JPH085359A - Belt driving gear - Google Patents

Belt driving gear

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JPH085359A
JPH085359A JP6155396A JP15539694A JPH085359A JP H085359 A JPH085359 A JP H085359A JP 6155396 A JP6155396 A JP 6155396A JP 15539694 A JP15539694 A JP 15539694A JP H085359 A JPH085359 A JP H085359A
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JP
Japan
Prior art keywords
belt
guide
axis guide
axis
pulley
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6155396A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fusao Shimizu
房生 清水
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH085359A publication Critical patent/JPH085359A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a belt driving gear which prevents the deformation of a guide due to the tension of a belt and in which the straightness of the guide can be maintained. CONSTITUTION:A driving pulley 13 is supported by one edge 6c of an X-axis guide 6 so as to be rotatable, a follower pulley 14 is supported by the other edge 6d of the X-axis guide 6 so as to be rotatable, and the X-axis guide 6 is surrounded by a belt 15. The center line of the X-axis guide 6 and the center line of the belt 15 are situated inside the same vertical plane, the tension of the belt 15 does not act as a bending moment in the horizontal direction with reference to the X-axis guide 6, and it acts as a compressive force in the length direction of the X-axis guide 6. As a result, the deformation in the horizontal direction of the X-axis guide 6 is hardly generated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はベルト駆動装置に関
し、特に三次元測定装置の駆動装置として好適なベルト
駆動装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a belt driving device, and more particularly to a belt driving device suitable as a driving device for a three-dimensional measuring device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来のベルト駆動装置を示す斜視
図、図6は図5のベルト駆動装置を備えた三次元測定装
置を示す斜視図である。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a perspective view showing a conventional belt driving device, and FIG. 6 is a perspective view showing a three-dimensional measuring device having the belt driving device shown in FIG.

【0003】測定対象物を載せる定盤202上には門型
構造体207が取り付けられている。門型構造体207
は、支柱204と支柱205と両支柱204,205の
上部に架け渡されたX軸ガイド206とで構成されてい
る。定盤202の片側にはY軸ガイドレール203が敷
設され、Y軸ガイドレール203には支柱205の下部
が図示しないエアベアリングを介してY軸方向に移動可
能に嵌合している。支柱204の下部は図示しないエア
ベアリングを介して移動可能であり、X軸ガイド206
にはX軸キャリッジ208が図示しないエアベアリング
を介して移動可能に取り付けられ、X軸キャリッジ20
8は図示しないエアベアリングを介してZ軸スピンドル
209をZ軸方向に移動可能に支持している。Z軸スピ
ンドル209の下端には測定子210が取り付けられて
いる。
A gate-type structure 207 is attached on a surface plate 202 on which an object to be measured is placed. Gate structure 207
Is composed of a support column 204, a support column 205, and an X-axis guide 206 bridged above the support columns 204, 205. A Y-axis guide rail 203 is laid on one side of the surface plate 202, and a lower portion of a column 205 is fitted on the Y-axis guide rail 203 so as to be movable in the Y-axis direction via an air bearing (not shown). The lower part of the column 204 is movable via an air bearing (not shown), and the X-axis guide 206
An X-axis carriage 208 is movably attached to the X-axis carriage 20 via an air bearing (not shown).
Reference numeral 8 supports a Z-axis spindle 209 via an air bearing (not shown) so as to be movable in the Z-axis direction. A tracing stylus 210 is attached to the lower end of the Z-axis spindle 209.

【0004】この三次元測定装置では、定盤202上の
測定物対象物に対する測定子210の相対的移動量から
測定物対象物の形状・寸法などに関する座標測定を行
う。
In this three-dimensional measuring device, coordinate measurement is performed on the shape and size of the object to be measured from the relative movement amount of the probe 210 with respect to the object to be measured on the surface plate 202.

【0005】X,Y,Zの各軸に沿って移動する測定子
210の軌跡と直線(各軸)との間に誤差が生じると、
その誤差は測定誤差となって現れる。したがって、高精
度の座標測定を行うためには、X軸ガイド206にX,
Y,Zの各軸に沿う高い平面度又は真直性が要求され
る。
When an error occurs between the straight line (each axis) and the trajectory of the tracing stylus 210 that moves along each of the X, Y, and Z axes,
The error appears as a measurement error. Therefore, in order to perform highly accurate coordinate measurement, X, X
High flatness or straightness along the Y and Z axes is required.

