JPH0897347A - Lead member, semiconductor device, its manufacture and semiconductor module - Google Patents

Lead member, semiconductor device, its manufacture and semiconductor module

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JPH0897347A
JPH0897347A JP22979294A JP22979294A JPH0897347A JP H0897347 A JPH0897347 A JP H0897347A JP 22979294 A JP22979294 A JP 22979294A JP 22979294 A JP22979294 A JP 22979294A JP H0897347 A JPH0897347 A JP H0897347A
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JP
Japan
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semiconductor chip
lead
semiconductor
lead member
semiconductor device
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Application number
JP22979294A
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Japanese (ja)
Inventor
Naoki Miyaji
直己 宮地
Tadashi Uno
正 宇野
Tetsuya Fujisawa
哲也 藤沢
Masataka Mizukoshi
正孝 水越
Rikuro Sono
陸郎 薗
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

PURPOSE: To downsize a semiconductor device by downsizing the lead member which includes film carrier tape. CONSTITUTION: A lead member is provided with a plurality of inner leads 12a for electrical connection with electrodes, according to the positions of a plurality of electrodes of a semiconductor chip, and a plurality of outer leads 12c which continuously extend from each inner lead 12a. Middle leads 12b are provided between the inner leads and the outer leads on middle lead resin tape 11a so as to direct a plurality of outer leads 12c extended from a plurality of inner leads 12a to one side of the semiconductor chip.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フィルムキャリアテー
プなどのリード部材、半導体装置、この半導体装置の製
造方法、この半導体装置を使用する半導体モジュールに
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead member such as a film carrier tape, a semiconductor device, a method for manufacturing the semiconductor device, and a semiconductor module using the semiconductor device.

【0002】近年、半導体モジュールにおける高密度実
装用パッケージとして、TCP(Tape Carrier Packag
e),TSOP(Thin Small outline Package),VS
OP(Very Small Outline Package)等の半導体装置が
供給されている。
In recent years, TCP (Tape Carrier Packag) has been used as a package for high-density mounting in semiconductor modules.
e), TSOP (Thin Small outline Package), VS
Semiconductor devices such as OP (Very Small Outline Package) are supplied.

【0003】そして、これらの小型化と、さらなる高密
度化が望まれ、これを実現できるリード部材が求められ
ている。
Further, miniaturization of these and further densification are desired, and a lead member capable of realizing this is required.

【0004】プリント配線板に半導体装置を平面状に実
装すると、高い実装密度を得ることができないので、プ
リント配線板の垂直方向の空間を利用するように、プリ
ント配線板に半導体装置を立てて並べるか、平面状に実
装される半導体装置を積み重ねる手法が検討されてい
る。
If the semiconductor device is mounted on the printed wiring board in a planar shape, a high mounting density cannot be obtained. Therefore, the semiconductor devices are arranged upright on the printed wiring board so as to use the space in the vertical direction of the printed wiring board. Alternatively, a method of stacking semiconductor devices mounted on a plane is being studied.

【0005】[0005]

【従来の技術】従来、半導体モジュールにおける半導体
装置の高密度化を図るものとして、縦型表面実装パッケ
ージ(VSMP,Vertical Surface Mount Package)型
の半導体装置が知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a vertical surface mount package (VSMP) type semiconductor device has been known as a device for increasing the density of semiconductor devices in a semiconductor module.

【0006】図12(A)に、従来のVSMP型の半導
体装置及びこの半導体装置を備えた半導体モジュールの
構成断面図を示す。
FIG. 12A is a sectional view showing the configuration of a conventional VSMP type semiconductor device and a semiconductor module equipped with this semiconductor device.

【0007】図12(A)の半導体装置100はTSO
Pのような薄型パッケージを縦型表面実装のものに変更
したものであり、101はモールド樹脂製のパッケージ
であり、内部に半導体チップ(図示略)がリードフレー
ム102上に搭載される。
The semiconductor device 100 shown in FIG. 12A is a TSO.
A thin package such as P is changed to a vertical surface mount type, and 101 is a package made of mold resin, and a semiconductor chip (not shown) is mounted inside on a lead frame 102.

【0008】リードフレーム102は、一辺に集中する
ように所定数の内部リード103および外部リード10
4が形成されており、内部リード103と半導体チップ
のパッドとがワイヤー(図示略)にワイヤーボンディン
グされている。
The lead frame 102 has a predetermined number of internal leads 103 and external leads 10 so as to be concentrated on one side.
4 are formed, and the internal lead 103 and the pad of the semiconductor chip are wire-bonded to a wire (not shown).

【0009】また、所定数の外部リード104は、両端
の2本が左右にL字状に折り曲げられ、その間に位置す
るものは左右の何れかにL字状に折り曲げられたもので
ある。
The predetermined number of external leads 104 are formed by bending the two ends at the left and right in an L shape, and the one located between them is bent at the left or the right in an L shape.

【0010】この半導体装置100は、その外部リード
104をプリント配線板105の表面上に立設され、配
線パターン106に半田付けされ、半導体モジュール1
07を構成する。
In this semiconductor device 100, the external leads 104 are erected on the surface of the printed wiring board 105 and soldered to the wiring pattern 106, and the semiconductor module 1
07.

【0011】この半導体モジュール107は、その配線
パターン106をベース基板200のボンディングパッ
ド201に接続することにより、ベース基板200に実
装される。
The semiconductor module 107 is mounted on the base substrate 200 by connecting the wiring pattern 106 to the bonding pads 201 of the base substrate 200.

【0012】また、図12(B)に、従来のTCP型の
半導体装置及びこの半導体装置を備えた半導体モジュー
ルの構成断面図を示す。
FIG. 12B is a sectional view showing the structure of a conventional TCP type semiconductor device and a semiconductor module equipped with this semiconductor device.

【0013】図12(B)の半導体装置110におい
て、111はポッティング樹脂であり、ベースフィルム
116に接続されたTAB(Tape Automated Bonding)
リード113の内部リード114と半導体チップ112
の電極とのインナーボンディングの箇所を被覆する。
In the semiconductor device 110 of FIG. 12B, 111 is potting resin, and TAB (Tape Automated Bonding) connected to the base film 116.
Internal lead 114 of lead 113 and semiconductor chip 112
The inner bonding portion with the electrode is covered.

【0014】TABリード113の外部リード115は
L字状に折り曲げられるものである。
The outer lead 115 of the TAB lead 113 is bent into an L shape.

【0015】この半導体装置110は、その外部リード
115をプリント配線板117の表面上に横型で多段に
積み重なり、配線パターン118にアウターボンディン
グされ、半導体モジュール119を構成する。
In the semiconductor device 110, its external leads 115 are horizontally stacked in multiple stages on the surface of the printed wiring board 117 and are externally bonded to the wiring pattern 118 to form a semiconductor module 119.

【0016】この半導体モジュール119は、その配線
パターン118をベース基板200のボンディングパッ
ド201に接続することにより、ベース基板200に実
装される。
The semiconductor module 119 is mounted on the base substrate 200 by connecting its wiring pattern 118 to the bonding pads 201 of the base substrate 200.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
装置100は縦型表面実装のため、外部リード104
を、両端の2本が左右にL字状に折り曲げ、その間に位
置するものを左右の何れかにL字状に折り曲げ、半導体
装置100の厚さW11より外部リード14の範囲W1
2の方を長くし、モールド樹脂製のパッケージでリード
フレーム102の内部リード103を半導体チップのパ
ッドとワイヤーボンディングする構成である。
However, since the semiconductor device 100 is a vertical surface mount, the external leads 104 are not mounted.
Are bent at both ends in an L shape to the left and right, and the one located between them is bent in an L shape to the right or left, and the range W1 of the external lead 14 from the thickness W11 of the semiconductor device 100.
2 is longer, and the internal lead 103 of the lead frame 102 is wire-bonded to the pad of the semiconductor chip with a package made of a mold resin.

【0018】このため、装置を大型化し、半導体モジュ
ール107におけるさらなる高密度化を図れないもので
あった。
Therefore, the size of the device has been increased, and the density of the semiconductor module 107 cannot be further increased.

【0019】また、半導体装置110は横型で多段に積
み重なるため、外部リード115の長さおよび曲げ形状
を積層順に異ならせる。
Further, since the semiconductor device 110 is a horizontal type and is stacked in multiple stages, the length and bending shape of the external leads 115 are made different in the stacking order.

【0020】長さが異なるため、半導体装置110にお
いて、TABリード113を成形するための金型を積層
順毎に要し、曲げ形状が異なるため、半導体装置110
を積層する際の調整を困難にし、半導体モジュール11
9の製造歩留りを低下させるものであった。
Since the lengths are different, in the semiconductor device 110, a die for molding the TAB lead 113 is required for each stacking order, and since the bending shape is different, the semiconductor device 110 is different.
Adjustment when stacking the
The production yield of No. 9 was lowered.

