JPH09105414A - ロータを軸支する磁気軸受 - Google Patents

ロータを軸支する磁気軸受

Info

Publication number
JPH09105414A
JPH09105414A JP8207119A JP20711996A JPH09105414A JP H09105414 A JPH09105414 A JP H09105414A JP 8207119 A JP8207119 A JP 8207119A JP 20711996 A JP20711996 A JP 20711996A JP H09105414 A JPH09105414 A JP H09105414A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
magnetic bearing
rotor
magnetic
voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8207119A
Other languages
English (en)
Inventor
Armin Conrad
アルミーン・コンラート
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Balzers Pfeiffer GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH, Balzers Pfeiffer GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of JPH09105414A publication Critical patent/JPH09105414A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406—Magnetic bearings
    • F16C32/044—Active magnetic bearings
    • F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0446—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/08—Structural association with bearings
    • H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2380/00—Electrical apparatus
    • F16C2380/26—Dynamo-electric machines or combinations therewith, e.g. electro-motors and generators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気軸受のレギュレータ回路を不要化して製
造コストを引き下げる。 【解決手段】 本発明は、直流電動機を備えたロータ
（１）を軸支する磁気軸受に関する。電動機の構成部品
を、ロータ（１）の中立位置からの偏位を求めるために
利用する。１つないし複数の付加コイルアセンブリ
（４、４’）を使用し、それら付加コイルアセンブリの
個々の部分（４Ｄ、４Ｖ）ないし（４’Ｄ、４’Ｖ）を
本発明に従って協働させることによって、磁気軸受の安
定化機能を得ており、もって、高価なレギュレータ回路
を不要化している。本発明は、磁気アキシャル軸受用の
装置としても、また磁気ラジアル軸受用の装置としても
利用可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロータを支持する
無接触形アクティブ磁気軸受に関し、より詳しくは、そ
のロータの駆動機構が、そのロータ上の永久磁石とステ
ータコイルとを含んでいる直流電動機であるその種の磁
気軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気軸受は、特に回転体を高速回転させ
る場合等に、通常軸受と比べて多くの利点を有すること
が知られているため、従来より多数の磁気軸受の形態が
提案されている。いわゆるハイブリッド軸受等に見られ
る機械的支持を一切排除し、ロータを完全無接触状態で
磁場中に浮上させ、しかも安定した浮上状態を得たい場
合には、電磁場が利用される。また、その電磁場を発生
させるコイルを制御するために、ステータに対するロー
タの相対位置ないしは相対位置変動量に対応したセンサ
信号に応動するレギュレータ回路が用いられている。ま
た、公知のセンサの動作方式には、光方式、電磁誘導方
式、それに電気容量方式等がある。これらセンサ及びレ
ギュレータ回路のコストが磁気軸受全体の原価のうちの
大きな割合を占めており、それらが、しばしば、全体の
製造コストを押し上げている。
【０００３】センサ及びレギュレータ回路にかかるコス
トを軽減し、或いは全く不要にすることを目的とした、
様々な磁気軸受の形態がこれまでに開発されているが、
それらにはいずれも重大な欠点が付随しており、実際に
用いた場合のそれら磁気軸受の有用性は限られたもので
しかなかった。
【０００４】ヨーロッパ特許公報第０５９４０３３号に
は、渦電流誘導方式の磁気軸受が記載されている。この
磁気軸受は、誘導電流を利用して自動レギュレーション
