JPH09101392A - ペレット整列装置 - Google Patents
ペレット整列装置Info
- Publication number
- JPH09101392A JPH09101392A JP7279634A JP27963495A JPH09101392A JP H09101392 A JPH09101392 A JP H09101392A JP 7279634 A JP7279634 A JP 7279634A JP 27963495 A JP27963495 A JP 27963495A JP H09101392 A JPH09101392 A JP H09101392A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- pellets
- stopper
- pellet
- dish
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ペレットを短時間で整列できかつ信頼性があっ
てコンパクトな装置を得る。 【解決手段】振動フイーダ１，９と、複数の穴を有する
マガジン１１と、複数の切り欠きを有するストッパ板１
３と、ストッパ板作動機構１４と、マガジン送り機構１
２と、マガジン回転機構１５と、第１のストッパ３と、
第２のストッパ４とからなり、振動フイーダからマガジ
ン１１へ順次ペレット５を挿入し、さらにマガジン１１
を皿７の位置まで移動させて皿７の上にペレット５を整
列するため、ペレット５を短時間に整列できる。さらに
グローグボックス内にマガジンをコンパクトに配置でき
る。
てコンパクトな装置を得る。 【解決手段】振動フイーダ１，９と、複数の穴を有する
マガジン１１と、複数の切り欠きを有するストッパ板１
３と、ストッパ板作動機構１４と、マガジン送り機構１
２と、マガジン回転機構１５と、第１のストッパ３と、
第２のストッパ４とからなり、振動フイーダからマガジ
ン１１へ順次ペレット５を挿入し、さらにマガジン１１
を皿７の位置まで移動させて皿７の上にペレット５を整
列するため、ペレット５を短時間に整列できる。さらに
グローグボックス内にマガジンをコンパクトに配置でき
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、高速増殖炉用の
燃料製造施設の燃料ペレット製造過程で、ペレットを格
子状に整列させるペレット整列装置に関する。
燃料製造施設の燃料ペレット製造過程で、ペレットを格
子状に整列させるペレット整列装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高速増殖炉の燃料は、ウランプルトニウ
ム混合酸化物を焼結したペレットが用いられる。ペレッ
トは、通常専用の皿の上に格子状に整列されて焼結され
る。ペレットの搬送は、この皿を重ねて容器に入れて行
われ、研削，検査等の作業のために、容器から皿を１枚
ずつ出し、さらに１箇ずつ分離し、振動フイーダにより
横置状態で連結して１列で送られ処理される。この研
削，検査の作業が終わったものは、元の通り皿に縦置き
状態で整列させる必要がある。図５は従来のペレット整
列装置の正面図である。図５において、振動フイーダ２
に取り付けられたトレイ１に載せられたペレット５は、
横置状態で左から右へ連続して搬送されている。このペ
レット５を第１のストッパ３で止め、次に第２のストッ
パ４で後続のペレットを押さえて止めてから、第１のス
トッパ３を開放する。開放されたペレット５をロボット
アーム６で掴み、アームの先端を９０°回転させ、ペレ
ット５を立てた状態にして皿７の上に端から順に並べ
る。ペレット５が皿の上に１列に配列したら、ロボット
アーム６またはさら移動台８を図３と直角方向に１ピッ
チ移動させてから同様に次の列を配列する。皿２が一杯
になるまでペレットの配列を繰り返す。
ム混合酸化物を焼結したペレットが用いられる。ペレッ
トは、通常専用の皿の上に格子状に整列されて焼結され
る。ペレットの搬送は、この皿を重ねて容器に入れて行
われ、研削，検査等の作業のために、容器から皿を１枚
ずつ出し、さらに１箇ずつ分離し、振動フイーダにより
横置状態で連結して１列で送られ処理される。この研
削，検査の作業が終わったものは、元の通り皿に縦置き
状態で整列させる必要がある。図５は従来のペレット整
列装置の正面図である。図５において、振動フイーダ２
