JPH0870080A - Composite lead frame - Google Patents

Composite lead frame

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JPH0870080A
JPH0870080A JP7125325A JP12532595A JPH0870080A JP H0870080 A JPH0870080 A JP H0870080A JP 7125325 A JP7125325 A JP 7125325A JP 12532595 A JP12532595 A JP 12532595A JP H0870080 A JPH0870080 A JP H0870080A
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JP
Japan
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lead frame
lead
printed wiring
piece
wiring board
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP7125325A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Kawada
裕志 河田
Toshimasa Kitagawa
利正 北川
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0870080A publication Critical patent/JPH0870080A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Abstract

PURPOSE: To reduce the deformation of a lead frame which is caused by temperature change, by forming the linkage part of a lead frame so as to be able to absorb the stress applied to the lead frame, when a printed wiring board expands or contracts. CONSTITUTION: The linkage part 26 of a lead frame 20 consists of the following; a lead part side protruding segment 26a protruding from a lead part 21 to the outside, parallel with outer leads 23, 23,..., a lead frame side protruding segment 26b protruding from the lead frame 20 to the inside, in the outside of the lead part 21 and in the sifted position, parallel with the outer leads 23, 23,..., and an absorption segment 26c which is rectangular to both of the protruding segments 26a and 26b and linked with the tips of them. In the semiconductor element mounting process and the wire bonding process, the lead frame 20 is set in an atmosphere at about 220 deg.C, and the stress applied to the lead frame 20 is absorbed by the absorption segment 26c stretching in the direction rectangular to the expansion and contraction direction of a printed wiring board.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケージを構
成するプリント配線板とリードフレームを有した複合リ
ードフレームに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite lead frame having a printed wiring board and a lead frame forming a semiconductor package.

【0002】[0002]

【従来の技術】リードフレームに半導体素子を搭載し、
これらを樹脂成形して封止する半導体パッケージにおい
ては、リードフレームと封止樹脂に熱膨張係数の差があ
ることにより、樹脂成形後に半導体パッケージが反り変
形する場合がある。この反り変形を軽減する手段とし
て、例えば特開平3−124054には、リードフレー
ムのリード部の周囲にスリットを設けたものが開示され
ている。このような手段は、リードフレームにプリント
配線板を接続固定した複合リードフレームのリードフレ
ームにおいても適用されている。
2. Description of the Related Art A semiconductor element is mounted on a lead frame,
In a semiconductor package in which these are resin-molded and sealed, the semiconductor package may be warped and deformed after the resin molding due to a difference in thermal expansion coefficient between the lead frame and the sealing resin. As means for reducing this warp deformation, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-124054 discloses a device in which a slit is provided around the lead portion of the lead frame. Such means is also applied to the lead frame of the composite lead frame in which the printed wiring board is connected and fixed to the lead frame.

【0003】この種の複合リードフレームとして、簡略
化して描いた図10に示す構成のものが存在する。図に
おいて、10はプリント配線板で、有機材料あるいはセラ
ミック等の非金属材料により、半導体素子を載置する載
置部11、半導体素子を載置部11に載置したときその各端
子部に対応して外方に延びるように形成された導電部12
を有して形成される。
As this type of composite lead frame, there is a simplified structure shown in FIG. In the figure, 10 is a printed wiring board, which is made of a non-metallic material such as an organic material or a ceramic, and is used to mount a semiconductor element on the mounting portion 11. When the semiconductor element is mounted on the mounting portion 11, each terminal portion corresponds to the mounting portion. Conductive portion 12 formed so as to extend outward
Is formed.

【0004】20はリードフレームで、金属材料製であ
り、複数のプリント配線板10, …を並設してそれらの各
導電部12,12,…の外方端部を接続固定するインナーリー
ド22,22,…及び半導体パッケージの端子となるアウター
リード23,23,…からなるリード部21と、リード部21をそ
の周囲に設けた連結部26を介して支持するとともに、プ
リント配線板10, …の並設方向に延びるフレーム部25を
有して形成される。
Reference numeral 20 denotes a lead frame, which is made of a metal material, and is provided with a plurality of printed wiring boards 10, ... In parallel, and inner leads 22 for connecting and fixing the outer ends of the respective conductive portions 12, 12 ,. , 22, and outer leads 23, 23, which serve as terminals of the semiconductor package, and a printed wiring board 10, while supporting the lead portion 21 via a connecting portion 26 provided around the lead portion 21. It is formed by having a frame portion 25 extending in the juxtaposed direction.

【0005】この連結部26は、前述したリード部21の周
囲に設けたスリット27内に設けられたとも、スリット27
を分離するものとも考えられるものであり、具体的に
は、図7に示すように、例えば、スリット27の幅及び連
結部26の幅は0.6mm程度としている。28は製造工程に
おける位置決めを行う位置決め孔である。
The connecting portion 26 is provided in the slit 27 provided around the lead portion 21 and the slit 27.
The width of the slit 27 and the width of the connecting portion 26 are about 0.6 mm, for example, as shown in FIG. 28 is a positioning hole for positioning in the manufacturing process.