【0021】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、半導体装置を小型にすることができるリード部
材、半導体モジュールにおいて、さらなる高密度化を図
れる半導体装置及びその製造方法、並びに、この半導体
装置を使用した半導体モジュールを提供することを、そ
の目的とする。
Therefore, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and a semiconductor device and its manufacturing method which can further increase the density of a lead member and a semiconductor module which can downsize the semiconductor device, and this semiconductor It is an object of the present invention to provide a semiconductor module using the device.

【0022】[0022]

【課題を解決するための手段】上記課題は、以下の発明
の構成で解決される。
The above problems can be solved by the following constitutions of the invention.

【0023】請求項1の発明は、半導体チップにおける
複数の電極の位置に対応し、該電極との電気的接続用の
複数のインナーリードと、各インナーリードから連続的
に延びる複数のアウターリードとを備えたリード部材に
おいて、上記複数のインナーリードから延びる上記複数
のアウターリードを半導体チップの一側面に向けるよう
に介在する中間リードを電気的絶縁層上に設ける構成と
したことを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, a plurality of inner leads corresponding to the positions of the plurality of electrodes on the semiconductor chip and electrically connected to the electrodes, and a plurality of outer leads continuously extending from the respective inner leads are provided. In the lead member having the above-mentioned, the intermediate lead intervening so as to direct the plurality of outer leads extending from the plurality of inner leads to one side surface of the semiconductor chip is provided on the electrically insulating layer. Is.

【0024】また、請求項2の発明は、請求項1のリー
ド部材と、複数の電極を有する半導体チップと、この半
導体チップの側面に設けられた接着層と、を有する半導
体装置であって、上記リード部材を上記半導体チップの
表面に設け、上記リード部材の複数のインナーリードを
上記半導体チップの複数の電極と電気的に接続し、上記
リード部材のアウターリードを曲げ、上記半導体チップ
の接着層に固定する構成としたことを特徴とするもので
ある。
The invention according to claim 2 is a semiconductor device comprising the lead member according to claim 1, a semiconductor chip having a plurality of electrodes, and an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip. The lead member is provided on the surface of the semiconductor chip, the plurality of inner leads of the lead member are electrically connected to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, the outer leads of the lead member are bent, and the adhesive layer of the semiconductor chip is provided. It is characterized by being fixed to.

【0025】また、請求項3の発明は、請求項1のリー
ド部材と、複数の電極を有する半導体チップと、を有す
る半導体装置であって、上記リード部材を上記半導体チ
ップの表面に設け、上記リード部材の複数のインナーリ
ードを上記半導体チップの複数の電極と電気的に接続
し、上記リード部材のアウターリードを外側に延出させ
るように上記半導体チップおよび上記リード部材を封止
する封止部を設け、この封止部の外側に延出するアウタ
ーリードを曲げ、上記封止部の側面に設けられた接着層
に固定する構成としたことを特徴とするものである。
The invention according to claim 3 is a semiconductor device comprising the lead member according to claim 1 and a semiconductor chip having a plurality of electrodes, wherein the lead member is provided on the surface of the semiconductor chip. A sealing portion that electrically connects the plurality of inner leads of the lead member to the plurality of electrodes of the semiconductor chip and seals the semiconductor chip and the lead member so as to extend the outer leads of the lead member to the outside. Is provided, the outer lead extending to the outside of the sealing portion is bent, and the outer lead is fixed to the adhesive layer provided on the side surface of the sealing portion.

【0026】また、請求項4の発明は、請求項1のリー
ド部材と、複数の電極を有する半導体チップと、この半
導体チップの側面に設けられた接着層と、を有する半導
体装置であって、上記リード部材を上記半導体チップの
表面に設け、上記リード部材の複数のインナーリードを
上記半導体チップの複数の電極と電気的に接続し、上記
リード部材のアウターリードを外側に延出させるように
上記半導体チップおよび上記リード部材を被覆するよう
にポッテッィングしたポッテッィング部を設け、このポ
ッテッィッグ部の外側に延出するアウターリードを曲
げ、上記半導体チップの側面に設けられた接着層に固定
する構成としたことを特徴とするものである。
The invention according to claim 4 is a semiconductor device comprising the lead member according to claim 1, a semiconductor chip having a plurality of electrodes, and an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip. The lead member is provided on the surface of the semiconductor chip, the plurality of inner leads of the lead member are electrically connected to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, and the outer leads of the lead member are extended outward. A potting portion potted so as to cover the semiconductor chip and the lead member is provided, and outer leads extending to the outside of the potting portion are bent and fixed to an adhesive layer provided on the side surface of the semiconductor chip. It is characterized by.

【0027】また、請求項5の発明は、請求項1のリー
ド部材および複数の電極を有する半導体チップを準備
し、この半導体チップの側面に接着層を設け、上記リー
ド部材を上記半導体チップの表面に設け、上記リード部
材の複数のインナーリードを上記半導体チップの複数の
電極と電気的に接続し、上記リード部材のアウターリー
ドを曲げ、上記半導体チップの接着層に固定することを
特徴とする半導体装置の製造方法である。
According to a fifth aspect of the invention, a semiconductor chip having the lead member and the plurality of electrodes of the first aspect is prepared, an adhesive layer is provided on a side surface of the semiconductor chip, and the lead member is provided on the surface of the semiconductor chip. A plurality of inner leads of the lead member are electrically connected to a plurality of electrodes of the semiconductor chip, and the outer leads of the lead member are bent and fixed to an adhesive layer of the semiconductor chip. It is a method of manufacturing a device.

【0028】また、請求項6の発明は、請求項1のリー
ド部材および複数の電極を有する半導体チップを準備
し、上記リード部材を上記半導体チップの表面に設け、
上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、上記リード部材の
アウターリードを外側に延出させるように上記半導体チ
ップおよび上記リード部材を封止する封止部を設け、こ
の封止部の外側に延出するアウターリードを曲げ、上記
封止部の側面に設けられた接着層に固定することを特徴
とする半導体装置の製造方法である。
According to a sixth aspect of the present invention, a semiconductor chip having the lead member of the first aspect and a plurality of electrodes is prepared, and the lead member is provided on the surface of the semiconductor chip.
Sealing for electrically connecting the plurality of inner leads of the lead member to the plurality of electrodes of the semiconductor chip and sealing the semiconductor chip and the lead member so as to extend the outer leads of the lead member to the outside. Is provided, the outer lead extending to the outside of the sealing portion is bent, and is fixed to the adhesive layer provided on the side surface of the sealing portion.

【0029】また、請求項7の発明は、請求項1のリー
ド部材および複数の電極を有する半導体チップを準備
し、この半導体チップの側面に接着層を設け上記リード
部材を上記半導体チップの表面に設け、上記リード部材
の複数のインナーリードを上記半導体チップの複数の電
極と電気的に接続し、上記リード部材のアウターリード
を外側に延出させるように上記半導体チップおよび上記
リード部材を被覆するようにポッテッィングしたポッテ
ッィング部を設け、このポッテッィッグ部の外側に延出
するアウターリードを曲げ、上記半導体チップの側面に
設けられた接着層に固定することを特徴とする半導体装
置の製造方法である。
According to a seventh aspect of the present invention, a semiconductor chip having the lead member of the first aspect and a plurality of electrodes is prepared, an adhesive layer is provided on a side surface of the semiconductor chip, and the lead member is provided on the surface of the semiconductor chip. To electrically connect the plurality of inner leads of the lead member to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, and cover the semiconductor chip and the lead member so as to extend the outer leads of the lead member to the outside. A method of manufacturing a semiconductor device is characterized in that a potting portion is provided on the surface of the semiconductor chip, and outer leads extending outside the potting portion are bent and fixed to an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip.

【0030】また、請求項8の発明は、請求項2〜4い
ずれか1項記載の複数の半導体装置と、パッドおよび外
部電極で構成される配線パターンを有するプリント配線
板と、を備える半導体モジュールであって、上記複数の
半導体装置を上記プリント配線板に設け、上記半導体装
置のアウターリードを上記プリント配線板のパッドに電
気的に接続する構成としたことを特徴とするものであ
る。
The invention of claim 8 is a semiconductor module comprising a plurality of semiconductor devices according to any one of claims 2 to 4, and a printed wiring board having a wiring pattern composed of pads and external electrodes. It is characterized in that the plurality of semiconductor devices are provided on the printed wiring board, and outer leads of the semiconductor device are electrically connected to pads of the printed wiring board.

【0031】また、請求項9の発明は、請求項2〜4い
ずれか1項記載の複数の半導体装置と、パッドおよび外
部電極で構成される配線パターンを両面に有するプリン
ト配線板と、を備える半導体モジュールであって、上記
複数の半導体装置を上記プリント配線板の両面に設け、
上記半導体装置のアウターリードを上記プリント配線板
のパッドに電気的に接続する構成としたことを特徴とす
るものである。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a plurality of semiconductor devices according to any one of the second to fourth aspects, and a printed wiring board having a wiring pattern composed of pads and external electrodes on both sides. A semiconductor module, wherein the plurality of semiconductor devices are provided on both sides of the printed wiring board,
The outer leads of the semiconductor device are electrically connected to the pads of the printed wiring board.