に取り付けられたトレイ１に載せられたペレット５は、
横置状態で左から右へ連続して搬送されている。このペ
レット５を第１のストッパ３で止め、次に第２のストッ
パ４で後続のペレットを押さえて止めてから、第１のス
トッパ３を開放する。開放されたペレット５をロボット
アーム６で掴み、アームの先端を９０°回転させ、ペレ
ット５を立てた状態にして皿７の上に端から順に並べ
る。ペレット５が皿の上に１列に配列したら、ロボット
アーム６またはさら移動台８を図３と直角方向に１ピッ
チ移動させてから同様に次の列を配列する。皿２が一杯
になるまでペレットの配列を繰り返す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図５の構成では、ロボ
ットアーム６が１箇ずつペレット５を掴み、９０°回
転，移動及び皿７への整列設置を繰り返すため多大な時
間を要する。ペレット製造過程においては、連続して大
量のペレット５を処理しなければならず、時間を短縮す
ることが望まれていた。また機構の動作回数が多いこと
から、故障の可能性も増大し、信頼性に欠けていた。さ
らにペレット５を立てて置く時にはロボットアーム６の
爪を開くためのスペースが必要で、ペレット５の整列ピ
ッチを小さくできないという欠点があった。また、ペレ
ットを立てたペレット５に爪が当たって倒れる可能性が
あった。さらに、ロボットアーム６の設計に監視、上
昇，下降，回転，Ｘ−Ｙ方向移動及び正確な位置決めが
必要で設置スペースが大きくなる。しかし、多くの機器
を収納するグローブボックス内の配置上から占有できる
スペースに限りがある。
ットアーム６が１箇ずつペレット５を掴み、９０°回
転，移動及び皿７への整列設置を繰り返すため多大な時
間を要する。ペレット製造過程においては、連続して大
量のペレット５を処理しなければならず、時間を短縮す
ることが望まれていた。また機構の動作回数が多いこと
から、故障の可能性も増大し、信頼性に欠けていた。さ
らにペレット５を立てて置く時にはロボットアーム６の
爪を開くためのスペースが必要で、ペレット５の整列ピ
ッチを小さくできないという欠点があった。また、ペレ
ットを立てたペレット５に爪が当たって倒れる可能性が
あった。さらに、ロボットアーム６の設計に監視、上
昇，下降，回転，Ｘ−Ｙ方向移動及び正確な位置決めが
必要で設置スペースが大きくなる。しかし、多くの機器
を収納するグローブボックス内の配置上から占有できる
スペースに限りがある。
【０００４】この発明は、上記のような問題を解決し、
ペレットを短時間で整列できかつ信頼性があってコンパ
クトなペレット整列装置を提供することを課題とする。
ペレットを短時間で整列できかつ信頼性があってコンパ
クトなペレット整列装置を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】複数のペレットを搬送す
る振動フイーダと、この振動フイーダで搬送されるペレ
ットの先端を止めたり開放したりする第１のストッパ
と、この第１のストッパで先頭のペレットの先端を止め
ているとき、後続のペレットの移動を押さえる第２のス
トッパと、前記振動フイーダに対向して前記ペレットの
搬送方向と直角方向に移動可能に配置され、ペレットを
収納する複数の穴を有するマガジンと、このマガジンの
穴とほぼ同じ大きさの複数の切り欠きを有し、マガジン
の入口に位置するストッパ板と、このストッパ板を移動
させるストッパ板作動機構と、前記マガジンの穴の位置
を振動フイーダの位置に合わせるようにピッチ送りする
とともに、前記マガジンを皿の位置まで移送させるマガ
ジン送り機構と、前記マガジンを水平から垂直に回転さ
せるマガジン回転機構とからなり、前記振動フイーダか
ら前記マガジンに順次ペレットを挿入し、さらに前記マ
ガジンを皿の位置まで移動させて前記皿の上に前記ペレ
ットを整列するため、複数個のペレットを１列にまとめ
て移送並びに立て起こしすることができて、ペレットを
短時間に整列できる。さらに、グローグボックス内にマ
ガジンをコンパクトに配置できる。
る振動フイーダと、この振動フイーダで搬送されるペレ
ットの先端を止めたり開放したりする第１のストッパ
と、この第１のストッパで先頭のペレットの先端を止め
ているとき、後続のペレットの移動を押さえる第２のス
トッパと、前記振動フイーダに対向して前記ペレットの