【0006】半導体パッケージの製造工程は、まず、リ
ードフレーム20のインナーリード22,22,…の内方端部
と、プリント配線板10, …の各導電部12,12,…の外方端
部を接続固定し、次いで、プリント配線板10, …の載置
部11に樹脂ダイボンド剤等を用いて半導体素子を載置し
(半導体素子実装工程) 、次いで、半導体素子の各端子
部と各導電部12,12,…の内方端部とを金等の金属細線に
て接続し (ワイヤボンディング工程) 、次いで、インナ
ーリード22,22,…の内方側の大半を含む領域を樹脂成形
金型内に挿入して樹脂成形を行い (樹脂成形工程) 、そ
して、リード部21,21 …を所定位置で切断し、樹脂成形
部分 (以下、パッケージと称する) から突出した状態の
リード部21,21 …を適宜折り曲げる (切断、折り曲げ工
程) 。図11に示すリードフレーム20では、3個の半導
体パッケージが作られる。
In the manufacturing process of the semiconductor package, first, the inner ends of the inner leads 22, 22, ... Of the lead frame 20 and the outer ends of the conductive parts 12, 12, ... Of the printed wiring board 10 ,. Then, the semiconductor element is mounted on the mounting portion 11 of the printed wiring board 10, ... Using a resin die bonding agent or the like.
(Semiconductor element mounting process) Next, each terminal portion of the semiconductor element and each inner end of each conductive portion 12, 12, ... Are connected by a thin metal wire such as gold (wire bonding step), and then inner leads The area including most of the inner side of 22,22, ... Is inserted into the resin molding die to perform resin molding (resin molding process), and the lead portions 21, 21 ... The lead portions 21, 21 ... Protruding from the molded portion (hereinafter referred to as the package) are appropriately bent (cutting and bending steps). In the lead frame 20 shown in FIG. 11, three semiconductor packages are manufactured.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したリ
ードフレームは、熱伝導性の向上やコストダウンを図る
ために銅合金製のものが多用されつつあり、その板厚は
0.1mm程度である。また、半導体素子実装工程やワイ
ヤボンディング工程では200℃程度の温度雰囲気とな
る。そして、これらの工程は、位置決め孔を用いて順次
搬送されるが、リードフレームの反りが大きくなると円
滑な搬送が行い難くなる。
By the way, as the lead frame described above, one made of a copper alloy is being widely used in order to improve the thermal conductivity and reduce the cost, and the plate thickness thereof is about 0.1 mm. . Further, in the semiconductor element mounting process and the wire bonding process, a temperature atmosphere of about 200 ° C. is used. Then, these steps are sequentially carried using the positioning holes, but if the warp of the lead frame becomes large, smooth carrying becomes difficult.

【0008】本願出願人が確認したところでは、リード
フレームの板厚を0.12mm、長手方向長さを160m
m、幅方向長さを61mmとして、220℃の温度雰囲気
に置いた場合、2乃至3mm程度の反りが発生した。これ
は、リードフレームとプリント配線板の熱膨張係数の差
に起因するものである。このような反りが発生すると、
前述した工程における搬送に際して反り矯正治具を使用
する等工程が煩雑なものとなる。
It has been confirmed by the applicant of the present application that the lead frame has a plate thickness of 0.12 mm and a longitudinal length of 160 m.
When it was placed in an atmosphere at a temperature of 220 ° C. with m and a length in the width direction of 61 mm, warpage of about 2 to 3 mm occurred. This is due to the difference in thermal expansion coefficient between the lead frame and the printed wiring board. When such warpage occurs,
The steps such as using a warp correction jig during the transportation in the steps described above become complicated.

【0009】本発明は、かかる事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、温度変化によるリードフ
レームの変形がより軽減できる複合リードフレームを提
供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a composite lead frame capable of further reducing the deformation of the lead frame due to temperature change.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
めに、請求項1記載の複合リードフレームは、半導体素
子を所定位置に載置したときその各端子部に対応して外
方に延びるように導電部が形成されたプリント配線板
と、複数のプリント配線板を並設してそれらの各導電部
の外方端部を接続固定するインナーリード及び半導体パ
ッケージの端子となるアウターリードからなるリード部
とリード部をその周囲に設けた連結部を介して支持する
とともにプリント配線板の並設方向に延びるフレーム部
を設けたリードフレームと、を有した複合リードフレー
ムにおいて、前記リードフレームの連結部を、プリント
配線板が膨張又は収縮したときリードフレームへの応力
が吸収できるよう形成した構成としている。
In order to solve such a problem, the composite lead frame according to claim 1 is arranged so that, when a semiconductor element is mounted at a predetermined position, the composite lead frame extends outward corresponding to each terminal portion thereof. A lead consisting of a printed wiring board on which a conductive portion is formed, an inner lead for arranging a plurality of printed wiring boards in parallel and connecting and fixing the outer ends of the respective conductive portions, and an outer lead serving as a terminal of a semiconductor package. And a lead frame supporting a lead portion through a connecting portion provided around the lead portion and a frame portion extending in a direction in which a printed wiring board is provided side by side, and a connecting portion of the lead frame. Is formed so that the stress on the lead frame can be absorbed when the printed wiring board expands or contracts.

