JPH09103938A

JPH09103938A - 搬送システムの制御装置

Info

Publication number: JPH09103938A
Application number: JP8087583A
Authority: JP
Inventors: Hisahiro Okumura; 寿浩奥村; Takafumi Taki; 貴文瀧; Masaaki Azeyanagi; 雅明畔柳
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1995-03-17
Filing date: 1996-03-15
Publication date: 1997-04-22
Anticipated expiration: 2016-03-15
Also published as: JP3239742B2

Abstract

(57)【要約】【課題】製造ラインにおける部品の搬送効率を向上させ
ること。【解決手段】搬送システムの制御装置10は、各搬送車V1
〜V7の位置、積載状況のデータ及び各ジョブショップJ1
〜J7からの搬入、搬出の搬送要求を入力すると共に各搬
送車V1〜V7への搬送指示を出力する入出力インタフェー
ス1 と、制御プログラムが記憶されたROM3と、各ジョブ
ショップJ1〜J7からの搬送要求がその発生順に記憶され
ると共に、各ジョブショップJ1〜J7の位置及び各搬送車
V1〜V7の位置や積載状況のデータ等が記憶され、書き換
え可能なRAM4と、ROM3に記憶されたプログラムに基づ
き、RAM4に記憶された搬送要求を記憶順に選択し、各搬
送車V1〜V7への搬送指示値（搬送先、搬送元、搬送対象
キャリア、搬送経路等）を演算する演算処理部2 とから
構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製造ラインにおけ
る搬送システムの制御装置に係わり、例えば、半導体ウ
エハなどの半導体装置の製造ライン等に見られるよう
に、部品の製造ラインに適用されている自走式自動搬送
車を制御する際に必要なように、複数の搬送先候補の中
から任意に指示された複数の搬送先に対し、部品を搬出
または搬入する搬送車に個別に搬送指示を出力する制御
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、部品の製造ラインや宅配便の収集
配達等に適用されている搬送システムの制御装置に関す
るものとして、例えば、特開昭６３−１２００６１号公
報などが知られている。この特開昭６３−１２００６１
号公報で開示された技術は、各作業ステーションが無作
業とならないように、無人搬送車に対して搬送要求を割
り付ける構成としている。このとき、待機中及び現在作
業中の無人搬送車だけでなく、同一イベント内で割り付
け決定済の無人搬送車に対しても他の搬送要求に対する
割り付け対象としている。そして、これら無人搬送車の
アクセス時間を評価し、搬送要求の緊急度の順に最も早
くアクセス可能な無人搬送車に搬送要求を割り付けるこ
とを特徴としている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記開
示技術などは部品を一つの作業ステーションから別の作
業ステーションに運搬する場合における搬送（搬入及び
搬出）要求及び搬送指示は、搬送車１台の最大積載量を
１単位として扱われるので、半導体装置の製造ラインな
どのように搬送車の最大積載量未満の単位で搬送要求が
発生する場合には、最大積載量未満で搬送が行われ、効
率が悪いという問題がある。

【０００４】従って、本発明の目的は、上記課題に鑑み
て、製造ラインにおいて搬送車の最大積載量未満の単位
で搬送要求が発生する場合において、処理効率（輸送効
率）のよい搬送システムの制御装置を提供することであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１、２、４、及び５に記載の手段によると一
度の搬送指示で搬送手段への最大割り付け作業量を搬送
手段の最大積載量の２倍まで可能となり、また、搬入要
求と搬出要求を時系列で処理しつつ各要求が実行される
ので、決定された搬送経路上にある各作業ステーション
及び／または集配ステーションにおいて所定の作業が遅
延なく行われる。また、請求項３に記載の手段による
と、上記請求項１に記載の手段と同等の効果を有すると
共に、最も要求個数の多い方の搬入要求または搬出要求
の順に部品の搬送が行われるので効果的である。請求項
６に記載の手段によると、上記請求項１に記載の手段と
同等の効果を有すると共に、要求頻度の多い方の作業ス
テーションを基準に搬送を行っているのでライン効率が
よい。また、例えば半導体ウエハに多く見られるよう
に、部品の品質維持のために放置時間に制限がある場合
には、所定時間内に所望の作業ステーションに部品搬送
を行う必要があるが、このような場合請求項７に記載の
手段によれば、上記請求項１に記載の手段と同等の効果
を有すると共に、部品の品質を劣化させることなく好適
に部品搬送が行われる。

【０００６】請求項８に記載の手段によれば、上記請求
項１に記載の手段と同等の効果を有すると共に、搬送対
象毎の固有の優先順位を状況に応じて可変できるので、
各ジョブショップの稼働状況や部品の生産計画などに応
じて搬送システムを制御できる。請求項９に記載の手段
によれば、上記請求項１に記載の手段と同等の効果を有
すると共に、より早く搬送を実行することができる。請
求項１０に記載の手段によれば、上記請求項１に記載の
手段と同等の効果を有すると共に、搬送手段による部品
の搬送に関し、搬出を行った後に搬入を行う場合に比較
して、搬送手段をより有効に利用することができる。請
求項１１に記載の手段によれば、上記請求項１に記載の
手段と同等の効果を有すると共に、部品の搬入時に起こ
りうる衝突を確実に回避することができる。請求項１２
に記載の手段によれば、上記請求項１に記載の手段と同
等の効果を有すると共に、より効率的な部品の搬送を行
うことができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】

