JPH09111497A - 電解めっき方法及び電解めっき装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 均一でムラのないめっき膜を確実に形成する
ことができる電解めっき方法を提供すること。 【解決手段】 電解めっき液中に一対のアノード５を設
ける。アノード５の中間地点に、板状の被めっき物であ
る銅板２を立てた状態で配置する。その銅板２と両アノ
ード５との距離をほぼ一定に保ちながら、銅板２を搬送
方向に沿って搬送する。その際、銅板２に対してカソー
ド５が接触する位置を変更しつつ通電を行う。その結
果、銅板２にめっきが均一に析出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板状の被めっき物
にめっき膜を形成するための電解めっき方法及びそのた
めの電解めっき装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板に搭載されたＬＳＩチッ
プ等は、通電時に大きな熱を発生する。このような熱は
ＬＳＩチップの誤動作や破壊の原因となることから、何
らかの放熱対策を講じておくことがよいことは言うまで
もない。そのため、従来においては、プリント配線板に
ヒートスラグを取り付け、そのヒートスラグ上にＬＳＩ
チップを搭載するという構造が採られている。ここで、
一般的なヒートスラグとしては、例えば銅板の外表面全
体に電解ニッケルめっき膜を形成したものが知られてい
る。以下、このような場合に使用される従来の電解めっ
き装置を、図８（ａ）〜図８（ｃ）に基づいて説明す
る。

【０００３】図８（ａ）に示される第１の装置は、いわ
ゆるカゴめっき装置５１である。この装置５１では、複
数枚の銅板５２を電解めっき液内に保持するための手段
として、金網製のカゴ５３が使用される。カソードを兼
ねるこのカゴ５３は、一対のアノード５４間において揺
動可能に設けられる。そして、このカゴ５３とアノード
５４との間に直流電流を通電することにより、銅板５２
にめっきが施されるようになっている。

【０００４】図８（ｂ）に示される第２の装置は、いわ
ゆるバレルめっき装置５５である。この装置５５では、
複数枚の銅板５２を電解めっき液内に保持するための手
段として、バレル５６が使用される。このバレル５６
は、電解めっき液を内部に流通させるための多数の貫通
孔５７を備えた中空六角柱状の金属製部材である。な
お、バレル５６内には図示しないカソードが設けられて
いる。このバレル５６は一対のアノード５４間において
回転可能に設けられる。そして、このバレル５６とアノ
ード５４との間に直流電流を通電することにより、銅板
５２にめっきが施されるようになっている。

【０００５】図８（ｃ）に示される第３の装置は、いわ
ゆる引っ掛けめっき装置５８である。この装置５８で
は、前二者とは異なり、複数枚の銅板５２を電解めっき
液内に保持するための手段として、引っ掛けまたはラッ
クと呼ばれる金属製の治具５９が使用される。この治具
５９は、銅板５２を挟持するための一対の固定用ピン６
０を多数個備えている。カソードを兼ねるこの治具５９
は、一対のアノード５４間に設けられる。そして、この
治具５９とアノード５４との間に直流電流を通電するこ
とにより、銅板５２にめっきが施されるようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の電解めっき装置５１，５５，５８には、次のような
いくつかの問題があった。

【０００７】カゴ５３の揺動を行う第１の装置５１で
は、カゴ５３の内壁面に銅板５２が衝突したり、銅板５
２同士が衝突したりすることが避けられない。このた
め、特に銅板５２の表裏面のめっき膜に傷が付いたり、
擦れによってめっき膜に部分的なてかり（光沢）が発生
しやすい。従って、均一なめっき膜を得ることができな
かった。なお、バレル５６の回転を行う第２の装置５５
についても同種の問題が起こっていた。

【０００８】また、第１の装置５１や第２の装置５５で
は、カゴ５３やバレル５６自体が金属製であることか
ら、それらにめっきが付着してしまう場合がある。よっ
て、付着しためっき膜を定期的に剥離する必要があり、
器具の保守作業が面倒であった。そして、このことが生
産性を低下させる一つの原因となっていた。