【0011】また、請求項2記載の複合リードフレーム
は、請求項1記載のリードフレームの連結部を、プリン
ト配線板の膨張又は収縮方向に位置する連結片と、その
横幅より長い応力吸収用のスリットをリード部とリード
部の外方のリードフレームの少なくとも一方に設けて形
成されるスリット形成片とにより形成した構成としてい
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a composite lead frame, wherein the connecting portion of the lead frame according to the first aspect is provided with a connecting piece positioned in a direction of expansion or contraction of the printed wiring board and a stress absorption longer than its lateral width. The slit is formed by a lead portion and a slit forming piece formed on at least one of the lead frames outside the lead portion.

【0012】また、請求項3記載の複合リードフレーム
は、請求項1記載のリードフレームの連結部を、互いに
ずらして形成したリード部側突出片とリード部の外方の
リードフレーム側突出片と、プリント配線板の膨張又は
収縮方向に対し略直交方向に延びるよう両突出片の先端
部を連設する吸収片とにより形成した構成としている。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a lead frame-side protruding piece formed by shifting the connecting portions of the lead frame according to the first aspect from each other, and a lead frame-side protruding piece outside the lead portion. , And an absorbing piece in which the tip end portions of both projecting pieces are arranged so as to extend in a direction substantially orthogonal to the expansion or contraction direction of the printed wiring board.

【0013】また、請求項4記載の複合リードフレーム
は、請求項3記載のリード部側突出片とリードフレーム
側突出片の少なくとも一方を、リード部側突出片とリー
ドフレーム側突出片の横幅より長い応力吸収用のスリッ
トをリード部とリード部の外方のリードフレームの少な
くとも一方に設けて形成されるスリット形成片に連設し
た構成としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the composite lead frame, at least one of the lead portion side protruding piece and the lead frame side protruding piece is defined by a lateral width of the lead portion side protruding piece and the lead frame side protruding piece. A long stress absorbing slit is continuously provided to a slit forming piece formed on at least one of the lead portion and the lead frame outside the lead portion.

【0014】また、請求項5記載の複合リードフレーム
は、請求項3記載の吸収片の一部に、コ字状に折り曲げ
た折り曲げ部を形成した構成としている。
The composite lead frame according to a fifth aspect of the present invention is configured such that a bent portion bent in a U-shape is formed on a part of the absorbent piece according to the third aspect.

【0015】さらに、請求項6記載の複合リードフレー
ムは、請求項1乃至5記載のフレーム部を、リード部に
比してプリント配線板の並設方向が高剛性構造にした構
成としている。
Further, in the composite lead frame according to claim 6, the frame portion according to claims 1 to 5 has a structure in which the direction in which the printed wiring boards are arranged in parallel has a high rigidity structure as compared with the lead portion.

【0016】[0016]

【作用】請求項1記載の構成によれば、プリント配線板
が膨張又は収縮した場合のリードフレームへの応力を、
連結部により吸収するので、温度変化によるリードフレ
ームの変形が軽減できる。
According to the structure of claim 1, when the printed wiring board expands or contracts, the stress to the lead frame is reduced.
Since it is absorbed by the connecting portion, deformation of the lead frame due to temperature change can be reduced.

【0017】請求項2記載の構成によれば、プリント配
線板が膨張又は収縮した場合のリードフレームへの応力
を、連結部のスリット形成片が吸収する。
According to the second aspect of the invention, the slit forming piece of the connecting portion absorbs the stress to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts.

【0018】請求項3記載の構成によれば、プリント配
線板が膨張又は収縮した場合のリードフレームへの応力
を、連結部の吸収片が吸収する。
According to the third aspect of the invention, the absorbing piece of the connecting portion absorbs the stress to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts.

【0019】請求項4記載の構成によれば、プリント配
線板が膨張又は収縮した場合のリードフレームへの応力
を、連結部のスリット形成片と吸収片が吸収する。
According to the structure of claim 4, the slit forming piece and the absorbing piece of the connecting portion absorb the stress to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts.

【0020】請求項5記載の構成によれば、プリント配
線板が膨張又は収縮した場合のリードフレームへの応力
を、連結部の折り曲げ部が吸収する。
According to the fifth aspect of the invention, the bending portion of the connecting portion absorbs the stress on the lead frame when the printed wiring board expands or contracts.

【0021】請求項6記載の構成によれば、請求項1乃
至5記載の作用に加え、フレーム部が変形しにくくなっ
て温度変化によるリードフレームの変形がより軽減でき
る。
According to the sixth aspect of the invention, in addition to the actions of the first to fifth aspects, the frame portion is less likely to be deformed, and the deformation of the lead frame due to temperature change can be further reduced.

【0022】[0022]

【実施例】以下、本発明の第1実施例を図1乃至図5に
基づいて説明する。本発明の複合リードフレームは、プ
リント配線板とリードフレームを主要構成部材とし、特
に、リードフレームが従来例と異なっている。なお、従
来例で説明したものと実質的に基本機能が同様の構成部
材には、従来例を示す図に付したと同様の符号を付して
いる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The composite lead frame of the present invention has a printed wiring board and a lead frame as main constituent members, and in particular, the lead frame is different from the conventional example. It should be noted that constituent members having substantially the same basic functions as those described in the conventional example are denoted by the same reference numerals as those in the drawings showing the conventional example.

