JPH0865796A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
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- JPH0865796A JPH0865796A JP20058194A JP20058194A JPH0865796A JP H0865796 A JPH0865796 A JP H0865796A JP 20058194 A JP20058194 A JP 20058194A JP 20058194 A JP20058194 A JP 20058194A JP H0865796 A JPH0865796 A JP H0865796A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】背面から超音波振動子へ向かう反射波の影響を
低減でき、小型で耐久性及び画質等に優れた超音波探触
子の提供。 【構成】背面部材１１ａ，１１ｂを、該超音波振動子１
２の背面側に設け、超音波振動子１２面にほぼ平行な面
上に、超音波放出方向とほぼ平行な方向に広がりを有
し、音速及び密度のうち少なくともいずれか１つが異な
る少なくとも２種類以上の材質で形成したもの。このた
め、超音波（反射波）は位相差反射部またはを有する背
面部材１１により効率よく互いに弱められて減衰する。
低減でき、小型で耐久性及び画質等に優れた超音波探触
子の提供。 【構成】背面部材１１ａ，１１ｂを、該超音波振動子１
２の背面側に設け、超音波振動子１２面にほぼ平行な面
上に、超音波放出方向とほぼ平行な方向に広がりを有
し、音速及び密度のうち少なくともいずれか１つが異な
る少なくとも２種類以上の材質で形成したもの。このた
め、超音波（反射波）は位相差反射部またはを有する背
面部材１１により効率よく互いに弱められて減衰する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波を利用した生
体、物体等の診断、計測等の分野において用いられる超
音波探触子に関する。
体、物体等の診断、計測等の分野において用いられる超
音波探触子に関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波診断装置等で使用される超音波探
触子１のトランスデューサー部は図１２に示す。９２
は、両面に電極を形成したＰＺＴやＰｂＴｉＯ3等の圧
電振動子であり、９４，９５は、信号及びグランドのリ
ード線である。
触子１のトランスデューサー部は図１２に示す。９２
は、両面に電極を形成したＰＺＴやＰｂＴｉＯ3等の圧
電振動子であり、９４，９５は、信号及びグランドのリ
ード線である。
【０００３】振動子９２の背面には、背面側に放出され
る不要な超音波（以下、背面波という）を吸収する等の
目的のために超音波減衰率の高い樹脂等で形成された背
面負荷材９１が設けられている。また、振動子９２の表
面には、被検体との間の音響的整合を取るために整合層
９３が設けられている。
る不要な超音波（以下、背面波という）を吸収する等の
目的のために超音波減衰率の高い樹脂等で形成された背
面負荷材９１が設けられている。また、振動子９２の表
面には、被検体との間の音響的整合を取るために整合層
９３が設けられている。
【０００４】しかしながら、上述のような構造を有する
超音波探触子にあっては、背面負荷材として、吸音材を
使用して吸収または散乱により、背面に放出される超音
波を減衰させていた。そのため、その効果を十分に得る
には背面負荷材を十分に厚くする必要があった。
超音波探触子にあっては、背面負荷材として、吸音材を
使用して吸収または散乱により、背面に放出される超音
波を減衰させていた。そのため、その効果を十分に得る
には背面負荷材を十分に厚くする必要があった。
【０００５】このため、超音波探触子の小型化を困難に
し、特に外径が１〜数ｍｍ程度のカテーテルに内蔵され
た体腔内探触子等のように微小な探触子においては、背
面負荷材の厚みを十分厚くすることができないため、背
面波の吸収及び／または散乱が不完全となり、ハウジン
グ等の、背面側の構造体からの反射が画質劣化等の原因
となっていた。
し、特に外径が１〜数ｍｍ程度のカテーテルに内蔵され
た体腔内探触子等のように微小な探触子においては、背
面負荷材の厚みを十分厚くすることができないため、背
面波の吸収及び／または散乱が不完全となり、ハウジン
グ等の、背面側の構造体からの反射が画質劣化等の原因
となっていた。
【０００６】また、超音波探触子の小型化に伴い、電極
リードの引回し方法等の実装上の困難も大きくなり、高
周波化によって振動子の厚みが薄くなるための強度不足
等も実装時あるいは耐久性の上で問題となっていた。
リードの引回し方法等の実装上の困難も大きくなり、高
周波化によって振動子の厚みが薄くなるための強度不足
等も実装時あるいは耐久性の上で問題となっていた。
【０００７】本発明は、上述の超音波探触子の構造及び
背面負荷材の問題点を解決し、小型で耐久性及び画質等
に優れ、かつ実装も容易な超音波探触子を提供すること
を目的とする。
背面負荷材の問題点を解決し、小型で耐久性及び画質等
に優れ、かつ実装も容易な超音波探触子を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、超音波振動子と、超音波振動子の背面側に
位相差反射部を備えた超音波探触子であって、位相差反
射部は、超音波振動子の背面側に、超音波振動子面にほ
ぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ平行な方向に広
がりを有し、音速及び密度のうち少なくともいずれかが
異なる少なくとも２種類以上の音響媒体で形成されてな
る背面部材を備えてなるものである。
の本発明は、超音波振動子と、超音波振動子の背面側に
位相差反射部を備えた超音波探触子であって、位相差反
射部は、超音波振動子の背面側に、超音波振動子面にほ
ぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ平行な方向に広
がりを有し、音速及び密度のうち少なくともいずれかが