【0032】[0032]

【作用】上述のように、請求項1の発明に係るリード部
材は、複数のインナーリードから延びる複数のアウター
リードを半導体チップの一側面に向けるように介在する
中間リードを電気的絶縁層上に設ける構成としたので、
半導体チップの電極を装置の一側面に引き回しながら集
中させる半導体装置に使用されることが可能となる。
As described above, in the lead member according to the first aspect of the present invention, the intermediate lead is interposed on the electrically insulating layer so that the plurality of outer leads extending from the plurality of inner leads face one side surface of the semiconductor chip. Since it is configured to be provided,
It can be used in a semiconductor device in which electrodes of a semiconductor chip are laid out and concentrated on one side surface of the device.

【0033】また、請求項2の発明に係る半導体装置
は、リード部材を有するので、半導体チップ1の複数の
電極をアウターリードによって側面に集中させることが
できる。
Since the semiconductor device according to the second aspect of the present invention has the lead member, the plurality of electrodes of the semiconductor chip 1 can be concentrated on the side surface by the outer leads.

【0034】アウターリードを曲げ、半導体チップの接
着層に固定するので、アウターリードの長さを装置の幅
と同じにすることができ、半導体チップの厚さに近くな
るように装置の幅を薄くすることができる。
Since the outer lead is bent and fixed to the adhesive layer of the semiconductor chip, the length of the outer lead can be made the same as the width of the device, and the device width can be reduced so as to be close to the thickness of the semiconductor chip. can do.

【0035】このため、半導体チップに限り無く近いサ
イズまで半導体装置の小型化を可能とし、実装基板に直
立で実装される際に、実装面積を縮小し、さらなる高密
度化を達成する。
Therefore, the semiconductor device can be miniaturized to a size as close as possible to the semiconductor chip, and when mounted upright on the mounting substrate, the mounting area is reduced and further high density is achieved.

【0036】また、請求項3の発明に係る半導体装置
は、リード部材のアウターリードを外側に延出させるよ
うに上記半導体チップおよび上記リード部材を封止する
封止部を設けるので、半導体チップの表面およびインナ
ーリードを保護することができ、そのままの状態で半導
体モジュールに実装されることができる。
Further, in the semiconductor device according to the invention of claim 3, since the semiconductor chip and the sealing portion for sealing the lead member are provided so as to extend the outer leads of the lead member to the outside, the semiconductor device of the semiconductor chip is provided. The surface and the inner leads can be protected, and the semiconductor module can be mounted as it is.

【0037】また、請求項4の発明に係る半導体装置
は、半導体チップおよび上記リード部材を被覆するよう
にポッテッィングしたポッテッィング部を設け、アウタ
ーリードを半導体チップの側面に設けられた接着層に固
定するので、請求項3の半導体装置よりさらに装置の小
型化を図ることができる。
Further, in the semiconductor device according to the invention of claim 4, a potting portion potted to cover the semiconductor chip and the lead member is provided, and the outer lead is fixed to an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip. Therefore, the size of the device can be further reduced as compared with the semiconductor device according to the third aspect.

【0038】また、請求項5の発明に係る半導体装置の
製造方法は、請求項1のリード部材および複数の電極を
有する半導体チップを準備し、この半導体チップの側面
に接着層を設け、リード部材を半導体チップの表面に設
け、リード部材の複数のインナーリードを半導体チップ
の複数の電極と電気的に接続し、リード部材のアウター
リードを曲げ、上記半導体チップの接着層に固定するの
で、請求項2の半導体装置を製造することができる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a semiconductor device, wherein the lead member according to the first aspect and a semiconductor chip having a plurality of electrodes are prepared, an adhesive layer is provided on a side surface of the semiconductor chip, and the lead member is provided. Is provided on the surface of the semiconductor chip, the plurality of inner leads of the lead member are electrically connected to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, and the outer leads of the lead member are bent and fixed to the adhesive layer of the semiconductor chip. The second semiconductor device can be manufactured.

【0039】また、請求項6の発明に係る半導体装置の
製造方法は、リード部材のアウターリードを外側に延出
させるように半導体チップおよびリード部材を封止する
封止部を設け、この封止部の外側に延出するアウターリ
ードを曲げ、封止部の側面に設けられた接着層に固定す
るので、請求項3の半導体装置を製造することができ
る。
Further, in the method for manufacturing a semiconductor device according to the invention of claim 6, a sealing portion for sealing the semiconductor chip and the lead member is provided so as to extend the outer lead of the lead member to the outside, and this sealing is performed. Since the outer lead extending to the outside of the portion is bent and fixed to the adhesive layer provided on the side surface of the sealing portion, the semiconductor device according to the third aspect can be manufactured.

【0040】また、請求項7の発明に係る半導体装置の
製造方法は、半導体チップの側面に接着層を設け、リー
ド部材のアウターリードを外側に延出させるように半導
体チップおよびリード部材を被覆するようにポッテッィ
ングしたポッテッィング部を設け、このポッテッィッグ
部の外側に延出するアウターリードを曲げ、上記半導体
チップの側面に設けられた接着層に固定するので、請求
項4の半導体装置を製造することができる。
Further, in the method of manufacturing a semiconductor device according to the invention of claim 7, an adhesive layer is provided on the side surface of the semiconductor chip, and the semiconductor chip and the lead member are covered so that the outer leads of the lead member are extended to the outside. The potting portion thus potted is provided, and the outer leads extending to the outside of the potting portion are bent and fixed to the adhesive layer provided on the side surface of the semiconductor chip, so that the semiconductor device according to claim 4 can be manufactured. it can.

【0041】また、請求項8の発明に係る半導体モジュ
ールは、請求項2〜4いずれか1項記載の複数の半導体
装置をプリント配線板に設け、半導体装置のアウターリ
ードをプリント配線板のパッドに電気的に接続する構成
としたので、プリント配線板に半導体装置を実装する際
の密度を向上させることができる。
According to an eighth aspect of the semiconductor module of the present invention, a plurality of semiconductor devices according to any one of the second to fourth aspects are provided on a printed wiring board, and outer leads of the semiconductor device are provided on pads of the printed wiring board. Since it is configured to be electrically connected, it is possible to improve the density when mounting the semiconductor device on the printed wiring board.

【0042】また、半導体モジュールの大容量化または
小型・軽量化を図ることができ、性能向上に寄与すると
ころが大きい。
Further, it is possible to increase the capacity of the semiconductor module or to reduce the size and weight of the semiconductor module, which greatly contributes to the performance improvement.

【0043】また、請求項9の発明に係る半導体モジュ
ールは、パッドおよび外部電極で構成される配線パター
ンを両面に有するプリント配線板を備え、複数の半導体
装置をプリント配線板の両面に設けるので、さらに、実
装密度を向上させることができる。
A semiconductor module according to a ninth aspect of the present invention includes a printed wiring board having wiring patterns composed of pads and external electrodes on both sides, and a plurality of semiconductor devices are provided on both sides of the printed wiring board. Furthermore, the mounting density can be improved.

【0044】[0044]

【実施例】図1に、本発明の第1実施例に係るリード部
材となるフィルムキャリアテープの斜視図を示す。
1 is a perspective view of a film carrier tape which is a lead member according to a first embodiment of the present invention.

【0045】このフィルムキャリアテープ10は、2辺
に電極パッドを有する半導体チップを搭載するためのも
のである。
The film carrier tape 10 is for mounting a semiconductor chip having electrode pads on two sides.

【0046】フィルムキャリアテープ10は、電気絶縁
性および緩衝性を有する可撓性の樹脂テープ11と、図
示しない接着剤の層と、一方向に集中するように延びメ
ッキされたTABリード12と、メッキされたテストパ
ッド13と、インナーリードホール14と、軽量化用ホ
ール15と、アウターリードホール16と、スプロケッ
トホール17とで構成される。
The film carrier tape 10 includes a flexible resin tape 11 having electric insulation and cushioning properties, an adhesive layer (not shown), TAB leads 12 which are plated so as to concentrate in one direction. It is composed of a plated test pad 13, an inner lead hole 14, a weight reducing hole 15, an outer lead hole 16 and a sprocket hole 17.

【0047】樹脂テープ11は、ポリイミド、ガラスエ
ポキシ、ガラス布にBTレジン樹脂を含浸させたBTレ
ジン、ポリエステル、ユーピレックス(商品名)、TX
−1(商品名)などの材料が使用される。
The resin tape 11 is made of polyimide, glass epoxy, BT resin obtained by impregnating glass cloth with BT resin, polyester, Upilex (trade name), TX.
A material such as -1 (trade name) is used.

【0048】樹脂テープ11には、従来のデバイスホー
ルに形成された中間リード用樹脂テープ11aと、TA
Bリード12を接着剤の層を介して接続する緩衝用樹脂
テープ11bを含む。
The resin tape 11 includes a conventional intermediate lead resin tape 11a formed in a device hole and TA.
It includes a buffer resin tape 11b for connecting the B lead 12 via an adhesive layer.