【0023】プリント配線板10は、従来例のものと同
様、有機材料あるいはセラミック等の非金属材料によ
り、半導体素子を載置する載置部11、半導体素子を載置
部11に載置したときその各端子部に対応して外方に延び
るように形成された導電部12を有して形成される。な
お、各図における導電部12は、簡略化して描いてある。
このプリント配線板10は、導電部12が多層となるよう積
層構造となっている。
The printed wiring board 10 is made of a non-metallic material such as an organic material or a ceramic, as in the conventional example, and a mounting portion 11 on which a semiconductor element is mounted, and when the semiconductor element is mounted on the mounting portion 11. The conductive portion 12 is formed to extend outward corresponding to each terminal portion. Note that the conductive portion 12 in each drawing is illustrated in a simplified manner.
The printed wiring board 10 has a laminated structure such that the conductive portions 12 are multi-layered.

【0024】リードフレーム20は、42アロイ (鉄・ニ
ッケル合金) 、好ましくは銅合金のような金属材料製で
あり、複数のプリント配線板10, …を並設してそれらの
各導電部12,12,…の外方端部を接続固定するインナーリ
ード22,22,…及び半導体パッケージの端子となるアウタ
ーリード23,23,…からなるリード部21と、リード部21を
その周囲に設けた連結部26を介して支持するとともに、
プリント配線板10, …の並設方向に延びるフレーム部25
を有して形成されることについては、従来と同様であ
る。27はリード部21の周囲に設けたスリット、28は製造
工程における位置決めを行う位置決め孔である。なお、
図1では半導体パッケージの1個分のみを示している。
The lead frame 20 is made of a metal material such as 42 alloy (iron / nickel alloy), preferably copper alloy, and a plurality of printed wiring boards 10, ... A lead portion 21 composed of inner leads 22, 22, for connecting and fixing the outer end portions of 12, ... and outer leads 23, 23, ... serving as terminals of a semiconductor package, and a lead portion 21 provided around the lead portion 21. While supporting through the part 26,
Frame portion 25 extending in the direction in which the printed wiring boards 10 are arranged in parallel.
It is the same as the conventional one. 27 is a slit provided around the lead portion 21, and 28 is a positioning hole for positioning in the manufacturing process. In addition,
In FIG. 1, only one semiconductor package is shown.

【0025】インナーリード22,22,…は、外方端部は一
定間隔で縦又は横方向に平行的に形成され、内方側は中
央付近のものは外方端部と直線状になっているが外方に
位置するに従って傾斜している。アウターリード23,23,
…は、インナーリード22,22,…の外方端部に対応して一
定間隔で縦又は横方向に平行的に形成されている。
Outer end portions of the inner leads 22, 22, ... Are formed parallel to each other in the vertical or horizontal direction at regular intervals, and the inner lead portion near the center is linear with the outer end portion. However, it is inclined toward the outside. Outer lead 23,23,
Are formed in parallel in the vertical or horizontal direction at regular intervals corresponding to the outer ends of the inner leads 22, 22 ,.

【0026】次に、本発明の要部であるリードフレーム
20の連結部26について説明する。連結部26は、図2に示
すように、リード部21からからアウターリード23,23,…
と平行的に外方に突出するリード部側突出片26a と、リ
ード部21の外方においてリードフレーム20からアウター
リード23,23,…と平行的でかつずれた位置において内方
に突出するリードフレーム側突出片26b と、両突出片26
a,26b と直交方向でもってそれらの先端部に連設される
吸収片26c にて構成される。本実施例では、連結部26
は、リード部21の4周の内の3周に、それぞれ3乃至4
個ずつ設けている。
Next, a lead frame which is an essential part of the present invention
The connecting portion 26 of 20 will be described. As shown in FIG. 2, the connecting portion 26 extends from the lead portion 21 to the outer leads 23, 23, ...
And a lead portion side protruding piece 26a that protrudes outward in parallel to the lead portion 21 and a lead portion 21a that protrudes inward from the lead frame 20 outside the lead portion 21 in a position parallel to the outer leads 23, 23 ,. Frame side protruding piece 26b and both protruding pieces 26
It is composed of an absorbing piece 26c which is connected to the tips of a and 26b in a direction orthogonal to them. In this embodiment, the connecting portion 26
Is 3 to 4 on three of the four rounds of the lead portion 21, respectively.
Each is provided.

【0027】本実施例では、リードフレーム20の板厚を
0.12mm、長手方向長さを160mm、幅方向長さを6
1mm、スリット27の幅を0.6mmとし、さらに、連結部
26の各片26a,26b,26c の幅を0.2mm、吸収片26c の正
味長さを1mmとしている。
In this embodiment, the lead frame 20 has a plate thickness of 0.12 mm, a longitudinal length of 160 mm, and a widthwise length of 6 mm.
1mm, the width of slit 27 is 0.6mm, and the connecting part
The width of each piece 26a, 26b, 26c of 26 is 0.2 mm, and the net length of the absorbing piece 26c is 1 mm.