（第一実施例）図１は、本発明の第一実施例の構成を示
したものである。半導体ウエハなどの半導体装置の製造
工場２０（製造ラインに相当）は、予め設定された複数
の通路１１ａ〜１１ｆと、複数の結合点Ａ〜Ｇとしての
ジョブショップＪ１〜Ｊ７（作業ステーションに相当）
とから構成されている。搬送システムの制御装置１０
は、入出力インタフェース１と、演算処理部２と、ＲＯ
Ｍ３と、書き換え可能なＲＡＭ４（要求記憶手段に相
当）とから構成されている。入出力インタフェース１
は、各搬送車Ｖ１〜Ｖ７（搬送手段に相当）の位置や積
載状況のデータ及び各ジョブショップＪ１〜Ｊ７からの
搬入、搬出の搬送要求を入力すると共に、各搬送車Ｖ１
〜Ｖ７への搬送指示を出力する。ＲＯＭ３には、制御プ
ログラムが記憶されている。ＲＡＭ４には、各ジョブシ
ョップＪ１〜Ｊ７の位置や搬入、搬出の搬送要求データ
及び各搬送車Ｖ１〜Ｖ７の位置や積載状況データ等が記
憶されている。演算処理部２（演算手段に相当）は、Ｒ
ＯＭ３に記憶されたプログラムに基づき、各ジョブショ
ップＪ１〜Ｊ７からの搬送要求及びＲＡＭ４に記憶され
たデータを用いて、各搬送車Ｖ１〜Ｖ７への搬送指示値
（搬送元、搬送先、搬送対象キャリア、搬送経路、搬送
順序等）を演算する。このような構成の制御装置１０
は、モデル化された輸送経路網を用いて、各ジョブショ
ップＪ１〜Ｊ７間で搬送車Ｖ１〜Ｖ７を用いて部品の搬
送制御を行う。

【０００８】なお、図中の自動棚Ｓは、各ジョブショッ
プＪ１〜Ｊ７からの部品を収納したキャリア（図示せ
ず）を一時保管する集配ステーションに相当する。自動
棚Ｓ及び通路１１ａ〜１１ｆ上に位置する各搬送車Ｖ１
〜Ｖ７の位置及び積載状況のデータは、搬送制御装置５
（搬送制御手段に相当）を介して搬送システムの制御装
置１０の入出力インタフェース１に入力される。また、
入出力インタフェース１から各搬送車Ｖ１〜Ｖ７への搬
送指示値は、搬送制御装置５を介して出力される。

【０００９】上記構成のうち、ＲＡＭ４に記憶され、搬
送経路の算出に用いられるデータは、図２（ａ）〜
（ｃ）に示されているような構成である。図２（ａ）
は、各ジョブショップＪ１〜Ｊ７のデータを示したもの
であり、各ジョブショップＪ１〜Ｊ７（各結合点Ａ〜
Ｇ）毎の位置、搬入要求の個数、搬出要求の個数等から
構成されている。図中の搬入要求欄及び搬出要求欄にお
けるかっこ内のデータは、それぞれ搬入元及び搬出先を
示している。尚、図示してはいないが、搬入要求及び搬
出要求は、それぞれ要求が発生した時刻と関係付けられ
て記憶されている。図２（ｂ）は、各結合点Ａ〜Ｇ間の
経路長さを示している。図２（ｃ）は、各搬送車Ｖ１〜
Ｖ７の位置及び積載状況（百分率表示）のデータを示し
ている。

【００１０】次に、演算処理部２で行われる処理内容に
ついて図３のフローチャートを用いて説明する。まず、
ステップ110 にて、搬送指示の対象となる搬送車の選択
を行う。図示してはいないが、各搬送車Ｖ１〜Ｖ７と搬
送制御装置５との間には信号のラインが設けられ、各搬
送車Ｖ１〜Ｖ７の位置及び積載状況のデータは搬送制御
装置５及び入出力インタフェース１を介して演算処理部
２に入力される。尚、各搬送車Ｖ１〜Ｖ７と搬送制御装
置５との間は、無線でデータの送受信が行われる構成で
あってもよい。本実施例では、ある搬送車が搬送指示を
実施し、搬送車の積載状況がゼロとなった時点にてその
搬送指示を終了したものと見なし、その搬送車を選択
し、次のステップに移行する構成とした。尚、ここで
は、自動棚Ｓに位置する搬送車Ｖ１が選択されたものと
する。

【００１１】次のステップ120 で各ジョブショップＪ１
〜Ｊ７からの未搬送の搬送要求（搬入要求及び搬出要
求）を入力し、搬送要求テーブルを作成する。この搬送
要求テーブルは、各ジョブショップＪ１〜Ｊ７毎の搬入
要求の経路及びその件数、搬出要求の経路及びその件数
を示したものである。例えば、自動棚Ｓからジョブショ
ップＪ１〜Ｊ４及びＪ７への搬入要求がそれぞれ１件あ
り、ジョブショップＪ４〜Ｊ７から自動棚Ｓへの搬出要
求がそれぞれ１件あったとすると、搬送要求テーブルは
図４に示されるような構成となる。即ち、ジョブショッ
プＪ１〜Ｊ４及びＪ７は、それぞれ搬入要求が１件ずつ
あるが、その要求の時系列順にジョブショップＪ２、Ｊ
３、Ｊ４、Ｊ１、Ｊ７の順で配列される。そして、それ
ぞれのジョブショップＪ２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ１、Ｊ７に
対応する搬出要求が配列される。尚、搬入要求のないジ
ョブショップＪ５、Ｊ６は、ジョブショップＪ７に続い
て配列され、搬出要求の時系列順の配列となる。この場
合ジョブショップＪ５、Ｊ６は、それぞれ搬出要求が１
件ずつあるが、その要求の時系列順にジョブショップＪ
６、Ｊ５の順でデータが配列される。