【0049】この樹脂テープ11に、コ字状のインナー
リードホール14、中間リード用樹脂テープ11aを軽
量化するための軽量化用ホール15、アウターリードホ
ール16、スプロケットホール17が形成されている。
The resin tape 11 has a U-shaped inner lead hole 14, a weight reducing hole 15 for reducing the weight of the intermediate lead resin tape 11a, an outer lead hole 16, and a sprocket hole 17.

【0050】接着剤の層は樹脂テープ11にTABリー
ド12を接着するものであり、エポキシ系、フェノール
系などの接着剤が使用される。
The adhesive layer is for adhering the TAB lead 12 to the resin tape 11, and an epoxy-based or phenol-based adhesive is used.

【0051】TABリード12は、導電層となる電解銅
箔または圧延銅箔から形成され、厚さ35μmまたは1
8μmとした。厚さが18μmのTABリード12の銅
材には、ヤング率を高めるため、Sn等の金属が混入さ
れている。TABリード12の表面には、図示しない
が、Sn、Au、半田などのメッキが施されている。
The TAB lead 12 is formed of an electrolytic copper foil or a rolled copper foil which becomes a conductive layer and has a thickness of 35 μm or 1
It was 8 μm. The copper material of the TAB lead 12 having a thickness of 18 μm is mixed with a metal such as Sn in order to increase the Young's modulus. Although not shown, the surface of the TAB lead 12 is plated with Sn, Au, solder or the like.

【0052】また、TABリード12は、インナーリー
ド12aと中間リード12bと外部電極となるアウター
リード12cとで構成される。
The TAB lead 12 is composed of an inner lead 12a, an intermediate lead 12b and an outer lead 12c which serves as an external electrode.

【0053】インナーリード12aは樹脂テープ11か
らインナーリードホール14へ2方向に突き出ている。
図2に示すように、半導体チップ1の電極パッド2とイ
ンナーボンディングされる。
The inner leads 12a project from the resin tape 11 into the inner lead holes 14 in two directions.
As shown in FIG. 2, inner bonding is performed with the electrode pad 2 of the semiconductor chip 1.

【0054】中間リード12bはインナーリード12a
から延び、2方向に突き出たインナーリード12aを1
方向に集中させ、できるだけ中間リード用樹脂テープ1
1aの表面積を少なくするように中間リード用樹脂テー
プ11a上に接着剤の層を介して配設される。
The intermediate lead 12b is the inner lead 12a.
The inner lead 12a that extends from the
Resin tape for intermediate leads 1
It is disposed on the intermediate lead resin tape 11a via an adhesive layer so as to reduce the surface area of 1a.

【0055】アウターリード12cは中間リード12b
からテストパッド13まで延び、緩衝用樹脂テープ11
bを介してインナーリードホール14およびアウターリ
ードホール16を跨いでいる。
The outer lead 12c is the intermediate lead 12b.
From the test pad 13 to the buffer resin tape 11
It straddles the inner lead hole 14 and the outer lead hole 16 via b.

【0056】このようなフィルムキャリアテープ10
は、中間リード用樹脂テープ11aおよび中間リード1
2bを有するので、半導体チップの2辺以上に存在する
出力・入力のための電極を1側面に引き回しながら集中
させるTABの半導体装置に使用されることができる。
Such a film carrier tape 10
Is the intermediate lead resin tape 11a and the intermediate lead 1
Since it has 2b, it can be used in a TAB semiconductor device in which electrodes for output / input existing on two or more sides of a semiconductor chip are concentrated on one side face while being drawn.

【0057】なお、フィルムキャリアテープ10のイン
ナーリード12aは、半導体チップの4辺に配設された
電極パッドに対応するものであっても、半導体チップの
4辺以外の中央部に配設された電極パッドに対応するも
のであってもよい。
Even if the inner leads 12a of the film carrier tape 10 correspond to the electrode pads arranged on the four sides of the semiconductor chip, they are arranged in the central portion other than the four sides of the semiconductor chip. It may correspond to the electrode pad.

【0058】次に、フィルムキャリアテープ10の製造
方法を説明する。
Next, a method of manufacturing the film carrier tape 10 will be described.

【0059】まず、樹脂テープ11の上面に接着剤を塗
布する。この接着剤の層が形成された樹脂テープ11に
金型でパンチングする。この結果、インナーリードホー
ル14、軽量化用ホール15、アウターリードホール1
6、スプロケットホール17が樹脂テープ11に形成さ
れる。
First, an adhesive is applied to the upper surface of the resin tape 11. The resin tape 11 on which this adhesive layer is formed is punched with a die. As a result, the inner lead hole 14, the weight reducing hole 15, and the outer lead hole 1
6. The sprocket hole 17 is formed in the resin tape 11.

【0060】この後、樹脂テープ11に接着剤の層を介
して、熱ローラの回転により銅箔を貼り合わせる。
After this, a copper foil is attached to the resin tape 11 via a layer of an adhesive by rotating a heat roller.

【0061】この後、銅箔に、レジスト塗布、マスク露
光、現像、ウエットエッチングを行い、TABリード1
2およびテストパッド13を形成する。TABリード1
2およびテストパッド13にメッキ処理を行う。
After that, the copper foil is subjected to resist coating, mask exposure, development and wet etching, and the TAB lead 1
2 and the test pad 13 are formed. TAB lead 1
2 and the test pad 13 are plated.

【0062】この結果、図1に示すフィルムキャリアテ
ープ10が完成する。
As a result, the film carrier tape 10 shown in FIG. 1 is completed.

【0063】次に、図1のフィルムキャリアテープ10
を使用した第1の半導体装置を図3を参照して説明す
る。図3(A)はこの半導体装置の斜視図、図3(B)
はその正面図を示す。
Next, the film carrier tape 10 of FIG.
A first semiconductor device using the above will be described with reference to FIG. FIG. 3A is a perspective view of this semiconductor device, and FIG.
Shows the front view.

【0064】この半導体装置20は、2辺に電極パッド
2を配設する半導体チップ体51をフィルムキャリアテ
ープ10に搭載するものである。
In this semiconductor device 20, the semiconductor chip body 51 having the electrode pads 2 arranged on two sides is mounted on the film carrier tape 10.

【0065】フィルムキャリアテープ10は、図2の2
点鎖線Xで囲まれた箇所で切断される。半導体チップ1
のパッシベーション膜3上に中間リード用樹脂テープ1
1aが載置される。TABリード12のインナーリード
12aに半導体チップ1の電極パッド2が熱圧着または
超音波ボンディングで電気的に接続される。
The film carrier tape 10 is shown in FIG.
It is cut at a place surrounded by a dashed line X. Semiconductor chip 1
Resin tape 1 for intermediate lead on the passivation film 3 of
1a is placed. The electrode pad 2 of the semiconductor chip 1 is electrically connected to the inner lead 12a of the TAB lead 12 by thermocompression bonding or ultrasonic bonding.

【0066】アウターリード12cはインナーリード1
2aから連続的に延び、側面4と平行となるように折り
曲げられる。この折り曲げられたアウターリード12c
に接着剤の層を介して接続される緩衝用樹脂テープ11
は、接着層21により半導体チップ1の側面4に接続さ
れる。
The outer lead 12c is the inner lead 1
It continuously extends from 2a and is bent so as to be parallel to the side surface 4. This bent outer lead 12c
Buffer resin tape 11 that is connected to the via an adhesive layer
Are connected to the side surface 4 of the semiconductor chip 1 by the adhesive layer 21.

【0067】接着層21は、熱硬化または紫外線硬化の
接着剤を使用する。
For the adhesive layer 21, a thermosetting or ultraviolet curable adhesive is used.

【0068】アウターリード12cは、半導体モジュー
ルのプリント配線板、MCM(Multi Chip Module)、
他の半導体チップなどの実装基板の電極と半導体装置2
0との電気的接続に使用される。
The outer lead 12c is a printed wiring board of a semiconductor module, MCM (Multi Chip Module),
Other semiconductor chips and other mounting substrate electrodes and semiconductor device 2
Used for electrical connection with 0.

【0069】このような半導体装置20は、フィルムキ
ャリアテープ10を使用するので、半導体チップ1の2
辺以上に存在する出力・入力のための電極パッド2を1
側面4に引き回しながら集中させ、アウターリード12
cの長さを装置の幅W1と同じになり、半導体チップ1
の厚さに近くなるように幅W1を薄くする。
Since the semiconductor device 20 as described above uses the film carrier tape 10, the semiconductor chip 20 is not used.
One electrode pad 2 for output / input that exists on one side or more
Outer lead 12
The length of c becomes the same as the width W1 of the device, and the semiconductor chip 1
The width W1 is reduced so as to be close to the thickness of

【0070】このため、半導体チップ1に限り無く近い
サイズまで装置の小型化を可能とし、実装基板に直立で
実装される際に、実装面積を縮小し、さらなる高密度化
を達成する。
Therefore, the device can be downsized to a size as close as possible to the semiconductor chip 1, and when mounted upright on the mounting substrate, the mounting area can be reduced and a higher density can be achieved.