【０００９】さらに、第１の装置５１や第２の装置５５
では、アノード５４とカソードとの間の距離が絶えず変
化するため、製品の品質にばらつきが生じやすかった。
第３の装置５８では、固定用ピン６０に銅板５２を取り
付けたり、それを取り外したりする作業が極めて煩雑で
あった。しかも、従来においては前記作業を人手に頼っ
ていたため、生産性に劣っていた。

【００１０】また、第３の装置５８では、給電部である
固定用ピン６０に対して常時接触している部分に、めっ
きムラ、焼け、めっき未着が発生しやすかった。さら
に、固定用ピン６０は強度的に弱く、壊れやすかった。
加えて、このような固定用ピン６０の構成の場合、銅板
５２のサイズが変わると、銅板５２の挟持が不可能にな
ったり、銅板５２が落下しやすくなるという問題があっ
た。

【００１１】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その第１の目的は、均一でムラのないめ
っき膜を確実に得ることができるとともに、生産性の向
上を図ることができる電解めっき方法及びそのための電
解めっき装置を提供することにある。本発明の第２の目
的は、器具の保守が容易な電解めっき装置を提供するこ
とにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、電解めっき液中に設け
られたアノードに被めっき物を対向配置するとともに、
前記被めっき物を搬送しながら、前記被めっき物にめっ
き膜を形成する電解めっき方法であって、前記被めっき
物の搬送時にカソードの接触位置の変更を行いながら通
電を行う電解めっき方法をその要旨とする。

【００１３】請求項２に記載の発明は、電解めっき液が
満たされるめっき槽と、前記めっき槽内に配置されたア
ノードと、被めっき物における複数の箇所に対して接離
可能に設けられたカソードと、前記被めっき物を所定方
向に搬送する搬送手段とからなり、前記被めっき物を搬
送しつつ通電を行う電解めっき装置をその要旨とする。

【００１４】請求項３に記載の発明では、請求項２にお
いて、前記カソードは複数個であり、それらのカソード
は被めっき物の搬送経路の上方に設けられた支持体に対
して揺動可能に設けられているものとした。

【００１５】請求項４に記載の発明では、請求項２また
は３において、前記被めっき物を搬送時にガイドするガ
イド溝を前記搬送経路に沿って設けた。請求項５に記載
の発明では、請求項２または３において、前記被めっき
物を搬送時にガイドする２本の波状ガイド線を前記搬送
経路に沿って設けた。

【００１６】請求項６に記載の発明では、請求項２乃至
５のいずれか１項において、前記搬送手段は前記被めっ
き物を水平方向に搬送するネットコンベアであるとし
た。以下、本発明の「作用」を説明する。

【００１７】請求項１〜６に記載の発明によると、カソ
ードの接触位置の変更を行いながら通電が行われるた
め、被めっき物の特定部分に常時カソードが接触すると
いうことがない。このため、当該部分におけるめっきム
ラ、焼け、めっき未着が防止される。

【００１８】請求項３に記載の発明によると、揺動する
複数個のカソードが被めっき物における異なる箇所に接
触し、その箇所から通電が行われる。請求項４，５に記
載の発明によると、ガイド溝または波状ガイド線によっ
て被めっき物がガイドされることによって、被めっき物
がスムーズに搬送され、かつ被めっき物を立設した状態
に保つことができる。

【００１９】請求項６に記載の発明によると、コンベア
面に接触している部分に対しても確実にめっき液が行き
渡るため、その部分にも均一にめっきが形成される。

【００２０】

【発明の実施の形態】

〔第１の実施形態〕以下、本発明を電解めっき方法及び
そのための電解めっき装置に具体化した一実施の形態を
図１〜図４に基づき詳細に説明する。

【００２１】この電解めっき装置１は、例えばプリント
配線板用のヒートスラグとなる正方形状の銅板２に対し
て、電解ニッケルめっき膜を形成するため等に使用され
る。図１に示されるように、この電解めっき装置１は、
大まかにいって、めっき液回収槽３、めっき槽４、一対
のアノード５、複数のカソード６、板状の被めっき物で
ある銅板２を搬送する搬送手段としてのネットコンベア
７等によって構成されている。以下、それらの部分の構
成等について説明する。

