JPH0869022A - 導波路型音響光学素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表面弾性波を用いて音響光学効果により光の
回折を行う導波路型音響光学素子において、外部に遮光
板を設けることなく非回折光を吸収させることができる
ようにする。 【構成】 レンズ６を介して入射された放射モードのレ
ーザ光８は、ルチルプリズム４によってスラブ導波路２
に導入される。このスラブ導波路２に導入されたレーザ
光８の大部分は、トランスデューサ３の発生する表面弾
性波Ｗ１によって回折し、回折光８ａとしてルチルプリ
ズム５に送られる。そして、回折光８ａは、ルチルプリ
ズム５を介してスラブ導波路２から導出され、レンズ７
を介して放射モードで後方に出射される。一方、表面弾
性波Ｗ１によって回折しなかった非回折光８ｂは、吸収
層２ａに入射する。入射した非回折光８ｂは、吸収層２
ａにおいてほぼ完全に吸収され、スラブ導波路２から出
射されることはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は音響光学効果により光の
回折を行う導波路型音響光学素子に関し、特に光計測や
光情報処理等に光スイッチ、光変調器、光周波数シフタ
等として用いられる導波路型音響光学素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光スイッチ、光変調器、光周波数
シフタ等として用いられる導波路型音響光学素子では、
入射した光を音響光学効果により回折させてその出力特
性を切り換えるようにしている。

【０００３】図６は従来の導波路型音響光学素子の構成
を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は図（Ａ）の
側面図である。導波路型音響光学素子６１は、主に、基
板６１ａと、この基板６１ａ上に形成されたスラブ導波
路６２と、トランスデューサ６３と、ルチルプリズム６
４および６５と、レンズ６６および６７とから構成され
ている。レンズ６６によって集光されたレーザ光６９
は、ルチルプリズム６４によって屈折されてスラブ導波
路６２に導入される。スラブ導波路６２に導入されたレ
ーザ光６９は、トランスデューサ６３により励振された
表面弾性波Ｗ７により、概ね回折される。この回折され
た回折光６９ａは、ルチルプリズム６５を介してスラブ
導波路６２から導出され、レンズ６７を介して出射され
る。

【０００４】一方、トランスデューサ６３により回折し
きれなかった非回折光６９ｂは、ルチルプリズム６５を
介してスラブ導波路６２から導出され、導波路型音響光
学素子６１の外部に設けられた遮光板６８によって吸収
される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の導波路型音響光学素子６１では、外部に遮光板６８
を設けなくてはならないので、設置に手間がかかった
り、コスト高となっていた。

【０００６】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、外部に遮光板を設けることなく非回折光を吸
収させることのできる導波路型音響光学素子を提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、表面弾性波を用いて音響光学効果により
光の回折を行う導波路型音響光学素子において、非回折
光が伝搬する導波路に前記非回折光を吸収する吸収層が
形成されることを特徴とする導波路型音響光学素子が提
供される。

【０００８】

【作用】非回折光が伝搬する導波路にその非回折光を吸
収する吸収層を形成することにより、導波路型音響光学
素子の外部に遮光板を設けなくても、非回折光は吸収さ
れ、後方への放射が阻止される。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の導波路型音響光学素子の第１の
実施例を示す平面図である。また、図２は図１の側面図
である。導波路型音響光学素子１は、主に、基板１ａ
（図２）と、この基板１ａ上に形成されたスラブ導波路
２と、トランスデューサ３と、ルチルプリズム４および
５と、レンズ６および７とから構成されている。基板１
ａは、タンタル酸リチウム単結晶により形成されてい
る。この基板１ａ上には、安息香酸を用いたプロトン交
換法によりスラブ導波路２が形成されている。

【００１０】スラブ導波路２には、トランスデューサ３
が設けられている。トランスデューサ３は、厚さ０．３
μｍのアルミニウム膜で形成された交差指型のトランス
デューサであり、電極幅２．７５μｍ、ピッチ５．５μ
ｍとなるように形成されている。これにより、トランス
デューサ３の発生する表面弾性波Ｗ１の中心周波数は３
００ＭＨｚとなり、波長６３３ｎｍの光を回折させた場
合には、ブラッグ角が約１．５度となる。