【0071】次に、図1のフィルムキャリアテープ10
を使用した第2の半導体装置を図4を参照して説明す
る。図4はこの半導体装置の構成を示す正面図である。
Next, the film carrier tape 10 of FIG.
A second semiconductor device using the above will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a front view showing the configuration of this semiconductor device.

【0072】この半導体装置25はアウターリード12
cを円弧状に曲げ、緩衝用樹脂テープ11bの代わりに
緩衝部材となるシリコーンゴム26で半導体チップ1の
側面4に接続される。その他の構成を半導体装置20と
同じとする。
The semiconductor device 25 has outer leads 12
C is bent in an arc shape and is connected to the side surface 4 of the semiconductor chip 1 by a silicone rubber 26 serving as a cushioning member instead of the cushioning resin tape 11b. Other configurations are the same as those of the semiconductor device 20.

【0073】半導体装置25はアウターリード12cを
円弧状に曲げるので、半導体装置10のアウターリード
12cより機械的応力を緩和し、半導体モジュール等に
実装される際に半導体モジュール等のパッドとの間に半
田を吸い込みやすくすることができ、シリコーンゴム2
6を用いるので、接着層を不要とする。
Since the outer leads 12c of the semiconductor device 25 are bent in an arc shape, mechanical stress is relieved by the outer leads 12c of the semiconductor device 10, and when the semiconductor device 25 is mounted on a semiconductor module or the like, a gap is formed between the outer lead 12c and the pad of the semiconductor module or the like. Silicone rubber can be used to easily absorb solder.
Since 6 is used, the adhesive layer is unnecessary.

【0074】次に、図1のフィルムキャリアテープ10
を使用した第3の半導体装置を図5を参照して説明す
る。図5(A)はこの半導体装置の斜視図を示し、図5
(B)はその正面の断面図を示す。
Next, the film carrier tape 10 of FIG.
A third semiconductor device using is described with reference to FIG. FIG. 5A shows a perspective view of this semiconductor device.
(B) shows the sectional drawing of the front.

【0075】この半導体装置30は、半導体装置20
に、半導体チップ1の裏面5を露出させるように半導体
チップ1およびTABリード12を被覆するエポキシ樹
脂等のモールド封止部31を設け、折り曲げられたアウ
ターリード12cに接着剤の層を介して接続される緩衝
用樹脂テープ11を接着層21によりモールド封止部3
1の側面32に接続する。
This semiconductor device 30 corresponds to the semiconductor device 20.
Is provided with a mold sealing portion 31 such as an epoxy resin that covers the semiconductor chip 1 and the TAB lead 12 so as to expose the back surface 5 of the semiconductor chip 1, and is connected to the bent outer lead 12c through an adhesive layer. The buffer resin tape 11 to be molded is sealed with the adhesive layer 21 in the mold sealing portion 3
1 to the side surface 32.

【0076】半導体装置30は半導体装置20をモール
ド封止部31で封止するので、半導体チップ1の表面お
よびインナーリード12aを保護することができ、その
ままの状態で半導体モジュールに実装される。
Since the semiconductor device 30 seals the semiconductor device 20 with the mold sealing portion 31, the surface of the semiconductor chip 1 and the inner leads 12a can be protected, and the semiconductor device 20 is mounted in the semiconductor module as it is.

【0077】また、アウターリード12cを折り曲げた
長さW2を装置の幅W2より短くするので、装置の小型
化を図れる。
Since the length W2 of the bent outer lead 12c is made shorter than the width W2 of the device, the device can be downsized.

【0078】なお、半導体装置20の代わりに半導体装
置25を用いてもよい。
The semiconductor device 25 may be used instead of the semiconductor device 20.

【0079】次に、図1のフィルムキャリアテープ10
を使用した第4の半導体装置を図6を参照して説明す
る。図6はこの半導体装置の正面の断面図を示す。
Next, the film carrier tape 10 of FIG.
A fourth semiconductor device using is described with reference to FIG. FIG. 6 is a front sectional view of this semiconductor device.

【0080】この半導体装置40は、半導体装置20
に、半導体チップ1上を被覆する液状エポキシ樹脂等の
ポッティング部41を設け、折り曲げられたアウターリ
ード12cに接着剤の層を介して接続される緩衝用樹脂
テープ11を接着層21により半導体チップ1の側面4
に接続する。
This semiconductor device 40 corresponds to the semiconductor device 20.
A potting portion 41 made of liquid epoxy resin or the like for covering the semiconductor chip 1 is provided, and the buffer resin tape 11 connected to the bent outer lead 12c via an adhesive layer is bonded to the semiconductor chip 1 by the adhesive layer 21. Side 4
Connect to.

【0081】半導体装置40は半導体装置20をポッテ
ィング部41で封止するので、半導体チップ1の表面お
よびインナーリード12aを保護することができ、その
ままの状態で半導体モジュールに実装される。
Since the semiconductor device 40 seals the semiconductor device 20 with the potting portion 41, the surface of the semiconductor chip 1 and the inner leads 12a can be protected, and the semiconductor device 20 is mounted in the semiconductor module as it is.

【0082】また、半導体チップ1の側面4に他の部材
を介すること無く接着層21を接続するので、半導体装
置30よりさらに装置の小型化を図れる。
Further, since the adhesive layer 21 is connected to the side surface 4 of the semiconductor chip 1 without interposing another member, the device can be made smaller than the semiconductor device 30.

【0083】なお、半導体装置20の代わりに半導体装
置25を用いてもよい。
The semiconductor device 25 may be used instead of the semiconductor device 20.

【0084】次に、半導体装置30の製造方法を図2、
図7を参照して説明する。
Next, a method of manufacturing the semiconductor device 30 will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.

【0085】まず、図7(A)に示すように、フィルム
キャリアテープ10のインナーリード12aを半導体チ
ップ1と、シングルTABボンディング等のボンディン
グツール81でインナーボンディングを行う。
First, as shown in FIG. 7A, the inner leads 12a of the film carrier tape 10 are inner-bonded to the semiconductor chip 1 by a bonding tool 81 such as single TAB bonding.

【0086】このとき、フィルムキャリアテープ10は
2点鎖線Xで囲まれる箇所で切断されていない。
At this time, the film carrier tape 10 is not cut at the portion surrounded by the chain double-dashed line X.

【0087】次いで、図7(B)に示すように、トラン
スファーモールドにより、半導体チップ1の裏面5を露
出させ、アウターリード12cを延出させ、緩衝用樹脂
テープ11bを出すように、エポキシ樹脂等のモールド
封止部31を成形し、半導体チップ1の表面およびイン
ナーリード12aを保護する。
Next, as shown in FIG. 7 (B), the back surface 5 of the semiconductor chip 1 is exposed by transfer molding, the outer leads 12c are extended, and the buffer resin tape 11b is exposed so that an epoxy resin or the like is used. The mold sealing part 31 is molded to protect the surface of the semiconductor chip 1 and the inner leads 12a.

【0088】次に、図7(C)の断面図に示すように、
モールド封止部31の側面32の下部に熱硬化または紫
外線硬化の接着剤を塗布し、接着層21を形成する。
Next, as shown in the sectional view of FIG.
A heat-curable or ultraviolet-curable adhesive is applied to the lower portion of the side surface 32 of the mold sealing portion 31 to form the adhesive layer 21.

【0089】次いで、図7(D)に示すように、モール
ド封止部31の外部に延出するアウターリード12cを
側面32と平行となるように折り曲げながら、緩衝用樹
脂テープ11bを接着層21に押し当て加熱を施しまた
は紫外線を照射して、硬化した接着層12に緩衝用樹脂
テープ11bを接続し固定する。
Then, as shown in FIG. 7D, while bending the outer leads 12c extending outside the mold sealing portion 31 to be parallel to the side surfaces 32, the buffer resin tape 11b is attached to the adhesive layer 21. Then, the buffer resin tape 11b is connected and fixed to the cured adhesive layer 12 by pressing and heating or irradiating with ultraviolet rays.

【0090】フィルムキャリアテープ10のテストパッ
ド13を介して半導体チップ1の機能試験を行い、図2
に示すフィルムキャリアテープ10の2点鎖線Xで囲ま
れた箇所を切断する。
The functional test of the semiconductor chip 1 is performed through the test pad 13 of the film carrier tape 10, and as shown in FIG.
The portion surrounded by the chain double-dashed line X of the film carrier tape 10 shown in is cut.

【0091】次に、図7(E)に示すように、アウター
リード12cにおいて、モールド封止部31の下面から
突出する部分を切断し、単体としての半導体装置30が
完成する。
Next, as shown in FIG. 7E, in the outer lead 12c, the portion protruding from the lower surface of the mold sealing portion 31 is cut to complete the semiconductor device 30 as a single body.

