JPH09101476A - 画像分割光学系 - Google Patents

画像分割光学系

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JPH09101476A
JPH09101476A JP7284683A JP28468395A JPH09101476A JP H09101476 A JPH09101476 A JP H09101476A JP 7284683 A JP7284683 A JP 7284683A JP 28468395 A JP28468395 A JP 28468395A JP H09101476 A JPH09101476 A JP H09101476A
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JP
Japan
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image
optical path
optical system
objective
optical
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Application number
JP7284683A
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English (en)
Inventor
Yumiko Ouchi
由美子 大内
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH09101476A publication Critical patent/JPH09101476A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】広視野の画像を、分解能と明るさとを損なうこ
となく撮像することができる画像分割光学系を提供す
る。 【解決手段】対物光学系によって物体の空間像3を形成
し、該空間像3の位置に光路分割部材4を配置して対物
光学系からの光路を複数の光路に分割し、該複数の光路
の各々に再結像光学系5a,5bを配置して物体の部分
空間像6a,6bを形成し、該部分空間像の位置の各々
に撮像手段を配置したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、広視野の画像を撮
像するための画像分割光学系に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】従来、パノラマ写真の
画像や顕微鏡による画像などをテレビカメラシステムな
どに取り込むには、図6に示すように、物体(図示せ
ず)の1次空間像1を対物光学系(同前)によって形成
し、更に変倍作用などを施したリレー光学系2aによっ
て2次空間像3を形成し、この2次空間像3の位置にテ
レビカメラの撮像面を配置して撮像していた。しかるに
この方法では、テレビカメラ側で撮像領域が限られてお
り、且つ撮像素子の一素子の大きさも限られているため
に、物体の全体を撮像しようとすると分解能が低下して
しまい、分解能を上げようとすると物体の細部しか撮像
できないという欠点があった。
【0003】この欠点を解消するために、対物光学系か
らの光路中にハーフミラーを介在させて全光量を2分割
し、分割後の各光路にそれぞれリレー光学系を配置して
物体全体の2次空間像を2箇所に結像し、物体全体の2
箇所の空間像のうち半分づつを2枚のCCDに取り込
み、CCDに取り込んだ画像から物体全体の画像を電気
回路的に合成する技術も考えられる。しかるにこの方法
では、各CCDに至る光量はハーフミラーによって半減
するから、暗い画像とならざるを得ない。したがって本
発明は、広視野の画像を、分解能と明るさとを損なうこ
となく撮像することができる画像分割光学系を提供する
ことを課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、すなわち、対物光学系
によって物体の空間像を形成し、該空間像の位置に光路
分割部材を配置して対物光学系からの光路を複数の光路
に分割し、該複数の光路の各々に再結像光学系を配置し
て物体の部分空間像を形成し、該部分空間像の位置の各
々に撮像手段を配置した画像分割光学系である。
【0005】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は本発明の第1実施例を示し、標本
(図示せず)の1次空間像1が顕微鏡対物レンズ(同
前)によって結像しており、更に標本の2次空間像3が
第1リレー光学系2によって再結像している。2次空間
像3の位置には、光路分割プリズム4が配置されてい
る。この光路分割プリズム4の貼り合わせ面のうち、上
半分の上部4aは、図2に示すように、光をほぼ100
%反射するように蒸着が施されている。他方、貼り合わ
せ面の残り半分の下部4bは、光が透過するように形成
されている。そして上部4aと下部4bとの境界線4c
が、ちょうど2次空間像3の位置に位置するように配置
されている。したがって標本の上半と下半からの光線
は、光路分割プリズム4によって、互いに混在すること
なく完全に2分割される。なおここで、標本の上半と下
半から射出した光が、それぞれ光路分割プリズム4の上
部4aと下部4bとを通過する、ということではない。
これらの対応関係は、標本と光路分割プリズム4との間
に介在する光学系によって反転し得る。
【0006】光路分割プリズム4の上部4aによって反
射された光路には、上部用第2リレー光学系5aと上部
用ミラー7aとが配置されており、こうして標本の3次
上部部分空間像6aが再結像している。他方、光路分割
プリズム4の下部4bを透過した光路には、下部用第2
リレー光学系5bが配置されており、こうして標本の3
次下部部分空間像6bが再結像している。これらの部分
空間像6a,6bの位置には、それぞれCCD8a,8
bが配置されている。なお、上部部分空間像6aと下部
部分空間像6bとは、標本の上半と下半とに対応する、
ということではなく、光路分割プリズム4の上部4aと
下部4bとを通過した空間像、という意味である。
【0007】図3は部分空間像6a,6bを光軸の方向