を行わせるようにしたものである。そのために、ステー
タ上に２対の磁石を配設し、対になった磁石どうしの間
に、回転する導電材料製ディスクを位置させている。導
体と磁石とが相対運動すると導体中に渦電流が誘導され
る。それによって磁場が発生し、その磁力が、回転して
いる導電材料製ディスクとステータ上に配設されている
磁石との間の反発力として作用する。この反発力は、デ
ィスクが磁石に近付くと大きくなり、遠ざかると小さく
なる。その結果として、この磁気軸受の系の自動レギュ
レーション作用が得られている。
【０００５】この磁気軸受は、その原理からして、所定
の回転数以外では良好に機能することができず、なぜな
らば、この磁気軸受は導体と磁石との間の相対運動に依
存しているからである。従って、静止時、停止移行時、
及び低速回転時に備えて、補助的な軸受装置を装備して
おく必要がある。更に、その誘導電流が発熱源となっ
て、ディスクの温度が許容限度を超えた高温になる。従
って、本発明にかかる方式（ディスクを薄くして、ディ
スクの両側に誘導される電流どうしが部分的に打ち消し
合うようにすることができる）とは異なり、そのディス
クの温度を、長期間の連続運転が可能なほどに低い温度
に抑えることができない。
【０００６】米国特許公報第５３０２８７４号にも、同
様の磁気軸受が記載されている。この磁気軸受では、ス
テータ上に複数の永久磁石を配設し、ロータには両端を
接続してエンドレスにしたコイルを備えている。この磁
気軸受にも、本質的に、上述のヨーロッパ特許公報第０
５９４０３３号に記載されている磁気軸受と同じ欠点が
付随している。
【０００７】米国特許公報第５３４５１２８号には、更
に別の形態が提案されている。この形態は、ロータに磁
極の方向を互いに逆にした一対の磁石を配設し、ステー
タに複数のコイルを取付けたものである。ロータが中立
位置から偏位したならば、それらコイルに電流が誘導さ
れて磁場が発生し、その磁力がロータを中立位置へ復帰
させる方向に作用する。従ってこの形態によれば、誘導
電流はステータ側に発生するため、誘導電流によって生
じる熱の除去が容易であるという利点が得られる。ステ
ータのそれらコイルは、センサとしても利用することが
でき、それによって補助的な電磁石を制御することがで
きる。そうすることによって、この磁気軸受は比較的低
回転時にも良好に機能するものとなる。ただしこの構成
には、ロータに取付ける磁石構造及びステータに取付け
るコイルアセンブリが高価であるという欠点が付随して
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ロー
タを無接触状態で浮上回転させる磁気軸受であって、自
動レギュレーション機能を備え、高価なセンサ及びレギ
ュレータ回路を必要としない磁気軸受を提供することに
ある。これによって、従来例にかかる上記構成に付随し
ている欠点が軽減される。更に、駆動機構の一部として
機能すると同時に磁気軸受の一部として機能するような
構造とすることを目指している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】以上の目的は、１つない
し複数の付加コイルアセンブリをロータの永久磁石部分
に近接させてステータ上に配設することにより、回転運
動する永久磁石が付加コイルアセンブリに電圧を誘導
し、この誘導電圧の振幅ないし位相等の特性量が永久磁
石と付加コイルアセンブリとの間の相対位置に応じた量
となるようにし、更に、その特性量を、磁気軸受の安定
化のためのセンサ信号として用いるようにすることによ
って達成される。この磁気軸受をアキシャル軸受として
構成して、ロータの軸心方向の位置が変動した際に、付
加コイルアセンブリに誘導される電圧がこの磁気アキシ
ャル軸受を安定化させるようにしてもよい。或いは、こ
の磁気軸受をラジアル軸受として構成して、ロータの径
方向の位置が変動した際に、付加コイルアセンブリに誘
導される電圧がこの磁気ラジアル軸受を安定化させるよ
うにしてもよい。いずれの場合にも、複数の付加コイル
アセンブリが、互いに軸心方向に離隔していると共に、
永久磁石の中立位置から軸心方向に離隔しているように
構成することができる。更にその場合に、それら複数の
付加コイルアセンブリの各々が、互いに巻数の異なった
第１コイル部分と第２コイル部分とから成り、夫々の第
１コイル部分どうしの巻数が互いに等しく、夫々の第２
コイル部分どうしの巻数が互いに等しい構成とすること
ができる。また、第１コイル部分どうしを、それらに誘
導される電圧が互いに差し引きされて差電圧が発生する
ように直列に接続してもよい。また、複数の第２コイル
部分に誘導される互いに位相が１８０°ずれた電圧に上
述の差電圧が加えられ、しかもその際に、ロータの偏位
の方向に応じてその電圧の付加が正値の付加または負値
の付加となるように、複数の第２コイル部分を複数の第
１コイル部分に接続した構成としてもよい。
【００１０】本発明によれば、高価なセンサ及びレギュ
レータ回路を使用することなく、自動レギュレーション
機能によって、ロータを磁気的に軸支することができ
る。駆動機構の構成部品を利用してロータの中立位置か
らの偏位を求めるようにしているため、センサ関係の構
造を大幅に簡単化することができる。１つないし複数の
付加コイルアセンブリは、その個々の構成部分を本発明