【0006】X軸ガイド206の背面206aには、図
5及び図6に示すように、X軸キャリッジ208をX軸
ガイド206に沿って移動させる駆動装置218が設け
られている。駆動装置218は、X軸ガイド206の長
手方向の一端側に位置する駆動プ−リ213と、X軸ガ
イド206の長手方向の他端側に位置する従動プ−リ2
14と、駆動プ−リ213及び従動プ−リ214間に掛
けられたベルト215と、駆動プ−リ213を回転駆動
するモ−タ217とを備えている。ベルト215とX軸
キャリッジ208とは連結部材216によって連結され
ており、X軸キャリッジ208は駆動プ−リ213の回
転に従ってX軸ガイド206上を移動する。
As shown in FIGS. 5 and 6, a drive device 218 for moving the X-axis carriage 208 along the X-axis guide 206 is provided on the back surface 206a of the X-axis guide 206. The drive device 218 includes a drive pulley 213 located on one end side in the longitudinal direction of the X-axis guide 206 and a driven pulley 2 located on the other end side in the longitudinal direction of the X-axis guide 206.
14, a belt 215 hung between the driving pulley 213 and the driven pulley 214, and a motor 217 for rotationally driving the driving pulley 213. The belt 215 and the X-axis carriage 208 are connected by a connecting member 216, and the X-axis carriage 208 moves on the X-axis guide 206 in accordance with the rotation of the drive pulley 213.

【0007】駆動プ−リ213は支持部材211によっ
て回転自在に支持され、従動プ−リ214は支持部材2
12によって回転自在に支持されている。支持部材21
1はX軸ガイド206の背面206aに固定され、支持
部材211と支持部材212とはテンションバー219
を介して連結されている。テンションバー219によっ
てベルト215の剛性を確保している。
The drive pulley 213 is rotatably supported by the support member 211, and the driven pulley 214 is supported by the support member 2.
It is rotatably supported by 12. Support member 21
1 is fixed to the back surface 206a of the X-axis guide 206, and the support member 211 and the support member 212 have a tension bar 219.
Are connected via The tension bar 219 ensures the rigidity of the belt 215.

【0008】上述の三次元測定装置においては、両支持
部材211,212のうち、駆動プ−リ213側の支持
部材211だけをX軸ガイド206に固定し、その支持
部材211だけでテンションバー219を含む駆動装置
218の全体を支える構造を採用することによって、両
方の支持部材211,212をX軸ガイド206にそれ
ぞれ固定する構造の駆動装置の問題点、すなわちベルト
215の張力がX軸ガイド206に曲げモーメントとし
て作用してX軸ガイド206の真直性を失わせるという
問題点を解消することを企図している。
In the above-described three-dimensional measuring apparatus, of the two supporting members 211 and 212, only the supporting member 211 on the drive pulley 213 side is fixed to the X-axis guide 206, and the tension bar 219 is fixed only by the supporting member 211. By adopting a structure for supporting the entire drive device 218 including the above, the problem of the drive device having a structure in which both support members 211 and 212 are respectively fixed to the X-axis guide 206, that is, the tension of the belt 215 causes the X-axis guide 206 to move. It is intended to eliminate the problem that the X-axis guide 206 loses its straightness by acting as a bending moment.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記テンシ
ョンバー219には、ベルト215の張力によってテン
ションバー219自体が変形しないだけの強度、更には
ベルト215の張力変動によって両プ−リ213,21
4の間隔が変化しないだけの強度が必要である。
However, the tension bar 219 has a strength such that the tension bar 219 itself is not deformed by the tension of the belt 215, and further, the tension of the belt 215 causes the pulleys 213, 21 to move.
The strength is required so that the interval of 4 does not change.

