JPS62235514A - Driving apparatus of 3-dimensional measuring device - Google Patents
Driving apparatus of 3-dimensional measuring deviceInfo
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- JPS62235514A JPS62235514A JP7835086A JP7835086A JPS62235514A JP S62235514 A JPS62235514 A JP S62235514A JP 7835086 A JP7835086 A JP 7835086A JP 7835086 A JP7835086 A JP 7835086A JP S62235514 A JPS62235514 A JP S62235514A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は３次元測定装置の駆動装置に係り、更に詳細に
は、機械の直進性への影響を与えずにバックラッシュを
取り除いた３次元測定装置の駆動装置に関するものであ
る。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a drive device for a three-dimensional measuring device, and more specifically, to a three-dimensional measuring device that eliminates backlash without affecting the straightness of the machine. This invention relates to a driving device for a measuring device.
［従来の技術］
従来、３次元測定装置の駆動装置としては、最も多くラ
ックとピニオンとからなる駆動装置が用いられている。[Prior Art] Conventionally, as a drive device for a three-dimensional measuring device, a drive device consisting of a rack and a pinion is most often used.
しかも、バックラッシュを取り除く手段としては、２枚
のピニオンを捩る手段と、ピニオンをラックに押付ける
手段とが知られている。Furthermore, as means for removing backlash, there are known means for twisting two pinions and means for pressing the pinion against a rack.
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、前述した従来の後者による手段は、エア
パッドをその摺動部に備えている３次元測定装行では、
ラック取付時の真直度と、ラック自体の精度とが直接機
械の真直度に影響を与えるため用いられていない。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned conventional latter means has problems in three-dimensional measurement equipment in which an air pad is provided on the sliding part.
It is not used because the straightness when the rack is installed and the accuracy of the rack itself directly affect the straightness of the machine.
現在では３次元測定装置の駆動装置として前者の手段が
使用されているが、組立調整が煩しく、またマニュアル
スキャニング時すなわちギヤの脱着時には、さらに煩し
く工数の増加と作業者の煩雑さを助長しているという問
題がある。Currently, the former method is used as a drive device for three-dimensional measuring equipment, but assembly and adjustment are cumbersome, and it is even more cumbersome during manual scanning, that is, when attaching and detaching gears, increasing man-hours and complicating the operator. There is a problem with that.
本発明の目的は上記事情に鑑み問題を解決するために提
案されたものであって、主にバックラッシュを自動的に
取り除くようにした３次元測定装置の駆動装置を提供す
るものである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention was proposed in order to solve the problems in view of the above circumstances, and mainly to provide a driving device for a three-dimensional measuring device that automatically eliminates backlash.
［問題を解決するための手段］
本発明は上記目的を達成するために、３次元測窓装置の
駆動装置であって、フレーム上に設けたラックに沿って
移動自在な移動フレームを設け、前記ラックに噛合した
ピニオンを移動フレームに支承して設けると共に、とニ
オンをラックへ付勢圧接してなることを特徴とするもの
である。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention is a driving device for a three-dimensional window measuring device, and includes a movable frame that is movable along a rack provided on the frame. This device is characterized in that a pinion meshed with the rack is supported and provided on a movable frame, and the pinion is biased and pressed against the rack.
［作用］
本発明の駆動装置を採用することにより、ラックに対し
ピニオンが回転し移動フレームが移動した際、ピニオン
および回転体がラックを挾んで付勢圧接しているからバ
ックラッシュがなく移動フレームがスムースに移動され
る。[Operation] By adopting the drive device of the present invention, when the pinion rotates relative to the rack and the movable frame moves, the pinion and rotating body sandwich and press the rack, so there is no backlash and the movable frame is moved. is moved smoothly.
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.
第１図、第２図および第３図を参照するに、３次元測定
装置１における箱型形状の内部を空洞にしたベース３が
床などに載置されている。ベース３上の第１図において
左右両側部に、箱型形状の内部を空洞にした摺動案内部
５，７が設けられている。この摺動案内部５．７はそれ
ぞれ第２図において前後方向すなわちＸ軸方向に延伸し
である。Referring to FIGS. 1, 2, and 3, a box-shaped hollow base 3 of the three-dimensional measuring device 1 is placed on a floor or the like. Sliding guide portions 5, 7 each having a box shape and having a hollow interior are provided on the left and right sides of the base 3 in FIG. The sliding guides 5.7 each extend in the front-rear direction, that is, in the X-axis direction in FIG.
