JPH0862142A - Inspection equipment for liquid crystal display - Google Patents

Inspection equipment for liquid crystal display

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JPH0862142A
JPH0862142A JP9842295A JP9842295A JPH0862142A JP H0862142 A JPH0862142 A JP H0862142A JP 9842295 A JP9842295 A JP 9842295A JP 9842295 A JP9842295 A JP 9842295A JP H0862142 A JPH0862142 A JP H0862142A
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liquid crystal
crystal display
lcd
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inspection
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Yuichi Abe
祐一 阿部
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Abstract

PURPOSE: To inspect the characteristics of a pixel in a liquid crystal display correctly in relaxed posture by automating a series of operations for positioning a liquid crystal display sucked to an inspecting part at the contact position with a probe terminal and bringing the liquid crystal into contact with the probe terminal. CONSTITUTION: At a loader section 2, a single LCD(large liquid crystal display) 8 is taken out from a cassette 9 and prealigned. It is then delivered to a sub- chuck 11 at the loader section 2 and the sub-chuck 11 elevates the LCD 8 to a predetermined height. At an inspecting section 3, a gripper disposed at a transfer section grips the LCD 8 stopping at the predetermined height and transfers the LCD 8 to the center of inspection 16 where the LCD 8 is sucked to a supporting table 17. A probe terminal electrode 19 is brought into contact with the LCD 8 which is then electrically conducted and inspected visually. When the pixel state of the LCD 8 is observed through a microscope 6, movement information is inputted on a keyboard and the angle of base is set by means of a CPU.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示体の画素の色
彩等の特性を検査する液晶表示体の検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display inspecting apparatus for inspecting characteristics such as color of pixels of a liquid crystal display.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年ではテレビ画面を構成する大型液晶
表示体(以下、LCDと略記する)を被観察体とし、こ
の被観察体を観察検査する検査装置でその特性を観察検
査するものがある。ところで、LCD表面に多数個形成
された画素を観察検査する工程がある。
2. Description of the Related Art In recent years, a large-sized liquid crystal display (hereinafter abbreviated as LCD) constituting a television screen is used as an object to be observed, and there is an inspection apparatus for observing and inspecting the object to be observed and inspected. .. By the way, there is a step of observing and inspecting a large number of pixels formed on the LCD surface.

【0003】上記工程では、液晶表示体プローバのヘッ
ドプレートの裏側に設けられているプローブ端子電極に
LCDの周縁にある電極を接触させて通電する工程と、
通電された後にLCDの画素の状態を観察検査する工程
とが一諸になったLCDプローバと称する検査装置を用
いてLCDの観察検査を行なっている。
In the above steps, a step of energizing the probe terminal electrodes provided on the back side of the head plate of the liquid crystal display prober by contacting electrodes on the periphery of the LCD with each other,
The observation and inspection of the LCD is performed by using an inspection device called an LCD prober, which has a single step of observing and inspecting the state of the pixel of the LCD after being energized.

【0004】上記LCDを観察する場合において、LC
D表面に多数個形成された画素の色彩は、検査装置の支
持台に敷設されているバックライトの光源から放出され
る照明光がLCDのカラーフィルタ層を通過して色彩を
得る構造なので、観察方向がLCD表面と直交した入射
角で観察する必要があり、直交しない観察方向で観察し
たとすれば、隣りの画素の色彩が光合成されて、正確な
色彩観察をすることができない。その為に、上記LCD
の画素の色彩等の特性状態を、オペレータが椅子に腰掛
けて顎を引いた楽な姿勢で、観察手段としての例えば顕
微鏡を覗いて観察できるように、オペレータの目線高さ
に合わせて顕微鏡を略45度の下向き傾斜に設置固定し
ていると共に、この顕微鏡或いは透視窓と直交する状態
にLCDを支持すべく支持台を一定(略45度)の前下
がり傾斜状態に設置しているのが一般的である。なお、
観察手段として、上記顕微鏡を用いずに、単なる開口或
いは透明や半透明ガラスを嵌め込んだ透視窓のみを設け
てオペレータが覗く形式のものもある。
When observing the above LCD, LC
The color of a large number of pixels formed on the D surface is a structure in which the illumination light emitted from the light source of the backlight laid on the support of the inspection device passes through the color filter layer of the LCD to obtain the color. It is necessary to observe at an incident angle whose direction is orthogonal to the LCD surface, and if it is observed in an observation direction that is not orthogonal, the colors of adjacent pixels are photosynthesized and accurate color observation cannot be performed. Therefore, the above LCD
In order that the operator can observe the characteristic states such as the colors of the pixels in a comfortable posture in which the operator is sitting on a chair and pulling his chin, for example, a microscope can be observed according to the eye level of the operator. It is generally installed and fixed at a downward inclination of 45 degrees, and in general, the support base is installed at a constant (approximately 45 degrees) front downward inclination state to support the LCD in a state orthogonal to the microscope or the transparent window. Target. In addition,
As an observing means, there is also a type in which the operator does not use the above-mentioned microscope but provides only an opening or a see-through window in which transparent or translucent glass is fitted so that the operator can look into it.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来の検査装置、即ち、LCDプローバでは、観察手段と
しての例えば顕微鏡等とLCDを支持する支持台との傾
斜角度が互いに直交する状態でそれぞれ予め固定的に定
められているので、目視観察するオペレータの目線高さ
及び方向が一定化していて、それ以外の高さや方向から
は観察できない。顕微鏡を用いない透視窓のみの場合に
は覗き見ることはできても、隣の画素の色彩と光合成し
て正しい観察ができない。
By the way, in the above-mentioned conventional inspection apparatus, that is, the LCD prober, the inclination angles of the microscope or the like as the observing means and the supporting base for supporting the LCD are orthogonal to each other. Since it is fixedly determined, the line-of-sight and direction of the operator who visually observes is constant, and the line-of-sight cannot be observed from other heights and directions. If only the see-through window is used without a microscope, it is possible to peep, but it is not possible to perform correct observation by photosynthesizing with the color of the adjacent pixel.

