２ａおよび被検面４ａで反射し
た２つの光ビームは、コリメータレンズ１８により集束
せしめられながらハーフプリズム１６を透過し、その上
方に配置された観察像結像レンズ２４を介してＣＣＤカ
メラ２６の撮像面２６ａ上に結像され、さらにその撮像
信号がモニタ２８に送出されて画像表示されるようにな
っている。上記被検面４ａに凹凸等があると、基準面２
ａおよび被検面４ａで反射した２つの光ビーム相互間に
位相ずれが生じ、これに伴う両光ビームの干渉作用によ
りＣＣＤカメラ２６の撮像面２６ａ上に干渉縞が形成さ
れるので、モニタ２８でこの干渉縞を観察測定すること
により被検面４ａの評価を行い得るようになっている。

【００１５】上述したように、本実施例においては、上
記基準面２ａおよび被検面４ａの反射率は極めて低いの
で、干渉縞を形成している測定光の強度は、基準面２ａ
および被検面４ａ共に反射防止膜コーティングが施され
ていない場合に比して１／１０以下となる。このため、
ＣＣＤカメラ２６の光感度を上げて測定を行うようにな
っている。上記基準面２ａおよび被検面４ａで反射した
２つの光ビームは、上記コリメータレンズ１８の集束作
用により一旦スポット状に集光した後観察像結像レンズ
２４に入射するが、上記両光ビームがスポット状に集光
される位置（ビームスポット形成位置）にはアライメン
トスクリーン３０が配置されている。

【００１６】上記干渉縞の観察測定に先立ち、基準板支
持機構２０および被検体支持機構２２の角度調整により
基準面２ａおよび被検面４ａのアライメントが行われる
が、このアライメントは、上記アライメントスクリーン
３０を用いて行われるようになっている。このアライメ
ントスクリーン３０は、光透過可能な材質（ガラス）か
らなる平板部材であり、その下面３０ａ（片面）が粗面
状に形成されるとともにその中央には光透過孔３０ｂが
形成されている。この光透過孔３０ｂは逆円錐状に形成
されている。なお、アライメントスクリーン３０の上面
３０ｃは研磨面である。

【００１７】そして、上記アライメントの際には、アラ
イメントスクリーン３０の下面３０ａに基準面２ａおよ
び被検面４ａからの反射光のビームスポットＡ、Ｂを結
像させ、この状態で基準面２ａおよび被検面４ａの傾斜
角を各々調整して両反射光のビームスポットＡ、Ｂを光
透過孔３０ｂにおいて一致させることにより、アライメ
ントを行うようになっている。なお、上記アライメント
の際には、上記両反射光のビームスポットＡ、ＢをＣＣ
Ｄカメラ２６の撮像面２６ａ上に結像させるようにする
ため、上記観察像結像レンズ２４に代えてスポット像結
像レンズ（これについては後述する）が用いられるよう
になっている。

【００１８】ところで、上述した如き干渉計において
は、基準板２の基準面２ａのみならず基準板裏面２ｂか
らも反射光が生じるが、これら両反射光の向きが完全に
一致してしまうのを防止するため、上記のように基準板
２の両面２ａ、２ｂは完全に平行ではなく僅かにウェッ
ジ状に形成されている。したがって、基準板２の両面２
ａ、２ｂからの反射光のビームスポットは、図６（ａ）
に示すように、アライメントスクリーン３０上において
は、近接した１対のビームスポットＡ、Ｂとなって現れ
る。そして、図６（ｂ）に示すように、これら１対のビ
ームスポットＡ、Ｂのうち、基準面２ａからの反射光の
ビームスポットＡを光透過孔に位置合わせすることによ
り、基準面２ａのアライメントが行われるようになって
いる。

【００１９】上記アライメントにより基準面２ａからの
反射光のビームスポットＡが光透過孔３０ｂに位置合わ
せされたとき、当然ながら、基準板裏面２ｂからの反射
光のビームスポットＢは、図６（ｂ）および図７に示す
ように、アライメントスクリーン３０上の光透過孔３０
ｂ近傍に残ったままとなる。このビームスポットＢを形
成する基準板裏面２ｂからの反射光は、図８に示すよう
に、粗面状に形成されたアライメントスクリーン３０の
下面３０ａで散乱光となってアライメントスクリーン３
０を透過する。