【００１２】各搬送車Ｖ１〜Ｖ７のキャリア数を４と
し、搬入要求及び搬出要求が１個で１キャリアとすれ
ば、図４に示される搬送要求テーブルのうちジョブショ
ップＪ２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ１に関するデータが、最初の
搬送指示の対象となる。ここで、搬入要求を自動棚Ｓか
らジョブショップＪ２（結合点Ｂ）、Ｊ３（結合点
Ｃ）、Ｊ４（結合点Ｄ）、Ｊ１（結合点Ａ）への実線の
矢印で表し、搬出要求をジョブショップＪ４から自動棚
Ｓへの破線の矢印で表し、搬送経路をモデル化すれば図
５に示されるようになる。図５より、自動棚Ｓと結合点
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとの間にそれぞれ搬入要求があり、結合
点Ｄと自動棚Ｓとの間に搬出要求があることがわかる。

【００１３】この後、ステップ130 において、搬送要求
の比較演算を行う。即ち、搬送要求テーブルの中から搬
入要求と搬出要求とを区別して計数し、その計数結果を
比較して搬送要求の個数の多い方を第一の搬送要求（第
一の要求に相当）とし、個数の少ない方を第二の搬送要
求（第二の要求に相当）として出力する。この場合、図
４に示された搬送要求テーブルより、搬出要求が４件、
搬入要求が５件であることから、件数の多い搬入要求を
第一の搬送要求とし、件数の少ない搬出要求を第二の搬
送要求として出力する。

【００１４】ステップ140 では、第一割り付け演算を行
い、ステップ130 で出力された第一の搬送要求の中で、
最も古い時刻に要求のあった搬送要求を１つ選択し、選
択された搬送要求を搬送要求テーブルから削除し、選択
済の第一の搬送要求の個数が搬送車Ｖ１の最大積載量に
相当する搬送要求に達するまで、或いは、搬送要求テー
ブルに記憶された搬送要求がなくなるまで、搬送要求の
選択と削除とを繰り返す。即ち、この場合では、搬入要
求の中で最も古い要求であるジョブショップＪ２からの
搬入要求を選択し、次にジョブショップＪ２からの搬入
要求を搬送要求テーブルより削除する。以下、搬入要求
の順に、即ち、ジョブショップＪ３、Ｊ４、Ｊ１の順
に、選択された搬入要求の件数の累積が搬送車Ｖ１の最
大積載量である４件（本実施例では最大積載キャリア件
数が４件）に達するまで、搬入要求の選択と削除とを繰
り返す。

【００１５】上記第一割り付け演算の後、ステップ150
では搬送要求テーブル中の第二の搬送要求の中から、第
一割り付け演算で選択された第一の搬送要求の搬送先
（搬入先）の結合点と搬送元（搬出元）の結合点が一致
する搬送要求を、第一の搬送要求と１対１に対応させて
選択し、選択された第二の搬送要求を搬送要求テーブル
から削除する第二割り付け演算を行う。即ち、ステップ
140 で選択された搬入要求の古い順（ジョブショップＪ
２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ１の順）に、搬入要求の搬入元と一
致する搬出先を有し、搬入要求の搬入先と一致する搬出
元を有する搬出要求を搬送要求テーブルから検索する。
この場合は、自動棚ＳからジョブショップＪ４への搬入
要求に対し、ジョブショップＪ４から自動棚Ｓへの搬出
要求を選択し、その要求を搬送要求テーブルから削除す
る。尚、上記の第一割り付け演算及び第二割り付け演算
が要求選択手段に相当する。

【００１６】ステップ160 では、ステップ140 の第一割
り付け演算とステップ150 の第二割り付け演算とによる
割り付け結果を統合し、搬送車Ｖ１への搬送指示値を演
算する。即ち、自動棚ＳからジョブショップＪ４への搬
入要求とジョブショップＪ４から自動棚Ｓへの搬出要求
とを１組に取りまとめ、他の搬送要求と共に搬送指示値
として算出される。

【００１７】続くステップ170 において、搬送指示値が
搬送制御装置５に出力される。尚、この搬送指示値には
搬送元、搬送先及び搬送対象キャリアの情報がセットさ
れている。搬送制御装置５は、受信した搬送要求に基づ
き、複数の搬送車Ｖ１〜Ｖ７の中から搬送を実行させる
搬送車を選択し、同一のジョブショップで搬入要求と搬
出要求とを実行する際には、搬入、搬出の順で動作させ
ることを前提に、搬送車（この場合は搬送車Ｖ１）の搬
送経路を計算し、搬送の実行順序を計算する。

【００１８】即ち、まず、自動棚Ｓの位置で、ジョブシ
ョップＪ２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ１への搬入要求対象キャリ
アを自動棚Ｓより搬送車Ｖ１に積み込み、搬送車Ｖ１は
自動棚Ｓの位置からジョブショップＪ２（図１参照）の
位置まで走行し、その位置でジョブショップＪ２への搬
入要求に相当するキャリアを搬入する。続いて、搬送車
Ｖ１はジョブショップＪ２からジョブショップＪ３まで
走行し、その位置でジョブショップＪ３への搬入要求に
相当するキャリアを搬入する。そして搬送車Ｖ１はジョ
ブショップＪ３からジョブショップＪ４まで走行し、そ
の位置でジョブショップＪ４への搬入要求に相当するキ
ャリアを搬入し、その後ジョブショップＪ４からの搬出
要求対象のキャリアを搬出する。搬送車Ｖ１は、ジョブ
ショップＪ４にて搬出要求対象のキャリアを搬出する
と、ジョブショップＪ４から自動棚Ｓまで走行し、その
位置でジョブショップＪ４で搬出したキャリアを自動棚
Ｓに収納する。そして搬送車Ｖ１は自動棚Ｓからジョブ
ショップＪ１まで走行し、その位置でジョブショップＪ
１への搬入要求に相当するキャリアを搬入する。このよ
うにして搬送車Ｖ１は、一回の搬送指示に対する動作を
終了する。

