JPH0894330A - 非接触外観検査装置及び非接触容量検査装置 - Google Patents
非接触外観検査装置及び非接触容量検査装置Info
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- JPH0894330A JPH0894330A JP6228387A JP22838794A JPH0894330A JP H0894330 A JPH0894330 A JP H0894330A JP 6228387 A JP6228387 A JP 6228387A JP 22838794 A JP22838794 A JP 22838794A JP H0894330 A JPH0894330 A JP H0894330A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査物の容量が適性か否かを正確に検査で
きると共に安価な装置を提供すること。 【構成】 被検査物Ｗ３を微少量だけ相対的に移動させ
る移動テーブル１と、被検査物にスリット光２０を照射
するスリット光源２と、スリット光源を挟んで配設され
被検査物のスリット光照射部に指向してスリット画像を
夫々撮像する第１及び第２のカメラ３１，３２と、第１
及び第２のカメラの内の少なくとも一方のカメラから得
られる有効なスリット画像から三次元データを画像処理
し、被検査物を微小量だけ移動させた時の１スリット画
像毎の容量を演算し、これらを積分して被検査物の全容
量を演算する画像処理演算装置と、画像処理演算装置に
より演算された被検査物の全容量と適性量とを比較し、
被検査物の全容量が適性量以上の場合に正常と判定する
と共に、被検査物の全容量が適性量未満の場合に不良と
判定する容量判定装置とを備えたこと。
きると共に安価な装置を提供すること。 【構成】 被検査物Ｗ３を微少量だけ相対的に移動させ
る移動テーブル１と、被検査物にスリット光２０を照射
するスリット光源２と、スリット光源を挟んで配設され
被検査物のスリット光照射部に指向してスリット画像を
夫々撮像する第１及び第２のカメラ３１，３２と、第１
及び第２のカメラの内の少なくとも一方のカメラから得
られる有効なスリット画像から三次元データを画像処理
し、被検査物を微小量だけ移動させた時の１スリット画
像毎の容量を演算し、これらを積分して被検査物の全容
量を演算する画像処理演算装置と、画像処理演算装置に
より演算された被検査物の全容量と適性量とを比較し、
被検査物の全容量が適性量以上の場合に正常と判定する
と共に、被検査物の全容量が適性量未満の場合に不良と
判定する容量判定装置とを備えたこと。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非接触外観検査装置及
び非接触容量検査装置に関するものである。
び非接触容量検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、非接触で回路基板上に盛られたハ
ンダ量を検査する装置としては、「カラーストライプ照
明による鏡面物体の形状計測」（１９９２年発行 プリ
ント回路学会誌「サーキットテクノロジ」７〔６〕第３
６１頁〜第３６８頁）に示されるものが知られている。
このものは、回路基板上に盛られたハンダを微少量だけ
相対的に移動させる移動テーブルと、ハンダにその真上
からスリット光を照射するスリット光源と、スリット光
源のサイドに配設されハンダのスリット光照射部に指向
してスリット画像を撮像する単一のカメラと、単一のカ
メラから得られるスリット画像から三次元データを画像
処理しハンダを微小量だけ移動させた時の１スリット画
像毎のハンダプロフィールを記憶し、それに基づいてハ
ンダの全プロフィールを演算するハンダ全プロフィール
演算装置と、ハンダ全プロフィールに基づいてハンダ
無，ハンダ不足等の不良を検出する不良検出装置とから
構成されている。
ンダ量を検査する装置としては、「カラーストライプ照
明による鏡面物体の形状計測」（１９９２年発行 プリ
ント回路学会誌「サーキットテクノロジ」７〔６〕第３
６１頁〜第３６８頁）に示されるものが知られている。
このものは、回路基板上に盛られたハンダを微少量だけ
相対的に移動させる移動テーブルと、ハンダにその真上
からスリット光を照射するスリット光源と、スリット光
源のサイドに配設されハンダのスリット光照射部に指向
してスリット画像を撮像する単一のカメラと、単一のカ
メラから得られるスリット画像から三次元データを画像
処理しハンダを微小量だけ移動させた時の１スリット画
像毎のハンダプロフィールを記憶し、それに基づいてハ
ンダの全プロフィールを演算するハンダ全プロフィール
演算装置と、ハンダ全プロフィールに基づいてハンダ
無，ハンダ不足等の不良を検出する不良検出装置とから
構成されている。
【０００３】ところが、上記したものでは、カメラを１