【００２２】図１に示されるめっき液回収槽３は、めっ
き槽４の上面４ａ、搬出側端面４ｂ及び搬入側端面から
溢れ出る電解ニッケルめっき液を回収・循環するための
細長い容器である。従って、このめっき液回収槽３内
は、めっき槽４を包囲するように配設されている。めっ
き液回収槽３における搬出側の底面には、溢れ出た電解
ニッケルめっき液を回収するための回収口１２が設けら
れている。この回収口１２には配管１３が接続されてい
る。この配管１３の途上には、めっき液循環手段として
のポンプ１４が設けられている。そして、このポンプ１
４によって電解ニッケルめっき液が再びめっき槽３内に
戻されることにより、電解ニッケルめっき液の再利用、
及びアノード５と銅板２の間に新しいめっき液が供給さ
れ、めっきの高速化が図られるようになっている。

【００２３】めっき槽４は、電解ニッケルめっき液を満
たしておくための細長い容器である。本実施形態では、
前記めっき槽４の材質として、電解ニッケルめっき液に
不溶でかつめっき膜が付着しない耐熱塩化ビニルが選択
されている。なお、電解ニッケルめっき液としては一般
的な組成のもの、例えば無光沢ニッケルめっき浴、ワッ
ト浴、スルファミン酸浴、ウッドストライク浴、イマー
ジョンニッケル浴等が使用される。これらの浴は、通
常、ニッケルイオン源、アノード溶解剤、ｐＨ緩衝剤、
表面状態や内部応力に変化を与える添加剤等を含んでい
る。

【００２４】このめっき槽４の上面４ａには、その長手
方向に沿って延びる細長いスリット１５が形成されてい
る。また、めっき槽４の搬出側端面４ｂ及び搬入側端面
には、それぞれ逆Ｔ字状の開口部１６が形成されてい
る。図１，図３に示されるように、めっき槽４の内壁面
には、長尺板状をした一対のアノード５が所定間隔を隔
てて対向配置されている。このようなアノード５として
は、例えば高純度の電解ニッケル板、Ｓ含有ニッケル
板、白金板、白金めっきが施されたチタニウム板等が使
用される。そして、これらのアノード５は、めっき槽４
の外部にある図示しない直流電源のプラス端子側に電気
的に接続されている。

【００２５】前記めっき槽４内の底部には、銅板２をめ
っき槽４の長手方向に沿って水平にかつ直線的に搬送す
るネットコンベア７が搬送手段として設けられている。
このネットコンベア７の両端は、搬出側端面４ｂ及び搬
入側端面の開口部１６からそれぞれ突出している。

【００２６】ネットコンベア７は、無端状のネット１７
と、そのネット１７が巻回される一対のロール１８と、
図示しない駆動手段及び制御手段とによって構成されて
いる。前記ネット１７は、電解ニッケルめっきが付着し
ない樹脂材料によって形成されている。このネット１７
の外面側には、銅板２の一部に係合する樹脂製の滑り止
め突起１９が一定間隔毎に設けられている。なお、この
滑り止め突起１９の設置間隔は、被めっき物である銅板
２の一辺の長さよりもいくぶん長めに設定されている。
従って、個々の銅板２は、隣接する２つの滑り止め突起
１９間に配置される。なお、各滑り止め突起１９の高さ
は、銅板２の一辺の長さの数分の１程度に設定されてい
る。

【００２７】ネット１７が巻回されている一対の樹脂製
のロール１８には、駆動手段からの駆動力が伝達され
る。ロール１８がこの駆動力によって回転する結果、ネ
ット１７の上面が搬入側から搬出側へと移動する。な
お、制御手段は、移動・停止を周期的に繰り返す、いわ
ゆるステップ送りを前記ネットコンベア７に行わせる。