の方式で相互に接続するのがよく、それによって高価な
レギュレータ回路を不要化することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】これより図面を参照しつつ、本発
明の実施の形態について説明して行く。図１及び図２に
符号１を付して示したのはロータである。駆動機構は電
動機で構成されており、この電動機は、ロータ１上に配
設した永久磁石２と、ステータコイル３とで構成してあ
る。図１は、磁気アキシャル軸受６と、付加コイルアセ
ンブリ４及び４’とを示しており、付加コイルアセンブ
リ４及び４’は、ステータ側に配設してあり、ロータの
永久磁石２の軸心方向の境界部に近接した位置に配設し
てある。ここで重要なことは、それら付加コイルアセン
ブリ４と４’とが、互いに軸心方向に所定距離だけ離隔
していると共に、永久磁石２の中立位置１２からも軸心
方向に所定距離だけ離隔しているということである。図
２は、図１に対応した図であり、磁気ラジアル軸受７
と、付加コイルアセンブリ５及び５’とを示しており、
付加コイルアセンブリ５及び５’は、互いに１８０°角
度をずらしてステータ上に配設してあり、ロータの永久
磁石２の目標位置から互いに等しい径方向間隔をもって
離隔した位置に配設してある。夫々磁気軸受６ないし７
のコイルアセンブリ４、４’ないし５、５’のセンサ信
号を、調節装置８が、それら磁気軸受を安定化するため
に用いている。この調節装置８を、磁気軸受のアクティ
ブ要素への給電をも併せて行う装置としてもよい。図３
は、磁気アキシャル軸受６のコイルアセンブリ４、４’
の構成及び接続の態様を示した図である。図示例では、
それらコイルアセンブリ４及び４’は、各々が２つのコ
イル部分４Ｄ及び４Ｖ、ないし４’Ｄ及び４’Ｖから成
り、それら２つの部分は互いに巻数が異なる。また、コ
イル部分４Ｄと４’Ｄとは互いに巻数が等しく、コイル
部分４Ｖと４’Ｖとは互いに巻数が等しい。
【００１２】ロータ１は、磁気軸受６の軸心方向におけ
る、該ロータの中立位置にくるようにしてあり、従っ
て、コイルアセンブリ４及び４’に対して対称な位置に
くるようにしてある。ロータ１がその位置にあるときに
は、コイル部分４Ｄと４’Ｄとに互いに等しい電圧が誘
導され、またコイル部分４Ｖと４’Ｖとに互いに等しい
電圧が誘導されている。コイル部分４Ｄと４Ｖとでは、
またコイル部分４’Ｄと４’Ｖとでは、互いに巻数が異
なるため、それらコイル部分に誘導される電圧は互いに
異なる。
【００１３】コイル部分４Ｄと４Ｄ’とは、それらに誘
導される電圧が互いに差し引きされて差電圧が発生する
ように直列に接続してある。ロータがその軸心方向にお
ける中立位置にあるときには、この差電圧はゼロになっ
ている。ロータがその中立位置から偏位したならば、こ
の差電圧もゼロから偏位する。この差電圧の振幅はロー
タの偏位の絶対値を表す量である。一方、ロータの偏位
の方向は、差電圧の振幅のみに基づいて検出することは
できない。方向の検出は、何らかの基準量に対する相対
的な差電圧の位相を考慮してはじめて可能になる。例え
ば、位相検出のための整流回路を更に追加して装備する
ことによっても、ロータの中立位置からの偏位の大きさ
及び方向を求めることができる。
【００１４】しかしながら、位相検出のための整流回路
を装備すると、能動回路部品を使用するためにコストが
増大することになり、本発明の目的を考慮するならば、
コストの増大は回避することが好ましい。
【００１５】本発明においては、コイル部分４Ｖ及び４
Ｖ’に誘導される夫々の電圧が、互いに位相が１８０°
ずれるようにしてあり、それら電圧に前述の差電圧を加
えるようにしている。そして位相を考慮して、ロータの
偏位の方向に応じて正値と負値とのいずれかが加えられ
るようにしている。
【００１６】そのため、接続点４１と４２との間の電圧
の振幅と、接続点４１と４３との間の電圧の振幅との、
２つの電圧振幅のみに基づいて、ロータの軸心方向の偏
位の大きさと方向とを検出することができる。
【００１７】こうして得られた信号を、磁気軸受６の安
定化のためのセンサ信号として用いている。これによっ
て、能動素子である増幅器を使用することなく、最適調
節によって磁気軸受の電磁石を安定化できるようにして
いる。ただし、上のようにして得られたセンサ信号を、
能動素子である増幅器を制御するために用いる構成とす
ることも可能である。
【００１８】複数のコイルアセンブリをロータの周囲に
分布させて配設し、即ち、例えば三相のシステムであれ
ば３つのコイルアセンブリを１２０°間隔で配設し、そ
してセンサ信号に更に処理を加え、即ち、センサ信号を
整流して脈流の直流信号とするならば、それによってセ
ンサ信号の波動分を大幅に減少させることができる。こ
れにより、電力損失、騒音減衰、及び振動に関する利点
が得られる。
【００１９】図４は、図２の磁気ラジアル軸受の、コイ
ルアセンブリ５及び５’の構成及び接続の態様を示した
図である。コイルアセンブリ５及び５’はコイルアセン
ブリ４及び４’に対応した構成であり、即ち、コイルア
センブリ５及び５’は各々が２つのコイル部分５Ｄ及び
５Ｖ、ないし５’Ｄ及び５’Ｖから成り、それら２つの
部分は互いに巻数が異なる。また、コイル部分５Ｄと
５’Ｄとは互いに巻数が等しく、コイル部分５Ｖと５’
Ｖとは互いに巻数が等しい。
【００２０】図４のコイルアセンブリの構成及び作用に
