JP3184371B2 - Single plate type XY table device - Google Patents

Single plate type XY table device

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JP3184371B2
JP3184371B2 JP20098393A JP20098393A JP3184371B2 JP 3184371 B2 JP3184371 B2 JP 3184371B2 JP 20098393 A JP20098393 A JP 20098393A JP 20098393 A JP20098393 A JP 20098393A JP 3184371 B2 JP3184371 B2 JP 3184371B2
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axis
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、X−Y方向の平面移動
を必要とする生産設備全般に用いられるX−Yテーブル
装置に係り、特に電子部品等の自動挿入装置または自動
装着装置等においてプリント基板等を前後左右に移動可
能に保持するためのシングルプレート型X−Yテーブル
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an XY table device used for general production equipment which requires plane movement in the XY direction, and particularly to an automatic insertion device or an automatic mounting device for electronic parts and the like. The present invention relates to a single-plate type XY table device for holding a printed circuit board and the like so as to be movable back and forth and left and right.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子部品の自動挿入装置や自動装
着装置等において、プリント基板を前後左右に移動可能
に保持するために用いられるX−Yテーブル装置とし
て、実開昭53−59784号のような構成のものが知
られている。この従来のX−Yテーブル装置は、基台上
に平行に固定されたY軸方向ガイドレールによりY軸方
向テーブルを摺動自在に支持し、このY軸方向テーブル
上に相互に平行に固定されたX軸方向ガイドレールによ
りX軸方向テーブル(ワークテーブル)を摺動自在に支
持し、Y軸方向テーブルをY軸方向螺旋軸によりY軸方
向ガイドレールに沿って移動させ、X軸方向テーブルを
X軸方向螺旋軸によりX軸方向ガイドレールに沿って移
動させる構成であった。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an XY table device used to hold a printed circuit board so as to be able to move back and forth and left and right in an automatic insertion device and an automatic mounting device of an electronic part, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. Such a configuration is known. In this conventional XY table device, a Y-axis direction table is slidably supported by a Y-axis direction guide rail fixed in parallel on a base, and fixed in parallel to each other on the Y-axis direction table. The X-axis direction guide rail slidably supports the X-axis direction table (work table), and the Y-axis direction table is moved along the Y-axis direction guide rail by the Y-axis direction helical shaft, thereby moving the X-axis direction table. In this configuration, the helical shaft is moved along the X-axis guide rail.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
では、Y軸方向テーブルの上にX軸方向テーブル及び該
X軸方向テーブルを駆動するためのX軸駆動源(サーボ
モーター等)及びX軸駆動伝達部(X軸方向螺旋軸等)
を配置し、各テーブルそれぞれをY軸方向、X軸方向に
移動させるといった、テーブルを2枚重ね合わせる構成
としているので、全体的に重量が大きくなる欠点があ
る。とくに、Y軸方向テーブルは、X軸方向テーブルと
X軸駆動源及びX軸伝達部とを支持するために十分な強
度を有することが必要であり、Y軸方向テーブルの軽量
化は困難といえる。従って、重量が大きいことから、X
軸方向テーブル及びY軸方向テーブルの移動の高速化が
困難であり、電子部品等の挿入、装着作業等の高速化の
大きな妨げになっていた。さらに、テーブルを2枚重ね
合わせた構成であるため、構造上、たわみや歪みが生じ
やすく、各テーブルの移動に際して発生する振動が大き
くなる問題があり、精度が低下してしまう恐れがある。
By the way, in the above-mentioned conventional example, an X-axis direction table, an X-axis drive source (servo motor, etc.) for driving the X-axis direction table, and an X-axis Drive transmission unit (X-axis helical axis, etc.)
Are arranged, and each table is moved in the Y-axis direction and the X-axis direction, so that two tables are overlapped. Therefore, there is a disadvantage that the weight becomes large as a whole. In particular, the Y-axis direction table needs to have sufficient strength to support the X-axis direction table, the X-axis drive source, and the X-axis transmission unit, and it can be said that it is difficult to reduce the weight of the Y-axis direction table. . Therefore, since the weight is large, X
It was difficult to speed up the movement of the axial direction table and the Y-axis direction table, which hindered the speeding up of the insertion and mounting of electronic components and the like. Further, since the two tables are superposed, there is a problem in that bending and distortion are likely to occur due to the structure, and there is a problem that vibration generated when each table moves is increased, and accuracy may be reduced.

【0004】本発明は、上記の点に鑑み、プリント基板
等を載置するワークテーブルを直接X−Y方向に駆動す
る構造とし、テーブルをワークテーブル1枚だけとして
軽量化を図り、X−Y方向の平面移動の大幅な高速化を
実現するとともに振動の低下及び精度の向上を図ったシ
ングルプレート型X−Yテーブル装置を提供することを
目的とする。
In view of the above, the present invention has a structure in which a work table on which a printed circuit board or the like is placed is directly driven in the X-Y directions, and only one work table is used to reduce the weight. It is an object of the present invention to provide a single-plate type XY table device that realizes a significant speed-up of a planar movement in a direction and reduces vibration and improves accuracy.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のシングルプレート型X−Yテーブル装置
は、基台に固定されたY軸方向ワークテーブル案内部
と、該Y軸方向ワークテーブル案内部によりY軸方向に
摺動自在に支持された直交形ガイドブロックと、該直交
形ガイドブロックにより前記Y軸方向と直交するX軸方
向に摺動自在に支持されたX軸方向ワークテーブル案内
部と、該X軸方向ワークテーブル案内部を固定したワー
クテーブルと、該ワークテーブルに設けられたX軸方向
二次案内部及びY軸方向二次案内部と、X軸駆動源及び
X軸駆動伝達部によりX軸方向に駆動されるX軸方向移
動体と、該X軸方向移動体に枢着されていて前記Y軸方
向二次案内部に係合する第1のローラーと、Y軸駆動源
及びY軸駆動伝達部によりによりY軸方向に駆動される
Y軸方向移動体と、該Y軸方向移動体に枢着されていて
前記X軸方向二次案内部に係合する第2のローラーとを
備えた構成としている。
In order to achieve the above object, a single plate type XY table apparatus of the present invention comprises a Y-axis work table guide fixed to a base, and a Y-axis work table guide. An orthogonal guide block slidably supported in the Y-axis direction by a table guide portion, and an X-axis work table slidably supported in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction by the orthogonal guide block. A guide portion, a work table to which the X-axis direction work table guide portion is fixed, an X-axis direction secondary guide portion and a Y-axis direction secondary guide portion provided on the work table, an X-axis drive source and an X-axis An X-axis direction moving body driven in the X-axis direction by a drive transmission unit, a first roller pivotally attached to the X-axis direction moving body and engaging with the Y-axis direction secondary guide, Drive source and Y-axis drive transmission unit And a second roller that is pivotally attached to the Y-axis direction moving body and is engaged with the X-axis direction secondary guide section. I have.