【0006】このために標準的体格のオペレータ以外の
人、例えば長身で座高が高い人は猫背になり、逆に背の
低い人は背筋を延ばしたり腰を浮かしたりして、無理な
姿勢で顕微鏡を覗かなければならず疲れてしまう問題が
あった。
For this reason, a person other than an operator having a standard physique, for example, a person who is tall and has a high sitting height has a cat-back posture, while a person who is short has a posture in which the spine is stretched or the waist is lifted, and the microscope is placed in an unnatural posture. There was a problem that I had to look into and get tired.

【0007】そこで、オペレータの体格や好みに応じて
顕微鏡等の観察手段の角度調整ができれば良いが、これ
がなかなか困難であった。即ち、この種のLCDプロー
バでは、観察手段としての顕微鏡或いは透視窓のみの傾
斜角度を変えても何もならず、一緒にLCDの支持台の
傾斜角度も可変調整しなければならず、更には支持台上
面に支持したLCDの電極に接触して通電するプローブ
端子電極も相対位置を変えずに傾斜角度の調整をしなけ
ればならず、これらの調整を個々に行うのは非常に大変
で現実的でない。
Therefore, it is only necessary to be able to adjust the angle of the observation means such as a microscope according to the operator's physique and taste, but this is quite difficult. That is, in this type of LCD prober, even if the tilt angle of only the microscope as the observing means or the see-through window is changed, nothing happens, and at the same time, the tilt angle of the LCD support base must be variably adjusted. The probe terminal electrodes that come into contact with the electrodes of the LCD supported on the upper surface of the support base and carry current must also be adjusted in tilt angle without changing their relative positions, and it is very difficult to make these adjustments individually. Not relevant.

【0008】本発明は前記事情に着目してなされたもの
で、その目的とするとことは、観察手段と液晶表示体の
支持台とプローブ端子電極との三者の傾き角度を一体的
に(相対位置を変えずに)に非常に簡単かつ確実に可変
調整でき、各種異なる体格のオペレータがそれぞれ自分
に合った目線高さ・方向を選択できて、楽な姿勢で液晶
表示体の画素特性を正しく観察検査できるようになる検
査装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to make the inclination angles of the three of the observation means, the support of the liquid crystal display and the probe terminal electrode integrally (relative to each other). (Even without changing the position), the adjustment can be performed very easily and reliably, and operators of different physiques can select the line-of-sight height and direction that suits them, and the pixel characteristics of the liquid crystal display can be adjusted correctly in a comfortable posture. An object of the present invention is to provide an inspection device that enables observation and inspection.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、光源によって照明された載置面を有すると
共に液晶表示体を吸着する手段を有する検査部と、複数
枚の被検査液晶表示体を収納したカセットが載置される
ローダ部と、このローダ部の前記カセットから前記液晶
表示体を取出し前記検査部に受け渡す移送部と、この移
送部で前記液晶表示体のプリアライメントを行うプリア
ライメント手段と、前記検査部に吸着された液晶表示体
をプローブ端子との接触位置に位置合わせする位置合わ
せ手段と、前記液晶表示体をプローブ端子に接触させ液
晶表示体を点灯させて目視検査する観察手段とを具備し
たことを特徴とする。また、前記検査部、位置合わせ手
段および観察手段の三者の傾き角度を一体的に可変調整
する傾斜駆動機構を設けたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention has an inspection section having a mounting surface illuminated by a light source and a means for adsorbing a liquid crystal display, and a plurality of liquid crystals to be inspected. A loader section on which a cassette accommodating a display body is placed, a transfer section for taking out the liquid crystal display body from the cassette of the loader section and delivering it to the inspection section, and pre-alignment of the liquid crystal display body by this transfer section. Pre-alignment means for performing, alignment means for aligning the liquid crystal display adsorbed on the inspection unit with the contact position with the probe terminal, and contacting the liquid crystal display body with the probe terminal to light the liquid crystal display body And an observation means for inspecting. Further, the invention is characterized in that an inclination drive mechanism for integrally variably adjusting the inclination angles of the inspection section, the alignment means and the observation means is provided.