【0028】半導体パッケージの製造工程は、従来例と
同様、まず、リードフレーム20のインナーリード22,22,
…の内方端部と、プリント配線板10, …の各導電部12,1
2,…の外方端部を接続固定し、次いで、プリント配線板
10, …の載置部11に樹脂ダイボンド剤等を用いて半導体
素子30を載置し (半導体素子実装工程) 、次いで、半導
体素子30の各端子部と各導電部12,12,…の内方端部とを
金等の金属細線31にて接続する (ワイヤボンディング工
程) 。ここまでの状態は、簡略化して描いた図3に示す
通りである。次いで、図4に示すように、インナーリー
ド22,22,…の内方側の大半を含む領域を樹脂成形金型3
2,33 内に挿入して樹脂成形を行う (樹脂成形工程) 。
図5は樹脂成形金型32,33 から取り出された状態の半導
体パッケージP を示しており、半導体素子30は樹脂34に
て封止されている。そして、リード部21,21 …を所定位
置で切断し、樹脂成形部分であるパッケージから突出し
た状態のリード部21,21 …、具体的にはアウターリード
23,23,…を適宜折り曲げる (切断、折り曲げ工程) 。こ
の実施例のリードフレーム20では、3個の半導体パッケ
ージが作られる。
In the manufacturing process of the semiconductor package, as in the conventional example, first, the inner leads 22, 22,
The inner end of ... and the conductive parts 12, 1 of the printed wiring board 10, ...
Connect and fix the outer ends of 2,…, then the printed wiring board
The semiconductor element 30 is mounted on the mounting portion 11 of 10, using a resin die-bonding agent or the like (semiconductor element mounting process), and then each terminal portion of the semiconductor element 30 and each conductive portion 12, 12 ,. The end portion is connected with a thin metal wire 31 such as gold (wire bonding step). The state so far is as shown in FIG. 3 which is drawn in a simplified manner. Next, as shown in FIG. 4, the region including most of the inner leads 22, 22, ...
Insert into 2, 33 and perform resin molding (resin molding process).
FIG. 5 shows the semiconductor package P taken out from the resin molding dies 32, 33, and the semiconductor element 30 is sealed with resin 34. Then, the lead portions 21, 21 ... Are cut at a predetermined position and protruded from the package which is the resin molding portion, specifically, the outer leads.
Bend 23, 23, ... as appropriate (cutting and bending process). In the lead frame 20 of this embodiment, three semiconductor packages are manufactured.

【0029】かかる製造工程における半導体素子実装工
程やワイヤボンディング工程は、220℃程度の温度雰
囲気中にリードフレーム20が置かれて作業が行われ、そ
して順次搬送される。この温度雰囲気中では、リードフ
レーム20とプリント配線板10との熱膨張係数の差によ
り、後者の膨張量が大きくなる。従って、リードフレー
ム20に対して応力がかかることとなるが、その応力はプ
リント配線板10の膨張又は収縮方向に対し略直交方向に
延びるよう位置している吸収片26c が吸収する。これに
より、リードフレーム20の反り変形は軽減されるのであ
る。勿論、高温雰囲気から低温雰囲気に変化して逆の応
力が加わっても同様に作用する。
In the semiconductor element mounting process and the wire bonding process in the manufacturing process, the lead frame 20 is placed in an atmosphere of a temperature of about 220 ° C., work is performed, and the substrates are sequentially transported. In this temperature atmosphere, the expansion amount of the latter becomes large due to the difference in thermal expansion coefficient between the lead frame 20 and the printed wiring board 10. Therefore, although stress is applied to the lead frame 20, the stress is absorbed by the absorbing piece 26c positioned so as to extend in a direction substantially orthogonal to the expansion or contraction direction of the printed wiring board 10. As a result, warp deformation of the lead frame 20 is reduced. Of course, even if the reverse stress is applied by changing from the high temperature atmosphere to the low temperature atmosphere, the same operation is performed.

【0030】本願出願人が本実施例のものと従来例のも
のとを比較実験した結果、反りは1mm以下となり、従来
例に比して約1/3に軽減した。
As a result of a comparative experiment conducted by the applicant of the present invention between the present embodiment and the conventional example, the warp was 1 mm or less, which was reduced to about 1/3 of the conventional example.

【0031】次に、本発明の第2実施例を図6に基づい
て説明する。このものは、連結部26の構成のみが第1実
施例と異なる。そして、連結部26は、連結片26d とスリ
ット形成片26e により形成される。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This is different from the first embodiment only in the structure of the connecting portion 26. The connecting portion 26 is formed by the connecting piece 26d and the slit forming piece 26e.

【0032】連結片26d は、従来の連結部と実質的に同
様のものであり、プリント配線板10の膨張又は収縮方向
に位置し、基本的には、リードフレーム20とリードフレ
ーム21とを連結する。
The connecting piece 26d is substantially the same as the conventional connecting portion and is located in the direction of expansion or contraction of the printed wiring board 10, and basically connects the lead frame 20 and the lead frame 21. To do.