異なる少なくとも２種類以上の音響媒体で形成されてな
る背面部材を備えてなるものである。
【０００９】本発明の好ましい態様において、背面部材
を形成する音響媒体は、各々実質的に単一の材質また
は、ほぼ均一な混合物からなる音響媒体である。
を形成する音響媒体は、各々実質的に単一の材質また
は、ほぼ均一な混合物からなる音響媒体である。
【００１０】本発明の好ましい態様において、各音響媒
体の背面が、各々該振動子面にほぼ対向する実質的な平
面または曲面を有する形状である。
体の背面が、各々該振動子面にほぼ対向する実質的な平
面または曲面を有する形状である。
【００１１】本発明の好ましい態様において、背面部材
を構成する音響媒体のうち少なくとも１種類はは、導電
体である。
を構成する音響媒体のうち少なくとも１種類はは、導電
体である。
【００１２】本発明の好ましい態様において、背面部材
を構成する音響媒体のうち、少なくとも１種類は、ヤン
グ率及び曲げ強度のうちの少なくともいずれかが超音波
振動子とほぼ等しいか大きいものである。
を構成する音響媒体のうち、少なくとも１種類は、ヤン
グ率及び曲げ強度のうちの少なくともいずれかが超音波
振動子とほぼ等しいか大きいものである。
【００１３】本発明の好ましい態様において、背面部材
を構成する音響媒体のうち、少なくとも２種類は、合成
樹脂、ゴムなどのエラストマーから選ばれた高分子材料
からなり、超音波の減衰率が０．３ｄＢ／ｍｍＭＨｚよ
り大きいものである。
を構成する音響媒体のうち、少なくとも２種類は、合成
樹脂、ゴムなどのエラストマーから選ばれた高分子材料
からなり、超音波の減衰率が０．３ｄＢ／ｍｍＭＨｚよ
り大きいものである。
【００１４】本発明の好ましい態様において、背面部材
は、音速及び密度のうち少なくともいずれか１つが異な
る実質的に単一の材質またはほぼ均一な混合物からなる
２種類の音響媒体を、少なくとも１層以上、超音波放出
方向にほぼ垂直に積層したものである。
は、音速及び密度のうち少なくともいずれか１つが異な
る実質的に単一の材質またはほぼ均一な混合物からなる
２種類の音響媒体を、少なくとも１層以上、超音波放出
方向にほぼ垂直に積層したものである。
【００１５】本発明の好ましい態様において、背面部材
は、少なくとも１つの、超音波放出方向にほぼ垂直なほ
ぼ円柱状あるいは多角柱状の、実質的に単一またはほぼ
均一な混合物からなる音響媒体の周囲の少なくとも一部
を、音速及び密度のうち少なくともいずれかが異なる他
の該音響媒体で被覆したものである。
は、少なくとも１つの、超音波放出方向にほぼ垂直なほ
ぼ円柱状あるいは多角柱状の、実質的に単一またはほぼ
均一な混合物からなる音響媒体の周囲の少なくとも一部
を、音速及び密度のうち少なくともいずれかが異なる他
の該音響媒体で被覆したものである。
【００１６】本発明の好ましい態様において、各音響媒
体の背面側の面は、振動子面にほぼ平行なほぼ平面上に
形成されてなるものである。
体の背面側の面は、振動子面にほぼ平行なほぼ平面上に
形成されてなるものである。
【００１７】本発明の好ましい態様において、背面部材
は、互いに音速がほぼ等しい、複数の音響媒体を超音波
振動子面にほぼ平行に所定間隔離間して設けたものであ
る。
は、互いに音速がほぼ等しい、複数の音響媒体を超音波
振動子面にほぼ平行に所定間隔離間して設けたものであ
る。
【００１８】本発明の好ましい態様において、背面部材
の背面に、さらに、第２背面部材を設けたものである。
の背面に、さらに、第２背面部材を設けたものである。
【００１９】本発明の好ましい態様において、第２背面
部材は、超音波の減衰率が、０．３ｄＢ／ｍｍＭＨｚよ
り大きい、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーから選ば
れた高分子材料からなるものである。
部材は、超音波の減衰率が、０．３ｄＢ／ｍｍＭＨｚよ
り大きい、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーから選ば
れた高分子材料からなるものである。
【００２０】本発明の好ましい態様において、第２背面
部材は、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーから選ばれ
た高分子材料中に音響インピーダンスの異なる散乱体を
ほぼ均一に混合したものである。
部材は、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーから選ばれ
た高分子材料中に音響インピーダンスの異なる散乱体を
ほぼ均一に混合したものである。
【００２１】本発明の好ましい態様において、背面部材
と超音波振動子との間に、音響整合層を設けたものであ
る。
と超音波振動子との間に、音響整合層を設けたものであ
る。
【００２２】本発明の好ましい態様において、背面部材
を構成する該音響媒体のうち少なくとも１種類は、電鋳
により金属を超音波振動子背面に一体的に形成したもの
である。
を構成する該音響媒体のうち少なくとも１種類は、電鋳
により金属を超音波振動子背面に一体的に形成したもの
である。
【００２３】本発明の好ましい態様において、背面部材
を構成する音響媒体のうち少なくとも１種類は、合成樹
脂、ゴムなどのエラストマーから選ばれた高分子材料を
超音波振動子背面に注型等の方法で一体的に形成したも
のである。
を構成する音響媒体のうち少なくとも１種類は、合成樹
脂、ゴムなどのエラストマーから選ばれた高分子材料を
超音波振動子背面に注型等の方法で一体的に形成したも
のである。
【００２４】
【作用】本発明の超音波探触子では、従来の背面部材
（超音波吸収部材）のように、吸収あるいは散乱により
背面に放出される超音波の減衰を行なうのではなく、背
面部材背面に形成された位相差反射部（位相差反射面）
にて、超音波の位相をずらせて積極的に反射させ、反射
波同士の位相差を利用して、その影響を軽減するもので
ある。
（超音波吸収部材）のように、吸収あるいは散乱により
背面に放出される超音波の減衰を行なうのではなく、背
面部材背面に形成された位相差反射部（位相差反射面）
にて、超音波の位相をずらせて積極的に反射させ、反射
波同士の位相差を利用して、その影響を軽減するもので
ある。