【0006】また、前記X軸方向二次案内部及び前記Y
軸方向二次案内部にそれぞれリニアスケール部を設け、
かつ前記X軸方向移動体及び前記Y軸方向移動体に前記
リニアスケールを読み取る測定部を設けることにより、
X軸方向及びY軸方向のリニアスケールセンサをそれぞ
れ構成してもよい。
Further, the X-axis direction secondary guide portion and the Y-axis
A linear scale is provided on each of the axial secondary guides,
And by providing a measuring unit that reads the linear scale on the X-axis direction moving body and the Y-axis direction moving body,
You may comprise a linear scale sensor of an X-axis direction and a Y-axis direction, respectively.

【0007】また、前記X軸方向ワークテーブル案内部
及びこの延長線間に前記X軸駆動源及びX軸駆動伝達部
を配置し、前記Y軸方向ワークテーブル案内部及びこの
延長線間に前記Y軸駆動源及びY軸駆動伝達部を配置す
る構成としてもよい。
Further, the X-axis drive source and the X-axis drive transmission unit are arranged between the X-axis direction work table guide and the extension thereof, and the Y-axis drive table and the Y-axis drive transmission unit are arranged between the Y-axis direction work table guide and the extension. It is good also as a structure which arranges a shaft drive source and a Y-axis drive transmission part.

【0008】[0008]

【作用】本発明のシングルプレート型X−Yテーブル装
置においては、X軸駆動源及びX軸駆動伝達部によりX
軸方向移動体を駆動し、Y軸駆動源及びY軸駆動伝達部
によりY軸方向移動体を駆動し、それぞれワークテーブ
ルに設けられたX軸方向二次案内部及びY軸方向二次案
内部に各軸方向への駆動力を伝達することで、テーブル
が1枚の構成にてX−Y移動を行っているため、従来の
テーブルを2枚重ね合わせた構成と比較して約半分の重
さに軽量化できる。従って、ワークテーブルの移動の高
速化が可能になり、たわみや歪みが減少するとともに振
動が少なくなる。
In the single-plate type XY table apparatus of the present invention, the X-axis drive source and the X-axis drive transmission unit allow the X-axis table to be driven.
An axial moving body is driven, a Y-axis moving body is driven by a Y-axis driving source and a Y-axis driving transmitting unit, and an X-axis secondary guiding unit and a Y-axial secondary guiding unit provided on a work table, respectively. By transmitting the driving force in each axis direction, the XY movement is performed with one table, so that the weight is about half as compared with the conventional configuration in which two tables are stacked. It can be lighter. Therefore, the speed of movement of the work table can be increased, the deflection and the distortion can be reduced, and the vibration can be reduced.

【0009】また、X軸方向二次案内部及びY軸方向二
次案内部にそれぞれリニアスケール部を設け、X軸方向
移動体及びY軸方向移動体のそれぞれに前記リニアスケ
ール部を読み取る測定部を設けてリニアスケールセンサ
をそれぞれ構成する場合、ワークテーブルの各軸方向へ
の移動量を高精度で検出でき、その検出をもとにワーク
テーブルの位置を制御することで完全クローズドループ
による制御を実現可能で、ワークテーブルを高精度で位
置決めすることができる。
A linear scale section is provided on each of the X-axis direction secondary guide section and the Y-axis direction secondary guide section, and the measurement section reads the linear scale section on each of the X-axis direction moving body and the Y-axis direction moving body. When the linear scale sensor is configured with each sensor, the amount of movement of the work table in each axis direction can be detected with high accuracy, and the position of the work table is controlled based on the detection, thus controlling by a completely closed loop. It can be realized, and the work table can be positioned with high accuracy.

【0010】また、対をなすX軸方向ワークテーブル案
内部及びこの延長線間にX軸駆動源及びX軸駆動伝達部
を配置し、対をなすY軸方向ワークテーブル案内部及び
この延長線間にY軸駆動源及びY軸駆動伝達部を配置し
た場合、各軸方向の駆動源からワーク作業位置までの距
離が小さくなるため、X軸又はY軸方向ワークテーブル
案内部の外側にX軸又はY軸駆動源及び駆動伝達部を配
置する場合に比較してワーク作業位置において振動の拡
大や複合等がより小さくて済み、振動が発生しにくいの
でワークテーブルの高速動作に適したX−Yテーブル装
置が得られる。
An X-axis drive source and an X-axis drive transmission unit are arranged between the pair of X-axis work table guides and the extension line, and the pair of Y-axis work table guides and the extension line When the Y-axis drive source and the Y-axis drive transmission unit are disposed in the X-axis or Y-axis direction work table guide unit, the distance from the drive source in each axis direction to the work working position becomes small, so that the X-axis or Y-axis An XY table suitable for high-speed operation of a work table because vibration expansion and compounding at the work working position can be made smaller than when a Y-axis drive source and a drive transmission unit are arranged, and vibration is less likely to occur. A device is obtained.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明に係るシングルプレート型X−
Yテーブル装置の実施例を図面に従って説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a single plate type X- according to the present invention will be described.
An embodiment of a Y table device will be described with reference to the drawings.