【００２８】ネット１７の上面と下面との間の空間に
は、一定の間隔毎に樹脂製のめっき液噴射管２０が挿通
されている。これらのめっき液噴射管２０の上面には、
多数の噴射孔２１が形成されている。また、各めっき液
噴射管２０は前記配管１３に接続されている。従って、
ポンプ１４から圧送されてくる電解ニッケルめっき液
は、各噴出孔２１を介してめっき槽４内に噴出する。な
お、電解ニッケルめっき液は、図３に示されるように上
方に向かって噴出する。なお、図１，図３の矢印Ａ1
は、電解ニッケルめっき液の流れる方向を概略的に示し
ている。

【００２９】図１，図２に示されるように、スリット１
５の部分には、銅板２をガイドするための２本の波状ガ
イド線２２が平行にかつ長手方向に沿って延びるように
設けられている。従って、これらにガイドされた銅板２
は、両アノード５との距離をほぼ一定に保ちつつ移動す
ることができる。また、前記２本の波状ガイド線２２
は、それぞれの山部と谷部とが互い違いになるように配
置されている。

【００３０】両波状ガイド線２２は、電解ニッケルめっ
きが付着しにくく、かつ電解ニッケルめっき膜よりも軟
質の材料によって形成されている。本実施形態では、こ
のような材料として耐熱塩化ビニル等に代表される樹脂
が採用されている。両波状ガイド線２２間には、銅板２
の厚さと同程度のクリアランスが設けられている。従っ
て、そのクリアランス内には、複数枚の銅板２が１列に
収容されるようになっている。このとき、銅板２の表裏
面が波状ガイド線２２に接触することにより、その銅板
２が波状ガイド線２２によって挟持される。従って、搬
送経路上を銅板２が移動する場合、銅板２は両アノード
５のほぼ中間地点において立設状態を維持することにな
る。

【００３１】図３に示されるように、めっき液回収槽３
の上部には、カソード６を支持するための支持体２３が
何本か架設されている。搬送経路の上方に設けられたこ
れらの支持体２３の中央部、即ちスリット１５の直上の
位置には、複数のカソード６が上下動可能かつ水平動不
能に取り付けられている。これらのカソード６は、非金
属製（セラミックやスポンジ等）のバネ構造６ａを中腹
部に備えている。また、前記各カソード６の下端部はそ
の下動時に銅板２の一部に接触し、上動時に銅板２の一
部から離れるようになっている。各カソード６は、めっ
き槽４の外部にある図示しない直流電源のマイナス端子
側に支持体２３を介して電気的に接続されている。な
お、これらのカソード６は、上述したネットコンベア７
のステップ送りに同期して上下動する。

【００３２】次に、このように構成された電解めっき装
置１の使用方法について説明する。まず、めっき槽４を
電解ニッケルめっき液で満たすとともに、ポンプ１４を
駆動させることにより電解ニッケルめっき液を循環させ
る。そして、両アノード５及びカソード６への通電を開
始し、かつネットコンベア７を駆動状態にする。次い
で、めっき槽４の搬入端面側からスリット１５内に銅板
２を連続的に投入する。すると、銅板２は一対の波状ガ
イド線２２によって立設状態に保持される。この場合、
めっき槽４内への銅板２の投入は、人手によって行われ
てもよく、図示しない銅板把持搬送装置等によって機械
的にかつ自動的に行われてもよい。

【００３３】ネット１７上に置かれた銅板２は、滑り止
め突起１９によって後方から押圧されることにより、搬
出側端面４ｂの方向に向かって前進する。なお、この場
合、滑り止め突起１９が係合する面は、銅板２の対峙す
る二面（即ち、表面及び裏面）以外の面（即ち、４つあ
る側面のうちの１つの面）である。具体的にいうと、そ
の面は非進行方向側を向いている側面である。搬送され
る銅板２の一部（具体的には、上方を向いている側面）
には、カソード６の下端部が接触する。その結果、銅板
２への通電が始まり、銅板２の外表面全体にニッケルめ
っきが析出する。この後、銅板２は搬出側端面４ｂから
めっき槽４の外部に順次搬出される。