【００２５】すなわち、背面部材を、超音波振動子面に
ほぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ平行な方向に
広がりを有する、少なくとも２種類以上の、互いにその
音速及び密度のうち少なくともいずれかが異なる、各々
実質的に単一の材質またはほぼ均一な混合物からなる音
響媒体を有し、かつ、各音響媒体の背面がそれぞれ超音
波振動子面にほぼ対向する実質的な平面または曲面を有
することで、位相差反射部（位相差反射面）を形成し、
背面へ放出される超音波が、各音響媒体に進入する際、
あるいは各音響媒体内部に存在している間に、あるいは
背面部材背面とその背後の物質との境界での反射の際、
あるいは、各音響媒体から超音波振動子面へ再度到達す
る際のうち、少なくとも一つで、背面部材背面とその背
後の物質との境界面から超音波振動子に向かう反射波が
互いに干渉し弱め合うような位相の差を生じさせること
で、背面から超音波振動子へ向かう反射波の影響を効率
よく軽減するものである。
ほぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ平行な方向に
広がりを有する、少なくとも２種類以上の、互いにその
音速及び密度のうち少なくともいずれかが異なる、各々
実質的に単一の材質またはほぼ均一な混合物からなる音
響媒体を有し、かつ、各音響媒体の背面がそれぞれ超音
波振動子面にほぼ対向する実質的な平面または曲面を有
することで、位相差反射部（位相差反射面）を形成し、
背面へ放出される超音波が、各音響媒体に進入する際、
あるいは各音響媒体内部に存在している間に、あるいは
背面部材背面とその背後の物質との境界での反射の際、
あるいは、各音響媒体から超音波振動子面へ再度到達す
る際のうち、少なくとも一つで、背面部材背面とその背
後の物質との境界面から超音波振動子に向かう反射波が
互いに干渉し弱め合うような位相の差を生じさせること
で、背面から超音波振動子へ向かう反射波の影響を効率
よく軽減するものである。
【００２６】ここでいう位相差反射部とは、超音波振動
子から背面側に放出された超音波を超音波振動子方向の
反射させることを目的とし、以下の特性を有するもので
ある。
子から背面側に放出された超音波を超音波振動子方向の
反射させることを目的とし、以下の特性を有するもので
ある。
【００２７】超音波振動子にほぼ対向して設けられた、
ほぼ平面或いは曲面形状を有する、単一の面或いはそれ
らの複数の組合せにより構成され、前後の媒体の音響特
性の違いにより、超音波の少なくとも一部を反射させる
ものであり、かつこの反射面で反射した超音波が超音波
振動子面あるいは振動子内部に到達した時に、そのうち
の一部の位相と他の位相関係が、超音波振動子面と反射
面の間の媒体或いは反射面の背後の物質の特性により、
超音波振動子から放出時点での位相関係とは異なってく
るという特性を有するものである。
ほぼ平面或いは曲面形状を有する、単一の面或いはそれ
らの複数の組合せにより構成され、前後の媒体の音響特
性の違いにより、超音波の少なくとも一部を反射させる
ものであり、かつこの反射面で反射した超音波が超音波
振動子面あるいは振動子内部に到達した時に、そのうち
の一部の位相と他の位相関係が、超音波振動子面と反射
面の間の媒体或いは反射面の背後の物質の特性により、
超音波振動子から放出時点での位相関係とは異なってく
るという特性を有するものである。
【００２８】ここでいう背面部材とは、超音波振動子の
背面側に設置される実質的に単一の音響媒体、あるいは
２種類以上の音響媒体の組合せにより構成される部材
で、超音波振動子から背面方向に放出され、背面部材内
部に入射した超音波の内の一部の位相と他のものの位相
関係を、背面部材の形状もしくは音響的特性により、そ
の内部において、あるいは周囲の物質との境界での反射
の際に入射時と異なる位相関係にする作用を持つものと
する。
背面側に設置される実質的に単一の音響媒体、あるいは
２種類以上の音響媒体の組合せにより構成される部材
で、超音波振動子から背面方向に放出され、背面部材内
部に入射した超音波の内の一部の位相と他のものの位相
関係を、背面部材の形状もしくは音響的特性により、そ
の内部において、あるいは周囲の物質との境界での反射
の際に入射時と異なる位相関係にする作用を持つものと
する。
【００２９】また、ほぼ対向するとは、その部分から超
音波振動子方向へ向かう反射波の大部分が、途中の屈
折、反射、減衰、干渉等を無視して幾何学的位置関係の
みを考えた場合に、超音波振動子有効部に到達するよう
な配置であることとする。
音波振動子方向へ向かう反射波の大部分が、途中の屈
折、反射、減衰、干渉等を無視して幾何学的位置関係の
みを考えた場合に、超音波振動子有効部に到達するよう
な配置であることとする。
【００３０】したがって、この効果を生ずるための背面
部材の厚みは、位相のずれが生ずる程度以上であればよ
く、むしろ厚みが厚くなると超音波の広がりにより、位
相関係が複雑となって、打ち消しが困難となる。
部材の厚みは、位相のずれが生ずる程度以上であればよ
く、むしろ厚みが厚くなると超音波の広がりにより、位
相関係が複雑となって、打ち消しが困難となる。
【００３１】さらに、この効果を利用して従来の背面部
材としては適さなかった超音波の減衰率の小さい材料を
背面部材として使用することが可能となる。
材としては適さなかった超音波の減衰率の小さい材料を
背面部材として使用することが可能となる。
【００３２】以下に、本願発明の原理を説明するが、簡
単のため、３層系として取り扱うとする。
単のため、３層系として取り扱うとする。
【００３３】図２のような３層系で、層からｚ方向に
連続正弦平面波が入射する場合、層にはｚ方向の波φ
1Aおよびｚと逆方向の波φ1Bが存在することになる。こ
こにおいて、φは速度ポテンシャルを表す。同様に層
にはφ2Aおよびφ2B、層にはφ3Aのみが存在する。但
し、層は、無限に厚いものとする。
連続正弦平面波が入射する場合、層にはｚ方向の波φ
1Aおよびｚと逆方向の波φ1Bが存在することになる。こ
こにおいて、φは速度ポテンシャルを表す。同様に層
にはφ2Aおよびφ2B、層にはφ3Aのみが存在する。但
し、層は、無限に厚いものとする。