【0012】図1乃至図7は、本発明のシングルプレー
ト型X−Yテーブル装置の実施例を示している。これら
の図において、基台1上に一対のY軸方向ワークテーブ
ル案内部2A,2Bが所定間隔をおいて平行に取り付け
固定されている。すなわち、Y軸方向ワークテーブル案
内部2A,2Bは、基台1上に固定されている固定ブロ
ック21A,21B上にY軸方向ガイドレール22A,
22Bをそれぞれ一体に固設したものである。また、Y
軸方向ガイドレール22Aの内側面にはY軸方向に沿っ
てY軸方向移動体ガイドレール23が固定されている。
1 to 7 show an embodiment of a single plate type XY table device according to the present invention. In these figures, a pair of Y-axis direction work table guides 2A and 2B are attached and fixed on a base 1 in parallel at a predetermined interval. That is, the Y-axis direction work table guides 2A, 2B are mounted on the fixed blocks 21A, 21B fixed on the base 1 on the Y-axis direction guide rails 22A, 22B.
22B are integrally fixed. Also, Y
A Y-axis direction movable body guide rail 23 is fixed to the inner side surface of the axial direction guide rail 22A along the Y-axis direction.

【0013】一対のY軸方向ワークテーブル案内部2
A,2Bの上には直交形ガイドブロック3がそれぞれ一
対ずつY軸方向に摺動自在に支持されている。直交形ガ
イドブロック3のそれぞれには、底面に前記Y軸方向ガ
イドレール22A,22Bと摺動自在に係合するY軸方
向ガイド溝24が、上面にY軸方向と直交するX軸方向
ガイドレール5A,5B(X軸方向ワークテーブル案内
部としてワークテーブル4側に固定)に摺動自在に係合
するX軸方向ガイド溝25がそれぞれ形成されている。
A pair of Y-axis direction work table guides 2
A pair of orthogonal guide blocks 3 are supported on A and 2B slidably in the Y-axis direction. Each of the orthogonal guide blocks 3 has a Y-axis guide groove 24 slidably engaged with the Y-axis guide rails 22A and 22B on the bottom surface, and an X-axis guide rail on the upper surface orthogonal to the Y-axis direction. An X-axis direction guide groove 25 slidably engaged with 5A, 5B (fixed to the work table 4 side as an X-axis direction work table guide portion) is formed, respectively.

【0014】ワークテーブル4は、上面がプリント基板
等を保持する基板載置面30となり、該ワークテーブル
4の底面の両側には前記Y軸方向ガイドレール22A,
22Bと直交するX軸方向ワークテーブル案内部となる
X軸方向ガイドレール5A,5Bが平行に固定されてい
る。また、ワークテーブル4のX軸方向と平行な両側端
面には直線バー状(長尺直方体状)のX軸方向二次案内
部15A,15Bがそれぞれ一体に形成もしくは固定さ
れている。ワークテーブル4のY軸方向と平行な両側部
分には切欠26が形成され、該切欠26内側をY軸方向
に横断するように直線バー状(長尺直方体状)のY軸方
向二次案内部16A,16Bがそれぞれ一体に固定され
ている。そして、4個の直交形ガイドブロック3上に、
ワークテーブル4が載置され、該ワークテーブル4に固
定の前記X軸方向ガイドレール5A,5Bは直交形ガイ
ドブロック3のX軸方向ガイド溝25に対しX軸方向に
摺動自在に係合している。この結果、ワークテーブル4
は、4個の直交形ガイドブロック3によりY軸方向ワー
クテーブル案内部2A,2Bに対してX−Y方向(前後
左右)に移動可能になっている。
The upper surface of the work table 4 serves as a substrate mounting surface 30 for holding a printed circuit board or the like, and the Y-axis direction guide rails 22A, 22B are provided on both sides of the bottom surface of the work table 4.
X-axis direction guide rails 5A and 5B serving as X-axis direction work table guides orthogonal to 22B are fixed in parallel. In addition, linear bar-shaped (long rectangular parallelepiped) X-axis direction secondary guides 15A and 15B are integrally formed or fixed to both end surfaces parallel to the X-axis direction of the work table 4, respectively. Notches 26 are formed on both sides of the work table 4 parallel to the Y-axis direction, and a linear bar-shaped (long rectangular parallelepiped) Y-axis direction secondary guide portion extends across the inside of the notch 26 in the Y-axis direction. 16A and 16B are fixed integrally. Then, on the four orthogonal guide blocks 3,
The work table 4 is mounted, and the X-axis guide rails 5A and 5B fixed to the work table 4 are slidably engaged in the X-axis direction guide grooves 25 of the orthogonal guide block 3 in the X-axis direction. ing. As a result, work table 4
Are movable in the X-Y direction (front-rear, left-right) with respect to the Y-axis direction work table guides 2A, 2B by four orthogonal guide blocks 3.