つしか使用していないため、下記の如く２つの問題点が
発生する。
つしか使用していないため、下記の如く２つの問題点が
発生する。
【０００４】スリット光源から照射された照明の反射
光が正反射方向のみに向かい、カメラ方向に返って来な
い場合があることから、ハンダプロフィールを検出でき
ないことがある。
光が正反射方向のみに向かい、カメラ方向に返って来な
い場合があることから、ハンダプロフィールを検出でき
ないことがある。
【０００５】単一のカメラが２次反射等によるノイズ
を含むスリット画像を検出する場合があり、不良検出の
精度が悪い。
を含むスリット画像を検出する場合があり、不良検出の
精度が悪い。
【０００６】そこで、上述した文献には、これらの問題
点，を解決するための技術として、レーザースポッ
ト光源を用いて多方向からの照明の反射を複数のカメラ
を選択的に用いて撮像するものが開示されている。具体
的に言うと、このものは、ハンダにその斜め上方から選
択的にスポット光を照射する複数のレーザースポット光
源と、ハンダのスポット光照射部から反射するスポット
光を撮像する複数のカメラと、複数のカメラの内最も明
るいスポット光を撮像したカメラの前記スポット光に基
づいてハンダのスポット光照射部の位置を変えた時の１
スポット光照射部毎のハンダ表面の傾きを算出し、その
算出結果に基づいてハンダのプロフィールを検出するプ
ロフィール検出装置とから構成されている。
点，を解決するための技術として、レーザースポッ
ト光源を用いて多方向からの照明の反射を複数のカメラ
を選択的に用いて撮像するものが開示されている。具体
的に言うと、このものは、ハンダにその斜め上方から選
択的にスポット光を照射する複数のレーザースポット光
源と、ハンダのスポット光照射部から反射するスポット
光を撮像する複数のカメラと、複数のカメラの内最も明
るいスポット光を撮像したカメラの前記スポット光に基
づいてハンダのスポット光照射部の位置を変えた時の１
スポット光照射部毎のハンダ表面の傾きを算出し、その
算出結果に基づいてハンダのプロフィールを検出するプ
ロフィール検出装置とから構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このもので
は、スポット光源を用いてスポット光照射部の位置を変
えるものであるので、前述した如く、多数のスポット光
源が必要になり、その分高価になる。
は、スポット光源を用いてスポット光照射部の位置を変
えるものであるので、前述した如く、多数のスポット光
源が必要になり、その分高価になる。
【０００８】故に、本発明は、前記２つの問題点を解消
すると共に単一の光源を用いた安価な非接触外観検査装
置及び非接触容量検査装置を提供することを、その技術
的課題とするものである。
すると共に単一の光源を用いた安価な非接触外観検査装
置及び非接触容量検査装置を提供することを、その技術
的課題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために請求項１の発明において講じた技術的手段（以
下第１の技術的手段と称する）は、被検査物にスリット
光を照射するスリット光源と、スリット光源を挟んで配
設され被検査物のスリット光照射部に指向してスリット
画像を夫々撮像する第１及び第２のカメラと、第１及び
第２のカメラの内の少なくとも何れか一方のカメラから
得られる有効なスリット画像に基づいて被検査物の外観
が正常が否かを判定する外観判定装置とを備えたことで
ある。
るために請求項１の発明において講じた技術的手段（以
下第１の技術的手段と称する）は、被検査物にスリット
光を照射するスリット光源と、スリット光源を挟んで配
設され被検査物のスリット光照射部に指向してスリット
画像を夫々撮像する第１及び第２のカメラと、第１及び
第２のカメラの内の少なくとも何れか一方のカメラから
得られる有効なスリット画像に基づいて被検査物の外観
が正常が否かを判定する外観判定装置とを備えたことで
ある。
【００１０】上記技術的課題を解決するために請求項２
の発明において講じた技術的手段（以下第２の技術的手
段と称する）は、被検査物を微少量だけ相対的に移動さ
せる移動テーブルと、被検査物にスリット光を照射する
スリット光源と、スリット光源を挟んで配設され被検査
物のスリット光照射部に指向してスリット画像を夫々撮
像する第１及び第２のカメラと、第１及び第２のカメラ
の内の少なくとも一方のカメラから得られる有効なスリ
ット画像から三次元データを画像処理し、被検査物を微
小量だけ移動させた時の１スリット画像毎の容量を演算
し、これらを積分して被検査物の全容量を演算する画像
処理演算装置と、画像処理演算装置により演算された被
検査物の全容量と適性量とを比較し、被検査物の全容量
が適性量以上の場合に正常と判定すると共に、被検査物
の全容量が適性量未満の場合に不良と判定する容量判定
装置とを備えたことである。
の発明において講じた技術的手段（以下第２の技術的手