【００３４】φ1Bが、φ1Aのｚ＝０における反射波φ
1B1と、φ2Bのｚ＝０の透過波φ1B2の重ね合わせである
と考えると、本願発明の目的は、層を超音波振動子、
層を背面波干渉材、層を背後の物質とした場合に、
φ1B2の影響を軽減することである。
1B1と、φ2Bのｚ＝０の透過波φ1B2の重ね合わせである
と考えると、本願発明の目的は、層を超音波振動子、
層を背面波干渉材、層を背後の物質とした場合に、
φ1B2の影響を軽減することである。
【００３５】図３は、超音波振動子の背面側及び位相差
反射面の一例を模式的に表したものである。簡単のた
め、媒体と、媒体の厚みは等しいもの（ｄ）とす
る。超音波振動子、媒体、媒体、背後の物質の密度
及び音速をそれぞれρ1，ｃ1、ρ2，ｃ2、ρ3，ｃ3とす
る。また、周波数をνとして、波長λをλ＝ｃ／ν、固
有音響インピーダンスＺをＺ＝ρｃ、波数ｋをｋ＝２π
／λとする。超音波振動子から位相差反射部（面）に向
かう方向にｚ軸をとり、超音波振動子背面をｚ＝０とす
ると、位相差反射部は、ｚ＝ｄとなる。
反射面の一例を模式的に表したものである。簡単のた
め、媒体と、媒体の厚みは等しいもの（ｄ）とす
る。超音波振動子、媒体、媒体、背後の物質の密度
及び音速をそれぞれρ1，ｃ1、ρ2，ｃ2、ρ3，ｃ3とす
る。また、周波数をνとして、波長λをλ＝ｃ／ν、固
有音響インピーダンスＺをＺ＝ρｃ、波数ｋをｋ＝２π
／λとする。超音波振動子から位相差反射部（面）に向
かう方向にｚ軸をとり、超音波振動子背面をｚ＝０とす
ると、位相差反射部は、ｚ＝ｄとなる。
【００３６】ここで、背面波干渉材が媒体よりなる部
分及び媒体よりなる部分に対応する速度ポテンシャル
をそれぞれφ、φ′で表すと、本願発明の目的のために
は、φ1B2及びφ1B2′の位相がずれていることが必要で
ある。
分及び媒体よりなる部分に対応する速度ポテンシャル
をそれぞれφ、φ′で表すと、本願発明の目的のために
は、φ1B2及びφ1B2′の位相がずれていることが必要で
ある。
【００３７】媒体、媒体のそれぞれに対応する入射
波φ1A及びφ1A′が、ともにＡｅｘｐ（−ｉｋ1ｚ）で
表される場合について考えると、φ1B2及びφ1B2′は、
数１，数２のようになる。
波φ1A及びφ1A′が、ともにＡｅｘｐ（−ｉｋ1ｚ）で
表される場合について考えると、φ1B2及びφ1B2′は、
数１，数２のようになる。
【００３８】
【数１】
【００３９】
【数２】
【００４０】今、数１と数２の和の絶対値をとり、これ
に適当な数値を代入し、厚みｄの関数として数値計算す
る。
に適当な数値を代入し、厚みｄの関数として数値計算す
る。
【００４１】超音波振動子として、ＰＺＴ、媒体（背
面部材）を銅、媒体を真鍮、背後の物質を水として、
それぞれの密度、音速を代入すると、図４のグラフが得
られ、この図から、厚みが１４０μｍ付近でほぼ打つ消
し合う位相となることが分かる。 この時、超音波振動
子内には、背面が媒体の部分と背面が媒体の部分そ
れぞれから、位相がほぼ反転した波が入射することにな
るため、全体としての、φ1B2による厚み振動及び圧電
変換能が低下する。これにより、不要な反射の影響を軽
減することができる。
面部材）を銅、媒体を真鍮、背後の物質を水として、
それぞれの密度、音速を代入すると、図４のグラフが得
られ、この図から、厚みが１４０μｍ付近でほぼ打つ消
し合う位相となることが分かる。 この時、超音波振動
子内には、背面が媒体の部分と背面が媒体の部分そ
れぞれから、位相がほぼ反転した波が入射することにな
るため、全体としての、φ1B2による厚み振動及び圧電
変換能が低下する。これにより、不要な反射の影響を軽
減することができる。
【００４２】
【実施例】以下、添付図面を参照しつつ実施例に係る超
音波探触子を詳細に説明する。
音波探触子を詳細に説明する。
【００４３】（実施例１）図１は、本発明の実施例１に
係わる超音波探触子１の斜視図を示すものである。図１
において、超音波振動子１２は、ほぼ平面形状で、両面
に電極（不図示）を蒸着，印刷等で形成したＰＺＴ等の
圧電体で、表面には、音響整合層３３が設けられてい
る。１４は、グラウンドの電極リードで、超音波振動子
１２の表面の電極に導電的に接続されている。１５は、
信号電極リードで、超音波振動子１２の信号電極に導電
的に接続されている。１１は、背面部材（背面波干渉
材）で、厚さが０．０１ｍｍ〜１０ｍｍ程度、幅が０．
１〜２０ｍｍ程度、長さが０．１〜２０ｍｍ程度で、Ｃ
ｕ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｐｔ等の金属、セラミック、合成樹脂
等からなり、音速及び密度のうち少なくともいずれかが
異なる材料で各音響媒体１１ａ，１１ｂが形成され、超
音波振動子１２の背面にほぼ平行に交互に設けられてい
る。好ましくは、各音響媒体内部での、その形状に応じ
た縦波、横波、あるいは境界面での振動等の超音波波長
の程度か、それ以下の間隔で交互にほぼ密着して並んで
設けられている。
係わる超音波探触子１の斜視図を示すものである。図１
において、超音波振動子１２は、ほぼ平面形状で、両面
に電極（不図示）を蒸着，印刷等で形成したＰＺＴ等の
圧電体で、表面には、音響整合層３３が設けられてい
る。１４は、グラウンドの電極リードで、超音波振動子
１２の表面の電極に導電的に接続されている。１５は、
信号電極リードで、超音波振動子１２の信号電極に導電
的に接続されている。１１は、背面部材（背面波干渉
材）で、厚さが０．０１ｍｍ〜１０ｍｍ程度、幅が０．
１〜２０ｍｍ程度、長さが０．１〜２０ｍｍ程度で、Ｃ
ｕ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｐｔ等の金属、セラミック、合成樹脂
等からなり、音速及び密度のうち少なくともいずれかが
異なる材料で各音響媒体１１ａ，１１ｂが形成され、超
音波振動子１２の背面にほぼ平行に交互に設けられてい
る。好ましくは、各音響媒体内部での、その形状に応じ
た縦波、横波、あるいは境界面での振動等の超音波波長
の程度か、それ以下の間隔で交互にほぼ密着して並んで
設けられている。
【００４４】背面部材１１は、超音波振動子１２背面に