【００１９】上記に示されるように、予め設定された通
路に従って搬送車が部品の搬送作業を行うとき、同一の
ジョブショップで搬入要求と搬出要求とがある場合に、
その位置で搬入と搬出を連続して行うようにしているの
で、同一のジョブショップで搬入と搬出とを連続して行
わないシステムに比較して単位時間当たりの搬送車が搬
送するキャリア数を増やすことができ、輸送効率を向上
させることができる。例えば、図４に示される搬送要求
テーブルでは各要求が時系列順に配列されており、古い
順に４つ分の要求（ジョブショップＪ１、Ｊ２、Ｊ３、
Ｊ４（結合点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ））を選択したとすると、
図６（ａ）、（ｂ）により明らかに輸送効率が向上して
いることがわかる。

【００２０】即ち、図６（ａ）に示す輸送経路（比較
例）では、ジョブショップＪ１、Ｊ２、Ｊ３、Ｊ４（結
合点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）へ自動棚Ｓより部品を配達させる
ために、まず、搬送車は自動棚Ｓから部品を取り出し、
ジョブショップＪ２（結合点Ｂ）へ配達し、搬入を行う
（実線の矢印）。次に、ジョブショップＪ２（結合点
Ｂ）からジョブショップＪ３（結合点Ｃ）へ部品の搬入
（配達）を行い、以下同様に、ジョブショップＪ３（結
合点Ｃ）→ジョブショップＪ４（結合点Ｄ）→ジョブシ
ョップＪ１（結合点Ａ）の順に搬入（配達）を行う（実
線の矢印）。そして、ジョブショップＪ４（結合点Ｄ）
において搬入要求と搬出要求があるために、その後、搬
送車は部品搬出のために、ジョブショップＪ１から図に
破線の矢印で示すような輸送経路を通ってジョブショッ
プＪ４まで走行する。そして、ジョブショップＪ４の位
置で搬出対象部品の搬出（収集）を行った後、ジョブシ
ョップＪ４から自動棚Ｓまで走行し、収集した部品を自
動棚Ｓに収納する、というような搬送作業を行う。尚、
作業終了後の搬送車は自動棚Ｓの位置にて次の搬送指示
があるまで待機する。

【００２１】これに対し、図６（ｂ）に示す本実施例に
よる輸送経路によると、ジョブショップＪ４（結合点
Ｄ）から搬出（収集）すべき搬出対象部品は搬入対象部
品の搬入と連続して行われ、この搬出した部品は、次に
ジョブショップＪ１（結合点Ａ）へ向かう途中で自動棚
Ｓに収納されるようにしているので、比較例の破線の矢
印で示すような輸送経路は全く必要なく、その分だけ輸
送効率が向上することになる。また、同一のジョブショ
ップへの搬入と搬出とを連続して行うことにより、１度
の搬送指示で搬送車への最大割り付けキャリア数を搬送
車の最大積載量の２倍まで割り付けることが可能であ
る。

【００２２】本実施例では積載状況がゼロになった搬送
車を選択する構成としたが、本発明は必ずしもこれに限
定されるものではなく、例えば、積載状況がゼロの搬送
車が当分確保できないような場合などは、搬送車の積載
状況がゼロでなくとも、現時点における搬送要求がその
搬送車の最大積載量に達すれば、その搬送車を搬送に用
いる構成としてもよい。

【００２３】本実施例では、図４の搬送要求テーブルに
おいて、搬出要求の搬出先が全て自動棚Ｓとなっている
が、搬出先は自動棚Ｓに限定されるものではなく、ジョ
ブショップを搬出要求の搬出先としてもよい。また、図
４の搬送要求テーブルにおいて、搬入要求の搬入元は全
て自動棚Ｓとなっているが、ジョブショップを搬入要求
の搬入元としてもよい。また、上記実施例では第一の搬
送要求を搬入要求とし、第二の搬送要求を搬出要求とし
た場合について説明したが、第一の搬送要求を搬出要求
とし、第二の搬送要求を搬入要求としてもよい。この場
合には、第一の搬送要求の搬送元（搬出元）の結合点と
搬送先（搬入先）の結合点が一致する第二の搬送要求を
選択し、その第二の搬送要求を第一の搬送要求に対応さ
せればよい。

【００２４】また、本実施例では、図３に示されるフロ
ーチャートにおいて、ステップ110において、搬送車の
積載状況がゼロとなった時点で、その搬送車を選択し、
一連の処理を行う構成としたが、本発明はこれに限定さ
れるものではない。例えば、図３においてステップ110
の搬送車選択とステップ120 の搬送要求入力とを入れ替
えて、搬送要求がある度に搬送車を選択する構成として
もよい。

【００２５】（第二実施例）本実施例では要求選択手段
を、要求時刻の古い順に搬送要求を選択する構成とした
点が特徴である。以下本発明に係わる第二実施例を図７
を用いて説明する。第二実施例におけるハードウエア構
成は第一実施例と同様であるので、それぞれ同一符号を
用いる。図７は、第二実施例における演算処理部２での
処理内容を示したフローチャートである。