【００１１】スラブ導波路２上には、レーザ光８の入射
側にルチルプリズム４が、出射側にルチルプリズム５が
それぞれ設けられている。また、ルチルプリズム４の前
方にはレンズ６が、ルチルプリズム５の後方にはレンズ
７がそれぞれスラブ導波路２とは離れた位置に固定され
ている。これらルチルプリズム４および５、レンズ６お
よび７は、トランスデューサ３によるブラッグ角を考慮
してそれぞれの向きが調整されており、レンズ６を介し
て入射したレーザ光８の回折光８ａが最終的にレンズ７
を介して出射されるようになっている。

【００１２】スラブ導波路２の非回折光８ｂの経路上に
は、吸収層２ａが形成されている。この吸収層２ａは、
光の進行方向に対する幅と長さがそれぞれ０．５ｍｍ×
５ｍｍの平面領域に、アルミニウム膜を厚さ０．３μｍ
蒸着することにより形成されている。これにより、この
吸収層２ａに入射された非回折光８ｂは、約１００ｄＢ
減衰される構成となっている。

【００１３】このような構成の導波路型音響光学素子１
では、レンズ６を介して入射された放射モードのレーザ
光８は、ルチルプリズム４によってスラブ導波路２に導
入される。このスラブ導波路２に導入されたレーザ光８
の大部分は、トランスデューサ３の発生する表面弾性波
Ｗ１によって回折し、回折光８ａとしてルチルプリズム
５に送られる。そして、回折光８ａは、ルチルプリズム
５を介してスラブ導波路２から導出され、レンズ７を介
して放射モードで後方に出射される。

【００１４】一方、表面弾性波Ｗ１によって回折しなか
った非回折光８ｂは、吸収層２ａに入射する。入射した
非回折光８ｂは、上述したように、吸収層２ａにおいて
約１００ｄＢ減衰されるため、ほぼ完全に吸収され、ス
ラブ導波路２から出射されることはない。

【００１５】このように、本実施例では、スラブ導波路
２内に吸収層２ａを形成するようにしたので、外部に遮
光板を設けることなく、非回折光８ｂを確実に吸収する
ことができ、非回折光８ｂの外部への出射を阻止でき
る。したがって、導波路型音響光学素子１の設置の手間
や、コストを低減することができる。

【００１６】次に、本発明の第２の実施例を説明する。
図３は本発明の導波路型音響光学素子の第２の実施例を
示す平面図である。導波路型音響光学素子１１は、主
に、図示されていない基板上に形成されたスラブ導波路
１２と、トランスデューサ１３と、導波路レンズ１４お
よび１５と、レンズ１６および１７とから構成されてい
る。スラブ導波路１２は、安息香酸を用いたプロトン交
換法により基板上に形成されている。

【００１７】スラブ導波路１２には、トランスデューサ
１３が設けられている。トランスデューサ１３は、図１
で示したトランスデューサ３と同様に、厚さ０．３μｍ
のアルミニウム膜で形成された交差指型のトランスデュ
ーサであり、電極幅２．７５μｍ、ピッチ５．５μｍと
なるように形成されている。これにより、トランスデュ
ーサ１３の発生する表面弾性波Ｗ２の中心周波数は３０
０ＭＨｚとなり、波長６３３ｎｍの光を回折させた場合
には、ブラッグ角が約１．５度となる。

【００１８】スラブ導波路１２内には、レーザ光１８の
入射側に導波路レンズ１４が、出射側に導波路レンズ１
５がそれぞれ同一面上に形成されている。また、導波路
レンズ１４の前方にはレンズ１６が、導波路レンズ１５
の後方にはレンズ１７が、それぞれスラブ導波路１２と
は離れた位置に固定されている。導波路レンズ１５は、
導波路レンズ１４を通過したレーザ光１８の回折光１８
ａおよび非回折光１８ｂを、両方とも集光できる位置、
向き、および大きさに形成されている。

【００１９】レンズ１６は、放射モードで伝達されるレ
ーザ光１８をスラブ導波路１２の端面に導くような位置
および向きに設けられている。一方、レンズ１７は、ス
ラブ導波路１２の端面から放出された回折光１８ａを放
射モードで出射できる位置および向きに設けられてい
る。