摺動案内部５，７上には、門型形状のメインキャレッジ
９が設けられ、該メインキャレッジ９の左右下部には、
それぞれ摺動案内部材１１．１３がＸ軸方向に沿って移
動自在に取付けである。摺動案内部材１３の後方部には
、Ｘ軸モータ１５が設けてあり、かつ摺動案内部７上に
ラック１７がＸ軸方向に延伸して設けである。A gate-shaped main carriage 9 is provided on the sliding guide portions 5 and 7, and at the left and right lower portions of the main carriage 9,
Each sliding guide member 11, 13 is mounted movably along the X-axis direction. An X-axis motor 15 is provided at the rear of the sliding guide member 13, and a rack 17 is provided on the sliding guide portion 7 extending in the X-axis direction.
上記構成により、Ｘ軸モータ１５により摺動案内部材１
１．１３がベース３上の摺動案内部５゜７に沿って、ラ
ック１７に案内されてＸ軸方向に移動されてメインキャ
レッジ９がＸ軸方向に移動されることになる。With the above configuration, the sliding guide member 1 is moved by the X-axis motor 15.
1.13 is guided by the rack 17 along the sliding guide portion 5°7 on the base 3 and moved in the X-axis direction, and the main carriage 9 is moved in the X-axis direction.
前記メインキャレッジ９の上部ビーム９０上には、第１
図および第２図において左右方向すなわちＹ軸方向に移
動自在なセントラルキャレッジ１９が設けである。さら
に、第１図および第３図に示しであるように、Ｙ軸モー
タ２１がセントラルキャレッジ１つの後方部に設けてあ
り、かつメインキャレッジ９の上部ビーム９Ｕの後方側
にはラック２３が設けである。On the upper beam 90 of the main carriage 9, a first
In the figures and FIG. 2, a central carriage 19 is provided which is movable in the left-right direction, that is, in the Y-axis direction. Furthermore, as shown in FIGS. 1 and 3, a Y-axis motor 21 is provided at the rear of one central carriage, and a rack 23 is provided at the rear of the upper beam 9U of the main carriage 9. It is a provision.
上記構成により、Ｙ軸モータ２１によってセントラルキ
ャレッジ１９が門型形状のメインキャレツジ９の上部ビ
ーム９ＵのＹ軸方向に沿ってラック２３に案内されて移
動されることになる。With the above configuration, the central carriage 19 is guided by the rack 23 and moved along the Y-axis direction of the upper beam 9U of the gate-shaped main carriage 9 by the Y-axis motor 21.
セントラルキャレッジ１９の前方内には、第１図、第２
図および第３図に示しであるように、スピンドル２５が
上下方向すなわちＺ軸方向へ移動自在に設けである。ス
ピンドル２５の下方部に向けて、アダプタ２７を介して
先端部にプローブ２つが着脱自在に装着しである。スピ
ンドル２５の後方部には、Ｚ軸モータ３１が第２図およ
び第３図に示しであるように設けてあり、かつセントラ
ルキャレッジ１９にＺ軸方向へ延伸したラック３３が設
けである。In the front of the central carriage 19, there are
As shown in the drawings and FIG. 3, a spindle 25 is provided so as to be movable in the vertical direction, that is, in the Z-axis direction. Two probes are detachably attached to the lower end of the spindle 25 via an adapter 27. A Z-axis motor 31 is provided at the rear of the spindle 25, as shown in FIGS. 2 and 3, and a rack 33 extending in the Z-axis direction is provided on the central carriage 19.
上記構成により、２軸モータ３１によって、スピンドル
２５がラック３３に案内されてＺ軸方向へ移動されるこ
とになる。With the above configuration, the spindle 25 is guided by the rack 33 and moved in the Z-axis direction by the two-axis motor 31.