搬送方向と直角方向に移動可能に配置され、ペレットを
収納する複数の穴を有するマガジンと、このマガジンの
穴とほぼ同じ大きさの複数の切り欠きを有し、マガジン
の入口に位置するストッパ板と、このストッパ板を移動
させるストッパ板作動機構と、前記マガジンの穴の位置
を振動フイーダの位置に合わせるようにピッチ送りする
とともに、前記マガジンを皿の位置まで移送させるマガ
ジン送り機構と、前記マガジンを水平から垂直に回転さ
せるマガジン回転機構とからなり、前記振動フイーダか
ら前記マガジンに順次ペレットを挿入し、さらに前記マ
ガジンを皿の位置まで移動させて前記皿の上に前記ペレ
ットを整列するため、複数個のペレットを１列にまとめ
て移送並びに立て起こしすることができて、ペレットを
短時間に整列できる。さらに、グローグボックス内にマ
ガジンをコンパクトに配置できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１（Ａ）はこの発明の実施の形
態を示すペレット整列装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）の
Ｂ方向矢視図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ方向矢視図である。
図１において図５と同じ部位は同じ符号を付してある。
ペレット整列装置は、複数のペレットを搬送する振動フ
イーダ１，９と、振動フイーダで搬送されるペレット５
の先端を止めたり開放したりする第１のストッパ３と、
この第１のストッパ３で先頭のペレットの先端を止めて
いるとき、後続のペレットの移動を押さえる第２のスト
ッパ４と、この振動フイーダに対向してペレット５の搬
送方向と直角方向に移動可能に配置され、ペレット５を
収納する複数個の穴を有するマガジン１１と、マガジン
１１の穴とほぼ同じ大きさの複数の切り欠きを有し、マ
ガジンの入口に位置するストッパ板１３と、ストッパ板
１３を移動させるストッパ板作動機構１４と、マガジン
の位置を振動フイーダの位置に合わせるようにピッチ送
りするとともにマガジン１１を皿の位置まで移送するマ
ガジン送り機構１３と、マガジン１１を水平から垂直に
回転させるマガジン回転機構１５とからなる。
態を示すペレット整列装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）の
Ｂ方向矢視図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ方向矢視図である。
図１において図５と同じ部位は同じ符号を付してある。
ペレット整列装置は、複数のペレットを搬送する振動フ
イーダ１，９と、振動フイーダで搬送されるペレット５
の先端を止めたり開放したりする第１のストッパ３と、
この第１のストッパ３で先頭のペレットの先端を止めて
いるとき、後続のペレットの移動を押さえる第２のスト
ッパ４と、この振動フイーダに対向してペレット５の搬
送方向と直角方向に移動可能に配置され、ペレット５を
収納する複数個の穴を有するマガジン１１と、マガジン
１１の穴とほぼ同じ大きさの複数の切り欠きを有し、マ
ガジンの入口に位置するストッパ板１３と、ストッパ板
１３を移動させるストッパ板作動機構１４と、マガジン
の位置を振動フイーダの位置に合わせるようにピッチ送
りするとともにマガジン１１を皿の位置まで移送するマ
ガジン送り機構１３と、マガジン１１を水平から垂直に
回転させるマガジン回転機構１５とからなる。
【０００７】次にペレット整列装置の動作について説明
する。振動フイーダ１，９にはＶ字型の溝が設けられ、
この溝にペレット５が嵌まって搬送される。振動フイー
ダ９が振動することによりトレイ１０が（Ｂ）図矢印の
方向に移動し、トレイ１０に載置されたペレット５は先
頭のペレット５が振動フイーダ１に載り移った位置でス
トッパ３によりその先端が止められる。次いで振動フイ
ーダ９が停止し、その上のトレイ１０に残った先端のペ
レット５をストッパ４で押さえる。この状態でストッパ
３を上昇させストッパ機能を解除すると、先頭のペレッ
ト５だけがトレイ２上を先頭まで進む。さらにストッパ
３を下降させ、先頭にＬ字型部材を備えたエアシリンダ
でペレット５をマガジン１１の開口部へ押し込む。ペレ
ットの装填が終わったらストッパ３を後退させて元の位
置に戻る。マガジン１１をねじ送り機構により水平に１