【0010】[0010]

【作用】本発明の液晶表示体の検査装置によれば、複数
枚の液晶表示体を収納したカセットからローダ部によっ
て液晶表示体を取出し、移送部により照明された検査部
に受け渡し、この移送部で前記液晶表示体のプリアライ
メントを行った後、前記検査部に吸着された液晶表示体
をプローブ端子との接触位置に位置合わせ、液晶表示体
をプローブ端子に接触させる一連の動作が自動的に行
え、液晶表示体を点灯させて顕微鏡等によって目視検査
することができる。
According to the liquid crystal display inspecting apparatus of the present invention, the liquid crystal display is taken out from the cassette accommodating a plurality of liquid crystal displays by the loader section, and delivered to the inspection section illuminated by the transfer section, and the transfer section is provided. After pre-aligning the liquid crystal display with, the liquid crystal display adsorbed on the inspection unit is aligned with the contact position with the probe terminal, and a series of operations for contacting the liquid crystal display with the probe terminal are automatically performed. This can be done, and the liquid crystal display can be turned on and visually inspected with a microscope or the like.

【0011】また、前記検査部、位置合わせ手段および
観察手段の三者の傾き角度を一体的に可変調整する傾斜
駆動機構を設けたことにより、各種異なる体格のオペレ
ータがそれぞれ自分に合った目線高さ及び方向を容易確
実に選択できて、楽な姿勢で液晶表示体の画素特性を正
しく観察検査できるようになる。
Further, since the tilt drive mechanism for integrally variably adjusting the tilt angles of the three members of the inspection unit, the alignment unit and the observation unit is provided, operators of various different physiques can adjust the line-of-sight heights to suit their own. The size and direction can be easily and surely selected, and the pixel characteristics of the liquid crystal display can be correctly observed and inspected in a comfortable posture.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の液晶表示体の検査装置を目視
観察プローバに適用した一実施例を図面を参照して具体
的に説明する。先ず、本実施例の目視観察プローバの外
観構成について説明すると、図5に示すように、この目
視観察プローバ1は大別して液晶表示体(以下、LCD
という)を搬送するローダ部2と、搬送されたLCDを
目視観察検査する検査部3とから構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the liquid crystal display inspecting apparatus of the present invention is applied to a visual observation prober will be specifically described below with reference to the drawings. First, the external structure of the visual observation prober of the present embodiment will be described. As shown in FIG. 5, the visual observation prober 1 is roughly classified into liquid crystal display bodies (hereinafter, LCD).
It is comprised of a loader section 2 for carrying the above) and an inspection section 3 for visually observing the carried LCD.

【0013】尚、上記検査部3に関連するものとして、
操作する操作面4と、この目視観察プローバ1を稼働さ
せるために必要な情報を入力するキーボード5と、上記
LCDを上部から観察する顕微鏡6と、上記LCDの位
置決め、すなわちアライメントする過程を写し出す表示
装置7とが上記目視観察プローバ1の上方後部の筺体上
に配置されている。
Incidentally, as related to the inspection section 3,
An operation surface 4 to be operated, a keyboard 5 for inputting information necessary for operating the visual observation prober 1, a microscope 6 for observing the LCD from above, and a display showing a process of positioning, that is, aligning the LCD. The device 7 and the device 7 are arranged on the upper rear housing of the visual observation prober 1.

【0014】上記ローダ部2と検査部3とは併列して一
対に構成されているが、LCDの搬送方向の傾きが異っ
ている。例えばローダ部2側では水平方向に二次元的に
移動搬送するのに対し、検査部3側では傾斜された傾斜
面、例えば45°の傾斜面に対して二次元的に移送する
ようになっている。また上記検査部3は傾斜された構成
なので、上記ローダ部2からLCDを受け取った後に、
このLCDを傾斜させて検査部3まで移送するようにな
っている。
Although the loader unit 2 and the inspection unit 3 are arranged in parallel to form a pair, the inclination of the LCD in the carrying direction is different. For example, the loader unit 2 side moves and conveys two-dimensionally in the horizontal direction, while the inspection unit 3 side conveys two-dimensionally to a tilted inclined surface, for example, an inclined surface of 45 °. There is. Moreover, since the inspection unit 3 is inclined, after receiving the LCD from the loader unit 2,
The LCD is tilted and transferred to the inspection unit 3.

【0015】上記ローダ部2は図2で示すように、例え
ば4インチ角のLCD8を多数間隔を設けて並列方向に
収容しているカセット9よりLCD8を取出し、検査部
3側の移送部14に受け渡す位置まで搬送し、上記LC
D8をプリアライメント板10でプリアライメントし、
サブチャック11頂面上に吸着したのち、所定高さ位置
まで上昇させて上記検査部3側の移送部14に移送され
るのを待つ状態に維持させる。また検査部3で検査終了
したLCD8が移送されてきて、サブチャック11上に
載置されると、このLCD8をカセット9内に戻すよう
に搬送するものである。ここで所定位置とはサブチャッ
ク11の頂面上の回転中心と共にプリアライメントする
位置でもある。
As shown in FIG. 2, the loader unit 2 takes out the LCD 8 from the cassette 9 which accommodates, for example, a large number of 4-inch LCDs 8 in a parallel direction with a plurality of intervals therebetween, and transfers them to the transfer unit 14 on the inspection unit 3 side. Carry it to the position where it will be delivered
Pre-align D8 with the pre-alignment plate 10,
After being adsorbed on the top surface of the sub chuck 11, it is raised to a predetermined height position and kept in a state of waiting for being transferred to the transfer section 14 on the inspection section 3 side. Further, when the LCD 8 that has been inspected by the inspection unit 3 is transferred and placed on the sub chuck 11, the LCD 8 is conveyed so as to be returned into the cassette 9. Here, the predetermined position is also a position for pre-alignment with the center of rotation on the top surface of the sub chuck 11.