メインキャレツジ９のＸ軸方向における移動制御は、摺
動案内部７の外側に第２図および第３図に示されている
ように、Ｘ軸方向に延伸して取付けであるリニアスケー
ル３５と、震動案内部材１３の内側の一部に取付けであ
るセンサ３７とによって行なわれている。セントラルキ
ャレッジ１つのＹ軸方向における移動制御およびスピン
ドル２５のＺ軸方向における移動制御は、メインキャレ
ッジのＸ軸方向における移動制御と同様に、図示省略の
リニアスケールとセンサによって行なわれている。Movement control of the main carriage 9 in the X-axis direction is achieved by installing a linear scale 35 extending in the X-axis direction on the outside of the sliding guide part 7, as shown in FIGS. 2 and 3. , and a sensor 37 attached to a part of the inside of the vibration guide member 13. The movement control of one central carriage in the Y-axis direction and the movement control of the spindle 25 in the Z-axis direction are performed by a linear scale and sensor (not shown), similarly to the movement control of the main carriage in the X-axis direction.
ベース３上にあって、摺動案内部５と７との間にＸ軸方
向に向けてワーク支持テーブル３つが載置してあって、
該ワーク支持テーブル３９上に測定しようとする被測定
物の図示省略のワークが載置される。Ｘ軸、Ｙ軸および
Ｚ軸に移動制御されるプローブ２９がワークに当接して
各種の測定データが測定されることになる。Three workpiece support tables are placed on the base 3 between the sliding guide parts 5 and 7 in the X-axis direction,
A workpiece (not shown) to be measured is placed on the workpiece support table 39 . The probe 29, which is controlled to move along the X, Y, and Z axes, comes into contact with the workpiece and various measurement data are measured.
前述したメインキャレッジ９の左右下部に移動自在に取
付けられた摺動案内部材ｉｉ、１３の裏側には、各種の
エアパッドが設けられている。Various air pads are provided on the back side of the sliding guide members ii, 13 which are movably attached to the left and right lower portions of the main carriage 9 mentioned above.
より詳細には、第１図および第３図に示すように、摺動
案内部材１１における上部右側の裏側には、Ｘ軸方向に
沿って一定間隔毎に複数のエアバッド４１が設けである
。また、摺動案内部材１１における下部左側の裏側には
、Ｘ軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッド４３
が設けである。More specifically, as shown in FIGS. 1 and 3, a plurality of air pads 41 are provided at regular intervals along the X-axis direction on the back side of the upper right side of the sliding guide member 11. Further, on the back side of the lower left side of the sliding guide member 11, a plurality of air pads 43 are provided at regular intervals along the X-axis direction.
is the provision.
さらに、摺動案内部材１３における上部左側の裏側には
、Ｘ軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッド４５
が設けである。摺動案内部材１３における下部右側の裏
側には、Ｘ軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッ
ド４７が設けである。Further, on the back side of the upper left side of the sliding guide member 13, a plurality of air pads 45 are provided at regular intervals along the X-axis direction.
is the provision. On the back side of the lower right side of the sliding guide member 13, a plurality of air pads 47 are provided at regular intervals along the X-axis direction.
同様に、摺動案内部材１３における左部上側の裏側には
、Ｘ軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッド４９
が設けである。また、摺動案内部材１３における右部下
側の裏側には、Ｘ軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエ
アバッド５１が設けである。Similarly, on the back side of the upper left side of the sliding guide member 13, a plurality of air pads 49 are provided at regular intervals along the X-axis direction.
is the provision. Further, on the back side of the lower right side of the sliding guide member 13, a plurality of air pads 51 are provided at regular intervals along the X-axis direction.
上記構成により、エアバッド４９とエアバッド５１に図
示省略のエア供給装置から乾燥したエアを供給すること
によって、エアバッド４９と活動案内部７の左外側との
間にエア膜が形成されると共に、エアバッド５１と摺動
案内部７の右外側との間にエア膜が形成される。その結
果、セントラルキャレッジ１９がメインキャレッジ９の
上部ビーム９Ｕのほぼ真中にある場合には、１習動案内
部５．７に対して、摺動案内部材１１．１３がＸ軸方向
にスムーズに移動される状態となる。With the above configuration, by supplying dry air to the air pad 49 and the air pad 51 from the air supply device (not shown), an air film is formed between the air pad 49 and the left outer side of the activity guide section 7, and the air pad 51 An air film is formed between and the right outer side of the sliding guide portion 7. As a result, when the central carriage 19 is located almost in the middle of the upper beam 9U of the main carriage 9, the sliding guide member 11.13 moves smoothly in the It will be moved to .