【００２６】まず、部品の搬送に用いる搬送車を選択す
る (ステップ210)。この場合搬送車Ｖ１が選択されたと
する。そして各ジョブショップＪ１〜Ｊ７からの未搬送
の搬送要求を入力して搬送要求テーブルを作成した後
(ステップ220)、第一の搬送要求として要求時刻の最も
古い搬送要求を１つ選択する (ステップ230)。この選択
された第一の搬送要求を搬送要求テーブルから削除し
(ステップ240)、選択された要求が搬送車Ｖ１の最大積
載量に達するまで、或いは、搬送要求テーブルに該当す
る搬送要求がなくなるまで、搬送要求の選択と削除とを
繰り返す(ステップ250,ステップ251)。第一の搬送要求
が搬送車Ｖ１の最大積載量に達すると、或いは、該当す
る搬送要求がなくなると、その搬送先または搬送元の結
合点と一致する搬送元または搬送先の結合点を有する搬
送要求を第二の搬送要求として搬送要求テーブルの中か
ら選択し (ステップ260)、第一の搬送要求と第二の搬送
要求とを１対１に対応させて搬送車Ｖ１への搬送指示値
を演算し (ステップ270)、搬送指示値が搬送制御装置５
に出力される (ステップ280)。上記フローにより、第二
実施例では時系列順に搬送要求を処理することができ
る。

【００２７】上記実施例では時系列順に第一の搬送要求
を搬送車Ｖ１の最大積載量に達するまで選択した後に、
その第一の搬送要求に対応して第二の搬送要求を選択す
る構成としたが、第一の搬送要求を１つ選択した後にそ
の要求に対応する第二の搬送要求を１つ選択する構成と
してもよい。即ち、搬送要求をその要求時刻の古い順に
１つ選択する毎に、この選択した要求に関連のジョブシ
ョップＪ１〜Ｊ７または自動棚Ｓのいずれかにおいて、
選択した要求に対し搬入、搬出条件が異なる要求が記憶
されているとき、この異なる要求を選択し、これを搬送
車の最大積載量分まで可能なだけ繰り返す。このように
して第一の搬送要求と第二の搬送要求とを選択する構成
としても好適である。

【００２８】（第三実施例）本実施例では要求選択手段
を、結合点別に搬送要求を計数し、要求個数の多い結合
点に基づいて搬送要求を選択する構成とした点が特徴で
ある。以下本発明に係わる第三実施例を図８を用いて説
明する。第三実施例におけるハードウエア構成は第一実
施例と同様であるので、それぞれ同一符号を用いる。図
８は、第三実施例における演算処理部２での処理内容を
示したフローチャートである。

【００２９】まず、部品の搬送に用いる搬送車を選択す
る (ステップ310)。この場合、搬送車Ｖ１が選択された
とする。そして各ジョブショップＪ１〜Ｊ７からの未搬
送の搬送要求を入力して搬送要求テーブルを作成した後
(ステップ320)、結合点別に搬送要求を計数し、搬送要
求の最も多い結合点を算出する (ステップ330)。この結
合点を搬送先または搬送元とする搬送要求のなかで、要
求時刻の最も古い搬送要求を１つ選択する (ステップ34
0)。この選択された搬送要求を搬送要求テーブルから削
除し (ステップ350)、選択された搬送要求が搬送車Ｖ１
の最大積載量に達するまで、或いは、搬送要求テーブル
に該当する搬送要求がなくなるまで、搬送要求の選択と
削除とを繰り返す (ステップ360,ステップ361)。選択さ
れた搬送要求が搬送車Ｖ１の最大積載量に達してなく、
算出された結合点を搬送先または搬送元とする搬送要求
がなくなった場合には、順次要求個数の多い結合点を搬
送先または搬送元とする搬送要求を選択すればよい。選
択された搬送要求が搬送車Ｖ１の最大積載量に達する
と、或いは、該当する搬送要求がなくなると、その搬送
要求を基に搬送車Ｖ１への搬送指示値を演算し(ステッ
プ370)、搬送指示値が搬送制御装置５に出力される (ス
テップ380)。上記フローにより、第三実施例では、搬送
要求の頻度の多い結合点の順に、その結合点を搬送先ま
たは搬送元とする搬送要求を処理することができる。

【００３０】（第四実施例）本実施例では要求選択手段
を、結合点別に搬入要求を計数し、要求個数の多い結合
点に基づいて搬入要求を選択する構成とした点が特徴で
ある。以下本発明に係わる第四実施例を図９を用いて説
明する。第四実施例におけるハードウエア構成は第一実
施例と同様であるので、それぞれ同一符号を用いる。図
９は、第四実施例における演算処理部２での処理内容を
示したフローチャートである。本実施例と第三実施例と
の相違は、搬送要求ではなく、搬入要求に限定して結合
点を算出する構成とした点である。図９に示すフローと
することにより、搬入要求の頻度の多い結合点の順に、
その結合点を搬入先または搬入元とする搬入要求を処理
することができる。

【００３１】（第五実施例）本実施例では要求選択手段
を、結合点別に搬出要求を計数し、要求個数の多い結合
点に基づいて搬出要求を選択する構成とした点が特徴で
ある。以下本発明に係わる第五実施例を図１０を用いて
説明する。第五実施例におけるハードウエア構成は第一
実施例と同様であるので、それぞれ同一符号を用いる。
図１０は、第五実施例における演算処理部２での処理内
容を示したフローチャートである。本実施例と第四実施
例との相違は、搬入要求ではなく、搬出要求に限定して
結合点を算出する構成とした点である。図１０に示すフ
ローとすることにより、搬出要求の頻度の多い結合点の
順に、その結合点を搬出先または搬出元とする搬出要求
を処理することができる。