【0016】上記プリアライメント板10は、上述した
操作面4側近傍に配置した昇降部12のサブチャック1
1位置と、一定の距離L離れた位置に設けられている。
この距離L離れた位置を一般にプリアライメント板10
のホームポジション10aという。
The pre-alignment plate 10 is the sub chuck 1 of the elevating part 12 arranged near the operation surface 4 side.
It is provided at a position away from one position by a fixed distance L.
Generally, the pre-alignment plate 10 is located at a position separated by this distance L.
Home position 10a.

【0017】上記プリアライメント板10面がLCD8
面と平行に形成されている。また上記サブチャック11
の回転中心25aが、上記プリアライメント板中心10
dが重なるように搬送可能になっている。
The surface of the pre-alignment plate 10 is the LCD 8
It is formed parallel to the surface. In addition, the sub chuck 11
The rotation center 25a of the
It can be conveyed so that d overlaps.

【0018】また、上記サブチャック11と上記プリア
ライメント板10の中心が重なったとき、上記サブチャ
ック11が上下動昇降の時に通過可能にさせるため、上
記プリアライメント板10の中心にはU字形溝部10b
が切欠されている。
When the centers of the sub-chuck 11 and the pre-alignment plate 10 are overlapped with each other, the sub-chuck 11 is allowed to pass through during vertical movement up and down. 10b
Is cut out.

【0019】上記検査部3について説明する。次に上記
検査部3は図2に示すように、上述したローダ部2側の
サブチャック11に載置したLCD8を検査部3の下側
に設けられた移送部14の把持装置が把持し、傾斜させ
る構造を有した回動部(図示せず)を介して、検査中心
16位置まで移動させる。移動してきたLCD8は、検
査中心16位置に配置されている支持台17に受け渡さ
れる。受け渡されたLCD8は支持台17の真空圧で吸
着されて固着される。
The inspection unit 3 will be described. Next, as shown in FIG. 2, the inspection unit 3 holds the LCD 8 mounted on the sub chuck 11 on the side of the loader unit 2 by the holding device of the transfer unit 14 provided below the inspection unit 3, It is moved to the position of the inspection center 16 via a rotating portion (not shown) having a structure for inclining. The LCD 8 that has moved is delivered to the support base 17 arranged at the position of the inspection center 16. The delivered LCD 8 is adsorbed and fixed by the vacuum pressure of the support table 17.

【0020】上記LCD8が固着された支持台7をZ軸
方向に上昇させて、ヘッドプレート18に設けられたプ
ローブ端子電極19に上記LCD8の電極を接触させる
まで上昇させる。
The support base 7 to which the LCD 8 is fixed is raised in the Z-axis direction until the electrode of the LCD 8 is brought into contact with the probe terminal electrode 19 provided on the head plate 18.

【0021】上記LCD8は通電されたプローブ端子電
極19を介してLCD8の画素が支持台17の支持台面
に敷設されているバックライトと称する照明により色彩
が表示されることになる。そして、この色彩を観察手
段、例えば顕微鏡6等で観察検査するものである。
Colors are displayed on the LCD 8 by illumination called a backlight in which the pixels of the LCD 8 are laid on the surface of the supporting base 17 through the probe terminal electrodes 19 which are energized. Then, this color is observed and inspected by an observing means such as a microscope 6.

【0022】上記に述べたローダ部2及び検査部3の移
動駆動は、予め記憶されているプログラムに従って実行
されている。次に、本実施例、液晶表示体プローバ1に
用いた上記検査部3の特徴的構成は、図1に示す如く、
上記LCD8を上面に支持する支持台17をプローブ装
置である装置本体20に基台24を介して設ける一方、
この支持台17の移動によりLCD8の電極に接触して
通電するプローブ端子電極19を裏面に有したヘッドプ
レート18と、この時のLCD8の画素の色彩等の特性
状態をオペレータが覗いて目視観察するための観察手段
としての顕微鏡6とを、それぞれ前記基台24に支持さ
せて設け、更に、その基台24を装置本体20に対し水
平な回転軸25aを中心に起倒方向に回動せしめて前記
支持台17とプローブ端子電極19付きヘッドプレート
18と顕微鏡6との三者の傾き角度を一体的に可変調整
する傾斜駆動機構25を設けている構成である。
The movement drive of the loader unit 2 and the inspection unit 3 described above is executed according to a program stored in advance. Next, the characteristic configuration of the inspection unit 3 used in the liquid crystal display prober 1 of the present embodiment is as shown in FIG.
A support base 17 for supporting the LCD 8 on the upper surface is provided on a device main body 20 which is a probe device via a base 24,
The head plate 18 having a probe terminal electrode 19 on the back surface that contacts the electrodes of the LCD 8 and is energized by the movement of the support 17 and the characteristic state such as the color of the pixels of the LCD 8 at this time are visually observed by an operator. A microscope 6 as an observing means for supporting the microscope is provided on the base 24, and the base 24 is rotated in the up-and-down direction about a rotary shaft 25a horizontal to the apparatus body 20. A tilt drive mechanism 25 for integrally variably adjusting the tilt angles of the support table 17, the head plate 18 with the probe terminal electrode 19, and the microscope 6 is provided.