【００３４】さて、本実施形態の電解めっき方法では、
銅板２の搬送時に各カソード６の接触位置の変更を行い
ながら通電が行われる。次に、この方法を図４に基づき
より詳細に説明する。図４（ａ）〜図４（ｄ）には、３
枚の銅板２が連続的に搬送されているときの様子が示さ
れている。説明の便宜上、進行方向側から順に２Ａ、２
Ｂ，２Ｃという番号を銅板に付す。また、搬送経路上に
は４つのカソード６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄがそれぞれ配
設されている。なお、上側を向いている銅板２の一側面
において後にカソード６が接触する位置を、進行方向側
から順にＰ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 と定義する。

【００３５】上述したネットコンベア７のステップ送り
によって各銅板２Ａ〜２Ｃが所定量だけ搬送された図４
（ａ）の状態では、銅板２Ａの上方にカソード６Ｂが、
銅板２Ｂの上方にカソード６Ｃが、銅板２Ｃの上方にカ
ソード６Ｄがそれぞれ位置している。なお、６Ａの下方
にはまだ銅板２Ａ〜２Ｃが搬送されておらず、各カソー
ド６Ｂ〜６Ｄと各銅板２Ａ〜２Ｃとは非接触状態にあ
る。

【００３６】ここで、各カソード６Ａ〜６Ｄが下動し、
６Ａを除く３つのカソード６Ｂ〜６Ｄが各銅板２Ａ〜２
Ｃに接触する。なお、この場合には、カソード６Ｂは銅
板２Ａにおける位置Ｐ2 に、カソード６Ｃは銅板２Ｂに
おける位置Ｐ3 に、カソード６Ｄは銅板２Ｃにおける位
置Ｐ4 にそれぞれ接触する。その結果、各々の位置Ｐ2
〜Ｐ4 を介して銅板２Ａ〜２Ｃへの通電が開始される。

【００３７】所定時間通電が行われた後、各カソード６
Ａ〜６Ｄが上動するとともに、各銅板２Ａ〜２Ｃがステ
ップ送りによって次の通電位置まで搬送される（図４
(c) 参照）。このとき、銅板２Ａの上方にカソード６Ａ
が、銅板２Ｂの上方にカソード６Ｂが、銅板２Ｃの上方
にカソード６Ｃがそれぞれ位置するようになる。

【００３８】ここで、各カソード６Ａ〜６Ｄが再び下動
し、６Ｄを除くカソード６Ａ〜６Ｃが各銅板２Ａ〜２Ｃ
に接触する。なお、この場合には、カソード６Ａは銅板
２Ａにおける位置Ｐ1 に、カソード６Ｂは銅板２Ｂにお
ける位置Ｐ2 に、カソード６Ｃは銅板２Ｃにおける位置
Ｐ3 にそれぞれ接触する。すると、銅板２Ａでは、今ま
で接触していた位置Ｐ2 とは異なる位置Ｐ1 から通電が
開始される。同様に、銅板２Ｂでは今まで接触していた
位置Ｐ3 とは異なる位置Ｐ2 から、銅板２Ｃにでは今ま
で接触していた位置Ｐ4 とは異なる位置Ｐ3 から通電が
開始される。カソード接触位置Ｐ1 〜Ｐ4 の変更は、以
上のようにして行われる。

【００３９】さて、以下に本実施形態において示した電
解めっき方法及び電解めっき装置１の特徴を列挙する。 （イ）この方法及び装置１では、電解ニッケルめっき液
中に設けられた一対のアノード５の中間地点に銅板２を
立てた状態で配置するとともに、その銅板２と両アノー
ド５との距離をほぼ一定に保ちながら銅板２を搬送す
る。この場合、カソード６が銅板２に接触する位置の変
更を行いながら通電を行う。

【００４０】このため、給電部分であるカソード６が、
銅板２の特定部分に常時接触した状態になることがな
い。従って、固定用ピンを備えた治具を用いる引っ掛け
めっき装置において問題とされていた、めっきムラ、焼
け、めっき未着発生が確実に回避される。よって、得ら
れるめっき膜も均一で外観に優れたものとなる。さら
に、固定用ピンを持たないこの電解めっき装置１の構成
であると、引っ掛けめっき装置に比べて壊れにくくなる
という利点が得られる。また、引っ掛けめっき装置の場
合に問題となっていた、銅板２の脱落も解消される。さ
らに、治具への取り付け・取り外し作業が不要になる分
だけ、確実に生産性の向上が図られる。