ピッチ分移動させ、次の穴をトレイ２の正面に位置させ
る。ストッパ４を上昇させてストッパ機能を解除してか
ら、振動フイーダ９を振動させる。ペレットはストッパ
３の位置まで進行する。
する。振動フイーダ１，９にはＶ字型の溝が設けられ、
この溝にペレット５が嵌まって搬送される。振動フイー
ダ９が振動することによりトレイ１０が（Ｂ）図矢印の
方向に移動し、トレイ１０に載置されたペレット５は先
頭のペレット５が振動フイーダ１に載り移った位置でス
トッパ３によりその先端が止められる。次いで振動フイ
ーダ９が停止し、その上のトレイ１０に残った先端のペ
レット５をストッパ４で押さえる。この状態でストッパ
３を上昇させストッパ機能を解除すると、先頭のペレッ
ト５だけがトレイ２上を先頭まで進む。さらにストッパ
３を下降させ、先頭にＬ字型部材を備えたエアシリンダ
でペレット５をマガジン１１の開口部へ押し込む。ペレ
ットの装填が終わったらストッパ３を後退させて元の位
置に戻る。マガジン１１をねじ送り機構により水平に１
ピッチ分移動させ、次の穴をトレイ２の正面に位置させ
る。ストッパ４を上昇させてストッパ機能を解除してか
ら、振動フイーダ９を振動させる。ペレットはストッパ
３の位置まで進行する。
【０００８】図２は図１のマガジン送り機構１２，マガ
ジン回転機構１５の拡大図である。マガジン送り機構１
２の電動機を駆動させ、ねじ送りによりマガジン１１を
水平に移動させ、破線で示す位置まで移動させることが
できる。図３（Ａ）は図２のマガジン回転機構１５の拡
大図でマガジンを水平にした状態を示す図、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ方向矢視図である。ストッパ板１３はマガジ
ンの穴とほぼ同じ大きさの切り欠きを有する板で、マガ
ジンの穴とストッパ板の切り欠きを合わせればペレット
５をマガジン１１に挿入でき、穴と切り欠きとをずらせ
て置けばペレット５の飛び出しを防ぐことができる。図
３（Ａ）の状態はストッパ板１３の切り欠きをずらせて
ペレットを止めている状態を示す。図４（Ａ）は図３の
マガジンを９０°回転させ垂直にした状態を示す図、
（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図である。１列分のペレッ
ト５が全部マガジン１１に装填し終えてから、ストッパ
板作動機構１３によりストッパ板１４を移動させ、マガ
ジン回転機構１５によりマガジン１１を９０°回転さ
せ、マガジン１１の穴の入口を下側へ向ける。図１に示
すマガジン昇降機構１６によりマガジン１１を下降させ
る。ストッパ板作動機構１４によりストッパ板１３を当
てさせ、マガジン１１の穴の入口が開放されてペレット
５が皿７の上に整列され直立する。同様にして図１に示
すごとく皿７を皿移動台８により１ピッチずつ水平移動
して全部の列のペレットを皿７上に整列させる。このペ
レット整列装置によれば、振動フイーダからペレットを
マガジンに順次装填し、さらにマガジン１１を皿７の位
置まで移動させペレットを皿７の上に格子状に整列でき
て、ペレットを短時間で処理することができる。かつコ
ンパクトで信頼性ある装置を提供できる。
ジン回転機構１５の拡大図である。マガジン送り機構１
２の電動機を駆動させ、ねじ送りによりマガジン１１を
水平に移動させ、破線で示す位置まで移動させることが
できる。図３（Ａ）は図２のマガジン回転機構１５の拡
大図でマガジンを水平にした状態を示す図、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ方向矢視図である。ストッパ板１３はマガジ
ンの穴とほぼ同じ大きさの切り欠きを有する板で、マガ
ジンの穴とストッパ板の切り欠きを合わせればペレット
５をマガジン１１に挿入でき、穴と切り欠きとをずらせ
て置けばペレット５の飛び出しを防ぐことができる。図
３（Ａ）の状態はストッパ板１３の切り欠きをずらせて
ペレットを止めている状態を示す。図４（Ａ）は図３の
マガジンを９０°回転させ垂直にした状態を示す図、
（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図である。１列分のペレッ
ト５が全部マガジン１１に装填し終えてから、ストッパ
板作動機構１３によりストッパ板１４を移動させ、マガ
ジン回転機構１５によりマガジン１１を９０°回転さ
