JPH088364A - 医療用画像センサーパッキング方法 - Google Patents

医療用画像センサーパッキング方法

Info

Publication number
JPH088364A
JPH088364A JP7081279A JP8127995A JPH088364A JP H088364 A JPH088364 A JP H088364A JP 7081279 A JP7081279 A JP 7081279A JP 8127995 A JP8127995 A JP 8127995A JP H088364 A JPH088364 A JP H088364A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive
die
glass
lead frame
hardening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7081279A
Other languages
English (en)
Inventor
Edward J Ozimek
ジェイ オジメク エドワード
Terry Tarn
ターン テリー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eastman Kodak Co
Original Assignee
Eastman Kodak Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Eastman Kodak Co filed Critical Eastman Kodak Co
Publication of JPH088364A publication Critical patent/JPH088364A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0203Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14618Containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05554Shape in top view being square
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1089Methods of surface bonding and/or assembly therefor of discrete laminae to single face of additional lamina
    • Y10T156/1092All laminae planar and face to face

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 医療応用に用いるのに適切な画像センサーを
パッキングする改善された方法を提供する。 【構成】 接着剤及びガラスカバーの幾つかの応用を用
いる画像センサー用のパッケージを製造する方法。該方
法は、(a) ダイ(画像センサー)を上面及び下面を
有する導電性リード枠の上面に固定し;(b) リード
枠とダイとの間の電気的接続を設け;(c) ダイ上に
光学的に透明なUV硬化性接着剤を形成し、該接着剤を
ダイ上の接着剤の上面が凹状の形状を有するように硬化
し;(d)凹状の形状内にUV硬化性接着剤を充填し;
(e)充填された接着剤上に充填された接着剤に適合す
る屈折率を有するカバーガラスを置き;(f) 充填さ
れた接着剤を硬化させるようガラスカバーを通してUV
光線に曝し、それによりガラスカバーを充填された接着
剤に固定する各段階からなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は医療応用に用いられる画
像センサー用のパッケージ形成に関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術の小さな固体画像センサーは挿
入プローブ上に設けられ、医療応用に用いられている。
その様な配置の問題はしばしば画像センサーはセラミッ
クパッケージ本体内に形成され、それからセラミックパ
ッケージ本体は接着剤でリード枠に固定される。(例え
ばオギウ他による1992年3月24日発行のアメリカ
特許第5、098、630号を参照。) 医療応用に用いる画像センサーを従来技術によりパッケ
ージし、最良の性能に必要な小さな最小侵襲の大きさに
することは非常に困難である。従来技術のセラミックパ
ッケージ本体の側壁はしばしば最終製品の全体の寸法に
加算される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は医療応
用に用いるのに適切な画像センサーをパッキングする改