【００２０】スラブ導波路１２の非回折光１８ｂの経路
上で、かつ導波路レンズ１５の後方には、吸収層１２ａ
が形成されている。この吸収層１２ａは、図１の吸収層
２ａと同様に、光の進行方向に対する幅と長さがそれぞ
れ０．５ｍｍ×５ｍｍの平面領域に、アルミニウム膜を
厚さ０．３μｍ蒸着することにより形成されている。こ
れにより、この吸収層１２ａに入射された非回折光１８
ｂは、約１００ｄＢ減衰される構成となっている。

【００２１】このような構成の導波路型音響光学素子１
１では、空間を進むレーザ光１８がレンズ１６を介して
スラブ導波路１２の端面からスラブ導波路１２内に導入
される。導入されたレーザ光１８は、導波路レンズ１４
で集光されて後方に送られる。この導波路レンズ１４を
通過したレーザ光の大部分は、トランスデューサ１３の
発生する表面弾性波Ｗ２によって回折し、回折光１８ａ
として導波路レンズ１５に送られる。そして、導波路レ
ンズ１５で集光された回折光１８ａは、スラブ導波路１
２の端面から導出され、レンズ１７を介して後方に出射
される。

【００２２】一方、表面弾性波Ｗ２によって回折しなか
った非回折光１８ｂは、導波路レンズ１５に集光され、
吸収層１２ａに入射する。吸収層１２ａに入射した非回
折光１８ｂは、上述したように、吸収層１２ａにおいて
約１００ｄＢ減衰されるため、ほぼ完全に吸収され、ス
ラブ導波路１２から出射されることはない。

【００２３】したがって、外部に遮光板を設けることな
く、非回折光１８ｂを確実に吸収することができ、非回
折光１８ｂが外部へ出射されるのを阻止できる。なお、
レーザ光を空間からスラブ導波路へ導入、またはスラブ
導波路から空間に導出する手段として、第１の実施例で
はルチルプリズム４および５を、第２の実施例では導波
路レンズ１４および１５を使用したが、これらとは別
に、グレーティング等を用いるようにしてもよい。

【００２４】次に、本発明の第３の実施例を説明する。
図４は本発明の導波路型音響光学素子の第３の実施例を
示す平面図である。導波路型音響光学素子２１は、１本
のレーザ光を２本に分離するタイプの導波路型音響光学
素子であり、主に、図示されていない基板上に形成され
たスラブ導波路２２と、チャネル導波路２３および２４
と、トランスデューサ２５および２６と、導波路レンズ
２７および２８と、レンズ２９および３０とから構成さ
れている。スラブ導波路２２は、安息香酸を用いたプロ
トン交換法により基板上に形成されている。

【００２５】スラブ導波路２２のレーザ光入射側および
出射側には、それぞれチャネル導波路２３および２４が
形成されている。チャネル導波路２３には１本のコア２
３ａが、チャネル導波路２４には３本のコア２４ａ，２
４ｂ，２４ｃがそれぞれ形成されている。各コア２３
ａ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃは、約３．８μｍの一定幅
で形成されている。

【００２６】また、チャネル導波路２４の中心に形成さ
れたコア２４ｃには、吸収層３１が形成されている。吸
収層３１は、アルミニウム膜を所定厚（例えば０．３μ
ｍ）分だけ蒸着することにより形成されている。この吸
収層３１は、光の進行方向に対する幅と長さがそれぞれ
１０μｍ×５ｍｍの平面領域に形成されている。これに
より、吸収層３１に入射したレーザ光は、約１００ｄＢ
減衰するようになっている。

【００２７】スラブ導波路２２には、２個のトランスデ
ューサ２５および２６が設けられている。トランスデュ
ーサ２５および２６は、厚さ０．３μｍのアルミニウム
膜で形成された交差指型のトランスデューサであり、電
極幅２．７５μｍ、ピッチ５．５μｍとなるように形成
されている。ただし、両者は微妙に設計を変えてあり、
それぞれ中心周波数が３００．０ＭＨｚおよび３００．
１ＭＨｚの表面弾性波Ｗ３およびＷ４を出力するように
なっている。これらトランスデューサ２５および２６間
を通過するレーザ光３２は、トランスデューサ２５によ
って回折光３２ｂ、トランスデューサ２６によって回折
光３２ａというように、２つの回折光に分離する。ま
た、回折しきれなかった非回折光３２ｃは、回折光３２
ａおよび３２ｂのほぼ中間を進むように設計されてい
る。