せ、マガジン１１の穴の入口を下側へ向ける。図１に示
すマガジン昇降機構１６によりマガジン１１を下降させ
る。ストッパ板作動機構１４によりストッパ板１３を当
てさせ、マガジン１１の穴の入口が開放されてペレット
５が皿７の上に整列され直立する。同様にして図１に示
すごとく皿７を皿移動台８により１ピッチずつ水平移動
して全部の列のペレットを皿７上に整列させる。このペ
レット整列装置によれば、振動フイーダからペレットを
マガジンに順次装填し、さらにマガジン１１を皿７の位
置まで移動させペレットを皿７の上に格子状に整列でき
て、ペレットを短時間で処理することができる。かつコ
ンパクトで信頼性ある装置を提供できる。
【０００９】
【発明の効果】この発明によれば、複数個の穴を有する
マガジンと、マガジンの入口に位置するストッパと、ス
トッパ板を移動させるストッパ板作動機構と、マガジン
送り機構と、マガジン回転機構とからペレット整列装置
を構成し、振動フイーダからペレットをマガジンに順次
装填するとともに、マガジンを移動させてペレットを皿
の上に格子状に整列させ、ペレットを短時間に処理でき
る。また、この装置はコンパクトな装置とすることがで
きる。
マガジンと、マガジンの入口に位置するストッパと、ス
トッパ板を移動させるストッパ板作動機構と、マガジン
送り機構と、マガジン回転機構とからペレット整列装置
を構成し、振動フイーダからペレットをマガジンに順次
装填するとともに、マガジンを移動させてペレットを皿
の上に格子状に整列させ、ペレットを短時間に処理でき
る。また、この装置はコンパクトな装置とすることがで
きる。
【図１】（Ａ）はこの発明の実施の形態を示すペレット
整列装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図、
（Ｃ）は（Ａ）のＣ方向矢視図である。
整列装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図、
（Ｃ）は（Ａ）のＣ方向矢視図である。
【図２】図１のマガジン送り機構及びマガジン回転機構
の拡大図である。
の拡大図である。
【図３】（Ａ）は図２のマガジン回転機構の拡大図でマ
ガジンを水平にした状態を示す図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ
方向矢視図である。
ガジンを水平にした状態を示す図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ
方向矢視図である。
【図４】（Ａ）は図３のマガジンを９０°回転させ垂直
にした状態を示す図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図で
ある。
にした状態を示す図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図で
ある。
【図５】従来のペレット整列装置の正面図である。
１ 振動フイーダ ２ トレイ ３ 第１のストッパ ４ 第２のストッパ ５ ペレット ６ ロボットアーム ７ 皿 ８ 皿移動台 ９ 振動フイーダ １０ トレイ １１ マガジン １２ マガジン送り機構 １３ ストッパ板 １４ ストッパ板作動機構 １５ マガジン回転機構 １６ マガジン昇降機構
Claims (1)
- 【請求項１】複数のペレットを搬送する振動フイーダ
と、この振動フイーダで搬送されるペレットの先端を止
めたり開放したりする第１のストッパと、この第１のス
トッパで先頭のペレットの先端を止めているとき、後続
のペレットの移動を押さえる第２のストッパと、前記振
動フイーダに対向して前記ペレットの搬送方向と直角方
向に移動可能に配置され、ペレットを収納する複数の穴
を有するマガジンと、このマガジンの穴とほぼ同じ大き
さの複数の切り欠きを有し、マガジンの入口に位置する
ストッパ板と、このストッパ板を移動させるストッパ板
作動機構と、前記マガジンの穴の位置を振動フイーダの
位置に合わせるようにピッチ送りするとともに、前記マ
ガジンを皿の位置まで移送させるマガジン送り機構と、
前記マガジンを水平から垂直に回転させるマガジン回転
機構とからなり、前記振動フイーダから前記マガジンに
順次ペレットを挿入し、さらに前記マガジンを皿の位置
まで移動させて前記皿の上に前記ペレットを整列するこ