段と称する）は、被検査物を微少量だけ相対的に移動さ
せる移動テーブルと、被検査物にスリット光を照射する
スリット光源と、スリット光源を挟んで配設され被検査
物のスリット光照射部に指向してスリット画像を夫々撮
像する第１及び第２のカメラと、第１及び第２のカメラ
の内の少なくとも一方のカメラから得られる有効なスリ
ット画像から三次元データを画像処理し、被検査物を微
小量だけ移動させた時の１スリット画像毎の容量を演算
し、これらを積分して被検査物の全容量を演算する画像
処理演算装置と、画像処理演算装置により演算された被
検査物の全容量と適性量とを比較し、被検査物の全容量
が適性量以上の場合に正常と判定すると共に、被検査物
の全容量が適性量未満の場合に不良と判定する容量判定
装置とを備えたことである。
【００１１】ここで、前記被検査物は、表面実装品のハ
ンダ部，クリームハンダ部，溶接ビート部，ろう付け部
等である。
ンダ部，クリームハンダ部，溶接ビート部，ろう付け部
等である。
【００１２】
【作用】上記第１の技術的手段は、スリット光源が被検
査物にスリット光を照射し、第１及び第２のカメラがス
リット画像を夫々撮像し、外観判定装置が第１及び第２
のカメラの内の少なくとも何れか一方のカメラから得ら
れる有効なスリット画像に基づいて被検査物の外観が正
常が否かを判定するものである。
査物にスリット光を照射し、第１及び第２のカメラがス
リット画像を夫々撮像し、外観判定装置が第１及び第２
のカメラの内の少なくとも何れか一方のカメラから得ら
れる有効なスリット画像に基づいて被検査物の外観が正
常が否かを判定するものである。
【００１３】上記第１の技術的手段によれば、第１及び
第２のカメラから得られた２個のスリット画像の内有効
なスリット画像に基づいて被検査物の外観を検査するの
で、スリット光源から照射された照明の反射光が一方の
カメラに返って来なくても、他方のカメラにより有効な
スリット画像を撮像でき、被検査物の外観を正確に検出
できる。
第２のカメラから得られた２個のスリット画像の内有効
なスリット画像に基づいて被検査物の外観を検査するの
で、スリット光源から照射された照明の反射光が一方の
カメラに返って来なくても、他方のカメラにより有効な
スリット画像を撮像でき、被検査物の外観を正確に検出
できる。
【００１４】又、一方のカメラが２次反射等によるノイ
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の外観を正
確に検出できる。
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の外観を正
確に検出できる。
【００１５】更に、スリット光を被検査物に照射するも
のであるので、１つのスリット光源済み、多数のスポッ
ト光源を用いる従来技術に比べて安価になる。
のであるので、１つのスリット光源済み、多数のスポッ
ト光源を用いる従来技術に比べて安価になる。
【００１６】上記第２の技術的手段は、移動テーブルに
よって微少量だけ相対的に移動させる被検査物にスリッ
ト光源がスリット光を照射し、第１及び第２のカメラが
スリット画像を夫々撮像し、画像処理演算装置が第１及
び第２のカメラの内の少なくとも一方のカメラから得ら
れる有効なスリット画像から三次元データを画像処理
し、被検査物を微小量だけ移動させた時の１スリット画
像毎の容量を演算し、これらを積分して被検査物の全容
量を演算し、被検査物容量判定装置が画像処理演算装置
により演算された被検査物の全容量と適性量とを比較
し、被検査物の全容量が適性量以上の場合に正常と判定
すると共に、被検査物の全容量が適性量未満の場合に不
良と判定するものである。
よって微少量だけ相対的に移動させる被検査物にスリッ
ト光源がスリット光を照射し、第１及び第２のカメラが
スリット画像を夫々撮像し、画像処理演算装置が第１及
び第２のカメラの内の少なくとも一方のカメラから得ら
れる有効なスリット画像から三次元データを画像処理
し、被検査物を微小量だけ移動させた時の１スリット画
像毎の容量を演算し、これらを積分して被検査物の全容
量を演算し、被検査物容量判定装置が画像処理演算装置
により演算された被検査物の全容量と適性量とを比較
し、被検査物の全容量が適性量以上の場合に正常と判定
すると共に、被検査物の全容量が適性量未満の場合に不
良と判定するものである。
【００１７】上記第２の技術的手段によれば、第１及び
第２のカメラから得られた２個のスリット画像の内有効
なスリット画像に基づいて被検査物の容量を検査するの
で、スリット光源から照射された照明の反射光が一方の
カメラに返って来なくても、他方のカメラにより有効な
スリット画像を撮像でき、被検査物の容量を正確に検出
できる。
第２のカメラから得られた２個のスリット画像の内有効
なスリット画像に基づいて被検査物の容量を検査するの
で、スリット光源から照射された照明の反射光が一方の