【0015】また、前記基台1上には、対をなすX軸方
向ワークテーブル案内部としてのX軸方向ガイドレール
5A,5B及びこの延長線間に、前記ワークテーブル4
をX軸方向に移動させるためのX軸方向移動体6と、そ
のX軸方向移動体6をX軸方向に駆動するX軸駆動源8
及びX軸駆動伝達部9とがX軸方向に平行に設けられて
いるとともに、対をなすY軸方向ワークテーブル案内部
2A,2B及びこの延長線間に、前記ワークテーブル4
をY軸方向に移動させるためのY軸方向移動体11と、
そのY軸方向移動体11をY軸方向に駆動するY軸駆動
源12及びY軸駆動伝達部13とがY軸方向に平行に設
けられている。
The work table 4 is provided on the base 1 between the X-axis direction guide rails 5A and 5B as a pair of X-axis direction work table guides and an extension thereof.
X-axis moving body 6 for moving X in the X-axis direction, and an X-axis driving source 8 for driving the X-axis moving body 6 in the X-axis direction.
And the X-axis drive transmission section 9 are provided in parallel with the X-axis direction, and the work table 4 is provided between a pair of Y-axis direction work table guide sections 2A and 2B and an extension thereof.
A Y-axis direction moving body 11 for moving the object in the Y-axis direction;
A Y-axis drive source 12 and a Y-axis drive transmission unit 13 for driving the Y-axis direction moving body 11 in the Y-axis direction are provided in parallel with the Y-axis direction.

【0016】前記X軸方向移動体6は、X軸方向移動バ
ー31と、その一方の端部に取り付け固定されたボール
螺子ナット32とからなり、X軸方向移動バー31の両
端側上面には前記Y軸方向二次案内部16A,16Bの
厚みに係合する溝を有する第1溝付ローラー17が一対
ずつ枢着されている。すなわち、対をなす第1溝付きロ
ーラー17で前記Y軸方向二次案内部16A,16Bを
がたつきなく挟持している。
The X-axis direction moving body 6 comprises an X-axis direction moving bar 31 and a ball screw nut 32 fixedly attached to one end thereof. A pair of first grooved rollers 17 having grooves engaging with the thicknesses of the Y-axis direction secondary guides 16A and 16B are pivotally mounted one by one. That is, the pair of first grooved rollers 17 sandwich the Y-axis direction secondary guides 16A and 16B without play.

【0017】前記X軸駆動伝達部9はボール螺子軸9A
を有しており、該ボール螺子軸9Aは先端部が基台1上
に固定されている軸受33により枢支され、後端部に連
結されている前記X軸駆動源8により回転駆動される。
そして、前記X軸方向移動体6のボール螺子ナット32
と前記ボール螺子軸9Aとは螺合されており、X軸方向
移動体6はボール螺子軸9Aの回転に伴い、X軸方向に
駆動されるようになっている。なお、前記X軸駆動源8
はACサーボモータ等で構成されており、基台1上に固
定されている。
The X-axis drive transmission unit 9 includes a ball screw shaft 9A.
The ball screw shaft 9A is pivotally supported by a bearing 33 having a front end fixed on the base 1, and is rotationally driven by the X-axis drive source 8 connected to a rear end. .
Then, the ball screw nut 32 of the X-axis direction moving body 6
And the ball screw shaft 9A are screwed together, and the X-axis direction moving body 6 is driven in the X-axis direction as the ball screw shaft 9A rotates. The X-axis drive source 8
Is constituted by an AC servomotor or the like, and is fixed on the base 1.

【0018】前記Y軸方向移動体11は、Y軸方向スラ
イダ34と、その両端部に固定一体化されたローラー取
付部材35A,35Bと、前記Y軸方向スライダ34に
固定されているボール螺子ナット36とからなり、ロー
ラー取付部材35A,35Bの上面には前記X軸方向二
次案内部15A,15Bの厚みに係合する溝を有する第
2溝付ローラー18がそれぞれ枢着されている。そし
て、一方の第2溝付ローラー18はX軸方向二次案内部
15Aに当たり、他方の第2溝付ローラー18はX軸方
向二次案内部15Bに当たって、両方のローラー18で
ワークテーブル4を挟持する。
The Y-axis direction moving body 11 includes a Y-axis direction slider 34, roller mounting members 35A and 35B fixedly integrated at both ends thereof, and a ball screw nut fixed to the Y-axis direction slider 34. A second grooved roller 18 having a groove that engages with the thickness of the X-axis direction secondary guides 15A and 15B is pivotally mounted on the upper surfaces of the roller mounting members 35A and 35B, respectively. Then, one of the second grooved rollers 18 hits the X-axis direction secondary guide portion 15A, and the other second grooved roller 18 hits the X-axis direction secondary guide portion 15B. I do.

【0019】また、Y軸方向移動体11(Y軸方向スラ
イダ34)のY軸方向ワークテーブル案内部2Aと対向
する側面には、Y軸方向にガイド溝38が形成されてお
り、ガイド溝38は該Y軸方向ワークテーブル案内部2
Aの側面に設けられた前記Y軸方向移動体ガイドレール
23と摺動自在に係合している。前記Y軸駆動伝達部1
3はボール螺子軸13Aを有しており、該ボール螺子軸
13Aは先端部が基台1上に固定されている軸受37に
より枢支され、後端部に連結されている前記Y軸駆動源
12により回転駆動される。そして、前記Y軸方向移動
体11のボール螺子ナット36と前記ボール螺子軸13
Aとは螺合されており、Y軸方向移動体11はボール螺
子軸13Aの回転に伴い、Y軸方向に駆動されるように
なっている。なお、前記Y軸駆動源12はACサーボモ
ータ等で構成されており、基台1上に固定されている。
Further, a guide groove 38 is formed in the Y-axis direction on the side surface of the Y-axis direction movable body 11 (Y-axis direction slider 34) facing the Y-axis direction work table guide portion 2A. Is the Y-axis direction work table guide 2
A slidably engages with the Y-axis direction movable body guide rail 23 provided on the side surface of A. Y-axis drive transmission unit 1
Numeral 3 has a ball screw shaft 13A. The ball screw shaft 13A is pivotally supported by a bearing 37 having a front end fixed on the base 1 and connected to a rear end of the Y-axis drive source. 12 is driven to rotate. Then, the ball screw nut 36 of the Y-axis direction moving body 11 and the ball screw shaft 13
A is screwed together with the A, and the Y-axis direction moving body 11 is driven in the Y-axis direction with the rotation of the ball screw shaft 13A. The Y-axis drive source 12 is constituted by an AC servomotor or the like, and is fixed on the base 1.