【００２８】スラブ導波路２２内には、レーザ光３２の
入射側に導波路レンズ２７が、出射側に導波路レンズ２
８が、それぞれ同一面上に形成されている。また、導波
路レンズ２７の前方にはレンズ２９が、導波路レンズ２
８の後方にはレンズ３０が、それぞれスラブ導波路２２
とは離れた位置に固定されている。導波路レンズ２８
は、導波路レンズ２７を通過したレーザ光３２の回折光
３２ａ，３２ｂ、および非回折光３２ｃを全て集光でき
る位置、向き、大きさに形成されている。

【００２９】チャネル導波路２４のコア２４ａ，２４ｂ
は、それぞれ導波路レンズ２８を通過した回折光３２
ａ，３２ｂが入射する位置に、かつ回折光３２ａ，３２
ｂの目標導出方向に向くように形成されている。また、
中心のコア２４ｃは、導波路レンズ２８を通過した非回
折光３２ｃが入射する位置に形成されている。

【００３０】レンズ２９は、放射モードで伝達されるレ
ーザ光３２をチャネル導波路２３のコア２３ａの端面に
導くような位置および向きに設けられている。一方、レ
ンズ３０は、チャネル導波路２４の各コア２４ａ，２４
ｂの端面から放出された回折光３２ａ，３２ｂを放射モ
ードで後方に出射できる位置および向きに設けられてい
る。

【００３１】このような構成の導波路型音響光学素子２
１では、空間を進むレーザ光３２がレンズ２９を介して
チャネル導波路２３のコア２３ａの端面からスラブ導波
路２２内に導入される。導入されたレーザ光３２は、導
波路レンズ２７で集光されて後方に送られる。この導波
路レンズ２７を通過したレーザ光３２の大部分は、トラ
ンスデューサ２５および２６の発生する表面弾性波Ｗ３
およびＷ４によって回折して分離し、回折光３２ａまた
は３２ｂとして導波路レンズ２８に送られる。そして、
導波路レンズ２８で集光された回折光３２ａおよび３２
ｂは、チャネル導波路２４の各コア２４ａ，２４ｂを通
過し、さらにそれらの端面から導出され、レンズ３０を
介して後方に出射される。

【００３２】一方、表面弾性波Ｗ３およびＷ４によって
回折しなかった非回折光３２ｃは、導波路レンズ２８に
集光され、チャネル導波路２４のコア２４ｃに導入され
る。そして、コア２４ｃに形成された吸収層３１に入射
する。入射した非回折光３２ｃは、吸収層３１において
約１００ｄＢ減衰されるため、ほぼ完全に吸収され、チ
ャネル導波路２４から出射されることはない。

【００３３】したがって、外部に遮光板を設けることな
く、非回折光３２ｃを確実に吸収することができ、非回
折光３２ｃの外部への出射を阻止できる。次に本発明の
第４の実施例を説明する。

【００３４】図５は本発明の導波路型音響光学素子の第
４の実施例を示す平面図である。導波路型音響光学素子
４１は、図４と同様、１本のレーザ光を２本に分離する
タイプの導波路型音響光学素子であり、主に、図示され
ていない基板上に形成されたスラブ導波路４２と、チャ
ネル導波路４３および４４と、トランスデューサ４５お
よび４６と、レンズ４７および４８とから構成されてい
る。スラブ導波路４２は、安息香酸を用いたプロトン交
換法により基板上に形成されている。

【００３５】スラブ導波路４２のレーザ光入射側および
出射側には、それぞれチャネル導波路４３および４４が
形成されている。チャネル導波路４３には１本のコア４
３１が、チャネル導波路４４には３本のコア４４１，４
４２，４４３がそれぞれ形成されている。チャネル導波
路４３のコア４３１は、レーザ光入射側の平行路部４３
１ａと、出射側のテーパ路部４３１ｂとを有する。平行
路部４３１ａは、約３．８μｍの一定幅に形成され、テ
ーパ路部４３１ｂは、スラブ導波路４２側に向かって幅
が広がるように形成されている。