エアバッド４１．４３．４５および４７に図示省略のエ
ア供給装置から乾燥したエアを供給することによって、
エアバッド４１と摺動案内部５の上面との間にエア膜が
形成されると共に、エア膜（ラド４３と摺動案内部５の
下面との間にエア膜が形成される。また、エアバッド４
５と摺動案内部７の上面との間にエア膜が形成されると
共に、エアバッド４７と摺動案内部７の下面との間にエ
ア膜が形成される。その結果、セントラルキャレッジ１
９が例えばメインキャレッジ９の上部ビーム９Ｕの左側
に移動して、メインキサレッジ９自体が左下りに傾斜し
ようとすると、右側のエアバッド４７が上記傾斜を阻止
し精度を維持する。また、セントラルキャレッジ１９が
例えばメインキャレッジ９の上部ビーム９Ｕの右側に移
動して、メインキサレッジ９自体が右下りに傾斜しよう
とすると、左側のエアバッド４３が上記傾斜を阻止し精
度を維持する。By supplying dry air to the air pads 41, 43, 45 and 47 from an air supply device (not shown),
An air film is formed between the air pad 41 and the upper surface of the sliding guide section 5, and an air film is also formed between the air pad 43 and the lower surface of the sliding guide section 5.
An air film is formed between the air pad 5 and the upper surface of the sliding guide section 7, and an air film is also formed between the air pad 47 and the lower surface of the sliding guide section 7. As a result, Central Carriage 1
9 moves to the left side of the upper beam 9U of the main carriage 9, for example, and the main kisserage 9 itself attempts to tilt downward to the left, the air pad 47 on the right side prevents the tilting and maintains accuracy. Furthermore, if the central carriage 19 moves to the right side of the upper beam 9U of the main carriage 9, for example, and the main carriage 9 itself tries to tilt downward to the right, the air pad 43 on the left side prevents the tilting and maintains accuracy. do.
したがって、セントラルキャレッジ１９がメインキャレ
ッジ９の上部ビーム９ＵにおけるＹ軸方向に移動し、い
ずれの位置においてもエアバッド４３．４７が作用して
メインキャレッジ９の真直度および平行度の精度が維持
されるから、測定時における機械自体による誤差は除去
されることになる。Therefore, the central carriage 19 moves in the Y-axis direction of the upper beam 9U of the main carriage 9, and the air pads 43, 47 act at any position to maintain the accuracy of the straightness and parallelism of the main carriage 9. Therefore, errors caused by the machine itself during measurement are eliminated.
前記円型形状のメインキャレッジ９はアルミナセラミッ
クなどのセラミックで形成しであるから、メインキサレ
ッジ９自体の重ｎが非常に軽くなる。Since the circular main carriage 9 is made of ceramic such as alumina ceramic, the weight n of the main carriage 9 itself is very light.
その結果、ベース３上の左右両端部に設けた摺動案内部
５，７にかかる負荷が軽減されることにより、前述した
エアバッド４３．４７の作用がより効果的に発揮される
ことになる。As a result, the load applied to the sliding guide portions 5 and 7 provided at both left and right ends of the base 3 is reduced, and the effects of the air pads 43 and 47 described above are more effectively exerted.
メインキサレッジ９自体が軽くなることから、上記の効
果と共に組立時の取扱いが容易でさらに加減速時に相手
方の遅れがな（なることなどの作用が加味されることに
なる。Since the main gas ledge 9 itself is light, it has the above-mentioned effects, is easy to handle during assembly, and also has the added effect of eliminating the delay of the other party during acceleration/deceleration.