【0020】なお、前記ワークテーブル4のX軸方向二
次案内部15A,15Bは、前記Y軸方向移動体11の
一対の第2溝付ローラー18にがたつきなく当接して前
記Y軸方向移動体11のY軸方向の動きに従うが、X軸
方向には摺動自在となっており、前記Y軸方向二次案内
部16A,16Bは、前記X軸方向移動体6の両端の対
をなした第1溝付ローラー17にがたつきなく挟まれて
前記X軸方向移動体6のX軸方向の動きに従うが、Y軸
方向には摺動自在となっている。
The secondary guides 15A and 15B in the X-axis direction of the work table 4 are brought into contact with the pair of second grooved rollers 18 of the Y-axis moving body 11 without backlash, so that the second guides 15A and 15B in the Y-axis direction are moved. It follows the movement of the moving body 11 in the Y-axis direction, but is slidable in the X-axis direction, and the Y-axis direction secondary guides 16A and 16B connect the pair of both ends of the X-axis direction moving body 6 to each other. The X-axis direction moving body 6 follows the movement of the X-axis direction moving body 6 in the X-axis direction while being held between the formed first grooved rollers 17 without play, but is slidable in the Y-axis direction.

【0021】前記X軸方向二次案内部15AのX軸方向
に沿った長尺の端面(ローラー取付部材35Aに対向す
る端面)にX軸方向リニアスケール部(例えば光学的目
盛)19Aが固設され、前記Y軸方向移動体11のロー
ラー取付部材35A上部に前記リニアスケール部19A
を読み取る光学方式等の測定部20Aが固定されてい
て、X軸方向のワークテーブル4の移動量及び位置を検
出するためのリニアスケールセンサを構成している。
An X-axis direction linear scale portion (for example, an optical scale) 19A is fixed to a long end surface (an end surface facing the roller mounting member 35A) of the X-axis direction secondary guide portion 15A along the X-axis direction. The linear scale portion 19A is provided on the roller mounting member 35A of the Y-axis direction moving body 11.
Is fixed, and constitutes a linear scale sensor for detecting the movement amount and position of the work table 4 in the X-axis direction.

【0022】また、前記Y軸方向二次案内部16AのY
軸方向に沿った長尺の外側端面にY軸方向リニアスケー
ル部(例えば光学的目盛)19Bが固設され、前記X軸
方向移動体6のX軸方向移動バー31上に前記Y軸方向
リニアスケール部19Bを読み取る光学方式等の測定部
20Bが固定されていて、Y軸方向のワークテーブル4
の移動量及び位置を検出するためのリニアスケールセン
サを構成している。
The Y-axis direction secondary guide 16A has a Y
A linear scale portion (for example, an optical scale) 19B in the Y-axis direction is fixed to the long outer end face along the axial direction, and the Y-axis direction linear bar is fixed on the X-axis direction moving bar 31 of the X-axis direction moving body 6. A measurement unit 20B such as an optical system for reading the scale unit 19B is fixed, and the work table 4 in the Y-axis direction is fixed.
A linear scale sensor for detecting the moving amount and the position of the linear scale.

【0023】以上の実施例の構成において、ワークテー
ブル4の移動は、制御プログラムに従ってX軸駆動源8
あるいはY軸駆動源12を制御し、X軸駆動伝達部9の
ボール螺子軸9AあるいはY軸駆動伝達部13のボール
螺子軸13Aを回転させることによって行う。すなわ
ち、ワークテーブル4のX軸方向への移動は、X軸駆動
源8によりX軸駆動伝達部9のボール螺子軸9Aを回転
させ、該ボール螺子軸9Aと螺合しているボール螺子ナ
ット32を移動させることによりX軸方向移動体6をX
軸方向に移動させ、第1溝付ローラー17に係合してい
るY軸方向二次案内部16A,16Bに対して垂直に操
作力を加わえ、X軸方向移動体6の移動に伴ってワーク
テーブル4底面のX軸方向ガイドレール5A,5BがY
軸方向ワークテーブル案内部2A,2B上の直交形ガイ
ドブロック3のX軸方向ガイド溝25に沿って摺動する
ことで行われる。
In the configuration of the above embodiment, the work table 4 is moved by the X-axis drive source 8 according to the control program.
Alternatively, the control is performed by controlling the Y-axis drive source 12 and rotating the ball screw shaft 9A of the X-axis drive transmission unit 9 or the ball screw shaft 13A of the Y-axis drive transmission unit 13. That is, the movement of the work table 4 in the X-axis direction is performed by rotating the ball screw shaft 9A of the X-axis drive transmission unit 9 by the X-axis drive source 8, and the ball screw nut 32 screwed with the ball screw shaft 9A. To move the X-axis direction moving body 6
In the axial direction, an operating force is applied vertically to the Y-axis secondary guides 16A and 16B engaged with the first grooved roller 17, and with the movement of the X-axis movable body 6, The X-axis direction guide rails 5A and 5B on the bottom of the worktable 4 are Y
This is performed by sliding along the X-axis direction guide groove 25 of the orthogonal guide block 3 on the axial direction work table guides 2A and 2B.