とを特徴とするペレット整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279634A JPH09101392A (ja) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | ペレット整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279634A JPH09101392A (ja) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | ペレット整列装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09101392A true JPH09101392A (ja) | 1997-04-15 |
Family
ID=17613720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7279634A Pending JPH09101392A (ja) | 1995-10-03 | 1995-10-03 | ペレット整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09101392A (ja) |
-
1995
- 1995-10-03 JP JP7279634A patent/JPH09101392A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107771024B (zh) | 用于转移电子装置的设备和方法 | |
| KR20200037406A (ko) | 로봇 장치를 채용한 자동 테스트 시스템 | |
| US6678581B2 (en) | Method of calibrating a wafer edge gripping end effector | |
| KR100301750B1 (ko) | 반도체디바이스용트레이꺼내기장치및반도체디바이스용트레이수납장치 | |
| KR20200037397A (ko) | 복수의 스테이지를 갖는 자동 테스트 시스템 | |
| CN1158814A (zh) | 半导体器件的运送处理装置 | |
| KR20200037410A (ko) | 자동 테스트 시스템을 위한 교정 프로세스 | |
| US20030188997A1 (en) | Semiconductor inspection system and method | |
| JPH0157519B2 (ja) | ||
| KR20010006965A (ko) | 반도체 제조방법 및 반도체 제조장치 | |
| JP2008113530A (ja) | マグネット材挿入方法および装置 | |
| KR100252571B1 (ko) | 반도체장치운반및취급장치와함께사용하기위한제어시스템 | |
| US9769970B2 (en) | Apparatus and method for feeding electronic components for insertion onto circuit boards | |
| JP2995435B2 (ja) | チップ自動選別搬送装置 | |
| JPH09101392A (ja) | ペレット整列装置 | |
| JP5261632B2 (ja) | 出荷トレイ装填装置 | |
| US4633584A (en) | Accurate positioning of solid components for a robotic pickup | |
| JP5730537B2 (ja) | ダイ供給システム | |
| KR102148106B1 (ko) | 반도체 패키지 싱귤레이션 로딩장치 및 로딩방법 | |
| JP3624590B2 (ja) | ウェハー処理装置 | |
| JP3399308B2 (ja) | チップの仕分け装置および仕分け方法 | |
| JP2652711B2 (ja) | 半導体検査装置及び検査方法 | |
| JP3009099B2 (ja) | ワ−クロ−ダ− | |
| CN114822601B (zh) | 自动拷贝机 | |
| CN220097626U (zh) | 一种焊接件上料机 |