次に、摺動案内部材１３の後方部に設けたＸ軸モータ１
５により、摺動案内部材１１．１３がベース３上の摺動
案内部５．７に沿って、ラック１７に案内されてＸ軸方
向に移動されてメインキャレッジ９が移動される。より
詳細には、第４図および第５図には、Ｘ軸モータ１５の
駆動部が示されていて、Ｘ軸モータ１５は支持体５３上
に取付けである。Ｘ軸モータ１５の出力軸５５は支持体
５３内に設けた円筒形状の連結部材５７を介して、カッ
プリング５９の一方部５９Ａに連結しである。Next, the X-axis motor 1 provided at the rear part of the sliding guide member 13
5, the sliding guide member 11.13 is moved in the X-axis direction along the sliding guide portion 5.7 on the base 3 while being guided by the rack 17, and the main carriage 9 is moved. More specifically, FIGS. 4 and 5 show the drive of the X-axis motor 15, which is mounted on a support 53. The output shaft 55 of the X-axis motor 15 is connected to one portion 59A of the coupling 59 via a cylindrical connecting member 57 provided within the support body 53.
カップリング５９の他方部５９Ｂはシャフト６１とシャ
フト６１の上方に設けた固定部材６３との間に介設され
てボルト６５により締結しである。The other portion 59B of the coupling 59 is interposed between the shaft 61 and a fixing member 63 provided above the shaft 61 and fastened with a bolt 65.
カップリング５９の一方部５９Ａと他方部５９Ｂとは連
結しである。カップリング５９の一方部５９Ａはベアリ
ング６７を介して支持体５３に回転自在に支承しである
。シャフト６１の先端側にはピニオン６９がテーバビン
７１により止めである。One part 59A and the other part 59B of the coupling 59 are connected. One portion 59A of the coupling 59 is rotatably supported on the support body 53 via a bearing 67. A pinion 69 is stopped at the tip side of the shaft 61 by a taper pin 71.
シャフト６１は複数例へば２個のベアリング７３を介し
て支持体５３に回転自在に支承しである。The shaft 61 is rotatably supported by the support body 53 via two bearings 73 in some cases.
上記構成により、Ｘ軸モータ１５を駆動させると、出ノ
〕軸５５よりカップリング５９を介してシャフト６１に
回転が伝達されてピニオン６９が回転されることになる
。With the above configuration, when the X-axis motor 15 is driven, rotation is transmitted from the output shaft 55 to the shaft 61 via the coupling 59, and the pinion 69 is rotated.
前記支持体５３はピニオン６９を支持し、かつ第５図に
おいて上方へ延在してあって支持体５３の一部第５図に
おいて後方右側で枢＠７５に枢支である。枢軸７５は摺
動案内部材１３に設けである。前記枢軸７５には従動ロ
ーラ７７を支持する揺動体７９が枢支しである。The support 53 supports a pinion 69 and extends upward in FIG. 5, and a portion of the support 53 is pivoted on a pivot 75 at the rear right side in FIG. The pivot 75 is provided on the sliding guide member 13. A swinging body 79 that supports a driven roller 77 is pivotally supported on the pivot shaft 75 .
第４図に示しであるように、揺動体７９内には従動ロー
ラ７７をテーバビン８１で止めているシャフト８３が設
けてあって、シャフト８３は複数例えば２個のベアリン
グ８５を介して揺動体７９に回転自在に支承しである。As shown in FIG. 4, a shaft 83 is provided in the oscillating body 79, and the driven roller 77 is fixed with a tapered pin 81. It is rotatably supported.
第４図において上部のベアリング８５は上方よりロック
ナツト８７で締付けである。なお、ベアリング８５間は
２個のカラー８９が設けてあり、ベアリング８５の動き
を阻止しである。In FIG. 4, the upper bearing 85 is tightened from above with a lock nut 87. Note that two collars 89 are provided between the bearings 85 to prevent movement of the bearings 85.