カメラに返って来なくても、他方のカメラにより有効な
スリット画像を撮像でき、被検査物の容量を正確に検出
できる。
【００１８】又、一方のカメラが２次反射等によるノイ
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の容量を正
確に検出できる。
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の容量を正
確に検出できる。
【００１９】更に、スリット光を被検査物に照射すると
共に１スリット画像毎の容量を演算した後移動テーブル
により被検査物を移動するものであるので、１つのスリ
ット光源で済み、多数のスポット光源を用いる従来技術
に比べて安価になる。
共に１スリット画像毎の容量を演算した後移動テーブル
により被検査物を移動するものであるので、１つのスリ
ット光源で済み、多数のスポット光源を用いる従来技術
に比べて安価になる。
【００２０】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２１】図１に示す本実施例に係る非接触容量検査
装置は、回路基板Ｗ１上に載置されたチップ部品（被検
査物）Ｗ２と回路基板（被検査物）Ｗ１上に盛られたハ
ンダＷ３とを図示Ｘ方向に微小一定量だけ移動させる移
動テーブル１と、チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の表面
にスリット光を照射するレーザスリット光源（スリット
光源）２と、レーザスリット光源２を挟んで配設され、
チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３のスリット光照射部に指
向してスリット画像を夫々撮像する第１及び第２のＣＣ
Ｄテレビカメラ（第１及び第２のカメラ）３１，３２
と、レーザスリット光源２を中心にして第１及び第２の
ＣＣＤテレビカメラ３１，３２をその両側に配設するレ
ンジファインダ４と、第１及び第２のＣＣＤテレビカメ
ラ３１，３２に接続され、スリット画像を画像メモリ５
０に格納する画像処理装置５と、第１及び第２のＣＣＤ
テレビカメラ３１，３２に接続された白黒モニタ６と、
画像処理装置５に接続され、有効なスリット画像を抽出
して三次元データを画像処理し、チップ部品Ｗ２の高さ
及びハンダＷ３の全容量を演算し、不良を判定するパソ
コン７０によって構成される不良判定装置７と、パソコ
ン７のＩ／Ｏ７１に接続され、移動テーブル１を図示Ｘ
方向に微小一定量だけ移動させるための駆動信号を出力
するドライバ８とから構成されている。
装置は、回路基板Ｗ１上に載置されたチップ部品（被検
査物）Ｗ２と回路基板（被検査物）Ｗ１上に盛られたハ
ンダＷ３とを図示Ｘ方向に微小一定量だけ移動させる移
動テーブル１と、チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の表面
にスリット光を照射するレーザスリット光源（スリット
光源）２と、レーザスリット光源２を挟んで配設され、
チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３のスリット光照射部に指
向してスリット画像を夫々撮像する第１及び第２のＣＣ
Ｄテレビカメラ（第１及び第２のカメラ）３１，３２
と、レーザスリット光源２を中心にして第１及び第２の
ＣＣＤテレビカメラ３１，３２をその両側に配設するレ
ンジファインダ４と、第１及び第２のＣＣＤテレビカメ
ラ３１，３２に接続され、スリット画像を画像メモリ５
０に格納する画像処理装置５と、第１及び第２のＣＣＤ
テレビカメラ３１，３２に接続された白黒モニタ６と、
画像処理装置５に接続され、有効なスリット画像を抽出
して三次元データを画像処理し、チップ部品Ｗ２の高さ
及びハンダＷ３の全容量を演算し、不良を判定するパソ
コン７０によって構成される不良判定装置７と、パソコ
ン７のＩ／Ｏ７１に接続され、移動テーブル１を図示Ｘ
方向に微小一定量だけ移動させるための駆動信号を出力
するドライバ８とから構成されている。
【００２２】移動テーブル１は、テーブル本体１０と、
テーブル本体１０を図示Ｘ方向に移動させるステッピン
グモータ又はサーボモータ１１とから構成されている。
テーブル本体１０を図示Ｘ方向に移動させるステッピン
グモータ又はサーボモータ１１とから構成されている。
【００２３】レンジファインダ４は、図３に示すよう
に、中央水平部４０内にレーザスリット光源２を有し、
左右の傾斜部４１，４２内に第１及び第２のＣＣＤテレ
ビカメラ３１，３２を有したものである。
に、中央水平部４０内にレーザスリット光源２を有し、
左右の傾斜部４１，４２内に第１及び第２のＣＣＤテレ
ビカメラ３１，３２を有したものである。
【００２４】パソコン７０は、レンジファインダ４、画
像処理装置５、ドライバ８をＩ／Ｏ７１を介してＣＰＵ
７２により制御するもので、そのために以下に詳述する