【００４１】（ロ）また、この電解めっき装置１による
と、搬送手段であるネットコンベア７により銅板２が搬
送される際、その銅板２は一対の波状ガイド線２２によ
って挟持される。そのため、両アノード５のほぼ中間地
点において銅板２が立設した状態に維持され、この状態
で搬送・通電が行われる。よって、銅板２の表裏面に形
成されるめっき膜の厚さが等しくなる。しかも、銅板２
毎の電極間距離は等しくなることから、めっき膜の厚さ
のばらつきが極めて少なくなる。よって、品質の安定し
たヒートスラグを製造することができる。なお、波状ガ
イド線２２には軟質な材料が使用されているため、波状
ガイド線２２が銅板２の表裏面に接触したとしても、め
っき膜を傷付けてしまうことがない。

【００４２】（ハ）この電解めっき装置１では、めっき
槽４内に銅板２が１枚ずつ連続的に投入されるととも
に、それらの銅板２が一対の波状ガイド線２２によって
挟持される。ゆえに、カゴの揺動を行うカゴめっき装置
やバレルの回転を行うバレルめっき装置とは異なり、め
っき時において銅板２同士が接触・衝突することがな
い。勿論、この構成であると、銅板２がカゴやバレルの
ような硬い容器の内壁面に接触・衝突するということも
ない。よって、銅板２の表裏面のめっき膜に傷が付いた
り、擦れによってめっき膜に部分的なてかりが発生する
ということが確実に防止される。なお、このような波状
ガイド線２２を使用した場合、銅板２を連続的にかつス
ムーズに搬送することができる。また、サイズの異なる
銅板２に対してめっきを行うときでも充分それに対応で
きる。さらに、波状に形成されていることから銅板２と
カソード６との間を遮らず、このこともめっき膜の均一
化に貢献する。

【００４３】（ニ）この電解めっき装置１では、各カソ
ード６が電解ニッケルめっき液の液面よりも上方に配置
されている。それに加えて、電解ニッケルめっき液に接
する部分においても、金属材料が殆ど使用されていな
い。即ち、この構成であると、そもそもめっきが付着し
うる部分が少ないため、めっき膜の剥離等といった面倒
な保守作業が殆ど不要になる。このため、器具の保守作
業が容易になる。

【００４４】（ホ）この電解めっき装置１では、搬送手
段としてネットコンベア７が採用されている。従って、
銅板２の搬送時においては、銅板２の一側面がネット１
７の上面に常に接触した状態となる。しかし、ネット１
７には多数の孔があいていることから、ネット１７に接
触している一側面にも他の面と同様に充分にめっき液が
行き渡る。よって、その側面にも確実にめっき膜が形成
され、めっき膜の均一化を図ることができる。

【００４５】（ヘ）この電解めっき装置１では、ネット
１７の外面側に、銅板２の一部に係合する樹脂製の滑り
止め突起１９が一定間隔毎に設けられている。そのた
め、搬送時における銅板２の滑り止めが図られる。ま
た、滑り止め突起１９は、このような滑り止めに効果的
であるばかりでなく、隣接する銅板２の側面同士の接触
防止にも貢献する。また、銅板２に対する接触部分の面
積も最小限に抑えられているため、めっきムラ等の発生
も確実に回避される。 〔第２の実施形態〕次に、第２の実施形態における電解
めっき装置３１を図５に基づいて説明する。ここでは第
１の実施形態と相違する構成を中心に説明し、共通する
構成については第１の実施形態において使用した番号と
同じ番号を付すのみとする。