善された方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】この目的は (a) ダイ(画像センサー)を上面及び下面を有する
導電性リード枠の上面に固定し; (b) リード枠とダイとの間の電気的接続を設け; (c) ダイ上に光学的に透明なUV硬化性接着剤を形
成し、該接着剤をダイ上の接着剤の上面が凹状の形状を
有するように硬化させ; (d)凹状の形状内にUV硬化性接着剤を充填し; (e)充填された接着剤上に充填された接着剤に適合す
る屈折率を有するカバーガラスを置き; (f) 充填された接着剤を硬化させるようガラスカバ
ーを通してUV光線で照射し、それによりガラスを充填
された接着剤に固定する各段階からなる医療用画像セン
サーパッキング方法により達成される。
【0005】
【発明の効果】本発明の利点はリード枠の組み立て体、
ダイ及び電気的接続(特にワイヤボンド)、UV硬化接
着剤、カバーガラスが良い構造的特性を有するパッケー
ジを製造することにある。本発明の他の特徴はカバーガ
ラスが光学的にしっかりした上面を保護する表面を提供
する事である。硬化性接着剤は良好な湿度障壁、良好な
側壁強度、繊細な部品に対する保護、画像検出目的に対
する良好な光学的経路を提供する。
【0006】この種のパッケージは画像センサーを適切
に収容するのに用いられる最小の可能な径を供給する。
パッケージの統合性は優秀である。高品質の光学的接着
剤は優秀な光学的経路と同様にカバーガラスに対して良
い支持と接着を供する。このパッケージはそれが最小侵
襲大きさである故に医療用画像化要求に対して適切であ
る。組み立て体を作るコストは減少され、この技術は大
量生産規模に応用されうる。この種のカプセル化はプラ
スチックモールドされたパッケージに比べてそれの光学
的な質において優れている。
【0007】本発明の他の特徴は、(1) 部品を収納
するための担体を必要としない画像センサー組み立て体
の基本部品に対するパッケージング配置を提供する、
(2)適切な接着剤を用いることにより優秀な光学的特
性を有する保護包囲媒体を形成しうる、(3) 空洞に
対する光学的な接着剤の1以上の応用によりカプセル化
容積を構築することにより全体の容積の収縮に対する補
正をする、(4) 接着剤の最上層のカバーガラスを自
由に浮遊することによりカバー板の中心を決めて取付け
ることである。
【0008】
【実施例】図1、2を参照するに画像センサー又はダイ
12、上面及び下面を有するリード枠14、ダイをリー
ド枠14の導電性部分に電気的に接続するワイヤボンド
16に対するパッケージ10を示す。図2を参照するに
リード枠は以下に説明するように画像センサーを設けら
れる部分14Aを有する骨格構造の形で示される。ワイ
ヤボンドは電気的なピン18内で終端する導電性部分に
接続されるのが示されている。当業者に良く知られてい
るようにリード枠はダイの支持及び電気的ピンを供する
打ち抜かれた金属骨格構造である。リード枠は典型的に
は合金、一般的には鉄及びニッケルで作られ、これは当
業者に良く知られている。典型的には(図示していない
が)リード枠は電気的ピン18に接続された領域にわた
って金メッキされた部分を含む。電気的ピン18はしば
しばピンアウト(pinout)と称される。
【0009】図1を参照するにダイ12はリード枠部分
14Aに伝導性接着剤22で装着される。リード枠14
及びダイ12は従来技術のマイクロエレクトロニックパ
ッケージ内で用いられる構造の基本部品を形成する。接
着剤22は典型的には銀を充填されたエポキシ(sil
ver filled epoxy)である。そのよう
な接着剤の例はたとえばマサチューセッツ、Bille
ricaのEpoxy Technology社製のE
potrek410−Eである。接着剤22の目的はダ
イ12をリード枠部分14Aに固定し、リード枠それ自
身に伝導性を供することである。当業者には良く知られ
ているようにリード枠14はそれ自身ダイに対する設置
構造を供する部分14Aを有する接地面(ground
plane)を供する。
【0010】図1を参照するにダイ12の上面は接着剤
がないことがわかる。この表面上にUV硬化性接着剤2
4がキャストされる。その様な接着剤24の例はたとえ
ばコネチカット、TorringtonのDymax社
製のDymax 401、488である。これらの材料
の両方ともウレタン、オリゴマー、(メタクリック)ア
クリック モノマー混合体である。これらの材料の光学
的な特性はそれらは約1.5の屈折率を有することであ
る。この接着剤24はピークスペクトル応答が365n
mの約1ワット/cm2 のUV又は紫外放射により硬化
される。その様なUV放射がすでに供されうるシステム
は100ワットショートアーク水銀アンプを用いるEF
OS(ultracure 100 SS 機械)であ
る。示されたようにこれらの型の材料を硬化する時の収