実質的なずれが生じないように、接着等により設ける
か、金属の場合には、電鋳により金属を超音波振動子背
面に一体的に形成される。また、合成樹脂、ゴムなどの
エラストマーから選ばれた高分子材料の場合には、超音
波振動子１２背面に注型等の方法で実質的に一体的に形
成される。
実質的なずれが生じないように、接着等により設ける
か、金属の場合には、電鋳により金属を超音波振動子背
面に一体的に形成される。また、合成樹脂、ゴムなどの
エラストマーから選ばれた高分子材料の場合には、超音
波振動子１２背面に注型等の方法で実質的に一体的に形
成される。
【００４５】（実施例２）図５は、本発明の実施例２に
係わる超音波探触子１の斜視図を示すものである。この
実施例では、背面部材２１として、各音響媒体に、Ｃ
ｕ，Ｃｕ系合金，Ａｇ，Ａｇ系合金等の金属を使用し、
超音波振動子２２の背面の電極（不図示）に導電的に接
続することで、電極リードとして用いている。２４は、
実施例１のグラウンド用の電極リード１４と同様の電極
リード、２５は、信号線である。
係わる超音波探触子１の斜視図を示すものである。この
実施例では、背面部材２１として、各音響媒体に、Ｃ
ｕ，Ｃｕ系合金，Ａｇ，Ａｇ系合金等の金属を使用し、
超音波振動子２２の背面の電極（不図示）に導電的に接
続することで、電極リードとして用いている。２４は、
実施例１のグラウンド用の電極リード１４と同様の電極
リード、２５は、信号線である。
【００４６】寸法，構造，材質上で実施例１と異なる点
は、背面部材２１の一端が超音波振動子２２の一旦を越
えて所定長さ（超音波振動子３１の長さの３０％程度）
延設され、信号電極リード２５に接合されている点であ
る。
は、背面部材２１の一端が超音波振動子２２の一旦を越
えて所定長さ（超音波振動子３１の長さの３０％程度）
延設され、信号電極リード２５に接合されている点であ
る。
【００４７】（実施例３）図６は、本発明の実施例３に
係わる超音波探触子１の斜視図を示すものである。 ３
２は超音波振動子で、背面部材３１背面の各音響媒体３
１ａ，３１ｂで形成され、各音響媒体３１ａ，３１ｂの
各底面部３６が緩やかな凹曲面で、側面に傾きを持たせ
た形状として形成されている。この構造により、位相の
異なる反射波同士を、より重ね合わせて減衰することが
できる。
係わる超音波探触子１の斜視図を示すものである。 ３
２は超音波振動子で、背面部材３１背面の各音響媒体３
１ａ，３１ｂで形成され、各音響媒体３１ａ，３１ｂの
各底面部３６が緩やかな凹曲面で、側面に傾きを持たせ
た形状として形成されている。この構造により、位相の
異なる反射波同士を、より重ね合わせて減衰することが
できる。
【００４８】音響媒体３１ａ，３１ｂの材質は、実施例
１と同様である。
１と同様である。
【００４９】（実施例４）図７は、本発明の実施例４に
係わる超音波探触子１を示す斜視図（電極リードは不図
示）で、超音波振動子４２は、超音波の集束を目的とし
た曲面形状のものである。この場合は、背面部材４１の
内径形状も超音波振動子４２の外径形状に実質的に合わ
せて形成されている。超音波振動子４２の内径は、使用
する周波数とフォーカス位置に依存し、２ｍｍ〜２００
ｍｍ程度である。曲面形状にした点以外は、実施例１と
同様の寸法、形状、材質である。
係わる超音波探触子１を示す斜視図（電極リードは不図
示）で、超音波振動子４２は、超音波の集束を目的とし
た曲面形状のものである。この場合は、背面部材４１の
内径形状も超音波振動子４２の外径形状に実質的に合わ
せて形成されている。超音波振動子４２の内径は、使用
する周波数とフォーカス位置に依存し、２ｍｍ〜２００
ｍｍ程度である。曲面形状にした点以外は、実施例１と
同様の寸法、形状、材質である。
【００５０】（実施例５）図８は、本発明の実施例５に
係わる超音波探触子１を示す斜視図（電極リードは不図
示）である。本実施例では、超音波放出方向に、ほぼ垂
直なほぼ円柱状の音響媒体５１ａを、音速及び密度のう
ち少なくともいずれか１つが異なる別の媒体５１ｂで覆
っている。５１ａは、多角形の形状でも、ほぼ同様の効
果を得ることができる。
係わる超音波探触子１を示す斜視図（電極リードは不図
示）である。本実施例では、超音波放出方向に、ほぼ垂
直なほぼ円柱状の音響媒体５１ａを、音速及び密度のう
ち少なくともいずれか１つが異なる別の媒体５１ｂで覆
っている。５１ａは、多角形の形状でも、ほぼ同様の効
果を得ることができる。
【００５１】（実施例６）図９は、本発明の実施例６に
係わる超音波探触子１を示す斜視図である。本実施例で
は、背面部材６１の更に背面側に第２背面材６６を設け
ることにより、背面部材６１と第２背面材６６の境界面
からの超音波の反射を低減し、また、第２背面材内部へ
透過した超音波を減衰させることができる。
係わる超音波探触子１を示す斜視図である。本実施例で
は、背面部材６１の更に背面側に第２背面材６６を設け
ることにより、背面部材６１と第２背面材６６の境界面
からの超音波の反射を低減し、また、第２背面材内部へ
透過した超音波を減衰させることができる。
【００５２】第２背面材としては、好ましくはエポキシ
系樹脂，ウレタン系樹脂等の接着性の合成樹脂、シリコ
ーンゴム等が使用される。
系樹脂，ウレタン系樹脂等の接着性の合成樹脂、シリコ
ーンゴム等が使用される。
【００５３】第２背面材６６を設けた以外は、実施例１
と同様の寸法，構造，材質であり、６２は、超音波振動
子、６３は、音響整合層、６４は、グラウンドの電極リ
ード、６５は、信号電極リードである。６１ａ，６１ｂ
は、音響媒体で音速及び密度のうち少なくともいずれか
１つが異なるものである。
と同様の寸法，構造，材質であり、６２は、超音波振動
子、６３は、音響整合層、６４は、グラウンドの電極リ
ード、６５は、信号電極リードである。６１ａ，６１ｂ
は、音響媒体で音速及び密度のうち少なくともいずれか
１つが異なるものである。
【００５４】（実施例７）図１０は、本発明の実施例７
に係わる超音波探触子１を示す斜視図である。
に係わる超音波探触子１を示す斜視図である。
【００５５】背面部材７１と超音波振動子７２との間
に、整合層７６を設けたものである。このため、超音波
振動子７２背面に放出される不要な超音波をさらに効率
よく取り除くことができる。