【００３６】一方、チャネル導波路４４の各コア４４
１，４４２，４４３は、それぞれテーパ路部４４１ａ，
４４２ａ，４４３ａと、平行路部４４１ｂ，４４２ｂ，
４４３ｂとを有している。テーパ路部４４１ａ，４４２
ａ，４４３ａは、スラブ導波路４２側から後方に向かっ
て幅が狭くなるように形成されている。また、平行路部
４４１ｂ，４４２ｂ，４４３ｂは、約３．８μｍの一定
幅に形成されている。

【００３７】また、チャネル導波路４４の中心に形成さ
れたコア４４３の平行路部４４３ｂには、吸収層４９が
形成されている。吸収層４９は、アルミニウム膜を所定
厚（例えば０．３μｍ）分だけ蒸着することにより形成
されている。この吸収層４９は、光の進行方向に対する
幅と長さがそれぞれ１０μｍ×５ｍｍの平面領域に形成
されている。これにより、吸収層４９に入射したレーザ
光は、約１００ｄＢ減衰するようになっている。

【００３８】スラブ導波路４２には、２個のトランスデ
ューサ４５および４６が設けられている。トランスデュ
ーサ４５および４６は、厚さ０．３μｍのアルミニウム
膜で形成された交差指型のトランスデューサであり、電
極幅２．７５μｍ、ピッチ５．５μｍとなるように形成
されている。ただし、両者は微妙に設計を変えてあり、
それぞれ中心周波数が３００．０ＭＨｚおよび３００．
１ＭＨｚの表面弾性波Ｗ５およびＷ６を出力するように
なっている。これらトランスデューサ４５および４６間
を通過するレーザ光５０は、トランスデューサ４５によ
って回折光５０ｂに、トランスデューサ４６によって回
折光５０ａに分離する。また、回折しきれなかった非回
折光５０ｃは、回折光５０ａおよび５０ｂのほぼ中間を
進むように設計されている。

【００３９】トランスデューサ４５，４６やチャネル導
波路４４のコア４４１，４４２，４４３は、回折光５０
ａ，５０ｂ、および非回折光５０ｃがそれぞれコア４４
１，４４２，４４３に入射するような位置や向きに設計
されている。また、コア４４１，４４２の平行路部４４
１ｂ，４４２ｂは、回折光５０ａ，５０ｂの目標導出方
向に向くように形成されている。

【００４０】レンズ４７は、放射モードで伝達されるレ
ーザ光５０をチャネル導波路４３のコア４３１の端面に
導くような位置および向きに設けられている。一方、レ
ンズ４８は、チャネル導波路４４の各コア４４１，４４
２の端面から放出された回折光５０ａ，５０ｂを放射モ
ードで後方に出射できる位置および向きに設けられてい
る。

【００４１】このような構成の導波路型音響光学素子４
１では、空間を進むレーザ光５０がレンズ４７を介して
チャネル導波路４３のコア４３１の端面に入射する。入
射したレーザ光５０は、コア４３１の平行路部４３１ａ
を通過し、さらにテーパ路部４３１ｂを通過する間に幅
が広げられてスラブ導波路４２内に導入される。スラブ
導波路４２内に導入されたレーザ光５０の大部分は、ト
ランスデューサ４５および４６の発生する表面弾性波Ｗ
５およびＷ６によって回折して分離し、回折光５０ｂま
たは５０ａとしてそれぞれチャネル導波路４４のコア４
４２，４４１に入射される。

【００４２】そして、回折光５０ａは、コア４４１のテ
ーパ路部４４１ａによって幅が狭められ、平行路部４４
１ｂの端面から放出され、さらにレンズ４８により集光
されて放射モードで後方に出射される。一方、回折光５
０ｂは、コア４４２のテーパ路部４４２ａによって幅が
狭められ、平行路部４４２ｂの端面から放出され、さら
にレンズ４８により集光されて放射モードで後方に出射
される。

【００４３】一方、表面弾性波Ｗ５およびＷ６によって
回折しなかった非回折光５０ｃは、チャネル導波路４４
のコア４４３に導入される。そして、回折光５０ｃは、
コア４４３のテーパ路部４４３ａによって幅が狭めら
れ、平行路部４４３ｂに形成された吸収層４９に入射す
る。入射した非回折光５０ｃは、吸収層４９において約
１００ｄＢ減衰されるため、ほぼ完全に吸収され、チャ
ネル導波路４４から出射されることはない。