【0033】スリット形成片26e は、リード部21の外方
のリードフレーム20に、連結片26dの横幅より長いスリ
ット26f を設けて形成されるリード部21側の細片であ
る。前述した連結片26e は、スリット形成片26e の略中
央付近に連設される。なお、このスリット形成片26e
は、リード部21にあるいは両方に設けてもよい。
The slit forming piece 26e is a strip on the lead portion 21 side formed by providing a slit 26f longer than the lateral width of the connecting piece 26d on the lead frame 20 outside the lead portion 21. The connecting piece 26e described above is continuously provided near the center of the slit forming piece 26e. In addition, this slit forming piece 26e
May be provided on the lead portion 21 or both.

【0034】このものは、リードフレーム20に応力がか
かった場合、その応力をスリット形成片26e が吸収す
る。
In this case, when stress is applied to the lead frame 20, the slit forming piece 26e absorbs the stress.

【0035】次に、本発明の第3実施例を図7に基づい
て説明する。このものも、連結部26の構成のみが第1実
施例と異なるものであり、第1実施例と第2実施例のス
リット形成片を組み合わせたものである。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This is also different from the first embodiment only in the structure of the connecting portion 26, and is a combination of the slit forming pieces of the first and second embodiments.

【0036】すなわち、連結部26は、リード部21からか
らアウターリード23,23,…と平行的に外方に突出するリ
ード部側突出片26a と、リード部21の外方においてリー
ドフレーム20からアウターリード23,23,…と平行的でか
つずれた位置において内方に突出するリードフレーム側
突出片26b と、両突出片26a,26b と直交方向でもってそ
れらの先端部に連設される吸収片26c と、リード部21の
外方のリードフレーム20に、両突出片26a,26b の横幅よ
り長いスリット26f を設けて形成されるスリット形成片
26e により形成される。
That is, the connecting portion 26 includes a lead portion side protruding piece 26a which protrudes outward from the lead portion 21 in parallel with the outer leads 23, 23, ..., and a lead frame 20 outside the lead portion 21. The lead frame side projecting piece 26b projecting inward at a position parallel to the outer leads 23, 23, ..., And the absorption provided continuously to the tip parts of the projecting pieces 26a, 26b in the direction orthogonal thereto. A slit forming piece formed by providing a slit 26f longer than the lateral width of both projecting pieces 26a and 26b on the piece 26c and the lead frame 20 outside the lead portion 21.
Formed by 26e.

【0037】このものは、リードフレーム20に応力がか
かった場合、その応力をスリット形成片26e と吸収片26
c が吸収する。
In this device, when stress is applied to the lead frame 20, the stress is applied to the slit forming piece 26e and the absorbing piece 26e.
c absorbs.

【0038】次に、本発明の第4実施例を図8及び図9
に基づいて説明する。このものは、第1実施例の連結部
26を変形させたものである。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
It will be described based on. This is the connecting portion of the first embodiment.
It is a modification of 26.

【0039】すなわち、連結部26は、基本形状として
は、第1実施例と同様のリード部側突出片26a と、リー
ドフレーム側突出片26b と、吸収片26c とを有する。具
体的には、図9に示すように、両突出片26a,26b の一方
を長く他方を短かくするとともに、吸収片26c の約半分
はコ字状になっている。この吸収片26c は、そのコ字状
部分を、図8に示すように、略直角に折り曲げて折り曲
げ部26g としている。
That is, the connecting portion 26 has, as a basic shape, a lead portion side protruding piece 26a, a lead frame side protruding piece 26b, and an absorbing piece 26c, which are similar to those of the first embodiment. Specifically, as shown in FIG. 9, one of the projecting pieces 26a and 26b is made long and the other is made short, and approximately half of the absorbing piece 26c is U-shaped. As shown in FIG. 8, the absorbing piece 26c has its U-shaped portion bent substantially at a right angle to form a bent portion 26g.

【0040】このものは、リードフレーム20に応力がか
かった場合、その応力を折り曲げ部26g が吸収する。
In this case, when stress is applied to the lead frame 20, the bending portion 26g absorbs the stress.

【0041】なお、連結部26の構造や形状は、実施例の
ものに限定されるものではなく、曲線状に形成したり、
傾斜させたり、幅が変化するようにしてもよい。すなわ
ち、重要なことは、連結部26は従来例のようにプリント
配線板10の膨張又は収縮方向に沿って形成する、つまり
リードフレーム20に対して応力が突っ張るように形成す
るのでなく、応力を吸収するような吸収片を設けること
である。また、連結部26は、リード部21の4周の内の3
周に設けるものに限定するものではなく、勿論4周でも
よく (本実施例でも中央に位置するものは4周に設けた
ものとなっている) 、少なくとも直交的な2周に設けれ
ばよい。
The structure and shape of the connecting portion 26 are not limited to those of the embodiment, but may be formed in a curved shape,
It may be inclined or the width may be changed. That is, it is important to note that the connecting portion 26 is formed along the expansion or contraction direction of the printed wiring board 10 as in the conventional example, that is, the stress is not formed on the lead frame 20 in such a manner that the stress is stretched. It is to provide an absorbing piece that absorbs. In addition, the connecting portion 26 is 3 of the 4 rounds of the lead portion 21.
The number is not limited to the one provided on the circumference, but may be four as a matter of course (in the present embodiment, the one located at the center is provided on the fourth), and may be provided at least at two orthogonal turns. .