に、整合層７６を設けたものである。このため、超音波
振動子７２背面に放出される不要な超音波をさらに効率
よく取り除くことができる。
【００５６】整合層７６を設けた以外は、実施例１と同
様の寸法，構造，材質であり、７２は、超音波振動子、
７３は、音響整合層、７４は、グラウンドの電極リー
ド、７５は、信号電極リードである。７１ａ，７１ｂ
は、音響媒体で音速及び密度のうち少なくともいずれか
１つが異なるものである。
様の寸法，構造，材質であり、７２は、超音波振動子、
７３は、音響整合層、７４は、グラウンドの電極リー
ド、７５は、信号電極リードである。７１ａ，７１ｂ
は、音響媒体で音速及び密度のうち少なくともいずれか
１つが異なるものである。
【００５７】（実施例８）図１１は、本発明の実施例８
に係わる超音波探触子１を示す斜視図（電極リードは不
図示）である。本実施例では、背面部材８１を構成する
２種類の音響媒体８１ａ，８１ｂを異なる厚みにするこ
とにより、任意の音響媒体の組合わせについて、さらに
効率よく反射波の位相を調節し、打ち消し合うようにす
ることができる。
に係わる超音波探触子１を示す斜視図（電極リードは不
図示）である。本実施例では、背面部材８１を構成する
２種類の音響媒体８１ａ，８１ｂを異なる厚みにするこ
とにより、任意の音響媒体の組合わせについて、さらに
効率よく反射波の位相を調節し、打ち消し合うようにす
ることができる。
【００５８】上述の実施例では、セラミック振動子の例
について示したが、本発明はこれに限られるものでな
く、高分子圧電材料、高分子複合材料等他の種類の振動
子についてもほぼ同様の作用、効果が得られる。
について示したが、本発明はこれに限られるものでな
く、高分子圧電材料、高分子複合材料等他の種類の振動
子についてもほぼ同様の作用、効果が得られる。
【００５９】
【発明の効果】本発明は、超音波振動子と、超音波振動
子の背面側に位相差反射部を備えた超音波探触子であっ
て、位相差反射部は、超音波振動子の背面側に、超音波
振動子面にほぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ平
行な方向に広がりを有し、音速及び密度のうち少なくと
もいずれか１つが異なる少なくとも２種類以上の音響媒
体で形成されてなる背面部材を備えてなる超音波探触子
であるので、背面から超音波振動子へ向かう反射波の影
響を低減でき、小型で耐久性及び画質等に優れる。
子の背面側に位相差反射部を備えた超音波探触子であっ
て、位相差反射部は、超音波振動子の背面側に、超音波
振動子面にほぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ平
行な方向に広がりを有し、音速及び密度のうち少なくと
もいずれか１つが異なる少なくとも２種類以上の音響媒
体で形成されてなる背面部材を備えてなる超音波探触子
であるので、背面から超音波振動子へ向かう反射波の影
響を低減でき、小型で耐久性及び画質等に優れる。
【００６０】背面部材を形成する音響媒体は、各々実質
的に単一の材質または、ほぼ均一な混合物からなる音響
媒体であるものとすることにより、背面から超音波振動
子へ向かう反射波の影響をさらに低減でき、小型で耐久
性及び画質等に優れる。
的に単一の材質または、ほぼ均一な混合物からなる音響
媒体であるものとすることにより、背面から超音波振動
子へ向かう反射波の影響をさらに低減でき、小型で耐久
性及び画質等に優れる。
【００６１】各音響媒体の背面が、各々該振動子面にほ
ぼ対向する実質的な平面または曲面を有する形状である
ものとすることにより、背面から超音波振動子へ向かう
反射波の影響をより一層低減でき、小型で耐久性及び画
質等に優れる。
ぼ対向する実質的な平面または曲面を有する形状である
ものとすることにより、背面から超音波振動子へ向かう
反射波の影響をより一層低減でき、小型で耐久性及び画
質等に優れる。
【００６２】背面部材を構成する音響媒体のうち少なく
とも１種類を、導電体とすることにより、超音波振動子
電極と導電的に接続でき、信号線の引き回し等の実装を
容易にできる。
とも１種類を、導電体とすることにより、超音波振動子
電極と導電的に接続でき、信号線の引き回し等の実装を
容易にできる。
【００６３】背面部材を構成する音響媒体のうち、少な
くとも１種類は、ヤング率及び曲げ強度のうちの少なく
ともいずれかが超音波振動子とほぼ等しいか大きいもの
であることとすることにより、超音波振動子の補強材と
しての効果が得られる。
くとも１種類は、ヤング率及び曲げ強度のうちの少なく
ともいずれかが超音波振動子とほぼ等しいか大きいもの
であることとすることにより、超音波振動子の補強材と
しての効果が得られる。
【００６４】背面部材を構成する音響媒体のうち、少な
くとも２種類は、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーか
ら選ばれた高分子材料からなり、超音波の減衰率が０．
３ｄＢ／ｍｍＭＨｚより大きいものであるものとするこ
とにより、干渉による減衰に加えて吸収による減衰の効
果も得られる。
くとも２種類は、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーか
ら選ばれた高分子材料からなり、超音波の減衰率が０．
３ｄＢ／ｍｍＭＨｚより大きいものであるものとするこ
とにより、干渉による減衰に加えて吸収による減衰の効
果も得られる。
【００６５】背面部材は、音速及び密度のうち少なくと
もいずれかが異なる実質的に単一の材質またはほぼ均一
な混合物からなる２種類の音響媒体を、少なくとも１層
以上、超音波放出方向にほぼ垂直に積層したものとする
ことにより、加工が容易となる。 背面部材は、少なく
とも１つの、超音波放出方向にほぼ垂直なほぼ円柱状あ
るいは多角柱状の、実質的に単一またはほぼ均一な混合
物からなる音響媒体の周囲の少なくとも一部を、音速及
び密度のうち少なくともいずれか１つが異なる他の音響
媒体で被覆したものであるものとすることにより、加工
が容易になる。
もいずれかが異なる実質的に単一の材質またはほぼ均一
な混合物からなる２種類の音響媒体を、少なくとも１層
以上、超音波放出方向にほぼ垂直に積層したものとする