【0092】次に、半導体装置40の製造方法を説明す
る。
Next, a method of manufacturing the semiconductor device 40 will be described.

【0093】この製造方法は、図7(B)に示す場合
に、ポッティングにより、液状のエポキシ樹脂等のポッ
ティング部41を形成し、半導体チップ1の表面および
インナーリード12aを保護し、図7(C)に示す場合
に、半導体チップ1の側面4の下部に熱硬化または紫外
線硬化の接着剤を塗布し、接着層21を形成する構成以
外のものを半導体装置30の製造方法と同じである。
In this manufacturing method, in the case shown in FIG. 7B, a potting portion 41 of liquid epoxy resin or the like is formed by potting to protect the surface of the semiconductor chip 1 and the inner leads 12a, and In the case shown in C), the manufacturing method of the semiconductor device 30 is the same as the manufacturing method of the semiconductor device 30, except that the adhesive layer 21 is formed by applying a thermosetting or ultraviolet curing adhesive to the lower portion of the side surface 4 of the semiconductor chip 1.

【0094】次に、図8を参照して、第1の半導体モジ
ュールを説明する。
Next, the first semiconductor module will be described with reference to FIG.

【0095】この半導体モジュール50はベース基板2
00のボンディングパッド201に、半導体モジュール
50の外部電極53を電気的に接続させるもので、配線
パターン52を有するプリント配線板51に複数個の半
導体装置30(または半導体装置40)を直立で格子状
に実装する。
This semiconductor module 50 has a base substrate 2
The external electrodes 53 of the semiconductor module 50 are electrically connected to the bonding pads 201 of No. 00, and a plurality of semiconductor devices 30 (or semiconductor devices 40) are erected in a grid pattern on the printed wiring board 51 having the wiring pattern 52. To implement.

【0096】配線パターン52は、上面から四方の外側
にL字状に成形された外部電極53と、外部電極53に
電気的に接続され、上面に配列されたパッド54とを有
し、各パッド54に、半導体装置30(40)のアウタ
リード12cをソルダリング等で電気的に接続する。
The wiring pattern 52 has an external electrode 53 formed in an L shape on the outside in four directions from the upper surface, and a pad 54 electrically connected to the external electrode 53 and arranged on the upper surface. The outer lead 12c of the semiconductor device 30 (40) is electrically connected to 54 by soldering or the like.

【0097】このような半導体モジュール50は、小型
の半導体装置30(40)を実装するので、プリント配
線板51の上面に半導体装置30(40)を実装する際
の密度を向上させることができる。
Since such a semiconductor module 50 mounts the small-sized semiconductor device 30 (40), the density when mounting the semiconductor device 30 (40) on the upper surface of the printed wiring board 51 can be improved.

【0098】また、半導体モジュール50の大容量化ま
たは小型・軽量化を図ることができ、性能向上に寄与す
るところが大きい。
Further, it is possible to increase the capacity of the semiconductor module 50 or to reduce the size and weight of the semiconductor module 50, which greatly contributes to the performance improvement.

【0099】なお、半導体モジュール50をベース基板
200の下面に実装してもよい。
The semiconductor module 50 may be mounted on the lower surface of the base substrate 200.

【0100】次に、図9を参照して、第2の半導体モジ
ュールを説明する。
Next, the second semiconductor module will be described with reference to FIG.

【0101】この半導体モジュール60は、配線パター
ン62、63を左右面に有するプリント配線板61の左
右面に多数の半導体装置30(または半導体装置40)
を直立で格子状に実装する。
This semiconductor module 60 has a large number of semiconductor devices 30 (or semiconductor devices 40) on the left and right surfaces of a printed wiring board 61 having wiring patterns 62 and 63 on the left and right surfaces.
Are installed upright in a grid pattern.

【0102】配線パターン62は、左面から外側に逆L
字状に成形された外部電極64と、外部電極64に電気
的に接続され、左面に配列されたパッド66とを有し、
パッド66に、半導体装置30(40)のアウタリード
12cをソルダリング等で電気的に接続する。
The wiring pattern 62 is inverted L from the left side to the outside.
An external electrode 64 formed in a V shape, and a pad 66 electrically connected to the external electrode 64 and arranged on the left side,
The outer leads 12c of the semiconductor device 30 (40) are electrically connected to the pads 66 by soldering or the like.

【0103】配線パターン63は、右面から外側にL字
状に成形された外部電極65と、外部電極65に電気的
に接続され、右面に配列されたパッド67とを有し、パ
ッド67に、半導体装置30(40)のアウタリード1
2cをソルダリング等で電気的に接続する。
The wiring pattern 63 has an external electrode 65 formed in an L-shape from the right surface to the outside and a pad 67 electrically connected to the external electrode 65 and arranged on the right surface. Outer lead 1 of semiconductor device 30 (40)
2c is electrically connected by soldering or the like.

【0104】このような半導体モジュール60は、半導
体装置30(40)を両面に格子状に実装するので、さ
らに、実装密度を向上させることができる。
In such a semiconductor module 60, since the semiconductor devices 30 (40) are mounted on both sides in a lattice pattern, the mounting density can be further improved.

【0105】また、ベース基板200のボンディングパ
ッド201に、多数の半導体モジュール60の外部電極
64、65を電気的に接続させ、格子状に実装すること
ができる。
Further, the external electrodes 64 and 65 of a large number of semiconductor modules 60 can be electrically connected to the bonding pads 201 of the base substrate 200 and mounted in a grid pattern.

【0106】なお、図10に示すように、上下面にボン
ディングパッド211、212を有するベース基板21
0の上下面に、半導体モジュール60を格子状に実装す
るようにしてもよい。
As shown in FIG. 10, the base substrate 21 having the bonding pads 211 and 212 on the upper and lower surfaces thereof.
The semiconductor modules 60 may be mounted on the upper and lower surfaces of 0 in a grid pattern.

【0107】次に、図11を参照して、第3の半導体モ
ジュールを説明する。
Next, the third semiconductor module will be described with reference to FIG.

【0108】この半導体モジュール70は、配線パター
ン72を有するプリント配線板71に複数個の半導体装
置30(または半導体装置40)を積み重ねて実装す
る。
In this semiconductor module 70, a plurality of semiconductor devices 30 (or semiconductor devices 40) are stacked and mounted on a printed wiring board 71 having a wiring pattern 72.

【0109】配線パターン72は、上面から四方の外側
にL字状に成形された外部電極73と、外部電極73に
電気的に接続され、上面に配列されたパッド74とを有
し、各パッド74に、半導体装置30(40)のアウタ
リード12cをソルダリング等で電気的に接続する。
The wiring pattern 72 has an external electrode 73 formed in an L shape on the outside in four directions from the upper surface, and a pad 74 electrically connected to the external electrode 73 and arranged on the upper surface. The outer leads 12c of the semiconductor device 30 (40) are electrically connected to 74 by soldering or the like.

【0110】各半導体装置30(40)のアウタリード
12c間の電気的接続を異方性導電フィルム75で行う
ものである。
The anisotropic conductive film 75 is used to electrically connect the outer leads 12c of each semiconductor device 30 (40).

【0111】このような半導体モジュール70は、一定
の形状および長さのアウタリード12cを備えるので、
アウタリード12cを成形するための金型を積層順毎に
同じものとし、半導体装置30(40)を積み重ねる際
の調整を容易にし、半導体モジュール70の製造歩留り
を向上させる。
Since such a semiconductor module 70 is provided with the outer lead 12c having a constant shape and length,
The mold for forming the outer leads 12c is the same for each stacking order, facilitating the adjustment when stacking the semiconductor devices 30 (40) and improving the manufacturing yield of the semiconductor module 70.

【0112】また、図8のベース基板200のボンディ
ングパッド201に、半導体モジュール70の外部電極
73を電気的に接続させることができる。
Further, the external electrode 73 of the semiconductor module 70 can be electrically connected to the bonding pad 201 of the base substrate 200 of FIG.

【0113】[0113]

【発明の効果】以上のように請求項1の発明によれば、
複数のインナーリードから延びる複数のアウターリード
を半導体チップの一側面に向けるように介在する中間リ
ードを電気的絶縁層上に設ける構成としたので、半導体
チップの電極を装置の一側面に引き回しながら集中させ
る半導体装置に使用されることが可能となる。
As described above, according to the invention of claim 1,
Since the outer leads extending from the inner leads are arranged on the electrically insulating layer so that the outer leads extend toward one side of the semiconductor chip, the electrodes of the semiconductor chip are concentrated on one side of the device. It can be used for semiconductor devices.

【0114】また、請求項2の発明によれば、リード部
材を有するので、半導体チップ1の複数の電極をアウタ
ーリードによって側面に集中させることができる。
According to the second aspect of the invention, since the lead member is provided, the plurality of electrodes of the semiconductor chip 1 can be concentrated on the side surface by the outer leads.