縮の故に硬化された接着剤24は凹状の上面の形状を有
する。
【0011】この凹状の形状の範囲内に他の接着剤26
が供給される。この材料は特にほとんど同じ屈折率を有
する親和性の他の接着剤からも形成されうるが好ましく
は接着剤24と同じである。それからガラスカバー28
は充填接着剤26上に置かれる。ガラスカバー28は接
着剤26上で実際的に自由に浮遊する関係にあり、それ
が硬化するまでその様な関係のままである。このカバー
は接着剤24及び接着剤26の両方に適合する屈折率を
有する。必要ではないが好ましい実施例では両方の接着
剤24及び26は同じ材料で作られる。それらが同じ材
料である場合にはガラスカバー28は両方の接着剤と同
じ屈折率を有さねばならない。典型的なカバーガラス2
8は約1.5の屈折率を有するバリア(barria)
アルミナホウ珪酸塩で作られる。この材料は可視及び紫
外放射の両方を透過する。図示されないが反射防止コー
ティングがカバーガラス28の上面及び下面の両方にな
される。
【0012】それからUV放射は充填された接着剤26
を硬化させ、ガラスカバー28を構造に固定するようガ
ラスカバー28を通して充填された接着剤26に照射さ
れる。ガラスカバーは平坦な上面と均一な光学的品質及
び空気又はレンズ又は光ファイバーにより供される光学
的システムのような外的な環境との良い光学的インター
フェイスを供する。
【0013】図3を参照するに本発明による画像センサ
ーをパッキングするフローチャートを示す。ダイ(画像
センサー)12はEpotrek 410−Eのような
導電性接着剤を用いてリード枠14Aの中央部分に装着
される。リード枠14はニッケル又は鉄で作られ、電気
的ピン18の両側及びダイ12が装着され電気的に接続
される上側を金メッキされる。いったんダイ12が配置
され、エポキシが硬化されるとワイヤボンド16はダイ
とピン又はピンアウト18間に固定される。
【0014】この時点においてパッケージング処理はリ
ード枠14がホルダー内で上側を下にして配置される。
ホルダーは図示されない。Norland123のよう
な粘稠な接着剤32の少量がダイ/ワイヤボンド領域の
下のリード枠14の下側につけられ、紫外放射の照射に
より硬化される。これはより粘稠でない接着剤の漏れを
防止するのに役立つ。これらの接着剤は紫外線照射によ
り迅速に硬化されうる粘稠な光学的接着剤である。モー
ルド(図示されない)は下側にわたって位置され、(ニ
ュージャージー、New BrunswickのNor
land Products社製の)Norland
83H又はDymax 401、488のような接着剤
34が供給される。モールドの側壁はエポキシによる接
着を阻止するテフロンのような材料で作られる。いった
ん充填されるとこの塊はUV放射を照射され、硬化され
る。側壁は接着剤から除去されリード枠14上の全ての
部品が下側上で完成されるまで処理は次の部分に継続す
る。
【0015】それからリード枠14は上側を上にして取
付け具内で整列される。上記と類似の材料及び形状のモ
ールドはダイ及びワイヤボンドについて配置される。側
壁により形成された空洞はカバーガラス28と適合した
屈折率を有するNorland(83H)及びDyma
x 401又は488のような光学的グレードの接着剤
24で充填される。紫外放射が接着剤を硬化させるため
に用いられる。その様な接着剤の硬化における体積の収
縮により接着剤の付加的な適用は最初の照射の後に残る
小さな凹部内に位置される。いったん位置されるとカバ
ーガラス28(水晶、シリカ又はガラスのようなどのよ
うな透明な材料でもありうる)は構造の上に位置され、
中心に置かれる。バリウムホウ珪酸塩ガラス、コーニン
グ7059は上記のように画像センサー上で用いられ
る。UV放射は最小の大きさのパッケージを結果として
生じ、湿度に対する密閉、良好な光学的経路であるガラ
スを通して再び接着剤に加えられる。
【0016】この処理はリード枠14上の全てのダイ1
2になされる。いったん完了すればそれぞれの部品は枠
から分離され、個々に用いられうる。本発明は特定の実
施例を特に参照して説明されたが、変更及び改良は本発
明の精神と視野内で有効でありうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明により形成されたパッケージの概略断面
図である。
【図2】リード枠上に設けられたダイ及び関連するワイ
ヤボンド接続を有するリード枠の平面図である。
【図3】図1に示したパッケージを作る処理のフローチ
ャートを示す図である。
【符号の説明】
10 画像センサー 12 ダイ 14 リード枠 14A 側壁 16 ワイヤボンド 18 電気的ピン 22、26 接着剤 24、36 UV硬化接着剤 28 ガラスカバー 32 粘稠な接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/14 31/02