【0023】なお、前記基台24は、支持台17を傾斜
した基台面21に沿ってボールスクリュー22により移
動可能に支持していると共に、前記プローブ端子電極1
9付きヘッドプレート18を、該プローブ端子電極19
が支持台17上面のLCD8の電極と接触する定位置に
支持し、且つ前記観察手段としての顕微鏡6を支持台1
7上面のLCD8の表面と常に直交する方向に配する位
置に支持して、それら支持台17とプローブ端子電極1
9付きヘッドプレート18と顕微鏡6との三者の相対位
置を常に一定に保つ。
The base 24 movably supports the support 17 along the inclined base surface 21 by the ball screw 22, and the probe terminal electrode 1
The head plate 18 with the probe terminal electrode 19
Is supported at a fixed position on the upper surface of the support 17 in contact with the electrodes of the LCD 8, and the microscope 6 as the observation means is supported by the support 1.
The support base 17 and the probe terminal electrode 1 are supported at a position which is always arranged in a direction orthogonal to the surface of the LCD 8 on the upper surface of the LCD 7.
The relative positions of the three of the head plate with 9 9 and the microscope 6 are always kept constant.

【0024】上記傾斜駆動機構25は、基台24の側端
部を中心として回転する駆動軸25aと、この回転軸2
5aを中心として基台24を回動させる回動部26とか
ら構成されている。
The tilt drive mechanism 25 includes a drive shaft 25a which rotates about a side end of the base 24 and a rotary shaft 2a.
It is composed of a rotating portion 26 for rotating the base 24 around 5a.

【0025】上記回転軸25aは、液晶表示体プローバ
1の基台24部分が回動によって納まる中空部27側に
立設した軸受に軸架されている。この軸架された回転軸
25aに垂直面方向に回転自在に基台24の側端部が軸
着されている。
The rotary shaft 25a is mounted on a bearing which is erected on the hollow portion 27 side where the base 24 of the liquid crystal display prober 1 is housed by the rotation. A side end portion of the base 24 is rotatably mounted on the rotating shaft 25a that is rotatably mounted in the vertical direction.

【0026】従って、液晶表示体プローバ1の後方に掘
り込むように設けられている中空部27の回動部26の
回転軸25aを中心に基台24が操作部4側に起上げる
ことができるようになっている。
Therefore, the base 24 can be lifted up to the operation portion 4 side around the rotation shaft 25a of the rotation portion 26 of the hollow portion 27 provided so as to be dug behind the liquid crystal display prober 1. It is like this.

【0027】上記回動部26は上記基台24の側端部が
軸着された回転軸25aからR距離、離れた位置に配設
されている。すなわち、上記基台24の側端部からR距
離、離れた位置に回動される回動片28が垂直面方向で
基台24に設けられている。
The rotating portion 26 is disposed at a position separated from the rotary shaft 25a, to which the side end portion of the base 24 is attached, by an R distance. That is, a turning piece 28 that is turned to a position separated by R distance from the side end of the base 24 is provided on the base 24 in the vertical plane direction.

【0028】上記回動片28には内接円29が設けられ
ている。この内接円に沿って内接ギア30が刻まれてい
る。この内接ギア30と噛合されるギア31が設けら
れ、このギア31が回転すると上記回動片28が従属的
に回動される。すなわち、上記回転軸25aを中心にし
て基台24が垂直面方向に回動されることになる。
The rotating piece 28 is provided with an inscribed circle 29. An inscribed gear 30 is carved along the inscribed circle. A gear 31 that meshes with the internal gear 30 is provided, and when the gear 31 rotates, the rotating piece 28 is subordinately rotated. That is, the base 24 is rotated about the rotary shaft 25a in the vertical direction.

【0029】上記ギア31の中心には、上記基台24、
ヘッドプレート18及び顕微鏡6等の荷重をすべて回動
させることのできる駆動力を有する駆動部材(図示せ
ず)例えば電動モータ空気圧のシリンダ等を液晶表示体
プローバ1側の基体構造体に設けられている。
At the center of the gear 31, the base 24,
A driving member (not shown) having a driving force capable of rotating all the loads of the head plate 18 and the microscope 6 is provided on the base structure on the liquid crystal display prober 1 side, for example, an electric motor pneumatic cylinder or the like. There is.

【0030】上記ギア31はウオームギアが適切である
が、限定することはない。上記ギア31と連動している
駆動部(図示せず)が非常時の安全対策として、基台2
4が回動方向に落下しても破損しないようにダンパ32
を基台24の下方に設けられている。また、上記基台2
4が非常時の安全対策として、後方をすべてカバーまた
はアミ部材33で囲むようにしても良い。
A worm gear is suitable as the gear 31, but the gear 31 is not limited thereto. The drive unit (not shown) that is interlocked with the gear 31 is used as a safety measure in an emergency.
Damper 32 so that it will not be damaged even if 4 falls in the rotating direction
Is provided below the base 24. In addition, the base 2
As a safety measure in case of 4 in case of emergency, the entire rear side may be surrounded by a cover or a mesh member 33.