【００４４】したがって、外部に遮光板を設けることな
く、非回折光５０ｃを確実に吸収することができ、非回
折光５０ｃの外部への出射を阻止できる。なお、上記第
１〜第４の実施例では、吸収層２ａ，１２ａ，３１，４
９の構成として、アルミニウム膜を蒸着形成するように
したが、他の金属、例えばクローム（Ｃｒ）、銅（Ｃ
ｕ）等でもよい。あるいは、シリコン等の誘電体や有機
薄膜等のように、光を吸収する物質であれば他のもので
もよい。

【００４５】また、第１〜第４の実施例では、吸収層２
ａ，１２ａ，３１，４９の構成として、蒸着によってア
ルミニウムの薄膜を形成するようにしたが、導波路の形
成過程で吸収材入りのペーストを塗布するようにしても
よい。

【００４６】さらに、第１〜第４の実施例では、導波路
が形成される基板１ａ等の材料として、タンタル酸リチ
ウムを使用する例を示したが、他の圧電性材料、例えば
ニオブ酸リチウムを使用してもよい。また、石英基板上
に酸化亜鉛（Ｚｎ）等の圧電性を有する物質を薄膜状に
形成するようにしてもよい。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、非回折
光が伝搬する導波路にその非回折光を吸収する吸収層を
形成するようにしたので、導波路型音響光学素子の外部
に遮光板を設けずに非回折光を吸収することができ、後
方への放射を阻止することができる。したがって、導波
路型音響光学素子の設置の手間や、コストを低減するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の導波路型音響光学素子の第１の実施例
を示す平面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】本発明の導波路型音響光学素子の第２の実施例
を示す平面図である。

【図４】本発明の導波路型音響光学素子の第３の実施例
を示す平面図である。

【図５】本発明の導波路型音響光学素子の第４の実施例
を示す平面図である。

【図６】従来の導波路型音響光学素子の構成を示す図で
あり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は図（Ａ）の側面図であ
る。

【符号の説明】

１ 導波路型音響光学素子 １ａ 基板 ２ スラブ導波路 ３ トランスデューサ ４，５ ルチルプリズム ６，７ レンズ ８ レーザ光

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面弾性波を用いて音響光学効果により
   光の回折を行う導波路型音響光学素子において、 非回折光が伝搬する導波路に前記非回折光を吸収する吸
   収層が形成されることを特徴とする導波路型音響光学素
   子。
2. 【請求項２】 前記吸収層は、前記導波路の所定領域に
   アルミニウムを蒸着することにより形成されることを特
   徴とする請求項１記載の導波路型音響光学素子。
3. 【請求項３】 放射モードの光を前記導波路に導入する
   導入側ルチルプリズムと、前記表面弾性波によって回折
   した回折光を放射モードにして前記導波路から空間へ導
   出する導出側ルチルプリズムと、を有することを特徴と
   する請求項１記載の導波路型音響光学素子。
4. 【請求項４】 前記導波路の入射側端面から入射した放
   射モードの光を前記導波路内で集光する入射側導波路レ
   ンズと、前記表面弾性波によって回折した回折光を後方
   に向かって集光する出射側導波路レンズと、を有するこ
   とを特徴とする請求項１記載の導波路型音響光学素子。
5. 【請求項５】 互いに周波数の微妙に異なる表面弾性波
   を出力する２個のトランスデューサが、それぞれの表面
   弾性波によって回折する回折光が互いにほぼ対称の向き
   に進行するような位置に設けられることを特徴とする請
   求項１記載の導波路型音響光学素子。
6. 【請求項６】 前記２個のトランスデューサによる各回
   折光を集光する導波路レンズと、前記導波路レンズで集
   光された回折光を受けて所定の方向に出射するチャネル
   導波路と、を有することを特徴とする請求項５記載の導
   波路型音響光学素子。
7. 【請求項７】 前記２個のトランスデューサによる各回
   折光を受けて幅を狭め所定の方向に出射するチャネル導
   波路と、を有することを特徴とする請求項５記載の導波
   路型音響光学素子。