関する詳細な説明は、前述の磁気アキシャル軸受におけ
る構成及び作用の説明と同じになるため省略する。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気アキシャル軸受を備えたロータの模式図で
ある。
【図２】磁気ラジアル軸受を備えたロータの模式図であ
る。
【図３】コイルアセンブリ４、４’の詳細図である。
【図４】コイルアセンブリ５、５’の詳細図である。
【符号の説明】
１ ロータ ２ 永久磁石 ３ ステータコイル ４、４’ コイルアセンブリ ５、５’ コイルアセンブリ ６ 磁気アキシャル軸受 ７ 磁気ラジアル軸受

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ロータ（１）を軸支する磁気軸受であ
    り、該ロータ（１）の駆動機構が該ロータ（１）上の永
    久磁石（２）とステータコイル（３）とを含んでいる直
    流電動機である磁気軸受において、１つないし複数の付
    加コイルアセンブリ（４、４’）ないし（５、５’）を
    前記ロータの永久磁石部分（２）に近接させて前記ステ
    ータ上に配設することにより、回転運動する前記永久磁
    石（２）が該付加コイルアセンブリに電圧を誘導し、該
    誘導電圧の振幅ないし位相等の特性量が前記永久磁石
    （２）と該付加コイルアセンブリ（４、４’）ないし
    （５、５’）との間の相対位置に応じた量となるように
    し、更に、該特性量を、該磁気軸受（６）ないし（７）
    の安定化のためのセンサ信号として用いるようにしたこ
    とを特徴とする磁気軸受。
  2. 【請求項２】 前記磁気軸受（６）をアキシャル軸受と
    して構成してあり、前記ロータ（１）の軸心方向の位置
    が変動した際に、前記付加コイルアセンブリ（４、
    ４’）に誘導される電圧がこの磁気アキシャル軸受
    （６）を安定化させるようにしてあることを特徴とする
    請求項１記載の磁気軸受。
  3. 【請求項３】 複数の前記付加コイルアセンブリ（４、
    ４’）が、互いに軸心方向に離隔していると共に、前記
    永久磁石（２）の中立位置（１２）から軸心方向に離隔
    していることを特徴とする請求項２記載の磁気軸受。
  4. 【請求項４】 複数の前記付加コイルアセンブリ（４、
    ４’）の各々が、互いに巻数の異なった第１コイル部分
    （４Ｄ、４’Ｄ）と第２コイル部分（４Ｖ、４’Ｖ）と
    から成り、夫々の第１コイル部分（４Ｄ、４’Ｄ）どう
    しの巻数が互いに等しく、夫々の第２コイル部分（４
    Ｖ、４’Ｖ）どうしの巻数が互いに等しいことを特徴と
    する請求項１、２、または３記載の磁気軸受。
  5. 【請求項５】 前記第１コイル部分（４Ｄ、４’Ｄ）ど
    うしを、それらに誘導される電圧が互いに差し引きされ
    て差電圧が発生するように直列に接続してあることを特
    徴とする請求項４記載の磁気軸受。
  6. 【請求項６】 複数の前記第２コイル部分（４Ｖ、４’
    Ｖ）に誘導される互いに位相が１８０°ずれた電圧に前
    記差電圧が加えられ、しかもその際に、前記ロータの偏
    位の方向に応じて該差電圧の付加が正値の付加または負
    値の付加となるように、複数の前記第２コイル部分（４
    Ｖ、４’Ｖ）を複数の前記第１コイル部分（４Ｄ、４’
    Ｄ）に接続してあることを特徴とする請求項５記載の磁
    気軸受。
  7. 【請求項７】 前記磁気軸受（７）をラジアル軸受とし
    て構成してあり、前記ロータ（１）の径方向の位置が変
    動した際に、前記付加コイルアセンブリ（５、５’）に
    誘導される電圧がこの磁気ラジアル軸受（７）を安定化
    させるようにしてあることを特徴とする請求項１記載の
    磁気軸受。
  8. 【請求項８】 複数の前記付加コイルアセンブリ（５、
    ５’）の各々が、互いに巻数の異なった第１コイル部分
    （５Ｄ、５’Ｄ）と第２コイル部分（５Ｖ、５’Ｖ）と
    から成り、夫々の第１コイル部分（５Ｄ、５’Ｄ）どう
    しの巻数が互いに等しく、夫々の第２コイル部分（５
    Ｖ、５’Ｖ）どうしの巻数が互いに等しいことを特徴と
    する請求項１または７記載の磁気軸受。
  9. 【請求項９】 前記第１コイル部分（５Ｄ、５’Ｄ）ど
    うしを、それらに誘導される電圧が互いに差し引きされ
    て差電圧が発生するように直列に接続してあることを特
    徴とする請求項８記載の磁気軸受。
  10. 【請求項１０】 複数の前記第２コイル部分（５Ｖ、
    ５’Ｖ）に誘導される互いに位相が１８０°ずれた電圧
    に前記差電圧が加えられ、しかもその際に、前記ロータ
    の偏位の方向に応じて該差電圧の付加が正値の付加また
    は負値の付加となるように、複数の前記第２コイル部分
    （５Ｖ、５’Ｖ）を複数の前記第１コイル部分（５Ｄ、
    ５’Ｄ）に接続してあることを特徴とする請求項９記載
    の磁気軸受。
JP8207119A 1995-08-08 1996-08-06 ロータを軸支する磁気軸受 Pending JPH09105414A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19529038A DE19529038A1 (de) 1995-08-08 1995-08-08 Magnetlager für einen Rotor