【0031】上述したヘッドプレート18にプローバ端
子電極19が設けられており、このプローバ端子電極1
9がLCD8の電極と接触しているか、否かを顕微鏡6
等で観察されるように透視窓としての中空部18aが設
けられている。この中心部18aからゴミ、チリ等の粉
塵が入り込む場合、この中空部18aを覆うように透明
体または半透明体の部材18bを挿着しても良い。この
透明体は、ガラス部材であっても、ガラス部材の中心に
中心を示すマークが記載または刻まれてても良い。また
蝶番等の回転駆動部を設け開閉するようにしても良い。
A prober terminal electrode 19 is provided on the above-mentioned head plate 18, and this prober terminal electrode 1
The microscope 6 determines whether or not 9 is in contact with the electrodes of the LCD 8.
A hollow portion 18a as a see-through window is provided as observed in FIG. When dust such as dust or dust enters from the central portion 18a, a transparent or semi-transparent member 18b may be inserted so as to cover the hollow portion 18a. This transparent body may be a glass member, or a mark indicating the center may be written or engraved at the center of the glass member. Alternatively, a rotary drive unit such as a hinge may be provided to open and close.

【0032】次に作用について説明する。ローダ部2
で、カセット9より一枚のLCD8を取出し、これをプ
リアライメントした後にローダ部2のサブチャック11
にLCD8が受け渡され、このサブチャック11が所定
高さまで上昇する。また検査部3では移送部26に設け
られた把持装置15で上記サブチャック11の所定高さ
まで上昇して停止しているLCD8を把持して、検査中
心16まで移動し、検査中心16の支持台17に吸着し
てプローブ端子電極19を接触させたのち、通電してL
CD8の目視観察検査することになる。
Next, the operation will be described. Loader section 2
Then, one LCD 8 is taken out from the cassette 9, pre-aligned, and then the sub chuck 11 of the loader unit 2
The LCD 8 is delivered to the sub chuck 11, and the sub chuck 11 is raised to a predetermined height. Further, in the inspection unit 3, the gripping device 15 provided in the transfer unit 26 grips the LCD 8 which has risen to a predetermined height of the sub chuck 11 and is stopped, moves to the inspection center 16, and supports the inspection center 16. After adsorbing to 17 and contacting the probe terminal electrode 19, energize to L
CD8 will be visually inspected.

【0033】本実施例の特徴的な作用は図1に示すよう
に、上記顕微鏡6でLCD8の画素状態を観察する際に
上記顕微鏡6の位置が移動させて観察する必要が生じた
ときに、例えば観察位置Aから他の観察位置Bに異った
場合に傾斜角θ°を上述したキーボード5を介して移動
情報を操作入力を行うことになる。
As shown in FIG. 1, the characteristic function of this embodiment is that when the position of the microscope 6 needs to be moved when observing the pixel state of the LCD 8 with the microscope 6, For example, when the observation position A is changed to another observation position B, movement information is input by operating the tilt angle θ ° via the keyboard 5 described above.

【0034】上記操作入力に従って、液晶表示体プロー
バ1は内蔵しているCPU(図示せず)が稼働し、基台
24の角度を入力情報に従って駆動することになる。上
記液晶表示体プローバ1内の基台24が操作入力に基づ
いて基台24の角度に設定することになる。上記角度設
定された状態でLCD8の表面上の画素を観察すること
になる。以上で液晶表示体プローバ1の作用についての
説明を終る。
In accordance with the above-mentioned operation input, the CPU (not shown) incorporated in the liquid crystal display prober 1 operates, and the angle of the base 24 is driven according to the input information. The base 24 in the liquid crystal display prober 1 is set to the angle of the base 24 based on the operation input. Pixels on the surface of the LCD 8 are observed with the angle set. This completes the description of the operation of the liquid crystal display prober 1.

【0035】上述した液晶表示体プローバ1に用いてい
る支持台17に設けたバックライト機構37、及びこの
支持台17にLCD8を物理的に把持する別の構造につ
いて述べると、上記支持台17には、図3に示すように
バックライトの照明体、例えば蛍光灯34を交換可能に
設けられている。
The backlight mechanism 37 provided on the support 17 used in the above-mentioned liquid crystal display prober 1 and another structure for physically holding the LCD 8 on the support 17 will be described below. Is provided so that the illumination body of the backlight, for example, the fluorescent lamp 34 can be replaced as shown in FIG.

【0036】即ち、上記支持台17は、LCD8を載置
して支持する支持面17aには半透明体のスリガラス3
5が上記支持面と平坦に設けられている。さらに支持台
17の中空部36にバックライト機構37が挿着自在に
設け、照明体破損交換に対応している。
That is, the supporting table 17 has a semi-transparent frosted glass 3 on the supporting surface 17a on which the LCD 8 is mounted and supported.
5 is provided flat with the support surface. Further, a backlight mechanism 37 is provided in the hollow portion 36 of the support stand 17 so as to be freely inserted and attached, so that the illumination body can be damaged and replaced.