【００４６】まず第１に、この電解めっき装置３１で
は、第１の実施形態とは異なるタイプの搬送手段とし
て、屈曲ベルトコンベア３２が使用されている。図５に
示されるように、めっき槽４の底面に設けられた摺動板
４０の一方の側面近傍には、屈曲ベルトコンベア３２を
構成する駆動プーリ３４及び従動プーリ３５が設けられ
ている。これらの駆動プーリ３４及び従動プーリ３５に
は、無端状のベルト３３が波状に屈曲するように巻回さ
れている。駆動プーリ３４には、図示しない駆動手段か
らの駆動力が伝達されるようになっている。なお、この
屈曲ベルトコンベア３２も、ステップ送りを行うように
制御される。

【００４７】前記ベルト３３の側面には、一定間隔毎に
押圧バー３６が突設されている。これらの押圧バー３６
は略Ｌ字状を呈しており、その先端は摺動板４０の上面
（または下面）に延びている。ベルト３３を駆動させる
と、これらの押圧バー３６はベルト３３のうねりに追従
して上下動する。従って、前記押圧バー３６は、非進行
方向側を向いている側面の絶えず異なる箇所を押圧す
る。なお、本実施形態では、上記各部材３２，３３，３
４，３５，３６，４０は、いずれもめっきが付着しにく
くかつめっきに不溶の材料によって形成されている。特
に、摺動板４０については、めっき金属よりも軟質な樹
脂材料が使用されている。

【００４８】第２に、この電解めっき装置３１では、銅
板２をガイドするための構造が第１の実施形態とは異な
っている。即ち、一対の波状ガイド溝２２の代わりに、
中央部にガイド溝３７を有する摺動板４０がガイド構造
として採用されている。図５に示されるように、このガ
イド溝３７は、搬送方向であるめっき槽４の長手方向に
沿って延びるように形成されている。ガイド溝３７の幅
は銅板２の厚さよりもやや大きく、その深さは銅板２の
一辺の長さの１０分の１以下になっている。そして、こ
のガイド溝３７によって銅板２がガイドされることによ
り、銅板２がスムーズに搬送されかつ立設状態が保持さ
れるようになっている。

【００４９】第３に、この電解めっき装置３１では、カ
ソード３７の支持構造が異なっている。ここでは、めっ
き槽４の長手方向に対して直交する方向に沿って、複数
本の支持体３９が等ピッチに架設されている。搬送経路
の上方に位置する前記各支持体３９には、それぞれ１本
ずつ揺動カソード３８が揺動可能に支持されている。従
って、揺動カソード３８の下方を銅板２が通過する際、
そのカソード３８は銅板２の一側面に接触し、通過後に
同カソード３８は銅板２の一側面から離れるようになっ
ている。なお、各カソード３８は、ワークサイズよりも
小さいピッチで設置されている。このため、銅板２を連
続的に送り出した場合でも、必ずその銅板２にいずれか
のカソード３８が接触し、そこから絶えず給電がなされ
るようになっている。つまり、この電解めっき装置３１
では、ステップ送りばかりでなく、連続搬送も可能とな
っている。そして、上記のようなステップ送りまたは連
続送りを行う結果、銅板２における異なる箇所から通電
がなされ、もってめっきムラ、焼け、めっき未着が防止
されるようになっている。

【００５０】以上のような第２の実施形態の構成であっ
ても、第１の実施形態と同様の作用効果を奏することは
いうまでもない。特に、この電解めっき装置３１では、
ガイド構造がより簡単であるという有利な特徴がある。

【００５１】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。 （１）図６に示される別の実施形態の電解めっき装置４
１のように、波状ガイド線２２の代わりに、例えば樹脂
製の直線状ガイドレール４２，４３を上下に一対ずつ配
設することとしてもよい。この構成であっても、第１の
実施形態と同様の効果を奏する。

【００５２】（２）第２の実施形態において、摺動板４
０に形成されたガイド溝３７の複数の箇所に転動促進用
の窪み４５を形成しておいてもよい。このような構成と
すると、搬送されてきた銅板２が、窪み４５の部分を通
過する際に前方に転動する（図７参照）。その結果、今
まで上方を向いていた側面が進行方向側を向き、今まで
非進行方向側を向いていた側面が上方を向くようにな
る。従って、カソード６が接触する側面が今までとは別
のものになる。