【００２０】上述したように、本実施例においては、低
反射率の基準面２ａおよび被検面４ａに対応させて、Ｃ
ＣＤカメラ２６の光感度を上げて測定を行うようになっ
ており、上記アライメントスクリーン３０のビームスポ
ットＢからの散乱光がＣＣＤカメラ２６の撮像面２６ａ
に到達すると、測定光により形成された干渉縞の像にノ
イズとして重畳されるので、精度よく観察測定を行うこ
とができなくなる。

【００２１】このため、本実施例においては、図１に示
すように、上記アライメントスクリーン３０と共に遮光
板３２が切換機構３４に支持されており、この切換機構
３４の切換操作により、アライメントスクリーン３０お
よび遮光板３２のうちの一方を、上記ビームスポット形
成位置に選択的に配置し得るようになっている。そし
て、アライメントスクリーン３０をビームスポット形成
位置に配置して上記アライメントを行った後、切換機構
３４の切換操作により遮光板３２を上記ビームスポット
形成位置に配置して干渉縞の観察測定を行うように構成
されている。上記遮光板３２は、光透過不能な材質から
なり、その中央には光透過孔３０ｂと同一径の光透過孔
（貫通孔）３２ａが形成されている。この光透過孔３２
ａも逆円錐状に形成されている。

【００２２】このように、干渉縞の観察測定時、ビーム
スポット形成位置に遮光板３２を配置することにより、
その光透過孔３２ａを通る光ビーム以外はすべて遮断す
ることができるので、基準板裏面２ｂからの反射光によ
り形成されるビームスポットＢが上記ビームスポット形
成位置において散乱光となって、ＣＣＤカメラ２６の撮
像面２６ａに到達し、干渉縞の像にノイズとして重畳さ
れるのを防止することができる。したがって、本実施例
によれば、被検面４ａの反射率が低い場合においても干
渉縞の観察測定を精度よく行うことができる。

【００２３】図２は、上記アライメントスクリーン３０
および遮光板３２を支持する切換機構３４を、上記観察
像結像レンズ２４およびスポット像結像レンズ３６を支
持する切換機構３８とともに示す斜視図であり、図３は
その側面図、図４はその平面図である。これらの図に示
すように、切換機構３４は、ターレット４０と、このタ
ーレット４０の中央の孔４０ａに固定された回転軸部材
４２と、ターレット４０上の同一円周上に９０°間隔で
取り付けられたアライメントスクリーン支持具４４およ
び遮光板支持具４６と、ターレット４０を干渉計光軸と
平行な回転軸線Ａｘ回りに回動させる操作レバー４８と
を備えてなっており、操作レバー４８を９０°回動させ
ることにより、アライメントスクリーン３０および遮光
板３２のうちの一方を、上記ビームスポット形成位置に
選択的に配置するようになっている。上記アライメント
スクリーン支持具４４および遮光板支持具４６は、互い
に干渉しないようにターレット４０の上下両面に分けて
配置されている。

【００２４】また、切換機構３８は、ターレット５０
と、このターレット５０の中央の孔５０ａに固定された
回転軸部材５２と、ターレット５０上の同一円周上に９
０°間隔で取り付けられた観察像結像レンズ支持具５４
およびスポット像結像レンズ支持具５６と、ターレット
５０を上記回転軸線Ａｘ回りに回動させる操作レバー５
８とを備えてなり、操作レバー５８を９０°回動させる
ことにより、観察像結像レンズ２４およびスポット像結
像レンズ３６のうちの一方を、上記ビームスポット形成
位置よりも撮像面２６ａ側の干渉計光軸上に選択的に配
置するようになっている。上記観察像結像レンズ支持具
５４およびスポット像結像レンズ支持具５６は、互いに
干渉しないようにターレット５０の上下両面に分けて配
置されている。