前記支持体５３が第５図において上方へ延在した突出体
５３Ｔの上端にはボルト９１が締結しである。また、前
記揺動体７９が第５図において上方へ延在した突出体７
９Ｔの上端にはボルト９３が締結しである。ボルト９１
とボルト９３との間には、解放用スプリング９５が設け
てあり、該解放用スプリング９５は、枢軸７５を支点と
してピニオン６９と従動ローラ７７のラック１７に対す
る押圧力を調整するものである。さらに、摺動案内部材
１３の第５図において左側には、エアシリンダ９７が複
数本のボルト９９で取付けである。A bolt 91 is fastened to the upper end of the protruding body 53T where the support body 53 extends upward in FIG. Further, the rocking body 79 is a protruding body 7 extending upward in FIG.
A bolt 93 is fastened to the upper end of 9T. bolt 91
A release spring 95 is provided between the pinion 69 and the bolt 93, and the release spring 95 adjusts the pressing force of the pinion 69 and the driven roller 77 against the rack 17 using the pivot shaft 75 as a fulcrum. Furthermore, an air cylinder 97 is attached to the left side of the sliding guide member 13 in FIG. 5 with a plurality of bolts 99.
エアシリンダ９７の先端第５図において右側にプランジ
ャ１０１が設けである。エアシリンダ９７を作動させる
ことにより、プランジャ１０１が揺動体７９の突出体７
９Ｔを押し付けて、枢軸７５を支点しとして揺動体７９
が揺動し、従動ローラ７７をラック１７に押圧させる押
圧力を調節出来るようにしである。A plunger 101 is provided on the right side of the tip of the air cylinder 97 in FIG. By operating the air cylinder 97, the plunger 101 moves the protruding body 7 of the rocking body 79.
9T is pressed against the oscillator 79 using the pivot 75 as a fulcrum.
swings, and the pressing force for pressing the driven roller 77 against the rack 17 can be adjusted.
上記構成により、ピニオン６９と従動ローラ７７とでラ
ック１７を挾み込み、Ｘ軸モータ１５を駆動させてピニ
オン６９を回転させると、摺動案内部材１３はラック１
７に案内されてＸ軸方向に移動されることになる。なお
、エアシリンダ９７を作用させると、プランジャ１０１
が揺動体７９の突出体７９Ｔを第５図において右方へ押
し付けることにより、揺動体７９は枢軸７５を支点とし
て第５図において時計方向回りに回動しようとするから
、従動ローラ７７はラック１７に一定の力で押しイ］け
られてピニオン６９に対して逆回転される。たとえば、
ラック１７の平行度がラフに製作されていたとしても、
ピニオン６９を支持している支持体５３と従動ローラ７
７を支持している揺動体７つとは解放用スプリング９５
で常時付勢しているから、ピニオン６９と従動ローラ７
７は、ラック１７に一定の押圧力を維持して回転される
。With the above configuration, when the rack 17 is sandwiched between the pinion 69 and the driven roller 77 and the X-axis motor 15 is driven to rotate the pinion 69, the sliding guide member 13
7 and is moved in the X-axis direction. Note that when the air cylinder 97 is activated, the plunger 101
pushes the protruding body 79T of the rocking body 79 to the right in FIG. 5, and the rocking body 79 tries to rotate clockwise in FIG. The pinion 69 is pushed forward with a constant force and rotated in the opposite direction with respect to the pinion 69. for example,
Even if the parallelism of the rack 17 is roughly manufactured,
Support body 53 supporting pinion 69 and driven roller 7
The seven rocking bodies that support the release spring 95
Since the pinion 69 and the driven roller 7 are always energized,
7 is rotated while maintaining a constant pressing force on the rack 17.
前記解放用スプリング９５が設けであることにより、Ｘ
軸モータ１５を駆動させずに、手動に切り換えることに
よりワンタッチで手動操作することができる。By providing the release spring 95, X
By switching to manual mode without driving the shaft motor 15, manual operation can be performed with one touch.
なお、Ｘ軸モータ１５の駆動部のみを説明したが、Ｙ軸
モータ２１およびＺ軸モータ３１の駆動部もＸ軸モータ
１５の駆動部とほぼ同じものを採用しているので説明を
省略する。Although only the drive section of the X-axis motor 15 has been described, the drive sections of the Y-axis motor 21 and the Z-axis motor 31 are also substantially the same as the drive section of the X-axis motor 15, so the explanation will be omitted.