【0037】上記バックライト機構37の構成は、蛍光
灯34のソケットを台部37aに2ケ所設けられてい
る。さらに、上記台部34aが支持台17と挿着する際
に、一時固定するノッチ溝が設けられている。
In the structure of the backlight mechanism 37, two sockets for the fluorescent lamp 34 are provided on the base portion 37a. Further, a notch groove is provided for temporarily fixing the base portion 34a when the base portion 34a is inserted into the support base 17.

【0038】また、上記支持台17の上記バックライト
機構37が挿着する孔の出口側のノッチ部材のボール部
の半分より少ない部分が突出しており、このボール部が
上記ノッチ溝にはまり込むようにして構成されている。
従って、蛍光灯34の交換はバックライト機構37のツ
マミ37bを持って孔に沿って引き出すと、ノッチ部材
のバネ37cが押されて、上記バックライト機構37が
引き抜かれ交換可能になる。ここで、上記バックライト
機構37の電流を供給するコード37dは、ツマミ37
b方向に配置した方が良い。このようにバックライト機
構37を支持台17と挿着可能に構成すると、支持台1
7の蛍光灯が破損しても支持台17全体を外して修理す
る時間より非常に早く保守が可能になる。
Further, less than half of the ball portion of the notch member on the outlet side of the hole into which the backlight mechanism 37 is inserted in the support base 17 projects, and the ball portion is fitted into the notch groove. It is configured.
Therefore, when the fluorescent lamp 34 is replaced by pulling out the knob 37b of the backlight mechanism 37 along the hole, the spring 37c of the notch member is pushed and the backlight mechanism 37 is pulled out and can be replaced. Here, the cord 37d for supplying the current of the backlight mechanism 37 is a knob 37d.
It is better to place it in the b direction. In this way, when the backlight mechanism 37 is configured to be attachable to the support base 17, the support base 1
Even if the fluorescent lamp 7 is damaged, maintenance can be performed much faster than the time required to remove the entire support stand 17 for repair.

【0039】上述した支持台17にLCD8を真空圧で
吸着しているが、真空圧を使用できない場合、または使
用したくない場合のLCD8の固定手段は例えば、図4
に示すように支持台17の側部に突出させた軸回転され
る軸受にはL形状の把持部材38が揺動自在に設けられ
ている。この部材の一端面がLCD8表面と接触するよ
うに設けられ、他端面は圧縮バネ39が落下しないよう
に設けられ、上記LCD8を押え込むように設けられて
いる。
Although the LCD 8 is sucked on the support base 17 by the vacuum pressure as described above, the fixing means of the LCD 8 when the vacuum pressure cannot be used or is not desired to be used is, for example, as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, an L-shaped gripping member 38 is swingably provided on the shaft-rotated bearing which is projected to the side of the support base 17. One end surface of this member is provided so as to come into contact with the surface of the LCD 8, and the other end surface is provided so that the compression spring 39 does not drop, and is provided so as to press down the LCD 8.

【0040】上記の把持部材38が支持台17の両端に
設けられ、LCD8の両端を把持するように設けられて
いる。上記に述べた把持方向を支持台17に設けても良
い。上記実施例の効果は、支持台17を傾斜された平面
と平行に移動させる基台24が角度制御されるので、こ
の基台24に設けられている顕微鏡6自身も一諸に回動
するので観察方向が常に支持面17aと直交しているの
で、角度制御後の支持面と観察方向とを合わせる必要が
ないので操作が容易になる。上記操作入力に従って自動
的に基台24の角度調整が可能なので、観察作業を短時
間で終了させることができる。
The above-mentioned gripping members 38 are provided at both ends of the support base 17 so as to grip both ends of the LCD 8. The gripping direction described above may be provided on the support base 17. The effect of the above embodiment is that since the base 24 for moving the support 17 in parallel with the inclined plane is controlled in angle, the microscope 6 itself provided on the base 24 also pivots. Since the observation direction is always orthogonal to the support surface 17a, it is not necessary to match the support surface after the angle control with the observation direction, which facilitates the operation. Since the angle of the base 24 can be automatically adjusted according to the operation input, the observation work can be completed in a short time.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明によれば、バックライトされた液
晶表示体を載置面に支持し、液晶表示体の特性を目視観
察する検査装置において、カセットに収納された液晶表
示体をローダ部によって取出し、検査部に受け渡すと共
に、移送部で液晶表示体のプリアライメントを行った
後、検査部に吸着された液晶表示体をプローブ端子との
接触位置に位置合わせすることが自動的に行え、かつ液
晶表示体をプローブ端子に確実に接触させて液晶表示体
を点灯させることにより、液晶表示体の特性を正確に目
視検査することができる。
According to the present invention, in a tester for supporting a backlit liquid crystal display on a mounting surface and visually observing the characteristics of the liquid crystal display, the loader unit is used to load the liquid crystal display housed in a cassette. It is possible to automatically align the liquid crystal display attached to the probe terminal to the contact position with the probe terminal after pre-aligning the liquid crystal display with the transfer section while taking it out and delivering it to the inspection section. In addition, the characteristics of the liquid crystal display can be visually inspected accurately by bringing the liquid crystal display into contact with the probe terminals and turning on the liquid crystal display.