【0010】また、前述のように駆動装置218では駆
動プ−リ213側の支持部材211だけがX軸ガイド2
06に連結されているので、テンションバー219を含
む駆動装置218の全重量を支えるだけの強度がX軸ガ
イド206と駆動装置218との連結部分に要求され
る。
Further, as described above, in the drive device 218, only the support member 211 on the drive pulley 213 side is the X-axis guide 2.
Since it is connected to the X-axis guide 206, the connecting portion between the X-axis guide 206 and the drive device 218 is required to have sufficient strength to support the entire weight of the drive device 218 including the tension bar 219.

【0011】したがって、結局はX軸ガイド206の水
平方向の変形を招き、X軸ガイド206の真直性が失わ
れて測定精度が低くなってしまうという問題があった。
Therefore, there is a problem that the X-axis guide 206 is eventually deformed in the horizontal direction, the straightness of the X-axis guide 206 is lost, and the measurement accuracy is lowered.

【0012】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はベルトの張力によるガイドの変形
を防ぎ、ガイドの真直性を維持することができるベルト
駆動装置を提供することである。
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a belt drive device capable of preventing the guide from being deformed by the tension of the belt and maintaining the straightness of the guide. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明のベルト駆動装置は、ガイドと、
前記ガイドに沿って移動する移動部材と、前記移動部材
を所定方向に駆動する駆動装置とを備え、前記駆動装置
は、前記ガイドの一端側に位置する第1のプーリと、前
記ガイドの他端側に位置する第2のプーリと、前記第1
及び第2のプーリ間に所定の張力で掛けられ、且つ前記
移動部材に連結されたベルトとを有しているベルト駆動
装置において、前記ガイドの一方の端面に前記第1のプ
ーリが回転可能に支持され、前記ガイドの他方の端面に
前記第2のプーリが回転可能に支持され、少なくとも前
記ガイドの一部が前記ベルトに包囲されている。
In order to solve the above-mentioned problems, the belt drive device according to the invention of claim 1 is provided with a guide,
The driving device includes a moving member that moves along the guide and a driving device that drives the moving member in a predetermined direction. The driving device includes a first pulley located on one end side of the guide and the other end of the guide. The second pulley located on the side, and the first pulley
And a belt connected between the second pulley and the moving member with a predetermined tension, and a belt connected to the moving member. In the belt drive device, the first pulley is rotatably attached to one end surface of the guide. The second pulley is rotatably supported, and the second pulley is rotatably supported on the other end surface of the guide, and at least a part of the guide is surrounded by the belt.

【0014】また、請求項2記載の発明のベルト駆動装
置は、前記Xガイドは前記ベルトによって水平方向又は
垂直方向から挟まれている。
In the belt driving device according to the second aspect of the invention, the X guide is sandwiched by the belt in the horizontal direction or the vertical direction.

【0015】更に、請求項3記載の発明のベルト駆動装
置は、前記Xガイドは長手方向へ抜ける孔を有し、前記
ベルトの一部が前記孔を貫通している。
Further, in the belt driving device according to the third aspect of the present invention, the X guide has a hole extending in the longitudinal direction, and a part of the belt penetrates the hole.

【0016】[0016]

【作用】前述のように請求項1に記載のベルト駆動装置
によれば、ガイドの一方の端面に第1のプーリが回転可
能に支持され、ガイドの他方の端面に第2のプーリが回
転可能に支持され、少なくともガイドの一部がベルトに
包囲されているので、ベルトの張力がガイドに対し、水
平方向の曲げモーメントとして作用せず、ガイドの長手
方向の圧縮力として作用するので、ガイドの水平方向の
変形を防ぐことができる。
As described above, according to the belt drive device of the first aspect, the first pulley is rotatably supported on one end surface of the guide, and the second pulley is rotatable on the other end surface of the guide. Since at least a part of the guide is surrounded by the belt, the tension of the belt does not act on the guide as a bending moment in the horizontal direction but acts as a compressive force in the longitudinal direction of the guide. Horizontal deformation can be prevented.

【0017】[0017]

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1はこの発明の第1の実施例に係るベル
ト駆動装置を示す斜視図、図2は図1のベルト駆動装置
を備えた三次元測定装置を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a belt driving device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a three-dimensional measuring device equipped with the belt driving device of FIG.