DE19529038.0 1995-08-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09105414A true JPH09105414A (ja) 1997-04-22

Family

ID=7768922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8207119A Pending JPH09105414A (ja) 1995-08-08 1996-08-06 ロータを軸支する磁気軸受

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5777414A (ja)
EP (1) EP0758157B1 (ja)
JP (1) JPH09105414A (ja)
DE (2) DE19529038A1 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6074180A (en) 1996-05-03 2000-06-13 Medquest Products, Inc. Hybrid magnetically suspended and rotated centrifugal pumping apparatus and method
US6394769B1 (en) 1996-05-03 2002-05-28 Medquest Products, Inc. Pump having a magnetically suspended rotor with one active control axis
JP4005654B2 (ja) * 1996-12-26 2007-11-07 Ｎｔｎ株式会社 磁気浮上型遠心式ポンプ装置
KR100330707B1 (ko) * 2000-03-29 2002-04-03 이형도 비접촉 구동 모터
FR2808872B1 (fr) * 2000-05-15 2002-08-16 Cit Alcatel Capteurs inductifs en etoile pour la detection de la position radiale d'un rotor dans un stator
DE10032440A1 (de) * 2000-07-04 2002-01-17 Schlafhorst & Co W Rotorspinnvorrichtung mit einer berührungslosen passiven radialen Lagerung des Spinnrotors
US20030023131A1 (en) * 2001-06-06 2003-01-30 Antaki James F. Apparatus and method for reducing heart pump backflow
WO2003001980A2 (en) * 2001-06-29 2003-01-09 Medquest Products,Inc. Cannulation apparatus and method
US6879126B2 (en) 2001-06-29 2005-04-12 Medquest Products, Inc Method and system for positioning a movable body in a magnetic bearing system
US8292908B2 (en) * 2001-06-29 2012-10-23 World Heart Corporation Endoscopic cannulation apparatus and method
US7078838B2 (en) * 2001-09-05 2006-07-18 The Regents Of The University Of California Passive magnetic bearing for a motor-generator
US7338521B2 (en) * 2002-06-13 2008-03-04 World Heart, Inc. Low profile inlet for an implantable blood pump
DE102005030878B4 (de) * 2005-07-01 2010-09-02 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung der Mittenabweichung einer Welle
US8752449B2 (en) 2007-05-08 2014-06-17 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism
US8129984B2 (en) 2007-06-27 2012-03-06 Brooks Automation, Inc. Multiple dimension position sensor
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
US9752615B2 (en) 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