【0042】しかも、観察する観察方向が異る時に、上
記観察方向が異った角度分だけ、上記検査部を傾斜駆動
して観察方向が液晶表示体表面を直交状態に設定駆動す
る傾斜駆動機構を設けたので、上記観察方向が異って
も、この観察方向に液晶表示体を支持する支持面が、上
記観察方向と直交するように傾斜駆動されて観察するこ
とができる。したがって、オペレータがそれぞれ自分に
合った目線高さ・方向を選択できて、楽な姿勢で液晶表
示体の画素特性を正しく観察検査できるという効果があ
る。
Moreover, when the observation direction to be observed is different, the tilt drive mechanism drives the inspection section to be tilted by an angle corresponding to the difference in the observation direction to set the surface of the liquid crystal display body to the orthogonal state. Even if the observation direction is different, the supporting surface for supporting the liquid crystal display in this observation direction can be tilted so as to be orthogonal to the observation direction for observation. Therefore, there is an effect that the operator can select the line-of-sight height and direction that suits himself or herself, and can correctly observe and inspect the pixel characteristics of the liquid crystal display in a comfortable posture.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の液晶表示体の検査装置の一実施例を示
す縦断側面図。
FIG. 1 is a vertical sectional side view showing an embodiment of a liquid crystal display inspecting device according to the present invention.

【図2】同実施例の液晶表示体の検査装置の斜視図。FIG. 2 is a perspective view of the liquid crystal display inspecting device according to the embodiment.

【図3】同実施例のバックライト機構の縦断側面図。FIG. 3 is a vertical sectional side view of the backlight mechanism of the embodiment.

【図4】同実施例の支持台の変形例を示す縦断正面図。FIG. 4 is a vertical sectional front view showing a modified example of the support base of the embodiment.

【図5】同実施例の液晶表示体の検査装置の外観を示す
斜視図。
FIG. 5 is a perspective view showing the external appearance of the liquid crystal display inspection device according to the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示体プローバ、2…ローダ部、3…検査部、
6…顕微鏡、7…表示装置、8…LCD、9…カセッ
ト、17…支持台、17a…支持面、18…ヘッドプレ
ート、18a…中空部、18b…透明(半透明)体、2
0…プローバ装置、24…基台、25…回動軸、25a
…回転軸、26…回動部、27…中空部、28…回動
片、29…内接円、30…内接ギア、31…ギア、34
…蛍光灯、37…バックライト機構、37a…台部。
1 ... Liquid crystal display prober, 2 ... Loader section, 3 ... Inspection section,
6 ... Microscope, 7 ... Display device, 8 ... LCD, 9 ... Cassette, 17 ... Support stand, 17a ... Support surface, 18 ... Head plate, 18a ... Hollow part, 18b ... Transparent (semi-transparent) body, 2
0 ... Prober device, 24 ... Base, 25 ... Rotating shaft, 25a
... rotary shaft, 26 ... rotating part, 27 ... hollow part, 28 ... rotating piece, 29 ... inscribed circle, 30 ... inscribed gear, 31 ... gear, 34
... Fluorescent lamp, 37 ... Backlight mechanism, 37a ... Stand.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源によって照明された載置面を有する
と共に液晶表示体を吸着する手段を有する検査部と、複
数枚の被検査液晶表示体を収納したカセットが載置され
るローダ部と、このローダ部の前記カセットから前記液
晶表示体を取出し前記検査部に受け渡す移送部と、この
移送部で前記液晶表示体のプリアライメントを行うプリ
アライメント手段と、前記検査部に吸着された液晶表示
体をプローブ端子との接触位置に位置合わせする位置合
わせ手段と、前記液晶表示体をプローブ端子に接触させ
液晶表示体を点灯させて目視検査する観察手段とを具備
したことを特徴とする液晶表示体の検査装置。
1. An inspection section having a mounting surface illuminated by a light source and having means for adsorbing a liquid crystal display, a loader section on which a cassette containing a plurality of liquid crystal display bodies to be inspected is mounted. A transfer unit that takes out the liquid crystal display body from the cassette of the loader unit and transfers the liquid crystal display unit to the inspection unit, a pre-alignment unit that pre-aligns the liquid crystal display unit by the transfer unit, and a liquid crystal display sucked by the inspection unit. A liquid crystal display comprising: an alignment means for aligning a body with a contact position with a probe terminal; and an observation means for visually inspecting the liquid crystal display body by bringing the liquid crystal display body into contact with the probe terminal to light the liquid crystal display body. Body inspection device.
【請求項2】 前記検査部、位置合わせ手段および観察
手段の三者の傾き角度を一体的に可変調整する傾斜駆動
機構を設けたことを特徴とする請求項1記載の液晶表示
体の検査装置。
2. A liquid crystal display inspecting apparatus according to claim 1, further comprising a tilt drive mechanism for integrally and variably adjusting tilt angles of the inspection unit, the alignment unit and the observation unit. .
【請求項3】 観察手段は、オペレータが目視観察する
ために覗く顕微鏡又は透視窓であることを特徴とする請
求項1記載の液晶表示体の検査装置。
3. The liquid crystal display inspecting device according to claim 1, wherein the observing means is a microscope or a see-through window that an operator looks through for visual observation.
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