【0019】図2に示すように、定盤2の上面にはY軸
ガイド3が敷設されているとともに、支柱4,5の上端
部をX軸ガイド(ガイド)6で連結してなる門型構造体
7が載置されている。支柱4と定盤2との間、並びに支
柱5とY軸ガイド3との間にはそれぞれ図示しないエア
ベアリングが配置されており、門型構造体7はY軸ガイ
ド3に案内されて定盤2上をY軸方向に移動可能であ
る。
As shown in FIG. 2, a Y-axis guide 3 is laid on the upper surface of the surface plate 2, and the upper ends of the columns 4 and 5 are connected by an X-axis guide (guide) 6 to form a gate shape. The structure 7 is placed. Air bearings (not shown) are respectively arranged between the column 4 and the surface plate 2, and between the column 5 and the Y-axis guide 3, and the gate-shaped structure 7 is guided by the Y-axis guide 3 to form the surface plate. 2 can be moved in the Y-axis direction.

【0020】X軸ガイド6の外周には、X軸キャリッジ
(移動部材)8が図示しないエアベアリングを介してX
軸方向に移動可能に取り付けられている。また、X軸キ
ャリッジ8にはZ軸スピンドル9が図示しないエアベア
リングを介してZ軸方向に移動可能に支持されており、
Z軸スピンドル9の下端には測定子10が固定されてい
る。
An X-axis carriage (moving member) 8 is attached to the outer periphery of the X-axis guide 6 via an air bearing (not shown).
It is mounted so as to be movable in the axial direction. A Z-axis spindle 9 is supported on the X-axis carriage 8 via an air bearing (not shown) so as to be movable in the Z-axis direction.
A tracing stylus 10 is fixed to the lower end of the Z-axis spindle 9.

【0021】X軸ガイド6の長手方向の両端面6c,6
dには支持部材11,12が固定されており、支持部材
11,12には駆動プ−リ(第1のプ−リ)13と従動
プ−リ(第2のプ−リ)14とが回転自在に支持されて
いる。各プ−リ13,14の回転軸はそれぞれ鉛直方向
を向いている。各プ−リ13,14にはベルト15が掛
けられており、ベルト15の両端は連結部材16a,1
6b(図1)によりX軸キャリッジ8に連結されてい
る。ベルト15は図1に示すようにX軸キャリッジ8の
全体を水平方向から包囲し、X軸ガイド6の中心線とベ
ルト15の中心線(ベルト15の長手方向の両端を結ぶ
仮想直線)が同じ鉛直面内に位置する。
Both longitudinal end faces 6c, 6 of the X-axis guide 6
Support members 11 and 12 are fixed to d, and a drive pulley (first pulley) 13 and a driven pulley (second pulley) 14 are attached to the support members 11 and 12. It is rotatably supported. The rotation axes of the pulleys 13 and 14 are oriented in the vertical direction. A belt 15 is hung on each of the pulleys 13 and 14, and both ends of the belt 15 are connected to the connecting members 16a and 1a.
It is connected to the X-axis carriage 8 by 6b (FIG. 1). The belt 15 surrounds the entire X-axis carriage 8 from the horizontal direction as shown in FIG. 1, and the center line of the X-axis guide 6 and the center line of the belt 15 (virtual straight line connecting both ends in the longitudinal direction of the belt 15) are the same. Located in the vertical plane.

【0022】駆動プ−リ13には可逆回転のモ−タ17
が連結されており、モ−タ17が回転すると、各プ−リ
13,14に掛けられたベルト15が移動し、ベルト1
5の動きに連動してX軸キャリッジ8がX軸方向に移動
する。
The drive pulley 13 has a reversible rotation motor 17
When the motor 17 rotates, the belt 15 hung on each pulley 13 and 14 moves and the belt 1
The X-axis carriage 8 moves in the X-axis direction in conjunction with the movement of 5.

【0023】前記両プ−リ13,14、ベルト15及び
モ−タ17で駆動装置18が構成される。
A drive unit 18 is constituted by both the pulleys 13 and 14, the belt 15 and the motor 17.