【0024】ワークテーブル4のY軸方向への移動は、
Y軸駆動源12によりY軸駆動伝達部13のボール螺子
軸13Aを回転させ、該ボール螺子軸13Aと螺合して
いるボール螺子ナット36を移動させることによりY軸
方向移動体11をY軸方向に移動させ、第2溝付ローラ
ー18に係合しているX軸方向二次案内部15A,15
Bに対して垂直に操作力を加わえ、Y軸方向移動体11
の移動に伴ってY軸方向ワークテーブル案内部2A,2
B上の直交形ガイドブロック3がY軸方向ガイドレール
22A,22Bに沿って摺動することで行われる。以上
のワークテーブル4のX軸方向あるいはY軸方向への移
動は同時に行うことができる。
The movement of the work table 4 in the Y-axis direction is as follows.
The ball screw shaft 13A of the Y-axis drive transmission unit 13 is rotated by the Y-axis drive source 12, and the ball screw nut 36 screwed with the ball screw shaft 13A is moved to move the Y-axis direction moving body 11 in the Y-axis direction. In the X-axis direction and the X-axis direction secondary guides 15A, 15 engaged with the second grooved roller 18.
An operating force is applied vertically to B, and the Y-axis direction moving body 11 is applied.
Y-axis direction work table guides 2A, 2
This is performed by the orthogonal guide block 3 on B sliding along the Y-axis direction guide rails 22A and 22B. The movement of the work table 4 in the X-axis direction or the Y-axis direction can be performed simultaneously.

【0025】その際、ワークテーブル4のX軸方向ある
いはY軸方向の移動に伴い、X軸方向二次案内部15A
とY軸方向二次案内部16Aに設けられたリニアスケー
ル部19A,19Bを測定部20A,20Bで読み取
り、X軸方向及びY軸方向の移動量、ひいてはX軸方向
及びY軸方向の位置を検出している。そして、この移動
量及び位置の検出によりX軸駆動源8及びY軸駆動源1
2を制御し、ワークテーブル4のX軸方向及びY軸方向
の位置決めを実行する。この場合、通常行われていたサ
ーボモーターによるセミクローズドループではなく、リ
ニアスケールセンサによる完全クローズドループの位置
制御を実現でき、高精度の位置決めが可能である。
At this time, as the work table 4 moves in the X-axis direction or the Y-axis direction, the X-axis direction secondary guide portion 15A
And the linear scale sections 19A and 19B provided on the secondary guide section 16A in the Y-axis direction are read by the measurement sections 20A and 20B, and the movement amounts in the X-axis direction and the Y-axis direction, and further, the positions in the X-axis direction and the Y-axis direction. Detected. Then, the X-axis drive source 8 and the Y-axis drive source 1
2 to control the position of the work table 4 in the X-axis direction and the Y-axis direction. In this case, the position control of a completely closed loop by a linear scale sensor can be realized instead of the semi-closed loop by a servo motor which is normally performed, and highly accurate positioning is possible.

【0026】上記のリニアスケール部19A,19B及
び測定部20A,20Bからなるリニアスケールセンサ
により制御されたワークテーブル4のX軸方向あるいは
Y軸方向への移動範囲について、図3乃至図7に示す。
これらの図において、ワークテーブル4の基板載置面3
0の方形枠(2点鎖線)10内が、図3でワークテーブ
ル4の中央に位置するワーク作業位置Pに対して、ワー
クテーブル4をX軸方向及びY軸方向の移動によって真
下にもってくることのできる領域である。
FIGS. 3 to 7 show the range of movement of the work table 4 in the X-axis direction or the Y-axis direction controlled by the linear scale sensor including the linear scale units 19A and 19B and the measurement units 20A and 20B. .
In these figures, the substrate mounting surface 3 of the work table 4 is shown.
The inside of the rectangular frame 10 (two-dot chain line) 10 is brought directly below the work table 4 by moving in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the work work position P located at the center of the work table 4 in FIG. It is the area where you can do.

【0027】なお、図3に示すように、ワークテーブル
4の中心とワーク作業位置Pとが一致したとき、ワーク
テーブル4のX軸方向及びY軸方向の位置が共に原点に
あるものとする。
As shown in FIG. 3, when the center of the work table 4 coincides with the work position P, it is assumed that both the X-axis direction and the Y-axis direction of the work table 4 are at the origin.

【0028】図4は、ワークテーブル4のX軸方向の移
動量を負側のリミットとし、Y軸方向の移動量を正側の
リミットとした場合を示している。
FIG. 4 shows a case where the amount of movement of the work table 4 in the X-axis direction is a negative limit, and the amount of movement of the work table 4 in the Y-axis direction is a positive limit.

【0029】図5は、ワークテーブル4のX軸方向の移
動量を負側のリミットとし、Y軸方向の移動量を負側の
リミットとした場合を示している。
FIG. 5 shows a case where the amount of movement of the work table 4 in the X-axis direction is a negative limit and the amount of movement of the work table 4 in the Y-axis direction is a negative limit.

【0030】図6は、ワークテーブル4のX軸方向の移
動量を正側のリミットとし、Y軸方向の移動量を正側の
リミットとした場合を示している。
FIG. 6 shows a case where the movement amount of the work table 4 in the X-axis direction is the positive limit and the movement amount of the work table 4 in the Y-axis direction is the positive limit.

【0031】図7は、ワークテーブル4のX軸方向の移
動量を正側のリミットとし、Y軸方向の移動量を負側の
リミットとした場合を示している。
FIG. 7 shows a case where the movement amount of the work table 4 in the X-axis direction is a positive limit, and the movement amount of the work table 4 in the Y-axis direction is a negative limit.