、［効果］
以上のごとき実施例の説明から理解されるように、本発
明によれば、ピニオンとラック間のバックラッシュを自
動的に取り除くことができる効果を奏する。, [Effects] As can be understood from the description of the embodiments above, according to the present invention, it is possible to automatically eliminate backlash between the pinion and the rack.
さらに、本発明によると、ピニオンおよび回転体の脱着
が可能で、しかもセットする時もワンタッチで装Ｍ す
ることが可能である。その結果、作業者の工数が著しく
軽減させることができる。Further, according to the present invention, the pinion and rotating body can be attached and detached, and can be set with a single touch. As a result, the number of steps for the operator can be significantly reduced.
ラックにおける真直度の加工精度がラフであってもおよ
びラックにおける組付時の平行度の加工精度がラフであ
っても、移動フレームの直進性すなわち機械の直進性が
真直度に影響を与えないで所定の精度を維持して移動で
きる。Even if the machining accuracy of the straightness of the rack is rough, and even if the machining accuracy of the parallelism during assembly of the rack is rough, the straightness of the moving frame, that is, the straightness of the machine, will not affect the straightness. It is possible to move while maintaining a predetermined accuracy.
第１図は本発明が適用される３次元測定装置の正面図で
ある。
第２図は第１図における■矢視図である。
第３図は第２図における■矢視図である。
第４図は第１図における■矢視部の拡大図である。
第５図は第４図におけるＶ矢視図である。
［図面の主要部を表わす符号の説明］
１・・・３次元測定装置
５．７・・・摺動案内部
９・・・メインキャレッジ
１１．１３・・・摺動案内部材
１５・・・Ｘ軸モータ １７・・・ラック１９・
・・セントラルキ１１レッジ
２１・・・Ｙ軸モータ ２５・・・スピンドル３
１・・・２軸モータ ５３・・・支持体５３Ｔ・
・・突出体 ６９・・・ピニオン７５・・・枢
軸 ７７・・・従動ローラ７９・・・揺動
体 ７９Ｔ・・・突出体９５・・・解放用スプ
リング
９７・・・エアシリンダ １０１・・・プランジャ第
１図
第２図
一−拳一一−−ラー
第３図
零４図
７Ｊ、５図FIG. 1 is a front view of a three-dimensional measuring device to which the present invention is applied. FIG. 2 is a view taken in the direction of the ■ arrow in FIG. FIG. 3 is a view taken in the direction of the ■ arrow in FIG. FIG. 4 is an enlarged view of the section shown by the arrow ■ in FIG. FIG. 5 is a view taken along arrow V in FIG. 4. [Explanation of symbols representing main parts of drawings] 1... Three-dimensional measuring device 5.7... Sliding guide section 9... Main carriage 11.13... Sliding guide member 15... X-axis motor 17... rack 19...
... Central key 11 Ledge 21 ... Y-axis motor 25 ... Spindle 3
1...2-axis motor 53...Support body 53T・
... Protruding body 69... Pinion 75... Pivot 77... Followed roller 79... Rocking body 79T... Protruding body 95... Release spring 97... Air cylinder 101... Plunger Figure 1 Figure 2 1-Kenichi-Ra Figure 3 Zero 4 Figure 7J, 5
Claims (1)
ームを設け、前記ラックに噛合したピニオンを移動フレ
ームに支承して設けると共に、ピニオンをラックへ付勢
圧接してなることを特徴とする３次元測定装置の駆動装
置A three-dimensional structure characterized in that a movable frame is provided that is movable along a rack provided on the frame, a pinion meshed with the rack is supported on the movable frame, and the pinion is biased and pressed against the rack. Measuring device drive device
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7835086A JPS62235514A (en) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Driving apparatus of 3-dimensional measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7835086A JPS62235514A (en) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Driving apparatus of 3-dimensional measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62235514A true JPS62235514A (en) | 1987-10-15 |
Family
ID=13659541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7835086A Pending JPS62235514A (en) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Driving apparatus of 3-dimensional measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62235514A (en) |
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-
1986
- 1986-04-07 JP JP7835086A patent/JPS62235514A/en active Pending
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