【0115】アウターリードを曲げ、半導体チップの接
着層に固定するので、アウターリードの長さを装置の幅
と同じにすることができ、半導体チップの厚さに近くな
るように装置の幅を薄くすることができる。
Since the outer leads are bent and fixed to the adhesive layer of the semiconductor chip, the length of the outer leads can be made equal to the width of the device, and the device width can be reduced so as to be close to the thickness of the semiconductor chip. can do.

【0116】このため、半導体チップに限り無く近いサ
イズまで半導体装置の小型化を可能とし、実装基板に直
立で実装される際に、実装面積を縮小し、さらなる高密
度化を達成する。
Therefore, the semiconductor device can be miniaturized to a size as close as possible to the semiconductor chip, and when mounted upright on the mounting substrate, the mounting area is reduced and further high density is achieved.

【0117】また、請求項3の発明によれば、リード部
材のアウターリードを外側に延出させるように上記半導
体チップおよび上記リード部材を封止する封止部を設け
るので、半導体チップの表面およびインナーリードを保
護することができ、そのままの状態で半導体モジュール
に実装されることができる。
Further, according to the invention of claim 3, since the sealing portion for sealing the semiconductor chip and the lead member is provided so as to extend the outer lead of the lead member to the outside, the surface of the semiconductor chip and The inner lead can be protected and can be mounted on the semiconductor module as it is.

【0118】また、請求項4の発明によれば、半導体チ
ップおよび上記リード部材を被覆するようにポッテッィ
ングしたポッテッィング部を設け、アウターリードを半
導体チップの側面に設けられた接着層に固定するので、
請求項3の半導体装置よりさらに装置の小型化を図るこ
とができる。
Further, according to the invention of claim 4, since the potting portion potted so as to cover the semiconductor chip and the lead member is provided and the outer lead is fixed to the adhesive layer provided on the side surface of the semiconductor chip,
The size of the device can be further reduced as compared with the semiconductor device according to the third aspect.

【0119】また、請求項5の発明によれば、請求項1
のリード部材および複数の電極を有する半導体チップを
準備し、この半導体チップの側面に接着層を設け、リー
ド部材を半導体チップの表面に設け、リード部材の複数
のインナーリードを半導体チップの複数の電極と電気的
に接続し、リード部材のアウターリードを曲げ、上記半
導体チップの接着層に固定するので、請求項2の半導体
装置を製造することができる。
According to the invention of claim 5, claim 1
A semiconductor chip having a lead member and a plurality of electrodes is prepared, an adhesive layer is provided on the side surface of the semiconductor chip, a lead member is provided on the surface of the semiconductor chip, and a plurality of inner leads of the lead member are provided on a plurality of electrodes of the semiconductor chip. Since the outer lead of the lead member is bent and fixed to the adhesive layer of the semiconductor chip, the semiconductor device according to the second aspect can be manufactured.

【0120】また、請求項6の発明によれば、リード部
材のアウターリードを外側に延出させるように半導体チ
ップおよびリード部材を封止する封止部を設け、この封
止部の外側に延出するアウターリードを曲げ、封止部の
側面に設けられた接着層に固定するので、請求項3の半
導体装置を製造することができる。
Further, according to the invention of claim 6, a sealing portion for sealing the semiconductor chip and the lead member is provided so as to extend the outer lead of the lead member to the outside, and the sealing portion extends to the outside of this sealing portion. Since the outer leads that are projected are bent and fixed to the adhesive layer provided on the side surface of the sealing portion, the semiconductor device according to the third aspect can be manufactured.

【0121】また、請求項7の発明によれば、半導体チ
ップの側面に接着層を設け、リード部材のアウターリー
ドを外側に延出させるように半導体チップおよびリード
部材を被覆するようにポッテッィングしたポッテッィン
グ部を設け、このポッテッィッグ部の外側に延出するア
ウターリードを曲げ、上記半導体チップの側面に設けら
れた接着層に固定するので、請求項4の半導体装置を製
造できる。
According to the invention of claim 7, an adhesive layer is provided on the side surface of the semiconductor chip, and the potting is potted so as to cover the semiconductor chip and the lead member so that the outer leads of the lead member are extended to the outside. The semiconductor device according to claim 4 can be manufactured by providing a portion and bending the outer lead extending to the outside of the potting portion and fixing the outer lead to the adhesive layer provided on the side surface of the semiconductor chip.

【0122】また、請求項8の発明によれば、請求項2
〜4いずれか1項記載の複数の半導体装置をプリント配
線板に設け、半導体装置のアウターリードをプリント配
線板のパッドに電気的に接続する構成としたので、プリ
ント配線板に半導体装置を実装する際の密度を向上させ
ることができる。
According to the invention of claim 8, claim 2
The semiconductor device is mounted on the printed wiring board, because the plurality of semiconductor devices described in any one of 4 to 4 are provided on the printed wiring board and the outer leads of the semiconductor device are electrically connected to the pads of the printed wiring board. The density at that time can be improved.

【0123】また、半導体モジュールの大容量化または
小型・軽量化を図ることができ、性能向上に寄与すると
ころが大きい。
Further, it is possible to increase the capacity of the semiconductor module or to reduce the size and weight of the semiconductor module, which greatly contributes to the performance improvement.

【0124】また、請求項9の発明によれば、パッドお
よび外部電極で構成される配線パターンを両面に有する
プリント配線板を備え、複数の半導体装置をプリント配
線板の両面に設けるので、さらに、実装密度を向上させ
ることができる。
According to the invention of claim 9, a printed wiring board having a wiring pattern composed of pads and external electrodes on both sides is provided, and a plurality of semiconductor devices are provided on both sides of the printed wiring board. The mounting density can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係るフィルムキャリアテー
プの構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a film carrier tape according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のフィルムキャリアテープに半導体チップ
を接続した状態を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a semiconductor chip is connected to the film carrier tape of FIG.

【図3】図1のフィルムキャリアテープを使用した第1
の半導体装置の構成を示す図である。
FIG. 3 is a first example of using the film carrier tape of FIG.
It is a figure which shows the structure of this semiconductor device.

【図4】図1のフィルムキャリアテープを使用した第2
の半導体装置の構成を示す図である。
FIG. 4 is a second view using the film carrier tape of FIG.
It is a figure which shows the structure of this semiconductor device.

【図5】図1のフィルムキャリアテープを使用した第3
の半導体装置の構成を示す図である。
FIG. 5 is a third view of using the film carrier tape of FIG.
It is a figure which shows the structure of this semiconductor device.

【図6】図1のフィルムキャリアテープを使用した第4
の半導体装置の構成を示す図である。
FIG. 6 is a fourth view using the film carrier tape of FIG.
It is a figure which shows the structure of this semiconductor device.

【図7】図5の半導体装置の製造方法を説明するための
図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining the manufacturing method for the semiconductor device in FIG.

【図8】第1の半導体モジュールの構成及びベース基板
への実装構造を示す正面図である。
FIG. 8 is a front view showing a configuration of a first semiconductor module and a mounting structure on a base substrate.

【図9】第2の半導体モジュールの構成及びベース基板
への実装構造を示す正面図である。
FIG. 9 is a front view showing a configuration of a second semiconductor module and a mounting structure on a base substrate.

【図10】ベース基板への実装構造を示す正面図であ
る。
FIG. 10 is a front view showing a mounting structure on a base substrate.

【図11】第3の半導体モジュールの構成を示す正面図
である。
FIG. 11 is a front view showing the configuration of a third semiconductor module.

【図12】従来の半導体装置及び半導体モジュールの構
成を示す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional semiconductor device and a semiconductor module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体チップ 2 電極パッド 3 パッシベーション膜 4 側面 10 フィルムキャリア 11 樹脂テープ 11a 中間リード用樹脂テープ 11b 緩衝用樹脂テープ 12 TABリード 12a インナーリード 12b 中間リード 12c アウターリード 13 テストパッド 14 インナーリードホール 15 軽量化ホール 16 アウターリードホール 18 接着剤の層 20 半導体装置 21 接着層 25 半導体装置 26 シリコーンゴム 30 半導体装置 31 モールド封止部 32 側面 40 半導体装置 41 ポッティング部 50 半導体モジュール 51 プリント配線板 52 配線パターン 53 外部電極 54 パッド 60 半導体モジュール 61 プリント配線板 62 配線パターン 63 配線パターン 64 外部電極 65 外部電極 66 パッド 67 パッド 70 半導体モジュール 71 プリント配線板 72 配線パターン 73 外部電極 74 パッド 81 ボンディングツール 200 ベース基板 201 ボンディングパッド 210 ベース基板 211 ボンディングパッド 1 Semiconductor Chip 2 Electrode Pad 3 Passivation Film 4 Side 10 Film Carrier 11 Resin Tape 11a Resin Tape for Intermediate Lead 11b Buffer Resin Tape 12 TAB Lead 12a Inner Lead 12b Intermediate Lead 12c Outer Lead 13 Test Pad 14 Inner Lead Hole 15 Weight Reduction Hole 16 Outer lead hole 18 Adhesive layer 20 Semiconductor device 21 Adhesive layer 25 Semiconductor device 26 Silicone rubber 30 Semiconductor device 31 Mold sealing part 32 Side surface 40 Semiconductor device 41 Potting part 50 Semiconductor module 51 Printed wiring board 52 Wiring pattern 53 External Electrode 54 Pad 60 Semiconductor Module 61 Printed Wiring Board 62 Wiring Pattern 63 Wiring Pattern 64 External Electrode 65 External Electrode 66 Pad 67 Head 70 semiconductor module 71 printed wiring board 72 wiring pattern 73 external electrode 74 pad 81 bonding tool 200 base substrate 201 bonding pad 210 base substrate 211 bonding pads