【0024】X軸ガイド6に駆動装置18を組み付ける
際、駆動プ−リ13と従動プ−リ14との間隔の調整に
よりベルト15の初期張力を設定するが、その初期張力
は駆動装置18の中心線(ベルト15の中心線)を作用
線とする合成力として駆動装置18の圧縮力になる。駆
動プ−リ13と従動プ−リ14とは支持部材11,12
を介してX軸ガイド6に固定されているので、駆動装置
18の中心線に働く圧縮力はX軸ガイド6に作用する。
駆動装置18の中心線とX軸ガイド6の中心線とが一致
しているので、X軸ガイド6に作用する力はX軸ガイド
6の圧縮力となる。一般に、同一断面・長さの棒状の構
造物に同等の力を印加した場合、断面中心線上に印加さ
せる圧縮状態と断面中心から外れて曲げモーメントとし
て印加させる曲げ状態とでは、圧縮状態の方が水平方向
の変形量は格段に少ない。したがって、水平方向の変形
量が少ないということは、X軸ガイド6の真直性の変化
が少ないことを意味する。
When the driving device 18 is assembled to the X-axis guide 6, the initial tension of the belt 15 is set by adjusting the distance between the driving pulley 13 and the driven pulley 14, and the initial tension of the driving device 18 is set. The combined force having the center line (the center line of the belt 15) as the action line becomes the compressive force of the drive device 18. The drive pulley 13 and the driven pulley 14 have support members 11, 12
Since it is fixed to the X-axis guide 6 via, the compressive force acting on the center line of the drive device 18 acts on the X-axis guide 6.
Since the center line of the drive device 18 and the center line of the X-axis guide 6 coincide with each other, the force acting on the X-axis guide 6 is the compressive force of the X-axis guide 6. In general, when an equivalent force is applied to a rod-shaped structure having the same cross section and length, the compressed state is better between the compressed state applied on the center line of the cross section and the bending state applied as a bending moment off the center of the cross section. The amount of horizontal deformation is extremely small. Therefore, a small amount of horizontal deformation means that the straightness of the X-axis guide 6 does not change much.

【0025】また、X軸ガイド6に沿ってX軸キャリッ
ジ8を移動させた場合、X軸キャリッジ8の慣性力に相
当する駆動力が作用してベルト15の張力が変動する
が、張力の変動はX軸ガイド6への圧縮力の変動でもあ
るので、X軸ガイド6の真直性が失われることはない。
When the X-axis carriage 8 is moved along the X-axis guide 6, the driving force corresponding to the inertial force of the X-axis carriage 8 acts to change the tension of the belt 15, but the tension changes. Is also a change in the compressive force applied to the X-axis guide 6, so that the straightness of the X-axis guide 6 is not lost.

【0026】更に、三次元測定装置の環境温度が変化し
た場合、X軸ガイド6の熱膨脹量とベルト15の熱膨脹
量との差によってベルト15の張力が変動するが、張力
の変動はX軸ガイド6への圧縮力の変動でもあるので、
X軸ガイド6の真直性が失われることはない。
Further, when the environmental temperature of the three-dimensional measuring device changes, the tension of the belt 15 changes due to the difference between the thermal expansion amount of the X-axis guide 6 and the thermal expansion amount of the belt 15. Since it is also the fluctuation of the compression force to 6,
The straightness of the X-axis guide 6 is not lost.

【0027】上述のように第1の実施例のベルト駆動装
置を備えた三次元測定装置によれば、ベルト15でX軸
キャリッジ8の全体を水平方向から包囲して、X軸ガイ
ド6の中心線とベルト15の中心線とを一致させたの
で、ベルト15の張力はX軸ガイド6に対し圧縮力とし
て作用し、X軸ガイド6の真直性が失われることがな
く、高い測定精度が得られる。
As described above, according to the three-dimensional measuring apparatus having the belt driving device of the first embodiment, the belt 15 surrounds the entire X-axis carriage 8 in the horizontal direction, and the center of the X-axis guide 6 is surrounded. Since the line and the center line of the belt 15 are aligned with each other, the tension of the belt 15 acts as a compressive force on the X-axis guide 6, and the straightness of the X-axis guide 6 is not lost, and high measurement accuracy can be obtained. To be

【0028】また、ベルト15とX軸ガイド6との熱膨
張差によるX軸ガイド6の変形を防ぐこともできる。
Further, it is possible to prevent the deformation of the X-axis guide 6 due to the difference in thermal expansion between the belt 15 and the X-axis guide 6.