KR101532060B1 (ko) 2007-06-27 2015-06-26 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 셀프 베어링 모터를 위한 위치 피드백
WO2009003195A1 (en) 2007-06-27 2008-12-31 Brooks Automation, Inc. Motor stator with lift capability and reduced cogging characteristics
KR20180014247A (ko) 2007-07-17 2018-02-07 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 챔버 벽들에 일체화된 모터들을 갖는 기판 처리 장치
US20110211169A1 (en) * 2010-03-01 2011-09-01 Osram Opto Semiconductor Gmbh Projection System

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2213513C2 (de) * 1972-03-20 1982-04-29 Padana AG, Zug Steuerschaltung für die magnetische Lagerung eines Körpers
DE2349033C3 (de) * 1973-09-29 1984-08-30 Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln Turbomolekularpumpe
DE2420814C3 (de) * 1974-04-30 1980-10-16 Padana Ag, Zug (Schweiz) Magnetlager mit einem Lagerelement zur Festlegung eines translatorischen Freiheitsgrades
US4180946A (en) * 1975-10-02 1980-01-01 Maurice Brunet Tool holding spindle assembly particularly for a grinding machine
US4065189A (en) * 1975-10-14 1977-12-27 Honeywell Inc. Magnetically suspended angular momentum wheel
FR2417797A1 (fr) * 1978-02-20 1979-09-14 Europ Propulsion Dispositif de compensation du grain d'un circuit asservi par contre-reaction en courant
SU1025997A1 (ru) * 1980-11-18 1983-06-30 Рижский Краснознаменный Институт Инженеров Гражданской Авиации Им.Ленинского Комсомола Датчик контрол радиального смещени вращающегос вала
FR2501314A1 (fr) * 1981-03-09 1982-09-10 Europ Propulsion Palier electromagnetique actif redondant
JPH0646036B2 (ja) * 1982-11-19 1994-06-15 セイコー電子工業株式会社 軸流分子ポンプ
FR2561730B1 (fr) * 1984-03-26 1986-08-22 Europ Propulsion Dispositif de compensation des defauts geometriques d'un anneau de detecteur radial de suspension magnetique active de rotor
JPS61218355A (ja) * 1985-03-22 1986-09-27 Res Dev Corp Of Japan 回転位置決め機能を有する磁気浮上アクチユエ−タ
US4841204A (en) * 1987-10-07 1989-06-20 Studer Philip A Combination electric motor and magnetic bearing
US4924180A (en) * 1987-12-18 1990-05-08 Liquiflo Equipment Company Apparatus for detecting bearing shaft wear utilizing rotatable magnet means
DE3808331A1 (de) * 1988-03-12 1989-09-28 Kernforschungsanlage Juelich Magnetische lagerung mit permanentmagneten zur aufnahme der radialen lagerkraefte