【００３２】（第六実施例）本実施例では要求選択手段
を、搬送対象に固有の優先順位を設け、その優先順位に
基づいて搬送要求を選択する構成とした点が特徴であ
る。以下本発明に係わる第六実施例を図１１を用いて説
明する。第六実施例におけるハードウエア構成は第一実
施例と同様であるので、それぞれ同一符号を用いる。図
１１は、第六実施例における演算処理部２での処理内容
を示したフローチャートである。

【００３３】まず、部品の搬送に用いられる搬送車を選
択する (ステップ610)。この場合搬送車Ｖ１が選択され
たとする。そして各ジョブショップＪ１〜Ｊ７からの未
搬送の搬送要求を入力して搬送要求テーブルを作成した
後 (ステップ620)、搬送優先順位テーブル（搬送優先順
位記憶手段に相当、図示せず）を参照し、搬送対象毎に
設けられた固有の優先順位の最も高い搬送要求を第一の
搬送要求として１つ選択する (ステップ630)。この選択
された第一の搬送要求を搬送要求テーブルから削除し
(ステップ640)、選択された要求が搬送車Ｖ１の最大積
載量に達するまで、或いは、搬送要求テーブルに該当す
る搬送要求がなくなるまで、搬送要求の選択と削除とを
繰り返す(ステップ650,ステップ651)。第一の搬送要求
が搬送車Ｖ１の最大積載量に達すると、或いは、該当す
る搬送要求がなくなると、その搬送先または搬送元の結
合点と一致する搬送元または搬送先の結合点を有する搬
送要求を第二の搬送要求として搬送要求テーブルの中か
ら選択し (ステップ660)、第一の搬送要求と第二の搬送
要求とを１対１に対応させて搬送車Ｖ１への搬送指示値
を演算し (ステップ670)、搬送指示値が搬送制御装置５
に出力される (ステップ680)。

【００３４】このように、第六実施例では搬送対象であ
る部品に設けられた固有の優先順位に基づき搬送要求の
選択を行うようにしている。従って、例えば半導体ウエ
ハに多く見られるように、部品の品質維持のために放置
時間に制限がある場合には、所定時間内に所定のジョブ
ショップに部品搬送を行う必要があるが、第六実施例に
あっては、部品の品質を劣化させることなく好適に部品
搬送が行われる。尚、上記第一実施例及び第二実施例に
おいても、部品の品質を維持しつつ搬送作業を行う点に
おいて有効である。尚、搬送優先順位テーブルに記憶さ
れる優先順位のデータは、固定された構成としてもよい
が、必要に応じて搬送優先順位テーブルを書き換えの可
能な構成としてもよい。これにより各ジョブショップＪ
１〜Ｊ７の稼働状況や部品の生産計画などに応じて搬送
システムを制御できる。

【００３５】（第七実施例）本実施例では要求選択手段
を、搬送経路の短い順に搬送要求を選択する構成とした
点が特徴である。以下本発明に係わる第七実施例を図１
２を用いて説明する。第七実施例におけるハードウエア
構成は第一実施例と同様であるので、それぞれ同一符号
を用いる。図１２は、第七実施例における演算処理部２
での処理内容を示したフローチャートである。まず、部
品の搬送に用いられる搬送車を選択する (ステップ71
0)。この場合搬送車Ｖ１が選択されたとする。そして各
ジョブショップＪ１〜Ｊ７からの未搬送の搬送要求を入
力して、搬送要求テーブルを作成した後 (ステップ72
0)、選択された搬送車Ｖ１の位置に最も近い作業ステー
ション（結合点）、即ち、搬送経路の最も短い結合点を
出力する (ステップ730)。次に、この結合点を搬送先ま
たは搬送元とする搬送要求を、搬送要求テーブルから１
つ選択する (ステップ740)。この選択された搬送要求を
搬送要求テーブルから削除し (ステップ750)、選択され
た搬送要求が搬送車Ｖ１の最大積載量に達するまで、或
いは、その結合点に関する搬送要求がなくなるまで、搬
送要求の選択と削除を繰り返す (ステップ760,ステップ
762)。

【００３６】算出された結合点に関する搬送要求がなく
なった時は、搬入要求が最大積載量に達してなく、か
つ、搬出要求が最大積載量に達してない時、ステップ76
3 でＹＥＳと判定し、次の結合点を算出し、以下同様の
処理を行う。ステップ763 において、搬入要求が最大積
載量に達しているか、または、搬出要求が最大積載量に
達している時には、ＮＯと判定し、搬送要求テーブルに
記憶された搬送要求があっても、搬送要求の選択及び削
除を終了する。選択された搬送要求が搬送車Ｖ１の最大
積載量に達すると、或いは、該当する搬送要求がなくな
ると、選択された搬送要求に基づいて搬送車Ｖ１への搬
送指示値を演算し (ステップ770)、搬送指示値が搬送制
御装置５に出力される (ステップ780)。このようなフロ
ーにより、第七実施例では搬送車Ｖ１の搬送経路の短い
順に搬送要求を処理することができる。