【0029】なお、第1の実施例の変形例として、ベル
ト15の一部をX軸ガイド6の内部空間に貫通させ、ベ
ルト15でX軸キャリッジ8の一部を水平方向から包囲
するようにしてもよい。
As a modification of the first embodiment, a part of the belt 15 is penetrated into the internal space of the X-axis guide 6 so that the belt 15 surrounds part of the X-axis carriage 8 in the horizontal direction. May be.

【0030】図3はこの発明の第2の実施例に係るベル
ト駆動装置を示す斜視図、図4は図3のベルト駆動装置
を備えた三次元測定装置を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a belt driving device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view showing a three-dimensional measuring device equipped with the belt driving device of FIG.

【0031】前述の第1の実施例と共通する部分には同
一符号を付して説明を省略する。前述の実施例では、駆
動プ−リ13と従動プ−リ14との回転軸をそれぞれ鉛
直方向に配置し、ベルト15の両端を連結部材16a,
16bによりX軸キャリッジ8の側面部8aに連結し、
ベルト15でX軸キャリッジ8の全体を水平方向から包
囲したが、第2の実施例では、駆動プ−リ23と従動プ
−リ24との回転軸をそれぞれ水平方向に配置し、ベル
ト25の一部をX軸ガイド6の内部空間に貫通させ、ベ
ルト25の両端を連結部材26a,26bによりX軸キ
ャリッジ8の上面部8aに連結し、ベルト25でX軸ガ
イド6の上半部を垂直方向から包囲するようにした。X
軸ガイド6の中心線とベルト25の中心線とは同じ鉛直
面内に位置する。
The same parts as those of the first embodiment described above are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. In the above-described embodiment, the rotating shafts of the driving pulley 13 and the driven pulley 14 are arranged in the vertical direction, and both ends of the belt 15 are connected to the connecting members 16a,
16b is connected to the side surface 8a of the X-axis carriage 8,
Although the belt 15 surrounds the entire X-axis carriage 8 in the horizontal direction, in the second embodiment, the rotation axes of the drive pulley 23 and the driven pulley 24 are arranged in the horizontal direction, and the belt 25 is rotated. A part of the belt 25 is penetrated into the internal space of the X-axis guide 6, and both ends of the belt 25 are connected to the upper surface 8a of the X-axis carriage 8 by the connecting members 26a and 26b. I tried to be surrounded from the direction. X
The center line of the shaft guide 6 and the center line of the belt 25 are located in the same vertical plane.

【0032】この実施例では、ベルト25の張力がX軸
ガイド6に対し圧縮力として作用すると、ベルト15の
中心線とX軸ガイド6の高さ方向(Z方向)の中心面と
がずれているため、ベルト15の張力がX軸ガイド6の
高さ方向の曲げモーメントとしても作用するが、X軸ガ
イド6の断面は縦長(Z方向に長い)であり、曲げモー
メントの影響をほとんど受けない。また、X軸ガイド6
の上面にベルト15の中心線を近付けることによりX軸
ガイド6の上面に作用する曲げモーメントの影響を抑え
ることができる。
In this embodiment, when the tension of the belt 25 acts on the X-axis guide 6 as a compressive force, the center line of the belt 15 is displaced from the center plane of the X-axis guide 6 in the height direction (Z direction). Therefore, the tension of the belt 15 acts as a bending moment in the height direction of the X-axis guide 6, but the cross section of the X-axis guide 6 is vertically long (long in the Z direction) and is hardly affected by the bending moment. . Also, the X-axis guide 6
By bringing the center line of the belt 15 closer to the upper surface of the, the influence of the bending moment acting on the upper surface of the X-axis guide 6 can be suppressed.