プログラムが予めＲＯＭ７３に格納されている。尚、Ｒ
ＡＭ７４は、ハンダＷ３の適性容量やチップ部品Ｗ２の
基準高さ等のデータを格納するためのものである。
像処理装置５、ドライバ８をＩ／Ｏ７１を介してＣＰＵ
７２により制御するもので、そのために以下に詳述する
プログラムが予めＲＯＭ７３に格納されている。尚、Ｒ
ＡＭ７４は、ハンダＷ３の適性容量やチップ部品Ｗ２の
基準高さ等のデータを格納するためのものである。
【００２５】プログラムの第１ステップＳ１において
は、レンジファインダ４のレーザスリット光源２により
チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３にスリット光２０を照射
する。
は、レンジファインダ４のレーザスリット光源２により
チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３にスリット光２０を照射
する。
【００２６】照射されたスリット光は、図３に示すよう
にチップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の上面のスリット画像
として浮き出す。
にチップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の上面のスリット画像
として浮き出す。
【００２７】第２ステップＳ２，Ｓ２’においては、第
１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３１，３２が、チップ
部品Ｗ２及びハンダＷ３の上のレーザスリット光を図３
に示すスリット画像として夫々取り込み、更に第３ステ
ップＳ３において第１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３
１，３２が取り込んだスリット画像を画像処理装置５内
の画像メモリ５０内に格納する。
１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３１，３２が、チップ
部品Ｗ２及びハンダＷ３の上のレーザスリット光を図３
に示すスリット画像として夫々取り込み、更に第３ステ
ップＳ３において第１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３
１，３２が取り込んだスリット画像を画像処理装置５内
の画像メモリ５０内に格納する。
【００２８】第４ステップＳ４においては、パソコン７
０によって構成される画像演算装置７が、画像処理装置
５内の画像メモリ５０に格納されたスリット画像を比較
し、有効なスリット画像を抽出する。即ち、図４に示す
ような欠落した一方のＣＣＤテレビカメラ３１のスリッ
ト画像３１Ｓや、図５に示すような２次反射ノイズ３２
Ｎが重なったスリット画像３２Ｓや、図６に示すような
障害物Ｏによりスリット光の照射部を撮像できなかった
一方のカメラのスリット画像３２Ｓや、図７に示すよう
な外乱光ＯＬによるノイズ３１Ｎが重なったスリット画
像３１Ｓは夫々排除され、欠落していないスリット画像
３２Ｓ（図４参照）や、２次反射ノイズ３２Ｎが重なっ
ていないスリット画像３１Ｓ（図５参照）や、スリット
光の照射部を撮像できたスリット画像３１Ｓ（図６参
照）や、外乱光ＯＬによるノイズ３１Ｎが重なっていな
いスリット画像３２Ｓ（図７参照）が抽出される。
０によって構成される画像演算装置７が、画像処理装置
５内の画像メモリ５０に格納されたスリット画像を比較
し、有効なスリット画像を抽出する。即ち、図４に示す
ような欠落した一方のＣＣＤテレビカメラ３１のスリッ
ト画像３１Ｓや、図５に示すような２次反射ノイズ３２
Ｎが重なったスリット画像３２Ｓや、図６に示すような
障害物Ｏによりスリット光の照射部を撮像できなかった
一方のカメラのスリット画像３２Ｓや、図７に示すよう
な外乱光ＯＬによるノイズ３１Ｎが重なったスリット画
像３１Ｓは夫々排除され、欠落していないスリット画像
３２Ｓ（図４参照）や、２次反射ノイズ３２Ｎが重なっ
ていないスリット画像３１Ｓ（図５参照）や、スリット
光の照射部を撮像できたスリット画像３１Ｓ（図６参
照）や、外乱光ＯＬによるノイズ３１Ｎが重なっていな
いスリット画像３２Ｓ（図７参照）が抽出される。
【００２９】第５ステップＳ５においては、抽出された
スリット画像上の各点に対し、所定座標からの３次元座
標データの演算を行う。具体的には、スリット画像上の
点は略４８０点あり、これらの各点が基準高さからどれ
だけの長さ離れているかを演算する。
スリット画像上の各点に対し、所定座標からの３次元座
標データの演算を行う。具体的には、スリット画像上の
点は略４８０点あり、これらの各点が基準高さからどれ
だけの長さ離れているかを演算する。
【００３０】第６ステップＳ６においては、チップ部品
Ｗ２の未実装や浮きを検査するために、チップ部品Ｗ２