【００２５】上記切換機構３４のターレット４０と切換
機構３８のターレット５０との間にはスペーサ支持ブロ
ック６０が配置されている。このスペーサ支持ブロック
６０は、両ターレット４０、５０の上下間隔を一定寸法
に維持するとともに、その上下貫通孔６０ａにおいて両
切換機構３４、３８の回転軸部材４２、５２を回転可能
に支持するようになっている。上記スペーサ支持ブロッ
ク６０の上下両端面には、圧縮ばねにより突出方向に付
勢されたクリックボール６２、６４が設けられており、
一方、ターレット４０の上面およびターレット５０の下
面には、円周方向９０°間隔で２つのクリック穴４０
ｂ、５０ｂが形成されている。上記クリックボール６２
とクリック穴４０ｂとの係合および上記クリックボール
６４とクリック穴５０ｂとの係合により、両切換機構３
４、３８の切換操作における位置精度確保を図るように
なっている。

【００２６】上記スペーサ支持ブロック６０は、ボルト
６６により、干渉計本体壁６８に固定されている。この
干渉計本体壁６８には、上記両ターレット４０、５０の
外周部近傍においてこれら各ターレット４０、５０を挿
通させる水平スリット６８ａ、６８ｂが形成されてい
る。さらに、この干渉計本体壁６８の外側に位置する干
渉計カバー７０には、上記両操作レバー４８、５８を挿
通させる水平スリット７０ａ、７０ｂが形成されてい
る。

【００２７】図５は、図２のV-V 線断面図である。この
図に示すように、アライメントスクリーン支持具４４に
は、アライメントスクリーンの光透過孔３０ｂとは逆の
円錐状の貫通孔４４ａが形成されている。上記切換機構
３４を用いることにより、アライメントスクリーン３０
と遮光板３２との切換えを、操作レバー４８の回動操作
により容易に行うことができる。また、上記切換機構３
８を用いることにより、切換機構３４の切換操作に伴い
必要となる観察像結像レンズ２４とスポット像結像レン
ズ３６との切換えについても、操作レバー５８の回動操
作により容易に行うことができる。

【００２８】本実施例においてはフィゾー型の干渉計に
ついて説明したが、もちろんこれに限定されるものでは
なく、マイケルソン型、トワイマングリーン型等の他の
干渉計においても、基準板の基準面のみならず基準板裏
面からも反射光が生じ得る構成となっているものであれ
ば、本発明の構成を採用することができ、これにより本
実施例と同様の効果を得ることができる。本実施例にお
いては、被検面の反射率が低い場合においても干渉縞の
観察測定を精度よく行えるようにするための干渉計の構
成について説明したが、この干渉計を用いて、高反射率
の被検面の観察測定をも行い得るようにするため、次の
ような構成を追加するようにしてもよい。

【００２９】すなわち、上述したように、低反射率の基
準面２ａおよび被検面４ａに対応させてＣＣＤカメラ２
６の光感度を上げて測定を行うようにした場合には、高
反射率の被検面の観察測定時にはＣＣＤカメラ２６の光
感度が高くなりすぎてしまうという問題がある。そこ
で、図９に示すように、干渉計の光路上（例えば観察像
結像レンズ２４と撮像面２６ａとの間）に、撮像面２６
ａに入射する光ビームの強度を減殺させる減光部材７２
を配置し得る構成とし、低反射率の被検面の観察測定時
には干渉計の光路上から上記減光部材７２を外す一方、
高反射率の被検面の観察測定時には干渉計の光路上に上
記減光部材７２を配置するようにすれば、適正な光強度
で干渉縞の観察測定を行うことができる。

【００３０】上記減光部材７２としては、例えば、ＮＤ
ガラスフィルタあるいは色ガラスフィルタ（光ビームの
色と略補色関係にある色を有するフィルタ））等を用い
ることができる。また、図１０に示すように、上記減光
部材７２を、アライメントスクリーン３０および遮光板
３２と共に、ターレット７４に取り付けて、これら三者
を選択的にビームスポット形成位置に配置し得るように
構成してもよい。なお、上記三者の選択的切換えが可能
な構造であれば、必ずしもターレットを用いた構造とし
なくてもよいことはもちろんである。

【００３１】この場合において、上記減光部材７２とし
て、図１１に示すように、粗面状に形成された下面７
２′ａのうち中央部のみ平滑面状に残しておくことによ
り光透過孔７２ｂ′が形成されるように構成された減光
部材７２′を採用すれば、高反射率の被検面の観察測定
の際には、干渉縞の観察測定時のみならずアライメント
時にも上記減光部材７２′をビームスポット形成位置に
配置しておくことができ、切換操作の手間を省くことが
できる。