ことにより、加工が容易となる。 背面部材は、少なく
とも１つの、超音波放出方向にほぼ垂直なほぼ円柱状あ
るいは多角柱状の、実質的に単一またはほぼ均一な混合
物からなる音響媒体の周囲の少なくとも一部を、音速及
び密度のうち少なくともいずれか１つが異なる他の音響
媒体で被覆したものであるものとすることにより、加工
が容易になる。
【００６６】各音響媒体の背面側の面は、振動子面にほ
ぼ平行なほぼ平面上に形成されてなるようにすることに
より、加工が容易となる。
ぼ平行なほぼ平面上に形成されてなるようにすることに
より、加工が容易となる。
【００６７】背面部材は、互いに音速がほぼ等しい、複
数の音響媒体を超音波振動子面にほぼ平行に所定間隔離
間して設けたものであるものとすることにより、各音響
媒体を通った反射波の、超音波振動子面への到達をほぼ
同時とすることができ、パルス波の場合に、ほぼ対応す
るピーク同士を打ち消し合うことができる。
数の音響媒体を超音波振動子面にほぼ平行に所定間隔離
間して設けたものであるものとすることにより、各音響
媒体を通った反射波の、超音波振動子面への到達をほぼ
同時とすることができ、パルス波の場合に、ほぼ対応す
るピーク同士を打ち消し合うことができる。
【００６８】背面部材の背面に、さらに、第２背面部材
を設けたことにより、透過波も減衰させることができ、
さらに背後にある超音波振動子を収納するハウジング等
の構造体からの反射の影響を低減できる。
を設けたことにより、透過波も減衰させることができ、
さらに背後にある超音波振動子を収納するハウジング等
の構造体からの反射の影響を低減できる。
【００６９】第２背面部材は、超音波の減衰率が、０．
３ｄＢ／ｍｍＭＨｚより大きい、合成樹脂、ゴムなどの
エラストマーから選ばれた高分子材料からなるものであ
るものとすることにより、透過波の減衰を効率よく行う
ことができる。
３ｄＢ／ｍｍＭＨｚより大きい、合成樹脂、ゴムなどの
エラストマーから選ばれた高分子材料からなるものであ
るものとすることにより、透過波の減衰を効率よく行う
ことができる。
【００７０】第２背面部材は、合成樹脂、ゴムなどのエ
ラストマーから選ばれた高分子材料中に音響インピーダ
ンスの異なる散乱体をほぼ均一に混合したものであるも
のとすることにより、超音波の吸収による減衰に加え、
散乱による減衰の効果も有することができる。
ラストマーから選ばれた高分子材料中に音響インピーダ
ンスの異なる散乱体をほぼ均一に混合したものであるも
のとすることにより、超音波の吸収による減衰に加え、
散乱による減衰の効果も有することができる。
【００７１】背面部材と超音波振動子との間に、音響整
合層を設けることにより、背面部材への透過効率を上
げ、パルス波の場合に問題となる、超音波振動子値内の
残存振動を軽減できる。
合層を設けることにより、背面部材への透過効率を上
げ、パルス波の場合に問題となる、超音波振動子値内の
残存振動を軽減できる。
【００７２】背面部材を構成する音響媒体のうち少なく
とも１種類を、電鋳により金属を超音波振動子背面に一
体的に形成したものであるので、接着層の影響がなく、
再現性がよく、加工が容易となる。
とも１種類を、電鋳により金属を超音波振動子背面に一
体的に形成したものであるので、接着層の影響がなく、
再現性がよく、加工が容易となる。
【００７３】背面部材を構成する音響媒体のうち少なく
とも１種類は、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーから
選ばれた高分子材料を超音波振動子背面に注型等の方法
で一体的に形成したものであるものであるので、再現性
がよく、接着層の影響がなく、加工が容易となる。
とも１種類は、合成樹脂、ゴムなどのエラストマーから
選ばれた高分子材料を超音波振動子背面に注型等の方法
で一体的に形成したものであるものであるので、再現性
がよく、接着層の影響がなく、加工が容易となる。
【図１】 本発明の実施例１に係わる超音波探触子の斜
視図である。
視図である。
【図２】 ３層系の超音波の反射を示す模式図である。
【図３】 超音波振動子の背面側及び位相差反射面の一
例を模式的に表したものである。
例を模式的に表したものである。
【図４】 背面部材の厚さ方向の距離と超音波の減衰と
を示す図である。
を示す図である。
【図５】 本発明の実施例２に係わる超音波探触子に信
号リード線を設けた斜視図である。
号リード線を設けた斜視図である。
【図６】 本発明の実施例３２係わる超音波探触子の斜
視図である。
視図である。
【図７】 本発明の実施例４に係わる超音波探触子の斜
視図である。
視図である。
【図８】 本発明の実施例５に係わる超音波探触子の斜
視図である。
視図である。
【図９】 本発明の実施例６に係わる超音波探触子の斜
視図である。
視図である。
【図１０】 本発明の実施例７に係わる超音波探触子の
斜視図である。
斜視図である。
【図１１】 本発明の実施例８に係わる超音波探触子の
斜視図である。
斜視図である。
【図１２】 従来の超音波探触子の斜視図である。
１…超音波探触子 １１，２１，３１，４１，５１，６１，７１，８１，９
１…背面部材 １２，２２，３２，４２，５２，６２，７２，８２，９
２…超音波振動子 １３，２３，６３，７３，９３…音響整合層 １４，２４，６４，７４，９４…電極リード １５，２４，６５，７５，９５…信号線リード ６６…第２背面部材
１…背面部材 １２，２２，３２，４２，５２，６２，７２，８２，９
２…超音波振動子 １３，２３，６３，７３，９３…音響整合層 １４，２４，６４，７４，９４…電極リード １５，２４，６５，７５，９５…信号線リード ６６…第２背面部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｓ 7/521 (72)発明者 前川 純 静岡県富士宮市三園平818番地 テルモ株 式会社内
Claims (16)
- 【請求項１】 超音波振動子と、該超音波振動子の背面
側に位相差反射部をを備えた超音波探触子であって、 該位相差反射部は、該超音波振動子の背面側に、該超音
波振動子面にほぼ平行な面上に、超音波放出方向とほぼ
平行な方向に広がりを有し、音速及び密度のうち少なく
ともいずれか１つが異なる少なくとも２種類以上の音響