の高さが適性値と同等かを判定し、同等でなければ第１
２ステップＳ１２に進み、不良と判定する。一方、第６
ステップＳ６において、チップ部品Ｗ２の高さが適性値
と同等であれば、第７ステップＳ７において、スリット
画像上の３次元座標データに基＊き、第１スリットのス
リット照射位置の容積（１スリット容積）を算出する。
Ｗ２の未実装や浮きを検査するために、チップ部品Ｗ２
の高さが適性値と同等かを判定し、同等でなければ第１
２ステップＳ１２に進み、不良と判定する。一方、第６
ステップＳ６において、チップ部品Ｗ２の高さが適性値
と同等であれば、第７ステップＳ７において、スリット
画像上の３次元座標データに基＊き、第１スリットのス
リット照射位置の容積（１スリット容積）を算出する。
【００３１】第８ステップＳ８においては、ドライバ８
に信号を出力してドライバ８が駆動信号を出力すること
により移動テーブル１を図示Ｘ方向に微小一定量移動さ
せ、第９ステップＳ９において、計測終了であるか否か
を判定し、終了でなければ上記第１ステップＳ１〜第８
ステップＳ８を繰り返す。
に信号を出力してドライバ８が駆動信号を出力すること
により移動テーブル１を図示Ｘ方向に微小一定量移動さ
せ、第９ステップＳ９において、計測終了であるか否か
を判定し、終了でなければ上記第１ステップＳ１〜第８
ステップＳ８を繰り返す。
【００３２】第９ステップＳ９において、ハンダＷ３の
上面全てについて各スリット毎の容積が算出されれば計
測を終了し、第１０ステップＳ１０において、上記全て
の１スリット容積を積分することによりハンダＷ３の全
容量を演算する。ここで、演算したハンダＷ３の全容量
が適性量以上であれば、第１１ステップＳ１１において
正常と判定し、適性量未満であれば、第１２ステップＳ
１２においてハンダ無又はハンダ不足等の不良と判定す
る。
上面全てについて各スリット毎の容積が算出されれば計
測を終了し、第１０ステップＳ１０において、上記全て
の１スリット容積を積分することによりハンダＷ３の全
容量を演算する。ここで、演算したハンダＷ３の全容量
が適性量以上であれば、第１１ステップＳ１１において
正常と判定し、適性量未満であれば、第１２ステップＳ
１２においてハンダ無又はハンダ不足等の不良と判定す
る。
【００３３】以上示したように、上記した非接触容量検
査装置は、移動テーブル１によって微小一定量だけ移動
するチップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の上面にレンジファ
インダ４のレーザスリット光源２がスリット光２０を照
射し、第１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３１，３２が
前記チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の上面におけるスリ
ット画像を撮像し、画像処理装置５によりスリット画像
を画像メモリ５０内に格納し、不良判定装置７により画
像メモリ５０内の第１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３
１，３２のスリット画像を比較して有効なスリット画像
に基づく３次元データを画像処理してチップ高さが適性
が否かを判定し、１スリット容積を算出し、移動テーブ
ル１を順次移動させた時の１スリット容積全てを積分し
て、ハンダＷ３の全容量を算出し、そのハンダＷ３の全
容量に基づいて不良を検出する。
査装置は、移動テーブル１によって微小一定量だけ移動
するチップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の上面にレンジファ
インダ４のレーザスリット光源２がスリット光２０を照
射し、第１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３１，３２が
前記チップ部品Ｗ２及びハンダＷ３の上面におけるスリ
ット画像を撮像し、画像処理装置５によりスリット画像
を画像メモリ５０内に格納し、不良判定装置７により画
像メモリ５０内の第１及び第２のＣＣＤテレビカメラ３
１，３２のスリット画像を比較して有効なスリット画像
に基づく３次元データを画像処理してチップ高さが適性
が否かを判定し、１スリット容積を算出し、移動テーブ
ル１を順次移動させた時の１スリット容積全てを積分し
て、ハンダＷ３の全容量を算出し、そのハンダＷ３の全
容量に基づいて不良を検出する。
【００３４】尚、本実施例では、被検査物を直線的に動
かす例について説明したが、レンジファインダ４を微少
量ずつ直線的に動かしたり、被検査物を微小角だけ回転
させることも可能である。
かす例について説明したが、レンジファインダ４を微少
量ずつ直線的に動かしたり、被検査物を微小角だけ回転
させることも可能である。
【００３５】
【発明の効果】請求項１の発明は、以下の如く効果を有
する。
する。