EP0419476B1 (de) * 1988-06-06 1992-06-03 TELDIX GmbH Lager zur radialen und axialen lagerung eines rotors mit grosser radialer ausdehnung
JPH03256546A (ja) * 1990-03-05 1991-11-15 Ebara Corp スピンドルモータ
NL9001908A (nl) * 1990-08-30 1992-03-16 Philips Nv Elektromagnetische ondersteuning met positie-onafhankelijke eigenschappen.
GB9020474D0 (en) * 1990-09-19 1990-10-31 Hmd Seal Less Pumps Ltd Apparatus for measuring the change of position of a rotor
DE4216481A1 (de) * 1992-05-19 1993-12-02 Forschungszentrum Juelich Gmbh Magnetlagerregler
US5332987A (en) * 1992-07-31 1994-07-26 Intermagnetics General Corporation Large gap magnetic suspension system with superconducting coils
US5302874A (en) * 1992-09-25 1994-04-12 Magnetic Bearing Technologies, Inc. Magnetic bearing and method utilizing movable closed conductive loops
JPH06311699A (ja) * 1993-01-07 1994-11-04 Toshiba Corp 磁気軸受搭載回転電機
US5543673A (en) * 1993-07-27 1996-08-06 Sundstrand Corporation High performance magnetic bearing

Also Published As

Publication number Publication date
EP0758157A3 (de) 1997-04-23
EP0758157B1 (de) 2001-01-24
EP0758157A2 (de) 1997-02-12
DE19529038A1 (de) 1997-02-13
US5777414A (en) 1998-07-07
DE59606365D1 (de) 2001-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09105414A (ja) ロータを軸支する磁気軸受
US6626644B2 (en) Magnetically levitated pump and controlling circuit
EP0662262B1 (en) Magnetic bearing system and method
US5936370A (en) Electromagnectic rotating machine
US5319273A (en) Fixed gain electromagnetic actuator and electromagnetic bearing incorporating same
US4942321A (en) Radial magnetic bearing system
US6130494A (en) Magnetic bearing apparatus and a method for operating the same
JP2644374B2 (ja) 磁気軸受構造体
EP0191225B1 (en) Magnetic bearing device
US6078119A (en) Bearingless rotary machine
US6707200B2 (en) Integrated magnetic bearing
JP2001078389A (ja) 磁気浮上型電動機
US20060113848A1 (en) Linear brushless D.C. motor with stationary armature and field and with integralable magnetic suspension
US20080211354A1 (en) Bearingless Step Motor
JPS5943220A (ja) ジンバリング制御が可能な磁気軸受
US7078839B2 (en) Self-bearing step motor and its control method
JP2001190045A (ja) 磁気浮上モータ
US6914361B2 (en) Magnetic bearing
EP0763169B1 (en) Dc-biased axial magnetic bearing
JP2860398B2 (ja) アキシャル磁気浮上回転モータ及びこれを用いた回転機器
JP3710547B2 (ja) ディスク型磁気浮上回転機械
JPS6399742A (ja) 磁気軸受一体型モ−タ
JPH06133493A (ja) 磁気浮上誘導モータ
JPH07184345A (ja) 磁気浮上モータ装置
JPH07305723A (ja) 受動型磁気軸受装置