【００３２】

【発明の効果】本発明においては、片面が粗面状に形成
されるとともに中央に光透過孔が形成されたアライメン
トスクリーンと、中央に光透過孔が形成された遮光部材
とのうちの一方を、基準面および被検面からの反射光ビ
ームがスポット状に集光されるビームスポット形成位置
に選択的に配置するようになっているので、アライメン
トスクリーンをビームスポット形成位置に配置し、基準
面および被検面からの反射光のビームスポットを上記光
透過孔において一致させることにより、基準面および被
検面のアライメントを行うことができる。一方、遮光部
材をビームスポット形成位置に切換配置することにより
干渉縞の観察測定を行うことができ、かつ、その際、基
準板裏面からの反射光のような測定光以外の光ビームが
撮像面に到達して、測定光により形成された干渉縞の像
にノイズとして重畳されるのを、未然に防止することが
できる。

【００３３】したがって、本発明によれば、基準面およ
び被検面で反射した２つの光ビームがスポット状に集光
される位置にアライメントスクリーンを配置して基準面
および被検面のアライメントを行う干渉計において、被
検面の反射率が低い場合であっても干渉縞の観察測定を
精度よく行うことができる。さらに、干渉計の光路上
に、撮像面に入射する光ビームの強度を減殺させる減光
部材を配置し得る構成を追加すれば、高反射率の被検面
の観察測定時における干渉縞の観察測定精度をも高める
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るノイズ防止機能付干渉
計を示す正面図

【図２】図１に示すアライメントスクリーンおよび遮光
板を支持する切換機構を示す斜視図

【図３】上記切換機構を示す側面図

【図４】上記切換機構を示す平面図

【図５】図２のV-V 線断面図

【図６】干渉計における基準板のアライメント方法を示
す平面図

【図７】干渉計における基準板のアライメント方法を示
す正面図

【図８】干渉計における基準板のアライメント方法にお
ける問題点を示す正面図

【図９】上記実施例の変形例を示す、図１と同様の図

【図１０】上記実施例の他の変形例におけるターレット
を示す平面図

【図１１】上記実施例のさらに他の変形例における減光
部材を示す側断面図

【符号の説明】

２ 基準板 ２ａ 基準面 ２ｂ 基準板裏面 ４ 被検体 ４ａ 被検面 １２ レーザ光源 １４ 発散レンズ １６ ハーフプリズム １８ コリメータレンズ ２０ 基準板支持機構 ２２ 被検体支持機構 ２４ 観察像結像レンズ ２６ ＣＣＤカメラ ２６ａ 撮像面 ２８ モニタ ３０ アライメントスクリーン ３０ａ 下面（片面） ３０ｂ、３２ａ、７２ｂ′ 光透過孔 ３２ 遮光板（遮光部材） ３４ 切換機構 ３６ スポット像結像レンズ ３８ 切換機構 ４０ ターレット ４４ アライメントスクリーン支持具 ４６ 遮光板支持具 ４８ 操作レバー ７２、７２′ 減光部材 ７４ ターレット Ａ、Ｂ ビームスポット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準面および被検面で反射した２つの光
   ビームをスポット状に集光させた後、これら両光ビーム
   の干渉作用により撮像面上に干渉縞を形成させるように
   構成された干渉計において、 片面が粗面状に形成されるとともに中央に光透過孔が形
   成されたアライメントスクリーンと、中央に光透過孔が
   形成された遮光部材と、前記アライメントスクリーンお
   よび前記遮光部材のうちの一方を、前記両光ビームがス
   ポット状に集光されるビームスポット形成位置に選択的
   に配置する切換手段とを備えてなることを特徴とするノ
   イズ防止機能付干渉計。
2. 【請求項２】 前記干渉計の光路上に、前記撮像面に入
   射する光ビームの強度を減殺させる減光部材を配置し得
   るように構成されていることを特徴とする請求項１記載
   のノイズ防止機能付干渉計。
3. 【請求項３】 前記減光部材が、前記切換手段により、
   前記アライメントスクリーンおよび前記遮光部材と選択
   的に前記ビームスポット形成位置に配置されるように構
   成されていることを特徴とする請求項２記載のノイズ防
   止機能付干渉計。
4. 【請求項４】 前記切換手段がターレット状に形成され
   ていることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１
   項に記載のノイズ防止機能付干渉計。