【００３６】第１及び第２のカメラから得られた２個の
スリット画像の内有効なスリット画像に基づいて被検査
物の外観を検査するので、スリット光源から照射された
照明の反射光が一方のカメラに返って来なくても、他方
のカメラにより有効なスリット画像を撮像でき、被検査
物の外観を正確に検出できる。
スリット画像の内有効なスリット画像に基づいて被検査
物の外観を検査するので、スリット光源から照射された
照明の反射光が一方のカメラに返って来なくても、他方
のカメラにより有効なスリット画像を撮像でき、被検査
物の外観を正確に検出できる。
【００３７】又、一方のカメラが２次反射等によるノイ
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の外観を正
確に検出できる。
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の外観を正
確に検出できる。
【００３８】更に、スリット光を被検査物に照射するも
のであるので、１つのスリット光源で済み、多数のスポ
ット光源を用いる従来技術に比べて安価になる。
のであるので、１つのスリット光源で済み、多数のスポ
ット光源を用いる従来技術に比べて安価になる。
【００３９】請求項２の発明は、以下の如く効果を有す
る。
る。
【００４０】第１及び第２のカメラから得られた２個の
スリット画像の内有効なスリット画像に基づいて被検査
物の容量を検査するので、スリット光源から照射された
照明の反射光が一方のカメラに返って来なくても、他方
のカメラにより有効なスリット画像を撮像でき、被検査
物の容量を正確に検出できる。
スリット画像の内有効なスリット画像に基づいて被検査
物の容量を検査するので、スリット光源から照射された
照明の反射光が一方のカメラに返って来なくても、他方
のカメラにより有効なスリット画像を撮像でき、被検査
物の容量を正確に検出できる。
【００４１】又、一方のカメラが２次反射等によるノイ
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の容量を正
確に検出できる。
ズを含むスリット画像を検出しても、他方のカメラによ
り有効なスリット画像を撮像でき、被検査物の容量を正
確に検出できる。
【００４２】更に、スリット光を被検査物に照射すると
共に１スリット画像毎の容量を演算した後移動テーブル
により被検査物を移動するものであるので、１つのスリ
ット光源で済み、多数のスポット光源を用いる従来技術
に比べて安価になる。
共に１スリット画像毎の容量を演算した後移動テーブル
により被検査物を移動するものであるので、１つのスリ
ット光源で済み、多数のスポット光源を用いる従来技術
に比べて安価になる。
【図１】本実施例装置の全体構成図である。
【図２】本実施例装置の作動を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】被検査物とレンジファインダによるスリット画
像との対応関係を示す斜視図である。
像との対応関係を示す斜視図である。
【図４】一方のカメラのスリット画像が欠落する場合の
計測を示す説明図である。
計測を示す説明図である。
【図５】２次反射ノイズを受光した場合の計測を示す説
明図である。
明図である。
【図６】計測に死角領域がある場合の計測を示す説明図
である。
である。
【図７】外乱光を受光した場合の計測を示す説明図であ
る。
る。
１ 移動テーブル ２ レーザスリット光源（スリット光源） ３１ 第１のＣＣＤテレビカメラ（第１のカメラ） ３２ 第２のＣＣＤテレビカメラ（第２のカメラ） ７ 不良判定装置（画像処理演算装置，容量判定装置） Ｗ２ チップ部品（被検査物） Ｗ３ ハンダ（被検査物）
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物にスリット光を照射するスリッ
ト光源と、 前記スリット光源を挟んで配設され、前記被検査物のス
リット光照射部に指向してスリット画像を夫々撮像する
第１及び第２のカメラと、 前記第１及び第２のカメラの内の少なくとも何れか一方
のカメラから得られる有効なスリット画像に基づいて被
検査物の外観が正常が否かを判定する外観判定装置とを
備えた非接触外観検査装置。 - 【請求項２】 被検査物を微少量だけ相対的に移動させ
る移動テーブルと、 前記被検査物にスリット光を照射するスリット光源と、 前記スリット光源を挟んで配設され、前記被検査物のス
リット光照射部に指向してスリット画像を夫々撮像する
第１及び第２のカメラと、 前記第１及び第２のカメラの内の少なくとも一方のカメ
ラから得られる有効なスリット画像から三次元データを
画像処理し、前記被検査物を微小量だけ移動させた時の
１スリット画像毎の容量を演算し、これらを積分して前
記被検査物の全容量を演算する画像処理演算装置と、 前記画像処理演算装置により演算された前記被検査物の