【0032】以上の図3乃至図7に示されるように、ワ
ーク作業位置Pは、常にX軸方向ワークテーブル案内部
としてのX軸方向ガイドレール5A,5B間にあり、か
つY軸方向ワークテーブル案内部2A,2B間に位置し
ている。しかも、ワーク作業位置Pは、X軸駆動源8及
びX軸駆動伝達部9と、Y軸駆動源12及びY軸駆動伝
達部13とに最も近接した位置となり、駆動源動作時の
振動の拡大や振動の複合等がより小さくて済む。
As shown in FIGS. 3 to 7, the work working position P is always between the X-axis guide rails 5A and 5B as the X-axis work table guide, and the Y-axis work table It is located between the guides 2A and 2B. Moreover, the work working position P is located closest to the X-axis drive source 8 and the X-axis drive transmission unit 9 and the Y-axis drive source 12 and the Y-axis drive transmission unit 13, and the vibration during the operation of the drive source is enlarged. And a combination of vibration and vibration can be reduced.

【0033】以上の実施例の構成は、次に述べる特長を
備えている。 (1) ワークテーブル4にX軸方向二次案内部15
A,15B及びY軸方向二次案内部16A,16Bを設
け、それらに各軸方向への駆動力を伝達することで、テ
ーブルが1枚の構成にてワークテーブル4のX−Y移動
を可能としているため、従来のテーブルを2枚重ね合わ
せた構成と比較して約半分の重さに軽量化できる。従っ
て、ワークテーブル4の移動の高速化が可能になり、た
わみや歪みも減少し振動が少なくなる。 (2) X−Yテーブル装置を高速で動作させる場合、
ワークテーブル4の振動が問題になり、各軸方向の駆動
源からワーク作業位置までの距離が大きいほど、そのワ
ーク作業位置において振動の拡大や複合等が起こりやす
いが、本実施例の構成では前記X軸方向ワークテーブル
案内部としてのX軸方向ガイドレール5A,5B及びこ
の延長線間にX軸駆動源8及びX軸駆動伝達部9を配置
するとともに、前記Y軸方向ワークテーブル案内部2
A,2B及びこの延長線間に前記Y軸駆動源12及びY
軸駆動伝達部13を配置しているため、各軸方向の駆動
源からワーク作業位置Pまでの距離が小さくなってお
り、ワーク作業位置において振動の拡大や複合等がより
小さくて済み振動が発生しにくい。 (3) X軸方向二次案内部15A及びY軸方向二次案
内部16Aに設けたリニアスケール部19A,19Bを
測定部20A,20Bで読み取るリニアスケールセンサ
を用いてワークテーブル4の各軸方向への移動量及び位
置を高精度で検出し、その検出をもとにワークテーブル
4の位置を制御しているため、完全クローズドループに
よるワークテーブル4の高精度位置決めが可能である。
The configuration of the above embodiment has the following features. (1) The work table 4 has a secondary guide 15 in the X-axis direction.
A, 15B and Y-axis direction secondary guides 16A, 16B are provided, and the driving force in each axis direction is transmitted to them, so that the XY movement of the work table 4 can be performed with one table. Therefore, the weight can be reduced to about half the weight as compared with the conventional configuration in which two tables are stacked. Therefore, the speed of movement of the work table 4 can be increased, the deflection and the distortion can be reduced, and the vibration can be reduced. (2) When operating the XY table device at high speed,
Vibration of the work table 4 becomes a problem, and the larger the distance from the drive source in each axial direction to the work position, the more likely it is for the vibration to be enlarged or combined at the work position. The X-axis direction guide rails 5A and 5B serving as the X-axis direction work table guide section and the X-axis drive source 8 and the X-axis drive transmission section 9 are arranged between the extension lines, and the Y-axis direction work table guide section 2 is provided.
A, 2B and the Y-axis drive source 12 and Y
Since the shaft drive transmission unit 13 is arranged, the distance from the drive source in each axial direction to the work position P is small, and the vibration is not enlarged or complex at the work position, and the vibration is generated. Hard to do. (3) Each axis direction of the work table 4 using a linear scale sensor that reads the linear scale sections 19A and 19B provided on the X-axis direction secondary guide section 15A and the Y-axis direction secondary guide section 16A with the measuring sections 20A and 20B. Since the movement amount and position of the work table 4 are detected with high accuracy and the position of the work table 4 is controlled based on the detection, the work table 4 can be positioned with high accuracy by a completely closed loop.

【0034】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。
Although the embodiments of the present invention have been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to the embodiments and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. Would.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシングル
プレート型X−Yテーブル装置によれば、ワークテーブ
ルにX軸方向二次案内部及びY軸方向二次案内部を設
け、それらに各軸方向への駆動力を伝達することで、テ
ーブルが1枚の構成にてワークテーブルのX−Y移動を
可能としているため、従来のテーブルを2枚重ね合わせ
た構成と比較して約半分の重さに軽量化できる。従っ
て、ワークテーブルの移動の高速化が可能になり、たわ
みや歪みも減少し振動が少なくなる。従って、高速、高
精度、低振動で電子部品等の自動挿入装置または自動装
着装置等に最適なシングルプレート型X−Yテーブル装
置が実現できる。
As described above, according to the single plate type XY table apparatus of the present invention, the work table is provided with the X-axis secondary guide and the Y-axis secondary guide, and By transmitting the driving force in the axial direction, the XY movement of the work table can be performed with a single table, so that the work table can be moved about half as compared with the conventional configuration in which two tables are stacked. It can be reduced in weight. Therefore, the speed of movement of the work table can be increased, the deflection and the distortion can be reduced, and the vibration can be reduced. Therefore, it is possible to realize a single plate type XY table device which is high-speed, high-precision, low-vibration, and most suitable for an automatic insertion device or an automatic mounting device for electronic components and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るシングルプレート型X−Yテーブ
ル装置の実施例を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a single plate type XY table device according to the present invention.

【図2】同正断面図である。FIG. 2 is a front sectional view of the same.

【図3】同平面図である。FIG. 3 is a plan view of the same.

【図4】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
X軸方向負側のリミット、Y軸方向正側のリミットとし
た場合を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a case in which the moving amount of the work table is a limit on the negative side in the X-axis direction and a limit on the positive side in the Y-axis direction in the embodiment.