媒体で形成されてなる背面部材を備えてなることを特徴
とする超音波探触子。 - 【請求項２】 該背面部材を構成する該音響媒体は、各
々実質的に単一の材質または、ほぼ均一な混合物からな
る音響媒体であることを特徴とする請求項１に記載の超
音波探触子。 - 【請求項３】 該各音響媒体の背面が、各々該振動子面
にほぼ対向する実質的な平面または曲面を有する形状で
あることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記
載の超音波探触子。 - 【請求項４】 該背面部材を構成する該音響媒体のうち
少なくとも１種類は、導電体であることを特徴とする請
求項１ないし３のいずれかに記載の超音波探触子。 - 【請求項５】 該背面部材を構成する該音響媒体のう
ち、少なくとも１種類は、ヤング率及び曲げ強度のうち
の少なくともいずれかが該超音波振動子とほぼ等しいか
大きいものであることを特徴とする請求項１ないし３の
いずれかに記載の超音波探触子。 - 【請求項６】 該背面部材を構成する該音響媒体のう
ち、少なくとも２種類は、合成樹脂、ゴムなどのエラス
トマーから選ばれた高分子材料からなり、超音波の減衰
率が０．３ｄＢ／ｍｍＭＨｚより大きいものであること
を特徴とする請求項１または２に記載の超音波探触子。 - 【請求項７】 該背面部材は、音速及び密度のうち少な
くともいずれかが異なる実質的に単一の材質またはほぼ
均一な混合物からなる２種類の該音響媒体を、少なくと
も１層以上、超音波放出方向にほぼ垂直に積層したもの
であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに
記載の超音波探触子。 - 【請求項８】 該背面部材は、少なくとも１つの、超音
波放出方向にほぼ垂直なほぼ円柱状あるいは多角柱状
の、実質的に単一またはほぼ均一な混合物からなる該音
響媒体の周囲の少なくとも一部を、音速及び密度のうち
少なくともいずれか１つが異なる他の該音響媒体で被覆
したものであることを特徴とする請求項１ないし６のい
ずれかに記載の超音波探触子。 - 【請求項９】 該各音響媒体の背面側の面は、該振動子
面にほぼ平行なほぼ平面上に形成されてなることを特徴
とする請求項１ないし８のいずれかに記載の超音波探触
子。 - 【請求項１０】 該背面部材は、互いに音速がほぼ等し
い、複数の音響媒体を該超音波振動子面にほぼ平行に所
定間隔離間して設けたものであることを特徴とする請求
項１ないし９のいずれかに記載の超音波探触子。 - 【請求項１１】 該背面部材の背面に、さらに、第２背
面部材を設けたことを特徴とする請求項１ないし１０の
いずれかに記載の超音波探触子。 - 【請求項１２】 該第２背面部材は、超音波の減衰率
が、０．３ｄＢ／ｍｍＭＨｚより大きい、合成樹脂、ゴ
ムなどのエラストマーから選ばれた高分子材料からなる
ものであることを特徴とする請求項１１に記載の超音波
探触子。 - 【請求項１３】 該第２背面部材は、合成樹脂、ゴムな
どのエラストマーから選ばれた高分子材料中に音響イン
ピーダンスの異なる散乱体をほぼ均一に混合したもので
あることを特徴とする請求項１１ないし１２に記載の超
音波探触子。 - 【請求項１４】 該背面部材と該超音波振動子との間
に、音響整合層を設けたことを特徴とする請求項１に記
載の超音波探触子。 - 【請求項１５】 該背面部材を構成する該音響媒体のう
ち少なくとも１種類は、電鋳により金属を該超音波振動
子背面に一体的に形成したものであることを特徴とする
請求項１ないし１０のいずれかに記載の超音波探触子。 - 【請求項１６】 該背面部材を構成する該音響媒体のう
ち少なくとも１種類は、合成樹脂、ゴムなどのエラスト
マーから選ばれた高分子材料を該超音波振動子背面に注
型等の方法で一体的に形成したものであることを特徴と
する請求項１ないし１０のいずれかに記載の超音波探触
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20058194A JPH0865796A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20058194A JPH0865796A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0865796A true JPH0865796A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16426726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20058194A Pending JPH0865796A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0865796A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011148618A1 (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | パナソニック株式会社 | 超音波探触子およびその製造方法 |
| JP2012235925A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波振動子、超音波振動子の製造方法、超音波内視鏡 |
-
1994
- 1994-08-25 JP JP20058194A patent/JPH0865796A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011148618A1 (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | パナソニック株式会社 | 超音波探触子およびその製造方法 |
| JP2012235925A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波振動子、超音波振動子の製造方法、超音波内視鏡 |
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