【0042】また、フレーム部25は、長手方向の少なく
とも一方の側部を折曲して、リード部21に比してプリン
ト配線板10の並設方向が高剛性構造にすると反りがさら
に軽減できる。この高剛性構造にする手段もリブを形成
したり別部材を貼りつける等適宜の手段が選択可能であ
る。
Further, when the frame portion 25 is bent at least on one side portion in the longitudinal direction and the printed wiring board 10 has a high rigidity structure in the juxtaposed direction as compared with the lead portion 21, the warp can be further reduced. . As the means for providing this highly rigid structure, it is possible to select an appropriate means such as forming a rib or attaching another member.

【0043】[0043]

【発明の効果】請求項1記載の複合リードフレームは、
プリント配線板が膨張又は収縮した場合のリードフレー
ムへの応力を、連結部により吸収するので、温度変化に
よるリードフレームの変形が軽減できる。
The composite lead frame according to claim 1 is
Since the connecting portion absorbs the stress on the lead frame when the printed wiring board expands or contracts, deformation of the lead frame due to temperature change can be reduced.

【0044】請求項2記載の複合リードフレームは、プ
リント配線板が膨張又は収縮した場合のリードフレーム
への応力を、連結部のスリット形成片が吸収して温度変
化によるリードフレームの変形が軽減できる。
In the composite lead frame according to the present invention, the slit forming piece of the connecting portion absorbs the stress to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts, and the deformation of the lead frame due to the temperature change can be reduced. .

【0045】請求項3記載の複合リードフレームは、プ
リント配線板が膨張又は収縮した場合のリードフレーム
への応力を、連結部の吸収片が吸収して温度変化による
リードフレームの変形が軽減できる。
In the composite lead frame according to the third aspect of the present invention, the stress applied to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts is absorbed by the absorbing piece of the connecting portion, and the deformation of the lead frame due to temperature change can be reduced.

【0046】請求項4記載の複合リードフレームは、プ
リント配線板が膨張又は収縮した場合のリードフレーム
への応力を、連結部のスリット形成片と吸収片が吸収す
るので、温度変化によるリードフレームの変形がより軽
減できる。
In the composite lead frame according to the present invention, the stress applied to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts is absorbed by the slit forming piece and the absorbing piece of the connecting portion. Deformation can be further reduced.

【0047】請求項5記載の複合リードフレームは、プ
リント配線板が膨張又は収縮した場合のリードフレーム
への応力を、連結部の折り曲げ部が吸収するので、温度
変化によるリードフレームの変形がさらに軽減できる。
In the composite lead frame according to the present invention, the bending of the connecting portion absorbs the stress to the lead frame when the printed wiring board expands or contracts, so that the deformation of the lead frame due to temperature change is further reduced. it can.

【0048】請求項6記載の複合リードフレームは、請
求項1乃至5記載の作用効果に加え、フレーム部が変形
しにくくなって温度変化によるリードフレームの変形が
さらに大幅により軽減できる。
In the composite lead frame according to the sixth aspect, in addition to the effects of the first to fifth aspects, the frame portion is less likely to be deformed, and the deformation of the lead frame due to the temperature change can be further greatly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す部分平面図であり、
インナーリードや導電部は簡略化して描いている。
FIG. 1 is a partial plan view showing a first embodiment of the present invention,
Inner leads and conductive parts are drawn in a simplified manner.

【図2】その連結部の拡大平面図である。FIG. 2 is an enlarged plan view of the connecting portion.

【図3】そのプリント配線板とインナーリードを接続固
定した状態を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the printed wiring board and inner leads are connected and fixed.

【図4】その樹脂成形状態を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing the resin molding state.

【図5】その樹脂成形が完了した状態を示す断面図であ
る。
FIG. 5 is a sectional view showing a state where the resin molding is completed.

【図6】本発明の第2実施例を示す部分平面図である。FIG. 6 is a partial plan view showing a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3実施例を示す部分平面図である。FIG. 7 is a partial plan view showing a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第4実施例を示す部分斜視図である。FIG. 8 is a partial perspective view showing a fourth embodiment of the present invention.

【図9】その完成前の部分平面図である。FIG. 9 is a partial plan view before the completion.

【図10】従来例を示す平面図であり、インナーリード
や導電部は簡略化して描いている。
FIG. 10 is a plan view showing a conventional example, in which inner leads and conductive portions are simplified and drawn.

【図11】その連結部の拡大平面図である。FIG. 11 is an enlarged plan view of the connecting portion.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 プリント配線板 11 プリント配線板の載置部 12 プリント配線板の導電部 20 リードフレーム 21 リードフレームのリード部 22 リード部のインナーリード 23 リード部のアウターリード 25 リードフレームのフレーム部 26 リードフレームの連結部 26a 連結部のリード部側突出片 26b 連結部のリードフレーム側突出片 26c 連結部の吸収片 26d 連結部の連結片 26e 連結部のスリット形成片 26f 連結部の応力吸収用のスリット 26g 連結部の折り曲げ部 27 フレーム部のスリット 28 フレーム部の位置決め孔 10 Printed wiring board 11 Placement part of printed wiring board 12 Conductive part of printed wiring board 20 Lead frame 21 Lead part of lead frame 22 Inner lead of lead part 23 Outer lead of lead part 25 Frame part of lead frame 26 Lead frame Connecting part 26a Connecting part lead side projecting piece 26b Connecting part lead frame side projecting piece 26c Connecting part absorbing piece 26d Connecting part connecting piece 26e Connecting part slit forming piece 26f Connecting part stress absorbing slit 26g Connecting part Bent part 27 Frame slit 28 Frame positioning hole