【0033】第2の実施例のベルト駆動装置を備えた三
次元測定装置によれば、第1の実施例と同様の効果を得
ることができる。
According to the three-dimensional measuring apparatus equipped with the belt driving device of the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

【0034】なお、第2の実施例の変形例として、ベル
ト25でX軸ガイド6の全体を垂直方向から包囲するよ
うにしてもよい。
As a modification of the second embodiment, the belt 25 may surround the entire X-axis guide 6 in the vertical direction.

【0035】上述の各実施例では帯状のベルト15,2
5を用いた場合について述べたが、これに代え、エンド
レスベルトを用いるようにしてもよい。
In each of the above-mentioned embodiments, belt-shaped belts 15 and 2
Although the case of using No. 5 has been described, an endless belt may be used instead of this.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したようにこの発明の請求項1
に記載のベルト駆動装置によれば、ベルトの張力がガイ
ドに対して水平方向の曲げモーメントとして作用せず、
ガイドの長手方向の圧縮力として作用するので、ガイド
の水平方向の変形がほとんどなくなり、ガイドの真直性
が確保される。
As described above, the first aspect of the present invention is as follows.
According to the belt drive device described in (1), the tension of the belt does not act as a bending moment in the horizontal direction with respect to the guide,
Since the guide acts as a compressive force in the longitudinal direction, the guide is hardly deformed in the horizontal direction, and the straightness of the guide is secured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1はこの発明の第1の実施例に係るベルト駆
動装置を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a belt drive device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図2は図1のベルト駆動装置を備えた三次元測
定装置の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a three-dimensional measuring device including the belt driving device of FIG.

【図3】図3はこの発明の第2の実施例に係るベルト駆
動装置を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a belt driving device according to a second embodiment of the present invention.

【図4】図4は図2のベルト駆動装置を備えた三次元測
定装置の斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of a three-dimensional measuring apparatus including the belt driving device of FIG.

【図5】図5は従来のベルト駆動装置を示す斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view showing a conventional belt driving device.

【図6】図6は図5のベルト駆動装置を備えた三次元測
定装置の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of a three-dimensional measuring apparatus including the belt driving device of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 X軸ガイド 8 X軸キャリッジ 13,23 駆動プ−リ 14,24 従動プ−リ 15,25 ベルト 6 X-axis guide 8 X-axis carriage 13,23 Drive pulley 14,24 Driven pulley 15,25 Belt

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガイドと、 前記ガイドに沿って移動する移動部材と、 前記移動部材を所定方向に駆動する駆動装置とを備え、 前記駆動装置は、前記ガイドの一端側に位置する第1の
プーリと、前記ガイドの他端側に位置する第2のプーリ
と、前記第1及び第2のプーリ間に所定の張力で掛けら
れ、且つ前記移動部材に連結されたベルトとを有してい
るベルト駆動装置において、 前記ガイドの一方の端面に前記第1のプーリが回転可能
に支持され、前記ガイドの他方の端面に前記第2のプー
リが回転可能に支持され、 少なくとも前記ガイドの一部が前記ベルトに包囲されて
いることを特徴とするベルト駆動装置。
1. A guide, a moving member that moves along the guide, and a driving device that drives the moving member in a predetermined direction, wherein the driving device is located on one end side of the guide. It has a pulley, a second pulley located on the other end side of the guide, and a belt that is hung between the first and second pulleys with a predetermined tension and that is connected to the moving member. In the belt driving device, the first pulley is rotatably supported on one end surface of the guide, the second pulley is rotatably supported on the other end surface of the guide, and at least a part of the guide is A belt driving device, which is surrounded by the belt.
【請求項2】 前記Xガイドは前記ベルトによって水平
方向又は垂直方向から挟まれていることを特徴とする請
求項1記載のベルト駆動装置。
2. The belt driving device according to claim 1, wherein the X guide is sandwiched by the belt from a horizontal direction or a vertical direction.
【請求項3】 前記Xガイドは長手方向へ抜ける孔を有
し、 前記ベルトの一部が前記孔を貫通していることを特徴と
する請求項1記載のベルト駆動装置。
3. The belt driving device according to claim 1, wherein the X guide has a hole extending in a longitudinal direction, and a part of the belt penetrates the hole.
JP6155396A 1994-06-14 1994-06-14 Belt driving gear Withdrawn JPH085359A (en)

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