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a) ダイ(画像センサー)を上面及び
    下面を有する導電性リード枠の上面に固定し; (b) リード枠とダイとの間の電気的接続を設け; (c) ダイ上に光学的に透明なUV硬化性接着剤を形
    成し、該接着剤をダイ上の接着剤の上面が凹状の形状を
    有するように硬化させ; (d)凹状の形状内にUV硬化性接着剤を充填し; (e)充填された接着剤上に充填された接着剤に適合す
    る屈折率を有するカバーガラスを置き; (f) 充填された接着剤を硬化させるようガラスカバ
    ーを通してUV光線で照射し、それによりガラスカバー
    を充填された接着剤に固定する各段階からなる医療用画
    像センサーパッキング方法。
JP7081279A 1994-04-29 1995-04-06 医療用画像センサーパッキング方法 Pending JPH088364A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US236782 1994-04-29
US08/236,782 US5382310A (en) 1994-04-29 1994-04-29 Packaging medical image sensors

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH088364A true JPH088364A (ja) 1996-01-12

Family

ID=22890949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7081279A Pending JPH088364A (ja) 1994-04-29 1995-04-06 医療用画像センサーパッキング方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5382310A (ja)
EP (1) EP0681334A1 (ja)
JP (1) JPH088364A (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5840148A (en) * 1995-06-30 1998-11-24 Bio Medic Data Systems, Inc. Method of assembly of implantable transponder
US6611610B1 (en) * 1997-04-02 2003-08-26 Gentex Corporation Vehicle lamp control
DE19812008A1 (de) * 1998-03-19 1999-09-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optoelektronische Bauelementanordnung
FR2793069B1 (fr) * 1999-04-28 2003-02-14 Gemplus Card Int Procede de fabrication de dispositif electronique portable a circuit integre protege par resine photosensible
JP4565727B2 (ja) * 2000-10-10 2010-10-20 三洋電機株式会社 半導体装置の製造方法
WO2002089038A2 (en) 2001-04-27 2002-11-07 Atrua Technologies, Inc. Capacitive sensor system with improved capacitance measuring sensitivity
EP1407477A4 (en) * 2001-05-22 2006-06-07 Atrua Technologies Inc IMPROVED CONNECTING ASSEMBLY FOR INTEGRATED CIRCUIT SENSORS
US7259573B2 (en) * 2001-05-22 2007-08-21 Atrua Technologies, Inc. Surface capacitance sensor system using buried stimulus electrode
US7276394B2 (en) * 2001-09-20 2007-10-02 Eastman Kodak Company Large area flat image sensor assembly
US20090196999A1 (en) * 2007-12-12 2009-08-06 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Adhesion promotion
US7915717B2 (en) * 2008-08-18 2011-03-29 Eastman Kodak Company Plastic image sensor packaging for image sensors
DE102023200393A1 (de) 2023-01-19 2024-07-25 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Photodetektoreinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Photodetektoreinrichtung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3811983A (en) * 1972-06-23 1974-05-21 Rowland Dev Corp Method for producing retroreflective sheeting
US5098630A (en) * 1985-03-08 1992-03-24 Olympus Optical Co., Ltd. Method of molding a solid state image pickup device
FR2592221B1 (fr) * 1985-12-20 1988-02-12 Radiotechnique Compelec Procede d'encapsulation d'un composant electronique au moyen d'une resine synthetique
JPS634510A (ja) * 1986-06-25 1988-01-09 アイシン精機株式会社 電気,電子部品の封止方法
US4843036A (en) * 1987-06-29 1989-06-27 Eastman Kodak Company Method for encapsulating electronic devices
FR2620374B1 (fr) * 1987-09-11 1990-03-09 Framatome Sa Procede de realisation d'une piece en resine par photopolymerisation et applications de ce procede
JPH0287869A (ja) * 1988-09-26 1990-03-28 Ricoh Co Ltd 千鳥配列マルチチツプ型イメージセンサ
US5114632A (en) * 1989-05-01 1992-05-19 Soane Technologies, Inc. Controlled casting of a shrinkable material
US5061336A (en) * 1989-05-01 1991-10-29 Soane Technologies, Inc. Gel casting method and apparatus
US5291038A (en) * 1990-12-19 1994-03-01 Sharp Kabushiki Kaisha Reflective type photointerrupter

Also Published As

Publication number Publication date
EP0681334A1 (en) 1995-11-08
US5382310A (en) 1995-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5865935A (en) Method of packaging image sensors
US5863810A (en) Method for encapsulating an integrated circuit having a window
US7455461B2 (en) Optoelectronic component and method for the production thereof
JPH088364A (ja) 医療用画像センサーパッキング方法
JPH07221278A (ja) 固体撮像素子及びその製造方法
JP3092307B2 (ja) 半導体圧力センサ
JP2004532533A (ja) オプトエレクトロニクス素子およびオプトエレクトロニクス素子の製造法
JP3173586B2 (ja) 全モールド型固体撮像装置およびその製造方法
US6972497B2 (en) Optical semiconductor device and method of manufacture
US20070292982A1 (en) Method for Manufacturing Transparent Windows in Molded Semiconductor Packages
CN209471962U (zh) 集成电路封装体及其注塑治具
KR20040033193A (ko) 이미지 센서용 반도체 칩 패키지 및 제조 방법
CN111739901B (zh) 传感器封装结构及封装方法
JP2539111B2 (ja) 耐湿性の改良された半導体装置およびその製造方法
JP3166216B2 (ja) オンチップレンズ付固体撮像装置およびその製造方法
JPS60136254A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
JPH02229453A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2586296B2 (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
JP2573080B2 (ja) 固体撮像素子の製造方法
CN110945645A (zh) 半导体装置及半导体装置的制造方法
JPS58194382A (ja) 発光装置用電極構体
JPH07254657A (ja) 集積回路パッケージおよびその光透過窓形成方法
JPS63133653A (ja) 光消去型半導体メモリ装置
JP2734189B2 (ja) 光学センサ素子およびその製造方法
JPS616860A (ja) カラ−固体撮像装置