【００５３】（３）カソード６，３８を水平方向にも駆
動するとともに、そのカソード６，３８を用いて銅板２
等の被めっき物の搬送を行ってもよい。この構成である
と、めっき液中に搬送手段を設ける必要がなくなるとい
う利点がある。

【００５４】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１） 請求項１において、前記被めっき物を転動させ
つつ搬送することによって、前記カソード接触位置の変
更を行うこと。この方法であっても、均一でムラのない
めっき膜を確実に得ることができ、かつ生産性の向上を
図ることができる。

【００５５】（２） 請求項２〜５において、前記搬送
手段は、無端状のベルトと、そのベルトを波状に屈曲さ
せた状態で巻回するための複数のプーリと、前記ベルト
から突出するとともに前記被めっき物を押圧する押圧バ
ーとからなる屈曲ベルトコンベアであること。この構成
であると、より均一にかつムラなくめっき膜を形成でき
る。

【００５６】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「ステップ送り： 搬送手段の駆動・停止を周期的に行
いながら被めっき物を搬送することをいう。」

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明によれば、均一でムラのないめっき膜を確実に得る
ことができるとともに、生産性の向上を図ることができ
る電解めっき方法を提供することができる。請求項２〜
６に記載の発明によれば、均一でムラのないめっき膜を
確実に得ることができるとともに、生産性の向上を図る
ことができる電解めっき装置を提供することができる。
特に、請求項３に記載の発明によれば、器具の保守が容
易な電解めっき装置を提供することができる。請求項
４，５に記載の発明によれば、より確実に均一でムラの
ないめっき膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施形態の電解めっき装置を示す部分破
断概略斜視図。

【図２】同電解めっき装置の要部拡大部分破断斜視図。

【図３】同電解めっき装置を搬出側からみた概略部分側
断面図。

【図４】（ａ）〜（ｄ）は、同電解めっき装置による電
解めっき方法を説明するための概略図。

【図５】第２の実施形態の電解めっき装置を示す要部拡
大部分破断斜視図。

【図６】別の実施形態の電解めっき装置を示す概略部分
側断面図。

【図７】別の実施形態の電解めっき方法を示す概略図。

【図８】（ａ）〜（ｃ）は、従来における電解めっき装
置の要部を示す概略斜視図。

【符号の説明】

１，３１，４１…電解めっき装置、２…被めっき物とし
ての銅板、４…めっき槽、５…アノード、６，３８…カ
ソード、７…搬送手段としてのネットコンベア、２２…
波状ガイド線、２３，３９…支持体、３２…搬送手段と
しての屈曲ベルトコンベア、３７…ガイド溝、Ｐ1 〜Ｐ
4 …カソードの接触位置。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電解めっき液中に設けられたアノードに被
   めっき物を対向配置するとともに、前記被めっき物を搬
   送しながら、前記被めっき物にめっき膜を形成する電解
   めっき方法であって、前記被めっき物の搬送時にカソー
   ドの接触位置の変更を行いながら通電を行う電解めっき
   方法。
2. 【請求項２】電解めっき液が満たされるめっき槽と、前
   記めっき槽内に配置されたアノードと、被めっき物にお
   ける複数の箇所に対して接離可能に設けられたカソード
   と、前記被めっき物を所定方向に搬送する搬送手段とか
   らなり、前記被めっき物を搬送しつつ通電を行う電解め
   っき装置。
3. 【請求項３】前記カソードは複数個であり、それらのカ
   ソードは被めっき物の搬送経路の上方に設けられた支持
   体に対して揺動可能に設けられている請求項２に記載の
   電解めっき装置。
4. 【請求項４】前記被めっき物を搬送時にガイドするガイ
   ド溝を前記搬送経路に沿って設けた請求項２または３に
   記載の電解めっき装置。
5. 【請求項５】前記被めっき物を搬送時にガイドする２本
   の波状ガイド線を前記搬送経路に沿って設けた請求項２
   または３に記載の電解めっき装置。
6. 【請求項６】前記搬送手段は前記被めっき物を水平方向
   に搬送するネットコンベアである請求項２乃至５のいず
   れか１項に記載の電解めっき装置。