から見た様子を示し、図中半円は再結像した標本の部分
空間像6a,6bの範囲を示す。長方形の領域8a、8
bは、例えばハイビジョンのCCDの撮像領域を示す。
2枚のCCD8a、8bによって得られる情報は、処理
装置(図示せず)によって電気回路的に合成された後
に、モニタ(同前)に表示され、あるいは画像計測等の
処理に供される。
【0008】以上のように本実施例では、結像面3にお
いて光線を2分割しているので、分割の際の光量損失が
なく、分割の後にも明るい像が得られる。また分解能の
劣化も生じない。したがって第1リレー光学系2と第2
リレー光学系5a,5bの倍率を適当な値にすることに
より、顕微鏡の対物レンズの視野を充分に生かして撮像
素子に取り込むことができる。
【0009】なお本実施例では、対物レンズによる1次
空間像1を、第1リレー光学系2によって再結像し、そ
の2次空間像3の位置に光路分割プリズム4を配置した
が、対物レンズによる1次空間像1の位置に、直接光路
分割プリズム4を配置することもできる。すなわち光路
分割プリズム4を配置する位置での空間像の次数は、問
題とはならない。また本実施例では3次部分空間像6
a,6bの位置にそれぞれCCD8a、8bを配置した
が、3次部分空間像6a,6bの位置のそれぞれに更に
光路分割プリズムを配置し、4分割された光路の各々を
再結像して、4次部分空間像の位置にCCDを配置する
こともできる。このような多段方式を用いることによ
り、分解能や明るさを損なうことなく、一層の広視野化
を図ることができる。
【0010】次に図4は第2実施例を示し、この実施例
は上記第1実施例の光路分割プリズムに代えて、ダハミ
ラー9を用いたものである。ダハミラー9の稜線9cは
2次空間像3の位置に配置されており、ダハミラー9の
上部9aによって反射された光路には、上部用第2リレ
ー光学系5aと上部用ミラー7aとが配置されており、
こうして標本の3次上部部分空間像6aが再結像してい
る。同様にダハミラー9の下部9bによって反射された
光路には、下部用第2リレー光学系5bと下部用ミラー
7bとが配置されており、こうして標本の3次下部部分
空間像6bが再結像している。
【0011】また図5は第3実施例の光路分割プリズム
10を示す。この光路分割プリズム10は、上記ダハミ
ラー9の稜線9cの部分を広げて光を透過する部分を設
けたものであり、すなわちミラー状の上部10aと、光
を透過する中間部10bと、ミラー状の下部10cとを
有する。そして中間部10bが2次空間像3の位置に配
置されて、入射光束を3分割しており、3分割された各
光路に第2リレー光学系を配置して3次部分空間像を形
成し、3個の3次部分空間像の位置にそれぞれCCDを
配置したものである。このような第2又は第3実施例の
構成によっても、上記第1実施例と同様の効果を得るこ
とができる。
【0012】
【発明の効果】本発明によれば、限られた大きさの撮像
領域を持つ撮像システムであっても、それらの領域をつ
なぎ合わせることによって、広視野で高分解能、かつ明
るい撮像システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例を示す構成図
【図2】第1実施例の光路分割プリズムを示す(A)正
面図と、(B)左側面図
【図3】第1実施例の最終像面とCCDを示す図
【図4】第2実施例を示す構成図
【図5】第3実施例の光路分割プリズムを示す(A)正
面図と、(B)左側面図
【図6】従来例を示す構成図
【符号の説明】
1…1次空間像 2…第1リレー光学
系 3…2次空間像 4…光路分割プリズ
ム 4a…上部 4b…下部 4c…境界線 5a,5b…第2リ
レー光学系 6a,6b…3次部分空間像 7a,7b…ミラー 8a,8b…CCD 9…ダハミラー 9a…上部 9b…下部 9c…稜線 10…光路分割プリ
ズム 10a…上部 10b…中間部 10c…下部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】対物光学系によって物体の空間像を形成
    し、該空間像の位置に光路分割部材を配置して前記対物
    光学系からの光路を複数の光路に分割し、該複数の光路
    の各々に再結像光学系を配置して前記物体の部分空間像
    を形成し、該部分空間像の位置の各々に撮像手段を配置
    した画像分割光学系。
  2. 【請求項2】前記光路分割部材は、対物光学系からの前
    記光路を反射する一半部と、対物光学系からの前記光路
    を透過する他半部とを有し、 光路分割部材の前記一半部と他半部との境界線が物体の
    前記空間像の位置に位置するように、前記光路分割部材
    を配置した、請求項1記載の画像分割光学系。
  3. 【請求項3】前記光路分割部材は、対物光学系からの前
    記光路を反射する一半部と、対物光学系からの前記光路
    を前記一半部とは異なる方向に反射する他半部とを有
    し、 光路分割部材の前記一半部と他半部とを区画する稜線が
    物体の前記空間像の位置に位置するように、前記光路分
    割部材を配置した、請求項1記載の画像分割光学系。
  4. 【請求項4】前記光路分割部材は、対物光学系からの前
    記光路を反射する一部と、対物光学系からの前記光路を
    透過する中間部と、対物光学系からの前記光路を前記一
    部とは異なる方向に反射する他部とを有し、 光路分割部材の前記中間部が物体の前記空間像の位置に
    位置するように、前記光路分割部材を配置した、請求項
    1記載の画像分割光学系。
JP7284683A 1995-10-04 1995-10-04 画像分割光学系 Pending JPH09101476A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005085949A1 (ja) * 2004-03-05 2005-09-15 Mega Vision Corporation 撮影装置
JP2011017714A (ja) * 2010-08-31 2011-01-27 Toshiba Corp マスク欠陥検査装置

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