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水越 正孝 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 薗 陸郎 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Masataka Mizukoshi 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa, Fujitsu Limited Fujitsu Limited

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体チップにおける複数の電極の位置
に対応し、該電極との電気的接続用の複数のインナーリ
ードと、 各インナーリードから連続的に延びる複数のアウターリ
ードとを備えたリード部材において、 上記複数のインナーリードから延びる上記複数のアウタ
ーリードを半導体チップの一側面に向けるように介在す
る中間リードを電気的絶縁層上に設ける構成としたこと
を特徴とするリード部材。
1. A lead member corresponding to the positions of a plurality of electrodes on a semiconductor chip and provided with a plurality of inner leads for electrical connection with the electrodes and a plurality of outer leads continuously extending from each inner lead. 3. The lead member according to claim 1, wherein the plurality of outer leads extending from the plurality of inner leads are provided on the electrically insulating layer so as to interpose the plurality of outer leads toward one side surface of the semiconductor chip.
【請求項2】 請求項1のリード部材と、 複数の電極を有する半導体チップと、 この半導体チップの側面に設けられた接着層と、を有す
る半導体装置であって、 上記リード部材を上記半導体チップの表面に設け、 上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、 上記リード部材のアウターリードを曲げ、上記半導体チ
ップの接着層に固定する構成としたことを特徴とする半
導体装置。
2. A semiconductor device comprising the lead member according to claim 1, a semiconductor chip having a plurality of electrodes, and an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip, wherein the lead member is the semiconductor chip. The inner lead of the lead member is electrically connected to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, and the outer lead of the lead member is bent and fixed to the adhesive layer of the semiconductor chip. A semiconductor device characterized by:
【請求項3】 請求項1のリード部材と、 複数の電極を有する半導体チップと、を有する半導体装
置であって、 上記リード部材を上記半導体チップの表面に設け、 上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、 上記リード部材のアウターリードを外側に延出させるよ
うに上記半導体チップおよび上記リード部材を封止する
封止部を設け、 この封止部の外側に延出するアウターリードを曲げ、上
記封止部の側面に設けられた接着層に固定する構成とし
たことを特徴とする半導体装置。
3. A semiconductor device comprising the lead member according to claim 1 and a semiconductor chip having a plurality of electrodes, wherein the lead member is provided on a surface of the semiconductor chip, and a plurality of inner leads of the lead member are provided. Is electrically connected to a plurality of electrodes of the semiconductor chip, and a sealing portion for sealing the semiconductor chip and the lead member is provided so as to extend the outer lead of the lead member to the outside. A semiconductor device having a structure in which an outer lead extending to the outside of the is bent and fixed to an adhesive layer provided on a side surface of the sealing portion.
【請求項4】 請求項1のリード部材と、 複数の電極を有する半導体チップと、 この半導体チップの側面に設けられた接着層と、を有す
る半導体装置であって、 上記リード部材を上記半導体チップの表面に設け、 上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、 上記リード部材のアウターリードを外側に延出させるよ
うに上記半導体チップおよび上記リード部材を被覆する
ようにポッテッィングしたポッテッィング部を設け、 このポッテッィッグ部の外側に延出するアウターリード
を曲げ、上記半導体チップの側面に設けられた接着層に
固定する構成としたことを特徴とする半導体装置。
4. A semiconductor device having the lead member according to claim 1, a semiconductor chip having a plurality of electrodes, and an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip, wherein the lead member is the semiconductor chip. Is provided on the surface of the semiconductor chip, the plurality of inner leads of the lead member are electrically connected to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, and the semiconductor chip and the lead member are formed so as to extend the outer leads of the lead member to the outside. A semiconductor device, comprising: a potting portion that is potted so as to cover it, and an outer lead extending outside the potting portion is bent and fixed to an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip.
【請求項5】 請求項1のリード部材および複数の電極
を有する半導体チップを準備し、 この半導体チップの側面に接着層を設け、 上記リード部材を上記半導体チップの表面に設け、 上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、 上記リード部材のアウターリードを曲げ、上記半導体チ
ップの接着層に固定することを特徴とする半導体装置の
製造方法。
5. A semiconductor chip having a lead member according to claim 1 and a plurality of electrodes is prepared, an adhesive layer is provided on a side surface of the semiconductor chip, and the lead member is provided on a surface of the semiconductor chip. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising electrically connecting a plurality of inner leads to a plurality of electrodes of the semiconductor chip, bending the outer leads of the lead member, and fixing the outer leads to an adhesive layer of the semiconductor chip.
【請求項6】 請求項1のリード部材および複数の電極
を有する半導体チップを準備し、 上記リード部材を上記半導体チップの表面に設け、 上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、 上記リード部材のアウターリードを外側に延出させるよ
うに上記半導体チップおよび上記リード部材を封止する
封止部を設け、 この封止部の外側に延出するアウターリードを曲げ、上
記封止部の側面に設けられた接着層に固定することを特
徴とする半導体装置の製造方法。
6. A semiconductor chip having a lead member according to claim 1 and a plurality of electrodes is prepared, the lead member is provided on a surface of the semiconductor chip, and a plurality of inner leads of the lead member are provided on a plurality of the semiconductor chips of the semiconductor chip. An outer portion electrically connected to the electrode and provided with a sealing portion that seals the semiconductor chip and the lead member so as to extend the outer lead of the lead member to the outside, and extends to the outside of the sealing portion A method of manufacturing a semiconductor device, comprising bending a lead and fixing the lead to an adhesive layer provided on a side surface of the sealing portion.
【請求項7】 請求項1のリード部材および複数の電極
を有する半導体チップを準備し、 この半導体チップの側面に接着層を設け上記リード部材
を上記半導体チップの表面に設け、 上記リード部材の複数のインナーリードを上記半導体チ
ップの複数の電極と電気的に接続し、 上記リード部材のアウターリードを外側に延出させるよ
うに上記半導体チップおよび上記リード部材を被覆する
ようにポッテッィングしたポッテッィング部を設け、 このポッテッィッグ部の外側に延出するアウターリード
を曲げ、上記半導体チップの側面に設けられた接着層に
固定することを特徴とする半導体装置の製造方法。
7. A semiconductor chip having a lead member according to claim 1 and a plurality of electrodes is prepared, an adhesive layer is provided on a side surface of the semiconductor chip, and the lead member is provided on a surface of the semiconductor chip. The inner lead of the semiconductor chip is electrically connected to the plurality of electrodes of the semiconductor chip, and the potting portion is provided so as to cover the semiconductor chip and the lead member so as to extend the outer lead of the lead member to the outside. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising bending an outer lead extending outside the potting portion and fixing the outer lead to an adhesive layer provided on a side surface of the semiconductor chip.
【請求項8】 請求項2〜4いずれか1項記載の複数の
半導体装置と、 パッドおよび外部電極で構成される配線パターンを有す
るプリント配線板と、を備える半導体モジュールであっ
て、 上記複数の半導体装置を上記プリント配線板に設け、 上記半導体装置のアウターリードを上記プリント配線板
のパッドに電気的に接続する構成としたことを特徴とす
る半導体モジュール。
8. A semiconductor module comprising: a plurality of semiconductor devices according to claim 2; and a printed wiring board having a wiring pattern composed of pads and external electrodes. A semiconductor module, wherein a semiconductor device is provided on the printed wiring board, and outer leads of the semiconductor device are electrically connected to pads of the printed wiring board.
【請求項9】 請求項2〜4いずれか1項記載の複数の
半導体装置と、 パッドおよび外部電極で構成される配線パターンを両面
に有するプリント配線板と、を備える半導体モジュール
であって、 上記複数の半導体装置を上記プリント配線板の両面に設
け、 上記半導体装置のアウターリードを上記プリント配線板
のパッドに電気的に接続する構成としたことを特徴とす
る半導体モジュール。
9. A semiconductor module comprising: a plurality of semiconductor devices according to claim 2; and a printed wiring board having a wiring pattern composed of pads and external electrodes on both sides. A semiconductor module, wherein a plurality of semiconductor devices are provided on both sides of the printed wiring board, and outer leads of the semiconductor device are electrically connected to pads of the printed wiring board.
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