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体素子を所定位置に載置したとき
その各端子部に対応して外方に延びるように導電部が形
成されたプリント配線板と、複数のプリント配線板を並
設してそれらの各導電部の外方端部を接続固定するイン
ナーリード及び半導体パッケージの端子となるアウター
リードからなるリード部とリード部をその周囲に設けた
連結部を介して支持するとともにプリント配線板の並設
方向に延びるフレーム部を設けたリードフレームと、を
有した複合リードフレームにおいて、前記リードフレー
ムの連結部を、プリント配線板が膨張又は収縮したとき
リードフレームへの応力が吸収できるよう形成してなる
複合リードフレーム。
1. A printed wiring board on which a conductive portion is formed so as to extend outward corresponding to each terminal portion when a semiconductor element is placed at a predetermined position, and a plurality of printed wiring boards are arranged in parallel. A lead portion composed of an inner lead for connecting and fixing the outer ends of the respective conductive portions and an outer lead serving as a terminal of the semiconductor package, and the lead portion are supported through a connecting portion provided around the lead portion and the printed wiring board In a composite lead frame having a lead frame provided with a frame portion extending in the juxtaposed direction, a connecting portion of the lead frame is formed so that stress to the lead frame can be absorbed when the printed wiring board expands or contracts. A composite lead frame.
【請求項2】 前記リードフレームの連結部は、プリ
ント配線板の膨張又は収縮方向に位置する連結片と、そ
の横幅より長い応力吸収用のスリットをリード部とリー
ド部の外方のリードフレームの少なくとも一方に設けて
形成されるスリット形成片とにより形成してなる請求項
1記載の複合リードフレーム。
2. The lead frame connecting portion includes a connecting piece positioned in a direction of expansion or contraction of the printed wiring board, and a stress absorbing slit longer than a lateral width of the lead portion and the lead frame outside the lead portion. The composite lead frame according to claim 1, wherein the composite lead frame is formed by a slit forming piece provided on at least one side.
【請求項3】 前記リードフレームの連結部は、互い
にずらして形成したリード部側突出片とリード部の外方
のリードフレーム側突出片と、プリント配線板の膨張又
は収縮方向に対し略直交方向に延びるよう両突出片の先
端部を連設する吸収片とにより形成してなる請求項1記
載の複合リードフレーム。
3. The lead frame connecting portion is formed so as to be displaced from each other, the lead portion side protruding piece, the lead frame side protruding piece outside the lead portion, and a direction substantially orthogonal to the expansion or contraction direction of the printed wiring board. The composite lead frame according to claim 1, wherein the composite lead frame is formed by an absorbing piece in which the tip portions of both projecting pieces are continuously provided so as to extend in the direction.
【請求項4】 前記リード部側突出片とリードフレー
ム側突出片の少なくとも一方は、リード部側突出片とリ
ードフレーム側突出片の横幅より長い応力吸収用のスリ
ットをリード部とリード部の外方のリードフレームの少
なくとも一方に設けて形成されるスリット形成片に連設
されてなる請求項3記載の複合リードフレーム。
4. At least one of the lead-side projecting piece and the lead frame-side projecting piece has a stress absorbing slit longer than the lateral width of the lead-side projecting piece and the lead frame-side projecting piece outside the lead section and the lead section. 4. The composite lead frame according to claim 3, wherein the composite lead frame is connected to a slit forming piece formed on at least one of the two lead frames.
【請求項5】 前記吸収片の一部に、コ字状に折り曲
げた折り曲げ部を形成してなる請求項3記載の複合リー
ドフレーム。
5. The composite lead frame according to claim 3, wherein a bent portion bent in a U-shape is formed on a part of the absorbing piece.
【請求項6】 前記リードフレームのフレーム部を、
リード部に比してプリント配線板の並設方向が高剛性構
造にしてある請求項1乃至5記載の複合リードフレー
ム。
6. The frame portion of the lead frame,
The composite lead frame according to any one of claims 1 to 5, wherein a structure in which the printed wiring boards are arranged side by side has a high rigidity structure as compared with the lead portions.
JP7125325A 1994-06-24 1995-05-24 Composite lead frame Withdrawn JPH0870080A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002261205A (en) * 2001-03-05 2002-09-13 Ibiden Co Ltd Heat sink assembly
JP2009200319A (en) * 2008-02-22 2009-09-03 Powertech Technology Inc Lead frame and semiconductor device using same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002261205A (en) * 2001-03-05 2002-09-13 Ibiden Co Ltd Heat sink assembly
JP4641635B2 (en) * 2001-03-05 2011-03-02 イビデン株式会社 Heat sink assembly
JP2009200319A (en) * 2008-02-22 2009-09-03 Powertech Technology Inc Lead frame and semiconductor device using same

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