【００３７】以上説明した各実施例では、搬送車Ｖ１の
初期位置を自動棚Ｓの位置に設定したが、自動棚Ｓとジ
ョブショップＪ１〜Ｊ４との間で搬送要求があるケース
としたために、搬送車Ｖ１の初期位置を自動棚Ｓの位置
にしたまでであって、搬送車Ｖ１の初期位置は自動棚Ｓ
の位置に限定されるものではない。また、上記各実施例
では、搬入要求と搬出要求の２つの要求がある作業ステ
ーションにおいて、部品（半導体装置）の搬送が行われ
るとき、搬入対象部品と搬出対象部品の搬送車における
設置領域を同一領域とすれば、より効率的な部品の搬送
を行うことができる。また、上記各実施例では、自動棚
Ｓの個数を１個に、ジョブショップＪ１〜Ｊ７の個数を
７個に、搬送車Ｖ１〜Ｖ７の台数を７台に、各搬送車Ｖ
１〜Ｖ７の最大積載キャリア件数を４件とした構成を示
したが、自動棚の個数、ジョブショップの個数、搬送車
の台数、及び各搬送車の最大積載キャリア件数はこれに
限定するものではない。

【００３８】また、特に、上記第一実施例及び第二実施
例では、搬送要求の発生時刻の古い順に搬送要求の選択
を行うようにしている。従って、常に搬送要求の発生時
刻の古いものが優先されて搬送対象部品が搬送されるた
め、各ジョブショップＪ１〜Ｊ７において所定の作業が
遅延なく行われる。これにより搬送要求があるジョブシ
ョップにもかかわらず、一向に部品が搬送されないため
に生産効率が低下し、最悪の場合、製造ライン自体が停
止してしまうといった問題が生じることがない。尚、上
記各実施例では、同一のジョブショップ（作業ステーシ
ョン）で搬入要求と搬出要求とを実行する際には、搬
入、搬出の順で動作させることを前提にしている。この
前提にはさらに、搬入要求があるジョブショップに配達
すべき半導体部品（通常、複数の半導体部品を乗せたキ
ャリア）が搬入できるスペースがあること、換言すれ
ば、半導体部品の搬入スペースには別のキャリアがない
ことが必要である。上記各実施例では、各搬送車Ｖ１〜
Ｖ７と各ジョブショップＪ１〜Ｊ７との間の通信シーケ
ンスを規定することにより、半導体部品の搬入スペース
における別のキャリアがないことを確認した後に搬入が
実施されるので、半導体部品の搬入時に起こりうる衝突
を確実に回避することができる。

【００３９】上記に示されるように本発明によれば、同
一作業ステーションへの搬入と搬出とを連続して行うこ
とができ、１度の搬送指示で搬送車への最大割り付け作
業量を搬送車の最大積載量の２倍まで割り付けることが
可能となる。尚、本発明の適用対象として上記の実施例
では、半導体ウエハなどの半導体装置の製造ラインの例
を挙げたが、本発明はこれに限定されるものではなく、
適用対象は、例えば、液晶ディスプレイの製造ラインの
ように複数の作業ステーション間、或いは、作業ステー
ションと集配ステーションとの間で複数の搬送車を用い
て部品の搬送を行う製造ラインであればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる第一実施例の構成を示した構成
図。

【図２】ＲＡＭに記憶されるジョブショップデータ
（ａ）、経路データ（ｂ）、搬送車データ（ｃ）の構成
を示した模式図。

【図３】演算処理部に行われる処理内容を示したフロー
チャート。

【図４】搬送要求テーブルの構成を示した構成図。

【図５】半導体製造工場をモデル化した模式図。

【図６】輸送経路（比較例）（ａ）と本発明による輸送
経路（ｂ）とを示した模式図。

【図７】第二実施例における演算処理部での処理内容を
示したフローチャート。

【図８】第三実施例における演算処理部での処理内容を
示したフローチャート。

【図９】第四実施例における演算処理部での処理内容を
示したフローチャート。

【図１０】第五実施例における演算処理部での処理内容
を示したフローチャート。

【図１１】第六実施例における演算処理部での処理内容
を示したフローチャート。

【図１２】第七実施例における演算処理部での処理内容
を示したフローチャート。

【符号の説明】１入出力インタフェース２演算処理部３ＲＯＭ４ＲＡＭ５搬送制御装置１０搬送システムの制御装置１１ａ〜１１ｆ通路２０半導体装置の製造工場Ｊ１〜Ｊ７ジョブショップＶ１〜Ｖ７搬送車Ａ〜Ｇ結合点Ｓ自動棚