【図5】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
X軸方向負側のリミット、Y軸方向負側のリミットとし
た場合を示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing a case where the movement amount of the work table is a limit on the negative side in the X-axis direction and a limit on the negative side in the Y-axis direction in the embodiment.

【図6】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
X軸方向正側のリミット、Y軸方向正側のリミットとし
た場合を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a case where the movement amount of the work table is a positive limit in the X-axis direction and a positive limit in the Y-axis direction in the embodiment.

【図7】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
X軸方向正側のリミット、Y軸方向負側のリミットとし
た場合を示す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing a case where the movement amount of the work table is a limit on the positive side in the X-axis direction and a limit on the negative side in the Y-axis direction in the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基台 2A,2B Y軸方向ワークテーブル案内部 3 直交形ガイドブロック 4 ワークテーブル 5A,5B X軸方向ガイドレール 6 X軸方向移動体 8 X軸駆動源 9 X軸駆動伝達部 11 Y軸方向移動体 12 Y軸駆動源 13 Y軸駆動伝達部 15A,15B X軸方向二次案内部 16A,16B Y軸方向二次案内部 17 第1溝付ローラー 18 第2溝付ローラー 19A,19B リニアスケール部 20A,20B 測定部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2A, 2B Y-axis direction work table guide part 3 Orthogonal guide block 4 Work table 5A, 5B X-axis direction guide rail 6 X-axis direction moving body 8 X-axis drive source 9 X-axis drive transmission part 11 Y-axis direction Moving body 12 Y-axis drive source 13 Y-axis drive transmission section 15A, 15B X-axis secondary guide section 16A, 16B Y-axis secondary guide section 17 First grooved roller 18 Second grooved roller 19A, 19B Linear scale Section 20A, 20B Measurement section

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−24595(JP,A) 特開 平1−272041(JP,A) 特開 平1−314993(JP,A) 特開 平2−202000(JP,A) 実開 平1−179298(JP,U) 実開 昭53−59784(JP,U) 実開 平1−71053(JP,U) 実開 昭59−99472(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 13/04 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-57-24595 (JP, A) JP-A-1-2722041 (JP, A) JP-A-1-314993 (JP, A) JP-A-2- 202000 (JP, A) JP-A 1-179298 (JP, U) JP-A 53-59784 (JP, U) JP 1-71053 (JP, U) JP-A 59-99472 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 13/04

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基台に固定されたY軸方向ワークテーブ
ル案内部と、該Y軸方向ワークテーブル案内部によりY
軸方向に摺動自在に支持された直交形ガイドブロック
と、該直交形ガイドブロックにより前記Y軸方向と直交
するX軸方向に摺動自在に支持されたX軸方向ワークテ
ーブル案内部と、該X軸方向ワークテーブル案内部を固
定したワークテーブルと、該ワークテーブルに設けられ
たX軸方向二次案内部及びY軸方向二次案内部と、X軸
駆動源及びX軸駆動伝達部によりX軸方向に駆動される
X軸方向移動体と、該X軸方向移動体に枢着されていて
前記Y軸方向二次案内部に係合する第1のローラーと、
Y軸駆動源及びY軸駆動伝達部によりによりY軸方向に
駆動されるY軸方向移動体と、該Y軸方向移動体に枢着
されていて前記X軸方向二次案内部に係合する第2のロ
ーラーとを備えることを特徴とするシングルプレート型
X−Yテーブル装置。
A Y-axis direction work table guide fixed to a base; and a Y-axis direction work table guide.
An orthogonal guide block slidably supported in the axial direction, an X-axis work table guide slidably supported by the orthogonal guide block in an X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction, A work table to which an X-axis direction work table guide section is fixed, an X-axis direction secondary guide section and a Y-axis direction secondary guide section provided on the work table, and an X-axis drive source and an X-axis drive transmission section. An X-axis moving body driven in the axial direction, a first roller pivotally attached to the X-axis moving body and engaging with the Y-axis secondary guide portion;
A Y-axis moving body driven in the Y-axis direction by a Y-axis driving source and a Y-axis driving transmitting unit, and pivotally attached to the Y-axis moving body to engage with the X-axis secondary guide unit A single plate type XY table device comprising: a second roller.
【請求項2】 前記X軸方向二次案内部及び前記Y軸方
向二次案内部にそれぞれリニアスケール部が設けられ、
かつ前記X軸方向移動体及び前記Y軸方向移動体に前記
リニアスケールを読み取る測定部が設けられていて、X
軸方向及びY軸方向のリニアスケールセンサをそれぞれ
構成してなる請求項1記載のシングルプレート型X−Y
テーブル装置。
2. A linear scale section is provided on each of the X-axis direction secondary guide section and the Y-axis direction secondary guide section,
And a measuring unit for reading the linear scale is provided on the X-axis direction moving body and the Y-axis direction moving body.
2. The single-plate type XY according to claim 1, wherein a linear scale sensor in the axial direction and a linear scale sensor in the Y-axis direction are configured.
Table equipment.
【請求項3】 前記X軸方向ワークテーブル案内部及び
この延長線間に前記X軸駆動源及びX軸駆動伝達部が配
置され、前記Y軸方向ワークテーブル案内部及びこの延
長線間に前記Y軸駆動源及びY軸駆動伝達部が配置され
ている請求項1記載のシングルプレート型X−Yテーブ
ル装置。
3. The X-axis drive source and the X-axis drive transmission unit are disposed between the X-axis direction work table guide and an extension thereof, and the Y-axis drive table and the Y-axis drive transmission unit are arranged between the Y-axis work table guide and the extension. The single-plate type XY table device according to claim 1, wherein an axis drive source and a Y-axis drive transmission unit are arranged.
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