全容量と適性量とを比較し、前記被検査物の全容量が適
性量以上の場合に正常と判定すると共に、前記被検査物
の全容量が適性量未満の場合に不良と判定する容量判定
装置とを備えた非接触容量検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228387A JPH0894330A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 非接触外観検査装置及び非接触容量検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228387A JPH0894330A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 非接触外観検査装置及び非接触容量検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894330A true JPH0894330A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16875675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6228387A Pending JPH0894330A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 非接触外観検査装置及び非接触容量検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0894330A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6918436B2 (en) * | 1998-10-22 | 2005-07-19 | Behr Gmbh & Co. | Brazed condenser for an air conditioner |
| JP2012037487A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Koatec Kk | 形状検査装置及び形状検査方法 |
| JP2014133186A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-07-24 | Heishin Engineering & Equipment Co Ltd | 塗布状態検知システム、及び塗布システム |
| JP2017070999A (ja) * | 2014-08-04 | 2017-04-13 | オーケー インターナショナル，インコーポレイティド | 自動半田付け接続検査を伴う半田ごて |
| CN111816579A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-10-23 | 英特尔产品（成都）有限公司 | 用于检测被助焊剂残留物污染的芯片的方法和装置 |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP6228387A patent/JPH0894330A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6918436B2 (en) * | 1998-10-22 | 2005-07-19 | Behr Gmbh & Co. | Brazed condenser for an air conditioner |
| JP2012037487A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Koatec Kk | 形状検査装置及び形状検査方法 |
| JP2014133186A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-07-24 | Heishin Engineering & Equipment Co Ltd | 塗布状態検知システム、及び塗布システム |
| JP2017070999A (ja) * | 2014-08-04 | 2017-04-13 | オーケー インターナショナル，インコーポレイティド | 自動半田付け接続検査を伴う半田ごて |
| CN111816579A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-10-23 | 英特尔产品（成都）有限公司 | 用于检测被助焊剂残留物污染的芯片的方法和装置 |
| CN111816579B (zh) * | 2020-07-10 | 2023-04-07 | 英特尔产品（成都）有限公司 | 用于检测被助焊剂残留物污染的芯片的方法和装置 |
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