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】部品に所定の処理を行う複数の独立した作
業ステーションと、前記部品を一時保管する集配ステーションと、前記作業ステーション間及び前記集配ステーションに設
けられ、予め設定された複数の通路と、該通路を移動して任意の前記作業ステーションと前記集
配ステーションに対して前記部品の搬送を行う複数の搬
送手段とを有する製造ラインに結合され、前記搬送手段
による前記部品の搬送作業を集中管理する搬送システム
の制御装置であって、任意の前記作業ステーションまたは前記集配ステーショ
ンのいずれか一方から他の任意の前記作業ステーション
への前記部品の搬入要求と、任意の前記作業ステーショ
ンから他の任意の前記作業ステーションまたは前記集配
ステーションのいずれか一方への前記部品の搬出要求と
を、要求の発生順に記憶する要求記憶手段と、該要求記憶手段に記憶された各要求から、前記搬送手段
の前記部品の最大積載量分まで可能なだけ記憶順に選択
する要求選択手段と、前記選択した各要求に基づき、前記部品を搬入、搬出す
べき前記作業ステーション及び／または前記集配ステー
ションを特定する演算手段と、該演算手段により演算された結果に基づき、前記搬送手
段の搬送経路を決定し、この搬送経路に従って前記搬送
手段が前記各作業ステーションまたは前記集配ステーシ
ョンのいずれか１つに到着する毎に、前記要求選択手段
により選択された前記各要求に従った前記部品の搬送作
業を行う旨の搬送指示を前記搬送手段に出力する搬送制
御手段とから成ることを特徴とする搬送システムの制御
装置。
【請求項２】前記搬送制御手段は、同一作業ステーショ
ンにおいて前記搬入要求及び前記搬出要求に従った搬送
作業が必要であるときは、この同一ステーションにおい
て前記部品の搬入と搬出を必ず連続して行う旨の搬送指
示を出力することを特徴とする請求項１に記載の搬送シ
ステムの制御装置。
【請求項３】前記要求選択手段は、前記要求記憶手段に
記憶された前記搬入要求と前記搬出要求のうち発生件数
の多い方の要求を第一の要求とし、この第一の要求のう
ち前記搬送手段の前記部品の最大積載量まで可能なだけ
前記記憶順に選択すると共に、この選択した第一の要求
に関連の前記作業ステーションまたは前記集配ステーシ
ョンのいずれかにおいて、前記第一の要求とは別の第二
の要求が前記要求記憶手段に記憶されているとき、この
第二の要求をも選択することを特徴とする請求項１に記
載の搬送システムの制御装置。
【請求項４】前記要求選択手段は、前記要求記憶手段に
記憶された各要求から、前記搬送手段の前記部品の最大
積載量分まで可能なだけ前記記憶順に選択すると共に、
この選択した各要求に関連の前記作業ステーションまた
は前記集配ステーションのいずれかにおいて、前記選択
した各要求に対し搬入、搬出条件が異なる要求が前記要
求記憶手段に記憶されているとき、この搬入、搬出条件
が異なる要求をも選択することを特徴とする請求項１に
記載の搬送システムの制御装置。
【請求項５】前記要求選択手段は、前記要求記憶手段に
記憶された各要求から、前記搬送手段の前記部品の最大
積載量分まで可能なだけ前記記憶順に１つ選択する毎
に、この選択した要求に関連の前記作業ステーションま
たは前記集配ステーションのいずれかにおいて、前記選
択した要求に対し搬入、搬出条件が異なる要求が前記要
求記憶手段に記憶されているとき、この搬入、搬出条件
が異なる要求をも選択することを特徴とする請求項４に
記載の搬送システムの制御装置。
【請求項６】前記要求選択手段は、前記要求記憶手段に
記憶された前記搬入要求及び／または前記搬出要求を前
記作業ステーション別に計数し、要求個数の多い作業ス
テーションから順に、記憶された搬入要求及び／または
搬出要求から前記搬送手段の前記部品の最大積載量分ま
で可能なだけ前記記憶順に選択すると共に、この選択し
た各要求に関連の前記作業ステーションまたは前記集配
ステーションのいずれかにおいて、前記選択した各要求
に対し搬入、搬出条件が異なる要求が前記要求記憶手段
に記憶されているとき、この搬入、搬出条件が異なる要
求をも選択することを特徴とする請求項１に記載の搬送
システムの制御装置。
【請求項７】前記部品に固有の優先順位を記憶する搬送
優先順位記憶手段をさらに備え、前記要求選択手段は、前記要求記憶手段に記憶された各
要求から、前記搬送優先順位記憶手段に記憶された前記
優先順位に基づいて前記搬送手段の前記部品の最大積載
量まで可能なだけ前記記憶順に選択すると共に、この選
択した各要求に関連の前記作業ステーションまたは前記
集配ステーションのいずれかにおいて、前記選択した各
要求に対し搬入、搬出条件が異なる要求が前記要求記憶
手段に記憶されているとき、この搬入、搬出条件が異な
る要求をも選択することを特徴とする請求項１に記載の
搬送システムの制御装置。
【請求項８】前記搬送優先順位記憶手段に記憶される前
記優先順位は、任意に設定可能なことを特徴とする請求
項７に記載の搬送システムの制御装置。
【請求項９】前記要求選択手段は、前記要求記憶手段に
記憶された各要求から、前記部品の搬送経路の短い順に
前記搬送手段の前記部品の最大積載量分まで可能なだけ
前記記憶順に選択すると共に、この選択した各要求に関
連の前記作業ステーションまたは前記集配ステーション
のいずれかにおいて、前記選択した各要求に対し搬入、
搬出条件が異なる要求が前記要求記憶手段に記憶されて
いるとき、この搬入、搬出条件が異なる要求をも選択す
ることを特徴とする請求項１に記載の搬送システムの制
御装置。
【請求項１０】前記搬送制御手段は、同一作業ステーシ
ョンにおいて前記搬入要求及び前記搬出要求に従った搬
送作業が必要であるときは、この同一ステーションにお
いて前記部品の搬入を行った後に搬出を行う旨の搬送指
示を出力することを特徴とする請求項１に記載の搬送シ
ステムの制御装置。
【請求項１１】前記搬送手段は、搬入要求がある前記作
業ステーションに搬入すべき部品が搬入できるスペース
があることを確認し、その後、前記スペースに前記搬入
すべき部品を搬入することを特徴とする請求項１に記載
の搬送システムの制御装置。
【請求項１２】前記搬送制御手段は、同一作業ステーシ
ョンにおいて前記搬入要求及び前記搬出要求に従った搬
送作業が必要であるときは、前記搬送手段において搬入
すべき部品と搬出すべき部品の設置領域が同一領域とな
るように搬送指示を出力することを特徴とする請求項１
に記載の搬送システムの制御装置。